CN109957783B - 一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,包括放卷室以及均通过螺栓和密封垫依次固定串接在放卷室后侧的清洗室、真空镀膜室、冷却室和收卷室。该用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,在实际使用时,让工件依次经过放卷、高压冲洗、真空镀膜、冷却降温以及收卷处理,其中真空镀膜环节的真空镀膜室通过隔板分成三个等大的小型真空镀膜室,并且这三个小型的真空度镀膜室分别对应设置抽真空系统和蒸汽发热源,将工件表面镀膜的区段分为三段或更多段,有利于镀膜处理时的效率和质量的保证,大大节约了工件表面镀膜的时间,降低了镀膜的成本,有利于中小型企业的推广使用。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域,具体为一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线。
背景技术
众所周知,在某些材料的表面上,只要镀上一层薄膜,就能使材料具有许多新的、良好的物理和化学性能。20世纪70年代,在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电,使电解液电解,被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上,因此这种镀膜的条件,基体必须是电的良导体,而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法,必须把膜材配制成溶液,并能迅速参加还原反应,这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差,而且镀膜既不均匀也不易控制,同时还会产生大量的废液,造成严重的污染。因此,这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的限制。
而真空镀膜技术就是置待镀材料和被镀基板于真空室内,采用一定方法加热待镀材料,使之蒸发或升华,并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺,真空镀膜机是该工艺中最为重要的组成部分。
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
但是现有的真空镀膜流水线,其真空镀膜室通常只有一个大的腔室,一个腔室也只能对应的增设一台抽气系统进行抽真空处理,这种方式的缺陷在于:由于上述腔室的空间很大,仅仅凭借一台抽气系统的正常工作,需要耗费的时间较长,另外,一台抽气系统进行对上述腔室进行抽真空处理,在抽气的过程中,腔室中的气压不均衡,从而促使抽气的不均匀性,当工件进入到高腔室内部后,无论是生产效率还是质量都会有所下降,为此,我们提出了一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,可以有效解决背景技术中提出的现有的真空镀膜流水线的真空腔室为一体式,腔室空间巨大,一台抽气系统在进行抽真空处理时,容易出现气流不均匀和速度慢的问题,从而造成镀膜的效率和质量均有所降低的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,包括放卷室以及均通过螺栓和密封垫依次固定串接在放卷室后侧的清洗室、真空镀膜室、冷却室和收卷室;
所述放卷室的内部底端固定安装有用于松放待电镀工件的放卷系统,所述放卷系统的松放部外侧固定套接有可拆卸的卷筒;
所述清洗室的内部底端固定安装有起到除去待电镀工件表面灰尘的清洗系统;
所述真空镀膜室的内部底端固定安装有三块等距离分布的隔板,三块尺寸和结构均相同的隔板将真空镀膜室等距离分为三个真空镀膜腔室,每块隔板的中间位置均贯穿开设有用于导入电镀工件的矩形槽孔,所述真空镀膜室的顶部位置固定安装有三组抽真空系统,所述每组抽真空系统的抽气端均延伸至每一个真空镀膜腔室中,所述真空镀膜室的两个侧面上均嵌入安装有三个蒸汽发热源,总共设置有六个,每三个为一组,且每个蒸汽发热源的位置均与每一个真空镀膜腔室一一对应;
