CN110049638B - 高密度互连板制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及高密度互连板制造技术领域，提供了一种高密度互连板制造方法，包括压合芯板、测量钻孔、测量标识、批量生产、输出程序、互连钻孔和芯板互连步骤。其中，在测量标识步骤中，根据各整体测量标识的实际位置数值和各整体测量标识在压合之前的位置数值获得互连坯料板的整体形变量，根据各局部测量标识的实际位置数值和各局部测量标识在压合之前的位置数值获得各工作板区的局部形变量；在输出程序步骤中，根据各互连坯料板的整体形变量，划分类别归属，并根据类别归属相同的各局部形变量的平均值及互连孔的预设位置，分别输出各类别归属的钻孔程序。该高密度互连板制造方法提升了钻孔对准度，提高了效率，适用于批量生产作业中。

Description

高密度互连板制造方法

技术领域

本发明涉及高密度互连板制造技术领域，尤其涉及一种高密度互连板制造方法。

背景技术

高密度互连板(High Density Interconnector，简称HDI板)是一种线路分布密度较高、电性能及讯号正确性较好的电路板，被广泛应用于手机等数码产品中。在高密度互连板的制造流程中，在压合工序后，往往需要在其板面上与内层的焊盘相对应的位置处进行钻孔操作以形成过孔，并在其内填入导电料，从而实现不同层的线路之间的电连接。

然而，在经过压合工序后，其板面均会在不同的板面区域产生不同程度的局部形变，从而导致在钻孔工序中所形成的过孔将无法与内层的焊盘对位精准，更无法实现不同层的线路的电连接，甚至可能钻偏至内层线路上从而导致内层线路出现开路现象，对最终形成的高密度互连板的功能性造成了较严重的影响，十分不利于高密度互连板的批量生产化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种高密度互连板制造方法，旨在解决现有高密度互连板制造过程中，板面产生局部形变后钻孔对准度差的技术问题。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种高密度互连板制造方法，用于制造高密度互连板，包括以下步骤：

压合芯板，压合依次层叠设置的第1铜箔薄片、第2互连芯板……第M互连板……第N互连芯板、第N+1铜箔薄片，并形成互连坯料板，其中，所述互连坯料板具有至少一个工作板区和位于各所述工作板区之外的非工板区，所述第M互连芯板于朝向所述第1铜箔薄片的板面的周沿处设有至少三个整体测量标识，且还于朝向所述第1铜箔薄片的各所述工作板区的周沿处分别设有至少三个局部测量标识，各所述整体测量标识和各所述局部测量标识均位于所述非工板区内，N＞M＞1，N≥3；

测量钻孔，对所述第1铜箔薄片至所述第M-1互连芯板进行钻孔，以使各所述整体测量标识和各所述局部测量标识外露；

测量标识，采用光学量测装置测量各所述整体测量标识和各所述局部测量标识的实际位置数值，并根据各所述整体测量标识的实际位置数值和各所述整体测量标识在压合之前的位置数值获得所述互连坯料板的整体形变量，并根据各所述局部测量标识的实际位置数值和各所述局部测量标识在压合之前的位置数值获得各所述工作板区的局部形变量；

批量生产，重复所述压合芯板步骤、所述测量钻孔步骤和所述测量标识步骤，以获取多个所述互连坯料板、多个所述互连坯料板的整体形变量及多个所述互连坯料板的各所述工作板区的局部形变量；

输出程序，根据各所述互连坯料板的整体形变量，划分各所述互连坯料板的类别归属，并根据类别归属相同的各所述工作板区的各局部形变量的平均值及各所述互连坯料板的互连孔的预设位置，分别输出各所述类别归属的钻孔程序；

互连钻孔，在各所述互连坯料板上分别通过相应类别归属的所述钻孔程序钻出所述互连孔；

芯板互连，于各所述互连坯料板的各所述互连孔内填入导电料，以使各所述互连坯料板的所述第1铜箔薄片、所述第2互连芯板……所述第M互连板……所述第N互连芯板、所述第N+1铜箔薄片导电互连，并形成各所述高密度互连板。

