KR102165656B1 - 전사 장치 및 전사 방법 - Google Patents

Abstract

전사 장치는, 미경화의 수지를 기판에 도공하기 위한 도공부와, 기판이 위치 결정되어 일체적으로 설치되는 기판 설치부와, 시트상의 몰드가 설치되는 몰드 설치부와, 전사 롤러와, 기판에 도공되어 있는 수지에 몰드에 형성되어 있는 전사 패턴을 전사한 후에, 기판의 수지로부터 박리된 몰드에 플라스마를 조사하여 몰드를 클리닝하기 위한 플라스마 유닛을 구비하고, 기판의 수지로부터 박리된 몰드는, 플라스마 유닛에 의해 플라스마를 조사하여 클리닝된 후에, 다시 전사 패턴의 전사에 사용된다.

Description

전사 장치 및 전사 방법{TRANSFER APPARATUS AND TRANSFER METHOD}

실시 형태는 전사 장치에 관한 것이고, 특히 기판에 도공되어 있는 수지에, 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하기 위한 전사 장치 및 전사 방법에 관한 것이다.

기판에 도공되어 있는 수지에, 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하기 위한 종래예의 전사 장치가 알려져 있다(US9,604,402B2 참조). 종래예의 전사 장치에서는, 전사에 사용되는 몰드는 몰드 원단과 권취 롤 사이에서 연신되어 있다.

종래예의 전사 장치에서는, 몰드의 사용량을 적게 하기 위해서, 전사에 사용되는 몰드(몰드 원단과 권취 롤 사이에서 연신되어 있는 몰드)를 복수회 반복하여 사용함으로써, 복수매의 기판에 전사를 행하는 경우가 있다.

종래의 전사 장치에서는, 몰드를 복수회 반복하여 사용하므로, 몰드의 이형성의 악화(전사 패턴을 기판의 수지에 눌러 수지를 경화한 후에 있어서의 수지로부터의 몰드의 박리 어려움의 증대)나, 몰드의 전사 패턴에의 미세한 티끌 등의 부착물의 증가 등에 의한 기판에 전사된 패턴의 형상의 악화가 발생할 우려가 있다.

본 출원은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 기판에 도공되어 있는 수지에 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하는 전사 장치에 있어서, 몰드를 복수회 반복하여 사용하는 경우에도, 몰드의 이형성의 악화나, 기판에 전사된 패턴의 형상의 악화를 방지할 수 있는 것을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 출원의 제1 양태에 관한 전사 장치는, 기판에 도공되어 있는 수지에 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하기 위한 전사 장치이며, 미경화의 수지를 기판에 도공하기 위한 도공부와, 기판이 위치 결정되어 일체적으로 설치되는 기판 설치부와, 시트상의 몰드가 설치되는 몰드 설치부와, 기판에 도공되어 있는 수지에 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사하기 위한 전사 롤러와, 기판에 도공되어 있는 수지에 몰드에 형성되어 있는 전사 패턴을 전사한 후에, 기판의 수지로부터 박리된 몰드에 플라스마(플라즈마)를 조사하여 몰드를 클리닝하기 위한 플라스마 유닛을 구비한다. 기판의 수지로부터 박리된 몰드는, 플라스마 유닛에 의해 플라스마를 조사하여 클리닝된 후에, 다시 전사 패턴의 전사에 사용된다.

플라스마 유닛은, 몰드가 전사를 행한 횟수에 따라서, 몰드에의 플라스마의 조사량을 바꾸도록 구성되어 있어도 된다.

전사 장치는, 몰드가 감겨 있는 원단 몰드와, 원단 몰드로부터 조출되고 있는 몰드를 권취하는 권취 롤을 더 구비하고, 전사 롤러에는, 원단 몰드와 권취 롤 사이에서 연신되어 있는 몰드가 감아 걸려 있으며, 전사 롤러를 사용하여 몰드를 수지에 누른 상태에서 전사 롤러를 이동하는 롤 전사에 의해, 수지에의 몰드의 누름과, 수지로부터의 몰드의 박리가 실행되며, 수지로부터의 몰드의 박리가 종료된 후에, 플라스마 유닛은 박리된 몰드에 플라스마를 조사하도록 구성되어 있어도 된다.

플라스마 유닛에 의한 몰드의 클리닝이 불충분한 경우에는, 권취 롤이 수지로부터 박리된 몰드의 부위를 권취하고, 몰드의 새로운 부위가 원단 몰드로부터 조출되게 구성되어 있어도 된다.

제1 형태에 관한 전사 장치는, 수지로부터 박리된 몰드의 오염을 검출하기 위한 몰드 검출부를 더 구비하고, 몰드 검출부에서의 검출 결과에 따라서, 플라스마 유닛에 의한 몰드의 클리닝이 불충분한지 여부를 판단하도록 해도 된다.

본 출원의 제2 양태에 관한 전사 장치는, 기판에 도공되어 있는 수지에, 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하기 위한 전사 장치이며, 미경화의 수지를 기판에 도공하기 위한 도공부와, 기판이 위치 결정되어 일체적으로 설치되는 기판 설치부와, 시트상의 몰드가 설치되는 몰드 설치부와, 기판에 도공되어 있는 수지에 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하기 위한 전사 롤러와, 기판에 플라스마를 조사하기 위한 플라스마 유닛을 구비한다. 플라스마 유닛은 헤드와 구동부를 구비한다. 도공부와 플라스마 유닛은 기판에 대하여 동시에 이동하고, 플라스마 유닛에서 기판에 플라스마를 조사하면서, 도공부에서 기판에 미경화의 수지를 도공한다.

플라스마 유닛은, 전사 후에 기판의 수지로부터 박리된 몰드에도 플라스마를 조사하도록 구성되어 있고, 플라스마 유닛의 구동부는 도공부에 지지되어 있으며, 플라스마 유닛의 구동부에 의해 구동된 플라스마 유닛으로부터, 기판과 전사 후에 기판의 수지로부터 박리된 몰드에 플라스마가 조사되도록 구성되어 있어도 된다.

