CN109709768B - 转印装置及转印方法 - Google Patents

Abstract

一种转印装置和转印方法，该转印装置具备用于设置卷绕了模具的卷材模具的卷材模具设置部；用于卷挂从卷材模具抽出的模具的转印辊；用于卷取模具的卷取辊；设置卷取辊的卷取辊设置部；用于将从卷材模具抽出的模具在抑制其在被抽出的部位中产生褶皱的同时引导至设置卷取辊的模具设置辅助部。

Description

转印装置及转印方法

技术领域

本发明涉及转印装置及转印方法，特别是涉及用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上的转印装置及转印方法。

背景技术

已知用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上(参照US 9,604,402 B2)的以往例的转印装置。在以往例的转印装置中，在转印中使用的模具在模具卷材和卷取辊之间延伸。

在以往例的转印装置中，通过完全不使用装置或器具等而由人手设置模具卷材和卷取辊，使模具在模具卷材和辊之间延伸。

发明内容

在以往例的转印装置中，由于完全不使用装置或器具等而由人手设置模具，所以存在模具的设置难的问题。

例如，如果完全不使用装置或器具等而仅由人手设置模具，则当在从模具卷材抽出而延伸的模具上存在稍微的扭曲时，在模具上产生褶皱等，难以在模具卷材和卷取辊之间精度良好地设置模具。

本申请是鉴于上述问题点而做出的，其目的在于提供一种将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上的转印装置及转印方法，其能容易进行模具的正确的设置。

本申请的第一方式涉及一种转印装置，该转印装置用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，其特征在于，该转印装置具备用于设置卷绕了所述模具的卷材模具的卷材模具设置部；用于卷挂从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出的所述模具的转印辊；可卷取从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出并卷挂在所述转印辊上的所述模具的卷取辊；设置所述卷取辊的卷取辊设置部；和用于将从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出的所述模具在抑制其在所述抽出的部位中产生褶皱的同时卷挂在所述转印辊上，并引导至设置在所述卷取辊设置部的所述卷取辊的附近的模具设置辅助部。

也可以是这样的结构：设置在所述转印装置上之前的所述模具的长度方向的一端侧的大部分卷挂在所述卷材模具的芯材上，设置在所述转印装置上之前的所述模具的长度方向的另一端侧的少量的部位从所述卷材模具延伸，从所述卷材模具延伸的所述模具的前端部设置在模具支承部，所述模具设置辅助部具备相对于所述卷材模具设置部、所述转印辊和所述卷取辊设置部移动自如的模具设置辅助部件，所述模具支承部设置在所述模具设置辅助部件上。

所述模具支承部也可以是所述卷取辊的芯材。

本申请的第二方式涉及一种转印方法，该转印方法用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，其特征在于，该转印方法具备将卷绕了所述模具的卷材模具设置在卷材模具设置部的工序；将从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出的所述模具卷挂在转印辊上的工序；将从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出并卷挂在所述转印辊上的所述模具的端部设置在设置于卷取辊设置部的卷取辊上的工序；在将所述卷材模具设置在所述卷材模具设置部后，在进行将所述模具卷挂在所述转印辊上的工序和将所述模具的端部设置在所述卷取辊上的工序时，将从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出的所述模具在抑制其在所述抽出的部位中产生褶皱的同时卷挂在所述转印辊上的工序；和用模具设置辅助部将所述模具引导至设置在所述卷取辊设置部的所述卷取辊的附近的工序。

也可以是这样的结构：在进行将所述卷材模具设置在所述卷材模具设置部的工序之前的所述模具的长度方向的一端侧的大部分卷挂在所述卷材模具的芯材上，在进行将所述卷材模具设置在所述设置部的工序之前的所述模具的长度方向的另一端侧的少量的部位从所述卷材模具延伸，从所述卷材模具延伸的部位的前端部设置在模具支承部，所述模具设置辅助部具备相对于所述卷材模具设置部、所述转印辊和所述卷取辊设置部移动自如的模具设置辅助部件，所述模具支承部设置在所述模具设置辅助部件上。

所述模具支承部也可以是所述卷取辊的芯材。

根据本申请的第一、第二方式，在将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上的转印装置及转印方法中，起到能容易地进行模具的正确的设置的效果。

附图说明

图1是表示实施方式涉及的转印装置的概略结构的图。

图2是图1中的II向视图。

图3是图1中的III向视图。

图4是图1中的IV向视图。

图5是图2中的V部的放大图。

图6是表示实施方式涉及的转印装置的动作的图。

图7是表示实施方式涉及的转印装置的动作的图。

图8是表示实施方式涉及的转印装置的动作的图。

图9是表示实施方式涉及的转印装置的动作的图。

图10是表示实施方式涉及的转印装置的动作的图。

图11是表示实施方式涉及的转印装置的动作的图。

图12是表示实施方式涉及的转印装置的动作的图。

图13是表示向实施方式涉及转印装置设置模具的图。

图14是表示向实施方式涉及转印装置设置模具的图。

图15是表示向实施方式涉及转印装置设置模具的图。

图16是表示向实施方式涉及转印装置设置模具的图。

图17是表示向实施方式涉及转印装置设置模具的图。

图18A～18C是表示实施方式涉及的转印装置的转印辊等的动作的图。

图19A～19D是表示由实施方式涉及的转印装置进行的转印的图。

图20是表示由实施方式涉及的转印装置的喷涂部进行喷涂的变形例涉及的树脂的形态的图。

图21A、21B是表示在实施方式涉及的转印装置中在基板保持部设置了转印辊引导部的情况的图，21C是图21A中的XXIC部的放大图。

图22A、22B是表示在实施方式涉及的转印装置的基板保持部设置的基板上的树脂的固化的形态的图。

图23是图1中的XXIII部的放大图。

具体实施方式

以下，关于实施方式涉及的转印装置，基于图1～23进行说明。

实施方式涉及的转印装置1，如图19A～19D所示，是用于将形成在模具7上的微细的转印图案9转印到喷涂在基板3的上面上的例如薄的膜状的树脂5上的装置。

在这里，作为树脂5例举由规定的波长的电磁波固化的树脂，更具体地说，例如紫外线固化树脂。作为基板3例举由玻璃或PET(polyethylene terephthalat：聚对苯二甲酸乙二醇酯)树脂等构成的材料。

另外，微细的转印图案9，如图19B所示，例如由微细的凹凸的反复配置形成。凹凸的宽度B1、B2和高度H1的尺寸比可视光线的波长大，或与可视光线的波长相同程度，或比可视光线的波长小、例如成为可视光线的波长的数分之一程度。即，凹凸的宽度B1、B2和高度H1的尺寸成为可视光线的波长的数分之一至数倍程度。另外，凹凸的长宽比(H1/B1或者H1/B2)例如成为1～2程度。

在这里为了方便说明，以水平的规定的一方向为X轴方向，以水平的另一规定的一方向即相对于X轴方向正交的方向为Y轴方向，以相对于X轴方向和Y轴方向正交的方向为Z轴方向(上下方向)。以X轴方向的一方的一侧为前侧，以X轴方向的另一方的一侧为后侧。