进一步地，M＝2。

进一步地，在所述测量标识步骤之后，且在所述批量生产步骤之前，还包括：

序号标识，各所述互连坯料板于各所述第1铜箔薄片的板面的边沿设有用于识别各所述互连坯料板的板件识别标识；

其中，在所述批量生产步骤中，重复所述压合芯板、所述测量钻孔、所述测量标识步骤和所述序号标识步骤，以获取批量的多个所述互连坯料板、多个所述互连坯料板的整体形变量及多个所述互连坯料板的各所述工作板区的局部形变量，并将各所述互连坯料板的所述板件识别标识、各所述互连坯料板的整体形变量和各所述互连坯料板的各所述工作板区的局部形变量对应存储。

进一步地，在所述输出程序步骤之后，且在所述互连钻孔步骤之前，还包括：

自动分板，识别各所述互连坯料板的所述板件识别标识，并根据各所述互连坯料板的所述类别归属，将各所述互连坯料板分放至与所述类别归属一一对应的储料箱中；

其中，在所述互连钻孔步骤中，根据各所述类别归属的所述钻孔程序，在相应的所述储料箱内的各所述互连坯料板上分别钻出所述互连孔。

进一步地，在所述输出程序步骤中，所述根据各所述互连坯料板的整体形变量，将各所述互连坯料板分类放置的工序包括：

将各整体形变量处于0～0.05mm范围内的各所述互连坯料板归类于第一类；

将各整体形变量处于0.05～0.1mm范围内的各所述互连坯料板归类于第二类；

将各整体形变量大于0.1mm的各所述互连坯料板归类于第三类；

将各整体形变量处于-0.05～0mm范围内的各所述互连坯料板归类于第四类；

将各整体形变量处于-0.1～-0.05mm范围内的各所述互连坯料板归类于第五类；

将各整体形变量小于-0.1mm的各所述互连坯料板归类于第六类。

进一步地，各所述整体测量标识和各所述局部测量标识均呈圆形设置。

进一步地，各所述整体测量标识的直径为0.5～1.0mm，各所述局部测量标识的直径为0.5～1.0mm。

进一步地，相邻两所述整体测量标识的连线与所述第M互连芯板的板边平行设置，相邻两所述局部测量标识的连线与所述工作板区的周沿平行设置。

进一步地，相邻两所述局部测量标识的连线与所述工作板区的周沿的距离为1mm。

本发明的有益效果：

本发明提供的高密度互连板制造方法通过在压合芯板步骤之前，在第M互连芯板的板面上设置整体测量标识和局部测量标识，并通过测量和分析各整体测量标识压合前后的位置数值的变化量以获得互连坯料板的整体形变量，测量和分析各局部测量标识压合前后的位置数值的变化量以获得各工作板区的局部形变量，随后根据多个互连坯料板的整体形变量将其划分为几个类别归属，并根据每一类别归属的各工作板区的局部形变量的平均值，对预设的钻孔位置进行钻孔偏移补偿，并对应输出可适用于该类别归属内所有的互连坯料板的钻孔程序，最后再通过该钻孔程序对相应类别归属的各互连坯料板进行补偿钻孔，从而大幅提升其钻孔对准度，使得其所形成的过孔可与内层的焊盘对位精准，实现不同层的线路连接。本发明提供的高密度互连板制造方法不仅可大幅提升钻孔对准度，还在一定程度上提高了生产效率，十分适用于高密度互连板的批量生产作业中。

附图说明

图1是本发明实施例提供的高密度互连板制造方法的流程图；

图2是本发明实施例提供的第M互连芯板的板面示意图。

附图标记：

标号	名称	标号	名称
				10	工作板区	20	非工板区
30	整体测量标识	40	局部测量标识

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

在本发明实施例的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明实施例的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。

