CN110017877A - 求出气体流量的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的基板处理系统具备具有第1气体流路的气体供给部。第1气体流路上连接有流量测定系统的第2气体流路。流量测定系统还具备连接于第2气体流路的第3气体流路以及分别测定第3气体流路中的压力及温度的压力传感器及温度传感器。一实施方式的方法中，通过积层方法计算从气体供给部的流量控制器输出的气体的流量。不使用第1气体流路与第2气体流路的合计容积及第1气体流路与第2气体流路中的温度而计算气体的流量。

Description

求出气体流量的方法
技术领域
本公开的实施方式涉及一种求出基板处理系统中的气体流量的方法。
背景技术
基板处理中，在腔室主体的内部空间中配置基板，向该内部空间供给气体，通过所供给的气体对基板进行处理。基板处理中，通过流量控制器控制供给至腔室主体的内部空间的气体的流量。气体流量的控制精度对基板处理的结果产生影响。因此，通过流量控制器测定所输出的气体的流量。
作为气体流量的测定方法之一，使用积层法。关于积层法，日本特开2012-32983号公报中有所记载。日本特开2012-32983号公报中记载的积层法中，预先求出气体流路的容积。并且，根据气体流路内的压力的上升速度、气体流路内的温度及所求出的容积求出流量。
积层法中，若求出其容积时的气体流路内的温度与获取计算流量所需的其他参数时的气体流路内的温度不同，则无法准确地求出气体的流量。因此，需要以高精度求出气体流量的方法。
发明内容
一方式中，提供一种利用流量测定系统求出基板处理系统中的气体流量的方法。基板处理系统具备多个腔室主体、多个气体供给部及多个排气装置。多个气体供给部分别构成为向多个腔室主体中对应的腔室主体的内部空间供给气体。多个气体供给部分别具有壳体、多个流量控制器、多个初级阀、多个次级阀及第1气体流路。多个流量控制器设置于壳体内。多个初级阀分别连接于多个流量控制器的初级侧。多个次级阀分别连接于多个流量控制器的次级侧。第1气体流路包含多个第1端部、第2端部及第3端部。多个第1端部分别连接于多个次级阀。多个第1端部、第2端部及从多个第1端部延伸至该第2端部的部分设置于壳体内。第3端部设置于壳体的外部。第3端部经由开闭阀连接于对应的腔室主体的内部空间。多个排气装置经由多个排气流路分别连接于多个腔室主体的内部空间。
流量测定系统具有第2气体流路、第3气体流路、第1阀、第2阀、1个以上的第1压力传感器及第1温度传感器。第2气体流路包含多个第4端部及第5端部。多个第4端部分别连接于多个气体供给部中对应的气体供给部的第2端部。第3气体流路具有第6端部及第7端部。第1阀连接于第2气体流路的第5端部与第3气体流路的第6端部之间。第2阀连接于第3气体流路的第7端部且设置为能够连接于多个排气装置。1个以上的第1压力传感器构成为测定第3气体流路内的压力。第1温度传感器构成为测定第3气体流路内的温度。
一方式所涉及的方法包含：
(i)对多个气体供给部中的1个气体供给部的第1气体流路、第2气体流路及第3气体流路进行抽真空的工序；
(ii)执行进行抽真空的工序之后，在从1个气体供给部的多个流量控制器中的1个流量控制器输出的气体被封入到连接于1个气体供给部的多个次级阀中的1个流量控制器的次级侧的1个次级阀与第2阀之间的第1状态下，利用1个以上的第1压力传感器获取第3气体流路内的压力测定值P11的工序；
(iii)执行获取测定值P11的工序之后，从1个流量控制器向第1气体流路、第2气体流路及第3气体流路供给气体且形成第2阀关闭的第2状态，由此使第1气体流路、第2气体流路及第3气体流路中的压力上升的工序；
(iv)执行使压力上升的工序之后，形成第2阀与1个次级阀关闭的第3状态的工序；
(v)在第3状态下，利用1个以上的第1压力传感器及第1温度传感器获取第3气体流路内的压力测定值P12及第3气体流路内的温度测定值T12的工序；
(vi)从第3状态形成第2阀打开且第1阀关闭的第4状态的工序；
(vii)从第4状态形成第2阀关闭的第5状态的工序；
(viii)在第5状态下，利用1个以上的第1压力传感器获取第3气体流路内的压力测定值P13的工序；
(ix)从第5状态形成第1阀打开的第6状态的工序；
(x)在第6状态下，利用1个以上的第1压力传感器获取第3气体流路内的压力测定值P14的工序；及
(xi)通过执行以下式(1)
Q＝(P12-P11)/Δt×(1/R)×(V/T)……(1)
的运算，求出在第2状态下从1个流量控制器输出的气体的流量Q的工序。式(1)中，Δt为使压力上升的工序的执行期间的时长，R为气体常数，(V/T)包含{V3/T12×(P12-P13)/(P12-P14)}，V3为第3气体流路的容积的既定值。
一方式所涉及的方法中，在第2阀关闭的状态下将来自1个流量控制器的气体供给至1个气体供给部的第1气体流路、第2气体流路及第3气体流路，由此使压力上升。通过将该压力上升的速度即压力的上升速度用于式(1)，求出从1个流量控制器输出的气体的流量。式(1)中，V/T原本应包含(VE/T E)与(V3/T12)之和。其中，VE为第1气体流路的容积与第2气体流路的容积之和，TE为第3状态下的第1气体流路及第2气体流路中的温度。第1气体流路配置于壳体内，因此第1气体流路内的温度从周围环境受到的影响少。并且，第3气体流路经由第2气体流路连接于第1气体流路，因此第3气体流路中的温度从多个腔室主体受到的影响少。另一方面，第2气体流路有可能受到周围环境例如多个腔室主体中的任一个的温度的影响。一方式所涉及的方法中，V3/T12×(P12-P13)/(P12-P14)代替(VE/TE)与(V3/T12)之和而用于式(1)。即，流量的计算中，能够利用从很难受到来自周围环境的温度的影响的部位获取的测定值。因此，根据一方式所涉及的方法，能够以高精度求出流量。并且，一方式所涉及的方法中，使在第3状态下封入到第1气体流路及第2气体流路中的气体扩散于第3气体流路，由此形成第6状态，并在该第6状态下获取测定值P14。即，为了形成获取测定值P12时的状态而使用的气体为了形成获取测定值P14时的状态而被再利用。因此，能够有效地求出流量。
一实施方式中，设定为在第5状态下第3气体流路内的压力高于已抽真空的第3气体流路内的压力。该实施方式中，通过在第3状态下封入到第3气体流路内的气体被局部排出，即，未完全排出而形成第5状态。因此，为了从第2状态形成第5状态而所需的时长缩短。
