CN109996995B - 气化式加湿单元、气化式加湿单元的控制方法以及薄片制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种不使风量发生变化而可仅使加湿量变化的气化式加湿单元。气化式加湿单元具备：气化部，其使水分蒸发；第一鼓风机，其对通过所述气化部而被加湿的加湿空气进行吸气；输送管，其与所述第一鼓风机连接，并对来自所述第一鼓风机的排气进行输送；第二鼓风机，其与所述输送管连接，并将从所述第一鼓风机侧排气的所述加湿空气向外部排气；开口部，其被设置于所述输送管的中途；湿度检测部，其被设置于所述第二鼓风机的排气侧；控制部，其对从所述第一鼓风机和所述第二鼓风机排气的风量进行控制，所述控制部将从所述第二鼓风机排气的风量控制为所期望的值，并根据由所述湿度检测部检测出的湿度，而对从所述第一鼓风机排气的风量进行控制。

Description

气化式加湿单元、气化式加湿单元的控制方法以及薄片制造 装置

技术领域

本发明涉及气化式加湿单元、气化式加湿单元的控制方法、以及薄片制造装置。

背景技术

一直以来，例如，如专利文献1所记载的那样，已知有一种如下的气化式加湿器，作为气化式加湿器的控制方法，该气化式加湿器根据预先设定的湿度、与由对成为加湿对象的室内的湿度进行测量的湿度传感器检测出的当前的湿度之差，而以能够供给必要的加湿量的方式对鼓风机的转速进行控制，并对风量进行控制，从而对加湿量进行控制。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-24176号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，在专利文献1所记载的气化式加湿器中，为了对加湿量进行控制，需要使风量发生变化。因此，在将上述的加湿器应用于利用了例如空气输送或气流成网法的干式的废纸再生机中的情况下，风量的变化会对利用了材料的输送空气或气流成网法的薄片形成部中的材料的堆积分布造成影响，从而可能使制造出的薄片不均匀。

用于解决课题的手段

本发明为为了解决上述的课题的至少一部分而完成的发明，并能够作为以下的方式或应用例来实现。

[应用例1]本应用例所涉及的气化式加湿单元的特征在于，具备：气化部，其使水分蒸发；第一鼓风机，其对通过所述气化部而被加湿了的加湿空气进行吸气；输送管，其与所述第一鼓风机连接，并对来自所述第一鼓风机的排气进行输送；第二鼓风机，其与所述输送管连接，并将从所述第一鼓风机侧排气的所述加湿空气向外部排气；开口部，其被设置于所述输送管的中途；湿度检测部，其被设置于所述第二鼓风机的排气侧；控制部，其对从所述第一鼓风机和所述第二鼓风机排气的风量进行控制，所述控制部将从所述第二鼓风机排气的风量控制为所期望的值，并根据由所述湿度检测部检测出的湿度，而对从所述第一鼓风机排气的风量进行控制。

根据本应用例，根据由湿度检测部检测出的湿度，而对第一鼓风机的风量进行控制。此时，在使第一鼓风机的风量可变的情况下，虽然在第一鼓风机的风量和第二鼓风机的风量中产生差值，但是通过经由开口部而吸入、放出外部气体，从而对成为差值的风量部分进行调节。由此，从第二鼓风机排气的风量被保持为固定。另外，通过使第一鼓风机的风量可变，从而使从第一鼓风机排出的空气与从开口部导入的外部气体量的混合比率可变。由此，能够对加湿量进行控制。也就是说，在将从第二鼓风机排出的风量保持为固定的状态下，能够易于对加湿量进行控制。并且，加湿量为对空气施加水分的量。

[应用例2]本应用例所涉及的气化式加湿单元的特征在于，具备：气化部，其使水分蒸发；第一鼓风机，其将空气向所述气化部排气；输送管，其与所述气化部连接，并对穿过了所述气化部的空气进行输送；第二鼓风机，其与所述输送管连接，并将来自所述气化部侧的排气向外部排气；开口部，其被设置于所述输送管的中途；湿度检测部，其被设置于所述第二鼓风机的排气侧；控制部，其对从所述第一鼓风机和所述第二鼓风机排气的风量进行控制，所述控制部将从所述第二鼓风机排气的风量控制为所期望的值，并根据由所述湿度检测部检测出的湿度，而对从所述第一鼓风机排气的风量进行控制。

根据本应用例，根据由湿度检测部检测出的湿度，而对第一鼓风机的风量进行控制。此时，在使第一鼓风机的风量可变的情况下，在第一鼓风机的风量和第二鼓风机的风量中产生差值，通过经由开口部而吸入、放出外部气体，从而对成为差值的风量部分进行调节。由此，从第二鼓风机排气的风量被保持为固定。另外，通过使第一鼓风机的风量可变，从而使从第一鼓风机排出的空气与从开口部导入的外部气体量的混合比率可变。由此，能够对加湿量进行控制。也就是说，在将从第二鼓风机排出的风量保持为固定的状态下，能够易于对加湿量进行控制。

[应用例3]在上述应用例所记载的气化式加湿单元中，优选为，所述气化部具备加湿过滤器。

根据本应用例，通过搭载加湿过滤器，从而与空气的接触接触面积增加。因此，能够有效地使水分蒸发。

[应用例4]在上述应用例所记载的气化式加湿单元中，优选为，在由所述湿度检测部得到的检测湿度相对于预定的湿度而较高的情况下，所述控制部使所述第一鼓风机的风量减少，所述第二鼓风机使自所述开口部的外部气体的吸入量增加。

根据本应用例，在湿度检测部的检测湿度相对于预定的湿度而较高的情况下，使第一鼓风机的风量减少。而且，以第一鼓风机中减少的风量部分，经由开口部而吸入外部气体，而使从第二鼓风机排气的风量被保持为固定。而且，由于从外部气体吸入的空气的混合比率就升高，因此，从第二鼓风机排气的空气的加湿量减少。因此，能够易于使湿度降低至预定的湿度。

[应用例5]在上述应用例所记载的气化式加湿单元中，优选为，在由所述湿度检测部得到的检测湿度相对于预定的湿度而较低的情况下，所述控制部使所述第一鼓风机的风量增加，所述第二鼓风机使自所述开口部的外部气体的吸入量减少。

根据本应用例，在湿度检测部的检测湿度相对于预定的湿度而较低的情况下，使第一鼓风机的风量增加。而且，使外部气体的吸入量减少第一鼓风机中所增加的风量部分，而使从第二鼓风机排气的风量被保持为固定。而且，由于从外部气体吸入的空气的混合比率降低，因此，从第二鼓风机排气的空气的加湿量增加。因此，能够易于使湿度上升至预定的湿度。

