CN110129741A - 一种多元纳米叠层涂层刀具及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种多元纳米叠层涂层刀具及其制备方法，刀具基体材料为高速钢、硬质合金或陶瓷，刀具基体材料表面具有TiBCrC+AlVCN交替分布的多元纳米叠层涂层，该叠层涂层至少含有两个TiBCrC和两个AlVCN单个层，且TiBCrC与AlVCN单个层的厚度小于等于50nm；该涂层的制备方法采用多弧离子镀+中频磁控溅射方式。该刀具表面叠层涂层综合了碳化物涂层、碳氮化物涂层及叠层结构的优点，使得刀具涂层内部残余应力明显较低，涂层与基体及涂层间结合强度较高；同时，涂层具有较高的硬度、良好的物理机械性能、热稳定性、抗氧化性和抗磨损性等。该刀具弥补了单一涂层加工对象的局限性，可广泛应用于不锈钢、钛合金、铝合金等材料的切削加工。

Description

一种多元纳米叠层涂层刀具及其制备方法
技术领域
本发明属于机械切削刀具制造技术领域，特别涉及了一种TiBCrC+AlVCN多元纳米叠层涂层刀具及其制备方法。
背景技术
刀具涂层技术是一种优质的表面改性技术，涂层刀具具有高硬度、良好的耐热性、抗氧化性和抗腐蚀性等优点，对刀具表面进行涂层处理是提高刀具寿命的重要方法之一。近年来，为进一步提高刀具性能，涂层刀具已由单层向多元化和复合化发展；同时，单一涂层在使用过程中受到很大局限性，通过制备叠层复合涂层，既能兼顾单一涂层的优良性能，又能弥补其局限性，从而显著提高涂层刀具性能。
中国发明专利“申请号：201710533151.7”报道了一种AlNbN/AlNbCN叠层涂层刀具及其制备工艺，该刀具综合了AlNbN和AlNbCN涂层刀具优点，具有良好的物理机械性能，可广泛用于钛合金、不锈钢等材料的切削加工。中国发明专利“申请号：2011102143939.2”报道了一种梯度叠层涂层刀具及其制备方法，该叠层涂层刀具综合了ZrN、ZrTiN及梯度叠层结构的特点，具有高的硬度和耐磨性能。中国发明专利“申请号：201810077086.6”报道了一种氮化硅-硬质合金梯度涂层刀具及其制备方法，该梯度叠层涂层采用激光熔覆方法制备，兼顾氮化硅基陶瓷和硬质合金的特点，既具有良好的韧性又具有较高的硬度和耐磨性能。
发明内容
发明目的：本发明提供一种多元纳米叠层涂层刀具及其制备方法。该刀具表面叠层涂层综合了碳化物涂层、碳氮化物涂层及叠层结构的优点，使得刀具涂层内部残余应力明显较低，涂层与基体及涂层间结合强度较高，同时，涂层具有较高的硬度、良好的物理机械性能、热稳定性、抗氧化性和抗磨损性等。该刀具弥补了单一涂层加工对象的局限性，可广泛应用于不锈钢、钛合金、铝合金等材料的切削加工。
技术方案：本发明的一种多元纳米叠层涂层刀具，刀具基体材料为高速钢、硬质合金或陶瓷，基体材料表面具有TiBCrC+AlVCN交替分布的多元纳米叠层涂层。该叠层涂层至少含有两层TiBCrC和两层AlVCN单个层，且TiBCrC与AlVCN单个层的厚度小于等于50nm。TiBCrC涂层中Ti元素原子百分比在30-40％，B元素原子百分比在5-20％，Cr元素原子百分比在10-40％，C元素原子百分比在20-40％，所述Ti、B、Cr、C元素原子百分比之和为1；AlVCN涂层中Al元素原子百分比在30-40％，V元素原子百分比在5-15％，C元素原子百分比在20-40％，N元素原子百分比在20-40％，所述Al、V、C、N元素原子百分比之和为1。
本发明的一种多元纳米叠层涂层刀具的制备方法，采用多弧离子镀+中频磁控溅射共沉积的方法在刀具表面制备TiBCrC与AlVCN交替分布的多元纳米叠层涂层。其具体制备方法，包括以下步骤：
(1)前处理：将刀具基体材料研磨抛光，依次放入酒精和丙酮中超声清洗各20-30min，去除表面油渍污染物，采用真空干燥箱充分干燥后迅速放入镀膜机真空室，真空室本底真空为7.0×10-3-8.0×10-3Pa，加热至200-300℃，保温时间30-40min；
(2)离子清洗：通入Ar2，其压力为0.5-2.0Pa，开启偏压电源，电压700-1200V，占空比0.3，辉光放电清洗20-30min；偏压降低至300-800V，开启离子源离子清洗20-30min，开启电弧源Ti靶，偏压400-600V，靶电流40-80A，离子轰击Ti靶0.5-1min；
