JP2008527374A - 気体流量計較正スタンド - Google Patents

Abstract

【解決手段】 本発明の実施形態による気体フロースタンド（２００）が提供されている。気体フロースタンド（２００）は、計量装置（２１０）と、計量装置（２１０）上に配置された試験対象の計器（２０３）を含んでいる。気体フロースタンド（２００）は、計量装置（２１０）上に配置された気体供給源（２０１）と、気体供給源（２０１）と試験対象の計器（２０３）とを接続している導管（２０５）と、を更に含んでいる。計量装置（２１０）は、試験対象の計器（２０３）と、気体供給源（２０１）と、導管（２０５）とに関する重量測定値を生成する。
【選択図】 図２

Description

本発明は、気体フロースタンドに関する。

気体計量は、多くの用途で気体の体積を測定し及び／又は制御するために使用されている。多くの製造及び生産作業は、気体計量を含んでおり、気体又は各種気体は、計量されて製造工程に投入され、計量されて製造工程から出される。各種気体の正確な量を測定し及び／又は計量するのに、質量流量計が使用されている。従って、質量流量計の精度は、非常に重要である。

質量流量計の製造業者は、通常、顧客に出荷する前に計器を較正する。較正には、多くの型式の較正工程及び装置が関わる。一般的な較正法の一つに、同じ気体の流れの気体流について、試験対象の計器が作成した気体流量の測定値を、既知の精密に較正された質量流量計による測定値と比較するというやり方がある。結果的に、試験対象の計器は、較正を目的とした既知の測定値の標準に対して比較さる。この様な型式の較正装置の一つに気体フロースタンドがある。

図１は、先行技術による気体フロースタンドを示している。先行技術による気体フロースタンドは、気体供給源、吸気弁、試験対象の計器、及び排気弁を含んでいる。先行技術による気体供給源は、通常、試験対象の計器に接続された加圧タンク又はボトルを備えている。先行技術の気体供給源容器は、通常、単一の大型の気体容器である。先行技術では、気体供給源の重量を量って初気体重量値を得てから、気体供給源を試験対象の計器に接続し、試験を行う。続いて、気体供給源を試験対象の計器から外して、気体供給源の重量を再度量って最終的な重量値を得る。次に、この重量／質量の差を使用して、試験対象の計器による質量流量測定値を較正する。較正された計器は、その後、顧客に届けられる。

先行技術のやり方には欠点がある。一つの欠点は、先行技術のやり方では、気体供給源の重量しか量らず、気体フロースタンド全体の重量を量っていないことである。先行技術のやり方では、気体供給源の重量は、気体フロースタンドに接続されていないときに計量されている。先行技術のやり方では、気体フロースタンドに残留している気体を、正確に又は完全には勘定に入れてはいない。例えば、測定可能な量の気体が、気体フロースタンドの吸気弁と排気弁の間に残っている恐れがある。先行技術では、気体フロースタンド中の気体を、近似により補償するよう試みている。先行技術では、気体フロースタンド装置の既知の容積を使用し、その容積を、測定された気体の温度と圧力を使用して質量に換算している。しかしながら、これには、容積、温度、及び圧力の測定が関与しており、従って、先行技術のやり方では、追加的な誤差と不確実性が加わる。先行技術では、気体フロースタンド構成要素内に保持されている気体の質量を直接測定していない。

別の欠点は、先行技術のやり方は、気体供給源が外されるときに雰囲気中に放出される気体の量を、直接測定しておらず、或いは正確に勘定に入れていないことである。先行技術では、重量差に関わる気体が、全て試験対象の計器を通って流れると仮定している。先行技術は、気体供給源だけを測定し、気体フロースタンド構成要素中の気体と放出される気体を無視しているため、満足できる精度を実現してはいない。

上記及びこの他の問題は、気体フロースタンド、気体フロースタンドを作動させる方法、及び気体フロースタンドを形成する方法を提供することによって、解消され、当技術の進歩が実現される。

本発明の或る実施形態によれば、気体フロースタンドが提供されている。気体フロースタンドは、計量装置と、計量装置上に配置された試験対象の計器を備えている。気体フロースタンドは、計量装置上に配置された気体供給源を更に備えている。気体フロースタンドは、気体供給源と試験対象の計器を接続する導管を更に備えている。計量装置は、試験対象の計器、気体供給源、及び導管の重量測定値を生成する。

