CN110124545A - 一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法 - Google Patents

一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法,包括混酸箱、酸液回路控制机构和计算机控制显示系统;混酸箱顶部设置两混酸进口,其中一混酸进口与第一酸液配制管路相连,第一酸液配制管路与一个以上并联设置的酸液抽取管路相连,各酸液抽取管路另一端与装有不同酸液的原酸桶相连;另一混酸进口通过第二酸液配制管路与混酸输送管路相连;混酸箱下部设置有出液口,出液口通过出液管路与混酸输送管路相连;混酸输送管路另一端与整腔化学缓冲抛光设备或零部件化学缓冲抛光设备相连;酸液回路控制机构设置在各管路上,在计算机控制显示系统的控制下,将对各管路中的酸液进行控制。本发明可以广泛应用于加速器制造领域。

Description

一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法
技术领域
本发明涉及加速器制造领域,特别是涉及一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法。
背景技术
超导腔的前期零部件加工成型焊接前与后期的整腔处理都离不开表面化学缓冲抛光,目的是通过化学抛光除去材料表面氧化层、杂质和轻微的表面缺损。为了实现化学缓冲抛光就需要对不同品种、不同浓度的酸液按一定比例进行配制。由于所使用的酸具有剧毒和强腐蚀性,同时在酸液配制过程中会有高危的有毒气体挥发,所以需要研制一套安全可靠的全自动酸液配制设备,以解决人为操作可能造成的危险。
发明内容
针对上述问题,本发明的目的是提供一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法,该设备能够为超导腔的整腔化学抛光设备或零部件表面化学抛光设备提供配制好的混合酸液,满足上述设备的工作需要,使之能够有效正常的运行。酸液配制设备的工作全程由计算机控制而完成,它必须具备很强的抗腐蚀性、高度的安全性、可靠性、可控性和易操作性。酸液配制设备可以通过对计算机相关参数的输入,而后实现酸液的自动精确配制,满足相应化学抛光设备的需要。
为实现上述目的,本发明的第一个方面,是提供一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其包括混酸箱、酸液回路控制机构和计算机控制显示系统;所述混酸箱顶部设置有第一混酸进口和第二混酸进口,所述第一混酸进口与第一酸液配制管路相连,所述第一酸液配制管路另一端与一个以上并联设置的酸液抽取管路相连,各所述酸液抽取管路另一端与装有不同酸液的原酸桶相连;所述第二混酸进口通过第二酸液配制管路与混酸输送管路相连;所述混酸箱下部一侧设置有出液口,所述出液口通过出液管路与混酸输送管路相连;所述混酸输送管路另一端与整腔化学缓冲抛光设备或零部件化学缓冲抛光设备相连;所述酸液回路控制机构设置在各管路上,在所述计算机控制显示系统的控制下,将对各管路中的酸液进行控制。
进一步的,所述酸液回路控制机构包括进酸阀控机构和混合酸液阀控机构;所述进酸阀控机构设置在各所述酸液抽取管路上,用于对各所述酸液抽取管路上的不同酸液进行抽取和控制;所述混合酸液阀控机构设置在所述第一、第二酸液配制管路、出液管路以及混酸输送管路上,用于对混合酸液进行配制或输送;所述进酸阀控机构和混合酸液阀控机构分别与所述计算机控制显示系统相连,由所述计算机控制显示系统控制。
进一步的,所述进酸阀控机构包括气动隔膜泵、第一隔断阀、缓冲槽、流量计和第二隔断阀;所述气动隔膜泵用于将所述原酸桶内的酸液抽取到所述缓冲槽内;所述缓冲槽的不同液位高度设置有多个所述液位计,各所述液位计用于实时检测所述缓冲槽内的液位信息,并发送到所述计算机控制显示系统;所述流量计用于对所述缓冲槽流出的酸液流量进行检测,并发送到所述计算机控制显示系统;所述第一隔断阀和第二隔断阀用于当酸液达到所需配制液量后关闭相应的酸液抽取管路。
