CN110160751B - 一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置及检测方法 - Google Patents

一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置及检测方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置及检测方法，其包括依次设置的激光器、减光镜、扩束系统、反射镜一、反射镜二、待测元件、会聚透镜、光阑、透镜一、透镜二、图像传感器，该方法将波前误差在频谱面分为低频和中高频，低频段波前误差使用泽尼克多项式表征，并基于扩展奈波尔‑泽尼克理论求解泽尼克多项式系数，中高频段波前误差使用误差减小算法进行逐像素波前相位恢复。该方法通过迭代的方式自动确定离焦位置，不需精确测量采集衍射光斑图的位置，规避了离焦位置不确定带来的误差。该检测方法对实验环境要求不高，而且检测宽频段大波前误差时精度优于传统的迭代相位恢复方法。

Description

一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置及检测方法
技术领域
本发明涉及光学检测的技术领域，尤其是涉及一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置及检测方法。
背景技术
在各种光学系统如惯性约束核聚变和高分辨率空间望远镜中，各种高质量的光学元件被广泛应用。光学元件的面形质量的好坏直接影响光学系统的性能。由于光学元件本身表面缺陷和加工工具的磨损，在光学元件加工研抛过程中，光学元件的表面会留下各种频率的加工误差。波前误差根据其频率特性分为低频、中频和高频误差，其中低频误差主要表现为像差影响焦斑形状，中频误差会产生焦斑旁瓣，高频误差会造成激光散射，损耗中心焦斑能量。在激光约束核聚变中，低频误差会影响聚焦光斑的能量集中度和焦面光强分布，最终影响该多路激光合成光斑的直径。中频误差会降低可聚焦功率会造成光学元件丝状破坏。高频误差对系统光束质量没有影响，但是会降低薄膜的损伤阈值。因此对光学元件中低频面形误差进行检测控制是提高强激光会聚质量的关键。
传统的波前误差检测方法如坐标测量法、刀口仪检测法、哈特曼波前传感器法等等，由于其自身的特性实现高精度高灵敏度定量检测较为困难，干涉法由于其精度高、测量重复性好被广泛应用于波前相位误差的检测，但其对检测环境要求较高，且光学系统较为复杂。所以传统检测方式存在着检测成本高、环境要求严苛或检测范围有限等一系列问题。而且对于中频误差的检测存在着分辨率的制约。上世纪九十年代相位恢复技术成功用于哈勃望远镜像差的测量，此后相位恢复方法被大量研究。因此我们提出使用相位恢复检测光学元件面形误差。相位恢复是一种根据光场的强度信息反推相位分布的方法。其实验系统简单，最简单的情况下只需要待测元件与图像传感器，而且抗环境干扰能力强，可实现在位检测。相位恢复技术是利用傅里叶变换与逆傅里叶变换在空间域与频率域之间反复迭代最终收敛得到待测样品信息。其中在频率域用实际采集到的光强值对计算得到的复振幅进行振幅替换，在空间域施加约束条件。针对相位恢复用于波前相位检测。
传统的迭代相位恢复方法用于光学元件面形检测，若只在一个位置采集光强图用于波前相位的恢复。存在着量程有限，以及无法同时实现大量程宽频段检测等问题。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置及检测方法，以缓解传统的迭代相位恢复算法具有的量程有限，精确确定离焦位置难度大，检测波前误差频率范围有限等问题。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置，其特征在于，该装置包括依次设置的激光器、减光镜、扩束系统、反射镜一、反射镜二、待测元件、会聚透镜、光阑、透镜一、透镜二、图像传感器，所述的激光器与所述的减光镜平行设置，所述的扩束系统位于所述的减光镜平行的方向上，所述的反射镜一倾斜度位于准直透镜之后，所述的反射镜二倾斜度位于所述的反射镜一的下方，所述的待测元件与所述的反射镜二共光轴且位于所述的反射镜二的后方，所述的会聚透镜平行位于所述的待测元件之后，所述的光阑平行位于所述的会聚透镜的焦点处，所述的透镜一平行位于所述的光阑之后，所述的透镜一的前焦点位于所述的光阑的小孔处，所述的透镜二平行位于所述的透镜一之后，所述的透镜二与透镜一之间的距离为所述的透镜二与透镜一焦距之和，所述的图像传感器平行位于所述的透镜二之后。