一实施方式中，流量测定系统还具备第4气体流路、第3阀及第4阀。第4气体流路具有第8端部、第9端部、第10端部、在第8端部与第9端部之间延伸的第1部分流路及从第1部分流路分支而延伸至第10端部的第2部分流路。第2阀连接于第3气体流路的第7端部与第4气体流路的第8端部之间。第3阀连接于第4气体流路的第9端部与多个排气装置的各个排气装置之间。第4阀设置于第2部分流路上。该实施方式中，方法还包含：
将基准器的罐连接于第10端部的工序，其中，基准器具有罐、测定罐的内部空间中的温度的第2温度传感器、测定罐的内部空间中的压力的第2压力传感器及连接于第4阀与罐的内部空间之间的第5阀；
在罐的内部空间封入有气体的状态下，利用第2压力传感器及第2温度传感器获取罐的内部空间中的压力测定值Pr1及罐的内部空间中的温度测定值Tr1的工序；
在使封入到罐的内部空间中的气体扩散于罐的内部空间及第4气体流路中的状态下，利用第2压力传感器及第2温度传感器获取罐的内部空间中的压力测定值Pr2及罐的内部空间中的温度测定值Tr2的工序；
利用罐的内部空间的已知容积Vr、测定值Pr1、测定值Tr1、测定值Pr2及测定值Tr2，执行以下式(2)
V4＝Vr×(Pr1/Tr1-Pr2/Tr2)×Tr2/Pr2……(2)的运算，由此求出第4气体流路的容积的计算值V4的工序；
在使扩散于罐的内部空间及第4气体流路的气体扩散于罐的内部空间、第3气体流路及第4气体流路中的状态下，分别利用第1温度传感器、第2压力传感器及第2温度传感器，获取第3气体流路内的温度测定值T1f、罐的内部空间中的压力测定值Pr3及罐的内部空间中的温度测定值Tr3的工序；
利用罐的内部空间的已知容积Vr、测定值Pr1、测定值Tr1、计算值V4、测定值Pr3、测定值Tr3及测定值T1f，执行以下式(3)
V3C＝(Vr×Pr1/Tr1-V4×Pr3/Tr3-Vr×Pr3/Tr3)×T1f/Pr3……(3)的运算，由此求出第3气体流路的容积的计算值V3C的工序；及
比较计算值V3C与既定值V3的工序。该实施方式中，根据波义耳-查理法则获取第3气体流路的容积的计算值V3C。并且，通过比较计算值V3C与既定值V3，验证既定值V3的可靠性。
一实施方式中，方法还包含：
当计算值V3C与既定值V3之差的绝对值未包含在规定的容许范围时，反复进行获取罐的内部空间中的压力测定值Pr1及罐的内部空间中的温度测定值Tr1的工序、获取罐的内部空间中的压力测定值Pr2及罐的内部空间中的温度测定值Tr2的工序、求出第4气体流路的容积的计算值V4的工序、获取第3气体流路内的温度测定值T1f、罐的内部空间中的压力测定值Pr3及罐的内部空间中的温度测定值Tr3的工序、以及求出第3气体流路的容积的计算值V3C的工序，由此获取第3气体流路的容积的多个计算值V3C的工序；及
利用多个计算值V3C的平均值更新既定值V3的工序。根据该实施方式，根据多个计算值V3C的平均值更新既定值V3，因此可获得具有高可靠性的既定值V3。而且，基于式(1)的流量的计算精度更加提高。
一实施方式中，方法还包含：
在罐连接基准压力传感器的工序；
在第3气体流路、第4气体流路及罐的内部空间被抽真空的状态下，调整1个以上的第1压力传感器、第2压力传感器及基准压力传感器的各个测定值的零点的工序；及
以使第3气体流路中的压力、第4气体流路中的压力及罐的内部空间中的压力成为相互相同的压力的方式，在相互连通的第3气体流路、第4气体流路及罐的内部空间中封入有气体的状态下，获取包含1个以上的第1压力传感器的各个测定值、第2压力传感器的测定值及基准压力传感器的测定值的测定值组的工序。获取测定值组的工序在多个循环的各个循环中执行。在多个循环中的第k次循环中，排出在多个循环中的第(k-1)次循环中封入到第4气体流路中的气体，在第(k-1)次循环中封入到第3气体流路及罐的内部空间中的气体扩散于第4气体流路，由此形成第3气体流路、第4气体流路及罐的内部空间中封入有气体的上述状态。其中，k为2以上的整数。并且，方法还包含：根据多个测定值组的各个测定值组，对1个以上的第1压力传感器及第2压力传感器中确定为获取到相对于基准压力传感器的测定值具有未包含在规定的容许范围的误差的测定值的压力传感器的压力传感器进行校准的工序。根据该实施方式，1个以上的第1压力传感器及第2压力传感器得到适当的校准。其结果，基于式(1)的流量的计算精度更加提高。
附图说明
图1是表示一实施方式所涉及的求出气体流量的方法的流程图。
图2是概略地表示一实施方式所涉及的基板处理系统的图。
图3是表示一例的压力控制式流量控制器的结构的图。
图4是表示图1所示的方法的工序STA的详细内容的流程图。
图5是表示图1所示的方法的工序STB的详细内容的流程图。
图6是与图1所示的方法相关的时序图。
具体实施方式
以下，参考附图对各种实施方式进行详细说明。另外，各附图中，对相同或相当的部分标注相同的符号。
图1是表示一实施方式所涉及的求出气体流量的方法的流程图。图1所示的方法MT中，为了求出基板处理系统中的气体流量，利用流量测定系统来执行。图2是概略地表示一实施方式所涉及的基板处理系统的图。方法MT能够适用于图2所示的基板处理系统10。
基板处理系统10具备多个腔室主体12、多个气体供给部14及多个排气装置16。基板处理系统10中，腔室主体12的个数及排气装置16的个数分别为N个。并且，基板处理系统10中，气体供给部14的个数为(N+1)个。“N”为2以上的整数。另外，以下的说明及附图中，参考基板处理系统10的N个或(N+1)个要件中的1个要件时，对表示该要件的参考符号的末尾附加“i”的下标字符。例如，参考多个腔室主体12中的1个腔室主体时，使用参考符号“12i”。其中，i为1以上的整数。基板处理系统10具备多个工艺模块。多个工艺模块分别包含具有相同编号i的腔室主体12i、气体供给部14i及排气装置16i。
在多个腔室主体12的各个腔室主体的内部空间中，为了基板处理而容纳有基板。多个气体供给部14分别构成为向多个腔室主体12中对应的腔室主体的内部空间供给气体。具体而言，基板处理系统10中，气体供给部141～14N分别构成为向腔室主体121～12N内供给气体。并且，气体供给部14N+1构成为向腔室主体121内供给气体。另外，气体供给部14N+1也可以构成为向多个腔室主体12中的腔室主体121以外的其他腔室主体的内部空间也供给气体。
多个气体供给部14分别具有壳体17、多个流量控制器18、多个初级阀19、多个次级阀20及第1气体流路21。多个气体供给部14分别还可具有阀22。基板处理系统10中，N个气体供给部141～14N分别具有M个流量控制器18、M个初级阀19及M个次级阀20。M为2以上的整数。并且，气体供给部14N+1具有2个流量控制器18、2个初级阀19及2个次级阀20。另外，以下的说明及附图中，参考多个气体供给部14各自的多个要件中的1个要件时，对表示该要件的参考符号的末尾附加“j”的下标字符。例如，参考多个流量控制器18中的1个流量控制器时，使用参考符号“18j”。其中，j为1以上的整数。