플라스마 유닛의 헤드로부터, 기판과 전사 후에 기판의 수지로부터 박리된 몰드에 플라스마가 조사되도록 해도 된다.

헤드는 도공부에 대하여 회동 위치 결정 가능하게 되어 있으며, 헤드로부터 기판에 플라스마를 조사할 때의 헤드의 자세가, 헤드부터 몰드에 플라스마를 조사할 때의 헤드의 자세에 대하여, 소정의 각도 회동하도록 구성되어 있어도 된다.

본 출원의 제3 양태에 관한 전사 방법은, 기판에 도공되어 있는 수지에 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하기 위한 전사 방법이며, 도공부를 사용하여 미경화의 수지를 기판에 도공을 하는 공정과, 기판에 플라스마 유닛을 사용하여 플라스마를 조사하는 공정을 포함하고, 플라스마 유닛은 헤드와 구동부를 구비하며, 도공부와 플라스마 유닛이 기판에 대하여 동시에 이동함으로써, 플라스마 조사 공정에서 기판에 플라스마를 조사하면서, 도공 공정에서 기판에 미경화의 수지를 도공한다.

본 출원의 제4 양태에 관한 전사 장치는, 기판에 도공되어 있는 수지에 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하기 위한 전사 장치이며, 소정의 파장의 전자파에 의해 경화 가능한 미경화의 수지를 기판에 도공하기 위한 도공부와, 기판이 위치 결정되어 일체적으로 설치되는 기판 설치부와, 시트상의 몰드가 설치되는 몰드 설치부와, 기판에 플라스마를 조사하기 위한 플라스마 유닛과, 몰드가 감아 걸리는 전사 롤러이며, 몰드를 수지에 누른 상태에서 전사 롤러를 이동하는 롤 전사에 의해, 수지에의 몰드의 누름과, 수지로부터의 몰드의 박리를 실행하는 전사 롤러와, 전사 롤러에 의해 수지에의 몰드의 누름을 행하고 있는 상태에서, 수지에 소정의 파장의 전자파를 조사하는 수지 경화부와, 롤 전사에서 몰드의 수지에의 누름을 행하는 방향으로 전사 롤러가 이동하고 있을 때, 소정의 파장의 전자파를 수지에 조사하도록 수지 경화부를 제어하는 제어부를 구비한다.

제어부는, 롤 전사에서 몰드의 수지로부터의 박리를 행하는 방향으로 전사 롤러가 이동하고 있을 때에도, 소정의 파장의 전자파를 수지에 조사하도록, 수지 경화부를 제어하도록 해도 된다.

제어부는, 롤 전사에서의 전사 롤러의 이동량에 따라서, 수지에 조사하는 소정의 파장의 전자파의 강도를 조정하도록 수지 경화부를 제어하도록 해도 된다.

도공부는, 번갈아 배치되어 있는 복수의 잉크젯 헤드를 구비하고, 미립자상의 미경화 수지를 복수의 잉크젯 헤드로부터 방출함으로써 기판에 도공을 행하게 해도 된다.

제어부는, 기판에 도공되는 미경화의 수지가, 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴에 대응한 형상이 되도록, 도공부를 제어하도록 해도 된다.

제어부는, 몰드에 형성되어 있는 전사 패턴에 따라서, 미경화의 수지량을 조정하여 도공하도록 도공부를 제어하고, 도공된 수지량에 따라서, 소정의 파장의 전자파의 강도를 조정하도록 수지 경화부를 제어하도록 해도 된다.

본 출원의 양태에 의하면, 기판에 도공되어 있는 수지에 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하는 전사 장치에 있어서, 몰드를 복수회 반복하여 사용하는 경우에도, 몰드의 이형성의 악화나, 기판에 전사된 패턴의 형상의 악화를 방지할 수 있다는 효과를 발휘한다.

도 1은, 실시 형태에 따른 전사 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는, 도 1에 있어서의 II 화살표도이다.
도 3은, 도 1에 있어서의 III 화살표도이다.
도 4는, 도 1에 있어서의 IV 화살표도이다.
도 5는, 도 2에 있어서의 V부의 확대도이다.
도 6은, 실시 형태에 따른 전사 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 7은, 실시 형태에 따른 전사 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 8은, 실시 형태에 따른 전사 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 9는, 실시 형태에 따른 전사 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 10은, 실시 형태에 따른 전사 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 11은, 실시 형태에 따른 전사 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 12는, 실시 형태에 따른 전사 장치의 동작을 나타내는 도면이다.
도 13은, 실시 형태에 따른 전사 장치에의 몰드의 설치를 나타내는 도면이다.
도 14는, 실시 형태에 따른 전사 장치에의 몰드의 설치를 나타내는 도면이다.
도 15는, 실시 형태에 따른 전사 장치에의 몰드의 설치를 나타내는 도면이다.
도 16은, 실시 형태에 따른 전사 장치에의 몰드의 설치를 나타내는 도면이다.
도 17은, 실시 형태에 따른 전사 장치에의 몰드의 설치를 나타내는 도면이다.
도 18의 (a) 내지 도 18의 (c)는, 실시 형태에 따른 전사 장치의 전사 롤러 등의 동작을 나타내는 도면이다.
도 19의 (a) 내지 도 19의 (d)는, 실시 형태에 따른 전사 장치로의 전사를 나타내는 도면이다.
도 20은, 실시 형태에 따른 전사 장치의 도공부에서 도공된 변형예에 관한 수지의 형태를 나타내는 도면이다.
도 21의 (a), 도 21의 (b)는, 실시 형태에 따른 전사 장치에 있어서 기판 유지부에 전사 롤러 가이드부를 설치한 경우의 도면이며, 도 21의 (c)는 도 21의 (a)에 있어서의 XXIC부의 확대도이다.
도 22의 (a), 도 22의 (b)는, 실시 형태에 따른 전사 장치의 기판 유지부에 설치된 기판 상의 수지의 경화의 양태를 나타내는 도면이다.
도 23은, 도 1에 있어서의 XXIII부의 확대도이다.
도 24의 (a)는 기판에 형성된 전사 패턴의 예시이며, 도 24의 (b)는 도 24의 (a)에 있어서의 XXIVB-XXIVB 단면을 나타내는 도면이다.