进一步地，所述的图像传感器为CCD相机。
一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测方法，其特征在于，该方法基于所述的检测装置来实现，该方法具体包括如下步骤：
S1：搭建所述的检测装置，所述的激光器产生光波，所述的光波通过进行光强衰减、光束会聚、小孔滤波、发散光准直、平行光偏折、光波会聚、光波放大后，所述的图像传感器采集只含有待测元件低频波前误差的衍射光斑一；
S2：去除所述的光阑，所述的光波通过进行光强衰减、光束会聚、小孔滤波、发散光准直、平行光偏折、光波会聚、光波放大后，所述的图像传感器采集含有待测元件低中高频波前误差的衍射光斑二；
S3：采用改进的扩展奈波尔-泽尼克理论相位恢复方法，对S1采集到的衍射光斑一进行相位恢复，获得被测元件的低频波前相位；
S4：采用误差减小算法，将S3获得的低频波前相位作为误差减小算法的初始解，通过迭代获得被测元件低中高频的波前相位；
S5：通过S4得到的被测元件低中高频的波前相位，求解得到待测元件的面形误差。
进一步地，所述的S3采用改进的扩展奈波尔-泽尼克理论恢复方法的具体步骤如下：
S3.1：输入所述的图像传感器(13)采集的离焦光强图Im'、初始离焦位置z0，设置去除交叉项迭代总数K及其初始迭代次数k＝1、离焦位置迭代总数N及其初始迭代次数n＝1、待测面的大小、离焦量和交叉项的初始值以及泽尼克多项式的项数；
S3.2：计算泽尼克多项式求解方程组的系数矩阵的每个元素，从而得到泽尼克多项式求解方程组的系数矩阵V；
S3.3：采用广义逆矩阵方式求得泽尼克多项式的系数矩阵A；
S3.4：计算交叉项C(x,y)；
S3.5：移除交叉项；
S3.6：判断迭代次数k是否大于K，否，则令k＝k+1返回S3.3；
S3.7：判断迭代次数n是否大于N，否，计算离焦量的修正值，并用离焦量的初始值减去修正值，作为下一步迭代的离焦量，令n＝n+1,返回S3.2；
S3.8：求得待测元件的低频波前相位。
进一步地，所述的S4具体为：
S4.1：将S3中获得的低频波前相位作为误差减小算法的初始解，通过菲涅尔衍射到衍射光强采集面；
S4.2：使用所述的衍射光斑二的平方根作为实际振幅替换计算得到的振幅；
S4.3：通过菲涅尔逆衍射从衍射光强图采集面逆衍射到空间域，得到待测面的复振幅估计值；
S4.4：对待测面的复振幅估计值进行支持域的限制，并替换振幅，进行下一次迭代；
S4.5:重复S4.1到S4.4，达到预设的迭代次数或者误差小于阈值，结束迭代，获得的待测面的复振幅的相位，即为被测元件低中高频的波前相位。
本发明的有益效果如下：
本发明的基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置不需要移动图像采集装置，即可通过算法自动判断离焦位置，采用本发明的检测装置及检测方法可以实现全频段光斑采集以及待测元件全频段的相位恢复。
附图说明
图1是低频光斑采集实验装置示意图；
图2是全频段光斑采集实验装置示意图；
图3是光学元件波前相位检测流程示意图；
图4是改进的扩展奈波尔-泽尼克理论相位恢复方法的流程示意图。
图5是误差减小算法流程示意图。
图中，激光器1、减光镜2、显微物镜3、针孔4、准直透镜5、反射镜一6、反射镜二7、待测元件8、会聚透镜9、光阑10、透镜一11、透镜二12、图像传感器13。
具体实施方式
下面根据附图和优选实施例详细描述本发明，本发明的目的和效果将变得更加明白，以下结合附图和实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1所示，一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置，该装置包括依次设置的激光器1、减光镜2、扩束系统、反射镜一6、反射镜二7、待测元件8、会聚透镜9、光阑10、透镜一11、透镜二12、图像传感器13，激光器1与减光镜2平行设置，扩束系统位于减光镜2平行的方向上，反射镜一6倾斜45度位于准直透镜之后，反射镜二7倾斜135度位于反射镜一6的下方，待测元件8与反射镜二7共光轴且位于反射镜二7的后方，会聚透镜9平行位于待测元件8之后，光阑10平行位于会聚透镜9的焦点处，透镜一11平行位于光阑10之后，透镜一11的前焦点位于光阑10的小孔处，透镜二12平行位于透镜一11之后，透镜二12与透镜一11之间的距离为透镜二12与透镜一11焦距之和，图像传感器平行位于透镜二12之后。