在这里，关于转印，参照图19A～19D进行说明。

转印通过在将模具7压靠在基板3上的未固化的树脂5上的状态下使树脂5固化，此后将模具7从树脂5来进行。

如果更详细地说明，则未固化的紫外线固化树脂5成为薄的膜状地设置在基板3的上面上(参照图19A)，将模具7压靠在基板3上(参照图19B)。

在压靠了模具7的状态下，未固化的紫外线固化树脂5被填充在模具7的转印图案9中。此外，在图19B所示的状态下，转印图案9的前端(下端)和基板3的上面稍微分离，在它们之间加入了未固化的紫外线固化树脂(厚度T1的紫外线固化树脂)5。此外，厚度T1的值希望是“0”，但这极其困难。

接着，在图19B所示的状态下，通过基板3、模具7的至少任一个，对未固化的紫外线固化树脂5照射紫外线，使紫外线固化树脂5固化。

接着，从图19B所示的状态将模具7剥开。由此，固化了的紫外线固化树脂5留在基板3上(参照图19C)。在此固化了的紫外线固化树脂5上，转印了转印图案9的形状(图案)。

另外，在图19C所示的状态下，残膜11存在于基板3上。残膜11是图19B所示的厚度T1的树脂5固化了的结构。

通过对图19C所示的结构由灰化除去残膜11，如图19D所示，成为残膜11消去，基板3在基板3的上面的一部分中露出的形态。

转印装置1，如图1等所示，具备基板设置部13、喷涂部15、模具设置部17、模具压靠部19、树脂固化部21和模具剥离部23。

在基板设置部13上，定位而一体地设置了基板3。喷涂部15向设置于基板设置部13的基板3的上面上喷涂未固化的紫外线固化树脂5。通过由喷涂部15向基板3上喷涂未固化的紫外线固化树脂5，成为图19A所示的状态。

在模具设置部17设置片状的模具7，该片状的模具7在厚度方向的一方的面上设置了转印图案9。

模具压靠部19，将设置在模具设置部17的模具7压靠在基板3的上面的未固化的紫外线固化树脂5上。通过由模具压靠部19将模具7向基板3的紫外线固化树脂5压靠，成为图19B、图18C所示的状态。

树脂固化部21将压靠了模具7的未固化的紫外线固化树脂5固化。模具剥离部23将模具7从固化了的树脂5剥离。通过从固化了的树脂5剥离模具7，成为图19C所示的状态。

基板设置部13，如图1、22等所示，具备基板设置体25，例如通过真空吸附保持基板3。在基板设置体25的上面(例如，矩形的平面状的上面)上，形成了用于进行真空吸附的环状(例如矩形状)的槽27。槽27由从基板设置体25的上面向下侧凹陷的部位形成。

在槽27中设置了吸引空气的空气吸引孔29。空气吸引孔29在基板设置体25的下部与真空泵(未图示)相连。设置在基板设置部13的基板3，其厚度方向成为上下方向，基板3的下面与基板设置体25的上面进行面接触。

如图22A、22B所示，如果在Z轴方向看将形成为矩形的平板状的基板3设置在基板设置部13的状态，则基板3位于基板设置体25的内侧，槽27位于基板3的内侧。槽27位于基板3的外周的附近。

而且，通过降低槽27内的空气压，基板3被固定在基板设置体25上。在此状态下，由于在Z轴方向看，在槽27的内侧(矩形状的部位)，空气压成为大致“0”，所以基板3由比较强的力保持。

喷涂部15通过将微粒状的未固化的紫外线固化树脂5从喷射头31放出(排出)，将未固化的紫外线固化树脂5作为薄的膜状喷涂在设置于基板设置部13的基板3上。喷射头31是并列了多个排出微粒状的未固化的紫外线固化树脂5的喷嘴的结构。喷射头31在设置于基板设置部13的基板3的上方从基板3稍微离开。

喷射头31设置了多个(31A、31B、31C、31D)。另外，为了使未固化的紫外线固化树脂5以作为目标的形态喷涂在设置于基板设置部13的基板3上，如图5等所示，各喷射头31交错配置。

如果在Z轴方向看喷涂在基板3上的未固化的紫外线固化树脂5成为作为目标的形态的状态，则虽然未图示，但被喷涂了的未固化的紫外线固化树脂5例如形成为比基板3小一圈的矩形状，并位于基板3的内侧。此外，也可以在基板3的上面的整个面上设置了未固化的紫外线固化树脂5。

而且，通过将各喷射头31(31A、31B、31C、31D)交错配置，阻止在被喷涂了的未固化的紫外线固化树脂5中形成空隙。

即，在Z轴方向看时，因为在基板3的上面的一部分(例如基板3的中央部；由未固化的紫外线固化树脂5包围的部位)中不存在未固化的紫外线固化树脂5，所以防止基板3露出(未硬化的紫外线硬化树脂5不形成为作为目标的形态)。

或者，防止本来应形成一个连续的形态的未固化的紫外线固化树脂5在途中间断，未固化的紫外线固化树脂5被分割在两个以上的部位(未固化的紫外线固化树脂5不成为作为目标的形态)。

喷射头31的壳体33的外形形成为长方体状，Y轴方向的尺寸比X轴方向的尺寸大。喷射头31将未固化的紫外线固化树脂5从壳体33的底面朝向下侧放出。

喷射头31的放出树脂5的树脂放出部位35，如图5所示，形成为细长的矩形状。如果在Z轴方向看，则树脂放出部位35的长度方向成为Y轴方向，在喷射头的壳体33的内侧，在喷射头的壳体33的中央部存在树脂放出部位35。

各喷射头31(31A、31B、31C、31D)，在Y轴方向并列，并且喷射头31在X轴方向交替错开。另外，喷射头31的树脂放出部位35的长度方向的端部，与邻接于此喷射头31的相邻的喷射头31的树脂放出部位35的端部重叠(参照图5的L1的部位)。

如果进一步说明，则位于Y轴方向的一端的第一喷射头31A配置成树脂放出部位35(喷射头的壳体33)的长度方向成为Y轴方向。邻接于第一喷射头31A的第二喷射头31B配置成树脂放出部位35的长度方向成为Y轴方向，并且在X轴方向从第一喷射头31A稍微向后侧离开。

另外，如果在Z轴方向看，则第一喷射头31A的树脂放出部位35和第二喷射头31B的树脂放出部位35在X轴方向稍微离开，在Y轴方向，第一喷射头31A的树脂放出部位35的第二喷射头31B侧的端部和第二喷射头31B的树脂放出部位35的第一喷射头31A侧的端部彼此重叠。

邻接于第二喷射头31B的第三喷射头31C配置成树脂放出部位35的长度方向成为Y轴方向，并且在X轴方向从第二喷射头31B稍微离开并且位于与第一喷射头31A相同的位置。