进一步的,所述计算机控制显示系统内设置有酸液自动配制模块,所述酸液自动配制模块包括参数设置模块、酸液抽取模块、酸液计量模块、酸液搅拌模块、酸液输送模块、状态监测模块和声光报警模块;所述参数设置模块用于根据对所需配制混合酸液的各类酸液容量进行参数输入;所述酸液抽取模块用于控制相应酸液抽取管路上的进酸阀控和气动隔膜泵机构,以保持所述缓冲槽液位高于低液位;所述酸液计量模块用于读取所述流量计的信号,判断各所述缓冲槽输出的酸液容量是否与酸液配方的预设容量匹配,当达到预设容量时,关闭相应酸液抽取管路上的隔断阀停止供酸,当所有酸液均达到预设容量值时,关闭所述进酸阀;所述酸液搅拌模块用于对混合酸液阀控机构、输液泵进行控制实现对混合酸液的混合搅拌,当达到设定的搅拌时间参数时,停止搅拌;所述酸液输送模块用于对混合酸液阀控机构及输液泵进行控制,当达到所需混合酸液容量输送时,停止混合酸液输送;所述状态监测模块用于对设备状态、危险气、液体泄漏进行监测,当设备故障或异常危险气体达到阈值或液体泄漏时发送报警信号到所述声光报警模块进行报警。
进一步的,所述混合酸液阀控机构包括进酸阀、混酸阀、出液阀、输送泵和混合酸液输送阀;所述进酸阀设置在所述第一酸液配制管路上,用于对进入所述混酸箱的混合酸液进行控制;所述混酸阀设置在所述第二酸液配制管路上,所述出液阀和输送泵设置在所述出液管路上,所述混合酸液输送阀设置在所述混合酸液输送管路上,所述混酸阀、出液阀、输送泵和混合酸液输送阀共同实现酸液混合配制或输送;所述进酸阀、混酸阀、出液阀、输送泵和混合酸液输送阀均与所述计算机控制显示系统相连,由所述计算机控制显示系统控制。
进一步的,所述混酸箱上设置有用于防止混酸箱酸液溢出的液位计,所述液位计与所述计算机控制显示系统相连。
进一步的,所述设备由不锈钢骨架支撑并在外围包裹聚丙烯防酸板的外壳。
进一步的,所述设备还包括有毒危险气体监控报警器,所述有毒危险气体监控报警器与所述计算机控制显示系统相连。
本发明的另一个方面,是提供一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制方法,其包括以下步骤:
设置一超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,该设备包括混酸箱、酸液回路控制机构和计算机控制显示系统,所述酸液回路控制机构包括进酸阀控机构和混合酸液阀控机构;所述进酸阀控机构包括气动隔膜泵、第一隔断阀、缓冲槽、流量计和第二隔断阀;所述混合酸液阀控机构包括进酸阀、混酸阀、出液阀、输送泵和混合酸液输送阀;
将装有不同酸液的原酸桶推入相应的工位,连接相应的酸液抽取管路到原酸桶,并将酸液配制参数输入到计算机控制显示系统;
启动设备后,计算机控制显示系统发送控制指令到相应的酸液抽取管路上的气动隔膜泵,气动隔膜泵将原酸桶中的酸液抽至对应的缓冲槽内;
计算机控制显示系统根据实时读取的液位计的检测信号判断缓冲槽内酸液是否达到高液位,当缓冲槽酸液达到高液位后控制气动隔膜泵停止工作,同时打开相应酸液抽取管路上的隔断阀,使缓冲槽内酸液流向混酸箱,当缓冲槽液位到达低液位时控制气动隔膜泵启动,抽取酸液到缓冲槽直至高液位,反复以往直至配液完毕;
当需要配制不同混合酸液时,则采用不同种相应的酸液进行上述操作;
酸液配制过程中,打开混酸阀、出液阀和输送泵,关闭混合酸液输送阀,对混酸箱内的进行搅拌;搅拌完成后,关闭混酸阀,打开出液阀、输液泵、混合酸液输送阀,使得搅拌好的混合酸液输送到整腔化学缓冲抛光设备或零部件化学缓冲抛光设备。
进一步的,该方法还包括以下步骤:
整个酸液配制过程中,计算机控制显示系统进行实时监督控制,当设备故障、酸液泄漏或危险气体达到阈值时,做出声光报警或停机的决策,并指出故障位置和属性。
本发明由于采取以上技术方案,其具有以下优点:1、本发明设置的进酸阀控机构和混合酸液阀控机构能够在计算机控制显示系统控制下,实现对不同种类、不同酸液的全自动配制,提高了混合酸液配制效率。2、本发明设置的进酸阀控机构设置有液位计和流量计,能够对酸液配制过程中各种酸液的实际容量进行有效监测,保证了混合酸液配制精度。3、本发明混合酸液阀控机构中设置的混酸阀、出液阀、输液泵和混合酸液输送阀能够相互配合实现混合酸液的搅拌和输送,使得进入混酸箱内的不同酸液能够充分混合。4、本发明计算机控制显示系统中设置有状态监测模块,能够根据对设备内各部件的状态进行监测,提高了设备的安全性,避免了人为操作可能带来的危险。因此,本发明可以广泛应用于酸液配制领域。
附图说明
图1是本发明超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备的工艺结构示意图;
图2是本发明超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备工作流程图;
图中各附图标记如下:1、原酸桶;2、气动隔膜泵;3、第一隔断阀;4、液位计;5、缓冲槽;6、流量计;7、第二隔断阀;8、进酸阀;9、出液阀;10、输液泵;11、混酸箱;12、混酸阀;13、混合酸液输送阀;14、液位计。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细的描述。
如图1所示,本发明提供的一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其包括混酸箱11、酸液回路控制机构和计算机控制显示系统(图中未示出)。其中,混酸箱11顶部设置有第一混酸进口和第二混酸进口,第一混酸进口与第一酸液配制管路相连,第一酸液配制管路另一端与一个以上并联设置的酸液抽取管路相连,各酸液抽取管路另一端与装有不同酸液的原酸桶1相连;第二混酸进口通过第二酸液配制管路与混酸输送管路相连;混酸箱11下部一侧设置有出液口,出液口通过出液管路与混酸输送管路相连;混酸输送管路另一端与整腔化学缓冲抛光设备或零部件化学缓冲抛光设备相连;酸液回路控制机构设置在各管路上,在计算机控制显示系统的控制下,对各管路中的原酸或混合酸液进行控制。
优选的,酸液回路控制机构包括进酸阀控机构和混合酸液阀控机构。其中,进酸阀控机构设置在各酸液抽取管路上,用于对各酸液抽取管路上的不同种类的原酸进行控制;混合酸液阀控机构设置在第一、第二酸液配制管路、出液管路以及混酸输送管路上,用于对进入和流出混酸箱11的混合酸液进行混合配制或输送;进酸阀控机构和混合酸液阀控机构分别与计算机控制显示系统相连,由计算机控制显示系统控制。
优选的,进酸阀控机构包括依次设置在酸液抽取管路上的气动隔膜泵2、第一隔断阀3、缓冲槽5、流量计6和第二隔断阀7。其中,气动隔膜泵2用于将原酸桶1内的酸液抽取到缓冲槽5内,缓冲槽5的不同液位高度上分别设置有一液位计4,各液位计4用于实时检测缓冲槽5内的液位信息,并发送到计算机控制显示系统;流量计6用于对缓冲槽5出口处的液体流量进行检测,并发送到计算机控制显示系统;第一隔断阀3和第二隔断阀7用于某种酸液达到配制液量后关闭相应的酸液抽取管路。
优选的,混合酸液阀控机构包括进酸阀8、混酸阀12、出液阀9、输送泵10和混合酸液输送阀13,其中,进酸阀8设置在第一酸液配制管路上,用于对进入混酸箱11的酸液进行控制;混酸阀12设置在第二混酸输出管路上,出液阀9和输送泵10设置在出液管路上,混合酸液输送阀13设置在混合酸液输送管路上,混酸阀12、出液阀9、输送泵10和混合酸液输送阀13共同实现酸液混合配制或输送,具体的,打开混酸阀12、出液阀9和输送泵10,关闭混合酸液输送阀13实现酸液的循环搅拌,实现混酸配制;关闭混酸阀12,打开出液阀9、输液泵10、混合酸液输送阀13、配制好的酸液向整腔或零部件抛光设备输送,以避免输送的酸液返回到混酸箱内。进酸阀8、混酸阀12、出液阀9、输送泵10和混合酸液输送阀13均与计算机控制显示系统相连,由计算机控制显示系统控制。