이하, 실시 형태에 따른 전사 장치에 대해서, 도 1 내지 24의 (b)에 기초하여 설명한다.

실시 형태에 따른 전사 장치(1)는 도 19의 (a) 내지 도 19의 (d)에서 나타내는 바와 같이, 기판(3)의 상면에 도공되어 있는, 예를 들어 얇은 막상의 수지(5)에, 몰드(7)에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴(9)을 전사하기 위한 장치이다.

여기서, 수지(5)로서, 소정의 파장의 전자파로 경화되는 수지, 더욱 구체적으로는 자외선 경화 수지를 들 수 있다. 기판(3)로서 유리나 PET 수지 등으로 구성된 것을 들 수 있다.

또한, 미세한 전사 패턴(9)은 도 19의 (b)에서 나타내는 바와 같이, 예를 들어 미세한 요철의 반복으로 형성되어 있다. 요철의 폭(B1, B2)이나 높이(H1)의 치수는 가시광선의 파장보다도 크거나, 가시광선의 파장과 동일한 정도이거나, 가시광선의 파장보다도 작으며, 예를 들어 가시광선 파장의 수분의 1 정도로 되어 있다. 즉, 요철의 폭(B1, B2)이나 높이(H1)의 치수는 가시광선 파장의 수분의 1 내지 수배 정도로 되어 있다. 또한, 요철의 애스펙트비(H1/B1 또는 H1/B2)는 예를 들어 1 내지 2 정도로 되어 있다.

여기서 설명의 편의를 위해 수평인 소정의 일방향을 X축 방향으로 하고, 수평인 다른 소정의 일방향이며 X축 방향에 대하여 직교하는 방향을 Y축 방향으로 하며, X축 방향과 Y축 방향에 대하여 직교하는 방향을 Z축 방향(상하 방향)으로 한다. X축 방향의 한쪽의 측을 전방측으로 하고, X축 방향의 다른 쪽의 측을 후방측으로 한다.

여기서, 전사에 대해서, 도 19의 (a) 내지 도 19의 (d)를 참조하면서 설명한다.

전사는, 기판(3) 상의 미경화의 수지(5)에 몰드(7)를 누른 상태에서 수지(5)를 경화시키고, 이 후, 수지(5)로부터 몰드(7)를 박리함으로써 이루어진다.

더욱 상세하게 설명하면, 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 얇은 막상으로 되어 상면에 설치되어 있는 기판(3)(도 19의 (a) 참조)에, 몰드(7)를 누른다(도 19의 (b) 참조).

몰드(7)를 누른 상태에서는, 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 몰드(7)의 전사 패턴(9)에 충전되어 있다. 또한, 도 19의 (b)에서 나타내는 상태로, 전사 패턴(9)의 선단(하단)과 기판(3)의 상면은 약간 이격되어 있으며 이들 사이에도 미경화의 자외선 경화 수지(두께 T1의 자외선 경화 수지)(5)가 들어가 있다. 또한, 두께 T1의 값은 「0」으로 되어 있는 것이 바람직하지만 이것은 매우 곤란한 것이다.

계속해서, 도 19의 (b)에서 나타내는 상태로, 기판(3), 몰드(7) 중 적어도 어느 것을 통해서, 미경화의 자외선 경화 수지(5)에 자외선을 조사하고, 자외선 경화 수지(5)를 경화시킨다.

계속해서, 도 19의 (b)에서 나타내는 상태로부터 몰드(7)를 박리한다. 이에 의해, 기판(3) 상에 경화된 자외선 경화 수지(5)가 남는다(도 19의 (c) 참조). 이 경화된 자외선 경화 수지(5)에는, 전사 패턴(9)의 형상(패턴)이 전사되어 있다.

또한, 도 19의 (c)에서 나타내는 상태에서는, 잔막(11)이 기판(3) 상에 존재하고 있다. 잔막(11)은 도 19의 (b)에서 나타내는 두께 T1의 수지(5)가 경화된 것이다.

도 19의 (c)에서 나타내는 것에 대하여 애싱에 의해 잔막(11)을 제거함으로써, 도 19의 (d)에서 나타내는 바와 같이, 잔막(11)이 없어지고 기판(3)의 상면의 일부에서 기판(3)이 노출된 양태가 된다.

전사 장치(1)는 도 1 등에서 나타내는 바와 같이, 기판 설치부(13)와, 도공부(15)와, 몰드 설치부(17)와, 몰드 누름부(19)와, 수지 경화부(21)와, 몰드 박리부(23)를 구비한다.

기판 설치부(13)에는, 기판(3)이 위치 결정되어 일체적으로 설치되어 있다. 도공부(15)는, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)의 상면에 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공한다. 기판(3) 상에의 도공부(15)에 의한 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 도공에 의해, 도 19의 (a)에서 나타내는 상태가 된다.

몰드 설치부(17)에는, 두께 방향의 한쪽 면에 전사 패턴(9)이 형성되어 있는 시트상의 몰드(7)가 설치된다.

몰드 누름부(19)는, 기판(3)의 상면의 미경화 자외선 경화 수지(5)에 몰드 설치부(17)에 설치되어 있는 몰드(7)를 누른다. 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에의 몰드 누름부(19)에 의한 몰드(7)의 누름에 의해, 도 19의 (b), 도 18의 (c)에서 나타내는 상태가 된다.