壳体17为提供内部空间的容器。多个流量控制器18被容纳于壳体17内。多个气体供给部14的多个流量控制器18中，气体供给部14N+1的流量控制器181以外的流量控制器为质量流量控制器或压力控制式流量控制器。图3是表示一例的压力控制式流量控制器的结构的图。图3所示的流量控制器FC可用作多个气体供给部14的多个流量控制器18中的气体供给部14N+1的流量控制器181以外的流量控制器。
流量控制器FC具有控制阀CV、流路IL、节流部件OF、压力传感器FP1、温度传感器FT、压力传感器FP2。流路IL的一端连接于初级阀。流路IL的另一端连接于次级阀。节流部件OF在流路IL的一端与另一端之间局部缩小流路IL的截面积。在节流部件OF的上游侧，在流路IL上设置有控制阀CV。压力传感器FP1构成为在控制阀CV与节流部件OF之间即节流部件OF的初级侧测定流路IL内的压力。温度传感器FT构成为在控制阀CV与节流部件OF之间即节流部件OF的初级侧测定流路IL内的温度。并且，压力传感器FP2构成为在节流部件OF与流路IL的另一端之间测定流路IL内的压力。
流量控制器FC中，当节流部件OF的初级侧(上游侧)的压力为节流部件OF的下游侧(次级侧)的流路IL的压力的2倍以上时，以减少根据通过压力传感器FP1获取的压力测定值求出的流量与设定流量之差的方式，通过控制部CU对控制阀CV的开度进行控制。另一方面，当节流部件OF的初级侧(上游侧)的压力小于节流部件OF的下游侧(次级侧)的流路IL的压力的2倍时，以减少根据通过压力传感器FP1获取的压力测定值与通过压力传感器FP2获取的压力测定值之差求出的流量与设定流量之差的方式，通过控制部CU对控制阀CV的开度进行控制。另外，在节流部件OF的初级侧(上游侧)的压力为节流部件OF的下游侧(次级侧)的流路IL的压力的2倍以上的状态下被利用时，流量控制器FC可以不具有压力传感器FP2。
再次参考图2。如上所述，多个气体供给部14的多个流量控制器18中，气体供给部14N+1的流量控制器181以外的流量控制器分别可以是质量流量控制器。质量流量控制器与压力控制式流量控制器相同地具有温度传感器。气体供给部14N+1的流量控制器181为质量流量控制器，且具有使液体气化的功能。
多个初级阀19分别连接于多个流量控制器18的初级侧。多个初级阀19设置于壳体17内。多个初级阀19中气体供给部14N+1的初级阀191以外的初级阀分别连接于设置在其初级侧(上游侧)的对应的气体源。气体供给部14N+1的初级阀191连接于设置在其初级侧的液体源。多个次级阀20分别连接于多个流量控制器18的次级侧。多个次级阀20设置于壳体17内。
第1气体流路21包含多个第1端部21a、第2端部21b及第3端部21c。多个第1端部21a分别连接于多个次级阀20。即，多个第1端部21a分别经由多个次级阀20连接于多个流量控制器18的次级侧。第1气体流路21包含从多个第1端部21a延伸的多个流路，该多个流路连接于共同的流路。第1气体流路21的共同的流路的一端为第2端部21b。从多个第1端部21a延伸至第2端部21b的第1气体流路21的部分设置于壳体17内。第3端部21c设置于壳体17的外部。包含第3端部21c的流路连接于第1气体流路21的上述共同的流路。第3端部21c经由对应的开闭阀30(30i)连接于多个腔室主体12中对应的腔室主体的内部空间。第2端部21b上连接有阀22。阀22设置于壳体17内。
基板处理系统10具备多个压力控制阀32、多个涡轮分子泵34、多个排气流路36及多个阀38。多个压力控制阀32的各个压力控制阀例如为自动压力控制阀。压力控制阀32i构成为调整对应的腔室主体12i的内部空间的压力。排气流路36i经由压力控制阀32i及涡轮分子泵34i连接于对应的腔室主体12i的内部空间。在排气流路36i上设置有阀38i。在阀38i的下游，排气装置16i连接于排气流路36i。多个排气装置16的各个排气装置例如为干式泵。
如图2所示，基板处理系统10中，为了测定通过多个流量控制器18的各个流量控制器输出的气体的流量，连接有流量测定系统40。流量测定系统40提供在依据积层法的气体流量的测定中利用的气体流路及各种传感器。具体而言，流量测定系统40具备第2气体流路42、第3气体流路43、压力传感器47、压力传感器48、温度传感器49、第1阀51及第2阀52。
第2气体流路42包含多个第4端部42a及第5端部42b，从多个第4端部42a延伸至第5端部42b。多个第4端部42a连接于多个气体供给部14中对应的气体供给部的第1气体流路21的第2端部21b。一实施方式中，多个第4端部42a连接于多个气体供给部14中对应的气体供给部的阀22。第2气体流路42包含分别包含多个第4端部42a的多个流路及该多个流路所连接的共同的流路。第2气体流路42的共同的流路包含第5端部42b。
第3气体流路43包含第6端部43a及第7端部43b，从第6端部43a延伸至第7端部43b。第1阀51连接于第2气体流路42的第5端部42b与第3气体流路43的第6端部43a之间。第2阀52连接于第3气体流路43的第7端部43b，且设置为能够连接于多个排气装置16。压力传感器47及压力传感器48分别构成为测定第3气体流路43内的压力。温度传感器49(第1温度传感器)构成为测定第3气体流路43内的温度。另外，流量测定系统40具有压力传感器47及压力传感器48中的至少一个即可。即，流量测定系统40具有测定第3气体流路43内的压力的1个以上的压力传感器(1个以上的第1压力传感器)即可。
一实施方式中，流量测定系统40可以还具备第4气体流路44、第3阀53及第4阀54。第4气体流路44具有第8端部44a、第9端部44b及第10端部44c。并且，第4气体流路44具有第1部分流路44d及第2部分流路44e。第1部分流路44d在第8端部44a与第9端部44b之间延伸。第2部分流路44e从第1部分流路44d分支而延伸至第10端部44c。上述第2阀52连接于第3气体流路43的第7端部43b与第4气体流路44的第8端部44a之间。第3阀53连接于第4气体流路44的第9端部44b与多个排气装置16的各个排气装置之间。一实施方式中，多个排气流路36上分别连接有N个阀58。第3阀53经由阀58i及排气流路36i连接于排气装置16i。第4阀54设置于第2部分流路44e上。