本発明の或る実施形態によれば、気体フロースタンドを作動させる方法が提供されている。この方法は、気体供給源が計量装置上に配置された状態で、この気体供給源を気体フロースタンドに接続する段階を含んでいる。この方法は、試験対象の計器が計量装置上に配置された状態で、この計器を気体フロースタンドに接続する段階を更に含んでいる。この方法は、初期重量を得るために、試験前の気体供給源と気体フロースタンドの重量を量る段階を更に含んでいる。この方法は、最終重量を得るために、試験後の気体供給源と気体フロースタンドの重量を量る段階を更に含んでいる。

本発明の或る実施形態によれば、気体フロースタンドを形成する方法が提供されている。この方法は、計量装置を用意する段階と、計量装置上に配置された試験対象の計器を用意する段階を含んでいる。この方法は、計量装置上に配置された気体供給源を用意する段階を更に含んでいる。この方法は、気体供給源と試験対象の計器を接続する導管を用意する段階を更に含んでいる。計量装置は、試験対象の計器、気体供給源、及び導管について重量測定値を生成する。
本発明の態様
気体フロースタンドの或る態様では、試験対象の計器は、コリオリ流量計を備えている。

気体フロースタンドの別の態様では、気体供給源は、１つ又は複数の気体容器を備えている。

気体フロースタンドの更に別の態様では、気体供給源は、２つ又はそれ以上の気体容器を備えており、気体フロースタンドは、２つ又はそれ以上の気体容器に連結されているマニホルドを更に備えており、マニホルドは、２つ又はそれ以上の気体容器からの気流を導管の中へと合流させる。

気体フロースタンドの更に別の態様では、気体フロースタンドは、熱交換器を更に備えている。

気体フロースタンドの更に別の態様では、気体フロースタンドは、圧力調整器を更に備えている。

気体フロースタンドの更に別の態様では、重量測定値は、試験前の気体フロースタンド内の初期気体量を含んでいる初期重量を備えており、且つ試験後の気体フロースタンド内の最終気体量を含む最終重量を備えている。

気体フロースタンドの更に別の態様では、気体フロースタンドは、計量装置上に配置され試験対象の計器の吸気口に連結されている吸気弁と、計量装置上に配置され試験対象の計器の排気口に連結されている排気弁を更に備えており、導管が、気体供給源と、吸気弁と、試験対象の計器と、排気弁とを接続している。

気体フロースタンドを作動させる方法の更に別の態様では、試験対象の計器は、コリオリ流量計を備えている。

気体フロースタンドを作動させる方法の更に別の態様では、気体供給源は、１つ又は複数の気体容器を備えている。

気体フロースタンドを作動させる方法の更に別の態様では、気体供給源は、２つ又はそれ以上の気体容器を備えており、気体フロースタンドは、２つ又はそれ以上の気体容器に連結されているマニホルドを更に備えており、マニホルドは、２つ又はそれ以上の気体容器からの気流をガスフロースタンドの導管の中へと合流させる。

気体フロースタンドを作動させる方法の更に別の態様では、方法は、試験中に気体フロースタンドの熱補償を実行する段階を更に含んでいる。

気体フロースタンドを作動させる方法の更に別の態様では、方法は、気体フロースタンドの圧力調整を実行する段階を更に含んでいる。

気体フロースタンドを作動させる方法の更に別の態様では、初期重量は、試験前の気体フロースタンド内の初期気体量を含んでおり、最終重量は、試験後の気体フロースタンド内の最終気体量を含んでいる。

気体フロースタンドを作動させる方法の更に別の態様では、方法は、初期重量と最終重量から較正係数を求める段階を更に含んでいる。

気体フロースタンドを作動させる方法の更に別の態様では、方法は、初期重量と最終重量と質量流量測定値から求められる較正係数を用いて、試験中に試験対象の計器の質量流量測定を実行する段階を更に含んでいる。