以下结合具体实施例对本发明的具体实现进行更加详细的描述：

请参阅图1-2，本发明实施例提供了一种高密度互连板制造方法，用于制造高密度互连板，该高密度互连板制造方法包括压合芯板、测量钻孔、测量标识、批量生产、输出程序、互连钻孔和芯板互连等步骤。

其中，在压合芯板步骤中，压合依次层叠设置的第1铜箔薄片、第2互连芯板……第M互连板……第N互连芯板、第N+1铜箔薄片，并形成互连坯料板，其中，互连坯料板具有至少一个工作板区10和位于各工作板区10之外的非工板区20，第M互连芯板于朝向第1铜箔薄片的板面的周沿处设有至少三个整体测量标识30，且还于朝向第1铜箔薄片的各工作板区10的周沿处分别设有至少三个局部测量标识40，各整体测量标识30和各局部测量标识40均位于非工板区20内，N＞M＞1，N≥3。

在此需要说明的是，上述第1铜箔薄片、第2互连芯板……第M互连板……第N互连芯板、第N+1铜箔薄片为已完成双板面的内层线路制作、光学检查、棕化处理等常规工序处理的铜箔薄片或互连芯板。在进行上述压合依次层叠设置的第1铜箔薄片、第2互连芯板……第M互连板……第N互连芯板、第N+1铜箔薄片的工序时，应在第1铜箔薄片和第2互连芯板之间、各互连芯板之间、第N互连芯板和第N+1铜箔薄片之间分别叠加半固化片，再将第1铜箔薄片、第2互连芯板……第M互连板……第N互连芯板、第N+1铜箔薄片依次对准、铆和及压合。

在此还需要说明的是，各互连芯板的板面均可划分为多个呈矩阵阵列排布的工作板区10和一个非工板区20，其中，内层线路、焊盘等均设于工作板区10内，且各互连芯板上所设置的工作板区10的数量应根据一张互连坯料板上预设的出货单位/成品的数量进行规划设置，即在最终完成各层线路电连接的板件上，需沿其工作板区10进行裁板，才可获得预设出货单位数量的高密度互连板。优选地，在本实施例中，上述工作板区10至少可设有两个，至多可设有九个，如此设置，可在保障工作板区10的内部线路等不受压合磨损的情况下，提高其生产效率。应注意，在各互连芯板依次层叠时，各工作板区10亦应呈上下重叠设置，如此，各工作板区10最终才可形成功能性齐全的高密度互连板。

在此还需要说明的是，在压合之前，在层叠设置于第1铜箔薄片和第N+1铜箔薄片之间的第M互连芯板上，设置至少三个整体测量标识30，并在该板面上的各工作板区10的周沿外设置至少三个局部测量标识40，并记录各整体测量标识30和各局部测量标识40在压合前的位置数值。优选地，在本实施例中，该整体测量标识30设有四个，各工作板区10的局部测量标识40也分别设有四个。如此设置，更利于各整体测量标识30和各局部测量标识40的位置数值的获取，同时也更利于保障其数据的准确性。

在测量钻孔步骤中，对第1铜箔薄片至第M-1互连芯板进行钻孔，以使各整体测量标识30和各局部测量标识40外露。在此需要说明的是，将各整体测量标识30和各局部测量标识40开窗并外露有利于对各整体测量标识30和各局部测量标识40在压合后的位置数值的测量。在此还需要说明的是，针对上述对第1铜箔薄片至第M-1互连芯板进行钻孔的工序，本实施例提供一种具体地操作方式：使用激光钻孔机对各整体测量标识30和各局部测量标识40进行开窗，具体地，利用激光烧蚀压合在第M互连芯板上方的第1铜箔薄片、半固化片、第2互连芯板、半固化片……第M-1互连芯板，直至露出位于第M互连芯板朝向第1铜箔薄片的板面上的各整体测量标识30和各局部测量标识40。