수지 경화부(21)는, 몰드(7)가 눌러져 있는 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 경화한다. 몰드 박리부(23)는 경화된 수지(5)로부터 몰드(7)를 박리한다. 경화된 수지(5)로부터의 몰드(7)를 박리함으로써, 도 19의 (c)에서 나타내는 상태가 된다.

기판 설치부(13)는, 도 1, 22 등에서 나타내는 바와 같이, 기판 설치체(25)를 구비하고, 예를 들어 진공 흡착에 의해 기판(3)을 유지한다. 기판 설치체(25)의 상면(예를 들어, 직사각형의 평면 형상의 상면)에는, 진공 흡착을 행하기 위한 환형(예를 들어 직사각형상)의 홈(27)이 형성되어 있다. 홈(27)은 기판 설치체(25)의 상면으로부터 하측으로 오목해져 있는 부위로 형성되어 있다.

홈(27)에는, 공기를 흡인하는 공기 흡인 구멍(29)이 설치되어 있다. 공기 흡인 구멍(29)은 기판 설치체(25)의 하부에서 진공 펌프(도시하지 않음)에 연결된다. 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)은, 두께 방향이 상하 방향으로 되어 있으며, 기판(3)의 하면이 기판 설치체(25)의 상면에 면 접촉되어 있다.

도 22의 (a), 도 22의 (b)에 나타내는 바와 같이, 직사각형의 평판 형상으로 형성되어 있는 기판(3)이 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 상태를 Z축 방향에서 보면, 기판 설치체(25)의 내측에 기판(3)이 위치하고 있으며, 기판(3)의 내측에 홈(27)이 위치하고 있다. 홈(27)은 기판(3)의 외주 근방에 위치하고 있다.

그리고, 홈(27) 내의 공기압을 낮춤으로써, 기판(3)이 기판 설치체(25)에 고정된다. 이 상태에서는, Z축 방향에서 보아서 홈(27)의 내측(직사각형상의 부위)에서는, 공기압이 거의 「0」으로 되어 있으므로, 기판(3)이 비교적 강한 힘으로 유지되어 있다.

도공부(15)는, 미립자상의 미경화 자외선 경화 수지(5)를 잉크젯 헤드(31)로부터 방출함으로써, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3) 상에, 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 얇은 막상으로 도공을 한다. 잉크젯 헤드(31)는 미립자상의 미경화 자외선 경화 수지(5)를 토출하는 노즐을 복수 배열한 것이다. 잉크젯 헤드(31)는 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)의 상방에서 기판(3)으로부터 약간 이격되어 있다.

잉크젯 헤드(31)는 복수(31A, 31B, 31C, 31D) 설치되어 있다. 또한, 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3) 상에 목표로 하는 형태로 도공되게 하기 위해서, 도 5 등에서 나타내는 바와 같이, 각 잉크젯 헤드(31)는 번갈아 배치되어 있다.

기판(3) 상에 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 목표로 하는 형태로 되어 있는 상태를 Z축 방향에서 보면, 도시하지는 않았지만, 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)가, 예를 들어 기판(3)보다도 한층 작은 직사각형상으로 형성되어 있고, 기판(3)의 내측에 위치하고 있다. 또한, 기판(3)의 상면의 전체면에 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 설치되어 있어도 된다.

그리고, 각 잉크젯 헤드(31(31A, 31B, 31C, 31D))를 번갈아 배치하고 있음으로써, 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)에 공극이 형성되는 것이 저지된다.

즉, Z축 방향에서 보았을 때, 기판(3)의 상면의 일부(예를 들어 기판(3)의 중앙부; 미경화의 자외선 경화 수지(5)로 둘러싸여 있는 부위)에서, 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 비존재함으로써, 기판(3)이 노출되는 것(미경화의 자외선 경화 수지(5)가 목표로 하는 형태로 되지 않는 것)이 방지된다.

또는, 원래 하나의 연속된 형태가 되어야 할 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 도중에 끊겨, 2개 이상의 부위로 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 분할되어버리는 것(미경화의 자외선 경화 수지(5)가 목표로 하는 형태로 되지 않는 것)이 방지된다.

잉크젯 헤드(31)의 하우징(33)의 외형은 직육면체형으로 형성되어 있고, Y축 방향의 치수가 X축 방향의 치수에 비교하여 크게 되어 있다. 잉크젯 헤드(31)는 하우징(33)의 저면으로부터 하측을 향해 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 방출한다.

잉크젯 헤드(31)의 수지(5)를 방출하는 수지 방출 부위(35)는, 도 5에서 나타내는 바와 같이, 가늘고 긴 직사각형상으로 형성되어 있다. Z축 방향에서 보면, 수지 방출 부위(35)의 길이 방향이 Y축 방향으로 되어 있으며, 잉크젯 헤드의 하우징(33)의 내측에서 잉크젯 헤드의 하우징(33)의 중앙부에 수지 방출 부위(35)가 존재하고 있다.

각 잉크젯 헤드(31(31A, 31B, 31C, 31D))는 Y축 방향으로 배열되어 있음과 함께, 잉크젯 헤드(31)가 X축 방향에서는 교대로 어긋나 있다. 또한, 잉크젯 헤드(31)의 수지 방출 부위(35)의 길이 방향의 단부는, 이 잉크젯 헤드(31)에 인접하고 있는 인접 잉크젯 헤드(31)의 수지 방출 부위(35)의 단부와 오버랩(도 5의 L1의 부위 참조)되어 있다.

더욱 설명하면, Y축 방향의 일단부에 위치하고 있는 제1 잉크젯 헤드(31A)는, 수지 방출 부위(35)(잉크젯 헤드의 하우징(33))의 길이 방향이 Y축 방향이 되도록 배치되어 있다. 제1 잉크젯 헤드(31A)에 인접하고 있는 제2 잉크젯 헤드(31B)는, 수지 방출 부위(35)의 길이 방향이 Y축 방향이 되도록 배치되어 있음과 함께, X축 방향에서 제1 잉크젯 헤드(31A)로부터 약간 후방측으로 이격되어 있다.