[应用例6]本应用例所涉及的气化式加湿单元的控制方法的特征在于，所述气化式加湿单元具备：气化部，其使水分蒸发；第一鼓风机，其对通过所述气化部而被加湿了的加湿空气进行吸气；输送管，其与所述第一鼓风机连接，并对来自所述第一鼓风机的排气进行输送；第二鼓风机，其与所述输送管连接，并将从所述第一鼓风机侧排气的所述加湿空气向外部排气；开口部，其被设置于所述输送管的中途；湿度检测部，其被设置于所述第二鼓风机的排气侧，在所述气化式加湿单元的控制方法中，将从所述第二鼓风机排气的风量控制为所期望的值，并根据由所述湿度检测部检测出的湿度，而对从所述第一鼓风机排气的风量进行控制。

根据本应用例，根据由湿度检测部检测出的湿度，而对第一鼓风机的风量进行控制。此时，在使第一鼓风机的风量可变的情况下，在第一鼓风机的风量和第二鼓风机的风量中产生差值，通过经由开口部而吸入、放出外部气体，从而对成为差值的风量部分进行调节。由此，从第二鼓风机排气的风量被保持为固定。另外，通过使第一鼓风机的风量可变，从而使从第一鼓风机排出的空气和从开口部导入的外部气体量的混合比率可变。由此，能够对加湿量进行控制。也就是说，在使从第二鼓风机排出的风量保持为固定的状态下，能够易于对加湿量进行控制。

[应用例7]本应用例所涉及的气化式加湿单元的特征在于，具有：气化部，其使水分蒸发气化；第一鼓风机，其在空气的流动方向上被配置于与所述气化部相比靠上游侧或下游侧，并对通过所述气化部而被加湿了的加湿空气进行输送；第二鼓风机，其被配置于与所述第一鼓风机相比靠下游侧，并将通过所述第一鼓风机而被输送的所述加湿空气和外部气体进行混合并排气；湿度检测部，其被设置于所述第二鼓风机的排气侧；控制部，其根据所述湿度检测部的检测结果，在从所述第二鼓风机排气的风量不发生变化的情况下，对由所述第一鼓风机送风的送风量进行变更，从而对加湿量进行控制。

[应用例8]另外，本应用例所涉及的气化式加湿单元的控制方法的特征在于，所述气化式加湿单元具备：气化部，其使水分蒸发气化；第一鼓风机，其在空气的流动方向上被配置于与所述气化部相比靠上游侧或下游侧，并对通过所述气化部而被加湿了的加湿空气进行输送；第二鼓风机，其被配置于与所述第一鼓风机相比靠下游侧，并将通过所述第一鼓风机而被输送的所述加湿空气和外部气体进行混合并排气，在所述气化式加湿单元的控制方法中，在从所述第二鼓风机排气的风量不发生变化的情况下，对由所述第一鼓风机送风的送风量进行变更，从而对加湿量进行控制。

根据应用例7以及应用例8，通过使第一鼓风机的送风量增加，从而能够减少被混合的外部气体的量，并使加湿量增加。另外，通过使第一鼓风机的送风量减少，从而能够使被混合的外部气体的量增加，并使加湿量减少。这样，在使从第二鼓风机排出的风量保持为固定的状态下，能够对加湿量进行控制。并且，在第一鼓风机的送风量在第二鼓风机的排风量以上的情况下，在不与外部气体混合的情况下来自第一鼓风机的加湿空气直接被从第二鼓风机排气。

[应用例9]本应用例所涉及的薄片制造装置的特征在于，具有上述应用例所记载的气化式加湿单元。

根据本应用例，通过搭载气化式加湿单元，例如，在将风量保持为固定的状态下，向包含纤维在内的原料或薄片堆积部等赋予了适当的加湿量。因此，在不给输送空气或薄片堆积部造成不良影响的情况下，能够避免包含纤维在内的原料受到带电的影响而滞留或者原料彼此附着的情况，并能够对原料的水分量进行调节，进而能够抑制制造出的薄片的密度不均匀的情况。

[应用例10]在上述应用例所记载的薄片制造装置中，其特征在于，通过所述气化式加湿单元而对薄片的原料或材料所穿过的部分进行加湿。

根据本应用例，通过气化式加湿单元，例如，对原料或将原料粗碎的粗碎片所穿过的部分、或将原料解纤的解纤物所穿过的部分进行加湿，从而能够抑制因带电而产生的不良现象。

附图说明

图1为表示实施方式所涉及的薄片制造装置的结构的概要图。

图2为表示气化式加湿单元的结构的示意图。

图3为表示气化式加湿单元的控制部的结构的框图。

图4为表示气化式加湿单元的控制方法的流程图。

图5为表示改变例1所涉及的气化式加湿单元的结构的示意图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。并且，在以下的各图中，为了将各层或各部件设为可识别的程度的大小，而使各层或各部件的尺度与实际不同。

薄片制造装置

图1为表示实施方式所涉及的薄片制造装置的结构的概要图。

首先，实施方式所涉及的薄片制造装置100例如为，在利用干式来将作为原料的机密纸等使用完毕的废纸进行解纤并进行纤维化之后，通过加压、加热、切断来制造新纸时优选的装置。

通过在被纤维化的原料(材料)中混合各种各样的添加物，从而根据用途，可以提高纸产品的结合强度或白度、或附加颜色、香味、阻燃等功能。另外，通过对纸的密度或厚度、形状进行控制而成形，从而能够制造A4或A3的办公用纸、名片用纸等，根据用途来制造各种各样的厚度和尺寸的纸。

薄片制造装置100具备供给部10、粗碎部12、解纤部20、筛选部40、第一料片形成部45、旋转体49、混合部50、堆积部60、第二料片形成部70、输送部79、薄片形成部80、切断部90以及控制部110。

另外，薄片制造装置100以对原料进行加湿、和/或对原料移动的空间进行加湿为目的，而具备加湿部210、212和气化式加湿单元300(在本实施方式中为300a、300b、300c、300d、300e)。在此，在原料中，包括被纤维化之前的原料、被纤维化了的原料(材料)。

另外，加湿部210以及212表示被供给通过雾式加湿单元进行了加湿的空气的部位。雾式加湿单元具有作为贮留水的水槽而发挥功能的接水盘(省略图示)、和使接水盘内的水雾化的振动部(省略图示)，并供给通过振动部而产生的雾气。

供给部10将原料向粗碎部12进行供给。薄片制造装置100制造薄片的原料只要为包含纤维的材料即可，例如，可以举出纸、纸浆、纸浆薄片、包含无纺布的布、或者纺织品等。在本实施方式中，例示了薄片制造装置100将废纸设为原料的结构。供给部10例如能够设为具备使废纸重叠堆积的堆叠器、和将废纸从堆叠器向粗碎部12送出的自动投入装置的结构。