优选的,该设备由不锈钢骨架支撑并在外围包裹聚丙烯防酸板的外壳。
优选的,该设备还设置有毒危险气体监控报警器,该有毒危险气体监控报警器实时监测有毒气体浓度,并将监测数据发送到计算机控制显示系统。
优选的,混酸箱上设置有高液位计14,高液位计14用于防止混酸箱酸液溢出,该液位计与计算机控制显示系统相连。
优选的,计算机控制显示系统内设置有酸液自动配制模块,该酸液自动配制模块包括参数设置模块、酸液抽取模块、酸液计量模块、酸液搅拌模块、酸液输送模块、声光报警模块和状态监测模块。其中,参数设置模块用于对所需配制混合酸液的各类酸液容量进行参数输入;酸液抽取模块用于控制相应酸液抽取管路上的气动隔膜泵2启动,并在酸液配制过程中实时读取液位计4的检测信号,以保持缓冲槽5内酸液高于低液位;酸液计量模块用于根据各酸液抽取管路上流量计6的信号,判断各缓冲槽5输出的酸液容量是否达到相应酸液参数预设值,当达到预设值时,发出指令关闭相应酸液抽取管路上的隔断阀,使得该液体停止进入混酸箱11,当所有酸液均达到容量预设值时,关闭进酸阀8同时向声光报警模块发送信号;酸液搅拌模块用于对混酸阀12、出液阀9、输液泵10和混合酸液输送阀13进行控制实现对混合酸液的混合搅拌,当达到设定的搅拌时间参数时,关闭输送泵10及各阀门停止搅拌;酸液输送模块用于对混酸阀12、出液阀9、输液泵10和混合酸液输送阀13进行控制实现对混合酸液的输送,当达到所需混酸容量时,关闭输送泵10、出液阀9和混合酸液输送阀13,停止混合酸液输送;状态监测模块用于对设备状态进行监测,当设备故障、酸液泄漏或危险气体达到阈值时发送报警信号到声光报警模块进行报警。
如图2所示,基于上述设备,本发明还提供一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制方法,包括以下步骤:
首先,将装有不同酸液的原酸桶1推入相应的工位,连接相应的酸液抽取管道到原酸桶1,并将酸液配制参数输入计算机控制显示系统;
启动设备后,计算机控制显示系统发送控制指令到相应的酸液抽取管道上的气动隔膜泵2,气动隔膜泵2会将原酸桶1中的酸液抽至对应的缓冲槽5内;
计算机控制显示系统根据实时读取的液位计4的检测信号判断缓冲槽5内酸液是否达到高液位,当缓冲槽5酸液达到高液位后控制气动隔膜泵2停止工作,缓冲槽5内酸流向混酸箱11,当缓冲槽5液位达到低液位时控制气动隔膜泵2启动,抽取酸液到缓冲槽5直至高液位,反复以往直至配液完毕;
当需要配制不同混合酸液时,则采用不同种相应的酸液进行上述操作;
上述酸液配制过程中,启动输液泵10对混酸箱11内的酸液进行搅拌,搅拌好的混合酸液可以输送到整腔化学缓冲抛光设备或零部件化学缓冲抛光设备。
整个酸液配制过程中,计算机控制显示系统进行实时监督控制,如果在酸液配制中出现问题,计算机会自动判断,做出给出声光报警信号或停机的决策,并在计算机屏幕中指出故障位置和属性。设备运行时计算机自动决策内容,如下表1所示。
表1设备运行时计算机自动决策内容表
上表中,计算机控制显示系统的具体决策方法介绍如下:
①液体泄漏:根据有毒危险气体监控报警器的监测结果,判断是否发生液体泄漏,当发生液体泄漏时则控制设备报警并停机,其中,侦测二级报警和侦测一级报警为传感器侦测到有毒挥发性气体HF和NO2的阈值报警等级;
②空桶:当液位计4为低液位且流量计6在设定流量内没有读数,也就是抽不到酸液就判定为空桶;
③缓冲槽液位高低:通过缓冲槽5上设置的液位计4进行判断;
④混酸箱液位高及混酸箱液位传感器异常:通过对混酸箱11上的液位计14的检测信号实现;