気体フロースタンドを作動させる方法の更に別の態様では、方法は、試験前に気体供給源からの気体でフロースタンドを加圧する段階を更に含んでいる。

気体フロースタンドを形成する方法の別の態様では、試験対象の計器を用意する段階は、コリオリ流量計を用意する段階を含んでいる。

気体フロースタンドを形成する方法の別の態様では、気体供給源を用意する段階は、１つ又は複数の気体容器を用意する段階を更に含んでいる。

気体フロースタンドを形成する方法の別の態様では、気体供給源を用意する段階は、２つ又はそれ以上の気体容器を用意する段階と、２つ又はそれ以上の気体容器に連結されたマニホルドを用意する段階を更に含んでおり、マニホルドは、２つ又はそれ以上の気体容器からの気体流を導管の中へと合流させる。

気体フロースタンドを形成する方法の更に別の態様では、方法は、導管に熱交換器を設ける段階を更に含んでいる。

気体フロースタンドを形成する方法の更に別の態様では、方法は、導管に圧力調整器を設ける段階を更に含んでいる。

気体フロースタンドを形成する方法の更に別の態様では、重量測定値は、試験前の気体フロースタンド内の初期気体量を含む初期重量を備えており、試験後の気体フロースタンド内の最終気体量を含む最終重量を備えている。

気体フロースタンドを形成する方法の更に別の態様では、方法は、計量装置上に配置され試験対象の計器の排気口に連結されている排気弁を用意する段階と、計量装置上に配置され試験対象の計器の吸気口に連結されている吸気弁を用意する段階を更に含んでおり、導管が、気体供給源と、吸気弁と、試験対象の計器と、排気弁とを接続しており、計量装置は、試験対象の計器と、吸気弁と、排気弁と、気体供給源と、導管とに関する重量測定値を生成する。

全ての図面において、同じ参照番号は同じ要素を示している。

図２から図４及び以下の説明では、本発明の最良の形態をどの様に作り使用するかを当業者に教示するため、具体的な実施例を示している。発明の原理を教示することを目的として、幾つかの従来からの態様は簡略化又は省略している。当業者には、これらの実施例からの本発明の範囲に入る適切な変型が理解頂けるであろう。当業者には理解頂けるように、下で説明する特徴を様々なやり方で組み合わせて、本発明の多数の変型を構成することができる。結果として、本発明は下で説明する具体的な実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲及びその等価物によってのみ限定される。

図２は、本発明の或る実施形態による気体フロースタンド２００を示している。この実施形態に示す気体フロースタンド２００は、気体供給源２０１と、吸気弁２０２と、試験対象の計器２０３と、排気弁２０４と、導管２０５を含んでいる。導管２０５は、様々な構成要素を接続している。気体供給源２０１、吸気弁２０２、試験対象の計器２０３、排気弁２０４、及び導管２０５は、全て計量装置２１０の上に配置されている。また、計量装置２１０は、パレット、スキッド、キャリッジなどの様な何らかの様式の支持構造上に配置されている。

気体フロースタンド２００は、試験対象の計器２０３を較正するために使用される。或る実施形態では、気体フロースタンド２００は、主気体気体フロースタンド２００を備えている。気体フロースタンド２００は、試験ガスを試験対象の計器２０３を通して流し、そこで試験対象の計器２０３は、試験中に質量流量測定値を生成し、計量装置２１０は、初期及び最終重量／質量測定値を生成する。初期重量は、試験が実施される前の気体フロースタンド２００内の初期気体量を含んでおり、最終重量は、試験が実施された後の気体フロースタンド２００内の最終気体量を含んでいる。初期及び最終質量測定値は、質量差測定値を求めるのに使用される。質量差測定値は、試験対象計器２０３により生成された質量流量測定値と比較される。次いで、初期重量と、最終重量と、質量流量測定値から較正係数が求められる。計量装置２１０は、従って、試験対象の計器２０３を較正するのに使用される質量標準を提供することができる。その結果、試験対象の計器２０３の精度は改良され、試験対象の計器２０３は、計量装置２１０により生成された質量測定値に基づいて較正される。

