CN109963964A - 工件保持夹具和在工件保持夹具上的工件安装方法 - Google Patents
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Abstract
本发明的工件保持夹具(10)具有夹具主体(20),该夹具主体(20)包括一对上部横部件(31、32)、一对下部横部件(41、42)以及将一对上部横部件和一对下部横部件连结的连结部(50)。夹具主体(20)上设置有:多个第1支承部件(70),它们被平行地支承在一对上部横部件之间;多个第1夹紧部件(80),它们被多个第1支承部件分别支承,夹紧多个工件的各自的上端部;多个第2支承部件(90),它们被平行地支承在一对下部横部件之间;以及多个第2夹紧部件(100),它们被多个第2支承部件分别支承,夹紧多个工件的各自的下端部。多个第1支承部件和多个第2支承部件中的一方以能够升降的方式被支承在一对上部横部件和一对下部横部件中的一方。
Description
技术领域
本发明涉及在无电解电镀中使用的工件保持夹具和在工件保持夹具上的工件安装方法等。
背景技术
无电解电镀与电解电镀不同,在浴中没有电流流过,因此,被镀敷处理的工件具有不仅可为导电体,还能够为塑料和陶瓷那样的非导电体的优点。
在专利文献1中,公开了在收纳了无电解镀液的镀槽中,将多个布线基板隔着可供无电解镀液流通的间隙而铅直地立起排列,或者悬挂在机架上进行分批处理的内容(权利要求1、3和图4)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2006-93651号公报
发明内容
发明所要解决的课题
近年来,随着例如智能手机等电子设备的小型化,布线基板也在逐渐变薄。若布线基板的厚度例如为100μm以下的厚度,则如专利文献1那样竖立排列在机架上或者悬挂在机架上的布线基板会由于其厚度而挠曲。
本发明的目的在于,提供可防止被分批处理的多个工件的挠曲,在工件之间确保无电解镀液能够流通的间隙,能够在维持镀敷品质的同时进行无电解镀敷的工件保持夹具和在工件保持夹具上的工件安装方法。
用于解决课题的手段
(1)本发明的一个方式涉及工件保持夹具,其特征在于,具有:
夹具主体,其包括一对上部横部件、一对下部横部件和将所述一对上部横部件和所述一对下部部件连结的连结部;
多个第1支承部件,它们被平行地支承在所述一对上部横部件之间;
多个第1夹紧部件,它们被所述多个第1支承板分别支承,夹紧多个工件的各自的上端部;
多个第2夹紧支承部件,它们被平行地支承在所述一对下部横部件之间;以及
多个第2夹紧部件,它们被所述多个第2夹紧支承部件分别支承,夹紧所述多个工件的各自的下端部,
所述多个第1支承部件和多个第2支承部件中的一方以能够升降的方式被支承于所述一对上部横部件和所述一对下部横部件中的一方。
根据本发明的一个方式,被多个第1夹紧部件和多个第2夹紧部件夹紧的多个工件分别以多个第1支承部件和多个第2支承部件中的一方相对于另一方远离的方式移动而被赋予张力。由此,能够平行地配置多个工件而不使它们挠曲。其结果是,当将被保持在该工件保持夹具上的多个工件浸渍在电镀浴中时,即使是薄的工件,也能够在相邻的工件之间确保无电解镀液能够流通的适当的间隙。由此,能够在维持镀敷品质的同时进行无电解镀敷,并能够对多个工件进行批处理。另外,作为使多个第1支承部件和多个第2支承部件中一方以远离另一方的方式移动的力,除了如后述的(2)那样利用夹具的一部分部件的自重以及如后述的(3)那样利用设置在夹具上的弹簧等的作用力的情况之外,至少还能够利用作用于配置在处理槽中的夹具的外力。另外,也可以将多个第1支承部件和多个第2支承部件的双方支承为能够相对于一对上部横部件和一对下部横部件的双方升降。
(2)本发明的一个方式还可以构成为,所述多个第2支承部件分别被所述一对下部横部件引导为能够升降,并且由所述一对下部横部件设定下限位置,所述多个工件分别通过所述多个第2支承部件之一和被一个该第2支承部件支承的所述多个第2夹紧部件的自重而被赋予张力。
这样,能够使多个第2支承部件和多个第2夹紧部件各自的自重作用在由多个第1夹紧部件悬挂的多个工件的各自的下端部。由此,能够在不使用弹簧的作用力等的外力的情况下使多个工件不挠曲地平行配置。