⑤气动阀没打开或工作气体压力低:通过对气动阀或气路压力检测实现;
⑥配液混酸完成:配酸完成是表示已将酸液按一定的比例配制完毕,酸液在混酸槽内经过搅拌,等待混合酸液的输送,根据设定的混酸搅拌时间判断。
⑦配酸槽到工作酸槽送液完成:混酸槽到工作酸槽输送完成指的是往整腔抛光设备或零部件抛光设备相应酸槽输送酸液完毕,由对应设备给出信号。
设备研制成功后,通过现场安装调试和在线运行,现已完成多次化学缓冲抛光的酸液配制。通过一段时间设备的运行证明,该设备完全满足了酸液配制的需要,对超导腔的制造起到了重要作用。
上述各实施例仅用于说明本发明,其中各部件的结构、连接方式和制作工艺等都是可以有所变化的,凡是在本发明技术方案的基础上进行的等同变换和改进,均不应排除在本发明的保护范围之外。

Claims (10)

1.一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其特征在于:其包括混酸箱、酸液回路控制机构和计算机控制显示系统;
所述混酸箱顶部设置有第一混酸进口和第二混酸进口,
所述第一混酸进口与第一酸液配制管路相连,所述第一酸液配制管路另一端与一个以上并联设置的酸液抽取管路相连,各所述酸液抽取管路另一端与装有不同酸液的原酸桶相连;
所述第二混酸进口通过第二酸液配制管路与混酸输送管路相连;
所述混酸箱下部一侧设置有出液口,所述出液口通过出液管路与混酸输送管路相连;
所述混酸输送管路另一端与整腔化学缓冲抛光设备或零部件化学缓冲抛光设备相连;
所述酸液回路控制机构设置在各管路上,在所述计算机控制显示系统的控制下,对各管路中的酸液进行控制。
2.如权利要求1所述的一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其特征在于:所述酸液回路控制机构包括进酸阀控机构和混合酸液阀控机构;
所述进酸阀控机构设置在各所述酸液抽取管路上,用于对各所述酸液抽取管路上的不同酸液进行抽取和控制;
所述混合酸液阀控机构设置在所述第一、第二酸液配制管路、出液管路以及混酸输送管路上,用于对混合酸液进行配制或输送;
所述进酸阀控机构和混合酸液阀控机构分别与所述计算机控制显示系统相连,由所述计算机控制显示系统控制。
3.如权利要求2所述的一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其特征在于:所述进酸阀控机构包括气动隔膜泵、第一隔断阀、缓冲槽、流量计和第二隔断阀;
所述气动隔膜泵用于将所述原酸桶内的酸液抽取到所述缓冲槽内;
所述缓冲槽的不同液位高度设置有多个所述液位计,各所述液位计用于实时检测所述缓冲槽内的液位信息,并发送到所述计算机控制显示系统;
所述流量计用于对所述缓冲槽流出的酸液流量进行检测,并发送到所述计算机控制显示系统;
所述第一隔断阀和第二隔断阀用于当酸液达到所需配制液量后关闭相应的酸液抽取管路。
4.如权利要求3所述的一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其特征在于:所述计算机控制显示系统内设置有酸液自动配制模块,所述酸液自动配制模块包括参数设置模块、酸液抽取模块、酸液计量模块、酸液搅拌模块、酸液输送模块、状态监测模块和声光报警模块;
所述参数设置模块用于根据对所需配制混合酸液的各类酸液容量进行参数输入;
所述酸液抽取模块用于控制相应酸液抽取管路上的进酸阀控机构,以保持所述缓冲槽液位高于低液位;
所述酸液计量模块用于读取所述流量计的信号,判断各所述缓冲槽输出的酸液容量是否与酸液配方的预设容量匹配,当达到预设容量时,关闭相应酸液抽取管路上的气动隔膜泵和隔断阀停止抽酸,当所有酸液均达到预设容量值时,关闭所述进酸阀;
所述酸液搅拌模块用于对混合酸液阀控机构进行控制实现对混合酸液的混合搅拌,当达到设定的搅拌时间参数时,停止搅拌;
