CN106861485A - 化学药液供给系统和供给方法 - Google Patents

化学药液供给系统和供给方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106861485A
CN106861485A CN201710123884.3A CN201710123884A CN106861485A CN 106861485 A CN106861485 A CN 106861485A CN 201710123884 A CN201710123884 A CN 201710123884A CN 106861485 A CN106861485 A CN 106861485A
Authority
CN
China
Prior art keywords
liquid
temporary tank
mixing channel
stoste
pipeline
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710123884.3A
Other languages
English (en)
Inventor
李春
黄荣燕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gmc Semiconductor Technology (wuxi) Co Ltd
Original Assignee
Gmc Semiconductor Technology (wuxi) Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gmc Semiconductor Technology (wuxi) Co Ltd filed Critical Gmc Semiconductor Technology (wuxi) Co Ltd
Priority to CN201710123884.3A priority Critical patent/CN106861485A/zh
Publication of CN106861485A publication Critical patent/CN106861485A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
    • B01F25/50—Circulation mixers, e.g. wherein at least part of the mixture is discharged from and reintroduced into a receptacle
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
    • B01F35/71—Feed mechanisms
    • B01F35/712—Feed mechanisms for feeding fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F35/00—Accessories for mixers; Auxiliary operations or auxiliary devices; Parts or details of general application
    • B01F35/80—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed
    • B01F35/88—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed by feeding the materials batchwise
    • B01F35/882—Forming a predetermined ratio of the substances to be mixed by feeding the materials batchwise using measuring chambers, e.g. volumetric pumps, for feeding the substances
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F2101/00—Mixing characterised by the nature of the mixed materials or by the application field
    • B01F2101/2204—Mixing chemical components in generals in order to improve chemical treatment or reactions, independently from the specific application

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Accessories For Mixers (AREA)

Abstract

本发明提供一种化学药液供给系统，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；本发明不仅可以避免在输送药液的过程中吸入空气造成药液混合比例不准确，而且可以提高药液使用率，从而降低成本。

Description

化学药液供给系统和供给方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其是一种化学药液供给系统。
背景技术
半导体行业需要用到很多的化学溶液，大多属于强酸、强碱或强腐蚀性的溶液。出于安全和生产的需求，往往采用供液系统进行药液的输送或混合后再输送。尤其使用的药液是混合溶液时，需要将多种药液从药液桶或储液桶等中抽取出来送入混合液储存槽中进行药液混合。但是当药液桶中液位较低时，各路药液有可能会在抽取药液的过程中吸入空气，使得混液结果不准确，从而导致生产工艺出错。有时为了防止液位较低吸入空气，往往在液位较高时就需更换新药液桶，造成药液的浪费，增加成本。
本公司先前的一种化学药液供给系统如图1所示，包括药液A的原液桶11、药液B的原液桶21、药液混合槽31；
药液A的原液桶11旁近原液桶11底部设有原液桶液位传感器10，原液桶11中设有抽液管12，抽液管12的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接输送泵14，流量计13安装在原液输送管路上；输送泵14通过原液出口管路15连接药液混合槽31；在药液混合槽31旁装有至少两个混合槽液位传感器30，分别靠近药液混合槽顶部和底部，用于分别监测药液混合槽31的高液位和低液位；同样地，药液B的原液桶21旁靠近原液桶21底部设有原液桶液位传感器20，原液桶21中设有抽液管22，抽液管22的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接输送泵24，流量计23安装在原液输送管路上；输送泵24通过原液出口管路25连接药液混合槽31；
药液混合槽31的底部或一侧下部通过药液吸入管路32连接循环泵33，循环泵33连接三通阀门36的第一端，三通阀门36的第二端通过循环管路34连接药液混合槽31的顶部或一侧上部；三通阀门34的第三端连接药液混合槽31的混合液出口管路35；
上述化学药液供给系统的工作过程如下：原液桶液位传感器可监测原液桶中液位过低，原液桶中药液液位过低时触发低液位报警；
按所需比例设定药液A和药液B各自抽液量，然后从各原液桶的药液中开始抽液，将各路药液打入药液混合槽中进行混合；当某一路的流量计检测到该路所需药液量已满足要求，则该路停止抽液；当两路药液量都满足需求时，两路药液管路上的输送泵都停止工作；然后药液混合槽的循环泵33开始工作，让药液通过循环管路34在药液混液槽中充分混合；药液充分混合后，工艺时则通过药液混合槽31的混合液出口管路35连至主机台进行工作；药液混合槽31旁装有混合槽液位传感器30，当药液混合槽液位过低时，则触发低液位报警，要求补液；当药液混合槽液位过高时，则触发高液位报警，两路药液停止进液。
各原液桶的抽液管一般会采用波纹管，因为用硬管的话，则更换原液桶非常不方便，尤其是储存原液桶的空间狭小的时候。而采用波纹管之类的软管时，则可以在换液时将抽液管取出，然后再更换原液桶。但是采用波纹管则存在一些问题，比如波纹管的吸入管道不一定插到了原液桶的最底部，甚至弯曲到了液面上部区域，可能在吸液时会吸入部分空气，而流量计却无法检测到输送的药液中是否会携带空气；又或者是某种药液所需用量超过一原液桶的药液体积时，则在更换新药液桶的过程中也会导致空气的吸入。因此最终的溶液混合比例就会存在偏差，导致工艺出错。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种化学药液供给系统，以及通过该化学药液供给系统实施的化学药液供给方法；不仅可以避免在输送药液的过程中吸入空气造成药液混合比例不准确，而且可以提高药液使用率，从而降低成本。本发明采用的技术方案是：
一种化学药液供给系统，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；
所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；
原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；
药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路。
进一步地，原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部。
进一步地，暂存槽顶部设有空气进口。
进一步地，暂存槽下部分的横截面小于上部分的横截面。
一种化学药液供给方法，通过一种化学药液供给系统实施，
所述化学药液供给系统包括药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；
所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；
原液桶中设有抽液管，抽液管的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽顶部设有空气进口；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；
药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路；
按照所需比例设定各药液的抽液量，然后开始从各原液桶中进行抽液，药液抽取采用等量原则，需要多少抽多少；在各路药液供给机构中先将所抽取的药液打入各自的暂存槽中；当某一路的流量计检测到该路所需药液量已经满足要求，则该路停止抽液；当各路抽取的药液量都满足要求时，各原液输送管路上的输送泵都停止工作；然后各暂存槽对泵入的药液量进行检测，若发现暂存槽中的药液量与所需药液量存在偏差，则给出警报，要求继续从原液桶中抽取药液至暂存槽直至该暂存槽中药液量等于所需药液量；然后打开原液出口管路上的阀门，通过各暂存槽顶部的空气进口通入压缩空气，压缩空气对暂存槽中药液的输送形成一个正压力，将各暂存槽中的药液全部送入药液混合槽中；