作为其中一种实施方式，扩束系统包括显微物镜3、针孔4、准直透镜5，显微物镜3将激光器1出射光束变为发散球面波，针孔4位于显微物镜3的前焦点位置用以进行低通滤波，以获得较为理想的发散球面波。
作为其中一种实施方式，图像传感器13采用CCD相机。
激光器1，用于产生波长632.8nm的光波；
减光器2，用于对激光器产生的光强进行衰减来避免CCD的饱和；
显微物镜3，用于将激光器产生的光束会聚到一个点；
小孔4，用于对发射过来的光进行低通滤波；
准直透镜5，用于将发散光束准直为平行光，平行光透过待测元件，出射的波前带有待测元件的面形误差信息，经会聚透镜9会聚出射；
反射镜一6和反射镜二7，用于将平行光偏折；
会聚透镜9，用于将光波会聚于会聚透镜的焦点处；
光阑10用于滤波；
透镜一11和透镜二12组成4f系统，用于对光波进行重新放大；
CCD相机13，用于采集光斑图像。
一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测方法，如图3所示，该方法基于检测装置来实现，该方法具体包括如下步骤：
S1：搭建所述的检测装置，所述的激光器1产生光波，所述的光波通过进行光强衰减、光束会聚、小孔滤波、发散光准直、平行光偏折、光波会聚、光波放大后，所述的图像传感器13采集只含有待测元件低频波前误差的衍射光斑一，如图1所示；
S2：去除所述的光阑10，所述的光波通过进行光强衰减、光束会聚、小孔滤波、发散光准直、平行光偏折、光波会聚、光波放大后，所述的图像传感器13采集含有待测元件低中高频波前误差的衍射光斑二，如图2所示；
S3：采用改进的扩展奈波尔-泽尼克理论相位恢复方法，对S1采集到的衍射光斑一进行相位恢复，获得被测元件的低频波前相位，如图4所示，具体如下：
S3.1：输入所述的图像传感器13采集的离焦光强图Im'、初始离焦位置z0，设置去除交叉项迭代总数K及其初始迭代次数k＝1、离焦位置迭代总数N及其初始迭代次数n＝1、待测面的大小、离焦量和交叉项Ic的初始值以及泽尼克多项式的项数；
S3.2：计算泽尼克多项式求解方程组的系数矩阵的每个元素，从而得到泽尼克多项式求解方程组的系数矩阵V；
Figure BDA0002061468290000051
其中，
Figure BDA0002061468290000052
Figure BDA0002061468290000053
Figure BDA0002061468290000054
Figure BDA0002061468290000055
其中，(x,y)表示像面坐标，
Figure BDA0002061468290000056
为扩展奈波尔-泽尼克理论的内核，
Figure BDA0002061468290000057
Figure BDA0002061468290000058
均为中间变量，i为虚数，
Figure BDA0002061468290000059
为像面角频率,Re表示取实部，Im表示取虚部；
S3.3：通过下式采用广义逆矩阵方式求得泽尼克多项式的系数矩阵A；
Im'＝V×A
其中，Im'为采集到的减去交叉项的衍射光斑一，A为求解的系数矩阵。
S3.4：通过下式计算交叉项Ic(x,y)；
Figure BDA0002061468290000061
其中，β为系数矩阵A的元素；
S3.5：通过移除交叉项；
Im'＝Im'-Ic
S3.6：判断迭代次数k是否大于K，否，则令k＝k+1返回S3.3；
S3.7：判断迭代次数n是否大于N，否，计算离焦量的修正值，并用离焦量的初始值减去修正值，作为下一步迭代的离焦量，令n＝n+1,返回S3.2；
S3.8：通过下式求得待测元件的低频波前相位
Figure BDA0002061468290000062
其中，
Figure BDA0002061468290000063
代表泽尼克多项式，
Figure BDA0002061468290000064
代表A中的元素。
S4：采用误差减小算法，将S3获得的低频波前相位作为误差减小算法的初始解，通过迭代获得被测元件低中高频的波前相位，如图5所示，
S4.1：将S3中获得的低频波前相位作为误差减小算法的初始解，通过菲涅尔衍射到衍射光强采集面；
S4.2：使用所述的衍射光斑二的平方根作为实际振幅替换计算得到的振幅；
