CN209415043U - 一种废液自动回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型创造提供了一种废液自动回收装置，配合蚀刻设备使用，包括依次连接的回收通道、气动阀、中间收集罐、气动隔膜泵、输送管道和收集罐，且气动阀的启动控制端通过第一电磁阀与第一压空管道密封连通，气动隔膜泵的气动控制端通过第二电磁阀与第二压空管道密封连通，中间收集罐内设有液位传感器；液位传感器、第一电磁阀和第二电磁阀均与控制器信号连接。本实用新型创造所述的废液自动回收装置，避免了作业人员直接接触腐蚀液，利用气动隔膜泵进行废液收集，提高了废液收集的速率和安全性，且利用中间收集罐作为缓冲，可以降低废液温度的同时，避免温度对气动隔膜阀的影响，采用自动液位控制启停，避免了人工调整带来的滞后性以及不确定性。

Description

一种废液自动回收装置

技术领域

本发明创造属于废液回收技术领域，尤其是涉及一种废液自动回收装置。

背景技术

在利用蚀刻技术生产芯片等器件时，如何在节省人力节省成本的情况下安全顺利回收废液，是生产部门所关心的课题，现有生产车间中，由于蚀刻废液具有较强的腐蚀性，较易腐蚀电子器件，故较难实现废液回收的智能控制。

发明内容

有鉴于此，本发明创造旨在提出一种废液自动回收装置，通过电磁阀控制气动阀和气动隔膜泵，进而间接控制废液的回收以及收集，实现了废液回收的智能控制。

为达到上述目的，本发明创造的技术方案是这样实现的：

一种废液自动回收装置，配合蚀刻设备使用，包括回收通道、气动阀、第一电磁阀、第一压空管道、中间收集罐、液位传感器、气动隔膜泵、第二电磁阀、第二压空管道、输送管道、收集罐和控制器；

所述回收通道的一端与蚀刻设备的废液出口密封连通，另一端通过气动阀与所述中间收集罐的上端入口密封连通，且所述气动阀的启动控制端通过第一电磁阀与所述第一压空管道密封连通；

所述中间收集罐内设有液位传感器；

所述气动隔膜泵的入口通过输送管道与所述中间收集罐的下端出口密封连通，该气动隔膜泵的出口通过输送管道与所述收集罐的上端入口密封连通，且所述气动隔膜泵的气动控制端通过第二电磁阀与所述第二压空管道密封连通；

所述液位传感器、第一电磁阀和第二电磁阀均与所述控制器信号连接。

进一步的，所述废液回收装置还包括空气压缩机，所述空气压缩机与所述控制器信号连接，且该空气压缩机的出口与所述第一压空管道和第二压空管道分别密封连通。

进一步的，所述气动阀为失气开气动阀，该气动阀处于常开状态。

进一步的，所述废液回收装置还包括液位警报器，所述液位警报器与所述控制器信号连接。

进一步的，所述液位警报器为蜂鸣器。

相对于现有技术，本发明创造所述的废液自动回收装置具有以下优势：

(1)本发明创造所述的废液自动回收装置，避免了作业人员直接接触腐蚀液，利用气动隔膜泵进行废液收集，提高了废液收集的速率和安全性，且利用中间收集罐作为缓冲，可以降低废液温度的同时，避免温度对气动隔膜阀的影响。

(2)本发明创造所述的废液自动回收装置，采用自动液位控制启停，避免了人工调整带来的滞后性以及不确定性，同时将蜂鸣器作为液位警报器，防止了因设备故障而发生意外。

附图说明

构成本发明创造的一部分的附图用来提供对本发明创造的进一步理解，本发明创造的示意性实施例及其说明用于解释本发明创造，并不构成对本发明创造的不当限定。在附图中：

图1为本发明创造实施例所述的废液自动回收装置原理示意图。

附图标记说明：

1-回收通道；2-气动阀；3-第一电磁阀；4-第一压空管道；5-中间收集罐；6-液位传感器；7-气动隔膜泵；8-第二电磁阀；9-第二压空管道；10-输送管道；11-收集罐；12-控制器。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明创造。