粗碎部12通过粗碎刃14而将由供给部10供给的原料裁断(粗碎)，并裁为粗碎片。粗碎刃14在大气中(空气中)等气体中将原料裁断。粗碎部12例如具备夹持原料并进行裁断的一对粗碎刃14、和使粗碎刃14旋转的驱动部(省略图示)，并能够设为与所谓的碎纸机同样的结构。粗碎片的形状或大小是任意的，只要适于解纤部20中的解纤处理即可。例如，粗碎部12将原料裁断成1～几cm见方或其以下的尺寸的纸片。

粗碎部12具有接收通过粗碎刃14而被裁断并下落的粗碎片的斜槽(也称为料斗)9。斜槽9例如具有在粗碎片流动的方向(行进方向)上宽度逐渐变窄的锥形形状。因此，斜槽9能够承接大量的粗碎片。

在斜槽9上，连结有与解纤部20连通的管2，管2形成用于将由粗碎刃14裁断的原料(粗碎片)向解纤部20进行输送的输送通道。粗碎片被斜槽9收集，并通过管2而被向解纤部20移送(输送)。

在粗碎部12所具有的斜槽9、或者在斜槽9的附近，通过气化式加湿单元300a而供给有加湿空气。由此，能够抑制由粗碎刃14裁断的粗碎物由于静电而吸附于斜槽9或管2的内表面上的现象。另外，由于粗碎刃14所裁断出的粗碎物与被加湿的(高湿度的)空气一起被向解纤部20移送，因此，也能够期待抑制解纤部20的内部的解纤物的附着的效果。

另外，气化式加湿单元300a也可以设为向粗碎刃14供给加湿空气从而对供给部10所供给的原料进行除电的结构。另外，也可以与气化式加湿单元300a一起利用离子发生器来进行除电。

解纤部20对通过粗碎部12而被裁断的粗碎物进行解纤。具体而言，解纤部20对通过粗碎部12而被裁断的原料(粗碎片)进行解纤处理，并生成解纤物。在此，“进行解纤”是指，将多个纤维粘结而成的原料(被解纤物)解开成一根一根的纤维的情况。解纤部20还具有使附着于原料上的树脂颗粒或油墨、调色剂、防渗剂等物质从纤维分离的功能。

将通过了解纤部20的物质称为“解纤物”。“解纤物”除了被解开的解纤物纤维之外，有时还包含在解开纤维时从纤维分离出的树脂(用于使多个纤维彼此粘合的树脂)颗粒、油墨、调色剂等色剂、防渗剂、纸力增强剂等添加剂。

被解开的解纤物的形状为绳(string)状或带(ribbon)状。既可以以未与其他被解开的纤维缠绕在一起的状态(独立的状态)存在，也可以以与其他被解开的解纤物缠绕成块状的状态(形成所谓的“团块”的状态)存在。

解纤部20以干式的方式实施解纤。在此，将在大气中(空气中)等气体中实施解纤等处理的方式称为干式。在本实施方式中设为，解纤部20使用叶轮磨机的结构。具体而言，解纤部20具备高速旋转的转子(省略图示)、以及位于转子的外周的衬垫(省略图示)。通过粗碎部12而被裁断的粗碎片被夹持在解纤部20的转子与衬垫之间并被解纤。解纤部20通过转子的旋转而产生气流。通过该气流，解纤部20能够从管2中抽吸作为原料的粗碎片，并将解纤物向排出口24进行输送。解纤物被从排出口24向管3送出，并经由管3而向筛选部40移送。

这样，在解纤部20中生成的解纤物通过解纤部20所产生的气流而被从解纤部20向筛选部40进行输送。而且，薄片制造装置100具备作为气流产生装置的解纤部鼓风机26，通过解纤部鼓风机26所产生的气流而使解纤物向筛选部40进行输送。解纤部鼓风机26被安装于管3上，并从解纤部20将空气与解纤物一起进行抽吸，并向筛选部40送风。

筛选部40具有使通过解纤部20而被解纤的解纤物与气流一起从管3流入的导入口42。筛选部40根据纤维的长度而对被导入至导入口42中的解纤物进行筛选。详细而言，筛选部40将通过解纤部20而被解纤的解纤物中的、预先规定的尺寸以下的解纤物设为第一筛选物，将大于第一筛选物的解纤物设为第二筛选物，而进行筛选。第一筛选物包括纤维或颗粒等，第二筛选物例如包括较大的纤维、未解纤片(未被充分解纤的粗碎片)、被解纤的纤维凝集或缠绕在一起的团块等。

筛选部40具有滚筒部(筛子部)41、和对滚筒部41进行收纳的壳体部43。滚筒部41为通过电机而被旋转驱动的圆筒的筛子。滚筒部41具有网(过滤器、筛网)，并作为筛子(筛)而发挥功能。通过该网的网眼，滚筒部41对与网的网孔(开口)的大小相比较小的第一筛选物、和与网的网孔相比较大的第二筛选物进行筛选。作为滚筒部41的网，例如，使用金属网、对含有裂缝的金属板进行拉长而成的金属板网(expand metal)、通过冲压机等而在金属板上形成有孔的冲孔金属板。

被导入至导入口42中的解纤物与气流一起被送入滚筒部41的内部，通过滚筒部41的旋转而使第一筛选物从滚筒部41的网眼向下方下落。无法通过滚筒部41的网眼的第二筛选物通过从导入口42流入滚筒部41的气流而流动，并被向排出口44引导，并向管8送出。

管8对滚筒部41的内部和管2进行连结。穿过管8而流动的第二筛选物与通过粗碎部12而被裁断的粗碎片一起流动于管2中，并被向解纤部20的导入口22引导。由此，第二筛选物返回解纤部20，并被实施解纤处理。

另外，通过滚筒部41而被筛选的第一筛选物穿过滚筒部41的网眼，分散于空气中，并向位于滚筒部41的下方处的第一料片形成部45的网状带46下降。

第一料片形成部45具有供解纤物堆积的网状带46，并作为从解纤物中分离不被用于薄片S的去除物的分离部而发挥功能。该第一料片形成部45还包括张紧辊47和抽吸部(抽吸机构)48。

网状带46为无接头形状的带，并被架设于三个张紧辊47上，通过张紧辊47的运动，而在图中箭头标记所示的方向上进行输送。网状带46的表面由排列有预定尺寸的开口的网构成。

从筛选部40下降的第一筛选物中的、穿过网眼的尺寸的微粒向网状带46的下方下落，无法穿过网眼的尺寸的纤维堆积于网状带46上，并与网状带46一起被向箭头标记方向进行输送。从网状带46上下落的微粒包括解纤物中较小的物质或密度较低的物质(树脂颗粒或色剂或添加剂等)，其为薄片制造装置100在薄片S的制造中不使用的去除物。