気体フロースタンド２００は、計量装置２１０により測定される重量が、導管２０５内及び各種気体フロースタンド構成要素内の気体の重量を含め、気体フロースタンド全体の重量を含んでいる点で、先行技術と相違している。気体は圧縮できるので、圧縮された気体の質量は、装置内の自由空気よりも遥かに大きくなり得る。先行技術は、気体フロースタンド構成要素内の気体の重量を量っていない。システム内のこの様な気体の質量は、例えば、気体供給源容器に比較すると相対的に小さいが、この質量を無視すれば、最終結果の精度が下がり又は劣る。先行技術は、このシステム内の気体の質量を無視しており、従って、先行技術は期待されるほど正確ではない。

気体供給源２０１は、どの様な様式の気体又は各種気体を貯蔵した容器を備えていてもよい。気体は圧縮することができる。気体供給源２０１は、複数の気体容器を備えていてもよい（図３参照）。気体供給源２０１は、試験対象の計器２０３の最終用途で使用される気体の様な特定の気体が中に入っていてもよい。例えば、試験対象の計器２０３が最終的に窒素の計量に使用されるのであれば、試験対象の計器２０３は、気体供給源２０１からの窒素を使って較正することができる。代わりに、気体フロースタンド２００に複数の異なる気体を流して、試験対象の計器２０３について複数の較正係数を得ることもできる。そうすると、或る実施形態では、試験対象の計器２０３は、様々な分野での使用に備えて複数の較正係数でプログラムすることができる。

吸気弁２０２は、気体の試験対象の計器２０３への進入を調整する。吸気弁２０２を開いて、スタンディング・スタート・フィニッシュ試験シナリオ（後述）の場合の様に、気体フロースタンド２００を気体供給源２０１からの気体で加圧することができる（後で説明）。代わりに、吸気弁２０２を、試験を開始するために開くこともできる。なお、吸気弁２０２は、独立した構成要素として示してはいるが、気体フロースタンド２００の他の構成要素と組み合わせてもよく、即ち、吸気弁は、例えば、気体供給源容器の弁を備えていてもよいものと理解されたい。

試験対象の計器２０３は、気体の質量流量を測定するどの様な様式の流量計を備えていてもよい。或る実施形態では、試験対象の計器２０３は、コリオリ流量計を備えている。試験対象の計器２０３は、試験対象の計器２０３を通って流れる質量流量を表示する質量流量測定信号を生成する。

排気弁２０４は、試験対象の計器２０３からの気体の放出を調整する。排気弁２０４は、試験を開始及び停止するために開閉される。吸気弁２０２が開き且つ排気弁２０４が閉じている状態では、気体フロースタンド２００は、気体供給源２０１からの気体で加圧される。

実施形態の中には、排気弁２０４が２つ以上の弁を備えているものもある。例えば、排気弁２０４は、閉止弁と直列に配された流量弁を備えてもよい。この様な構成では、流量弁は気体の流量を制御し、一方、閉止弁は気体の流れを開始及び停止する。

試験対象の計器２０３がコリオリ流量計を備えている場合は、スタンディング・スタート・フィニッシュ試験を行うことができる。スタンディング・スタート・フィニッシュ試験シナリオでは、気体フロースタンド２００は、最初に、気体供給源２０１からの気体により加圧される。気体供給源２０１は、既に、気体フロースタンド２００に接続済みである。初期重量を得るために、気体フロースタンド２００全体の重量が、計量装置２１０によって量られる。この重量測定値には、気体フロースタンド２００全体を加圧している全気体が含まれる。この時点で、気体が流れ始めると、試験対象のコリオリメーター２０３は、直ちに気体の質量流量の測定を開始する。試験対象のコリオリメーター２０３は、質量流量を測定するために立ち上げる必要が無いため、試験開始前に助走運転をしたり初期流を流す必要が無い。試験完了後（即ち、排気弁２０４が閉じたら）、最終重量を得るために気体フロースタンド２００全体の重量を計量装置２１０で再度量る。これは、気体供給源２０１を気体フロースタンド２００から外すことなく、しかも試験完了後にシステムから気体を一切逃すことなく、行われる。初期重量と最終重量の間の差は、質量差、従って気体フロースタンド２００を通って流れた気体の質量流量を含んでいる。