(3)本发明的一个方式还可以构成为,所述多个第1支承部件分别被所述一对上横部件引导为能够升降,并且被赋予朝向上方的作用力,通过所述作用力,所述多个工件分别被赋予张力。
(4)本发明的一个方式还可以构成为,所述连结部包含能够调整所述一对上部横部件与所述一对下部横部件之间的上下方向距离的机构。例如通过滑动机构和锁定机构等公知机构将连结部构成为能够调整一对上部横部件和一对下部横部件之间的上下方向距离,从而能够将纵向尺寸不同的工件保持在工件保持夹具上。
(5)本发明的一个方式还可以构成为,该工件保持夹具还具有多个第1保持器,该多个第1保持器被分别固定于所述多个第1支承部件,将所述多个第1夹紧部件的可动片支承为能够摆动,
所述多个第1保持器分别包括第1垂直面,
所述多个第1夹紧部件的所述可动片相对于所述第1垂直面接触和分离。
这样,通过将夹着工件的上端部的一对部件中的一方作为设置在将多个第1夹紧部件的可动片支承为能够摆动的第1保持器上的第1垂直面,从而使得部件数量减少。而且,能够仿照在与多个第1夹紧部件的可动片对置的区域形成的第1垂直面来确保工件的垂直姿态。
(6)本发明的一个方式还可以构成为,
所述多个第1支承部件分别包括第1垂直面,
所述多个第1夹紧部件的可动片相对于所述第1垂直面接触和分离。
这样,通过将夹着工件的上端部的一对部件中的一方作为设置在保持多个第1夹紧部件的第1支承部件上的第1垂直面,从而使得部件数量减少。而且,能够仿照在与多个第1夹紧部件的可动片对置的区域形成的第1垂直面来确保工件的垂直姿态。
(7)本发明的一个方式还可以构成为,
该工件保持夹具还具有多个第2保持器,该多个第2保持器被分别固定于所述多个第2支承部件,将所述多个第2夹紧部件的可动片支承为能够摆动,
所述多个第2保持器分别包括第2垂直面,
所述多个第2夹紧部件的所述可动片相对于所述第2垂直面接触和分离。
这样,通过将夹着工件的下端部的一对部件中的一方作为设置在将多个第2夹紧部件的可动片支承为能够摆动的第2保持器上的第2垂直面,从而使得部件数量减少。而且,能够仿照在与多个第2夹紧部件的可动片对置的区域形成的第2垂直面来确保工件的垂直姿态。
(8)本发明的一个方式还可以构成为,
所述多个第2支承部件分别包括第2垂直面,
所述多个第2夹紧部件的可动片相对于所述第2垂直面接触和分离。
这样,通过将夹着工件的下端部的一对部件中的一方作为设置在保持多个第2夹紧部件的第2支承部件上的第2垂直面,从而使得部件数量减少。而且,能够仿照在与多个第2夹紧部件的可动片对置的区域形成的第2垂直面来确保工件的垂直姿态。特别地,工件的上端部仿照第1垂直面形成,工件的下端部仿照第2垂直面形成,从而能够更可靠地确保工件的垂直姿态。由此,能够在工件之间可靠地确保无电解镀液能够流通的适当的间隙。
(9)本发明的一个方式还可以构成为,所述夹具主体具有搬入口,该搬入口允许使垂直状态的所述多个工件分别水平移动而搬入到所述夹具主体内。
若使用具有这样的搬入口的工件保持夹具,则能够实现后述的(10)的工件安装方法。
(10)本发明的另一个方式涉及一种在工件保持夹具上的工件安装方法,该方法在上述(9)所述的工件保持夹具上安装多个工件,其特征在于,包括:
第1工序,对被所述多个第1支承部件之一保持的所述多个第1夹紧部件赋予第1外力而使其成为能够夹紧的状态;
第2工序,对所述多个第1夹紧部件之一和所述多个第2支承部件之一中的一方赋予第2外力而使其向上下方向中的一方移动,并且对被所述多个第2支承部件之一保持的所述多个第2夹紧部件赋予第3外力而使其成为能够夹紧的状态;
第3工序,使所述多个工件中的一个成为垂直状态,使其在第1方向上水平移动而从所述搬入口搬入所述夹具主体内;
第4工序,解除所述第1外力和第3外力,使用所述多个第1夹紧部件和所述多个第2夹紧部件夹紧一个所述工件的上端部和下端部;以及
第5工序,通过解除所述第2外力而使所述多个第1夹紧部件之一和所述多个第2支承部件之一中的一方向所述上下方向中的另一方移动,从而对一个所述工件赋予张力,
反复实施所述第1工序至第5工序,直至将所述多个工件全部安装到所述工件保持夹具为止。
根据本发明的另一个方式,通过对工件保持夹具施加/解除第1至第3外力(第1、2、4、5工序)和工件在第1方向上的水平移动(第3工序),能够在工件保持夹具上安装多个工件,在工件保持夹具上安装工件的自动化变得容易。