(3)沉积TiBCrC层：调整工作气压为0.5-2.0Pa，偏压100-200V，调整Ti靶电流60-120A；开启BCrC复合靶电弧电源，靶电流调至60-80A，沉积TiBCrC涂层5-10min；
(4)沉积AlVCN层：关闭Ti靶和BCrC复合靶，开启N2，调整N2流量为100-300sccm，调整工作气压为0.5-1.0Pa，偏压100-150V，开启AlVC复合靶电弧电源，靶电流调至60-80A，沉积AlVCN涂层5-10min；
(5)沉积TiBCrC+AlVCN交替叠层涂层：重复以上步骤(3)和(4)，交替沉积TiBCrC+AlVCN叠层涂层；
(6)后处理：关闭所有靶材，关闭偏压电源及气体源，保温30-60min，涂层结束。
其中，TiBCrC+AlVCN交替叠层涂层总层数为4-100层。
有益效果：1.本发明的叠层涂层刀具具有较高的硬度、良好的热稳定性、抗氧化性等，可显著提高提出刀具的切削性能；2.TiBCrC+AlVCN叠层涂层克服了单一涂层的局限性，增加了涂层刀具适用范围，纳米涂层能够显著提高涂层与基体及涂层间结合强度，减少涂层内应力；3.该刀具可广泛应用于不锈钢、钛合金、铝合金等材料的切削加工。
附图说明
图1为本发明的多元纳米叠层涂层刀具结构示意图，其中：1为刀具基体材料，2为TiBCrC层，3为AlVCN层，4为TiBCrC+AlVCN交替叠层硬涂层。
具体实施方式
实例1：本发明的一种多元纳米叠层涂层刀具，刀具基体材料为高速钢、硬质合金或陶瓷，其特征在于：刀具基体材料表面具有TiBCrC+AlVCN交替分布的多元纳米叠层涂层。该叠层涂层至少含有两层TiBCrC和两层AlVCN单个层，且TiBCrC与AlVCN单个层的厚度小于等于50nm。TiBCrC涂层中Ti元素原子百分比在30％，B元素原子百分比在20％，Cr元素原子百分比在30％，C元素原子百分比在20％，所述Ti、B、Cr、C元素原子百分比之和为1；AlVCN涂层中Al元素原子百分比在30％，V元素原子百分比在10％，C元素原子百分比在30％，N元素原子百分比在30％，所述Al、V、C、N元素原子百分比之和为1。
本发明的一种多元纳米叠层涂层刀具的制备方法，其特征在于采用多弧离子镀+中频磁控溅射共沉积的方法在刀具表面制备TiBCrC与AlVCN交替分布的多元纳米叠层涂层。其具体制备方法，包括以下步骤：
(1)前处理：将刀具基体材料研磨抛光，依次放入酒精和丙酮中超声清洗各30min，去除表面油渍污染物，采用真空干燥箱充分干燥后迅速放入镀膜机真空室，真空室本底真空为8.0×10-3Pa，加热至300℃，保温时间30min；
(2)离子清洗：通入Ar2，其压力为2.0Pa，开启偏压电源，电压1000V，占空比0.3，辉光放电清洗30min；偏压降低至600V，开启离子源离子清洗25min，开启电弧源Ti靶，偏压500V，靶电流60A，离子轰击Ti靶1min；
(3)沉积TiBCrC层：调整工作气压为1.5Pa，偏压200V，调整Ti靶电流100A；开启BCrC复合靶电弧电源，靶电流调至80A，沉积TiBCrC涂层8min；
(4)沉积AlVCN层：关闭Ti靶和BCrC复合靶，开启N2，调整N2流量为300sccm，调整工作气压为1.0Pa，偏压150V，开启AlVC复合靶电弧电源，靶电流调至80A，沉积AlVCN涂层8min；
(5)沉积TiBCrC+AlVCN交替叠层涂层：重复以上步骤(3)和(4)，交替沉积TiBCrC+AlVCN叠层涂层，使得总层数为20层；
(6)后处理：关闭所有靶材，关闭偏压电源及气体源，保温60min，涂层结束。
实例2：
本发明的一种多元纳米叠层涂层刀具，刀具基体材料为高速钢、硬质合金或陶瓷，其特征在于：刀具基体材料表面具有TiBCrC+AlVCN交替分布的多元纳米叠层涂层。该叠层涂层至少含有两层TiBCrC和两层AlVCN单个层，且TiBCrC与AlVCN单个层的厚度小于等于50nm。TiBCrC涂层中Ti元素原子百分比在40％，B元素原子百分比在10％，Cr元素原子百分比在20％，C元素原子百分比在30％，所述Ti、B、Cr、C元素原子百分比之和为1；AlVCN涂层中Al元素原子百分比在35％，V元素原子百分比在15％，C元素原子百分比在20％，N元素原子百分比在30％，所述Al、V、C、N元素原子百分比之和为1。