另外，如图在Z轴方向看，则第二喷射头31B的树脂放出部位35和第三喷射头31C的树脂放出部位35同样地在X轴方向稍微离开，在Y轴方向，第二喷射头31B的树脂放出部位35的第三喷射头31C侧的端部和第三喷射头31C的树脂放出部位35的第二喷射头31B侧的端部彼此重叠。第四喷射头31D也以上述的形态设置。

通过这样配置各喷射头31(31A、31B、31C、31D)，各喷射头31交错配置。此外，各喷射头31例如是相同样式，在Z轴方向位于相同的位置。

在上述的说明中以设置了四个喷射头31的情况为例，但也可以是设置了两个或三个喷射头31的结构，也可以是设置了五个以上喷射头31的结构。在此情况下，各喷射头31也交错配置。

通过将各喷射头31交错配置，若在从各喷射头31放出未固化的紫外线固化树脂5的同时将各喷射头31相对设置于基板设置部13的基板3在X轴方向相对地移动，则能在基板3上不会间断地容易地喷涂薄的膜状的紫外线固化树脂5。

也可以在具备CPU(Central Processing Unit，中央处理器)37和存储器39的控制部41(参照图1)的控制下，与设置在基板设置部13的基板3的尺寸(例如Y轴方向的尺寸)相应地，设置排出未固化的紫外线固化树脂5的喷射头31和不排出未固化的紫外线固化树脂5的喷射头31。

在上述的说明中喷涂在基板3上的未固化的紫外线固化树脂5的厚度是一定的，但如图20所示，也可以适宜改变喷涂在基板3上的未固化的紫外线固化树脂5的厚度。

即，也可以通过由控制部41控制喷涂部15，使得喷涂在基板3上的未固化的紫外线固化树脂5成为与形成在模具7上的微细的转印图案9对应的(相似的)的形状。

如果进一步说明，则为了在将形成在模具7上的微细的转印图案9转印到喷涂在基板3上的未固化的紫外线固化树脂5上时减小在转印图案9的前端与基板3之间形成的间隙，使由进入了此间隙的树脂5形成的残膜11变薄，也可以将紫外线固化树脂5形成为与微细的转印图案9对应的形状。

如果举例说明，则微细的转印图案9成为线条和空间的形状。即，在Y轴方向看时，微细的转印图案9的形状成为矩形状的凸部和矩形状的凹部交替反复的矩形波状(参照图19B)。在此情况下，使喷涂在基板3上的未固化的紫外线固化树脂5成为波形状。

例如，在Y轴方向看，如图20所示，使未固化的紫外线固化树脂5成为厚地喷涂的部分和薄地喷涂的部分交替反复的波形状。在此波形中，例如，波的间距的值比波的高度(树脂5的最大厚度－树脂5的最小厚度)值大，另外，波的高度的值比树脂5的最小厚度的值大。

而且，在进行转印(将模具7向紫外线固化树脂5压靠)时，使得转印图案9的矩形状的凸部进入薄地喷涂了树脂5的部分，厚地喷涂了树脂5的部分进入转印图案9的矩形状的凹部。

通过如图20的那样喷涂未固化的紫外线固化树脂5，能减小图19C所示的残膜11。

进而，也可以使被进行转印之前的喷涂在基板3上的未固化的紫外线固化树脂5的厚度在X轴方向变化。例如，为了在转印结束时(将模具7向基板3上的树脂5压靠结束了时)没有剩余树脂或使之减少，也可以在开始压靠的一侧(图19A、18A的右侧)形成得厚、在压靠结束的一侧(图19A、18A的左侧)形成得薄。此外，关于图18A～18C所示的转印的详细情况在后面叙述。

另外，也可以使被进行转印之前的喷涂在基板3上的未固化的紫外线固化树脂5的厚度在Y轴方向变化。例如，为了在进行转印时消除在基板3的中央部的树脂5的不足，也可以使树脂5的厚度在Y轴的中央部形成得厚、在端部形成得薄。

接着，关于模具设置部17、模具压靠部19、模具剥离部23进行说明。

模具设置部17，如图2～4所示，具备卷材模具设置部(抽出辊设置部)45和卷取辊设置部49，该卷材模具设置部(抽出辊设置部)45设置卷绕以规定的宽度(Y轴方向的尺寸)形成得长的模具7的卷材模具(模具卷材)43；该卷取辊设置部49设置卷取从设置在卷材模具设置部45的卷材模具(卷材辊)43抽出的模具7的卷取辊47。此外，在图2中，为了避免图的表示变得复杂而难以观察，省略了模具7的表示。

在设置于卷材模具设置部45的卷材模具43和设置于卷取辊设置部49的卷取辊47之间，模具7通过以规定的张力被拉伸，以无松弛的状态成为平板状，总是延伸。

在卷材模具43和卷取辊47之间延伸的模具7，通过使卷材模具43和卷取辊47适宜旋转，维持没有松弛的状态不变，从卷材模具43向卷取辊47移动，反之从卷取辊47向卷材模具43移动。

模具压靠部19和模具剥离部23，如图1、2、18A～18C所示，具备转印辊51。在转印辊51上卷挂了在设置于卷材模具设置部45的卷材模具43和设置于卷取辊设置部49的卷取辊47之间延伸的模具7。

通过使用转印辊51进行辊转印，来进行转印中的模具7向未固化的紫外线固化树脂5的压靠和转印中的模具7从固化了的紫外线固化树脂5的剥开。

辊转印，通过将模具7卷挂在转印辊51上，并在使用转印辊51将模具7(在Y轴方向呈直线状延伸的模具7的下端)压靠在基板3和喷涂在基板3上而成为薄的膜状的未固化的紫外线固化树脂5上的状态下，将转印辊51在X轴方向相对于基板3相对地从基板3的一端(后端)向另一端(前端)移动来进行(参照图18A～18C)。

如果进一步说明，则从图18A所示的状态，通过将卷挂了模具7的转印辊51相对于设置在基板设置部13的基板3向X轴方向前侧(图18A的左侧)例如以一定的速度移动，经图18B所示的状态，成为图18C所示的状态，模具7的压靠结束。

在图18C所示的状态下使用树脂固化部21使紫外线固化树脂5固化后，通过将卷挂了模具7的转印辊51相对于设置在基板设置部13的基板3向X轴方向后侧(图18C的右侧)例如以一定的速度移动，模具7的剥离结束。

此时，转印辊51由空气压缸等动作执行器(未图示)向基板3侧(下侧)加载。另外，不论由转印辊51的移动引起的转印辊51的位置如何，在设置于卷材模具设置部45的卷材模具43和设置于卷取辊设置部49的卷取辊47之间，模具7都以无松弛的状态成为平板状地延伸。

在转印装置1上，如图1、18等所示，设置了树脂固化部21(例如紫外线产生装置53)。紫外线产生装置53，为了在进行将模具7向紫外线固化树脂5的压靠的状态下固化紫外线固化树脂5，向紫外线固化树脂5照射紫外线。