后述的方法MT中，利用基准器60及基准压力传感器70。基准器60具有罐62、压力传感器63(第2压力传感器)、温度传感器64(第2温度传感器)及阀65(第5阀)。罐62提供内部空间。压力传感器63构成为测定罐62的内部空间中的压力。温度传感器64构成为测定罐62的内部空间中的温度。阀65连接于罐62。当基准器60连接于第4气体流路44的第10端部44c时，阀65连接于第4阀54与罐62的内部空间之间。
基准压力传感器70能够连接于罐62。一实施方式中，基准器60可以还具有阀66。基准压力传感器70可经由阀66连接于罐62的内部空间。基准压力传感器70连接于罐62的内部空间时，构成为测定罐62的内部空间的压力。
一实施方式中，基板处理系统10可以还具备主控制部MU。主控制部MU可以是具有CPU之类的处理器、存储器之类的存储装置、键盘之类的输入装置、显示装置等的计算机装置。主控制部MU通过处理器执行存储于存储装置的控制程序，根据存储于存储装置的方案数据控制基板处理系统10的各部及流量测定系统40的各部。另外，方法MT可以通过基于主控制部MU的基板处理系统10的各部及流量测定系统40的各部的控制来实施。
以下，再次参考图1，对方法MT进行说明。以下说明中，将测定从1个气体供给部14i的1个流量控制器18j输出的气体的流量的情况为例，进行方法M T的说明。在方法MT的执行期间，气体供给部14i以外的多个气体供给部14的阀22关闭。并且，多个阀58中的1个阀以外的阀关闭。以下说明中，设为多个阀58中阀58i以外的阀关闭。而且，连接于1个气体供给部14i的流量控制器18j以外的多个流量控制器18的多个初级阀19及多个次级阀20关闭。
方法MT包含工序ST1～工序ST15。一实施方式中，方法MT除了工序ST1～工序ST15以外，还可包含工序STA。一实施方式中，方法MT还可包含工序STB。
工序STA中，进行压力传感器47、压力传感器48、压力传感器63、温度传感器49及温度传感器64的校准。图4是表示图1所示的方法的工序STA的详细内容的流程图。如图4所示，工序STA包含工序STA1～工序STA14。
工序STA1中，基准器60的罐62连接于第4气体流路44的第10端部44c。具体而言，基准器60的阀65连接于第4气体流路44的第10端部44c。接下来的工序STA2中，基准压力传感器70连接于基准器60的罐62的内部空间。具体而言，基准压力传感器70连接于阀66。
接下来的工序STA3中，第1气体流路21、第2气体流路42、第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间被抽真空。工序STA3中，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的初级阀19j关闭，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的次级阀20j打开。并且，工序STA3中，气体供给部14i的阀22、第1阀51、第2阀52、第3阀53、第4阀54、阀65、阀66及阀58i打开。其结果，工序STA3中，第1气体流路21、第2气体流路42、第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间连接于排气装置16i，并被抽真空。
接下来的工序STA4中，在第1气体流路21、第2气体流路42、第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间被抽真空的状态下，调整压力传感器47、压力传感器48及压力传感器63的各个测定值的零点。即，工序STA4中，压力传感器47、压力传感器48及压力传感器63分别校准为其测定值显示为零。
接下来的工序STA5中，在连接于气体供给部14i的流量控制器18j的初级阀19j打开，从流量控制器18j输出气体的状态下，第3阀53关闭。接下来的工序STA6中，来自气体供给部14i的流量控制器18j的气体供给停止，第1阀51关闭。并且，待机状态持续，直至基准压力传感器70的测定值稳定且温度传感器64的测定值稳定。基准压力传感器70的测定值在其变动量为规定值以下时，判定为稳定。并且，温度传感器64的测定值在其变动量为规定值以下时，判定为稳定。
工序STA6中，若基准压力传感器70的测定值稳定且温度传感器64的测定值稳定，则以使第3气体流路43中的压力、第4气体流路44中的压力及罐62的内部空间中的压力成为相互相同的压力的方式，形成在相互连通的第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间中封入有气体的状态。该状态下，执行接下来的工序STA7。工序STA7中，获取温度传感器64的测定值Tra与温度传感器49的测定值T1a，相互比较测定值Tra与测定值T1a。具体而言，判定测定值Tra与测定值T1a之差的绝对值是否包含在规定的容许范围。例如，判定是否满足|T1a-Tra|＜TTHa。其中，TTHa为确定规定的容许范围的数值。当测定值Tra与测定值T1a之差的绝对值未包含在规定的容许范围时，校准或更换温度传感器49。
接下来的工序STA8中，在工序STA6中形成的上述状态下，获取测定值组。在工序STA8中获取的测定值组包含压力传感器47的测定值PA(1)、压力传感器48的测定值PB(1)、压力传感器63的测定值Pr(1)及基准压力传感器70的测定值PS(1)。
接下来的工序STA9中，第2阀52及阀65关闭，第3阀53打开。通过执行工序STA9，第4气体流路44内的气体至少局部排出。接下来的工序STA10中，第3阀53关闭，第2阀52及阀65打开。通过执行工序STA10，第3气体流路43及罐62的内部空间中的气体扩散于第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间中。并且，持续待机状态，直至基准压力传感器70的测定值稳定。基准压力传感器70的测定值在其变动量为规定值以下时，判定为稳定。
若在工序STA10中判定为基准压力传感器70的测定值稳定，则以使第3气体流路43中的压力、第4气体流路44中的压力及罐62的内部空间中的压力成为相互相同的压力的方式，形成在相互连通的第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间中封入有气体的状态。在该状态下，执行接下来的工序STA11。工序STA11中，获取测定值组。在工序STA11中获取的测定值组包含压力传感器47的测定值PA(k)、压力传感器48的测定值PB(k)、压力传感器63的测定值Pr(k)及基准压力传感器70的测定值PS(k)。其中，k为表示后述循环的顺序的数值，为1以上的整数。