当把各路暂存槽的药液都送入药液混合槽后，循环泵开始工作，让药液通过循环管路循环流动，在药液混合槽中充分混合，充分混合后的药液通过混合液出口管路送出。
本发明还提供与第一种化学药液供给系统相类似的另一种化学药液供给系统，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；
所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、第一输送泵、第一流量计、暂存槽、原液出口管路、第二输送泵、第二流量计；
原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽；第一输送泵和第一流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；第二输送泵和第二流量计安装在原液出口管路上；
药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路。
进一步地，原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部。
进一步地，在药液混合槽旁装有至少两个混合槽液位传感器，分别靠近药液混合槽顶部和底部，用于分别监测药液混合槽的高液位和低液位。
进一步地，暂存槽下部分的横截面小于上部分的横截面。
一种化学药液供给方法，通过本发明提供的另一种化学药液供给系统实施，
所述化学药液供给系统包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；
所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、第一输送泵、第一流量计、暂存槽、原液出口管路、第二输送泵、第二流量计；
原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部；第一输送泵和第一流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；第二输送泵和第二流量计安装在原液出口管路上；
药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路；
按照所需比例设定各药液的抽液量，然后通过第一输送泵开始从各药液原液桶中进行抽液，药液抽取采取多量原则，即从原液桶中抽出的药液量比实际所需的药液量多，在各路药液供给机构中从原液桶抽取的药液打入暂存槽中；当某一路的第一流量计检测到该路从原液桶抽取的药液量已满足要求即第一流量计检测到抽取的药液量比实际所需的药液量多，则该路停止抽液；当各路的第一流量计检测到抽取的药液量均满足要求时，各原液输送管路上的第一输送泵都停止工作；
然后对各暂存槽中的药液量进行检测，检测各暂存槽中药液量是否比混液实际所需的药液量多，若药液量不够，则继续通过第一输送泵从原液桶抽液至暂存槽，直至各暂存槽中药液量比混液实际所需的药液量多；
然后按照实际混液所需比例设定各药液从暂存槽的各自抽液量，然后通过第二输送泵开始从各暂存槽中进行抽液；
当从各暂存槽中通过各第二流量计计量将所需的药液量打入药液混合槽后，循环泵开始工作，让药液通过循环管路循环流动，在药液混合槽中充分混合，充分混合后的药液通过混合液出口管路送出。
本发明的优点在于：
1）可避免在抽取药液过程中吸入空气，使得混液结果十分准确。
2）可方便进行更换新的原液桶，并且更换原液桶时，可以尽可能地在原液桶药液快用尽，液位较低时更换，避免了药液浪费。
附图说明
图1为现有化学药液供给系统的结构组成示意图。
图2为本发明的实施例一结构示意图。
图3为本发明的实施例二结构示意图。
图4为本发明的暂存槽示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本发明作进一步说明。
实施例一，如图2所示，
化学药液供给系统，包括药液A的原液桶101、药液B的原液桶201、药液混合槽301；
药液A的原液桶101旁近原液桶101底部设有原液桶液位传感器100，原液桶101中设有抽液管102，抽液管102的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接药液A的暂存槽105，优选连接在暂存槽105顶部；输送泵103和流量计104安装在原液输送管路上；暂存槽105中或侧面设有暂存槽液位传感器106，用于计量暂存槽中的药液量，暂存槽液位传感器106必须采用高精度的液位传感器，比如精度1ml；为了计量暂存槽中的药液量，还可以采用电子称重器，对暂存槽105和暂存槽内药液进行计量重量，减去暂存槽的重量，即可得到暂存槽内药液重量，再换算成药液量（体积）；暂存槽105底部通过原液出口管路连接药液混合槽301；暂存槽105的原液出口管路上还设有阀门，比如电控阀门，图中未画出；上述结构形成一路连接药液混合槽的药液供给机构；同样地，
药液B的原液桶201旁近原液桶201底部设有原液桶液位传感器200，原液桶201中设有抽液管202，抽液管202的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接药液B的暂存槽205，优选连接在暂存槽205顶部；输送泵203和流量计204安装在原液输送管路上；暂存槽205中或侧面设有暂存槽液位传感器206，用于计量暂存槽中的药液量；暂存槽205底部通过原液出口管路连接药液混合槽301；暂存槽205的原液出口管路上还设有阀门；
另外在暂存槽105、205顶部还分别设有空气进口107、207；空气进口可由一段连接暂存槽顶部的压缩空气进管提供；
抽液管102、202可采用波纹管或其它软管；输送泵用于抽液，流量计可计量经过的药液量；
图4所示为暂存槽的两种结构，其下部分的横截面小于上部分的横截面，从而有利于药液向暂存槽底部出口方向流动；