紫外线产生装置53在X轴方向在上转印辊51的后侧位于从转印辊51稍微离开的位置，在Z轴方向，在转印辊51的后侧在X轴方向延伸(厚度方向成为Z轴方向)的模具7的部位的上侧，位于从此模具7的部位稍微离开的位置。

而且，紫外线产生装置53朝向下侧产生紫外线，此产生的紫外线通过模具7照射在基板3的紫外线固化树脂5上。

如果在Z轴方向看紫外线产生装置53发出的紫外线的区域，则虽然未图示，但在Y轴方向延伸得长，通过紫外线产生装置53相对于设置在基板设置部13的基板3在X轴方向相对地移动，设置在基板3上的紫外线固化树脂(压附了转印图案9的树脂)5的全部被固化。

另外，在转印装置1中，在控制部41的控制下，在转印辊51向进行模具7的向紫外线固化树脂5的压靠的方向(前方)移动时，及在转印辊51向进行模具的从紫外线固化树脂5的剥离的方向(后方)移动时，紫外线产生装置53向紫外线固化树脂5照射紫外线。

即，在转印辊51由辊转印向将模具7向紫外线固化树脂5的压靠面积增加的方向(前侧)移动时(进行模具7的压靠时)，及转印辊51由辊转印向将模具7向紫外线固化树脂5的压靠面积减小的方向(后侧)移动时(进行模具7的剥离时)，紫外线产生装置53向紫外线固化树脂5照射紫外线。

如果进一步说明，则当转印辊51往复移动时，紫外线产生装置53向紫外线固化树脂5照射紫外线。此外，可以仅在转印辊51向前侧移动时、转印辊51向后侧移动时的任一时，紫外线产生装置53向紫外线固化树脂5照射紫外线。

另外，在转印装置1中，在控制部41的控制下，为了防止在紫外线固化树脂5中产生收缩(沉降痕迹)，与辊转印中的转印辊51的移动量相应地，调整紫外线产生装置53发出并向紫外线固化树脂5照射的紫外线强度(变更照射图案)。

例如，如图22A所示，在进行将模具7向树脂5的压附时，可以从过了中心线L2的位置(如箭头A1所示与中心线L2相比在前侧)开始紫外线的照射，在进行将模具7从树脂5的剥离时，从过了中心线L2的位置(如箭头A2所示与中心线L2相比在后侧)开始紫外线的照射。由此，不存在紫外线固化树脂5的中央部最后固化的情况，防止在紫外线固化树脂5中产生收缩。

在此情况下，紫外线的强度不论经过多少时刻(与在X轴方向的转印辊51的位置无关)都是一定的，而且不论在Y轴方向(紫外线产生装置53中的紫外线部位的长度方向)的什么位置都是一定的。此外，中心线L2可以偏向图22A的左右任一方。

另外，也可以根据紫外线产生装置53的Y轴方向、X轴方向的位置适宜改变紫外线的强度，由此，如图22B所示，使得紫外线固化树脂5从基板3的中央部朝向外侧固化。

另外，在转印装置1上设置了等离子体单元55。等离子体单元55在转印后向设置在从基板3的树脂5剥开了的模具7上的微细的转印图案9照射等离子体。此外，由等离子体单元55进行的等离子体的照射，是为了进行设置在模具7上的微细的转印图案9的清洁而进行。

等离子体单元55具备头57和驱动部59。而且，从头57产生大气压等离子体(AP等离子体；Atmospheric Pressure Plasma)，将此产生的大气压等离子体向模具7照射，进行模具7的微细的转印图案9等的污染的分解和除去。

等离子体的向模具7的照射，既可以在每一次转印结束时进行，也可以每多次转印结束时进行。

转印装置1，在由等离子体单元55进行的模具7的微细的转印图案9的清洁不充分的情况下，通过将从紫外线固化树脂5剥开并进行了等离子体的照射的模具7的部位由卷取辊47卷取，从卷材模具43抽出模具7的新的未使用部位。新抽出的模具7的未使用部位在接着的转印中使用。

另外，由等离子体单元55向设置未固化的紫外线固化树脂5之前的基板3的上面也进行等离子体的照射。等离子体的向基板3的上面的照射是为了改善基板3的润湿性而进行。

喷涂部15构成为通过在X轴方向将喷射头31相对于基板3从基板3的一端朝向另一端移动，使未固化的紫外线固化树脂5成为薄的膜状而喷涂在基板3上。等离子体单元55(头57、驱动部59)被支承在喷涂部15上。

转印装置1具备模具设置辅助部61。模具设置辅助部61构成为将从设置在卷材模具设置部45的卷材模具43抽出的模具7卷挂在转印辊51上，并引导至设置在卷取辊设置部49的卷取辊47。此引导在抑制在从卷材模具43抽出的模具7的部位中产生褶皱的同时，以将被抽出的模具7的部位例如大致伸展的状态进行。

如果进一步说明，则设置在转印装置1上之前的模具7，如图13所示，其长度方向的一端侧的大部分卷挂在卷材模具43的芯材63上。另外，设置在转印装置1上之前的模具7，其长度方向的另一端侧的少量的部位从卷材模具43延伸，此延伸的部位的更前端部一体地设置在模具支承部65。此外，模具支承部65是与卷取辊47的芯材67分体的部分，但也可以是卷取辊47的芯材67。

模具设置辅助部61具备相对于卷材模具设置部45、转印辊51和卷取辊设置部49移动自如的模具设置辅助部件69。在模具设置辅助部件69上一体地设置模具支承部65。而且，通过模具设置辅助部件69和设置在模具设置辅助部件69上的模具支承部65移动，进行上述的引导。

关于转印装置1进一步进行说明。

转印装置1，如图1等所示，例如具备基座体71，该基座体71具有平面状的上面。在基座体71的上面上一体地设置了基板设置体25。基板设置体25在X轴方向及Y轴方向位于基座体71的中间部。

另外，转印装置1具备第一支承体73、第二支承体75和第三支承体77。

第一支承体73从基座体71的上面向上方立起，由线性引导轴承(未图示)支承在基座体71上，由伺服马达等动作执行器(未图示)在X轴方向相对于基座体71自由移动定位。

在第一支承体73上支承喷射头31、等离子体单元55的头57和驱动部59。喷射头31一体地设置在第一支承体73上。

喷射头31在X轴方向与第一支承体73相比位于后侧。等离子体单元55的头57在X轴方向与喷射头31相比位于后侧。

喷射头31和等离子体单元55的头57，在Z轴方向，与设置于基板设置部13的基板3相比位于上侧。

等离子体单元55的驱动部59被载置在第一支承体73之上，与第一支承体73一体化。

第一支承体73、喷射头31和等离子体单元55的头57，在初始状态下在X轴方向位于基座体71的前端部的位置，喷射头31和等离子体单元55的头57，从此初始状态的位置至与基板设置体25相比来到后侧的位置(参照图8)，在X轴方向移动自如。