本发明的一种多元纳米叠层涂层刀具的制备方法，其特征在于采用多弧离子镀+中频磁控溅射共沉积的方法在刀具表面制备TiBCrC与AlVCN交替分布的多元纳米叠层涂层。其具体制备方法，包括以下步骤：
(1)前处理：将刀具基体材料研磨抛光，依次放入酒精和丙酮中超声清洗各20min，去除表面油渍污染物，采用真空干燥箱充分干燥后迅速放入镀膜机真空室，真空室本底真空为7.0×10-3Pa，加热至220℃，保温时间30min；
(2)离子清洗：通入Ar2，其压力为1.0Pa，开启偏压电源，电压800V，占空比0.3，辉光放电清洗20min；偏压降低至500V，开启离子源离子清洗20min，开启电弧源Ti靶，偏压400V，靶电流80A，离子轰击Ti靶0.5min；
(3)沉积TiBCrC层：调整工作气压为1.0Pa，偏压150V，调整Ti靶电流80A；开启BCrC复合靶电弧电源，靶电流调至60A，沉积TiBCrC涂层5min；
(4)沉积AlVCN层：关闭Ti靶和BCrC复合靶，开启N2，调整N2流量为150sccm，调整工作气压为0.5Pa，偏压120V，开启AlVC复合靶电弧电源，靶电流调至80A，沉积AlVCN涂层5min；
(5)沉积TiBCrC+AlVCN交替叠层涂层：重复以上步骤(3)和(4)，交替沉积TiBCrC+AlVCN叠层涂层，使得总层数为100层；
(6)后处理：关闭所有靶材，关闭偏压电源及气体源，保温30min，涂层结束。

Claims (5)

1.一种多元纳米叠层涂层刀具，刀具基体材料为高速钢、硬质合金或陶瓷，其特征在于：刀具基体材料表面具有TiBCrC+AlVCN交替分布的多元纳米叠层涂层。该叠层涂层至少含有两层TiBCrC和两层AlVCN单个层，且TiBCrC与AlVCN单个层的厚度小于等于50nm。
2.根据权利要求1所述的多元纳米叠层涂层刀具，其特征在于：所述TiBCrC涂层中Ti元素原子百分比在30-40％，B元素原子百分比在5-20％，Cr元素原子百分比在10-40％，C元素原子百分比在20-40％，所述Ti、B、Cr、C元素原子百分比之和为1；AlVCN涂层中Al元素原子百分比在30-40％，V元素原子百分比在5-15％，C元素原子百分比在20-40％，N元素原子百分比在20-40％，所述Al、V、C、N元素原子百分比之和为1。
3.如权利要求1或2所述的多元纳米叠层涂层刀具的制备方法，其特征在于：采用多弧离子镀+中频磁控溅射共沉积的方法在刀具表面制备TiBCrC与AlVCN交替分布的多元纳米叠层涂层。
4.根据权利要求3所述的多元纳米叠层涂层刀具的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)前处理：将刀具基体材料研磨抛光，依次放入酒精和丙酮中超声清洗各20-30min，去除表面油渍污染物，采用真空干燥箱充分干燥后迅速放入镀膜机真空室，真空室本底真空为7.0×10-3-8.0×10-3Pa，加热至200-300℃，保温时间30-40min；
(2)离子清洗：通入Ar2，其压力为0.5-2.0Pa，开启偏压电源，电压700-1200V，占空比0.3，辉光放电清洗20-30min；偏压降低至300-800V，开启离子源离子清洗20-30min，开启电弧源Ti靶，偏压400-600V，靶电流40-80A，离子轰击Ti靶0.5-1min；
(3)沉积TiBCrC层：调整工作气压为0.5-2.0Pa，偏压100-200V，调整Ti靶电流60-120A；开启BCrC复合靶电弧电源，靶电流调至60-80A，沉积TiBCrC涂层5-10min；
(4)沉积AlVCN层：关闭Ti靶和BCrC复合靶，开启N2，调整N2流量为100-300sccm，调整工作气压为0.5-1.0Pa，偏压100-150V，开启AlVC复合靶电弧电源，靶电流调至60-80A，沉积AlVCN涂层5-10min；
(5)沉积TiBCrC+AlVCN交替叠层涂层：重复以上步骤(3)和(4)，交替沉积TiBCrC+AlVCN叠层涂层；
(6)后处理：关闭所有靶材，关闭偏压电源及气体源，保温30-60min，涂层结束。