在药液混合槽301旁装有至少两个混合槽液位传感器300，分别靠近药液混合槽顶部和底部，用于分别监测药液混合槽301的高液位和低液位；药液混合槽301的底部或一侧下部通过药液吸入管路302连接循环泵303，循环泵303连接三通阀门306的第一端，三通阀门306的第二端通过循环管路304连接药液混合槽301的顶部或一侧上部；三通阀门304的第三端连接药液混合槽301的混合液出口管路305；
针对图2，本发明的具体实施过程如下：按照所需比例设定药液A和药液B的各自抽液量，然后开始从各原液桶中进行抽液（具体通过输送泵进行抽液）；药液抽取采用等量原则，即需要多少抽多少；在各路药液供给机构中先将所抽取的药液打入各自的暂存槽中；当某一路的流量计检测到该路所需药液量已经满足要求，则该路停止抽液；当两路抽取的药液量都满足要求时，两路原液输送管路上的输送泵停止工作；然后各暂存槽对泵入的药液量进行检测，若发现暂存槽中的药液量与所需药液量存在偏差，则给出警报，要求继续从原液桶中抽取药液至暂存槽直至该暂存槽中药液量等于所需药液量；然后打开原液出口管路上的阀门，通过各暂存槽顶部的空气进口通入压缩空气，压缩空气对暂存槽中药液的输送形成一个正压力，将各暂存槽中的药液全部送入药液混合槽中；另外由于暂存槽下部分的横截面比上部分的小，液体都会流向暂存槽底部药液出口的位置，避免药液残留在暂存槽底部而无法流入药液混合槽中；
当把两路暂存槽的药液都送入药液混合槽后，循环泵开始工作，让药液通过循环管路循环流动，在药液混合槽中充分混合，药液充分混合后，工艺时则通过混合液出口管路连至主机台进行工作；在药液混合槽旁装有至少两个混合槽液位传感器，分别靠近药液混合槽顶部和底部，当混药液合槽液位过低时，则触发低液位报警，要求补液；当药液混合槽液位过高时，会触发高液位报警，两路暂存槽则停止向药液混合槽进液。
需要说明的是，本发明中槽的含义为容器的含义，暂存槽、药液混合槽仅仅是本领域的常用术语，并不限定暂存槽和药液混合槽的具体形状；
实施例二，如图3所示，
化学药液供给系统，包括药液A的原液桶101、药液B的原液桶201、药液混合槽301；
药液A的原液桶101旁近原液桶101底部设有原液桶液位传感器100，原液桶101中设有抽液管102，抽液管102的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接药液A的暂存槽105，优选连接在暂存槽105顶部；第一输送泵103和第一流量计104安装在原液输送管路上；暂存槽105中或侧面设有暂存槽液位传感器106，用于计量暂存槽中的药液量，暂存槽液位传感器106必须采用高精度的液位传感器，比如精度1ml；为了计量暂存槽中的药液量，还可以采用电子称重器，对暂存槽105和暂存槽内药液进行计量重量，减去暂存槽的重量，即可得到暂存槽内药液重量，再换算成药液量（体积）；暂存槽105底部通过原液出口管路连接药液混合槽301；第二输送泵108和第二流量计109安装在原液出口管路上；上述结构形成一路连接药液混合槽的药液供给机构；同样地，
药液B的原液桶201旁近原液桶201底部设有原液桶液位传感器200，原液桶201中设有抽液管202，抽液管202的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接药液B的暂存槽205，优选连接在暂存槽205顶部；第一输送泵203和第一流量计204安装在原液输送管路上；暂存槽205中或侧面设有暂存槽液位传感器206，用于计量暂存槽中的药液量，暂存槽液位传感器206必须采用高精度的液位传感器，比如精度1ml；暂存槽205底部通过原液出口管路连接药液混合槽301；第二输送泵208和第二流量计209安装在原液出口管路上；
抽液管102、202可采用波纹管或其它软管；各输送泵用于抽液，各流量计可计量经过的药液量；第二输送泵108、208关闭时可截断原液出口管路；
图4所示为暂存槽的两种结构，其下部分的横截面小于上部分的横截面，从而有利于药液向暂存槽底部出口方向流动；
在药液混合槽301旁装有至少两个混合槽液位传感器300，分别靠近药液混合槽顶部和底部，用于分别监测药液混合槽301的高液位和低液位；药液混合槽301的底部或一侧下部通过药液吸入管路302连接循环泵303，循环泵303连接三通阀门306的第一端，三通阀门306的第二端通过循环管路304连接药液混合槽301的顶部或一侧上部；三通阀门304的第三端连接药液混合槽301的混合液出口管路305；
针对图3，本发明的具体实施过程如下：按照所需比例设定药液A和药液B的各自抽液量，然后通过第一输送泵开始从各药液原液桶中进行抽液，药液抽取采取多量原则，即从原液桶中抽出的药液量比实际所需的药液量多，比如按照1:1.2或其他比例打入暂存槽中；当某一路的第一流量计检测到该路从原液桶抽取的药液量已满足要求（即第一流量计检测到抽取的药液量比实际所需的药液量多），则该路停止抽液；当两路的第一流量计检测到抽取的药液量均满足要求时，各原液输送管路上的第一输送泵都停止工作；然后通过暂存槽液位传感器对各暂存槽中的药液量进行检测，检测各暂存槽中药液量是否比混液实际所需的药液量多，若药液量不够，则继续通过第一输送泵从原液桶抽液至暂存槽，直至各暂存槽中药液量比混液实际所需的药液量多；由于各药液原液通的出口与相对应的暂存槽的顶部相连，即使从原液通到暂存槽的输送过程中存在大量气泡，在暂存槽中也会气液分离开，即液体在暂存槽底部，而气体则在顶部，而且暂存槽的药液量始终比实际混液的需求量大，因此即使混入一点空气进入暂存槽对最终的混液结果也无影响；
然后按照实际混液所需比例设定药液A的暂存槽和药液B的暂存槽的各自抽液量，然后通过第二输送泵开始从各暂存槽中进行抽液；由于暂存槽下部分的横截面比上部分的小，药液出口在暂存槽的底部，液体都会流向药液出口的位置，从而可以避免吸入空气；
当从各暂存槽中通过各第二流量计计量将所需的药液量打入药液混合槽后，循环泵开始工作，让药液通过循环管路循环流动，在药液混合槽中充分混合，药液充分混合后，工艺时则通过混合液出口管路连至主机台进行工作；在药液混合槽旁装有至少两个混合槽液位传感器，分别靠近药液混合槽顶部和底部，当混药液合槽液位过低时，则触发低液位报警，要求补液；当药液混合槽液位过高时，会触发高液位报警，两路暂存槽则停止向药液混合槽进液。