(11)本发明的另一个方式还可以构成为,在所述第5工序之后还具有第6工序,在该第6工序中,为了搬入将安装于所述工件保持夹具上的下一个工件而使所述工件保持夹具在与所述第1方向垂直的第2方向上水平移动。
这样,在使上述方法自动化时,只要使工件保持夹具在第2方向上水平移动,则施加/解除第1至第3外力的装置和搬入工件的装置就能够在不需要移动的情况下完成在工件保持夹具上的所有工件的安装。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式的工件保持夹具的立体图,是说明第3工序和第4工序的图。
图2是在夹具内部从第1方向A观察图1所示的工件保持夹具的侧视图。
图3是在夹具内部从第2方向B观察悬挂在升降臂上的图1所示的工件保持夹具的侧视图。
图4是图1所示的工件保持夹具的仰视图。
图5(A)至图5(C)是第1夹紧部件和第1支承部件的俯视图,是解除夹紧和进行夹紧动作时的侧视图,并且是说明第1工序和第4工序的图。
图6(A)至图6(C)是第2夹紧部件和第2支承部件的俯视图,是解除夹紧和进行夹紧动作时的侧视图,并且是说明第2工序和第4工序的图。
图7是表示第2支承部件的上升位置的图,是说明第2工序的图。
图8是表示第2支承部件的下降位置的图,是说明第5工序的图。
图9是示出作为本发明的实施方式的在工件保持夹具上安装工件的方法的流程图。
具体实施方式
下面,对本发明的优选实施方式进行详细说明。另外,以下说明的本实施方式并非对权利要求书所记载的本发明的内容进行不当限定,作为本发明的解决手段,本实施方式中说明的结构不一定全部是必须的。
1.工件保持夹具
图1是本发明的一个实施方式的工件保持夹具的立体图。在图1至图4中,工件保持夹具10具有夹具主体20。夹具主体20包括四边形状的上框30、四边形状的下框40、以及连结上框30和下框40的连结部50。另外,将向该夹具主体20内逐个地搬入工件W(参照图2和图3)的方向设为第1方向A。被搬入1个工件W后的工件保持夹具10的步进移动方向设为第2方向B。
上框30通过将在第1方向A上相对的第1、第2上框部件31、32和在第2方向B上相对的第3、第4上框部件33、34连接成四边形框状而构成。在第1方向A上相对的第1、第2上框部件31、32上设有多个例如20个在下端开口的狭缝31A、32A。另外,在第1、第2上框部件31、32上一体形成有钩31B、32B,该钩31B、32B被悬挂工件保持夹具10并使其相对于镀浴升降的升降部件200(参照图3)支承。另外,夹具主体20的上框部件33、34是用于形成上框30的加强部件。上框30的部分不必一定是框状,只要至少具备形成有狭缝31A、32A的相互平行的上框部件(一对上部横部件)31、32即可。
下框40通过将在第1方向A上相对的第1、第2下框部件41、42和在第2方向B上相对的第3、第4下框部件43、44连接成四边形框状而构成。在第1方向A上相对第1、第2下框部件41、42上,以与上侧的狭缝31A、32A相对的方式设置有多个、例如20个在上端开口的狭缝41A、42A。如图1所示,也可以根据需要而在将第1、第2下框部件41、42之间的距离分为两部分的位置处设置两端被固定在第3、第4下框部件43、44上的中间部件45。在该中间部件45上,也在第1方向A上与狭缝41A、42A相对的位置处设置有在上端开口的狭缝45A。另外,夹具主体20的下框部件43、44是用于形成下框40的加强部件。下框40的部分不必一定是框状,只要至少具备形成有狭缝41A、42A的相互平行的上框部件(一对下部横部件)41、42即可。
连结上框30和下框40的连结部50具有在上下连结上框30和下框40的四角的多根、例如4根纵框部件51~54。连结部50根据需要可以具有加强部件,在图1中具有对在第2方向B上相对的两个面进行加强的水平加强部件55和垂直加强部件56。加强部件也可以是斜杆。
连结部50例如在图1中在第1方向A上相对的两个面上不配置横截或纵截各面的加强部件。由此,在本实施方式中,确保由第1上框部件31、第1下框部件41和将它们连结的2根纵框部件51、52包围的空间来作为工件W的搬入口60。搬入口60也可以兼用作搬出口。在由第2上框部件32、第2下框部件42和将它们连结的2根纵框部件53、54包围的空间内也不配置加强部件,因而该空间在搬入搬出工件W时可以用作保持工件W的搬入前端或搬出后端的夹具的搬入搬出口。