接下来的工序STA12中，判定是否满足停止条件。工序STA12中，包含工序STA9～工序STA11的循环的执行次数达到规定次数时，判定为满足停止条件。若在工序STA12中判定为不满足停止条件，则再次执行工序STA9～工序S TA11。另一方面，若在工序STA12中判定为满足停止条件，则处理过渡到工序STA13。
如上所述，工序STA中执行工序STA8与工序STA11的反复。通过工序STA8与工序STA11的反复，在多个循环的各个循环中执行获取测定值组的工序。其结果，获取多个测定值组。在多个循环中的第k次循环中，排出在多个循环中的第(k-1)次循环中封入到第4气体流路44中的气体，在第(k-1)次循环中封入到第3气体流路43及罐62的内部空间中的气体扩散到第4气体流路44，由此形成在第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间中封入有气体的状态。
工序STA13中，根据多个测定值组的每一个，对压力传感器47、压力传感器48及压力传感器63中确定为获取到具有未包含在从基准压力传感器70的测定值规定的容许范围的误差的测定值的压力传感器进行校准。例如，不满足|PA(k)-PS(k)|＜PTH时，判定为压力传感器47的测定值具有未包含在从基准压力传感器70的测定值规定的容许范围的误差，对压力传感器47进行校准。并且，不满足|PB(k)-PS(k)|＜PTH时，判定为压力传感器48的测定值具有未包含在从基准压力传感器70的测定值规定的容许范围的误差，对压力传感器48进行校准。并且，不满足|Pr(k)-PS(k)|＜PTH时，判定为压力传感器63的测定值具有未包含在从基准压力传感器70的测定值规定的容许范围的误差，对压力传感器63进行校准。另外，PTH为确定规定的容许范围的数值。
接下来的工序STA14中，拆卸基准压力传感器70。具体而言，阀66关闭，从阀66拆卸基准压力传感器70。
根据该工序STA，压力传感器47、压力传感器48及压力传感器63得到适当的校准。其结果，后述的流量Q的计算精度得到提高。
如上所述，一实施方式中，方法MT还包含工序STB。一实施方式中，工序STB在执行工序STA之后执行。工序STB中，验证既定值V3的可靠性。既定值V3为第3气体流路43的容积，被预先确定。图5是表示图1所示的方法的工序STB的详细内容的流程图。如图5所示，工序STB包含工序STB1～工序STB14。
工序STB1中，第1气体流路21、第2气体流路42、第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间被抽真空。工序STB1中，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的初级阀19j关闭，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的次级阀20j打开。并且，工序STB1中，气体供给部14i的阀22、第1阀51、第2阀52、第3阀53、第4阀54、阀65、及阀58i打开，阀66关闭。其结果，工序STB1中，第1气体流路21、第2气体流路42、第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间连接于排气装置16i，并被抽真空。
接下来的工序STB2中，在连接于气体供给部14i的流量控制器18j的初级阀19j打开，从流量控制器18j输出有气体的状态下，第3阀53关闭。通过执行工序STB2，在第1气体流路21、第2气体流路42、第3气体流路43、第4气体流路44及罐62的内部空间封入气体。
接下来的工序STB3中，来自气体供给部14i的流量控制器18j的气体的供给停止，阀65关闭，第3阀53打开。通过执行工序STB3，形成在罐62的内部空间封入有气体的状态。并且，通过执行工序STB3，排出封入到第3气体流路43及第4气体流路44中的气体。
接下来的工序STB4中，第1阀51、第2阀52及第3阀53关闭。另外，第4阀54维持打开的状态。接下来的工序STB5中，在气体封入到罐62的内部空间的状态下，利用压力传感器63及温度传感器64获取罐62的内部空间中的压力测定值Pr1及罐62的内部空间中的温度测定值Tr1。
接下来的工序STB6中，阀65打开。并且，待机状态持续，直至压力传感器63的测定值稳定。压力传感器63的测定值在其变动量为规定值以下时，判定为稳定。工序STB6中，若压力传感器63的测定值稳定，则形成使封入到罐62的内部空间的气体扩散于罐62的内部空间及第4气体流路44中的状态。接下来的工序STB7中，在工序STB6中形成的状态下，利用压力传感器63及温度传感器64获取罐62的内部空间中的压力测定值Pr2及罐62的内部空间中的温度测定值Tr2。
接下来的工序STB8中，求出第4气体流路44的容积的计算值V4。工序ST B8中，为了求出计算值V4，执行以下式(2)的运算。式(2)的运算中，利用罐62的内部空间的已知容积Vr、测定值Pr1、测定值Tr1、测定值Pr2及测定值Tr2。
V4＝Vr×(Pr1/Tr1-Pr2/Tr2)×Tr2/Pr2……(2)
接下来的工序STB9中，第2阀52打开。并且，待机状态持续，直至压力传感器63的测定值稳定。压力传感器63的测定值在其变动量为规定值以下时，判断为稳定。工序STB9中，若压力传感器63的测定值稳定，则形成使扩散于罐62的内部空间及第4气体流路44中的气体扩散于罐62的内部空间、第3气体流路43及第4气体流路44中的状态。接下来的工序STB10中，在工序STB9中形成的状态下，分别利用温度传感器49、压力传感器63及温度传感器64获取第3气体流路43内的温度测定值T1f、罐62的内部空间中的压力测定值Pr3及罐的内部空间中的温度测定值Tr3。
接下来的工序STB11中，求出第3气体流路43的容积的计算值V3C。工序STB11中，为了求出计算值V3C，执行以下式(3)的运算。式(3)的运算中，利用罐62的内部空间的已知容积Vr、测定值Pr1、测定值Tr1、计算值V4、测定值Pr3、测定值Tr3及测定值T1f。
V3C＝(Vr×Pr1/Tr1-V4×Pr3/Tr3-Vr×Pr3/Tr3)×T1f/Pr3……(3)
接下来的工序STB12中，判定计算值V3C与既定值V3之差的绝对值是否包含在规定的容许范围。例如，判定是否满足|V3C-V3|＜VTH。不满足|V3C-V3|＜VTH时，判定为计算值V3C与既定值V3之差的绝对值未包含在规定的容许范围。另外，VTH为确定规定的容许范围的数值。另一方面，满足|V3C-V3|＜VTH时，判定为计算值V3C与既定值V3之差的绝对值包含在规定的容许范围。