Claims (10)

1.一种化学药液供给系统，其特征在于，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；
所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；
原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；
药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路。
2.如权利要求1所述的化学药液供给系统，其特征在于，
原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部。
3.如权利要求1所述的化学药液供给系统，其特征在于，
暂存槽顶部设有空气进口。
4.如权利要求1所述的化学药液供给系统，其特征在于，
暂存槽下部分的横截面小于上部分的横截面。
5.一种化学药液供给方法，其特征在于，通过一种化学药液供给系统实施，
所述化学药液供给系统包括药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；
所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、输送泵、流量计、暂存槽、原液出口管路；
原液桶中设有抽液管，抽液管的上端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部；输送泵和流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；暂存槽顶部设有空气进口；暂存槽的原液出口管路上设有阀门；
药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路；
按照所需比例设定各药液的抽液量，然后开始从各原液桶中进行抽液，药液抽取采用等量原则，需要多少抽多少；在各路药液供给机构中先将所抽取的药液打入各自的暂存槽中；当某一路的流量计检测到该路所需药液量已经满足要求，则该路停止抽液；当各路抽取的药液量都满足要求时，各原液输送管路上的输送泵都停止工作；然后各暂存槽对泵入的药液量进行检测，若发现暂存槽中的药液量与所需药液量存在偏差，则给出警报，要求继续从原液桶中抽取药液至暂存槽直至该暂存槽中药液量等于所需药液量；然后打开原液出口管路上的阀门，通过各暂存槽顶部的空气进口通入压缩空气，压缩空气对暂存槽中药液的输送形成一个正压力，将各暂存槽中的药液全部送入药液混合槽中；
当把各路暂存槽的药液都送入药液混合槽后，循环泵开始工作，让药液通过循环管路循环流动，在药液混合槽中充分混合，充分混合后的药液通过混合液出口管路送出。
6.一种化学药液供给系统，其特征在于，包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；
所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、第一输送泵、第一流量计、暂存槽、原液出口管路、第二输送泵、第二流量计；
原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽；第一输送泵和第一流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；第二输送泵和第二流量计安装在原液出口管路上；
药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路。
7.如权利要求6所述的化学药液供给系统，其特征在于，
原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部。
8.如权利要求6所述的化学药液供给系统，其特征在于，
在药液混合槽旁装有至少两个混合槽液位传感器，分别靠近药液混合槽顶部和底部，用于分别监测药液混合槽的高液位和低液位。
9.如权利要求6所述的化学药液供给系统，其特征在于，
暂存槽下部分的横截面小于上部分的横截面。
10.一种化学药液供给方法，其特征在于，通过一种化学药液供给系统实施，
所述化学药液供给系统包括：药液混合槽和至少两路连接药液混合槽的药液供给机构；
所述药液供给机构包括原液桶、抽液管、原液输送管路、第一输送泵、第一流量计、暂存槽、原液出口管路、第二输送泵、第二流量计；
原液桶中设有抽液管，抽液管的一端连接原液输送管路一端，原液输送管路的另一端连接暂存槽顶部；第一输送泵和第一流量计安装在原液输送管路上；暂存槽上设有用于计量暂存槽中药液量的计量部件；暂存槽底部通过原液出口管路连接药液混合槽；第二输送泵和第二流量计安装在原液出口管路上；
药液混合槽的底部或一侧下部通过药液吸入管路连接循环泵，循环泵连接三通阀门的第一端，三通阀门的第二端通过循环管路连接药液混合槽的顶部或一侧上部；三通阀门的第三端连接药液混合槽的混合液出口管路；
按照所需比例设定各药液的抽液量，然后通过第一输送泵开始从各药液原液桶中进行抽液，药液抽取采取多量原则，即从原液桶中抽出的药液量比实际所需的药液量多，在各路药液供给机构中从原液桶抽取的药液打入暂存槽中；当某一路的第一流量计检测到该路从原液桶抽取的药液量已满足要求即第一流量计检测到抽取的药液量比实际所需的药液量多，则该路停止抽液；当各路的第一流量计检测到抽取的药液量均满足要求时，各原液输送管路上的第一输送泵都停止工作；
然后对各暂存槽中的药液量进行检测，检测各暂存槽中药液量是否比混液实际所需的药液量多，若药液量不够，则继续通过第一输送泵从原液桶抽液至暂存槽，直至各暂存槽中药液量比混液实际所需的药液量多；
然后按照实际混液所需比例设定各药液从暂存槽的各自抽液量，然后通过第二输送泵开始从各暂存槽中进行抽液；
当从各暂存槽中通过各第二流量计计量将所需的药液量打入药液混合槽后，循环泵开始工作，让药液通过循环管路循环流动，在药液混合槽中充分混合，充分混合后的药液通过混合液出口管路送出。
CN201710123884.3A 2017-03-03 2017-03-03 化学药液供给系统和供给方法 Pending CN106861485A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710123884.3A CN106861485A (zh) 2017-03-03 2017-03-03 化学药液供给系统和供给方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710123884.3A CN106861485A (zh) 2017-03-03 2017-03-03 化学药液供给系统和供给方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106861485A true CN106861485A (zh) 2017-06-20

