CN110055508B - 一种基板固定装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板固定装置，包括两个相对设置的夹持部，每一夹持部包括柱体、第一板以及第二板；所述柱体的顶部设有一阶梯部；所述第一板位于所述柱体上方，其底面与所述阶梯部相对设置；所述第二板的一端连接至所述柱体，另一端连接至所述第一板；本发明提供一种基板固定装置，所述阶梯部与第一板、第二板围成一缓冲区，缓冲区可以为等离子体提供更多的附着空间，不仅可以防止玻璃基板与夹持部产生干涉的现象，提升玻璃基板的良率；而且还可以增加夹持部的使用次数，延长夹持部的使用寿命，提升基板固定装置的运行的稳定性。

Description

一种基板固定装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板固定装置。

背景技术

在半导体显示行业，磁控溅射技术作为显示面板制程中重要的技术之一。磁控溅射是物理气相沉积的一种，其工作原理主要是运用Ar气在高压放电的作用下电离出Ar离子，Ar离子在电磁场作用下轰击靶材产生等离子体，等离子体在电磁场作用下均匀的沉积在玻璃基板上从而形成所需要的膜层。使用磁控溅射技术形成的膜层较为致密、均匀，并且与玻璃基板的结合力较强。磁控溅射是OLED的制备工艺中一种常见的成膜工艺，例如用于形成金属膜或有机膜。

在立式磁控溅射成膜过程中，基板固定装置需要通过两个以上相对设置的夹持部将玻璃基板固定，并使得玻璃基板与靶材平行。

如图1所示，夹持部包括柱体1、第一板2以及第二板3。所述柱体包括一夹持面12，用以夹持玻璃基板300，所述夹持面垂直于所述第一板1的底面。第一板2与夹持面12围成一个缓冲区10。

在高温的条件下，采用磁控溅射的方法对玻璃基板上表面镀膜，等离子体容易溅射到缓冲区上。由于该缓冲区与等离子体的接触面较小，因而随着夹持部的使用次数增多，夹持面因累积镀膜而增厚，玻璃基板的四角容易因应力而弯曲翘起与夹持部产生干涉现象而导致玻璃基板被损毁。

具体地，在溅射的过程中，等离子体会在夹持面的表面形成金属膜，增加了夹持部的宽度，导致两夹持部之间的距离变小，因而导致玻璃基板被两个夹持部夹碎。如果用户继续使用已镀膜的基板固定装置对其他玻璃基板进行固定处理时，由于金属膜附着于夹持面上更容易导致夹持部与玻璃基板产生干涉现象，使得玻璃基板被夹碎，减少夹持部的使用次数。

用户需要定期更换夹持部以确保夹持部对玻璃基板的夹持精确度。除此之外，用户还需对已镀膜的夹持部进行酸洗处理，酸洗的过程较长，其原因是金属膜在夹持面的附着力较强，不容易脱落。另外，多次拆装及酸洗可能会损坏夹持部，减短夹持部的寿命。

发明内容

本发明提供一种基板固定装置，以解决现有技术中存在的夹持部与玻璃基板在磁控溅射的过程中容易产生干涉现象导致玻璃基板破碎，夹持部的使用次数较少、使用寿命较短的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供一种基板固定装置，包括两个相对设置的夹持部，每一夹持部包括柱体、第一板以及第二板；所述柱体的顶部设有一阶梯部；所述第一板位于所述柱体上方，其底面与所述阶梯部相对设置；所述第二板的一端连接至所述柱体，另一端连接至所述第一板。

进一步地，所述阶梯部包括两个以上的阶梯面，所述阶梯面水平设置，和/或，所述阶梯面平行于所述第一板的底面。

进一步地，所述柱体包括底柱以及顶柱；所述顶柱连接至所述底柱上表面。

进一步地，所述第二板竖直设置，且连接至所述顶柱的一侧面；所述第二板上端连接至所述第一板，下端连接至所述底柱上表面。

进一步地，所述柱体包括一夹持面，延伸至所述阶梯部；所述夹持面设有一螺孔。

进一步地，所述第一板包括矩形板体以及凸条，所述矩形板体包括彼此平行的第一侧边与第二侧边；所述凸条突出于所述矩形板体的底面，且位于所述第二侧边处。

进一步地，所述矩形板体的宽度大于所述阶梯部的宽度。

进一步地，所述第一板在第一侧边处连接至所述第二板；和/或，所述第一板垂直连接至所述第二板。

进一步地，所述夹持部包括第一夹持部及第二夹持部；所述第一夹持部的夹持面与所述第二夹持部的夹持面相对设置；所述第一夹持部的螺孔与所述第二夹持部的螺孔相对设置；所述基板固定装置包括一螺杆，其一端连接至所述第一夹持部的螺孔，其另一端连接至所述第二夹持部的螺孔。