在上框30的第1、第2上框部件31、32的狭缝31A、32A中插入多个(20个)第1支承板(第1支承部件)70的两端,将第1、第2上框部件31、32支承(例如固定)为不会落下。由此,多个第1支承板70被平行地支承在上框30的在第1方向A上相对的两边之间。在多个第1支承板70上分别支承有利用作用力夹紧呈矩形的多个工件W的各自的上端部的多个、例如4个第1夹紧部件80。另外,也可以在第1、第2上框部件31、32的狭缝31A、32A内以能够升降的方式支承有多个(20个)第1支承板70的两端。在该情况下,多个第1支承板70也可以通过弹簧等的作用力而相对于上框30被推向上方而移动。
在下框40的第1、第2下框部件41、42的狭缝41A、42A中插入有多个(20个)第2支承板(第2支承部件)90的两端而对其进行支承。多个第2支承板90的两端由以覆盖图1所示的下框部件41、42的狭缝41A、42A的方式安装的限制部件46来防止脱落。由此,多个第2支承板90被平行地支承在下框40的在第1方向A上相对的两边之间。与第1支承板70不同,第2支承板90不固定于狭缝41A、42A,而是被狭缝41A、42A引导而能够升降。另外,由狭缝41A、42A的进深方向的底面来设定第2支承板90的下限位置。在多个第2支承板90上分别支承有利用作用力夹紧多个工件W的各自的下端部的多个、例如4个第2夹紧部件100。另外,在多个第1支承板70被支承为能够升降的情况下,多个第2支承板90也可以被固定。
在此,根据本实施方式,能够使多个第2支承板90和多个第2夹紧部件100各自的自重作用在由多个第1夹紧部件80悬挂的多个工件W的各自的下端部。这是因为,保持多个第2夹持部件100的多个第2支承板90分别能够凭借设置在下框40上的狭缝41A、42A而升降,从而利用它们的自重而下降,对工件W赋予张力。在下降位置处的多个第2支承板90分别被设计成不与狭缝41A、42A的进深方向的底面接触。由此,能够平行地配置多个工件W而不使它们挠曲。其结果是,当将被保持在该工件保持夹具10上的多个工件W浸渍在电镀浴中时,即使是薄的工件W,也能够在相邻的工件W之间确保无电解镀液能够流通的适当的间隙。由此,能够在维持镀敷品质的同时进行无电解镀敷,并能够对多个工件W进行批处理。
图5(A)至图5(C)示出工件W的上端部的夹紧结构。在图5(A)至图5(C)中,在多个第1支承板70上分别固定有第1保持器71。第1保持器71对轴72进行支承。在轴72上以能够摆动的方式支承有第1夹紧部件(可动片)80。第1夹紧部件80被插通轴72的扭转螺旋弹簧73赋予第1作用力。第1夹紧部件80在一端部具有夹紧端82,在另一端部侧具有杆83。第1保持器71包括第1垂直面74。该第1垂直面74在与可摆动地支承于第1保持件71上的第1夹紧部件80的夹紧端82相对的区域能够局部地从第1保持器71向下方延伸设置。第1夹紧部件80相对于第1垂直面74接触和分离。即,在第1夹紧部件80的夹紧端82与第1垂直面74之间夹紧工件W的上端部,该夹紧状态由扭转螺旋弹簧73的第1作用力维持。通过克服螺旋弹簧73的第1作用力而对杆83赋予第1外力F1,从而第1夹紧部件80的夹紧端82向远离第1垂直面74的方向移动,由此解除工件W的夹紧状态。
这样,通过将夹着工件W的上端部的一对部件中的一方作为设置在摆动自如地支承多个第1夹紧部件80的第1保持器71上的第1垂直面74,从而使得部件件数减少。而且,能够仿照在与多个第1夹紧部件80对置的区域形成的第1垂直面74来确保工件W的垂直姿态。另外,第1垂直面74也可以不设置在第1保持器71上而设置在第1支承板70上,在该情况下也能够起到同样的作用、效果。
图6(A)至图6(C)表示工件W的下端部的夹紧结构。在图6(A)至图6(C)中,在多个第2支承板90上分别固定有第2保持器91。第2保持器91对轴92进行支承。在轴92上以能够摆动的方式支承有第2夹紧部件(可动片)100。第2夹紧部件100被插通轴92的扭转螺旋弹簧93赋予第2作用力。第2夹紧部件100在一端部具有夹紧端102,在另一端部侧具有杆103。第2保持器91包括第2垂直面94。该第2垂直面94在与可摆动地支承于第2保持件91上的第2夹紧部件100相对的区域能够局部地从第2保持器91向上方延伸设置。第2夹紧部件100相对于第2垂直面94接触和分离。即,在第2夹紧部件100的夹紧端102与第2垂直面94之间夹紧工件W的下端部,该夹紧状态由扭转螺旋弹簧104的第2作用力维持。通过克服螺旋弹簧93的第2作用力而对杆103赋予第3外力F3,从而第2夹紧部件100的夹紧端102向远离第2垂直面94的方向移动,由此解除工件W的夹紧状态。