工序STB12中，若判定为计算值V3C与既定值V3之差的绝对值未包含在规定的容许范围，则执行工序STB13。工序STB13中反复执行工序STB1～工序ST B11。其结果，获取多个计算值V3C。接下来的工序STB14中，利用多个计算值V3C的平均值更新既定值V3。即，将既定值V3替换成多个计算值V3C的平均值。
若在执行工序STB14之后或者在工序STB12中，判定为计算值V3C与既定值V3之差的绝对值包含在规定的容许范围，则结束工序STB的执行。另外，可以在结束工序STB之前，第4阀54及阀65关闭，从第10端部44c拆卸基准器60。
该工序STB中，根据波义耳-查理法则，获取第3气体流路43的容积的计算值V3C。并且，通过比较计算值V3C与既定值V3，验证既定值V3的可靠性。并且，工序STB中，根据多个计算值V3C的平均值更新既定值V3，因此获得具有高可靠性的既定值V3。而且，后述的流量Q的计算精度得到提高。
再次参考图1。并且，以下的说明中，与图1一同参考图6。图6是与图1所示的方法相关的时序图。图6的时序图中，横轴表示时间。图6的时序图中，纵轴表示第3气体流路43的压力测定值、连接于气体供给部14i的流量控制器18j的次级阀20j的开闭状态、第1阀51的开闭状态、第2阀52的开闭状态及第3阀53的开闭状态。
方法MT的工序ST1中，第1气体流路21、第2气体流路42及第3气体流路43被抽真空。另外，工序ST1中，第4气体流路44也被抽真空。工序ST1中，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的初级阀19j关闭，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的次级阀20j打开。并且，工序ST1中，气体供给部14i的阀22、第1阀51、第2阀52、第3阀53及阀58i打开。另外，第4阀54关闭。其结果，工序ST1中，第1气体流路21、第2气体流路42、第3气体流路43及第4气体流路44连接于排气装置16i，并被抽真空。
接下来的工序ST2中，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的初级阀19j打开，开始来自流量控制器18j的气体的供给。接下来的工序ST3中，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的次级阀20j与第2阀52关闭。通过执行工序ST3，形成从气体供给部14i的流量控制器18j输出的气体封入到气体供给部14i的次级阀20j与第2阀52之间即气体供给部14i的第1气体流路21、第2气体流路42及第3气体流路43中的第1状态。
接下来的工序ST4中，获取压力测定值P11。测定值P11为第1状态下的第3气体流路43内的压力测定值。测定值P11为通过压力传感器47或压力传感器48获取的测定值。测定值P11也可以是通过压力传感器47获取的测定值与通过压力传感器48获取的测定值的平均值。另外，工序ST4中，通过压力传感器47和/或压力传感器48获取的测定值稳定时，可获取测定值P11。通过压力传感器47和/或压力传感器48获取的测定值在其变动量为规定值以下时，判断为稳定。
接下来的工序ST5中，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的次级阀20j与第2阀52打开。接下来的工序ST6中，气体供给部14i的第1气体流路21、第2气体流路42及第3气体流路43中的压力增加。具体而言，工序ST6中，第2阀52关闭。即，工序ST6中，从气体供给部14i的流量控制器18j向气体供给部14i的第1气体流路21、第2气体流路42及第3气体流路43供给气体，且形成第2阀52关闭的第2状态。该第2状态下，气体供给部14i的第1气体流路21、第2气体流路42及第3气体流路43中的压力上升。
接下来的工序ST7中，连接于气体供给部14i的流量控制器18j的次级阀20j与第2阀52关闭。执行该工序ST7的结果，形成第3状态。
接下来的工序ST8中，获取测定值P12及测定值T12。测定值P12为第3状态下的第3气体流路43内的压力测定值。测定值P12为通过压力传感器47或压力传感器48获取的测定值。测定值P12也可以是通过压力传感器47获取的测定值与通过压力传感器48获取的测定值的平均值。测定值T12为第3状态下的第3气体流路43内的温度测定值。测定值T12为通过温度传感器49获取的测定值。另外，工序ST8中，通过压力传感器47和/或压力传感器48获取的测定值稳定且通过温度传感器49获取的测定值稳定时，可获取测定值P12及测定值T12。通过压力传感器47和/或压力传感器48获取的测定值在其变动量为规定值以下时，判断为稳定。并且，通过温度传感器49获取的测定值在其变动量为规定值以下时，判断为稳定。
接下来的工序ST9中，第1阀51及第3阀53关闭。接下来的工序ST10中，第2阀52打开。即，工序ST10中，第2阀52打开且第1阀51关闭，由此从第3状态形成第4状态。第4状态下，第3气体流路43内的气体至少被部分排出。一实施方式的第4状态下，第3气体流路43内的气体被部分向第4气体流路44排出。其他实施方式的第4状态下，第3气体流路43内的气体也可以经由第4气体流路44完全排出。
接下来的工序ST11中，通过第2阀52关闭，从第4状态形成第5状态。一实施方式中可以设定为：在上述的第4状态下，第3气体流路43内的气体被部分排出，由此使第5状态下的第3气体流路43内的压力高于被抽真空的第3气体流路43内的压力。该实施方式中，通过在第3状态下封入到第3气体流路43内的气体被部分排出，即，不完全排出而形成第5状态。因此，从第3状态形成第5状态所需的时长缩短。一实施方式中，也可以在工序ST11之后追加开放第3阀53的工序11a，并反复工序ST9～工序ST11a，由此使第3气体流路43内的压力下降。
接下来的工序ST12中，获取压力测定值P13。测定值P13为第5状态下的第3气体流路43内的压力测定值。测定值P13为通过压力传感器47或压力传感器48获取的测定值。测定值P13也可以是通过压力传感器47获取的测定值与通过压力传感器48获取的测定值的平均值。另外，工序ST12中，通过压力传感器47和/或压力传感器48获取的测定值稳定时，可获取测定值P13。通过压力传感器47和/或压力传感器48获取的测定值在其变动量为规定值以下时，判断为稳定。