在测量标识步骤中，采用光学量测装置测量各整体测量标识30和各局部测量标识40的实际位置数值，并根据各整体测量标识30的实际位置数值和各整体测量标识30在压合之前的位置数值获得互连坯料板的整体形变量，并根据各局部测量标识40的实际位置数值和各局部测量标识40在压合之前的位置数值获得各工作板区10的局部形变量。在此需要说明的是，上述光学量测装置可为但不限于为视觉检测设备、精密影像式测量仪等等可识别并检测各整体测量标识30和各局部测量标识40的实际位置数值的装置。通过光学量测装置测量、并通过分析压合前后各整体测量标识30的位置数值的变化值可获取互连坯料板的板面的整体形变量，通过分析压合前后各局部测量标识40的位置数值的变化值可获取各工作板区10的局部形变量。上述整体形变量等于各整体测量标识30的实际位置数值与各整体测量标识30在压合之前的位置数值的差值，当整体形变量为正值时，即可判断该互连坯料板在压合后发生了尺寸涨大；当整体形变量为负值时，即可判断该互连坯料板在压合后发生了尺寸收缩。同理，上述局部形变量等于各局部测量标识40的实际位置数值与各局部测量标识40在压合之间的位置数值的差值，当局部形变量为正值时，即可判断该互连坯料板在压合后发生了尺寸涨大；当局部形变量为负值时，即可判断该互连坯料板在压合后发生了尺寸收缩。通过测量标识步骤，可获取该互连坯料板在压合前后的整体形变情况和对应于各工作板区10的局部形变情况，利于后续对钻孔对准度的纠正。补充说明的是，上述获取的整体形变量和各工作板区10的局部形变量应顺序进行存储，且存储于一个日志文件中，以利于后续对该数据进行读取和使用。

在批量生产步骤中，重复压合芯板步骤、测量钻孔步骤和测量标识步骤，以获取多个互连坯料板、多个互连坯料板的整体形变量及多个互连坯料板的各工作板区10的局部形变量。在此需要说明的是，在实际生产过程中，高密度互连板制造均为大批量生产作业，本发明实施例提供的高密度互连板制造方法特为大批量生产作业提出一种可提升钻孔对准度的制造方法，但在本实施例中，并不对各互连坯料板的数量进行任何的限定，该互连坯料板的数量为一张以上即可。补充说明的是，在对整体形变量和各工作板区10的局部形变量进行存储时，应将其与各互连坯料板进行一一对应存储。

在输出程序步骤中，根据各互连坯料板的整体形变量，划分各互连坯料板的类别归属，并根据类别归属相同的各工作板区10的各局部形变量的平均值及各互连坯料板的互连孔的预设位置，分别输出各类别归属的钻孔程序。在此需要说明的是，通过调取存储数据，并根据各互连坯料板的整体形变量，将各整体形变量较为相近的各互连坯料板归为一个类别归属，以利于批量处理。随后计算类别归属相同的各互连坯料板的各工作板区10的各局部形变量的平均值，从而获得该类别归属的平均形变量，结合各互连坯料板的互连孔的原定预设位置，即可对该预设位置进行钻孔偏移补偿，并输出可适用于该类别归属内的所有互连坯料板的钻孔程序，通过该钻孔程序对各互连坯料板进行钻孔偏移平均补偿，一方面可保障其上最终形成的互连孔可与内层的焊盘对位精准，保障不同层的线路之间的电连接，另一方面还可提高生产效率。优选地，上述分类、数据分析与处理、输出程序等操作可通过但不限于通过ERP软件(企业资源计划系统)实现。

在互连钻孔步骤中，在各互连坯料板上分别通过相应类别归属的钻孔程序钻出互连孔。在此需要说明的是，在本步骤中，针对每一个类别内的互连坯料板，可采用上步骤中所生成的适用于该类别归属的钻孔程序对其进行钻孔，以形成可与内层的焊盘对位精准的互连孔。