另外，等离子体单元55的头57以在Z轴方向自由移动定位的方式被支承在第一支承体73上，并且以在Y轴方向延伸的轴C1为转动中心例如以90°的角度进行转动定位。

通过进行此转动定位，能将产生等离子体的方向切换为X轴方向后侧和Z轴方向下侧。

此外，喷射头31也可以以在Z轴方向自由移动定位的方式被支承在第一支承体73上。

第二支承体75从基座体71的上面向上方立起，由线性引导轴承(未图示)支承在基座体71上，由伺服马达等动作执行器(未图示)在X轴方向相对于基座体71自由移动定位。此外，第二支承体75，如图2、3、4所示，仅在Y轴方向的一方的一侧与基座体71卡合。

在第二支承体75上设置了卷材模具设置部45，并且支承转印辊51和紫外线产生装置53。

转印辊51和紫外线产生装置53，在Z轴方向与设置在基板设置部13的基板3相比位于上侧。卷材模具设置部45在Z轴方向与转印辊51、紫外线产生装置53相比位于上侧。

卷材模具设置部45、转印辊51和紫外线产生装置53，在X轴方向，例如位于第二支承体75的内侧。此外，在X轴方向，卷材模具设置部45和转印辊51位于第二支承体75的前侧，紫外线产生装置53从转印辊51稍微离开，与转印辊51相比位于后侧。

第二支承体75在初始状态下与基板设置体25相比位于后侧(参照图1)，紫外线产生装置53从此初始状态的位置至与基板设置体25相比来到前侧的位置在X轴方向移动自如(参照图11)。

圆柱状的转印辊51相对于第二支承体75以转印辊51的中心轴(在Y轴方向延伸的中心轴)为旋转中心而被旋转自如地支承，能由伺服马达等动作执行器以规定的转矩、旋转速度旋转，在规定的旋转位置停止。

在进行将模具7向基板3的树脂5的压靠和将模具7从树脂5的剥离时，转印辊51以与转印辊51的X轴方向的移动速度同步的旋转速度旋转，以便在与模具7之间不产生滑动。此外，也可以不用动作执行器，转印辊51跟随转印辊51的X轴方向的移动速度而旋转。

转印辊51相对于第二支承体75在Z轴方向移动自如，紫外线产生装置53也相对于第二支承体75，例如相对于转印辊51单独地或与转印辊51一起在Z轴方向移动自如，位于上端位置和下端位置的任一位置。

卷材模具设置部45，如图1、4所示，具备圆柱状的第一轴部件79。第一轴部件79从第二支承体75向Y轴方向另一端侧突出。即，轴部件79做出如悬臂梁的那样设置在第二支承体75上。另外，第一轴部件79以第一轴部件79的中心轴(在Y轴方向延伸的中心轴)为旋转中心旋转自如地支承在第二支承体75上，能由伺服马达等动作执行器以规定的转矩、旋转速度旋转，在规定的旋转位置停止，以规定的转矩停止旋转。

卷材模具43的芯材63形成为圆筒状。通过使第一轴部件79贯通于芯材63的筒，将卷材模具43一体地设置在第一轴部件79上。卷材模具43相对于悬臂梁状的第一轴部件79容易拆装自如。

在卷材模具43中，如图23所示，通过在重叠的模具7之间插入间纸81，防止模具7划伤等。通过模具7从卷材模具43延伸，不要的间纸81如图1等所示由设置在第二支承体75上的间纸卷取辊83卷取。由间纸卷取辊83卷取的间纸81，与需要相应地从间纸卷取辊83再次延伸。

第三支承体77也从基座体71的上面向上方立起，一体地设置在基座体71上。第三支承体77，也如图2、3所示，仅在Y轴方向的一方的一侧与基座体71卡合。

在第三支承体77上设置了卷取辊设置部49，并且支承引导辊85。

在Z轴方向，引导辊85的下端的位置与在将模具7压靠在设置于基板设置部13的基板3的树脂5上时的转印辊51的下端的位置一致。因此，在将模具7压靠在设置于基板设置部13的基板3的树脂5上时，在引导辊85和转印辊51之间延伸的模具7的部位成为在水平方向上展开。

此外，也可以与基板3的厚度等一致地，引导辊85在Z轴方向相对于第三支承体77自由移动定位。

在Z轴方向，卷取辊设置部49与引导辊85相比稍微位于上方。

在X轴方向，卷取辊设置部49和引导辊85例如位于第三支承体77的内侧。第三支承体77在X轴方向与第二支承体75相比位于后侧。

圆柱状的引导辊85相对于第三支承体77以引导辊85的在Y轴方向延伸的中心轴为旋转中心旋转自如地被支承。引导辊85能由伺服马达等动作执行器(未图示)以规定的转矩、旋转速度旋转，在规定的旋转位置停止。

在由设置在卷取辊设置部49的卷取辊47卷取模具7时，以与转印辊51的X轴方向的移动速度同步的旋转速度旋转，以便在与模具7之间不产生滑动。此外，也可以不用动作执行器，引导辊85跟随模具7的卷取速度而旋转。

卷取辊设置部49，如图1～3等所示，具备圆柱状的第二轴部件87。第二轴部件87从第三支承体77向Y轴方向另一端侧突出。即，第二轴部件87做出如悬臂梁的那样设置在第三支承体77上。第二轴部件87以第二轴部件87的在Y轴方向延伸的中心轴为旋转中心旋转自如地被支承在第三支承体77上。第二轴部件87能由伺服马达等动作执行器(未图示)以规定的转矩、旋转速度旋转，在规定的旋转位置停止，以规定的转矩停止旋转。

卷取辊47的芯材67形成为圆筒状。通过使第二轴部件87贯通于芯材67的筒，将卷取辊47一体地设置在第二轴部件87上。卷取辊47相对于第二轴部件87容易拆装自如。

在卷取辊47中，如图23所示，在重叠的模具7之间插入间纸81。在由卷取辊47卷取模具7时，如图1等所示，在需要在重叠的模具7之间插入间纸81的情况下，从设置在第三支承体77上的间纸供给辊89供给间纸81。从间纸供给辊89供给的间纸81，与需要相应地由间纸供给辊89再次卷取。

模具设置辅助部件69设置在基座体71的上面上，由线性引导轴承(未图示)支承在基座体71上，由伺服马达等动作执行器(未图示)在X轴方向相对于基座体71自由移动定位。

当模具设置辅助部件69在X轴方向位于最前侧(参照图15)时，模具设置辅助部件69与初始状态下的第二支承体75的位置相比稍微在前侧，与基板设置体25相比位于后侧。

当模具设置辅助部件69在X轴方向位于最后侧(参照图16)时，模具设置辅助部件69位于卷取辊设置部49的大致正下方的位置。

此外，模具设置辅助部件69也可以通过手动(通过人手)相对于基座体71移动定位。

模具设置辅助部件69，如图3等所示，和第二支承体75、第三支承体77的与基座体71的卡合部相比，在Y轴方向设置在另一端侧的中央部。

模具设置辅助部件69，如图15等所示，在Z轴方向与引导辊85相比稍微位于下侧。

在模具设置辅助部件69上一体且拆装自如地设置模具支承部65，该模具支承部65是模具7延伸的模具支承部。

在卷材模具设置部45上设置卷材模具43，将固定了从卷材模具43延伸的模具7的前端的模具支承部65设置在模具设置辅助部件69上，通过在从卷材模具43使模具7延伸的同时使模具设置辅助部件69(模具支承部65)移动，模具7被卷挂在转印辊51上，并且被引导至设置在卷取辊设置部49的卷取辊47的位置(例如，如图16所示，至卷取辊47的附近)。