Family

ID=59170880

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710123884.3A Pending CN106861485A (zh) 2017-03-03 2017-03-03 化学药液供给系统和供给方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106861485A (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108687039A (zh) * 2018-06-13 2018-10-23 老肯医疗科技股份有限公司 化学助剂智能控制管理系统
CN108854645A (zh) * 2018-05-29 2018-11-23 华普通用技术研究（广州）有限公司 一种水性聚氨酯胶黏剂生产线及其增粘剂制备方法
CN109269344A (zh) * 2018-09-17 2019-01-25 中国矿业大学 一种在线化学清洗配液系统
CN110124545A (zh) * 2019-04-24 2019-08-16 中国科学院近代物理研究所 一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法
CN110539416A (zh) * 2018-05-29 2019-12-06 华普通用技术研究（广州）有限公司 一种水性聚氨酯胶黏剂生产自动调配装置及其涂覆方法
CN112892344A (zh) * 2019-12-03 2021-06-04 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 化学液供应装置及半导体设备
CN117427556A (zh) * 2023-12-19 2024-01-23 廊坊金诺生物科技开发有限公司 复合碳源制备用原料混合搅拌设备

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA200300616A1 (ru) * 2000-11-29 2003-10-30 Софитек Н.В. Система для смешивания текучей среды
CN202962299U (zh) * 2012-12-27 2013-06-05 天全君力电子材料有限公司 电极箔生产调和液的混合装置
CN203737188U (zh) * 2014-03-19 2014-07-30 山东豪马克石油科技有限公司 压力称重式精确调和罐
CN203803472U (zh) * 2013-12-31 2014-09-03 东莞市广华化工有限公司 反应釜防逆流定量配料设备
CN103521105B (zh) * 2013-09-26 2015-09-23 奇瑞汽车股份有限公司 一种可调比例的汽车流体配比控制系统及其控制方法
CN206688549U (zh) * 2017-03-03 2017-12-01 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 化学药液供给系统