在芯板互连步骤中，于各互连坯料板的各互连孔内填入导电料，以使各互连坯料板的第1铜箔薄片、第2互连芯板……第M互连板……第N互连芯板、第N+1铜箔薄片导电互连，并形成各高密度互连板。补充说明的是，在于各互连坯料板的各互连孔内填入导电料的工序之后，且在形成各高密度互连板之前，还包括裁板工序，在裁板工序中，沿工作板区10进行裁板，以获得一个出货单位的高密度互连板。

本发明实施例提供的高密度互连板制造方法通过在压合芯板步骤之前，在第M互连芯板的板面上设置整体测量标识30和局部测量标识40，并通过测量和分析各整体测量标识30压合前后的位置数值的变化量以获得互连坯料板的整体形变量，测量和分析各局部测量标识40压合前后的位置数值的变化量以获得各工作板区10的局部形变量，随后根据多个互连坯料板的整体形变量将其划分为几个类别归属，并根据每一类别归属的各工作板区10的局部形变量的平均值，对预设的钻孔位置进行钻孔偏移补偿，并对应输出可适用于该类别归属内所有的互连坯料板的钻孔程序，最后再通过该钻孔程序对相应类别归属的各互连坯料板进行补偿钻孔，从而大幅提升其钻孔对准度，使得其所形成的过孔可与内层的焊盘对位精准，实现不同层的线路连接。本发明实施例提供的高密度互连板制造方法不仅可大幅提升钻孔对准度，还在一定程度上提高了生产效率，十分适用于高密度互连板的批量生产作业中。

请参阅图1-2，在本实施例中，M＝2。在此需要说明的是，M＝2，即意味着，在压合芯板步骤之前，在层叠设置于第1铜箔薄片和第N+1铜箔薄片之间的第2互连芯板上，设置至少三个整体测量标识30，并在该板面上的各工作板区10的周沿外设置至少三个局部测量标识40，并记录各整体测量标识30和各局部测量标识40在压合前的位置数值；在测量钻孔步骤中，对第1铜箔薄片进行钻孔，以使各整体测量标识30和各局部测量标识40外露。通过将整体测量标识30和局部测量标识40设于第2互连芯板，即次外层上，可降低测量钻孔步骤对各层的负面影响，减少板损，避免形变加重的情况。而不将整体测量标识30和局部测量标识40设于第1铜箔薄片的原因在于，避免压合芯板步骤中，压合的温度和压力条件对整体测量标识30和局部测量标识40造成磨损，从而导致形变数据测量准确度差的问题出现。

请参阅图1-2，在本实施例中，在测量标识步骤之后，且在批量生产步骤之前，还包括序号标识步骤。

在序号标识步骤中，各互连坯料板于各第1铜箔薄片的板面的边沿设有用于识别各互连坯料板的板件识别标识。在此需要说明的是，在各互连坯料板于各第1铜箔薄片的板面的边沿，即非工板区20内设置板件识别标识，可利于后续对各互连坯料板的区分识别，此步骤在大批量生产中尤为重要，可避免钻孔补偿的作用对象出错。上述板件识别标识可包括但不限于包括厂内料号、批号及各互连坯料板的序号。上述板件识别标识的设置方式可通过但不限于通过激光钻孔机对其激光钻出。

其中，在批量生产步骤中，重复压合芯板、测量钻孔、测量标识步骤和序号标识步骤，以获取批量的多个互连坯料板、多个互连坯料板的整体形变量及多个互连坯料板的各工作板区10的局部形变量，并将各互连坯料板的板件识别标识、各互连坯料板的整体形变量和各互连坯料板的各工作板区10的局部形变量对应存储。在此需要说明的是，在存储数据时，应将各互连坯料板的板件识别标识、各互连坯料板的整体形变量和各互连坯料板的各工作板区10的局部形变量对应并顺序存储。