5.根据权利要求4所述的一种多元纳米叠层涂层刀具的制备方法，其特征在于：步骤(5)中，TiBCrC+AlVCN交替叠层涂层总层数为4-100层一种。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112695280A (zh) * 2020-11-26 2021-04-23 东南大学 一种高温自润滑叠层涂层刀具及其制备方法
CN112695281A (zh) * 2020-12-02 2021-04-23 东南大学 具有织构与自适应润滑涂层的切削刀具及其制备方法
CN112746241A (zh) * 2020-12-15 2021-05-04 东南大学 一种高温自润滑轴承及其制备方法
CN112853261A (zh) * 2020-12-15 2021-05-28 东南大学 一种温度自适应润滑轴承及其制备方法
CN113274559A (zh) * 2021-05-16 2021-08-20 王燕 一种检验科用抑菌注射器针头及其表面处理方法
CN113817985A (zh) * 2021-11-24 2021-12-21 武汉中维创发工业研究院有限公司 纳米多层复合涂层及其制备方法和应用

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1651596A (zh) * 2004-02-02 2005-08-10 株式会社神户制钢所 硬质叠层被膜、其制造方法及成膜装置
JP2008087114A (ja) * 2006-10-02 2008-04-17 Mitsubishi Materials Corp 耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
CN104831240A (zh) * 2015-04-09 2015-08-12 北京航空航天大学 一种制备纳米多层硬质涂层的装置和方法
CN108300993A (zh) * 2018-01-26 2018-07-20 东南大学 氮化硅-硬质合金梯度涂层刀具及其制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1651596A (zh) * 2004-02-02 2005-08-10 株式会社神户制钢所 硬质叠层被膜、其制造方法及成膜装置
JP2008087114A (ja) * 2006-10-02 2008-04-17 Mitsubishi Materials Corp 耐熱合金の高速重切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
CN104831240A (zh) * 2015-04-09 2015-08-12 北京航空航天大学 一种制备纳米多层硬质涂层的装置和方法
CN108300993A (zh) * 2018-01-26 2018-07-20 东南大学 氮化硅-硬质合金梯度涂层刀具及其制备方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112695280A (zh) * 2020-11-26 2021-04-23 东南大学 一种高温自润滑叠层涂层刀具及其制备方法
CN112695281A (zh) * 2020-12-02 2021-04-23 东南大学 具有织构与自适应润滑涂层的切削刀具及其制备方法
CN112746241A (zh) * 2020-12-15 2021-05-04 东南大学 一种高温自润滑轴承及其制备方法
CN112853261A (zh) * 2020-12-15 2021-05-28 东南大学 一种温度自适应润滑轴承及其制备方法
CN113274559A (zh) * 2021-05-16 2021-08-20 王燕 一种检验科用抑菌注射器针头及其表面处理方法
CN113817985A (zh) * 2021-11-24 2021-12-21 武汉中维创发工业研究院有限公司 纳米多层复合涂层及其制备方法和应用
CN113817985B (zh) * 2021-11-24 2022-03-18 武汉中维创发工业研究院有限公司 纳米多层复合涂层及其制备方法和应用

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