接下来的工序ST13中，通过第1阀51打开，从第5状态形成第6状态。接下来的工序ST14中，获取压力测定值P14。测定值P14为第6状态下的第3气体流路43内的压力测定值。测定值P14为通过压力传感器47或压力传感器48获取的测定值。测定值P14也可以是通过压力传感器47获取的测定值与通过压力传感器48获取的测定值的平均值。另外，工序ST14中，通过压力传感器47和/或压力传感器48获取的测定值稳定时，可获取测定值P14。通过压力传感器47和/或压力传感器48获取的测定值在其变动量为规定值以下时，判断为稳定。
接下来的工序ST15中，求出流量Q。流量Q为在第2状态下从气体供给部14i的流量控制器18j输出的气体的流量。工序ST15中，为了求出流量Q，执行以下式(1)的运算。
Q＝(P12-P11)/Δt×(1/R)×(V/T)……(1)
式(1)中，Δt为工序ST6的执行期间的时长，R为气体常数，(V/T)包含{V3/T12×(P12-P13)/(P12-P14)}。
一实施方式中，工序ST15的具体运算为下述式(1a)的运算。
Q＝(P12-P11)/Δt×(1/R)×{Vst/Tst+V3/T12×(P12-P13)/(P12-P14)}…
…(1a)
式(1a)中，Vst为气体供给部14i的流量控制器18j的节流部件与次级阀20j的阀体之间的流路的容积，是预先确定的设计值。Tst为气体供给部14i的流量控制器18j的节流部件与次级阀20j的阀体之间的流路内的温度，通过流量控制器18j的温度传感器获取。另外，Tst可以是在第3状态下获取的温度。另外，式(1a)中，也可以省略(Vst/Tst)。
方法MT中，在第2阀52关闭的状态下，向气体供给部14i的第1气体流路21、第2气体流路42及第3气体流路43供给来自1个气体供给部14i的1个流量控制器18j的气体，由此使压力上升。通过将该压力上升的速度即压力的上升速度用于式(1)，求出从流量控制器18j输出的气体的流量。式(1)中，V/T原本应包含(VE/TE)与(V3/T12)之和。即，式(1)的运算原本应为以下的式(1b)。
Q＝(P12-P11)/Δt×(1/R)×(Vst/Tst+VE/TE+V3/T12)……(1b)
其中，VE为气体供给部14i的第1气体流路21的容积与第2气体流路42的容积之和，TE为第3状态下的气体供给部14i的第1气体流路21及第2气体流路42中的温度。
其中，根据波义耳-查理法则，以下的式(4)成立。
P12×VE/TE+P13×V3/T12＝P14×VE/TE+P14×V3/T12……(4)
根据式(4)，(VE/TE)与(V3/T12)之和表示为如下述式(5)所示。
VE/TE+V3/T12＝V3/T12+V3/T12×(P14-P13)/(P12-P14)＝V3/T12×(P12-P13)/(P12-P14)……(5)
因此，式(1)中，能够代替(VE/TE)与(V3/T12)之和利用V3/T12×(P12-P13)/(P12-P14)。
基板处理系统中，第1气体流路21配置于壳体17内，因此第1气体流路21内的温度从周围环境受到的影响少。并且，第3气体流路43经由第2气体流路42连接于第1气体流路21，因此可配置于远离多个腔室主体12的区域。因此，第3气体流路43中的温度从多个腔室主体12受到的影响少。另一方面，第2气体流路42有可能受到周围环境例如多个腔室主体12中的任一个的温度的影响。方法MT中，代替(VE/TE)与(V3/T12)之和，V3/T12×(P12-P13)/(P12-P14)用于式(1)。即，方法MT中，流量Q的计算中，能够使用从不易受到来自周围环境的温度的影响的部位获取的测定值。因此，根据方法MT，能够以高精度求出流量Q。
并且，方法MT中，通过使在第3状态下封入到第1气体流路21及第2气体流路42中的气体扩散于第3气体流路43，形成第6状态，在该第6状态下获取测定值P14。即，为了形成获取测定值P12时的状态而使用的气体为了形成获取测定值P14时的状态而被再利用。因此，能够有效地求出流量Q。
另外，流量Q也可以针对气体供给部14i的所有流量控制器18求出。并且，也可以对全部多个气体供给部14依次执行方法MT。对气体供给部14N+1执行方法MT时，从气体供给部14N+1的流量控制器181输出的气体在各气体流路内的压力设定为低于该气体的饱和蒸气压的压力。另外，关于设定为低于饱和蒸气压的压力的气体压力，当通过液体的气化而生成的气体被用作单体气体时，可以是该单体的气体压力。当使用通过液体的气化而生成的气体与其他气体的混合气体时，设定为低于饱和蒸气压的压力的气体压力是通过液体的气化而生成的气体的分压。
以上，对各种实施方式进行了说明，但能够不限定于上述实施方式而构成为各种变形方式。例如，变形方式中的基板处理系统也可以不具备气体供给部14N+1。

Claims (5)

1.一种利用流量测定系统求出基板处理系统中的气体流量的方法，其中，
所述基板处理系统具备多个腔室主体、多个气体供给部及多个排气装置，
所述多个气体供给部构成为分别向所述多个腔室主体中对应的腔室主体的内部空间供给气体，所述多个气体供给部分别具有：
壳体；
多个流量控制器，设置于所述壳体内；
多个初级阀，分别设置于所述多个流量控制器的初级侧；
多个次级阀，分别连接于所述多个流量控制器的次级侧；及
第1气体流路，包含多个第1端部、第2端部及第3端部，该多个第1端部分别连接于所述多个次级阀，该多个第1端部、该第2端部及从该多个第1端部延伸至该第2端部的部分设置于所述壳体内，所述第3端部设置于所述壳体的外部，该第1气体流路经由开闭阀连接于所述对应的腔室主体的所述内部空间，
所述多个排气装置经由多个排气流路分别连接于所述多个腔室主体的内部空间，
所述流量测定系统具备：
第2气体流路，包含多个第4端部及第5端部，该多个第4端部分别连接于所述多个气体供给部中对应的气体供给部的所述第2端部；
第3气体流路，具有第6端部及第7端部；
第1阀，连接于所述第2气体流路的所述第5端部与所述第3气体流路的所述第6端部之间；
第2阀，连接于所述第3气体流路的所述第7端部且设置为能够连接于所述多个排气装置；
1个以上的第1压力传感器，构成为测定所述第3气体流路内的压力；及
第1温度传感器，构成为测定所述第3气体流路内的温度，
该方法包含：
对所述多个气体供给部中的1个气体供给部的所述第1气体流路、所述第2气体流路及所述第3气体流路进行抽真空的工序；