请参阅图1，在本实施例中，在输出程序步骤之后，且在互连钻孔步骤之前，还包括自动分板步骤。

在自动分板步骤中，识别各互连坯料板的板件识别标识，并根据各互连坯料板的类别归属，将各互连坯料板分放至与类别归属一一对应的储料箱中；

其中，在互连钻孔步骤中，根据各类别归属的钻孔程序，在相应的储料箱内的各互连坯料板上分别钻出互连孔。在此需要说明的是，通过区分并识别各互连坯料板上的板件识别标识，对应读取其在输出程序步骤中的被划分的类别归属信息，将其对应分放至与类别归属相对应的储料箱中，以利于后续可针对一个储料箱内的各互连坯料板采用与类别归属相对应的钻孔程序进行钻孔偏移补偿。优选地，在本实施例中，上述自动分板步骤通过自动分板机实现，具体地，自动分板机通过检测件识别并读取各互连坯料板的板件识别标识，并依据其类别归属，将其分类放置至对应的储料箱中。优选地，在本实施例中，为避免出错，且为便于在后续的互连钻孔步骤中，实现对储料箱的识别，上述不同类别的储料箱可分别设置成不同颜色的储料箱。

请参阅图1，在本实施例中，在输出程序步骤中，根据各互连坯料板的整体形变量，将各互连坯料板分类放置的工序包括：

将各整体形变量处于0～0.05mm范围内的各互连坯料板归类于第一类；

将各整体形变量处于0.05～0.1mm范围内的各互连坯料板归类于第二类；

将各整体形变量大于0.1mm的各互连坯料板归类于第三类；

将各整体形变量处于-0.05～0mm范围内的各互连坯料板归类于第四类；

将各整体形变量处于-0.1～-0.05mm范围内的各互连坯料板归类于第五类；

将各整体形变量小于-0.1mm的各互连坯料板归类于第六类。

在此需要说明的是，将各互连坯料板的整体形变量按每0.05mm进行一次划分，可使得归类于同一类别归属内的各互连坯料板的整体形变量和局部形变量均较为贴近，从而利于平均对同一类别归属内的各互连坯料板进行平均钻孔偏移补偿，而不会对其钻孔对准度造成较大的影响，同时也利于保障整个制造过程中的生产效率。其中，归类于第三类和第六类内的各互连坯料板在压合后的整体形变量属于较大变形，对于第三类和第六类内的各互连坯料板应采用谨慎处理，若同一类别内的各互连坯料板的整体形变量相差较大，则建议对该类采用单独处理原则，即逐一生成单独的钻孔程序；若同一类别内的各互连坯料板的整体形变量相差量居于0.05mm范围内，则建议采用同类别共用一个钻孔程序，以提高生产效率。

请参阅图1-2，在本实施例中，各整体测量标识30和各局部测量标识40均呈圆形设置。请参阅图1-2，在本实施例中，各整体测量标识30和各局部测量标识40均呈圆形设置。在此需要说明的是，通过将各整体测量标识30和各局部测量标识40均呈圆形设置，可有利于光学量测装置在测量标识步骤中，快速地对各整体测量标识30和各局部测量标识40进行识别并对其位置信息测量。

请参阅图1-2，在本实施例中，各整体测量标识30的直径为0.5～1.0mm，各局部测量标识40的直径为0.5～1.0mm。在此需要说明的是，将各整体测量标识30和各局部测量标识40的直径限制在0.5～1.0mm范围内，可在不影响其作用的情况下，缩减各整体测量标识30和各局部测量标识40在各互连坯料板的板面上所占用的空间，从而利于各互连坯料板的板面上的工作板区10的优化布局，从而提高高密度互连板的生产效率。