从卷材模具43延伸的模具7的前端部，由粘接剂或粘接带粘附在模具支承部65。

通过这样引导模具支承部65，粘附了模具7的前端部的模具支承部65到达设置在卷取辊设置部49的卷取辊47的附近。此后，若从模具支承部65剥开模具7的前端部，将模具7的前端部粘附在卷取辊47上，则能进行模具7向转印装置1的设置(参照图17等)。另外，如前面所示，也可以将模具支承部65作为卷取辊47的芯材67。

如图21所示，也可以在基板设置体25的前后设置转印辊引导部91。

在此情况下，在由转印辊51的移动进行的模具7向喷涂在设置于基板设置部13的基板3上的树脂5的压靠时，转印辊引导部91引导转印辊51。

进而，也可以构成为由转印辊引导部91消除或缓和在移动支承模具7的转印辊51的模具7开始向喷涂在设置于基板设置部13的基板3上的树脂5的压靠时的震动。通过消除或缓和震动的产生，不会对转印精度带来不良影响。

即，也可以由转印辊引导部91消除或缓和在将转印辊51向前侧移动的开始使用转印辊51向设置在基板设置部13的基板3压靠模具7时的震动(转印辊51隔着模具7而突然与基板3抵接时的震动)。

另外，也可以构成为由转印辊引导部91消除或缓和在移动支承模具7的转印辊51的模具7向喷涂在设置于基板设置部13的基板3上的树脂5的压靠时的震动。

即，也可以消除或缓和在将转印辊51向后侧移动的模具7开始从设置在基板设置部13的基板3剥离时的震动(转印辊51隔着模具7而突然与基板3抵接时的震动)

转印辊引导部91具备一体地设置在基板设置体25的前侧和后侧的倾斜部件93。各倾斜部件93具备平板状的基板设置体卡合部位95和大致平板状的转印辊卡合部位97，在Y轴方向看形成为L字状。

在Y轴方向看，基板设置体卡合部位95在Z轴方向形成得长，与基板设置体25相接。

在Y轴方向看(在转印辊51的中心轴的延伸方向看)，转印辊卡合部位97在X轴方向(转印辊51的移动方向)形成得长，从基板设置体卡合部位95的上端向大致X轴方向即从基板设置体25离开的方向延伸。

转印辊卡合部位97具备位于基板设置体25侧的基端侧部位99和从基板设置体25离开的前端侧部位101。基端侧部位99在X轴方向延伸，但前端侧部位101相对于X轴方向倾斜少量的角度(1～20°)地倾斜延伸。基端侧部位99和前端侧部位101的边界被弄圆成圆弧状(参照图21C的附图标记R)。

转印辊51、卷挂在此转印辊51上的模具7构成为遍及Y轴方向的全长地与倾斜部件93抵接，但也可以构成为转印辊51、卷挂在此转印辊51上的模具7的一部分与倾斜部件93抵接。例如，也可以构成为仅未形成转印图案的转印辊51的端部、卷挂在此转印辊51上的模具7的端部(在Y轴方向的一端部、另一端部)与倾斜部件93抵接。

另外，在由辊转印进行将模具7从树脂5的剥开时，转印辊引导部91(前侧倾斜部件93B)构成为消除或缓和模具7开始从树脂5剥开时的震动，转印辊引导部91(后侧倾斜部件93A)构成为消除或缓和模具7从树脂5剥开结束时的震动。

此外，也可以去掉前侧倾斜部件93B、后侧倾斜部件93A的任一个。

在这里，说明模具7开始向紫外线固化树脂5(基板3)压附时(开始进行转印辊51向设置在基板设置体25上的基板3等的卡合时)的转印辊51等的动作。

首先，在转印辊51与图21A所示的位置相比位于右侧(后侧)的状态下，转印辊51和模具7从后侧倾斜部件93A离开。如果转印辊51从此状态向前侧(左侧)移动，则如图21A所示，转印辊51隔着模具7与后侧倾斜部件93A的前端侧部位101抵接。此抵接时的模具7(与前端侧部位101抵接的部位)的位置在Z轴方向与设置在基板设置部13的基板3的上面相比稍微位于下侧。

另外，由于前端侧部位101的倾斜角度小，所以能减小抵接时的震动。

如果转印辊51从图21A所示的位置进一步向前侧(左侧)移动，则转印辊51由前端侧部位101向上侧推而逐渐向上侧移动。此时，转印辊51维持隔着模具7地与前端侧部位101抵接的状态。

如果转印辊51进一步向前侧(左侧)移动，则转印辊51隔着模具7地与后侧倾斜部件93A的基端侧部位99抵接。

如果转印辊51进一步向前侧(左侧)移动，则转印辊51维持隔着模具7地与基端侧部位99抵接的状态不变地在水平方向(X轴方向)移动。此时的模具7(与前端侧部位101抵接的部位)的位置在Z轴方向与设置在基板设置部13的基板3的上面的位置一致。

如果转印辊51进一步向前侧(左侧)移动，则如图21B所示，模具7向树脂5(基板3)的压附开始。在此压附的开始时，由于转印辊51的高度不变化，所以几乎没有震动的产生。而且，不再有基板3等的端缘欠缺的担心。

如果转印辊51进一步向前侧(左侧)移动，则转印辊51隔着模具7地与前侧倾斜部件93B抵接。此时，由于从设置在基板设置部13的基板3离开的转印辊51的高度位置不会急剧变化，所以能消除或缓和使用转印辊51的将模具7向基板3的压靠结束时的震动，不再有基板3等的端缘欠缺的担心。

此外，如图21C所示，后侧倾斜部件93A(前侧倾斜部件93B)和基板3之间，在X轴方向仅离开了少量的距离(例如比基板3的厚度小、比转印辊51的半径的值小得多的距离)L3，但上述距离L3也可以成为“0”。

另外，也可以构成为与基板3的厚度一致地将后侧倾斜部件93A(前侧倾斜部件93B)的高度位置相对于基板设置体25自如调整。

模具7从固化的外线固化树脂5(基板3)剥离时的转印辊51等的动作，成为与上述的模具7开始向树脂5的压附时的动作相反的动作。不过，转印辊51、模具7先与前侧倾斜部件93B抵接。

也可以是去掉了后侧倾斜部件93A或前侧倾斜部件93B的结构。在图1等中被删除了。

接着，说明转印装置1的动作。

在初始状态下，如图1所示，模具7设置在转印装置1上，第一支承体73位于前端位置，第二支承体75位于后端位置，等离子体单元55没有产生等离子体的状态的头57位于上端位置，转印辊51和紫外线产生装置53位于上端位置。另外，在基板设置体25上设置了基板3。