所述冷却室的内部底端固定安装有用于给电镀完成后的工件进行降温处理的冷却系统;
所述收卷室的内部底端固定安装有用于给电镀完成后的工件进行收卷处理的收卷系统,所述收卷系统的结构与放卷系统的结构相同。
作为本发明的一种优选技术方案,所述放卷系统包括槽钢跑道、基座A、基座B、架体A、架体B、伺服电机、传动盘A、卡位钢板A、卡位钢板B、主动轴、从动轴以及滚筒,所述槽钢跑道的数量共设置有两根,两根槽钢跑道之间为对称设置,所述槽钢跑道的顶部两侧位置处分别设置有可通过滚筒进行轴向滑动的基座A和基座B,所述滚筒的数量共设置有四个,每两个为一组,分别安装在基座A和基座B的径向两端位置,所述基座A和基座B的上表面通过焊接的方式分别固定连接有架体A和架体B,所述架体A的一侧表面固定安装有用于驱动的伺服电机,所述伺服电机的驱动端通过轴承连接贯穿架体A的内部,并且固定安装有圆形的传动盘A,所述架体B的一侧通过传动杆也同样固定连接有传动盘B,所述传动盘A与传动盘B的内侧面分别以焊接的方式连接有卡位钢板A和卡位钢板B的固定端,且传动盘A与传动盘B的内侧面对应靠近卡位钢板A和卡位钢板B固定端的内侧位置处通过螺栓分别固定连接有主动轴和从动轴的一端,所述主动轴与从动轴的另一端为互补结构,两个接触端之间通过销钉串接在一起。
作为本发明的一种优选技术方案,所述卡位钢板A和卡位钢板B的数量均设置有四块,所述卡位钢板A和卡位钢板B的固定端上表面均固定开设有螺纹孔,所述卷筒的外表面卷绕有工件,且卷筒的两端内表面均固定开设有四个分别与卡位钢板A和卡位钢板B位置相对应的卡位槽体,所述卡位槽体的内部同样也固定开设有螺纹孔,所述卷筒与卡位钢板A、卡位钢板B之间均通过螺栓进行固定,所述卡位钢板A和卡位钢板B的宽度均小于卡位槽体的宽度。
作为本发明的一种优选技术方案,所述清洗系统包括Z型支架A、输水泵、储水箱、进水管、出水管、清洗框架和喷头,所述Z型支架A的顶部上表面固定安装有输水泵,且Z型支架A的底部上表面固定安装有用于存放液态水体的储水箱,所述输水泵的进液口固定连接有进水管的出液端,所述进水管的进液端浸没在储水箱的液态水体中,所述输水泵的出液口固定连接有出水管的进液端,所述出水管的出液端延伸至清洗室的内部,并且通过连接器固定连接有清洗框架,所述清洗框架为一种“回”字形空心结构的构件,所述清洗框架的内侧的上下表面均嵌入安装有喷头。
作为本发明的一种优选技术方案,所述抽真空系统包括安装板、真空泵、储气罐、罐盖、出气管、进气管和管道接头,所述安装板的上表面固定安装有用于存储空气的储气罐,所述储气罐的顶部通过螺栓固定安装有罐盖,所述安装板的上表面靠近储气罐的一侧位置处固定安装有真空泵,所述罐盖的进气口与真空泵的出气口之间通过出气管固定连接,所述真空泵的进气口固定连接有进气管的出气端,所述进气管的进气端延伸至真空镀膜室的内部,并且固定安装有管道接头。
作为本发明的一种优选技术方案,所述冷却系统包括Z型支架B、输液泵、储液箱、进液管、出液管、冷却框架、拓位孔以及回流管,所述Z型支架B的顶部上表面固定安装有输液泵,且Z型支架B的底部上表面固定安装有用于存放冷却液的储液箱,所述输液泵的进液口固定连接进液管的出液端,所述进液管的进液端浸没在储液箱内部的冷却液中,所述输液泵的出液端固定连接出液管的进液端,所述出液管的出液端延伸至冷却室的内部,并且通过连接器固定连接有冷却框架,所述冷却框架为一种中空结构,且冷却框架的内部固定开设有拓位孔,所述拓位孔的厚度略大于工件的厚度,所述冷却框架的出液口通过连接器固定连接有回流管的进液端,所述回流管的出液端延伸至冷却室的外部,并且浸没在储液箱内部的冷却液中。
作为本发明的一种优选技术方案,所述放卷室与清洗室以及清洗室与真空镀膜室的底部连接处均设置有隔水挡板,所述清洗室的一侧面底部固定设置有排水管。