请参阅图1-2，在本实施例中，相邻两整体测量标识30的连线与第M互连芯板的板边平行设置，相邻两局部测量标识40的连线与工作板区10的周沿平行设置。在此需要说明的是，在压合芯板步骤之后，各互连坯料板基本沿其板边方向发生尺寸涨缩变形，因而，将相邻两整体测量标识30的连线与第M互连芯板的板边平行设置，相邻两局部测量标识40的连线与工作板区10的周沿平行设置，可有利于获取沿板边的两个相互垂直方向上的整体形变量和局部形变量，更便于后续的钻孔偏移补偿，同时也更利于钻孔点的位置确定，例如可通过将各互连坯料板的一处边角设为原点来获取整体测量标识30或局部测量标识40的位置数值，或将各互连坯料板的中心点设为原点来获取整体测量标识30或局部测量标识40的位置数值。

请参阅图1-2，在本实施例中，相邻两局部测量标识40的连线与工作板区10的周沿的距离为1mm。在此需要说明的是，由上文可知，局部测量标识40设置于工作板区10的外沿并用于检测工作板区10的局部形变量。若将相邻两局部测量标识40的连线与工作板区10的周沿的距离大于1mm设置，则不利于对该工作板区10的局部变形量进行精确测量；若将相邻两局部测量标识40的连线与工作板区10的周沿的距离小于1mm，则可能对工作板区10内部的内层线路、焊盘等造成损伤。因此，将相邻两局部测量标识40的连线与工作板区10的周沿的距离设置为1mm，可有效保障测量该工作板区10的局部变形量的精确度。

本发明实施例提供的高密度互连板制造方法通过在压合芯板步骤之前，在第2互连芯板的板面上设置整体测量标识30和局部测量标识40，并通过测量和分析各整体测量标识30压合前后的位置数值的变化量以获得互连坯料板的整体形变量，测量和分析各局部测量标识40压合前后的位置数值的变化量以获得各工作板区10的局部形变量，随后根据多个互连坯料板的整体形变量将其划分为几个类别归属，并根据每一类别归属的各工作板区10的局部形变量的平均值，对预设的钻孔位置进行钻孔偏移补偿，并对应输出可适用于该类别归属内所有的互连坯料板的钻孔程序，最后再通过该钻孔程序对相应类别归属的各互连坯料板进行补偿钻孔，从而大幅提升其钻孔对准度，使得其所形成的过孔可与内层的焊盘对位精准，实现不同层的线路连接。本发明实施例提供的高密度互连板制造方法不仅可大幅提升钻孔对准度，还在一定程度上提高了生产效率，十分适用于高密度互连板的批量生产作业中。

以上仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种高密度互连板制造方法，用于制造高密度互连板，其特征在于，包括以下步骤：

压合芯板，压合依次层叠设置的第1铜箔薄片、第2互连芯板……第M互连板……第N互连芯板、第N+1铜箔薄片，并形成互连坯料板，其中，所述互连坯料板具有至少一个工作板区和位于各所述工作板区之外的非工板区，所述第M互连芯板于朝向所述第1铜箔薄片的板面的周沿处设有至少三个整体测量标识，且还于朝向所述第1铜箔薄片的各所述工作板区的周沿处分别设有至少三个局部测量标识，各所述整体测量标识和各所述局部测量标识均位于所述非工板区内，N＞M＞1，N≥3；

测量钻孔，对所述第1铜箔薄片至所述第M-1互连芯板进行钻孔，以使各所述整体测量标识和各所述局部测量标识外露；

测量标识，采用光学量测装置测量各所述整体测量标识和各所述局部测量标识的实际位置数值，并根据各所述整体测量标识的实际位置数值和各所述整体测量标识在压合之前的位置数值获得所述互连坯料板的整体形变量，并根据各所述局部测量标识的实际位置数值和各所述局部测量标识在压合之前的位置数值获得各所述工作板区的局部形变量；