なお、気体供給源２０１は、最終重量計量動作前に気体フロースタンド２００から外されていないことに注目されたい。従って、最終重量は、いまだ導管２０５並びに気体フロースタンド２００の各種構成要素内に在る全ての気体を含んでいる。従って、較正の精度は好都合にに改善される。

或る試験シナリオでは、排気弁２０４が最初に開けられ、続いて吸気弁２０２が開けられる。その結果、気体供給源２０１からの気体は、試験対象の計器２０３を通って自由に流れる。続いて、排気弁２０４が閉じられ、気体供給源２０１が気体フロースタンド２００を加圧する。このやり方で、全ての雰囲気の空気が、気体フロースタンド２００から掃気される。次いで、初期重量を得るために気体フロースタンド２００の重量が計量され、試験が開始される。

何れの実施形態による気体フロースタンド２００も、気体フローループ内で使用される小型の基準計を較正することができる。また、何れの実施形態による気体フロースタンドも、気体フローループシステムの不確実性を判定するのに使用される管理換基準計を較正することができる。

図３は、本発明の別の実施形態による気体フロースタンド３００を示している。他の実施形態と共通の構成要素は同じ参照番号を共用している。これまでに説明した構成要素に加えて、この実施形態の気体フロースタンド３００はマニホルド３０２と、熱交換器３０３と、圧力調整器３０４を含んでいる。更に、この図は、気体供給源２０１を構成する２つ又はそれ以上の容器２０１ａと２０１ｂを示している。

なお、必要に応じて各種構成要素の順番を変えてもよいものと理解されたい。例えば、気体フロースタンド３００は、各気体供給源２０１ａ、２０１ｂなどのための熱交換器を含んでいて、それら複数の熱交換器が各気体供給源容器とマニホルド３０２の間に設置されていてもよい。

マニホルド３０２は、各気体供給源容器２０１ａ、２０１ｂなどに接続されており、各気体流を導管２０５の中へと合流させる。マニホルド３０２を組み込むことで多数の気体供給源容器を使用できるようになり、気体フロースタンド３００は、広範な質量流量と流圧を実現することができるようになる。

熱交換器３０３は、試験中の気体フロースタンド３００の熱補償を行う。これは、気体が高圧で加圧されている場合には望ましい（又は必要ですらある）。熱交換器３０３は、圧力変化が最も大きい箇所、即ち気体の最大冷却が起こることになる箇所に配置される。熱補償は、気体フロースタンド３００の各種構成要素上での凝縮及び結霜を回避するために行なわれる。各種構成要素の外側面に更に水分質量が蓄積されることは望ましくない。代わりに、気体フロースタンド３００は、試験後に加熱して、蓄積した霜／水分を実質的に蒸発させてもよい。そうして最終重量を得る前に或る程度の時間をおけば、熱交換器３０３を含めた場合と同じ結果を実現することができる。更に別の実施形態では、気体フロースタンド３００は、水分／霜の蓄積を防止する、及び／又は蓄積した水分／霜を取り除くファン又はヒーターを含んでいる。

圧力調整器３０４は、導管２０５内の気体圧力を調整する。例えば、圧力調整器３０４は、試験対象の計器２０３内の圧力を、気体供給源２０１から供給される圧力よりも低く設定することができる。また、圧力調整器３０４は、気体が気体供給源２０１から流れ出るに伴って気体供給源２０１内の圧力が変化しても、試験対象の計器２０３内の圧力を実質的に一定に保つことができる。

なお、上記追加構成要素は、何れも図２の実施形態に含めることができるものと理解されたい。これら追加構成要素は、明快さを期し、図３に関連付けて提示したものである。

図４は、本発明の或る実施形態による気体フロースタンドを作動させる方法のフローチャート４００である。この方法は、試験開始前に、気体フロースタンド装置を試験気体で加圧するという、スタンディング・スタート・フィニッシュ試験手順を含んでいる。ステップ４０１で、気体供給源２０１を気体フロースタンドに接続する。例えば、気体供給源２０１は、吸気弁２０２に接続される。代わりに、気体供給源２０１は、多数の気体供給源容器が使用されている場合は、マニホルド３０２の様な別の構成要素に接続される。

ステップ４０２で、試験対象の計器２０３を気体フロースタンドに接続する。

ステップ４０３で、気体フロースタンドを気体供給源２０１からの気体で加圧する。このステップは随意であり、代わりに、気体フロースタンドの構成要素を最初に加圧することなく、試験を開始してもよい。

ステップ４０４で、気体フロースタンド全体の重量を計量装置２１０などで量る。計量は、初期重量を得るために行う。ステップ４０３が実行されている場合、この計量段階では、気体フロースタンドの各種構成要素内の気体の重量が計量され、即ち、初期重量は試験前の気体フロースタンド内の初期気体量を含むことになる。

ステップ４０５で、試験を実施する。気体供給源２０１からの気体は、所定の期間（又は、気体供給源が使い果たされるまで）、気体フロースタンドを通して流される。試験対象の計器２０３は、気体が気体フロースタンドを通って流れているとき、気体の質量流量測定値を生成する。

ステップ４０６で、最終重量を得るために気体フロースタンドの重量を再度量る。最終重量は、試験後の気体フロースタンド内の最終気体量を含むことになる。初期重量値と最終重量値の間の質量の差が、気体フロースタンドを通って流れる（及び、試験対象の計器２０３を流れる）質量流量を構成する。

ステップ４０７で、求められた質量流量を使用して試験対象の計器２０３を較正する。求められた質量流量は、従って、試験対象の計器２０３からの質量流量測定値と比較され、適切な較正係数を生成するために使用される。較正係数は、初期重量、最終重量、及び質量流量測定値から求められる。また、先に論じたように、（異なる組成の）複数の気体を、試験対象の計器２０３を通して流すことによって、試験対象の計器２０３について複数の較正係数を得ることができる。

先行技術による気体フロースタンドを示している。 本発明の或る実施形態による気体フロースタンドを示している。 本発明の別の実施形態による気体フロースタンドを示している。 本発明の或る実施形態による気体フロースタンドを作動させる方法のフローチャートである。

Claims (26)