进一步地，所述柱体、所述第一板以及所述第二板为一体式结构；所述第一板、所述第二板及所述阶梯部围成一缓冲区。

本发明的技术效果在于，提供一种基板固定装置，包括两个相对设置的夹持部，在每一夹持部的柱体的顶部设置一阶梯部，阶梯部可以为玻璃基板提供定位作用；所述阶梯部与第一板、第二板围成一缓冲区，缓冲区可以为等离子体提供更多的附着空间，防止玻璃基板与夹持部产生干涉现象，提高玻璃基板的良率，增加夹持部的使用次数，减少夹持部的酸洗次数，延长夹持部的使用寿命，进而提高基板固定装置运行的稳定性。

附图说明

图1为现有技术所述夹持部的结构示意图；

图2为本发明所述夹持部的结构示意图；

图3为本发明所述柱体的结构示意图；

图4为本发明所述固定装置的结构示意图；

图5为本发明夹持部被镀膜的结构示意图。

附图中部分标识如下：

1柱体；2第一板；3第二板；

10缓冲区；11阶梯部；12夹持面；

21矩形板体；22凸条；

31第一端；32第二端；

100第一夹持部；200第二夹持部；300玻璃基板；

400载台；500支撑针；600等离子体；

101底柱；102顶柱；

111阶梯面；121螺孔；122螺杆；

211第一侧边；212第二侧边。

具体实施方式

以下参考说明书附图介绍本发明的优选实施例，用以举例证明本发明可以实施，这些实施例可以向本领域中的技术人员完整介绍本发明的技术内容，使得本发明的技术内容更加清楚和便于理解。然而本发明可以通过许多不同形式的实施例来得以体现，本发明的保护范围并非仅限于文中提到的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“横向”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。另外，术语“包括”及其任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。

如图2～4所示，本实施例提供一种基板固定装置，包括第一夹持部100及第二夹持部200。每一夹持部包括柱体1、第一板2以及第二板3，其中，柱体1、第一板2以及第二板3为一体式结构，其材质均为绝缘树脂。

柱体1的顶部设有阶梯部11。第一板2位于柱体1上方，其底面与阶梯部11相对设置。第二板3具有两端，其第一端31连接至柱体1，第二端32连接至第一板2。第一板2、第二板3及阶梯部11围成一缓冲区10。

柱体1包括底柱101以及顶柱102，顶柱102连接至底柱101上表面，阶梯部11设于顶柱102的上表面。柱体1包括一夹持面12，用以夹持基板，延伸至11阶梯部。每一阶梯部11包括两个以上水平设置的阶梯面111，且各个阶梯面111相互平行。本领域的技术人员可以根据顶柱102的宽度在顶柱102上表面设置多个阶梯面111。当玻璃基板300位于任一个阶梯面111时，该阶梯面111可以为玻璃基板300提供定位作用，以确保玻璃基板300水平放置。优选地，本实施中阶梯面111平行于第一板2的底面。当然，在其他实施例中，阶梯面111也可以不平行于第一板2的底面。本实施中，底柱101的宽度大于顶柱102的宽度，主要是使得柱体1与其他部件连接时，可以起到绝缘的作用。此外，底柱101的形状不做限定，可以是矩形的、多边形的，只要能方便用户安装即可。

第一板2包括矩形板体21，包括彼此平行的第一侧边211与第二侧边212；凸条22，突出于矩形板体21的底面，且位于第二侧边212处。第一板2在第一侧边211处连接至第二板3，第一板2垂直连接至第二板3。

本实施例中，矩形板体21的宽度大于阶梯部11的宽度。在磁控溅射的过程中，矩形板体21相当于一个遮挡板，可以减少所述夹持部被镀膜的范围，进而减少夹持部的酸洗次数，提升基板固定装置的寿命。

第二板3竖直设置，且连接至顶柱102的一侧面；第二板3的第一端31上端连接至第一板2，第二端32连接至底柱101的上表面。

如图4所示，本实施例提供的基板固定装置，第一夹持部100的夹持面12与所述第二夹持部200的夹持面12相对设置。每一夹持面12设有一螺孔121，第一夹持部100的螺孔121与第二夹持部200的螺孔121相对设置。

进一步地，所述基板固定装置包括一螺杆122，具有可伸缩的特点，其一端连接至第一夹持部100的螺孔121，其另一端连接至第二夹持部200的螺孔121。通过螺杆122可以直接调节第一夹持部100与第二夹持部200之间的距离。当然，在其他实施例中，可以使用螺栓替代螺杆将夹持部固定，只要能保持彼此相对设置的两夹持部在同一条直线上，且使两夹持部保持一定的间距即可。

如图2～4所示，本实施提供的基板固定装置，在工作中，用户通过机械手将玻璃基板300放置于一载台400上，载台400上表面设有支撑针500，玻璃基板300的下表面与支撑针500接触。该支撑针500可以上下伸缩移动，用户通过调节支撑针500的上升按钮，使得支撑针500将玻璃基板300上升到阶梯部11的位置。用户可以将玻璃基板300放置于顶柱102最顶端的一阶梯面111上，阶梯面111为玻璃基板300提供定位作用，以确保玻璃基板300水平放置。然后通过第一夹持部100与第二夹持部200将玻璃基板300固定。当玻璃基板300被固定后，用户可以通过调节支撑针500的下降按钮，使得支撑针500下降1mm～5mm，一方面，确保玻璃基板300在磁控溅射的环境下能被均匀烘烤，使得溅射在玻璃基板300上表面的等离子体600均匀成膜；另一方面，在磁控溅射的过程中，玻璃基板300受热容易下滑或者前倾，该支撑针500可以将玻璃基板300固定，以避免玻璃基板300的四角容易因应力而弯曲翘起导致玻璃基板300被损毁。