S4.3：通过菲涅尔逆衍射从衍射光强图采集面逆衍射到空间域，得到待测面的复振幅估计值；
S4.4：对待测面的复振幅估计值进行支持域的限制，并替换振幅，进行下一次迭代；
S4.5:重复S4.1到S4.4，达到预设的迭代次数或者误差小于阈值，结束迭代，获得的待测面的复振幅的相位，即为被测元件低中高频的波前相位。
S5：通过S4得到的被测元件低中高频的波前相位，求解得到待测元件的面形误差。
本领域普通技术人员可以理解，以上所述仅为发明的优选实例而已，并不用于限制发明，尽管参照前述实例对发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实例记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在发明的精神和原则之内，所做的修改、等同替换等均应包含在发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测方法，其特征在于，该方法基于检测装置来实现，该装置包括依次设置的激光器（1）、减光镜（2）、显微物镜（3）、针孔（4）、准直透镜（5）、反射镜一（6）、反射镜二（7）、待测元件（8）、会聚透镜（9）、光阑（10）、透镜一（11）、透镜二（12）、图像传感器（13），所述的显微物镜（3）、针孔（4）、准直透镜（5）组成扩束系统；
所述的激光器（1）与所述的减光镜（2）平行设置，所述的扩束系统位于所述的减光镜（2）平行的方向上，所述的反射镜一（6）倾斜45度位于所述的扩束系统之后，所述的反射镜二（7）倾斜135度位于所述的反射镜一（6）的下方，所述的待测元件（8）与所述的反射镜二（7）共光轴且位于所述的反射镜二（7）的后方，所述的会聚透镜（9）平行位于所述的待测元件（8）之后，所述的光阑（10）平行位于所述的会聚透镜（9）的焦点处，所述的透镜一（11）平行位于所述的光阑（10）之后，所述的透镜一（11）的前焦点位于所述的光阑（10）的小孔处，所述的透镜二（12）平行位于所述的透镜一（11）之后，所述的透镜二（12）与透镜一（11）之间的距离为所述的透镜二（12）与透镜一（11）焦距之和，所述的图像传感器平行位于所述的透镜二（12）之后；
该方法具体包括如下步骤：
S1：搭建所述的检测装置，所述的激光器（1）产生光波，所述的光波通过进行光强衰减、光束会聚、小孔滤波、发散光准直、平行光偏折、光波会聚、光波放大后，所述的图像传感器（13）采集只含有待测元件低频波前误差的衍射光斑一；
S2：去除所述的光阑（10），所述的光波通过进行光强衰减、光束会聚、小孔滤波、发散光准直、平行光偏折、光波会聚、光波放大后，所述的图像传感器（13）采集含有待测元件低中高频波前误差的衍射光斑二；
S3：采用改进的扩展奈波尔-泽尼克理论相位恢复方法，对S1采集到的衍射光斑一进行相位恢复，获得待测元件的低频波前相位，具体如下：
S3.1： 输入所述的图像传感器（13）采集的离焦光强图I m、初始离焦位置z0，设置去除交叉项迭代总数K及其初始迭代次数k=1、离焦位置迭代总数N及其初始迭代次数n=1、待测面的大小、离焦量和交叉项的初始值以及泽尼克多项式的项数；
S3.2：计算泽尼克多项式求解方程组的系数矩阵的每个元素，从而得到泽尼克多项式求解方程组的系数矩阵V；
S3.3：采用广义逆矩阵方式求得泽尼克多项式的系数矩阵A；
S3.4：计算交叉项C(x,y)；
S3.5：移除交叉项；
S3.6：判断迭代次数k是否大于K，否，则令k=k+1返回S3.3；
S3.7：判断迭代次数n是否大于N，否，计算离焦量的修正值，并用离焦量的初始值减去修正值，作为下一步迭代的离焦量，令n=n+1,返回S3.2；
S3.8：求得待测元件的低频波前相位；
S4：采用误差减小算法，将S3获得的低频波前相位作为误差减小算法的初始解，通过迭代获得待测元件低中高频的波前相位；
S5：通过S4得到的待测元件低中高频的波前相位，求解得到待测元件的面形误差。
2.根据权利要求1所述的基于相位恢复的宽频段波前误差检测方法，其特征在于，所述的S4具体为：
S4.1：将S3中获得的低频波前相位作为误差减小算法的初始解，通过菲涅尔衍射到衍射光强图采集面；
S4.2：使用所述的衍射光斑二的平方根作为实际振幅替换计算得到的振幅；
S4.3：通过菲涅尔逆衍射从衍射光强图采集面逆衍射到空间域，得到待测面的复振幅估计值；