这样,通过将夹着工件W的下端部的一对部件中的一方作为设置在将多个第2夹紧部件100支承为能够摆动的第2保持器91上的第2垂直面94,从而使得部件数量减少。而且,能够仿照在与多个第2夹紧部件100对置的区域形成的第2垂直面94来确保工件W的垂直姿态。特别地,工件W的上端部仿照第1垂直面74形成,工件W的下端部仿照第2垂直面94形成,从而能够更可靠地确保工件W的垂直姿态。由此,能够在工件W之间可靠地确保无电解镀液能够流通的适当的间隙。另外,第2垂直面94也可以不设置在第2保持器91上而设置在第2支承板90上,在该情况下也能够起到同样的作用、效果。
2.在工件保持夹具上的工件安装方法
参照图1和图5至图9,对在本实施方式的工件保持夹具10上安装工件W的方法进行说明。
2.1.第1工序
在图9所示的步骤1中,第1夹紧部件80成为开放状态。具体而言,对被保持在多个第1支承板70中的一个、例如在图1中与上框30的第4上框部件34相邻的一个第1支承板70上的多个第1夹紧部件80赋予抵抗扭转螺旋弹簧73的第1作用力的第1外力F1(参照图5(B)),使其成为能够夹紧的状态。
2.2.第2工序
在图9所示的步骤2中,第2夹紧部件100在能够接受工件W的位置成为开放状态。具体而言,对于多个第2支承板90中的一个、例如对在图1中与下框40的第4下框部件44相邻的一个第2支承板90赋予图7所示的第2外力F2,并使其从下框40狭缝41A、42内的下限位置上升。而且,对于被该一个第2支承板90保持多个第2夹紧部件100赋予克服扭转螺旋弹簧93的第2作用力的第3外力F3(参照图6(B)),使其成为可夹紧的状态。外力F2、F3的赋予定时可以是同时的,也可以是任意一方在先。另外,第1工序和第2工序可以同时进行,也可以任一方先进行。
2.3.第3工序
在图9所示的步骤3中,使一个工件W成为垂直状态,使其在图1所示的第1方向A上水平移动,将其从搬入口60搬入到夹具主体20内。此时,工件W例如分别把持搬送前端部和搬送后端部,能够不与工件保持夹具10干涉地将工件W搬入夹具主体20内。由此,工件W的上端部配置在一个第1支承板70的第1垂直面74和支承在该第1垂直面74上的多个第1夹紧部件80之间。另外,工件W的下端部配置在一个第2支承板90的第2垂直面94和支承在该第2垂直面94上的多个第2夹紧部件100之间。
2.4.第4工序
在图9所示的步骤4中,解除图5所示的第1外力F1和图6所示的第3外力F3,使用多个第1夹紧部件80和多个第2夹紧部件100,夹紧一个工件W的上端部和下端部。图7示出第4工序结束后的状态。此时,将工件W的上下端部间的距离设为L1。
2.5.第5工序
在图9所示的步骤5中,如图8所示,通过解除第2外力F2而使多个第2支承板90中的一个下降。此时,工件W的上下端部间的距离成为比图7所示的距离L1长的距离L2。因此,对一个工件W赋予张力。工件W通过被赋予张力而去除挠曲。由此,完成将一个工件W在工件保持夹具10上的安装。此时,例如未图示的计数器进行递增计数,初始值N=0变更为N=1。
在图9所示的步骤6中,判断在工件保持夹具10上是否安装了所有的工件W。在本实施方式中,在N=20时,步骤6的判断为“是”,工件W在工件保持夹具10上的安装完成。如果N<20,则图9的步骤6的判断为“否”,反复实施第1至第5工序(步骤1至5)直到将工件W全部安装到工件保持夹具10上为止。这样,根据本实施方式,通过对工件保持夹具10施加/解除第1至第3外力F1~F3(第1、2、4、5工序)和工件W在第1方向A上的水平移动(第3工序),能够在工件保持夹具10上安装多个工件,在工件保持夹具10上安装工件W的自动化变得容易。
2.6.第6工序
在本实施方式中,如果图9所示的步骤6中的判断为“否”,则如图9的步骤7所示,为了准备向工件保持夹具10搬入下一个待安装的工件W,还可以包括使工件保持夹具10在与图1所示的第1方向A垂直的第2方向B上水平移动的第6工序。这样,在使上述方法自动化时,只要使工件保持夹具10在第2方向B上水平移动,则施加/解除第1至第3外力F1~F3的装置和搬入工件W的装置就能够在不需要移动的情况下完成在工件保持夹具10上的所有工件W的安装。因此,工件安装装置的结构变得简单。