网状带46在制造薄片S的通常动作中以固定的速度V1进行移动。在此，所谓通常动作中是指，除后述的薄片制造装置100的起动控制、以及停止控制的执行中之外的动作中，更加详细而言，是指薄片制造装置100制造所期望的品质的薄片S的期间。

因此，通过解纤部20而被实施了解纤处理的解纤物通过筛选部40而被筛选为第一筛选物和第二筛选物，第二筛选物返回解纤部20。另外，通过第一料片形成部45而从第一筛选物中去除了去除物。从第一筛选物中去除了去除物的剩余物质为适于薄片S的制造的材料，该材料堆积在网状带46上，从而形成第一料片W1。

抽吸部48从网状带46的下方抽吸空气。抽吸部48经由管23而与集尘部27连结。集尘部27将微粒从气流中分离。在集尘部27的下游，设置有捕集鼓风机28，捕集鼓风机28作为从集尘部27中抽吸空气的集尘用抽吸部而发挥功能。另外，捕集鼓风机28所排出的空气经由管29而向薄片制造装置100的外部排出。

在该结构中，通过捕集鼓风机28，而使空气从抽吸部48穿过集尘部27而被抽吸。在抽吸部48中，穿过网状带46的网眼的微粒与空气一起被抽吸，穿过管23而被送向集尘部27。集尘部27将穿过网状带46的微粒从气流中分离并进行储存。

因此，从第一筛选物中去除了去除物的纤维堆积在网状带46上，从而形成第一料片W1。通过从捕集鼓风机28中进行抽吸，从而促进了网状带46上的第一料片W1的形成，并且，迅速去除了去除物。

在包含滚筒部41的空间中，通过气化式加湿单元300b而供给有加湿空气。通过该加湿空气，而能够在筛选部40的内部对第一筛选物进行加湿，并能够减弱因第一筛选物的静电力而导致的对网状带46的附着。因此，能够易于使第一筛选物从网状带46上剥离，另外，能够抑制第一筛选物由于静电力而附着在旋转体49或壳体部43的内壁上的情况。另外，能够通过抽吸部48而有效地抽吸去除物。

并且，在薄片制造装置100中，对第一筛选物和第二筛选物进行筛选并分离的结构并未限定于具备滚筒部41的筛选部40。例如，也可以采用通过分级机而对由解纤部20实施了解纤处理的解纤物进行分级的结构。作为分级机，例如，能够使用旋风分级器、弯管射流分级机、涡流分级机。如果使用这些分级机，则能够对第一筛选物和第二筛选物进行筛选并分离。

而且，通过上述的分级机，从而能够实现将包含在解纤物中较小的物质或密度较低的物质(树脂颗粒或色剂或添加剂等)在内的去除物进行分离并去除的结构。例如，也可以设为，通过分级机而将第一筛选物所含的微粒从第一筛选物中去除的结构。在该情况下，能够设为如下的结构，即，第二筛选物例如返回至解纤部20，去除物通过集尘部27而被集尘，除去除物之外的第一筛选物被送向管54。

在网状带46的输送路径上，在筛选部40的下游侧，通过加湿部210而供给有包含雾气的空气。作为加湿部210所生成的水的微粒的雾气向第一料片W1下降，而向第一料片W1供给水分。由此，能够对第一料片W1所含的水分量进行调节，并能够抑制由静电而产生对网状带46的纤维的吸附等。

薄片制造装置100具备作为对堆积在网状带46上的第一料片W1进行分断的分断部而发挥功能的旋转体49。第一料片W1在网状带46通过张紧辊47而折返的位置处从网状带46上剥离，并通过旋转体49而被分断。

第一料片W1为，供纤维堆积并成为料片形状的柔软的材料，旋转体49使第一料片W1的纤维解开，而加工成易于通过后述的混合部50使树脂混合的状态。

虽然旋转体49的结构是任意的，但是在本实施方式中，能够设为具有板状的叶片并进行旋转的旋转叶片形状。旋转体49被配置于从网状带46上剥离的第一料片W1与叶片进行接触的位置上。通过旋转体49的旋转(例如，图中向用箭头标记R表示的方向进行的旋转)，从而使从网状带46上剥离并被输送的第一料片W1与叶片碰撞并分断，从而生成细分体P。

优选为，旋转体49被设置于旋转体49的叶片未与网状带46碰撞的位置上。例如，能够将旋转体49的叶片的顶端与网状带46之间的间隔设为0.05mm以上且0.5mm以下，在该情况下，通过旋转体49，而能够在不给网状带46造成损伤的情况下有效地对第一料片W1进行分断。

通过旋转体49而被分断的细分体P下降至管7的内部，并通过流动于管7的内部中的气流而被向混合部50移送(输送)。

另外，在包括旋转体49在内的空间中，通过气化式加湿单元300c而供给有加湿空气。由此，能够抑制纤维因静电而吸附至管7的内部或旋转体49的叶片上的现象。另外，由于湿度较高的空气穿过管7而被向混合部50供给，因此，即使在混合部50中，也能够抑制由静电所产生的影响。

混合部50具备供给包含树脂在内的添加物的添加物供给部52(树脂供给部)、与管7连通且供包含细分体P在内的气流流动的管54、以及混合鼓风机56。细分体P为，如上所述从穿过筛选部40的第一筛选物中去除了去除物的纤维。

混合部50使包含树脂在内的添加物与构成细分体P的纤维进行混合。

在混合部50中，通过混合鼓风机56而产生气流，在管54中使细分体P和添加物进行混合，同时进行输送。另外，细分体P在流动于管7以及管54的内部的过程中被解开，并成为更细的纤维状。

添加物供给部52(树脂收纳部)与对添加物进行储存的树脂盒(省略图示)连接，并将树脂盒内部的添加物向管54供给。添加物供给部52临时对由树脂盒内部的微粉或微粒构成的添加物进行贮留。添加物供给部52具有将临时贮留的添加物送向管54的排出部52a(树脂供给部)。

排出部52a具备将贮留于添加物供给部52中的添加物向管54送出的送料器(省略图示)、以及使对送料器和管54进行连接的管道进行开闭的开闭装置(省略图示)。当关闭该开闭装置时，对排出部52a和管54进行连结的管道或开口被封闭，添加物从添加物供给部52向管54的供给被中断。

虽然在排出部52a的送料器未进行动作的状态下，并未将添加物从排出部52a向管54供给，但在管54内产生负压等情况下，即使排出部52a的送料器停止，添加物也有可能流向管54。通过关闭排出部52a，从而能够可靠地切断这样的添加物的流动。