S4.4：对待测面的复振幅估计值进行支持域的限制，并替换振幅，进行下一次迭代；
S4.5: 重复S4.1到S4.4，达到预设的迭代次数或者误差小于阈值，结束迭代，获得的待测面的复振幅的相位，即为待测元件低中高频的波前相位。
3.根据权利要求1所述的基于相位恢复的宽频段波前误差检测方法，其特征在于，所述的图像传感器（13）为CCD相机。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110702383B (zh) * 2019-10-10 2020-11-20 浙江大学 一种基于扩展旋转对称结构光照明的波前重建装置及方法
CN111473953B (zh) * 2020-04-22 2022-01-11 南京理工大学 一种基于相位恢复的光纤激光模式分解方法及其实现装置
CN112629678B (zh) * 2020-12-01 2021-10-15 浙江大学 一种通用形状无衍射迭代计算的快速相位恢复方法
CN113188671B (zh) * 2021-04-27 2023-04-25 浙江大学 一种基于交叉迭代自动位置矫正的波前检测方法
CN113203485B (zh) * 2021-04-27 2022-08-05 浙江大学 一种通过单次曝光实现轴向相位差波前重建的装置及方法
CN113189101B (zh) * 2021-04-27 2024-01-30 浙江大学 一种带有负反馈调节的无透镜成像方法
CN113740037A (zh) * 2021-09-01 2021-12-03 苏州科技大学 一种大口径望远镜波前误差的检测方法
CN114088352B (zh) * 2021-10-29 2022-09-06 中国科学院深圳先进技术研究院 一种相机全系统的波像差检测系统及检测方法
CN114353694B (zh) * 2022-01-07 2022-12-27 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学自由曲面中低频段像差检测装置及方法
CN115031929B (zh) * 2022-06-13 2023-03-28 浙江大学 一种基于勒让德衍射积分的快速大口径激光波前在位检测方法
CN115031930B (zh) * 2022-06-13 2023-03-28 浙江大学 一种测量频率可调的相位恢复波前检测装置及方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102721477A (zh) * 2012-06-04 2012-10-10 中国科学院光电技术研究所 一种用于相位差波前传感器的离焦量测量方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1212508C (zh) * 2002-06-24 2005-07-27 中国科学院光电技术研究所 一种动态范围和测量精度可调的哈特曼波前传感器
CN100562726C (zh) * 2006-01-16 2009-11-25 中国科学院光电技术研究所 基于扫描振镜的视场偏移哈特曼波前传感器
CN102252763B (zh) * 2011-04-15 2012-09-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学成像系统光学波前的单焦面高精度测试方法
CN102252832B (zh) * 2011-06-24 2012-10-03 北京理工大学 大口径准直系统波前质量检测装置和方法
US9182289B2 (en) * 2011-10-14 2015-11-10 Canon Kabushiki Kaisha Apparatus and method for estimating wavefront parameters
CN103471816A (zh) * 2013-09-24 2013-12-25 上海理工大学 一种多光轴测量渐变焦眼镜的方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102721477A (zh) * 2012-06-04 2012-10-10 中国科学院光电技术研究所 一种用于相位差波前传感器的离焦量测量方法

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