另外,如以上那样对本实施方式进行了详细说明,但是,本领域技术人员当然能够理解可以在实际脱离本发明的新事项和效果的情况下进行多个变形。因此,这种变形例全部包含在本发明的范围内。例如,关于在说明书或附图中至少一次与更广义或同义的不同术语一起记载的术语,能够在说明书或附图任何位置置换为不同的术语。另外,本实施方式和变形例的全部组合也包含在本发明的范围内。
例如,在上述的安装方法中,将工件W逐个地安装在工件保持夹具10上,然而也可以将多个工件W同时搬入夹具主体20内,并同时安装多个工件W。
在上述实施方式中,通过自重使下侧的第2支承板90和第2夹紧部件100下降而对工件W赋予张力,但本发明并不限定于此。也可以利用弹簧等的作用力使上侧的第1支承板70和第1夹紧部件80相对于上框30上升,从而对工件W赋予张力。在该情况下,图7所示的第2外力F2成为作用于第1支承板70的向下的外力。
另外,也可以在将工件W安装到工件保持夹具10上时不对工件W赋予张力,而只要至少在工件保持夹具10配置于处理槽时赋予即可。因此,在使第1支承板70相对于上框30自由升降的情况下,也可以不一定通过弹簧等的作用力使第1支承板70相对于上框30向上方施力。
另外,也可以形成为能够在工件保持夹具10上保持纵向尺寸不同的工件W。因此,连结部50中的纵框部件51~54能够通过公知的滑动机构和锁定机构来调整上下方向的长度。由此,能够使一对上部横部件31、32与一对下部横部件41、42的上下方向距离可变。也可以形成为能够在工件保持夹具10上保持横向尺寸不同的工件W。在该情况下,如果对应于最大横向尺寸的工件W来制作工件保持夹具10的大小,则能够保持该尺寸以下的横向尺寸的工件W。横向尺寸小的工件W也可以使用第1、第2夹紧部件80、100的一部分进行夹紧,或者还可以使在图1的A方向上位于两端的第1、第2夹紧构件80、100在A方向上能够移动。
标号说明
10:工件保持夹具;20:夹具主体;30:上框;31~34:第1~第4上框部件;31、32:一对上部横部件;31A、32A:狭缝;32B、32B:钩;40:下框;41~44:第1~第4下框部件;41、42:一对下部横部件;41A、42A:狭缝;50:连结部;51~54:第1~第4纵框部件;55:水平加强部件;56:垂直加强部件;60:搬入口;70:第1支承板(第1支承部件);71:第1保持器;74:第1垂直面;80:第1夹紧部件;90:第2支承板(第2支承部件);91:第2保持器;94:第2垂直面;100:第2夹紧部件;200:升降部件;A:第1方向(工件搬入方向);B:第2方向(夹具移动方向);F1:第1外力;F2:第2外力;F3:第3外力。
Claims (11)
1.一种工件保持夹具,其特征在于,具有:
夹具主体,其包括一对上部横部件、一对下部横部件和将所述一对上部横部件和所述一对下部部件连结的连结部;
多个第1支承部件,它们被平行地支承在所述一对上部横部件之间;
多个第1夹紧部件,它们被所述多个第1支承板分别支承,夹紧多个工件的各自的上端部;
多个第2夹紧支承部件,它们被平行地支承在所述一对下部横部件之间;以及
多个第2夹紧部件,它们被所述多个第2夹紧支承部件分别支承,夹紧所述多个工件的各自的下端部,
所述多个第1支承部件和多个第2支承部件中的一方以能够升降的方式被支承于所述一对上部横部件和所述一对下部横部件中的一方。
2.根据权利要求1所述的工件保持夹具,其特征在于,
所述多个第2支承部件分别被所述一对下部横部件引导为能够升降,并且由所述一对下部横部件设定下限位置,
所述多个工件分别通过所述多个第2支承部件之一和被一个该第2支承部件支承的所述多个第2夹紧部件的自重而被赋予张力。
3.根据权利要求1所述的工件保持夹具,其特征在于,
所述多个第1支承部件分别被所述一对上横部件引导为能够升降,并且被赋予朝向上方的作用力,
通过所述作用力,所述多个工件分别被赋予张力。
4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的工件保持夹具,其特征在于,
所述连结部包含能够调整所述一对上部横部件与所述一对下部横部件之间的上下方向距离的机构。