또한, Z축 방향에서 보면, 제1 잉크젯 헤드(31A)의 수지 방출 부위(35)와 제2 잉크젯 헤드(31B)의 수지 방출 부위(35)는, X축 방향에서는 약간 이격되어 있으며, Y축 방향에서는, 제1 잉크젯 헤드(31A)의 수지 방출 부위(35)의 제2 잉크젯 헤드(31B)측의 단부와, 제2 잉크젯 헤드(31B)의 수지 방출 부위(35)의 제1 잉크젯 헤드(31A)측의 단부는, 서로가 오버랩되어 있다.

제2 잉크젯 헤드(31B)에 인접하고 있는 제3 잉크젯 헤드(31C)는, 수지 방출 부위(35)의 길이 방향이 Y축 방향이 되도록 배치되어 있음과 함께, X축 방향에서는, 제2 잉크젯 헤드(31B)로부터 약간 이격되어 있음과 함께, 제1 잉크젯 헤드(31A)와 동일한 부분에 위치하고 있다.

또한, Z축 방향에서 보면, 제2 잉크젯 헤드(31B)의 수지 방출 부위(35)와 제3 잉크젯 헤드(31C)의 수지 방출 부위(35)는, 동일하게 하여, X축 방향에서는 약간 이격되어 있으며, Y축 방향에서는, 제2 잉크젯 헤드(31B)의 수지 방출 부위(35)의 제3 잉크젯 헤드(31C)측의 단부와, 제3 잉크젯 헤드(31C)의 수지 방출 부위(35)의 제2 잉크젯 헤드(31B)측의 단부는, 서로가 오버랩되어 있다. 제4 잉크젯 헤드(31D)도 상술한 양태로 설치되어 있다.

이와 같이, 각 잉크젯 헤드(31(31A, 31B, 31C, 31D))가 배치되어 있음으로써, 각 잉크젯 헤드(31)가 번갈아 배치되어 있게 된다. 또한, 각 잉크젯 헤드(31)는 예를 들어 동일한 사양의 것이고, Z축 방향에서는 동일한 부분에 위치하고 있다.

상술한 설명에서는, 잉크젯 헤드(31)가 4개 설치되어 있는 경우를 예로 들고 있지만, 잉크젯 헤드(31)가 2개 또는 3개 설치되어 있는 구성이어도 되고, 잉크젯 헤드(31)가 5개 이상 설치되어 있는 구성이어도 된다. 이 경우에도, 각 잉크젯 헤드(31)는 번갈아 배치된다.

각 잉크젯 헤드(31)가 번갈아 배치되어 있음으로써, 각 잉크젯 헤드(31)로부터 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 방출하면서, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 대하여 각 잉크젯 헤드(31)를 X축 방향에서 상대적으로 이동하면, 기판(3) 상에, 도중에 끊어지지 않고 얇은 막상의 자외선 경화 수지(5)를 용이하게 도공할 수 있다.

CPU(37)와 메모리(39)를 구비한 제어부(41)(도 1 참조)의 제어 하, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)의 사이즈(예를 들어 Y축 방향의 치수)에 따라서, 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 토출하는 잉크젯 헤드(31)와 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 토출하지 않는 잉크젯 헤드(31)를 설정하게 되어 있어도 된다.

상술한 설명에서는, 기판(3) 상에 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 두께는 일정하게 되어 있지만, 도 20에서 나타내는 바와 같이, 기판(3) 상에 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 두께를 적절히 변화시켜도 된다.

즉, 제어부(41)에서 도공부(15)를 제어함으로써, 기판(3)에 도공되는 미경화의 자외선 경화 수지(5)가, 몰드(7)에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴(9)에 대응한 형상이 되도록 해도 된다.

더욱 설명하면, 기판(3)에 도공되어 있는 미경화의 자외선 경화 수지(5)에 몰드(7)에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴(9)을 전사할 때, 전사 패턴(9)의 선단과 기판(3) 사이에 생기는 간극을 작게 하여, 이 간극에 들어간 수지(5)에 의해 형성되는 잔막(11)을 얇게 하기 때문에, 자외선 경화 수지(5)를 미세한 전사 패턴(9)에 대응한 형상으로 해도 된다.

예를 들어 설명하면 미세한 전사 패턴(9)은 라인 & 스페이스의 형상으로 되어 있다. 즉, Y축 방향에서 보았을 때에 미세한 전사 패턴(9)의 형상이, 직사각형상의 볼록부와 직사각형상의 오목부가 교대로 반복하는 구형파 형상으로 되어 있다(도 19의 (b) 참조). 이 경우, 기판(3)에 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 파형상으로 한다.

예를 들어, Y축 방향에서 보아서 도 20에서 나타낸 바와 같이, 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 두껍게 도공한 부분과 얇게 도공한 부분이 교대로 반복되는 파형상으로 한다. 이 파형에서는, 예를 들어 파의 피치값이 파의 높이(수지(5)의 최대 두께-수지(5)의 최소 두께)의 값보다도 커져 있으며, 또한 파의 높이값이 수지(5)의 최소 두께의 값보다도 크게 되어 있다.

그리고, 전사(자외선 경화 수지(5)에의 몰드(7)의 누름)를 행할 때에는, 전사 패턴(9)의 직사각형상의 볼록부가 수지(5)를 얇게 도공한 부분에 들어가고, 수지(5)를 두껍게 도공한 부분이 전사 패턴(9)의 직사각형상 오목부에 들어가게 한다.

도 20과 같이 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공함으로써, 도 19의 (c)에 나타내는 잔막(11)을 적게 할 수 있다.

또한, 전사가 되기 전의 기판(3)에 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 두께를, X축 방향에서 변화시켜도 된다. 예를 들어, 전사 종료 시(기판(3) 상의 수지(5)에의 몰드(7)를 누름이 종료되었을 때)의 잉여 수지를 없애거나 적게 하기 위해서, 누름이 개시되는 측(도 19의 (a), 도 18의 (a)의 우측)에서 두껍게, 누름이 종료되는 측(도 19의 (a), 도 18의 (a)의 좌측)에서 얇게 해도 된다. 또한, 도 18의 (a) 내지 도 18의 (c)에 나타내는 롤 전사의 상세에 대해서는 후술한다.