基板设置体25的上部由导电体构成，在照射等离子体时作为电极发挥作用。

在控制部41的控制下，从上述的初始状态，如图6所示，使等离子体单元55的头57位于下端位置，如图7所示，在从头57朝向下侧的基板3产生等离子体的同时，将第一支承体73向后侧移动，由喷射头31向基板3上喷涂未固化的紫外线固化树脂5。

图8表示向基板3上喷涂未固化的紫外线固化树脂5结束了的状态，在此状态下，没有从头57产生等离子体，未固化的紫外线固化树脂5从喷射头31的放出也停止。

接着，将第一支承体73向前侧移动，如图9所示，使其位于前端位置，并且使转印辊51和紫外线产生装置53位于下端位置。

接着，如图10所示，在使第二支承体75向前侧移动的同时进行模具7向基板3的压靠。此时，模具7伴随着向转印辊51的前侧的移动而从卷材模具43延伸，从紫外线产生装置53向基板3的紫外线固化树脂5照射紫外线。

图11表示模具7向基板3的压靠结束了的状态，在此状态下，没有从紫外线产生装置53产生紫外线。

接着，从图11所示的状态，将第二支承体75向后侧移动，进行模具7从基板3、树脂5的剥离。此时，由卷材模具43卷取模具7，从紫外线产生装置53向基板3的紫外线固化树脂5照射紫外线。

在模具7从基板3、树脂5的剥离结束了的状态(参照图12)下，第二支承体75位于后端位置，模具7的转印图案9的向基板3的树脂5的转印结束。在进行接着的转印的情况下，更换接着进行转印的基板3。

接着，关于由等离子体单元55进行的模具7的清洁动作进行说明。

由等离子体单元55进行的模具7的清洁对象，是在基板3向紫外线固化树脂5的转印中使用的模具7的部位(特是微细的转印图案9)。

如图12所示，使等离子体单元55的头57位于上端位置，并且以朝向后侧产生等离子体的方式以图1所示的轴C1为中心转动，使第一支承体73位于后端位置，使头57位于模具7的附近。

在图12所示的状态下，从头57朝向模具7产生等离子体，并且由卷材模具43和卷取辊47适宜进行模具7的卷取和抽出，向在向基板3的树脂5的转印中使用的模具7的部位的整体照射等离子体进行清洁。

在头57的隔着模具7的相反侧设置了导电性的板(未图示)。导电性的板在等离子体单元55向模具7照射等离子体时作为电极发挥作用。

接着，关于用模具设置辅助部61的模具7向转印装置1的设置进行说明。

作为初始状态，如图13所示，第二支承体75位于后端位置，模具设置辅助部件69位于前端位置，在卷材模具设置部45未设置卷材模具43。

在上述这样的初始状态下，将卷材模具43的芯材63设置在卷材模具43上(参照图14)，使模具7从卷材模具43适宜延伸，将模具支承部65一体地设置在模具设置辅助部件69上(参照图15)。

接着，使模具设置辅助部件69在使模具7从卷材模具43适宜延伸的同时向后侧移动并位于后端位置(参照图16)。在此移动时，在卷材模具43和模具支承部65之间延伸的模具7卷挂在转印辊51和引导辊85上。

接着，将模具7的前端部从模具支承部65拆下，固定在卷取辊47的芯材67上(参照图17)。

根据转印装置1，由于用喷射头31将未固化的树脂5喷涂在基板3上，所以能使喷涂在基板3上的未固化的树脂5的喷涂精度(例如，紫外线固化树脂5的膜厚的精度)成为良好的喷涂精度。即，与用喷雾等其他喷涂方法的情况相比，能薄地精度良好地将树脂5设置在基板3上。

通过使树脂5的膜厚的精度成为良好的精度，能使转印前的树脂5的体积和转印后的树脂5的体积大致相等，能使转印后的残膜11的厚度尽可能变薄，或抑制残膜11的产生。

另外，根据转印装置1，由于喷射头31设置了多个，所以能仅在有必要的喷涂树脂5的基板3的部位进行未固化的紫外线固化树脂5的喷涂。例如，能设定排出未固化的紫外线固化树脂5的喷射头31和不排出未固化的紫外线固化树脂5的喷射头31，即使基板3的尺寸变更，也能灵活对应。进而，在由一次的转印来转印多个转印图案9的情况下(例如，由1张基板3来取4个或取8个的情况下)，即使模具7的形态以从取8个向取4个的方式进行变化，也能灵活对应。

另外，根据转印装置1，由于多个喷射头31交错配置，所以在将未固化的紫外线固化树脂5喷涂在基板3上时，防止在喷射头31之间产生间隙(不喷涂树脂5的部位)。

另外，根据转印装置1，如图20所示，由于喷涂在基板3上的未固化的紫外线固化树脂5成为与形成在模具7上的微细的转印图案9对应的形状，所以在进行转印时的未固化的紫外线固化树脂5的流动量变小，能进一步抑制残膜11的产生等，并且形成在树脂5上的转印图案9的形状变尖锐，形状精度提高。

另外，根据转印装置1，由于在转印辊51向前侧移动时及转印辊51向后侧移动时，向紫外线固化树脂5照射紫外线，所以能长地取得将向紫外线固化树脂5照射紫外线的时间，不用大功率的紫外线产生装置53(不会使紫外线产生装置53大型化)，就能可靠地使紫外线固化树脂5固化。

另外，根据转印装置1，由于在转印后将从基板3的紫外线固化树脂5剥开了的模具7的微细的转印图案9由等离子体单元55清洁，所以能防止在反复多次使用模具7的情况下模具7的开模性的恶化和向基板3的树脂5转印的图案的形态的恶化。

另外，根据转印装置1，由于构成为由等离子体单元55改善基板3的润湿性，所以能增加基板3的亲水性，提高基板3和树脂5的紧贴强度。

另外，根据转印装置1，由于等离子体单元55不庞大地被支承在设置容积小的喷涂部15，所以体积大的等离子体单元55的驱动部59的配置变得容易。

另外，根据转印装置1，由于设置了模具设置辅助部61，该模具设置辅助部61将从设置在卷材模具设置部45的卷材模具43抽出的模具7在抑制其在被抽出的部位中产生褶皱的同时卷挂在转印辊51上，并引导至设置在卷取辊设置部49的卷取辊47，所以不需要熟练者就能容易且快速地进行模具7向转印装置1的正确的设置。

但是，在上述说明中，通过向1张基板3进行一次转印，向1张基板3的树脂5上转印一个转印图案9，但也可以构成为通过向1张基板3进行一次转印，将多个转印图案9转印到1张基板3的树脂5上。