5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的工件保持夹具,其特征在于,
该工件保持夹具还具有多个第1保持器,该多个第1保持器被分别固定于所述多个第1支承部件,将所述多个第1夹紧部件的可动片支承为能够摆动,
所述多个第1保持器分别包括第1垂直面,
所述多个第1夹紧部件的所述可动片相对于所述第1垂直面接触和分离。
6.根据权利要求1至4中的任意一项所述的工件保持夹具,其特征在于,
所述多个第1支承部件分别包括第1垂直面,
所述多个第1夹紧部件的可动片相对于所述第1垂直面接触和分离。
7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的工件保持夹具,其特征在于,
该工件保持夹具还具有多个第2保持器,该多个第2保持器被分别固定于所述多个第2支承部件,将所述多个第2夹紧部件的可动片支承为能够摆动,
所述多个第2保持器分别包括第2垂直面,
所述多个第2夹紧部件的所述可动片相对于所述第2垂直面接触和分离。
8.根据权利要求1至6中的任意一项所述的工件保持夹具,其特征在于,
所述多个第2支承部件分别包括第2垂直面,
所述多个第2夹紧部件的可动片相对于所述第2垂直面接触和分离。
9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的工件保持夹具,其特征在于,
所述夹具主体具有搬入口,该搬入口允许使垂直状态的所述多个工件分别水平移动而搬入到所述夹具主体内。
10.一种在工件保持夹具上的工件安装方法,该方法在权利要求9所述的工件保持夹具上安装多个工件,其特征在于,包括:
第1工序,对被所述多个第1支承部件之一保持的所述多个第1夹紧部件赋予第1外力而使其成为能够夹紧的状态;
第2工序,对所述多个第1夹紧部件之一和所述多个第2支承部件之一中的一方赋予第2外力而使其向上下方向中的一方移动,并且对被所述多个第2支承部件之一保持的所述多个第2夹紧部件赋予第3外力而使其成为能够夹紧的状态;
第3工序,使所述多个工件中的一个成为垂直状态,使其在第1方向上水平移动而从所述搬入口搬入所述夹具主体内;
第4工序,解除所述第1外力和第3外力,使用所述多个第1夹紧部件和所述多个第2夹紧部件夹紧一个所述工件的上端部和下端部;以及
第5工序,通过解除所述第2外力而使所述多个第1夹紧部件之一和所述多个第2支承部件之一中的一方向所述上下方向中的另一方移动,从而对一个所述工件赋予张力,
反复实施所述第1工序至第5工序,直至将所述多个工件全部安装到所述工件保持夹具为止。
11.根据权利要求10所述的在工件保持夹具上的工件安装方法,其特征在于,
在所述第5工序之后还具有第6工序,在该第6工序中,为了搬入将安装于所述工件保持夹具上的下一个工件而使所述工件保持夹具在与所述第1方向垂直的第2方向上水平移动。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016192109 | 2016-09-29 | ||
JP2016-192109 | 2016-09-29 | ||
PCT/JP2017/034924 WO2018062260A1 (ja) | 2016-09-29 | 2017-09-27 | ワーク保持治具及びワーク保持治具へのワーク取付方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109963964A true CN109963964A (zh) | 2019-07-02 |
CN109963964B CN109963964B (zh) | 2021-08-31 |
Family
ID=61759793
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201780059414.3A Active CN109963964B (zh) | 2016-09-29 | 2017-09-27 | 工件保持夹具和在工件保持夹具上的工件安装方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6793967B2 (zh) |
KR (1) | KR20190058513A (zh) |