批量生产，重复所述压合芯板步骤、所述测量钻孔步骤和所述测量标识步骤，以获取多个所述互连坯料板、多个所述互连坯料板的整体形变量及多个所述互连坯料板的各所述工作板区的局部形变量；

输出程序，根据各所述互连坯料板的整体形变量，划分各所述互连坯料板的类别归属，并根据类别归属相同的各所述工作板区的各局部形变量的平均值及各所述互连坯料板的互连孔的预设位置，分别输出各所述类别归属的钻孔程序，以通过所述钻孔程序对各所述类别归属的各所述互连坯料板进行钻孔偏移平均补偿；

互连钻孔，在各所述互连坯料板上分别通过相应类别归属的所述钻孔程序钻出所述互连孔；

芯板互连，于各所述互连坯料板的各所述互连孔内填入导电料，以使各所述互连坯料板的所述第1铜箔薄片、所述第2互连芯板……所述第M互连板……所述第N互连芯板、所述第N+1铜箔薄片导电互连，并形成各所述高密度互连板。

2.如权利要求1所述的一种高密度互连板制造方法，其特征在于，M＝2。

3.如权利要求1所述的一种高密度互连板制造方法，其特征在于，在所述测量标识步骤之后，且在所述批量生产步骤之前，还包括：

序号标识，各所述互连坯料板于各所述第1铜箔薄片的板面的边沿设有用于识别各所述互连坯料板的板件识别标识；

其中，在所述批量生产步骤中，重复所述压合芯板、所述测量钻孔、所述测量标识步骤和所述序号标识步骤，以获取批量的多个所述互连坯料板、多个所述互连坯料板的整体形变量及多个所述互连坯料板的各所述工作板区的局部形变量，并将各所述互连坯料板的所述板件识别标识、各所述互连坯料板的整体形变量和各所述互连坯料板的各所述工作板区的局部形变量对应存储。

4.如权利要求3所述的一种高密度互连板制造方法，其特征在于，在所述输出程序步骤之后，且在所述互连钻孔步骤之前，还包括：

自动分板，识别各所述互连坯料板的所述板件识别标识，并根据各所述互连坯料板的所述类别归属，将各所述互连坯料板分放至与所述类别归属一一对应的储料箱中；

其中，在所述互连钻孔步骤中，根据各所述类别归属的所述钻孔程序，在相应的所述储料箱内的各所述互连坯料板上分别钻出所述互连孔。

5.如权利要求1所述的一种高密度互连板制造方法，其特征在于，在所述输出程序步骤中，所述根据各所述互连坯料板的整体形变量，将各所述互连坯料板分类放置的工序包括：

将各整体形变量处于0～0.05mm范围内的各所述互连坯料板归类于第一类；

将各整体形变量处于0.05～0.1mm范围内的各所述互连坯料板归类于第二类；

将各整体形变量大于0.1mm的各所述互连坯料板归类于第三类；

将各整体形变量处于-0.05～0mm范围内的各所述互连坯料板归类于第四类；

将各整体形变量处于-0.1～-0.05mm范围内的各所述互连坯料板归类于第五类；

将各整体形变量小于-0.1mm的各所述互连坯料板归类于第六类。

6.如权利要求1所述的一种高密度互连板制造方法，其特征在于，各所述整体测量标识和各所述局部测量标识均呈圆形设置。

7.如权利要求6所述的一种高密度互连板制造方法，其特征在于，各所述整体测量标识的直径为0.5～1.0mm，各所述局部测量标识的直径为0.5～1.0mm。

8.如权利要求1-7中任一项所述的一种高密度互连板制造方法，其特征在于，相邻两所述整体测量标识的连线与所述第M互连芯板的板边平行设置，相邻两所述局部测量标识的连线与所述工作板区的周沿平行设置。

9.如权利要求8所述的一种高密度互连板制造方法，其特征在于，相邻两所述局部测量标识的连线与所述工作板区的周沿的距离为1mm。

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