在向1张基板3的树脂5上转印了多个转印图案9的情况下，将1张基板3按照每个转印了一个转印图案9的部位进行分割，得到多张制品或半制品。

例如，在由一次转印将转印图案(例如同一转印图案)9转印到1张基板3的设置了树脂5的四个部位的各部位上的情况下，通过将此基板3分割为4等分，得到4张制品或半制品。

另外，在上述说明中，将在卷材模具43和卷取辊47之间延伸的模具7的部位的一部分卷在转印辊51上而进行转印，但也可以将1张模具(长度与转印辊51的外周的长度相同程度短的模具)7预先固定(预先一体地卷上)在转印辊51的外周而进行转印。在此情况下，模具7相对于转印辊51拆装自如(更换自如)地设置。

即，也可以构成为通过在用转印辊51将模具7压靠在基板3和喷涂在基板3上而成为薄的膜状的未固化的树脂5上的状态下将转印辊51在X轴方向相对于基板相对地从基板3的一端朝向另一端移动，进行转印中的模具7向树脂5的压靠、转印中的模具7从树脂5的剥开。在此情况下，作为树脂5存在使用热可塑树脂的情况。

此外，也可以将上述方案作为方法发明来把握。

即，也可以作为将形成在模具7上的微细的转印图案9转印到喷涂在基板3上的树脂5上的转印方法来把握，其具有通过将微粒状的未固化的树脂5从喷射头31放出向基板3上喷涂树脂5的喷涂工序。

另外，也可以作为将形成在模具7上的微细的转印图案9转印到喷涂在基板3上的树脂5上的转印方法来把握，其具有向在进行了转印后从基板3的树脂5剥开了的模具7的微细的转印图案9照射等离子体的等离子体照射工序。

另外，也可以作为将形成在模具7上的微细的转印图案9转印到喷涂在基板3上的树脂5上的转印方法来把握，其具有将卷绕了模具7的卷材模具43设置在卷材模具设置部45的卷材模具设置工序；将从在卷材模具设置工序中设置的卷材模具43抽出的模具7卷挂在转印辊51上的模具卷挂工序；将从在卷材模具设置工序中设置在卷材模具设置部45的卷材模具43抽出并卷挂在转印辊51上的模具7的端部设置在设置于卷取辊设置部49的卷取辊47上的模具卷取辊设置工序；和在卷材模具设置工序中的卷材模具43的设置后在进行模具卷挂工序、模具卷取辊设置工序时，将从设置在卷材模具设置部45的卷材模具43抽出的模具7，在抑制其在被抽出的部位中产生褶皱的同时在被抽出的部位伸展的状态下卷挂在转印辊51上，用模具设置辅助部61引导至设置在卷取辊设置部49的卷取辊47的附近的模具引导工序。

在此情况下，进行卷材模具设置工序、模具卷挂工序、模具卷取辊设置工序之前的模具7，其长度方向的一端侧的大部分卷挂在卷材模具43的芯材63上，其长度方向的另一端侧的少量的部位从卷材模具43延伸，此延伸的部位的更前端部被设置在模具支承部65。模具设置辅助部61具备相对于卷材模具设置部45、转印辊51和卷取辊设置部49移动自如的模具设置辅助部件61，在模具设置辅助部件69上设置模具支承部65。

符号的说明

1：转印装置

3：基板

5：树脂

7：模具

9：转印图案

11：残膜

13：基板设置部

15：喷涂部

17：模具设置部

19：模具压靠部

21：树脂固化部

23：模具剥离部

25：基板设置体

27：槽

29：空气吸引孔

31：喷射头

31A：第一喷射头

31B：第二喷射头

31C：第三喷射头

31D：第四喷射头

33：壳体

35：树脂放出部位

39：存储器

41：控制部

43：卷材模具

45：卷材模具设置部

47：卷取辊

49：卷取辊设置部

51：转印辊

53：紫外线产生装置

57：头

59：驱动部

61：模具设置辅助部

63：芯材

65：模具支承部

67：芯材

69：模具设置辅助部件

71：基座体

73：第一支承体

75：第二支承体

77：第三支承体

79：第一轴部件

81：间纸

83：间纸卷取辊

85：引导辊

87：第二轴部件

89：间纸供给辊

91：转印辊引导部

93：倾斜部件

93B：前侧倾斜部件

93A：后侧倾斜部件

95：基板设置体卡合部位

97：转印辊卡合部位

99：基端侧部位

101：前端侧部位

105：凸部。

Claims (4)

1.一种转印装置，该转印装置用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，其特征在于，该转印装置具备

用于设置卷绕了所述模具的卷材模具的卷材模具设置部；

用于卷挂从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出的所述模具的转印辊；

可卷取从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出并卷挂在所述转印辊上的所述模具的卷取辊；

设置所述卷取辊的卷取辊设置部；和

用于将从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出的所述模具在抑制其在所述抽出的部位中产生褶皱的同时卷挂在所述转印辊上，并引导至设置在所述卷取辊设置部的所述卷取辊的附近的模具设置辅助部，

设置在所述转印装置上之前的所述模具的长度方向的一端侧的大部分卷挂在所述卷材模具的芯材上，

设置在所述转印装置上之前的所述模具的长度方向的另一端侧的少量的部位从所述卷材模具延伸，

从所述卷材模具延伸的所述模具的前端部设置在模具支承部，

所述模具设置辅助部具备相对于所述卷材模具设置部、所述转印辊和所述卷取辊设置部移动自如的模具设置辅助部件，

所述模具支承部设置在所述模具设置辅助部件上。

2.如权利要求1所述的转印装置，其特征在于，

所述模具支承部是所述卷取辊的芯材。

3.一种转印方法，该转印方法用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，其特征在于，该转印方法具备

将卷绕了所述模具的卷材模具设置在卷材模具设置部的工序；

将从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出的所述模具卷挂在转印辊上的工序；

将从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出并卷挂在所述转印辊上的所述模具的端部设置在设置于卷取辊设置部的卷取辊上的工序；

在将所述卷材模具设置在所述卷材模具设置部后，在进行将所述模具卷挂在所述转印辊上的工序和将所述模具的端部设置在所述卷取辊上的工序时，将从设置在所述卷材模具设置部的所述卷材模具抽出的所述模具在抑制其在所述抽出的部位中产生褶皱的同时卷挂在所述转印辊上的工序；和

用模具设置辅助部将所述模具引导至设置在所述卷取辊设置部的所述卷取辊的附近的工序，

在进行将所述卷材模具设置在所述卷材模具设置部的工序之前的所述模具的长度方向的一端侧的大部分卷挂在所述卷材模具的芯材上，

在进行将所述卷材模具设置在所述卷材模具设置部的工序之前的所述模具的长度方向的另一端侧的少量的部位从所述卷材模具延伸，

从所述卷材模具延伸的部位的前端部设置在模具支承部，

所述模具设置辅助部具备相对于所述卷材模具设置部、所述转印辊和所述卷取辊设置部移动自如的模具设置辅助部件，

所述模具支承部设置在所述模具设置辅助部件上。

4.如权利要求3所述的转印方法，其特征在于，

所述模具支承部是所述卷取辊的芯材。

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