执行进行抽真空的所述工序之后，在从所述1个气体供给部的所述多个流量控制器中的1个流量控制器输出的气体封入到连接于所述1个气体供给部的所述多个次级阀中的该1个流量控制器的次级侧的1个次级阀与所述第2阀之间的第1状态下，利用所述1个以上的第1压力传感器获取所述第3气体流路内的压力的测定值P11的工序；
执行获取测定值P11的所述工序之后，从所述1个流量控制器向所述第1气体流路、所述第2气体流路及所述第3气体流路供给气体且形成所述第2阀关闭的第2状态，由此使所述第1气体流路、所述第2气体流路及所述第3气体流路中的压力上升的工序；
执行使压力上升的所述工序之后，形成所述第2阀与所述1个次级阀关闭的第3状态的工序；
所述第3状态下，利用所述1个以上的第1压力传感器及所述第1温度传感器，获取所述第3气体流路内的压力测定值P12及该第3气体流路内的温度测定值T12的工序；
从所述第3状态形成所述第2阀打开且所述第1阀关闭的第4状态的工序；
从所述第4状态形成所述第2阀关闭的第5状态的工序；
在所述第5状态下，利用所述1个以上的第1压力传感器获取所述第3气体流路内的压力测定值P13的工序；
从所述第5状态形成所述第1阀打开的第6状态的工序；
在所述第6状态下，利用所述1个以上的第1压力传感器获取所述第3气体流路内的压力测定值P14的工序；及
通过执行以下的式(1)
Q＝(P12-P11)/Δt×(1/R)×(V/T)……(1)
的运算，求出在所述第2状态下从所述1个流量控制器输出的所述气体的流量Q的工序，
式(1)中，Δt为使压力上升的所述工序的执行期间的时长，R为气体常数，(V/T)包含{V3/T12×(P12-P13)/(P12-P14)}，V3为所述第3气体流路容积的既定值。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，
设定为在所述第5状态下所述第3气体流路内的压力高于已抽真空的该第3气体流路内的压力。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，
所述流量测定系统还具备：
第4气体流路，具有第8端部、第9端部、第10端部、在所述第8端部与所述第9端部之间延伸的第1部分流路及从该第1部分流路分支而延伸至所述第10端部的第2部分流路，所述第2阀连接于所述第3气体流路的所述第7端部与该第4气体流路的所述第8端部之间；
第3阀，连接于所述第4气体流路的所述第9端部与所述多个排气装置的各个排气装置之间；及
第4阀，设置于所述第2部分流路上，
该方法还包含：
将基准器的罐连接于所述第10端部的工序，其中，该基准器具有该罐、测定该罐的内部空间中的温度的第2温度传感器、测定该罐的该内部空间中的压力的第2压力传感器及连接于所述第4阀与该罐的该内部空间之间的第5阀；
在所述罐的所述内部空间封入有气体的状态下，利用所述第2压力传感器及所述第2温度传感器获取所述罐的所述内部空间中的压力测定值Pr1及所述罐的所述内部空间中的温度测定值Tr1的工序；
在使封入到所述罐的内部空间中的所述气体扩散于该罐的该内部空间及所述第4气体流路中的状态下，利用所述第2压力传感器及所述第2温度传感器获取所述罐的所述内部空间中的压力测定值Pr2及所述罐的所述内部空间中的温度测定值Tr2的工序；
利用所述罐的所述内部空间的已知容积Vr、所述测定值Pr1、所述测定值Tr1、所述测定值Pr2及所述测定值Tr2，执行以下式(2)
V4＝Vr×(Pr1/Tr1-Pr2/Tr2)×Tr2/Pr2……(2)
的运算，由此求出所述第4气体流路的容积的计算值V4的工序；
在使扩散于所述罐的所述内部空间及所述第4气体流路的所述气体扩散于该罐的该内部空间、所述第3气体流路及所述第4气体流路中的状态下，分别利用所述第1温度传感器、所述第2压力传感器及所述第2温度传感器，获取所述第3气体流路内的温度测定值T1f、所述罐的所述内部空间中的压力测定值Pr3及该罐的该内部空间中的温度测定值Tr3的工序；
利用所述罐的所述内部空间的已知容积Vr、所述测定值Pr1、所述测定值Tr1、所述计算值V4、所述测定值Pr3、所述测定值Tr3及所述测定值T1f，执行以下式(3)
V3C＝(Vr×Pr1/Tr1-V4×Pr3/Tr3-Vr×Pr3/Tr3)×T1f/Pr3……(3)
的运算，由此求出所述第3气体流路的容积的计算值V3C的工序；及
比较所述计算值V3C与所述既定值V3的工序。
4.根据权利要求3所述的方法，其还包含：
当所述计算值V3C与所述既定值V3之差的绝对值未包含在规定的容许范围时，反复进行获取所述罐的所述内部空间中的压力测定值Pr1及所述罐的所述内部空间中的温度测定值Tr1的所述工序、获取所述罐的所述内部空间中的压力测定值Pr2及所述罐的所述内部空间中的温度测定值Tr2的所述工序、求出所述第4气体流路的容积的计算值V4的所述工序、获取所述第3气体流路内的温度测定值T1f、所述罐的所述内部空间中的压力测定值Pr3及该罐的该内部空间中的温度测定值Tr3的所述工序、以及求出所述第3气体流路的容积的计算值V3C的所述工序，由此获取所述第3气体流路的容积的多个计算值V3C的工序；及
利用所述多个计算值V3C的平均值更新所述既定值V3的工序。
5.根据权利要求3或4所述的方法，其还包含：
在所述罐连接基准压力传感器的工序；
在所述第3气体流路、所述第4气体流路及所述罐的所述内部空间被抽真空的状态下，调整所述1个以上的第1压力传感器、所述第2压力传感器及所述基准压力传感器的各个测定值的零点的工序；及
以使所述第3气体流路中的压力、所述第4气体流路中的压力及所述罐的所述内部空间中的压力成为相互相同的压力的方式，在相互连通的所述第3气体流路、所述第4气体流路及所述罐的所述内部空间中封入有气体的状态下，获取包含所述1个以上的第1压力传感器的各个测定值、所述第2压力传感器的测定值及所述基准压力传感器的测定值的测定值组的工序，
在多个循环的各个循环中执行获取测定值组的所述工序，获取多个测定值组，
在所述多个循环中的第k次循环中，排出在所述多个循环中的第(k-1)次循环中封入到所述第4气体流路中的所述气体，在该第(k-1)次循环中封入到所述第3气体流路及所述罐的所述内部空间中的所述气体扩散于所述第4气体流路，由此形成在所述第3气体流路、所述第4气体流路及所述罐的所述内部空间中封入有气体的所述状态，其中，k为2以上的整数，
该方法还包含：根据所述多个测定值组的各个测定值组，对所述1个以上的第1压力传感器及所述第2压力传感器中确定为获取到相对于所述基准压力传感器的测定值具有未包含在规定的容许范围的误差的测定值的压力传感器的压力传感器进行校准的工序。
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