또한, 전사가 되기 전의 기판(3)에 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 두께를, Y축 방향에서 변화시켜도 된다. 예를 들어, 전사를 행하고 있을 때에 기판(3)의 중앙부에서의 수지(5)의 부족을 없애기 위해서, 수지(5)의 두께를, Y축의 중앙부에서 두껍게 단부에서 얇게 해도 된다.

이어서, 몰드 설치부(17), 몰드 누름부(19), 몰드 박리부(23)에 대하여 설명한다.

몰드 설치부(17)는, 도 2 내지 4에서 나타내는 바와 같이, 소정의 폭(Y축 방향의 치수)으로 길게 형성되어 있는 몰드(7)가 감겨 있는 원단 몰드(몰드 원단)(43)를 설치하는 원단 몰드 설치부(조출 롤 설치부)(45)와, 원단 몰드 설치부(45)에 설치되어 있는 원단 몰드(원단 롤)(43)로부터 조출되는 몰드(7)를 권취하는 권취 롤(47)이 설치되는 권취 롤 설치부(49)를 구비한다. 또한, 도 2에서는, 도면의 표시가 번잡해져 보기 어려워지는 것을 피하기 위해서, 몰드(7)의 표시를 생략하였다.

원단 몰드 설치부(45)에 설치되어 있는 원단 몰드(43)와, 권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47) 사이에서는, 몰드(7)가 소정의 장력으로 팽팽해짐으로써 이완이 없는 상태에서 평판 형상이 되며 항상 연신되어 있다.

원단 몰드(43)와 권취 롤(47) 사이에서 연신되어 있는 몰드(7)는, 원단 몰드(43)와 권취 롤(47)을 적절히 회전시킴으로써, 이완이 없는 상태를 유지한 채, 원단 몰드(43)로부터 권취 롤(47)로 이동하고, 반대로 권취 롤(47)로부터 원단 몰드(43)로 이동한다.

몰드 누름부(19)와 몰드 박리부(23)는, 도 1, 2, 18의 (a) 내지 도 18의 (c)에서 나타내는 바와 같이, 전사 롤러(51)를 구비한다. 전사 롤러(51)에는, 원단 몰드 설치부(45)에 설치되어 있는 원단 몰드(43)와 권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47) 사이에서 연신되어 있는 몰드(7)가 감아 걸려 있다.

전사 롤러(51)를 사용한 롤 전사에 의해, 전사 중 미경화의 자외선 경화 수지(5)에의 몰드(7)의 누름과, 전사 중 경화된 자외선 경화 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리가 행해진다.

롤 전사는, 전사 롤러(51)에 몰드(7)를 감아 걸기, 기판(3)과 기판(3)에 도공되어 얇은 막상으로 되어 있는 미경화의 자외선 경화 수지(5)에, 전사 롤러(51)를 사용하여 몰드(7)(Y축 방향으로 직선형으로 연장되어 있는 몰드(7)의 하단)를 누른 상태에서, 전사 롤러(51)를 X축 방향에서, 기판(3)에 대하여 상대적으로, 기판(3)의 일단부(후단부)로부터 타단부(전단부)를 향해 이동함으로써 이루어진다(도 18의 (a) 내지 도 18의 (c) 참조).

더욱 설명하면, 도 18의 (a)에서 나타내는 상태로부터, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 대하여, 몰드(7)가 감아 걸려 있는 전사 롤러(51)를 X축 방향 전방측(도18의 (a)의 좌측)으로 예를 들어 일정한 속도로 이동함으로써, 도 18의 (b)에서 나타내는 상태를 거쳐, 도 18의 (c)에서 나타내는 상태가 되고, 몰드(7)의 누름이 종료된다.

도 18의 (c)로 나타내는 상태에서 수지 경화부(21)를 사용하여 자외선 경화 수지(5)를 경화시킨 후, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 대하여, 몰드(7)가 감아 걸려 있는 전사 롤러(51)를 X축 방향 후방측(도 18의 (c)의 우측)으로 예를 들어 일정한 속도로 이동함으로써, 몰드(7)의 박리가 종료된다.

이 때, 전사 롤러(51)는 공기압 실린더 등의 액추에이터(도시하지 않음)로, 기판(3)측(하측)에 가압되어 있다. 또한, 전사 롤러(51)의 이동에 의한 전사 롤러(51)의 위치에 관계없이, 원단 몰드 설치부(45)에 설치되어 있는 원단 몰드(43)와 권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47) 사이에서는, 몰드(7)가 이완이 없는 상태에서 평판 형상이 되어 연신된다.

전사 장치(1)에는, 도 1, 18 등에서 나타내는 바와 같이, 수지 경화부(21)(예를 들어, 자외선 발생 장치(53))가 설치되어 있다. 자외선 발생 장치(53)는, 자외선 경화 수지(5)에의 몰드(7)의 누름을 행하고 있는 상태에서, 자외선 경화 수지(5)를 경화하기 위해 자외선 경화 수지(5)에 자외선을 조사한다.

자외선 발생 장치(53)는, X축 방향에서는 전사 롤러(51)의 후방측에서 전사 롤러(51)로부터 약간 떨어진 부분에 위치하고 있으며, Z축 방향에서는, 전사 롤러(51)의 후방측에서 X축 방향으로 연신되어 있는(두께 방향이 Z축 방향이 되어 있는) 몰드(7)의 부위의 상측에서, 이 몰드(7)의 부위로부터 약간 떨어진 부분에 위치하고 있다.

그리고, 자외선 발생 장치(53)는 하측을 향해 자외선을 발생하고, 이 발생한 자외선이, 몰드(7)를 통해, 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에 조사된다.