如图1所示，本发明创造提供一种废液自动回收装置，配合蚀刻设备使用，包括回收通道1、气动阀2、第一电磁阀3、第一压空管道4、中间收集罐5、液位传感器6、气动隔膜泵7、第二电磁阀8、第二压空管道9、输送管道10、收集罐11和控制器12；

所述回收通道1的一端与蚀刻设备的废液出口密封连通，另一端通过气动阀2与所述中间收集罐5的上端入口密封连通，且所述气动阀2的启动控制端通过第一电磁阀3与所述第一压空管道4密封连通；

所述中间收集罐5内设有液位传感器6；

所述气动隔膜泵7的入口通过输送管道10与所述中间收集罐5的下端出口密封连通，该气动隔膜泵7的出口通过输送管道10与所述收集罐11的上端入口密封连通，且所述气动隔膜泵7的气动控制端通过第二电磁阀8与所述第二压空管道9密封连通；

所述液位传感器6、第一电磁阀3和第二电磁阀8均与所述控制器12信号连接。

所述废液回收装置还包括空气压缩机，所述空气压缩机与所述控制器12信号连接，且该空气压缩机的出口与所述第一压空管道4和第二压空管道9分别密封连通。

所述气动阀2为失气开气动阀，该气动阀2处于常开状态。

所述废液回收装置还包括液位警报器，所述液位警报器与所述控制器12信号连接。

所述液位警报器为蜂鸣器。

常规状态下，气动阀2上的第一电磁阀3处于关闭状态，即气动阀2为常开状态，回收通道1将收集的废液通过气动阀2送入中间收集罐5，中间收集罐5作为缓冲，降低废液温度，保护气动隔膜泵7工作状态，且中间收集罐5内的液位传感器6监控中间收集罐5内的液位，当液位处于一较低值时，控制器12控制第二电磁阀8关闭，气动隔膜泵7停止工作，不再从中间收集罐5内抽取废液至收集罐11，当液位处于一中间偏上值时，控制器12控制第二电磁阀8打开，气动隔膜泵7开始工作，将废液由中间收集罐5送入收集罐11，当液位处于一较高值时，说明设备运行出现故障，控制器12控制蜂鸣器开始鸣叫示警，同时控制器12控制第一电磁阀3开启，气动阀2关闭，回收通道1不再向中间收集罐5送入废液，避免中间收集罐5溢出废液。

以上所述仅为本发明创造的较佳实施例而已，并不用以限制本发明创造，凡在本发明创造的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明创造的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种废液自动回收装置，其特征在于：配合蚀刻设备使用，包括回收通道(1)、气动阀(2)、第一电磁阀(3)、第一压空管道(4)、中间收集罐(5)、液位传感器(6)、气动隔膜泵(7)、第二电磁阀(8)、第二压空管道(9)、输送管道(10)、收集罐(11)和控制器(12)；

所述回收通道(1)的一端与蚀刻设备的废液出口密封连通，另一端通过气动阀(2)与所述中间收集罐(5)的上端入口密封连通，且所述气动阀(2)的启动控制端通过第一电磁阀(3)与所述第一压空管道(4)密封连通；

所述中间收集罐(5)内设有液位传感器(6)；

所述气动隔膜泵(7)的入口通过输送管道(10)与所述中间收集罐(5)的下端出口密封连通，该气动隔膜泵(7)的出口通过输送管道(10)与所述收集罐(11)的上端入口密封连通，且所述气动隔膜泵(7)的气动控制端通过第二电磁阀(8)与所述第二压空管道(9)密封连通；

所述液位传感器(6)、第一电磁阀(3)和第二电磁阀(8)均与所述控制器(12)信号连接。

2.根据权利要求1所述的废液自动回收装置，其特征在于：还包括空气压缩机，所述空气压缩机与所述控制器(12)信号连接，且该空气压缩机的出口与所述第一压空管道(4)和第二压空管道(9)分别密封连通。

3.根据权利要求1所述的废液自动回收装置，其特征在于：所述气动阀(2)为失气开气动阀，该气动阀(2)处于常开状态。

4.根据权利要求1所述的废液自动回收装置，其特征在于：还包括液位警报器，所述液位警报器与所述控制器(12)信号连接。

5.根据权利要求4所述的废液自动回收装置，其特征在于：所述液位警报器为蜂鸣器。