CN211256070U - 一种靶材专用镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种靶材专用镀膜装置，包括箱体，箱体底部两侧焊接有支撑腿，箱体内通过螺丝固定有镀膜机，箱体左右两侧内壁上设有清洗组件，清洗组件包括进水管道，进水管道通过管道支架安装在箱体左右两侧内壁上，进水管道上通过通孔设有多个喷嘴，进水管道的上方设有毛刷组件，两侧毛刷组价的方向相对，箱体内前后两侧内壁上设有固定装置，箱体前侧左方设有抽真空管口，抽真空关口密封连接抽真空管道，抽真空管道与真空泵密封连接，真空泵通过固定座固定在箱体外一侧。实用新型结构简单，通过固定装置上的夹具将靶材固定住后，通过夹具上的喷嘴对靶材进行冲洗，以保证镀件的整洁、干燥，避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点。

Description

一种靶材专用镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体为一种靶材专用镀膜装置。

背景技术

靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

在现有技术中常用的真空镀膜装置在实际工作时会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，进而确保真空镀膜装置能够正常工作；但是常见的冷却装置的冷却效率仍然不够完善，还是会有部分热量存留，随着热量的积累对真空镀膜装置也会产生一定的影响。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种靶材专用镀膜装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种靶材专用镀膜装置，包括箱体，箱体底部两侧焊接有支撑腿，箱体内通过螺丝固定有镀膜机，箱体前后两侧内壁上设有加热组件，加热组件包括多个加热管道，多个加热管道通过螺丝安装在箱体左右两侧内壁上，多个加热管道上套有导热套，导热套的前方设有蒸发板，箱体内左右两侧内壁上设有固定装置，箱体前侧左方设有抽真空管口，抽真空管口密封连接抽真空管道，抽真空管道与真空泵密封连接，真空泵通过固定座固定在箱体外一侧。

优选的，固定装置包括电推杆，电推杆连接电机，电机安装在电机安装座上，电机安装座的底座上四周设有通孔，螺丝通过四周通孔将电机安装座安装在箱体内壁上，电推杆顶端通过转轴连接有夹具，夹具内设有空腔，夹具上设有多个与空腔相通的安装口，多个安装口上设有喷嘴，喷嘴通过管道连接微型储水箱，微型储水箱设在空腔内，微型储水箱通过管道连接外部水箱。

优选的，蒸发板包括主体，主体内设有冷气循环管道，冷气循环管道呈蛇形，主体左上侧设有进气口，右下侧设有出气口，进气口与冷气循环管道一端想通，出气口与冷气循环管道另一端相通，蒸发板采用铝合金制成。

优选的，箱体内顶部两侧设有除湿器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单、设计合理、实用性强，通过固定装置上的夹具将待镀膜的工件（靶材）固定住后，通过夹具上的喷嘴对靶材进行冲洗，以保证镀件的整洁、干燥，避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点；通过设置的加热组件可将清洗后的靶材进行烘干，避免靶材上出现水汽以及镀膜时表面氧化，提高生产质量；采用的除湿器的型号采用GCO-8050T，可有效将箱体内的水分子冷凝后排出，使得箱体有效维持在干爽恒温的工作环境下。

附图说明

图1为本用新型的结构示意图；

图2为本实用新加热组件的结构示意图；

图3为本实用新型蒸发板的结构示意图；

图4为本实用新型夹具的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种靶材专用镀膜装置，包括箱体1，箱体1底部两侧焊接有支撑腿2，箱体1内通过螺丝固定有镀膜机3，镀膜机采用的型号为FOXIN-TG-1218，箱体1前后两侧内壁上设有加热组件，加热组件包括多个加热管道4，多个加热管道4通过螺丝安装在箱体1左右两侧内壁上，多个加热管道上套有导热套5，导热套5的前方设有蒸发板6，箱体1内左右两侧内壁上设有固定装置，箱体1前侧左方设有抽真空管口8，抽真空管口8密封连接抽真空管道9，抽真空管道9与真空泵10密封连接，真空泵10通过固定座固定在箱体1外一侧，真空泵通过抽真空管道将箱体内的空气抽空，可减少蒸发材料的原子、分子在飞向基板过程中与分子的碰撞，减少气体中的活性分子和蒸发源材料间的化学反应（如氧化等），以及减少成膜过程中气体分子进入薄膜中成为杂质的量，从而提供膜层的致密度、纯度、沉积速率和与基板的附着力。

本实用新型中，固定装置包括电推杆11，电推杆11连接电机12，电机12安装在电机安装座上，电机安装座的底座上四周设有通孔，螺丝通过四周通孔将电机安装座安装在箱体内壁上，电推杆11顶端通过转轴连接有夹具17，夹具17内设有空腔，夹具17上设有多个与空腔相通的安装口18，多个安装口18上设有喷嘴19，喷嘴19通过管道连接微型储水箱20，微型储水箱20设在空腔内，微型储水箱20通过管道连接外部水箱21，将靶材固定住，使其保持不动。

本实用新型中，蒸发板6包括主体60，主体60内设有冷气循环管道61，冷气循环管道61呈蛇形，主体60左上侧设有进气口62，右下侧设有出气口63，进气口62与冷气循环管道61一端相通，出气口63与冷气循环管道61另一端相通，蒸发板6采用铝合金制成，将箱体内的水汽通过蒸发板排出。

本实用新型中，箱体1内顶部两侧设有除湿器22，通过除湿器可使箱体内的工作环境保持在干燥环境下。

工作原理：通过固定装置将靶材固定住后，通过夹具上的喷嘴对靶材进行冲洗，冲洗后通过加热组件对靶材进行烘干，同时除湿器和蒸发板对箱体进行除湿、排出，使箱体内的工作环境保持在干燥的环境下，然后真空泵通过抽真空管道将箱体内的空气抽出，再采用镀膜机对靶材进行镀膜，镀完一面后，通过转轴将其旋转再镀另一面，镀膜完成后，最好通过加热组件对其进行烘干处理。

综上，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单、设计合理、实用性强，通过固定装置上的夹具将待镀膜的工件（靶材）固定住后，通过夹具上的喷嘴对靶材进行冲洗，以保证镀件的整洁、干燥，避免底涂层出现麻点、附着力差等缺点；通过设置的加热组件可将清洗后的靶材进行烘干，避免靶材上出现水汽以及镀膜时表面氧化，提高生产质量；采用的除湿器的型号采用GCO-8050T，可有效将箱体内的水分子冷凝后排出，使得箱体有效维持在干爽恒温的工作环境下。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种靶材专用镀膜装置，包括箱体（1），其特征是：所述箱体（1）底部两侧焊接有支撑腿（2），所述箱体（1）内通过螺丝固定有镀膜机（3），所述箱体（1）前后两侧内壁上设有加热组件，所述加热组件包括多个加热管道（4），多个所述加热管道（4）通过螺丝安装在箱体（1）左右两侧内壁上，多个所述加热管道上套有导热套（5），所述导热套（5）的前方设有蒸发板（6），所述箱体（1）内左右两侧内壁上设有固定装置，所述箱体（1）前侧左方设有抽真空管口（8），所述抽真空管口（8）密封连接抽真空管道（9），所述抽真空管道（9）与真空泵（10）密封连接，所述真空泵（10）通过固定座固定在箱体（1）外一侧。

2.根据权利要求1所述的一种靶材专用镀膜装置，其特征是：所述固定装置包括电推杆（11），所述电推杆（11）连接电机（12），所述电机（12）安装在电机安装座上，所述电机安装座的底座上四周设有通孔，螺丝通过四周通孔将电机安装座安装在箱体（1）内壁上，所述电推杆（11）顶端通过转轴连接有夹具（17），所述夹具（17）内设有空腔，所述夹具（17）上设有多个与空腔相通的安装口（18），多个所述安装口（18）上设有喷嘴（19），所述喷嘴（19）通过管道连接微型储水箱（20），所述微型储水箱（20）设在空腔内，所述微型储水箱通过管道连接外部水箱（21）。

3.根据权利要求1所述的一种靶材专用镀膜装置，其特征是：所述蒸发板（6）包括主体（60），所述主体（60）内设有冷气循环管道（61），所述冷气循环管道（61）呈蛇形，所述主体（60）左上侧设有进气口（62），右下侧设有出气口（63），所述进气口（62）与冷气循环管道（61）一端想通，所述出气口（63）与冷气循环管道（61）另一端相通，所述蒸发板（6）采用铝合金制成。

4.根据权利要求1所述的一种靶材专用镀膜装置，其特征是：所述箱体（1）内顶部两侧设有除湿器（22）。

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