자외선 발생 장치(53)가 발하는 자외선의 영역을 Z축 방향에서 보면, 도시하지는 않았지만 Y축 방향으로 길게 연장되어 있으며, 자외선 발생 장치(53)가, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 대하여, X축 방향으로 상대적으로 이동함으로써, 기판(3)에 설치되어 있는 자외선 경화 수지(전사 패턴(9)이 압박되어 있는 수지)(5)의 전부가 경화된다.

또한, 전사 장치(1)에서는, 제어부(41)의 제어 하, 몰드(7)의 자외선 경화 수지(5)에의 누름을 행하는 방향(전방향)으로 전사 롤러(51)가 이동하고 있을 때, 및 몰드의 자외선 경화 수지(5)로부터의 박리를 행하는 방향(후방향)으로 전사 롤러(51)가 이동하고 있을 때, 자외선 발생 장치(53)가 자외선을 자외선 경화 수지(5)에 조사한다.

즉, 롤 전사에서 몰드(7)의 자외선 경화 수지(5)에의 눌림 면적이 증가하는 방향(전방측)으로 전사 롤러(51)가 이동하고 있을 때(몰드(7)의 누름을 행하고 있을 때), 및 롤 전사에서 몰드(7)의 자외선 경화 수지(5)에의 눌림 면적이 감소하는 방향(후방측)으로 전사 롤러(51)가 이동하고 있을 때(몰드(7)의 박리를 행하고 있을 때)에, 자외선 발생 장치(53)가 자외선을 자외선 경화 수지(5)에 조사한다.

더욱 설명하면, 전사 롤러(51)가 왕복 이동할 때, 자외선 발생 장치(53)가 자외선을 자외선 경화 수지(5)에 조사한다. 또한, 전사 롤러(51)가 전방측으로 이동하고 있을 때, 전사 롤러(51)가 후방측으로 이동하고 있을 때 중 어느 때에만, 자외선 발생 장치(53)가 자외선을 자외선 경화 수지(5)에 조사하게 되어 있어도 된다.

또한, 전사 장치(1)에서는, 제어부(41)의 제어 하, 자외선 경화 수지(5)에서의 함몰(sink marks)의 발생을 방지하기 위해서, 롤 전사에서의 전사 롤러(51)의 이동량에 따라서, 자외선 발생 장치(53)가 발하여 자외선 경화 수지(5)에 조사되는 자외선 강도를 조정한다(조사 패턴을 변경한다).

여기서, 함몰에 대하여 설명한다. 자외선 경화 수지(5)는 경화될 때에 수축하는 경우가 있다. 이 수축에 의한 체적의 감소분만큼 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 공급하지 않으면, 몰드(7)의 전사 패턴(9)에 의해 자외선 경화 수지(5)에 형성된 패턴에 함몰이라 불리는 결손이 발생하는 것이다.

함몰의 발생을 방지하기 위해서, 예를 들어 몰드(7)에 형성되어 있는 전사 패턴(9)의 면적보다도 한층 큰 면적의 영역(기판(3)의 영역)에 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공한다. 그리고, 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 도공되어 있는 영역의 중앙부가 최초에 경화되도록 하여, 자외선 경화 수지(5)의 수축에 의한 체적의 감소분을, 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 도공되어 있는 영역의 주변으로부터, 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 자연적으로 약간 유동시켜 보충하도록 한다. 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 경화는, 도공되어 있는 영역의 중앙부로부터 주변부를 향해 진행한다.

예를 들어, 도 22의 (a)에서 나타내는 바와 같이, 몰드(7)의 수지(5)에의 압박을 행하고 있을 때에는, 중심선(L2)을 지난 부분으로부터(화살표 A1로 나타낸 바와 같은 중심선(L2)보다도 전방측에서), 자외선의 조사를 개시하고, 몰드(7)의 수지(5)로부터의 박리를 행하고 있을 때에는, 중심선(L2)을 지난 부분으로부터(화살표 A2로 나타낸 바와 같이 중심선(L2)보다도 후방측에서), 자외선의 조사를 개시해도 된다. 이에 의해, 자외선 경화 수지(5)의 중앙부가 마지막으로 경화되는 일이 없어져, 자외선 경화 수지(5)에서의 함몰의 발생이 방지된다.

이 경우, 자외선의 강도는, 시각의 경과에 관계없이(X축 방향에서의 전사 롤러(51)의 위치에 관계없이) 일정하게 되어 있고, 게다가, Y축 방향(자외선 발생 장치(53)에서의 자외선 부위의 길이 방향)에서의 위치에 관계없이 일정하게 되어 있다. 또한, 중심선(L2)이 도 22의 (a)의 좌우 어느 쪽으로 치우져 있어도 된다.

또한, 자외선의 강도를, 자외선 발생 장치(53)의 Y축 방향이나 X축 방향의 위치에 의해 적절히 변화시킴으로써, 도 22의 (b)에서 나타내는 바와 같이, 기판(3)의 중앙부로부터 외측을 향하여, 자외선 경화 수지(5)가 경화되도록 해도 된다.

자외선 발생 장치(53)는, 예를 들어 LED 방식의 소형의 UV 램프를 Y축 방향으로 직선형으로 다수 배열하고, 각각의 UV 램프의 조도를 제어부(41)에서 조정할 수 있다. 이에 의해, 자외선 발생 장치(53)의 광원은, 하나의 직선형이 되어 Y축 방향으로 연장되어 있다.

자외선 발생 장치(53)는, UV 램프를 복수개 통합하여 1 블록으로 하고, 하나의 직선형의 UV 램프를 복수의 블록으로 구성하며, 블록마다 램프의 조도를 제어(조정)할 수 있도록 해도 된다. 각 블록은, 예를 들어 Y축 방향에서 직선형으로 배열되어 있다.