当用户发现玻璃基板300上方的缓冲区10已被镀膜时，可以将玻璃基板300放置于下一级的阶梯面111上，以防止玻璃基板300与所述夹持部产生干涉现象，导致玻璃基板300破碎，以此类推，每当玻璃基板300上方的缓冲区10被镀膜时，玻璃基板300可以逐级往下放置，进而提高玻璃基板的良率，增加所述夹持部使用的次数，延长基板固定装置的使用寿命。进一步地，用户还可以使用第一夹持部100的夹持面12与第二夹持部200的夹持面12将玻璃基板300固定，进而增加第一夹持部100与第二夹持部200的使用次数，延长基板固定装置的使用寿命，提升基板固定装置的运行的稳定性。

在工作中，每当一片玻璃基板完成镀膜时，用户使用机械手将已镀膜的玻璃基板取走。在取走的过程中，首先用机械手将玻璃基板托住，然后通过拆卸螺杆的一端或两端，控制螺杆的伸缩，加宽第一夹持部与第二夹持部之间的距离，进而将玻璃基板解绑，最后通过机械手将玻璃基板取走。接着，重复前文所述的步骤对下一片玻璃基板进行镀膜处理。在其他实施例中，用户还可以调节升降按钮将玻璃基板支撑，然后控制机械手将玻璃基板托住，通过拆卸螺杆的一端或两端，控制螺杆的伸缩，加宽第一夹持部与第二夹持部之间的距离，进而将玻璃基板解绑，最后通过机械手将玻璃基板取走。

此外，在溅射成膜的过程中，凸条22可以将部分的等离子体600遮挡住，避免更多的等离子体沉积在缓冲区10，以提高夹持部的使用次数，延长夹持装置的使用寿命。

如图5所示，缓冲区10被所述等离子体沉积形成金属膜。本实施例提供的基板固定装置与现有技术相比，在柱体的顶部设置所述阶梯部，使得所述夹持部与所述等离子体的接触空间较广，为所述等离子体提供更多的附着空间。现有技术中，在完成5000片玻璃基板的镀膜处理后，所述夹持部的缓冲区10就被完全镀膜。然而，本实施例提供的基板固定装置，在完成8000片玻璃基板的镀膜处理后，所述夹持部的缓冲区10才会被完全镀膜。因此，本实施例提供的基板固定装置在8000片玻璃基板完成镀膜处理后，用户才需要对夹持部进行酸洗处理。本实施例提供的基板固定装置与现有的基板固定装置相比，本实施例可以增加夹持部的使用次数，减少酸洗的次数，进而延长夹持部的使用寿命。

本实施例提供的基板固定装置，不仅可以防止玻璃基板与夹持部的产生干涉的现象，提升玻璃基板的良率；而且还可以增加夹持部的使用次数，延长夹持部的使用寿命，提升基板固定装置的运行的稳定性。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种基板固定装置，其特征在于，包括两个相对设置的夹持部，

每一夹持部包括

柱体，其顶部设有一阶梯部，所述阶梯部包括两个以上的阶梯面，其中从上之下的所述阶梯面依次承接至少一基板；

第一板，位于所述柱体上方，其底面与所述阶梯部相对设置；所述第一板包括矩形板体，包括彼此平行的第一侧边与第二侧边；所述矩形板体的宽度大于所述阶梯部的宽度；以及

第二板，其一端连接至所述柱体，另一端连接至所述第一板；所述第一板、所述第二板及所述阶梯部围成一缓冲区；

其中，所述夹持部包括第一夹持部及第二夹持部；

所述第一夹持部的夹持面与所述第二夹持部的夹持面相对设置。

2.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，

所述阶梯面水平设置，和/或，

所述阶梯面平行于所述第一板的底面。

3.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，

所述柱体包括：

底柱；以及

顶柱，连接至所述底柱上表面。

4.如权利要求3所述的基板固定装置，其特征在于，

所述第二板竖直设置，且连接至所述顶柱的一侧面；

所述第二板上端连接至所述第一板，下端连接至所述底柱上表面。

5.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，

所述柱体包括一夹持面，延伸至所述阶梯部；

所述夹持面设有一螺孔。

6.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，所述第一板还包括

凸条，突出于所述矩形板体的底面，且位于所述第二侧边处。

7.如权利要求6所述的基板固定装置，其特征在于，

所述第一板在第一侧边处连接至所述第二板；和/或，

所述第一板垂直连接至所述第二板。

8.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，

所述第一夹持部的螺孔与所述第二夹持部的螺孔相对设置；

所述基板固定装置包括一螺杆，其一端连接至所述第一夹持部的螺孔，其另

一端连接至所述第二夹持部的螺孔。

9.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，

所述柱体、所述第一板以及所述第二板为一体式结构。

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