添加物供给部52供给的添加物包括用于使多个纤维粘合的树脂。该树脂为热塑性树脂或热固化性树脂，例如为AS树脂、ABS树脂、聚丙烯、聚乙烯、聚氯乙烯、聚苯乙烯、丙烯酸树脂、聚酯树脂、聚对苯二甲酸乙二酯、聚苯醚、聚对苯二甲酸丁二醇酯、尼龙、聚酰胺、聚碳酸酯、聚缩醛、聚苯硫醚、聚醚醚酮等。

这些树脂可以单独使用或适当混合使用。即，添加物既可以包含单一的物质，也可以为混合物，也可以包含分别由单一或多个物质构成的多个种类的颗粒。另外，添加物既可以为纤维状，也可以为粉末状。

添加物所含的树脂通过加热而熔融，从而使多个纤维彼此粘合。因此，在以使树脂与纤维进行混合的状态而使树脂未被加热至熔融的温度的状态下，纤维彼此未粘合。

另外，添加物供给部52所供给的添加物除了使纤维粘合的树脂之外，也可以根据所制造的薄片的种类，而含有用于对纤维进行着色的着色剂、用于抑制纤维的凝集或树脂的凝集的凝集抑制剂、用于使纤维等不易燃烧的阻燃剂。另外，不含着色剂的添加物既可以为无色、或可视为无色的程度的较淡的颜色，也可以为白色。

通过混合鼓风机56所产生的气流，在管7中下降的细分体P、以及通过添加物供给部52而被供给的添加物被抽吸至管54的内部，并穿过混合鼓风机56内部。通过混合鼓风机56所产生的气流和/或混合鼓风机56所具有的叶片等旋转部的作用，而使构成细分体P的纤维和添加物被混合，该混合物(第一筛选物和添加物的混合物)穿过管54而被向堆积部60移送。

并且，使第一筛选物和添加物进行混合的机构并未被特别限定，既可以为通过高速旋转的叶片而进行搅拌的装置，也可以为如V型搅拌机那样利用容器的旋转的装置，也可将这些机构设置于混合鼓风机56之前或之后。

堆积部60堆积由解纤部20解纤了的解纤物。具体而言，堆积部60将穿过混合部50的混合物从导入口62导入，并解开缠绕在一起的解纤物(纤维)，使其在空气中分散的同时下降。而且，在从添加物供给部52中供给的添加物的树脂为纤维状的情况下，堆积部60解开缠绕在一起的树脂。由此，堆积部60能够使混合物很均匀地堆积在第二料片形成部70上。

堆积部60具有滚筒部61、和对滚筒部61进行收纳的壳体部63。滚筒部61为通过电机而被旋转驱动的圆筒的筛子。滚筒部61具有网(过滤器、筛网)，并作为筛子(筛)而发挥功能。通过其网眼，滚筒部61使与网的网孔(开口)相比较小的纤维或颗粒穿过，并使其从滚筒部61下降，滚筒部61的结构例如与滚筒部41的结构相同。

并且，滚筒部61的“筛子”也可以不具有对特定的对象物进行筛选的功能。即，作为滚筒部61而被使用的“筛子”是指具备网的装置，滚筒部61也可以使被导入至滚筒部61中的全部混合物下降。

在滚筒部61的下方，配置有第二料片形成部70。第二料片形成部70使穿过了堆积部60的穿过物堆积，从而形成第二料片W2。第二料片形成部70例如具有网状带72、辊74和抽吸机构76。

网状带72为无接头形状的带，并被架设于多个辊74上，通过辊74的运动，而被向图中箭头标记所示的方向输送。网状带72例如为金属制、树脂制、布制、或无纺布等。网状带72的表面通过排列有预定尺寸的开口的网构成。

从滚筒部61下降的纤维或颗粒中的穿过网眼的尺寸的微粒向网状带72的下方下落，无法穿过网眼的尺寸的纤维堆积在网状带72上，并与网状带72一起被向箭头标记方向输送。网状带72在制造薄片S的动作中以固定的速度V2进行移动。

网状带72的网眼微细，并被设为，使从滚筒部61下降的纤维或颗粒的大半部分通不过的尺寸。抽吸机构76被设置于网状带72的下方(与堆积部60侧相反的一侧)。抽吸机构76具备抽吸鼓风机77，通过抽吸鼓风机77的抽吸力，而使抽吸机构76产生朝向下方的气流、即从堆积部60朝向网状带72的气流。

通过抽吸机构76，而使通过堆积部60而分散于空气中的混合物被抽吸到网状带72上。由此，能够促进网状带72上的第二料片W2的形成，使来自堆积部60的排出速度增大。而且，通过抽吸机构76，而能够在混合物的下落路径上形成下降气流，并能够防止在下落过程中解纤物、添加物缠绕在一起的情况。

抽吸鼓风机77(堆积抽吸部)也可以使从抽吸机构76抽吸的空气通过捕集过滤器(省略图示)而向薄片制造装置100的外部排出。或者，也可以将抽吸鼓风机77所抽吸的空气送入集尘部27，并对抽吸机构76所抽吸的空气所含的去除物进行捕集。

在包含滚筒部61的空间中，通过气化式加湿单元300d而供给有加湿空气。通过该加湿空气，而能够对堆积部60的内部进行加湿，并能够抑制由静电力而产生的纤维或颗粒对壳体部63的附着，使纤维或颗粒迅速向网状带72下降，并形成优选的形状的第二料片W2。

如上所述，通过经由堆积部60以及第二料片形成部70(料片形成工序)，而形成含有大量空气而柔软蓬松的状态的第二料片W2。堆积在网状带72上的第二料片W2被向薄片形成部80输送。

在网状带72的输送路径上，在堆积部60的下游侧，通过加湿部212而供给包含雾气的空气。由此，加湿部212所生成的雾气被向第二料片W2供给，第二料片W2所含的水分量被调节。由此，能够抑制由静电而产生的纤维对网状带72的吸附等。

在薄片制造装置100中，设置有将网状带72上的第二料片W2向薄片形成部80进行输送的输送部79。输送部79例如具有网状带79a、辊79b和抽吸机构79c。

抽吸机构79c产生气流，从而对第二料片W2进行抽吸，并使第二料片W2吸附在网状带79a上。网状带79a通过辊79b的自转而进行移动，并将第二料片W2向薄片形成部80进行输送。网状带72的移动速度和网状带79a的移动速度例如相同。这样，输送部79将被形成于网状带72上的第二料片W2从网状带72上剥离并进行输送。

薄片形成部80从堆积在堆积部60上的堆积物而形成薄片S。具体而言，薄片形成部80对堆积在网状带72上并由输送部79输送的第二料片W2(堆积物)进行加压加热，从而使薄片S成形。在薄片形成部80中，通过对第二料片W2所含的解纤物的纤维、以及添加物进行加热，从而能够使混合物中的多个纤维相互经由添加物(树脂)而进行粘合。