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EA200300616A1 (ru) * 2000-11-29 2003-10-30 Софитек Н.В. Система для смешивания текучей среды
CN202962299U (zh) * 2012-12-27 2013-06-05 天全君力电子材料有限公司 电极箔生产调和液的混合装置
CN103521105B (zh) * 2013-09-26 2015-09-23 奇瑞汽车股份有限公司 一种可调比例的汽车流体配比控制系统及其控制方法
CN203803472U (zh) * 2013-12-31 2014-09-03 东莞市广华化工有限公司 反应釜防逆流定量配料设备
CN203737188U (zh) * 2014-03-19 2014-07-30 山东豪马克石油科技有限公司 压力称重式精确调和罐
CN206688549U (zh) * 2017-03-03 2017-12-01 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 化学药液供给系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张强: "《工程车辆》", 31 October 2015, 北京理工大学出版社 *

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108854645A (zh) * 2018-05-29 2018-11-23 华普通用技术研究（广州）有限公司 一种水性聚氨酯胶黏剂生产线及其增粘剂制备方法
CN110539416A (zh) * 2018-05-29 2019-12-06 华普通用技术研究（广州）有限公司 一种水性聚氨酯胶黏剂生产自动调配装置及其涂覆方法
CN108854645B (zh) * 2018-05-29 2021-02-26 莆田市东升涂料有限公司 一种水性聚氨酯胶黏剂生产线及其增粘剂制备方法
CN110539416B (zh) * 2018-05-29 2021-11-19 常州远大新材料科技股份有限公司 一种水性聚氨酯胶黏剂生产自动调配装置及其涂覆方法
CN108687039A (zh) * 2018-06-13 2018-10-23 老肯医疗科技股份有限公司 化学助剂智能控制管理系统
CN109269344A (zh) * 2018-09-17 2019-01-25 中国矿业大学 一种在线化学清洗配液系统
CN110124545A (zh) * 2019-04-24 2019-08-16 中国科学院近代物理研究所 一种超导腔表面化学缓冲抛光全自动酸液配制设备和方法
CN112892344A (zh) * 2019-12-03 2021-06-04 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 化学液供应装置及半导体设备
CN117427556A (zh) * 2023-12-19 2024-01-23 廊坊金诺生物科技开发有限公司 复合碳源制备用原料混合搅拌设备
CN117427556B (zh) * 2023-12-19 2024-03-12 廊坊金诺生物科技开发有限公司 复合碳源制备用原料混合搅拌设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106861485A (zh) 化学药液供给系统和供给方法
CN206688549U (zh) 化学药液供给系统
CN114295163B (zh) 多相流混输中液体体积的计量方法及装置
CN214171961U (zh) 多相流混输装置及多相流混输应用系统
CN203606014U (zh) 一种称重式液体在线计量系统
CN202900217U (zh) 油井蒸汽伴注化学药剂装置
CN110479181B (zh) 一种在线调配装置
CN114542991B (zh) 一种多相流混输的计量装置及方法
CN114278620B (zh) 多相流混输的液体回收方法以及装置
CN207054307U (zh) 一种水肥一体机
CN214306521U (zh) 多相流混输装置
CN214585502U (zh) 自动加样系统
CN104671172B (zh) 一种负压式定量灌装机、灌装方法
CN210846259U (zh) 一种在线调配装置
CN208206630U (zh) 一种标液稀释分配装置
CN209405754U (zh) 一种气液分离装置
CN201852825U (zh) 高浓度碱液检测装置
CN106927153B (zh) 一种双层储液罐
CN206762675U (zh) 药剂配制系统
CN207076361U (zh) 一种多路脉冲式加药装置
CN214271091U (zh) 一种槽式电化学沉积用药液添加装置
CN206419678U (zh) 一种加臭系统
CN205953624U (zh) 一种化学除磷投加装置
CN221214712U (zh) 一种包装机流量计下料装置
CN212931533U (zh) 一种重力自流回油计量装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20170620

RJ01 Rejection of invention patent application after publication