作为本发明的一种优选技术方案,所述放卷室的前表面与收卷室的后表面均设置有高密封性的出入门。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:该用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,在实际使用时,让工件依次经过放卷、高压冲洗、真空镀膜、冷却降温以及收卷处理,其中真空镀膜环节的真空镀膜室通过隔板分成三个等大的小型真空镀膜室,并且这三个小型的真空度镀膜室分别对应设置抽真空系统和蒸汽发热源,将工件表面镀膜的区段分为三段或更多段,有利于镀膜处理时的效率和质量的保证,大大节约了工件表面镀膜的时间,降低了镀膜的成本,有利于中小型企业的推广使用。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为本发明的内部结构示意图;
图3为本发明放卷系统的结构示意图;
图4为本发明卡位槽体的开设结构示意图;
图5为本发明清洗系统的结构示意图;
图6为本发明抽真空系统的结构示意图;
图7为本发明冷却系统的结构示意图。
图中:1、放卷室;2、清洗室;3、真空镀膜室;4、冷却室;5、收卷室;6、放卷系统;61、槽钢跑道;62、基座A;63、基座B;64、架体A;65、架体B;66、伺服电机;67、传动盘A;68、卡位钢板A;69、卡位钢板B;610、主动轴;611、从动轴;612、滚筒;7、卷筒;71、卡位槽体;72、工件;8、清洗系统;81、Z型支架A;82、输水泵;83、储水箱;84、进水管;85、出水管;86、清洗框架;87、喷头;9、隔板;10、抽真空系统;101、安装板;102、真空泵;103、储气罐;104、罐盖;105、出气管;106、进气管;107、管道接头;11、蒸汽发热源;12、冷却系统;121、Z型支架B;122、输液泵;123、储液箱;124、进液管;125、出液管;126、冷却框架;127、拓位孔;128、回流管;13、收卷系统。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-2,本发明提供一种技术方案:一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,包括放卷室1以及均通过螺栓和密封垫依次固定串接在放卷室1后侧的清洗室2、真空镀膜室3、冷却室4和收卷室5;
放卷室1的内部底端固定安装有用于松放待电镀工件的放卷系统6,放卷系统6的松放部外侧固定套接有可拆卸的卷筒7;
清洗室2的内部底端固定安装有起到除去待电镀工件表面灰尘的清洗系统8;
真空镀膜室3的内部底端固定安装有三块等距离分布的隔板9,三块尺寸和结构均相同的隔板9将真空镀膜室3等距离分为三个真空镀膜腔室,每块隔板9的中间位置均贯穿开设有用于导入电镀工件的矩形槽孔,真空镀膜室3的顶部位置固定安装有三组抽真空系统10,每组抽真空系统10的抽气端均延伸至每一个真空镀膜腔室中,真空镀膜室3的两个侧面上均嵌入安装有三个蒸汽发热源11,总共设置有六个,每三个为一组,且每个蒸汽发热源11的位置均与每一个真空镀膜腔室一一对应;
冷却室4的内部底端固定安装有用于给电镀完成后的工件进行降温处理的冷却系统12;
收卷室5的内部底端固定安装有用于给电镀完成后的工件进行收卷处理的收卷系统13,收卷系统13的结构与放卷系统6的结构相同。
放卷室1与清洗室2以及清洗室2与真空镀膜室3的底部连接处均设置有隔水挡板,清洗室2的一侧面底部固定设置有排水管,放卷室1的前表面与收卷室5的后表面均设置有高密封性的出入门。
请参阅图3-4,放卷系统6包括槽钢跑道61、基座A62、基座B63、架体A64、架体B65、伺服电机66、传动盘A67、卡位钢板A68、卡位钢板B69、主动轴610、从动轴611以及滚筒612,槽钢跑道61的数量共设置有两根,两根槽钢跑道61之间为对称设置,槽钢跑道61的顶部两侧位置处分别设置有可通过滚筒612进行轴向滑动的基座A62和基座B63,滚筒612的数量共设置有四个,每两个为一组,分别安装在基座A62和基座B63的径向两端位置,基座A62和基座B63的上表面通过焊接的方式分别固定连接有架体A64和架体B65,架体A64的一侧表面固定安装有用于驱动的伺服电机66,伺服电机66的驱动端通过轴承连接贯穿架体A64的内部,并且固定安装有圆形的传动盘A67,架体B65的一侧通过传动杆也同样固定连接有传动盘B(由于视角原因,图示中未画出),传动盘A67与传动盘B的内侧面分别以焊接的方式连接有卡位钢板A68和卡位钢板B69的固定端,且传动盘A67与传动盘B的内侧面对应靠近卡位钢板A68和卡位钢板B69固定端的内侧位置处通过螺栓分别固定连接有主动轴610和从动轴611的一端,主动轴610与从动轴611的另一端为互补结构,两个接触端之间通过销钉串接在一起,卡位钢板A68和卡位钢板B69的数量均设置有四块,卡位钢板A68和卡位钢板B69的固定端上表面均固定开设有螺纹孔,卷筒7的外表面卷绕有工件72,且卷筒7的两端内表面均固定开设有四个分别与卡位钢板A68和卡位钢板B69位置相对应的卡位槽体71,卡位槽体71的内部同样也固定开设有螺纹孔,卷筒7与卡位钢板A68、卡位钢板B69之间均通过螺栓进行固定,卡位钢板A68和卡位钢板B69的宽度均小于卡位槽体71的宽度。
请参阅图5,清洗系统8包括Z型支架A81、输水泵82、储水箱83、进水管84、出水管85、清洗框架86和喷头87,Z型支架A81的顶部上表面固定安装有输水泵82,且Z型支架A81的底部上表面固定安装有用于存放液态水体的储水箱83,输水泵82的进液口固定连接有进水管84的出液端,进水管84的进液端浸没在储水箱83的液态水体中,输水泵82的出液口固定连接有出水管85的进液端,出水管85的出液端延伸至清洗室2的内部,并且通过连接器固定连接有清洗框架86,清洗框架86为一种“回”字形空心结构的构件,清洗框架86的内侧的上下表面均嵌入安装有喷头87。
请参阅图6,抽真空系统10包括安装板101、真空泵102、储气罐103、罐盖104、出气管105、进气管106和管道接头107,安装板101的上表面固定安装有用于存储空气的储气罐103,储气罐103的顶部通过螺栓固定安装有罐盖104,安装板101的上表面靠近储气罐103的一侧位置处固定安装有真空泵102,罐盖104的进气口与真空泵102的出气口之间通过出气管105固定连接,真空泵102的进气口固定连接有进气管106的出气端,进气管106的进气端延伸至真空镀膜室3的内部,并且固定安装有管道接头107。
请参阅图7,冷却系统12包括Z型支架B121、输液泵122、储液箱123、进液管124、出液管125、冷却框架126、拓位孔127以及回流管128,Z型支架B121的顶部上表面固定安装有输液泵122,且Z型支架B121的底部上表面固定安装有用于存放冷却液的储液箱123,输液泵122的进液口固定连接进液管124的出液端,进液管124的进液端浸没在储液箱123内部的冷却液中,输液泵122的出液端固定连接出液管125的进液端,出液管125的出液端延伸至冷却室4的内部,并且通过连接器固定连接有冷却框架126,冷却框架126为一种中空结构,且冷却框架126的内部固定开设有拓位孔127,拓位孔127的厚度略大于工件72的厚度,冷却框架126的出液口通过连接器固定连接有回流管128的进液端,回流管128的出液端延伸至冷却室4的外部,并且浸没在储液箱123内部的冷却液中。
本发明的工作原理及使用流程:该直线型真空镀膜流水线,在对工件72进行镀膜处理时,依次对工件72进行放卷、高压冲洗、真空镀膜、冷却降温以及收卷处理,其中:
放卷部分:放卷部分由放卷室1和放卷系统6组成,在进行放卷操作之前,需要将绕卷在卷筒7上的工件72,安装在卡位钢板A68以及卡位钢板B69上,具体的安装原理为:首先需增大架体A64和架体B65之间的距离,在基座A62、基座B63以及滚筒612的作用下,可分别拉动架体A64和架体B65,直至架体A64和架体B65之间的距离大于卷筒7的长度即可停止,将卷筒7的一端套接在卡位钢板A68的外部,套接完成后,通过螺栓连接位于卡位钢板A68和卷筒7上端螺纹孔,然后通过销轴,连接主动轴610和从动轴611相接触互补的一端,从而可以将主动轴610和从动轴611连接在一起,伺服电机66可驱动主动轴610和从动轴611,从而驱动位于卡位钢板A68以及卡位钢板B69上的卷筒7进行转动,从而实现放卷操作;
高压清洗部分:由清洗室2和清洗系统8组成,当待电镀的工件从放卷系统6上放出,经过清洗室2时,可启动输水泵82,在输水泵82的作用下,可将位于储水箱83中的液态水体通过进水管84和出水管85输送至空心结构的清洗框架86中,在经过喷头87,将液态水体喷洒在待镀膜工件72的表面,从而可提高镀膜的质量;
真空镀膜部分:由真空镀膜室3、隔板9、抽真空系统10以及蒸汽发热源11组成,隔板9将一个大的真空镀膜室3等分成三个小的真空镀膜室3,从而可以提高工件72的镀膜效率和质量,启动真空泵102和蒸汽发热源11,真空泵102可将真空镀膜室3、放卷室1、清洗室2、冷却室4和收卷室5的内部空气通过进气管106和出气管105输送至储气罐103中,从而实现让整个流水线均处于真空状态,蒸汽发热源11采用行业内均熟知的现有技术,此处不再详述;
冷却部分:由冷却室4和冷却系统12组成,当镀膜后的工件72进入到冷却室4的内部时,工件72首先与冷却框架126相接触,启动输液泵122,让位于储液箱123内部的冷却液依次经过进液管124、出液管125进入到冷却框架126的内部,而工件72是从拓位孔127的内部穿过,从而可以让冷却液带走工件72的热量,从而达到冷却效果,冷却后的液体通过回流管128重新回到储液箱123中,形成循环冷却的状态;
收卷部分:由收卷室5和收卷系统13组成,收卷的原理与放卷原理相同,唯一区别为放卷系统6中的伺服电机66为正向转动,而收卷系统13中的伺服电机66为反向转动,从而实现对工件72的收卷处理。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,包括放卷室(1)以及均通过螺栓和密封垫依次固定串接在放卷室(1)后侧的清洗室(2)、真空镀膜室(3)、冷却室(4)和收卷室(5),其特征在于:
所述放卷室(1)的内部底端固定安装有用于松放待电镀工件的放卷系统(6),所述放卷系统(6)的松放部外侧固定套接有可拆卸的卷筒(7);
所述清洗室(2)的内部底端固定安装有起到除去待电镀工件表面灰尘的清洗系统(8),所述清洗系统(8)包括Z型支架A(81)、输水泵(82)、储水箱(83)、进水管(84)、出水管(85)、清洗框架(86)和喷头(87),所述Z型支架A(81)的顶部上表面固定安装有输水泵(82),且Z型支架A(81)的底部上表面固定安装有用于存放液态水体的储水箱(83),所述输水泵(82)的进液口固定连接有进水管(84)的出液端,所述进水管(84)的进液端浸没在储水箱(83)的液态水体中,所述输水泵(82)的出液口固定连接有出水管(85)的进液端,所述出水管(85)的出液端延伸至清洗室(2)的内部,并且通过连接器固定连接有清洗框架(86),所述清洗框架(86)为一种“回”字形空心结构的构件,所述清洗框架(86)的内侧的上下表面均嵌入安装有喷头(87);
所述真空镀膜室(3)的内部底端固定安装有三块等距离分布的隔板(9),三块尺寸和结构均相同的隔板(9)将真空镀膜室(3)等距离分为三个真空镀膜腔室,每块隔板(9)的中间位置均贯穿开设有用于导入电镀工件的矩形槽孔,所述真空镀膜室(3)的顶部位置固定安装有三组抽真空系统(10),所述抽真空系统(10)包括安装板(101)、真空泵(102)、储气罐(103)、罐盖(104)、出气管(105)、进气管(106)和管道接头(107),所述安装板(101)的上表面固定安装有用于存储空气的储气罐(103),所述储气罐(103)的顶部通过螺栓固定安装有罐盖(104),所述安装板(101)的上表面靠近储气罐(103)的一侧位置处固定安装有真空泵(102),所述罐盖(104)的进气口与真空泵(102)的出气口之间通过出气管(105)固定连接,所述真空泵(102)的进气口固定连接有进气管(106)的出气端,所述进气管(106)的进气端延伸至真空镀膜室(3)的内部,并且固定安装有管道接头(107),所述每组抽真空系统(10)的抽气端均延伸至每一个真空镀膜腔室中,所述真空镀膜室(3)的两个侧面上均嵌入安装有三个蒸汽发热源(11),总共设置有六个,每三个为一组,且每个蒸汽发热源(11)的位置均与每一个真空镀膜腔室一一对应;
所述冷却室(4)的内部底端固定安装有用于给电镀完成后的工件进行降温处理的冷却系统(12);
所述收卷室(5)的内部底端固定安装有用于给电镀完成后的工件进行收卷处理的收卷系统(13),所述收卷系统(13)的结构与放卷系统(6)的结构相同。
2.根据权利要求1所述的一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,其特征在于:所述放卷系统(6)包括槽钢跑道(61)、基座A(62)、基座B(63)、架体A(64)、架体B(65)、伺服电机(66)、传动盘A(67)、卡位钢板A(68)、卡位钢板B(69)、主动轴(610)、从动轴(611)以及滚筒(612),所述槽钢跑道(61)的数量共设置有两根,两根槽钢跑道(61)之间为对称设置,所述槽钢跑道(61)的顶部两侧位置处分别设置有可通过滚筒(612)进行轴向滑动的基座A(62)和基座B(63),所述滚筒(612)的数量共设置有四个,每两个为一组,分别安装在基座A(62)和基座B(63)的径向两端位置,所述基座A(62)和基座B(63)的上表面通过焊接的方式分别固定连接有架体A(64)和架体B(65),所述架体A(64)的一侧表面固定安装有用于驱动的伺服电机(66),所述伺服电机(66)的驱动端通过轴承连接贯穿架体A(64)的内部,并且固定安装有圆形的传动盘A(67),所述架体B(65)的一侧通过传动杆也同样固定连接有传动盘B,所述传动盘A(67)与传动盘B的内侧面分别以焊接的方式连接有卡位钢板A(68)和卡位钢板B(69)的固定端,且传动盘A(67)与传动盘B的内侧面对应靠近卡位钢板A(68)和卡位钢板B(69)固定端的内侧位置处通过螺栓分别固定连接有主动轴(610)和从动轴(611)的一端,所述主动轴(610)与从动轴(611)的另一端为互补结构,两个接触端之间通过销钉串接在一起。
3.根据权利要求2所述的一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,其特征在于:所述卡位钢板A(68)和卡位钢板B(69)的数量均设置有四块,所述卡位钢板A(68)和卡位钢板B(69)的固定端上表面均固定开设有螺纹孔,所述卷筒(7)的外表面卷绕有工件(72),且卷筒(7)的两端内表面均固定开设有四个分别与卡位钢板A(68)和卡位钢板B(69)位置相对应的卡位槽体(71),所述卡位槽体(71)的内部同样也固定开设有螺纹孔,所述卷筒(7)与卡位钢板A(68)、卡位钢板B(69)之间均通过螺栓进行固定,所述卡位钢板A(68)和卡位钢板B(69)的宽度均小于卡位槽体(71)的宽度。
4.根据权利要求3所述的一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,其特征在于:所述冷却系统(12)包括Z型支架B(121)、输液泵(122)、储液箱(123)、进液管(124)、出液管(125)、冷却框架(126)、拓位孔(127)以及回流管(128),所述Z型支架B(121)的顶部上表面固定安装有输液泵(122),且Z型支架B(121)的底部上表面固定安装有用于存放冷却液的储液箱(123),所述输液泵(122)的进液口固定连接进液管(124)的出液端,所述进液管(124)的进液端浸没在储液箱(123)内部的冷却液中,所述输液泵(122)的出液端固定连接出液管(125)的进液端,所述出液管(125)的出液端延伸至冷却室(4)的内部,并且通过连接器固定连接有冷却框架(126),所述冷却框架(126)为一种中空结构,且冷却框架(126)的内部固定开设有拓位孔(127),所述拓位孔(127)的厚度略大于工件(72)的厚度,所述冷却框架(126)的出液口通过连接器固定连接有回流管(128)的进液端,所述回流管(128)的出液端延伸至冷却室(4)的外部,并且浸没在储液箱(123)内部的冷却液中。
5.根据权利要求1所述的一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,其特征在于:所述放卷室(1)与清洗室(2)以及清洗室(2)与真空镀膜室(3)的底部连接处均设置有隔水挡板,所述清洗室(2)的一侧面底部固定设置有排水管。
6.根据权利要求1所述的一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,其特征在于:所述放卷室(1)的前表面与收卷室(5)的后表面均设置有高密封性的出入门。
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