薄片形成部80具备对第二料片W2进行加压的加压部82、以及对通过加压部82而被加压了的第二料片W2进行加热的加热部84。加压部82由一对砑光辊85构成，并以预定的夹持压力对第二料片W2进行夹持并加压。第二料片W2由于被加压，因此其厚度变小，第二料片W2的密度升高。

一对砑光辊85中的一个为通过电机(省略图示)而被驱动的驱动辊，另一个为从动辊。砑光辊85通过电机(省略图示)的驱动力而进行旋转，从而将通过加压而成为高密度的第二料片W2向加热部84输送。

加热部84例如使用加热辊(加热器辊)、热冲压成形机、热板、热风鼓风机、红外线加热器、闪光定影器来构成。加热部84具备一对加热辊86。加热辊86通过设置于内部或外部的加热器而被加热至预先设定的温度。加热辊86对通过砑光辊85而被加压了的第二料片W2进行夹持并加热，从而形成薄片S。

另外，一对加热辊86中的一个为通过电机(省略图示)而被驱动的驱动辊，另一个为从动辊。加热辊86通过电机(省略图示)的驱动力而进行旋转，从而将加热后的薄片S向切断部90进行输送。

并且，加压部82所具备的砑光辊85的数量、以及加热部84所具备的加热辊86的数量并未被特别限定。

切断部90对由薄片形成部80成形的薄片S进行切断。切断部90具有在与薄片S的输送方向交叉的方向上对薄片S进行切断的第一切断部92、和在与输送方向平行的方向上对薄片S进行切断的第二切断部94。第二切断部94例如对穿过了第一切断部92的薄片S进行切断。

在包含切断部90在内的空间中，通过气化式加湿单元300e而供给有加湿空气。通过该加湿空气，而能够对薄片S进行加湿，并能够对薄片S的水分量进行调节。

如上，预定尺寸的单张薄片S被成形。被切断的单张薄片S被向排出部96排出。排出部96具备对预定尺寸的薄片S进行排纸的排纸托盘、或对薄片S进行储存的堆叠器。

气化式加湿单元

接下来，对气化式加湿单元300的结构进行说明。图2为表示气化式加湿单元300的结构的示意图。气化式加湿单元300具备使水分蒸发的气化部310、对通过气化部310而被加湿了的加湿空气进行吸气的第一鼓风机320、与第一鼓风机320连接并使来自第一鼓风机320的排气被输送的输送管330、与输送管330连接并将从第一鼓风机320侧排出的加湿空气向外部进行排气的第二鼓风机340、设置于输送管330的中途的开口部350、设置于第二鼓风机340的排气侧的湿度检测部360、对从第一鼓风机320与第二鼓风机340排出的风量进行控制的控制部110。并且，本实施方式的控制部110兼用作薄片制造装置100的控制部110。

气化部310具备加湿过滤器(省略图示)和对使加湿过滤器浸渍的水进行贮水的贮水部(省略图示)等，并通过空气穿过加湿过滤器，而生成水蒸气量增加了的空气。即，在气化部310中应用了气化式的加湿方式。

第一鼓风机320具备对穿过了气化部310的空气进行吸气的吸气口320a、和向下游侧排气的排气口320b。第一鼓风机320具有叶轮、和对该叶轮进行旋转驱动的电机，根据来自控制部110的指令，而对电机的转速进行控制。由此，对从第一鼓风机320排气的风量进行控制。

输送管330的一端与第一鼓风机320的排气口320b连接，输送管330的另一端与第二鼓风机340的吸气口340a连接。来自第一鼓风机320的排气经由输送管330而被向第二鼓风机340侧输送。

第二鼓风机340具备与输送管330连接并对来自第一鼓风机320侧的排气进行吸气的吸气口340a、和向外部进行排气的排气口340b。第二鼓风机340具有叶轮、和对该叶轮进行旋转驱动的电机，并根据来自控制部110的指令而对电机的转速进行控制。由此，对从第二鼓风机340排气的风量进行控制。

在第一鼓风机320与第二鼓风机340之间的输送管330的中途，设置有开口部350。而且，开口部350与输送管330连通。由此，输送管330与外部气体连通。并且，开口部350的方式并未被限定，既可以仅在输送管330中设置孔，也可以使输送管330分支为Y字状或T字状。另外，也可以使开口部350延长成管状。

湿度检测部360被设置于第二鼓风机340的排气侧，并对第二鼓风机340的排气目的地的湿度进行检测。例如，被设置于接受第二鼓风机340的排气的对象部件的附近。

控制部

接下来，对气化式加湿单元300的控制部的结构进行说明。图3为表示气化式加湿单元的控制部的结构的框图。控制部110与湿度检测部360、第一鼓风机320、以及第二鼓风机340连接。

控制部110也与已经由图1示出的供给部10、粗碎部12、解纤部20、第一料片形成部45、混合部50、第二料片形成部70、薄片形成部80连接，但在此省略说明。

控制部110包括CPU(省略图示)、存储部(ROM、RAM)(省略图示)和驱动器(省略图示)，并与湿度检测部360连接。向驱动器输出控制信号，并从驱动器向第一鼓风机320和第二鼓风机340发送驱动信号。

在气化式加湿单元300中，根据由湿度检测部360检测出的湿度，在从第二鼓风机340排气的风量被保持为固定的状态下，通过使第一鼓风机320的风量可变，而在使风量保持为固定的状态下，将适当的加湿量赋予给粗碎部12、第一料片形成部45、旋转体49、第二料片形成部70、切断部90。

具体而言，控制部110向驱动器输出控制信号，从而对第一鼓风机320以及第二鼓风机340的风量、换言之对内置于第一鼓风机320以及第二鼓风机340中的电机的转速进行控制。

当第二鼓风机340的电机的转速被设为固定，使第一鼓风机320的电机的转速可变时，产生第一鼓风机320的风量和第二鼓风机340的风量的差值。该差值通过经由开口部350吸入或放出外部气体而被消除。由此，能够在将第二鼓风机340的排气的风量保持为固定的同时对湿度进行调节。

在湿度检测部360的检测湿度相对于预定的湿度而较高的情况下，使第一鼓风机320的风量减少，第二鼓风机340为了弥补第一鼓风机320中减少的风量部分，从开口部350中吸入外部气体，并以固定的风量进行排气。另外，在湿度检测部360的检测湿度相对于预定的湿度而较低的情况下，使第一鼓风机320的风量增加，以第一鼓风机320中增加的风量的量，而使来自开口部350的外部气体的吸入量减少，并以固定的风量从第二鼓风机340中排气。在第一鼓风机320的风量多于第二鼓风机340的风量的情况下，剩余的加湿空气被从开口部350中放出。