CN (1) | CN109963964B (zh) |
MY (1) | MY195297A (zh) |
PH (1) | PH12019500670A1 (zh) |
WO (1) | WO2018062260A1 (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6909524B2 (ja) * | 2018-11-20 | 2021-07-28 | 株式会社アルメックステクノロジーズ | 治具搬送部材並びに表面処理装置及び方法 |
CN111945213B (zh) * | 2020-07-06 | 2022-10-28 | 西安飞机工业(集团)有限责任公司 | 一种对滑轨零件多电镀面电镀的象形阳极夹具 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1875454A (zh) * | 2003-10-28 | 2006-12-06 | 诺信公司 | 等离子处理系统和等离子处理工艺 |
CN104342744A (zh) * | 2013-08-08 | 2015-02-11 | 上村工业株式会社 | 夹具及具备该夹具的保持器 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006093651A (ja) | 2004-08-26 | 2006-04-06 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板の製造方法および配線基板製造用無電解メッキ装置 |
-
2017
- 2017-09-27 JP JP2018542637A patent/JP6793967B2/ja active Active
- 2017-09-27 CN CN201780059414.3A patent/CN109963964B/zh active Active
- 2017-09-27 MY MYPI2019001614A patent/MY195297A/en unknown
- 2017-09-27 WO PCT/JP2017/034924 patent/WO2018062260A1/ja active Application Filing
- 2017-09-27 KR KR1020197010020A patent/KR20190058513A/ko not_active Application Discontinuation
-
2019
- 2019-03-27 PH PH12019500670A patent/PH12019500670A1/en unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1875454A (zh) * | 2003-10-28 | 2006-12-06 | 诺信公司 | 等离子处理系统和等离子处理工艺 |
CN104342744A (zh) * | 2013-08-08 | 2015-02-11 | 上村工业株式会社 | 夹具及具备该夹具的保持器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PH12019500670A1 (en) | 2019-12-02 |
WO2018062260A1 (ja) | 2018-04-05 |
JP6793967B2 (ja) | 2020-12-02 |
MY195297A (en) | 2023-01-12 |
KR20190058513A (ko) | 2019-05-29 |
CN109963964B (zh) | 2021-08-31 |
JPWO2018062260A1 (ja) | 2019-07-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB02 | Change of applicant information | ||
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|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |