CN210711718U

CN210711718U - 一种五金加工多弧离子镀膜机

Info

Publication number: CN210711718U
Application number: CN201921672991.2U
Authority: CN
Inventors: 李强
Original assignee: Zhaoqing Aoyi Machinery Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Zhaoqing Aoyi Machinery Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2019-10-08
Filing date: 2019-10-08
Publication date: 2020-06-09
Anticipated expiration: 2029-10-08

Abstract

本实用新型公开了一种五金加工多弧离子镀膜机，包括装置底座、镀膜外壳、上盖和锁定螺栓，装置底座的上侧设有镀膜外壳，镀膜外壳的正面设有连接件，镀膜外壳的上侧通过锁定螺栓安装上盖，在弧源电源前端的靶弧源顶端安装水枪转轴，并在水枪转轴内安装增压水枪，增压水枪的后端通过伸缩水管与外侧的水管接口连接，水管接口安装外部水管，增压水枪通过较小的水量，提高对镀件的冷却效果，同时降低水资源的损耗，将靶材安装于靶源保护壳中，并安装于外部的外接口内，当靶材耗尽需要更换时，直接拆卸靶源保护壳更换靶材即可，有效减少更换所需时间，提高更换效率，便于设备的使用，同时降低了水资源的损耗。

Description

一种五金加工多弧离子镀膜机

技术领域

本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体为一种五金加工多弧离子镀膜机。

背景技术

多弧离子镀作为物理气相沉积技术的一个分支，是在真空蒸镀和真空溅射的基础上发展起来的一门新型涂层制备技术，由于多弧离子镀技术具有沉积速率高、涂层附着力好、涂层致密、操作方便等特点，因此在材料表面改性领域得到了广泛应用，在真空多弧离子镀层时需要对真空多弧离子镀膜机进行不间断的冷却，以保证工艺要求，现有技术的多弧离子镀膜机所使用的冷却水装置，通常是连接外部水管，在镀膜机内由上而下的浇灌冷却，所消耗的水资源较大，不利于节能减排，其中镀膜所使用的靶材属于易耗品，在耗尽后更换较为不便，影响镀膜机的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种五金加工多弧离子镀膜机，在弧源电源前端的靶弧源顶端安装水枪转轴，并在水枪转轴内安装增压水枪，增压水枪的后端通过伸缩水管与外侧的水管接口连接，水管接口安装外部水管，增压水枪通过较小的水量，提高对镀件的冷却效果，同时降低水资源的损耗，将靶材安装于靶源保护壳中，并安装于外部的外接口内，当靶材耗尽需要更换时，直接拆卸靶源保护壳更换靶材即可，减少更换所需时间，有效提高更换效率，便于设备的使用，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种五金加工多弧离子镀膜机，包括装置底座、镀膜外壳、连接件、活动门板、观察视窗、上盖和锁定螺栓，所述装置底座的上侧设有镀膜外壳，所述镀膜外壳的正面设有连接件，所述连接件上安装活动门板，所述活动门板上设有观察视窗，所述镀膜外壳的上侧通过锁定螺栓安装上盖。

所述镀膜外壳包括外壳本体、镀膜空间、固定层、弧源电源、外安装座、水管接口、外接口、靶源保护壳、靶材、伸缩水管、增压水枪、水枪转轴、线路管和靶弧源，所述外壳本体的内部设有镀膜空间，所述外壳本体的顶部设有固定层，所述外壳本体的侧面安装若干个弧源电源，所述弧源电源的右侧安装外安装座，所述外安装座的右侧中心处设有外接口，所述外接口的内部安装靶源保护壳，所述靶源保护壳内设有靶材，所述外接口的上侧设有水管接口，所述弧源电源的左侧中心处设有线路管，所述线路管的前端安装靶弧源，所述靶弧源的顶部安装水枪转轴，所述水枪转轴的内部安装增压水枪，所述增压水枪的末端与弧源电源之间安装伸缩水管。

所述上盖包括上盖壳体、上盖固定层、通气孔、旋转电机、通气管、侧管口、电机轴、镀件台和连接杆，所述上盖壳体的底部设有上盖固定层，所述上盖壳体的顶部中心处安装旋转电机，所述旋转电机的底部安装电机轴，所述电机轴的末端安装镀件台，所述镀件台之间通过连接杆连接，所述旋转电机侧面的上盖壳体上设有通气孔，所述通气孔的顶部安装通气管，所述通气管的侧面设有若干个侧管口。

优选的，所述镀件台的上下两侧的中心处均设有连接杆的卡嵌座。

优选的，所述靶源保护壳通过其前端的螺纹安装口安装进外接口内。

优选的，所述弧源电源共设有六组。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型五金加工多弧离子镀膜机，在弧源电源前端的靶弧源顶端安装水枪转轴，并在水枪转轴内安装增压水枪，增压水枪的后端通过伸缩水管与外侧的水管接口连接，水管接口安装外部水管，增压水枪通过较小的水量，提高对镀件的冷却效果，同时降低水资源的损耗，将靶材安装于靶源保护壳中，并安装于外部的外接口内，当靶材耗尽需要更换时，直接拆卸靶源保护壳更换靶材即可，本实用新型结构完整合理，有效减少更换所需时间，提高更换效率，便于设备的使用，同时降低了水资源的损耗。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的镀膜外壳的剖视结构示意图；

图3为本实用新型的镀膜外壳的局部剖视结构示意图；

图4为本实用新型的上盖的剖视结构示意图。

图中：1、装置底座；2、镀膜外壳；21、外壳本体；22、镀膜空间；23、固定层；24、弧源电源；25、外安装座；26、水管接口；27、外接口；28、靶源保护壳；29、靶材；210、伸缩水管；211、增压水枪；212、水枪转轴；213、线路管；214、靶弧源；3、连接件；4、活动门板；5、观察视窗；6、上盖；61、上盖壳体；62、上盖固定层；63、通气孔；64、旋转电机；65、通气管；66、侧管口；67、电机轴；68、镀件台；69、连接杆；7、锁定螺栓。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，一种五金加工多弧离子镀膜机，包括装置底座1、镀膜外壳2、连接件3、活动门板4、观察视窗5、上盖6和锁定螺栓7，装置底座1的上侧设有镀膜外壳2，镀膜外壳2的正面设有连接件3，连接件3上安装活动门板4，活动门板4上设有观察视窗5，镀膜外壳2的上侧通过锁定螺栓7安装上盖6。

请参阅图2-3，镀膜外壳2包括外壳本体21、镀膜空间22、固定层23、弧源电源24、外安装座25、水管接口26、外接口27、靶源保护壳28、靶材29、伸缩水管210、增压水枪211、水枪转轴212、线路管213和靶弧源214，外壳本体21的内部设有镀膜空间22，外壳本体21的顶部设有固定层23，外壳本体21的侧面安装若干个弧源电源24，弧源电源24共设有六组，弧源电源24的右侧安装外安装座25，外安装座25的右侧中心处设有外接口27，外接口27的内部安装靶源保护壳28，靶源保护壳28通过其前端的螺纹安装口安装进外接口27内，靶源保护壳28内设有靶材29，外接口27的上侧设有水管接口26，弧源电源24的左侧中心处设有线路管213，线路管213的前端安装靶弧源214，靶弧源214的顶部安装水枪转轴212，水枪转轴212的内部安装增压水枪211，增压水枪211的末端与弧源电源24之间安装伸缩水管210。

请参阅图4，上盖6包括上盖壳体61、上盖固定层62、通气孔63、旋转电机64、通气管65、侧管口66、电机轴67、镀件台68和连接杆69，上盖壳体61的底部设有上盖固定层62，上盖壳体61的顶部中心处安装旋转电机64，旋转电机64的底部安装电机轴67，电机轴67的末端安装镀件台68，镀件台68的上下两侧的中心处均设有连接杆69的卡嵌座，镀件台68之间通过连接杆69连接，旋转电机64侧面的上盖壳体61上设有通气孔63，通气孔63的顶部安装通气管65，通气管65的侧面设有若干个侧管口66。

本实用新型与现有技术的区别：现有技术的多弧离子镀膜机所使用的冷却水装置，通常是连接外部水管，在镀膜机内由上而下的浇灌冷却，所消耗的水资源较大，不利于节能减排，其中镀膜所使用的靶材29属于易耗品，在耗尽后更换较为不便，影响镀膜机的使用，本实用新型五金加工多弧离子镀膜机，在弧源电源24前端的靶弧源214顶端安装水枪转轴212，并在水枪转轴212内安装增压水枪211，增压水枪211的后端通过伸缩水管210与外侧的水管接口26连接，水管接口26安装外部水管，增压水枪211通过较小的水量，提高对镀件的冷却效果，同时降低水资源的损耗，将靶材29安装于靶源保护壳28中，并安装于外部的外接口27内，当靶材29耗尽需要更换时，直接拆卸靶源保护壳28更换靶材29即可，减少更换所需时间，有效提高更换效率，便于设备的使用。

综上所述：本实用新型五金加工多弧离子镀膜机，在弧源电源24前端的靶弧源214顶端安装水枪转轴212，并在水枪转轴212内安装增压水枪211，增压水枪211的后端通过伸缩水管210与外侧的水管接口26连接，水管接口26安装外部水管，增压水枪211通过较小的水量，提高对镀件的冷却效果，同时降低水资源的损耗，将靶材29安装于靶源保护壳28中，并安装于外部的外接口27内，当靶材29耗尽需要更换时，直接拆卸靶源保护壳28更换靶材29即可，本实用新型结构完整合理，有效减少更换所需时间，提高更换效率，便于设备的使用，同时降低了水资源的损耗。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种五金加工多弧离子镀膜机，包括装置底座(1)、镀膜外壳(2)、连接件(3)、活动门板(4)、观察视窗(5)、上盖(6)和锁定螺栓(7)，其特征在于：所述装置底座(1)的上侧设有镀膜外壳(2)，所述镀膜外壳(2)的正面设有连接件(3)，所述连接件(3)上安装活动门板(4)，所述活动门板(4)上设有观察视窗(5)，所述镀膜外壳(2)的上侧通过锁定螺栓(7)安装上盖(6)；

所述镀膜外壳(2)包括外壳本体(21)、镀膜空间(22)、固定层(23)、弧源电源(24)、外安装座(25)、水管接口(26)、外接口(27)、靶源保护壳(28)、靶材(29)、伸缩水管(210)、增压水枪(211)、水枪转轴(212)、线路管(213)和靶弧源(214)，所述外壳本体(21)的内部设有镀膜空间(22)，所述外壳本体(21)的顶部设有固定层(23)，所述外壳本体(21)的侧面安装若干个弧源电源(24)，所述弧源电源(24)的右侧安装外安装座(25)，所述外安装座(25)的右侧中心处设有外接口(27)，所述外接口(27)的内部安装靶源保护壳(28)，所述靶源保护壳(28)内设有靶材(29)，所述外接口(27)的上侧设有水管接口(26)，所述弧源电源(24)的左侧中心处设有线路管(213)，所述线路管(213)的前端安装靶弧源(214)，所述靶弧源(214)的顶部安装水枪转轴(212)，所述水枪转轴(212)的内部安装增压水枪(211)，所述增压水枪(211)的末端与弧源电源(24)之间安装伸缩水管(210)；

所述上盖(6)包括上盖壳体(61)、上盖固定层(62)、通气孔(63)、旋转电机(64)、通气管(65)、侧管口(66)、电机轴(67)、镀件台(68)和连接杆(69)，所述上盖壳体(61)的底部设有上盖固定层(62)，所述上盖壳体(61)的顶部中心处安装旋转电机(64)，所述旋转电机(64)的底部安装电机轴(67)，所述电机轴(67)的末端安装镀件台(68)，所述镀件台(68)之间通过连接杆(69)连接，所述旋转电机(64)侧面的上盖壳体(61)上设有通气孔(63)，所述通气孔(63)的顶部安装通气管(65)，所述通气管(65)的侧面设有若干个侧管口(66)。

2.根据权利要求1所述的一种五金加工多弧离子镀膜机，其特征在于：所述镀件台(68)的上下两侧的中心处均设有连接杆(69)的卡嵌座。

3.根据权利要求1所述的一种五金加工多弧离子镀膜机，其特征在于：所述靶源保护壳(28)通过其前端的螺纹安装口安装进外接口(27)内。

4.根据权利要求1所述的一种五金加工多弧离子镀膜机，其特征在于：所述弧源电源(24)共设有六组。