另外，随着第一鼓风机320的风量的可变，从第一鼓风机320排气的风量与外部气体的混合比率发生变化。由此，能够对加湿量进行控制。因此，能够以风量固定的方式对加湿量进行控制。

控制方法

接下来，对气化式加湿单元300的控制方法进行说明。图4为表示气化式加湿单元的控制方法的流程图。在气化式加湿单元300的控制方法中，在将从第二鼓风机340排气的风量保持为固定的状态下，根据由湿度检测部360检测出的湿度，而对从第一鼓风机320排气的风量进行控制。

在本实施方式中，对将第二鼓风机340的旋转驱动控制为固定(风量固定)的情况进行说明。

在步骤S11中，取得湿度。具体而言，控制部110根据来自湿度检测部360的检测信号，而对湿度进行计算。

在步骤S12中，对计算出的湿度和预先设定的预定湿度进行比较，并对计算出的湿度是否在预先设定的预定湿度范围内进行判断。而且，在计算出的湿度在预定湿度范围内的情况下，判断为是，并向步骤S11转移。

在通过湿度检测部360检测出的湿度不在预定的湿度范围内的情况下，判断为否，并向步骤S13转移。

在步骤S13中，对计算出的湿度是否相对于预定湿度范围而较高进行判断。在计算出的湿度相对于预定湿度范围内而较高的情况下，判断为是，并向步骤S14转移。

在步骤S14中，控制部110对电机的驱动旋转进行控制，并使第一鼓风机320的风量减少。此时，在第一鼓风机320中减少的风量部分的外部气体量经由开口部350而被吸入，并被从第二鼓风机340中排气。

由此，在第二鼓风机340的排气的风量为固定的状态下，从第一鼓风机320排出的风量和经由开口部350而被导入的外部气体量的混合比率可变，外部气体量的比例增加。

因此，能够使加湿量减少，而使从第二鼓风机340排气的空气的湿度下降。

另一方面，在由湿度检测部360检测出的湿度相对于预定的湿度范围内并不高的情况下，即，在计算出的湿度相对于预定湿度范围内而较低的情况下，判断为否，并向步骤S15转移。

在步骤S15中，控制部110对电机的驱动旋转进行控制，并使第一鼓风机320的风量增加。此时，经由开口部350而被吸入的外部气体量减少在第一鼓风机320中增加的风量部分。

由此，在从第二鼓风机340排气的风量为固定的状态下，从第一鼓风机320排出的空气和经由开口部350而被导入的外部气体量的混合比率可变，外部气体量的比例减少。

因此，能够使加湿量增加，而使从第二鼓风机340排气的空气的湿度上升。

如上所述，根据本实施方式所涉及的气化式加湿单元300和气化式加湿单元300的控制方法，能够获得以下的效果。

(1)在气化式加湿单元300和气化式加湿单元300的控制方法中，通过将来自第二鼓风机340的排气的风量设为固定，并使第一鼓风机320的风量可变，从而使从第一鼓风机320排出的空气与从开口部350导入的外部气体量的混合比率可变。由此，能够对加湿量进行控制。也就是说，在使从第二鼓风机340排出的风量保持为固定的状态下，能够易于对加湿量进行控制。而且，由于通过仅使第一鼓风机320的风量可变就能够在短时间内使加湿量进行变更，因此，能够实施响应性良好的加湿量控制。

(2)在薄片制造装置100中，例如，在通过气化式加湿单元300而对粗碎部12、滚筒部41、旋转体49、滚筒部61、切断部90进行加湿时，在将风量保持为固定的状态下能够适当地进行加湿，因此，不会给输送空气或薄片堆积部造成不良影响，能够避免包含纤维在内的原料由于带电的影响而滞留或者原料彼此附着的情况，并能够对原料的水分量进行调节。由此，能够抑制薄片的密度的不均均化。

并且，本发明并未被限定于上述的实施方式，能够对上述的实施方式施加各种变更或改良等。以下，对改变例进行叙述。

改变例1

图5为表示改变例1所涉及的气化式加湿单元301的结构的示意图。在上述的实施方式中，如图2所示，说明了第一鼓风机320对穿过了气化部310的空气进行吸气，但并未被限定于该结构。

以下，对改变例1所涉及的气化式加湿单元301进行说明。并且，对于与实施方式相同的结构部位，标记相同的符号，并省略重复的说明。

如图5所示，气化式加湿单元301具备使水分蒸发的气化部310、向气化部310排出空气(吸进的外部气体)的第一鼓风机320、与气化部310连接并将穿过气化部310的空气进行输送的输送管330、与输送管330连接并将来自气化部310侧的排气向外部进行排气的第二鼓风机340、设置于输送管330的中途的开口部350、设置于第二鼓风机340的排气侧的湿度检测部360、对从第一鼓风机320和第二鼓风机340排气的风量进行控制的控制部110。

根据由湿度检测部360检测出的湿度，通过以在使第一鼓风机320的风量可变的同时使从第二鼓风机340排气的风量成为固定的方式进行控制，从而在使风量保持为固定的状态下施加适当的加湿量。

因此，在不给输送空气或薄片堆积部造成不良影响的情况下，能够避免包含纤维在内的原料由于带电的影响而滞留或原料彼此附着的情况，并能够对原料的水分量进行调节，进而能够抑制薄片的密度的不均匀化。

如上所述，根据本改变例所涉及的气化式加湿单元301和气化式加湿单元301的控制方法，能够获得上述同样的效果。

改变例2

开口部350并未限于被设置于输送管330的中途，也可以将开口部350设置在气化部310内。在该情况下，开口部350被设置于对穿过加湿过滤器之后的加湿空气进行输送的输送管330侧。以此方式，在第一鼓风机320与第二鼓风机340之间的输送管330中无需开口部350，简化了气化式加湿单元300的结构，输送管330的形状的自由度变高。

改变例3

虽然在上述实施方式中，对以第二鼓风机340的电机的转速成为固定的方式进行控制的情况进行了说明，但并未被限定于该结构。以下，对改变例3所涉及的气化式加湿单元300进行说明。

在输送管330足够长的情况下，由第一鼓风机320的风量的变化而导致的对第二鼓风机340的风量的影响较少。另一方面，在例如输送管330较短的情况等下，在第一鼓风机320的风量发生变化时，有时会给第二鼓风机340的风量造成影响。这时，也可以在第二鼓风机340的排气侧设置风速传感器，以根据第一鼓风机320的风量而使第二鼓风机340的风量成为固定的方式，根据所检测出的风速，而对第二鼓风机的电机的转速进行控制。