所述酸液输送模块用于对混合酸液输送阀控机构进行控制,当达到所需混酸容量时,停止混合酸液输送;
所述状态监测模块用于对设备状态、危险气、液体泄漏进行监测,当设备故障或异常危险气体达到阈值或液体泄漏时发送报警信号到所述声光报警模块进行报警。
5.如权利要求2所述的一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其特征在于:所述混合酸液阀控机构包括进酸阀、混酸阀、出液阀、输送泵和混合酸液输送阀;
所述进酸阀设置在所述第一酸液配制管路上,用于对进入所述混酸箱的酸液进行控制;
所述混酸阀设置在所述第二酸液配制管路上,所述出液阀和输送泵设置在所述出液管路上,所述混合酸液输送阀设置在所述混合酸液输送管路上,所述混酸阀、出液阀、输送泵和混合酸液输送阀共同实现酸液混合配制或输送;
所述进酸阀、混酸阀、出液阀、输送泵和混合酸液输送阀均与所述计算机控制显示系统相连,由所述计算机控制显示系统控制。
6.如权利要求1所述的一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其特征在于:所述混酸箱上设置有用于防止混酸箱酸液溢出的液位计,所述液位计与所述计算机控制显示系统相连。
7.如权利要求1所述的一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其特征在于:所述设备由不锈钢骨架支撑并在外围包裹聚丙烯防酸板的外壳。
8.如权利要求1所述的一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,其特征在于:所述设备还包括有毒危险气体监控报警器,所述有毒危险气体监控报警器与所述计算机控制显示系统相连。
9.一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制方法,其特征在于包括以下步骤:
设置一超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备,该设备包括混酸箱、酸液回路控制机构和计算机控制显示系统,所述酸液回路控制机构包括进酸阀控机构和混合酸液阀控机构;所述进酸阀控机构包括气动隔膜泵、第一隔断阀、缓冲槽、流量计和第二隔断阀;所述混合酸液阀控机构包括进酸阀、混酸阀、出液阀、输送泵和混合酸液输送阀;
将装有不同酸液的原酸桶推入相应的工位,连接相应的酸液抽取管路到原酸桶,并将酸液配制参数输入到计算机控制显示系统;
启动设备后,计算机控制显示系统发送控制指令到相应的酸液抽取管路上的气动隔膜泵,气动隔膜泵将原酸桶中的酸液抽至对应的缓冲槽内;
计算机控制显示系统根据实时读取的液位计的检测信号判断缓冲槽内酸液是否达到高液位,当缓冲槽酸液达到高液位后控制气动隔膜泵停止工作,同时打开相应酸液抽取管路上的隔断阀,使缓冲槽内酸液流向混酸箱,当缓冲槽液位过低时控制气动隔膜泵启动,抽取酸液到缓冲槽直至高液位,反复以往直至配液完毕;
当需要配制不同混合酸液时,则采用不同种相应的酸液进行上述操作;
酸液配制过程中,打开混酸阀、出液阀和输送泵,关闭混合酸液输送阀,对混酸箱内的进行搅拌;搅拌完成后,关闭混酸阀,打开出液阀、输液泵、混合酸液输送阀,使得搅拌好的混合酸液输送到整腔化学缓冲抛光设备或零部件化学缓冲抛光设备。
10.如权利要求9所述的一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制方法,其特征在于:该方法还包括以下步骤:
整个酸液配制过程中,计算机控制显示系统进行实时监督控制,当设备故障、酸液泄漏或危险气体达到阈值时,做出声光报警或停机的决策,并指出故障位置和属性。
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