1. 気体フロースタンド（２００）において、
   計量装置（２１０）と、
   前記計量装置（２１０）上に配置された試験対象の計器（２０３）と、
   前記計量装置（２１０）上に配置された気体供給源（２０１）と、
   前記気体供給源（２０１）と試験対象の計器（２０３）を接続している導管（２０５）と、を備えており、
   前記計量装置（２１０）は、前記試験対象の計器（２０３）と、前記気体供給源（２０１）と、前記導管（２０５）とに関する重量測定値を生成する、気体フロースタンド（２００）。
2. 前記試験対象の計器（２０３）は、コリオリ流量計を備えている、請求項１に記載の気体フロースタンド（２００）。
3. 前記気体供給源（２０１）は、１つ又は複数の気体容器を備えている、請求項１に記載の気体フロースタンド（２００）。
4. 前記気体供給源（２０１）は、２つ又はそれ以上の気体容器を備えており、前記気体フロースタンド（２００）は、前記２つ又はそれ以上の気体容器に連結されているマニホルド（３０２）を更に備えており、前記マニホルド（３０２）は、前記２つ又はそれ以上の気体容器からの気体流を導管（２０５）の中へと合流させる、請求項１に記載の気体フロースタンド（２００）。
5. 前記気体フロースタンド（２００）は、熱交換器（３０３）を更に備えている、請求項１に記載の気体フロースタンド（２００）。
6. 前記気体フロースタンド（２００）は、圧力調整器（３０４）を更に備えている、請求項１に記載の気体フロースタンド（２００）。
7. 前記重量測定値は、試験前の前記気体フロースタンド（２００）内中の初期気体量を含む初期重量を備えており、且つ試験後の前記気体フロースタンド（２００）内の最終気体量を含む最終重量を備えている、請求項１に記載の気体フロースタンド（２００）。
8. 前記計量装置（２１０）上に配置され前記試験対象の計器（２０３）の吸気口に連結されている吸気弁（２０２）と、
   前記計量装置（２１０）上に配置され前記試験対象の計器（２０３）の排気口に連結されている排気弁（２０４）と、を更に備えており、
   前記導管（２０５）は、前記気体供給源（２０１）と、前記吸気弁（２０２）と、前記試験対象の計器（２０３）と、前記排気弁（２０４）とを接続している、請求項１に記載の気体フロースタンド（２００）。
9. 気体フロースタンドを作動させる方法において、
   気体供給源を計量装置上に配置した状態で、前記気体供給源を気体フロースタンドに接続する段階と、
   試験対象の計器を前記計量装置上に配置した状態で、前記試験対象の計器を前記気体フロースタンドに接続する段階と、
   初期重量を得るために、試験前に前記気体フロースタンドと前記気体供給源の重量を量る段階と、
   最終重量を得るために、試験後に前記気体フロースタンドと前記気体供給源の重量を量る段階と、から成る方法。
10. 前記試験対象の計器は、コリオリ流量計を備えている、請求項９に記載の方法。
11. 前記気体供給源は、１つ又は複数の気体容器を備えている、請求項９に記載の方法。
12. 前記気体供給源は、２つ又はそれ以上の気体容器を備えており、前記気体フロースタンドは、前記２つ又はそれ以上の気体容器に連結されたマニホルドを更に備えており、前記マニホルドは前記２つ又はそれ以上の気体容器からの気体流を気体フロースタンドの導管の中へと合流させる、請求項９に記載の方法。
13. 試験中に前記気体フロースタンド内で熱補償を行う段階を更に含んでいる、請求項９に記載の方法。
14. 前記気体フロースタンド内で圧力調整を行う段階を更に含んでいる、請求項９に記載の方法。
15. 前記初期重量は、試験前の前記気体フロースタンド内の初期気体量を含んでおり、前記最終重量は、試験後の前記気体フロースタンド内の最終気体量を含んでいる、請求項９に記載の方法。
16. 前記初期重量と前記最終重量から較正係数を求める段階を更に含んでいる、請求項９に記載の方法。
17. 試験中に試験対象の計器で質量流量測定を行う段階を更に含んでおり、較正係数は、前記初期重量と、前記最終重量と、前記質量流量測定値から求められる、請求項１６に記載の方法。
18. 試験前に、前記気体フロースタンドを前記気体供給源からの気体で加圧する段階を更に含んでいる、請求項９に記載の方法。
19. 気体フロースタンドを形成する方法において、
    計量装置を用意する段階と、
    前記計量装置上に配置された試験対象の計器を用意する段階と、
    前記計量装置上に配置された気体供給源を用意する段階と、
    前記気体供給源と前記試験対象の計器を接続する導管を用意する段階と、から成り、
    前記計量装置は、前記試験対象の計器と、前記気体供給源と、前記導管とに関する重量測定値を生成する、方法。
20. 前記試験対象の計器を用意する段階は、コリオリ流量計を用意する段階を更に含んでいる、請求項１９に記載の方法。
21. 前記気体供給源は、１つ又は複数の気体容器を用意する段階を更に含んでいる、請求項１９に記載の方法。
22. 前記気体供給源を用意する段階は、２つ又はそれ以上の気体容器を用意する段階と、前記２つ又はそれ以上の気体容器に連結されたマニホルドを用意する段階を更に含んでおり、前記マニホルドは、前記２つ又はそれ以上の気体容器からの気体流を導管の中へと合流させる、請求項１９に記載の方法。
23. 導管に熱交換器を配備する段階を更に含んでいる、請求項１９に記載の方法。
24. 導管に圧力調整器を配備する段階を更に含んでいる、請求項１９に記載の方法。
25. 前記重量測定値は、試験前の前記気体フロースタンド内の初期気体量を含む初期重量を備えており、且つ試験後の前記気体フロースタンド内の最終気体量を含む最終重量を備えている、請求項１９に記載の方法。
26. 前記計量装置上に配置され前記試験対象の計器の排気口に連結されている排気弁を用意する段階と、
    前記計量装置上に配置され前記試験対象の計器の吸気口に連結されている吸気弁を用意する段階と、を更に含んでおり、
    前記導管は、前記気体供給源と、前記吸気弁と、前記試験対象の計器と、前記排気弁とを接続し、前記計量装置は、前記試験対象の計器と、前記吸気弁と、前記排気弁と、前記導管とに関する重量測定値を生成する、請求項１９に記載の方法。

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