如上所述，根据本改变例3所涉及的气化式加湿单元300，在获得实施方式中的效果的基础上，还能够获得以下的效果。

在气化式加湿单元300和气化式加湿单元300的控制方法中，当以使第二鼓风机340的电机的转速固定的状态而使第一鼓风机320的风量可变时，即使在自第二鼓风机的排气的风量发生变化的情况下，也能够将风量保持为固定。因此，在将从第二鼓风机340排出的风量保持为固定的状态下，能够易于对加湿量进行控制。

本发明也可以在具有本申请所记载的特征或效果的范围内省略一部分结构。并且，薄片制造装置100也可以在可对薄片进行制造的范围内省略一部分结构，或者增加其他结构，或者置换为公知的结构。

本发明包含与实施方式以及改变例所说明的结构实质上相同的结构(例如，功能、方法以及结果相同的结构，或者目的以及效果相同的结构)。此外，本发明包含对实施方式所说明的结构的非本质部分进行置换的结构。此外，本发明包含与实施方式所说明的结构起同样作用效果的结构或者能够实现相同目的的结构。此外，本发明包含在实施方式所说明的结构中附加了公知技术的结构。

符号说明

2、3、7、8、23、29、54…管；9…斜槽；10…供给部；12…粗碎部；14…粗碎刃；20…解纤部；22…导入口；24…排出口；26…解纤部鼓风机；27…集尘部；28…捕集鼓风机；40…筛选部；41…滚筒部；42…导入口；43…壳体部；44…排出口；45…第一料片形成部；46…网状带；47…张紧辊；48…抽吸部；49…旋转体；50…混合部；52…添加物供给部；52a…排出部；56…混合鼓风机；60…堆积部；61…滚筒部；62…导入口；63…壳体部；70…第二料片形成部；72…网状带；74…辊；76…抽吸机构；77…抽吸鼓风机；79…输送部；79a…网状带；79b…辊；79c…抽吸机构；80…薄片形成部；82…加压部；84…加热部；85…砑光辊；86…加热辊；90…切断部；92…第一切断部；94…第二切断部；96…排出部；100…薄片制造装置；110…控制部；210、212…加湿部；300、300a、300b、300c、300d、300e、301…气化式加湿单元；310…气化部；320…第一鼓风机；330…输送管；340…第二鼓风机；350…开口部；360…湿度检测部。

Claims (9)

1.一种气化式加湿单元，其特征在于，具备：

气化部，其使水分蒸发；

第一鼓风机，其对通过所述气化部而被加湿了的加湿空气进行吸气；

输送管，其与所述第一鼓风机连接，并对来自所述第一鼓风机的排气进行输送；

第二鼓风机，其与所述输送管连接，并将从所述第一鼓风机侧排气的所述加湿空气向外部排气；

开口部，其被设置于所述输送管的中途；

湿度检测部以及风速传感器，其被设置于所述第二鼓风机的排气侧；

控制部，其对从所述第一鼓风机和所述第二鼓风机排气的风量进行控制，

所述控制部将从所述第二鼓风机排气的风量控制为所期望的值，并根据由所述湿度检测部检测出的湿度，而对从所述第一鼓风机排气的风量进行控制，并且，所述控制部根据由所述风速传感器检测出的风速而对所述第二鼓风机的转速进行控制。

2.一种气化式加湿单元，其特征在于，具备：

气化部，其使水分蒸发；

第一鼓风机，其将空气向所述气化部排气；

输送管，其与所述气化部连接，并对穿过了所述气化部的空气进行输送；

第二鼓风机，其与所述输送管连接，并将来自所述气化部侧的排气向外部排气；

开口部，其被设置于所述输送管的中途；

湿度检测部以及风速传感器，其被设置于所述第二鼓风机的排气侧；

控制部，其对从所述第一鼓风机和所述第二鼓风机排气的风量进行控制，

所述控制部将从所述第二鼓风机排气的风量控制为所期望的值，并根据由所述湿度检测部检测出的湿度，而对从所述第一鼓风机排气的风量进行控制，并且，所述控制部根据由所述风速传感器检测出的风速而对所述第二鼓风机的转速进行控制。

3.如权利要求1或权利要求2所述的气化式加湿单元，其特征在于，

所述气化部具备加湿过滤器。

4.如权利要求1或权利要求2所述的气化式加湿单元，其特征在于，

在由所述湿度检测部得到的检测湿度相对于预定的湿度而较高的情况下，所述控制部使所述第一鼓风机的风量减少，

所述第二鼓风机使自所述开口部的外部气体的吸入量增加。

5.如权利要求1或权利要求2所述的气化式加湿单元，其特征在于，

在由所述湿度检测部得到的检测湿度相对于预定的湿度而较低的情况下，所述控制部使所述第一鼓风机的风量增加，

所述第二鼓风机使自所述开口部的外部气体的吸入量减少。

6.一种气化式加湿单元的控制方法，其特征在于，

所述气化式加湿单元具备：

气化部，其使水分蒸发；

第一鼓风机，其对通过所述气化部而被加湿了的加湿空气进行吸气；

输送管，其与所述第一鼓风机连接，并对来自所述第一鼓风机的排气进行输送；

第二鼓风机，其与所述输送管连接，并将从所述第一鼓风机侧排气的所述加湿空气向外部排气；

开口部，其被设置于所述输送管的中途；

湿度检测部以及风速传感器，其被设置于所述第二鼓风机的排气侧，

在所述气化式加湿单元的控制方法中，

将从所述第二鼓风机排气的风量控制为所期望的值，并根据由所述湿度检测部检测出的湿度，而对从所述第一鼓风机排气的风量进行控制，并且，根据由所述风速传感器检测出的风速而对所述第二鼓风机的转速进行控制。

7.一种气化式加湿单元的控制方法，其特征在于，

所述气化式加湿单元具备：气化部，其使水分蒸发气化；第一鼓风机，其在空气的流动方向上被配置于与所述气化部相比靠上游侧；第二鼓风机，其被配置于与所述第一鼓风机相比靠下游侧，并将通过所述第一鼓风机而被输送的加湿空气和外部气体进行混合并排气；湿度检测部以及风速传感器，其被设置于所述第二鼓风机的排气侧，

在所述气化式加湿单元的控制方法中，

根据所述湿度检测部的检测结果，在从所述第二鼓风机排气的风量不发生变化的情况下，对由所述第一鼓风机送风的送风量进行变更，从而对加湿量进行控制，并且，根据由所述风速传感器检测出的风速而对所述第二鼓风机的转速进行控制。

8.一种薄片制造装置，其特征在于，

具有权利要求1至权利要求5中的任一项所述的气化式加湿单元。

9.如权利要求8所述的薄片制造装置，其特征在于，

通过所述气化式加湿单元而对薄片的原料或材料所穿过的部分进行加湿。

Images