또한, 상기 설명에서는, 복수의 UV 램프가 1열로 되어 있지만, 복수의 UV 램프가 2열 등의 복수열로 되어 배열되어 있어도 된다(각 열이 X축 방향에서 약간의 간격을 두고 배열되어 있는 형태가 되어 있어도 된다). 이 경우, 각 열에 있어서의 UV 램프가 Y축 방향에서 어긋나 있음으로써, 평면에서 보아(Z 방향에서 보아), 복수의 UV 램프가 번갈아 배열되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 몰드(7)에 형성되어 있는 전사 패턴(9)에 따라서, 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 양을 조정하여 도공하도록, 제어부(41)가 도공부(15)를 제어하게 되어 있어도 된다. 또한, 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 양에 따라서, 자외선의 강도(조사량이어도 됨)를 조정하도록, 제어부(41)가 수지 경화부(21)를 제어하게 되어 있어도 된다.

여기서, 도공부(15)의 상기 제어와 수지 경화부(21)의 상기 제어에 대해서, 예를 들어 설명한다. 도 24의 (a), 도 24의 (b)는 성형품(103)의 일례를 나타내는 도면이며, 도 19의 (d)에 대응하는 도면이다. 성형품(103)의 전사 패턴(9)은 약간 복잡한 형상으로 되어 있으며, 성형품(103)에서는, 평면에서 보아, 기판(3)의 중앙부에 경화된 자외선 경화 수지(5)로 형성되어 있는 큰 복수의 볼록부(105)(예를 들어, 체적이 큰 원주형의 패턴(105B))가 소정의 간격을 두고 배열되어 있다.

또한, 성형품(103)에서는, 평면에서 보아, 기판(3)의 주변부에 경화된 자외선 경화 수지(5)로 형성되어 있는 작은 복수의 볼록부(105)(예를 들어, 체적이 작은 원주형의 패턴(105A))가 소정의 간격(큰 복수의 볼록부(105B)와 동일한 간격)을 두고 배열되어 있다.

도 24의 (a), 도 24의 (b)에서 나타내는 성형품(103)을 얻는 경우, 기판(3)의 면에 평균적으로 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공하면(균일한 두께로 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공하면), 기판(3)의 중앙부에서는 자외선 경화 수지(5)가 부족해진다.

그래서, 기판(3)의 중앙부에서의 자외선 경화 수지(5)의 부족이 발생하지 않도록, 기판(3)의 면에 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 균일하게 두껍게 공급하면, 기판(3)의 주변부에서는 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 과잉으로 공급되게 된다. 이에 의해, 전사를 행한 경우에, 기판(3)의 주변부에서 잔막(11)(도 19의 (c) 참조)이 많아지고, 잔막(11)을 제거하는 데 손이 많이 간다. 또한, 사용하는 자외선 경화 수지(5)의 양도 많아져버린다.

이러한 문제점을 해소하기 위해서, 제어부(41)에서 도공부(15)에서의 도공량을 제어하여, 기판(3)의 중앙부에서는 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 많이(두껍게), 기판(3)의 주변부에서는 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 적게(얇게) 공급한다. 이에 의해, 전사 패턴 전체에서 과부족없이 적절하게, 자외선 경화 수지(5)를 공급할 수 있다.

또한, 전사 패턴을, 평면에서 보아 복수의 부위(예를 들어, 9 등분)로 분할하고, 그 분할된 장소마다 필요한 수지(5)의 양을 계산하여 공급해도 된다.

도 24의 (a), 도 24의 (b)와 같은 전사 패턴(복수의 볼록부(105))을 갖는 성형품(103)을, 자외선 발생 장치(53)에서 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 경화하여 얻는 경우에는, 균일한 강도(균일의 양)의 자외선을 조사한 것에는 문제점이 발생한다.

즉, 기판(3)의 주변부의 자외선 경화 수지(5)가 경화될 정도의 강도의 자외선을 조사하면 기판(3)의 중앙부에서는 자외선이 너무 약해서, 자외선 경화 수지(5)의 경화 부족이 발생한다. 한편, 기판(3)의 중앙부의 자외선 경화 수지(5)가 충분히 경화될 정도의 강도의 자외선을 조사하면, 기판(3)의 주변부에서 자외선 경화 수지(5)가 먼저 경화되고, 기판(3)의 중앙부에 주변으로부터 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 공급되지 않게 되어 기판(3)의 중앙부에서 함몰이 발생한다.

이러한 문제점을 해소하기 위해서, 자외선 경화 수지(5)의 도공량에 따라서 자외선의 조사량(강도)을 제어부(41)에서 조정함으로써, 성형품(103)의 품질을 양호하게 할 수 있다.

또한, 도 24의 (a), 도 24의 (b)와 같은 전사 패턴을 갖는 성형품(103)을 얻는 경우에는, 기판(3)의 주변부에서의 자외선의 조사량을 적게 하고, 기판(3)의 중앙부에서의 자외선의 조사량을 많게 한다. 또한, 자외선 발생 장치(53)을 전방측으로 이동할 때에 기판(3)의 중앙부에서만 자외선을 조사하고, 후방측으로 이동할 때에 기판(3)의 전체에 균일한 강도의 자외선을 조사해도 된다.

또한, 자외선 발생 장치(53)의 X축 방향에서의 이동 속도를 적절히 조정함으로써, 기판(3)에 도공된 자외선 경화 수지에의 자외선의 조사량을 조정해도 된다.

또한, 전사 장치(1)에는, 플라스마 유닛(55)이 설치되어 있다. 플라스마 유닛(55)은, 전사 후에 기판(3)의 수지(5)로부터 박리된 몰드(7)에 마련되어 있는 미세한 전사 패턴(9)에 플라스마를 조사한다. 또한, 플라스마 유닛(55)에 의한 플라스마의 조사는, 몰드(7)에 마련되어 있는 미세한 전사 패턴(9)의 클리닝을 하기 위해 행해진다.

플라스마 유닛(55)은 헤드(57)와 구동부(59)를 구비한다. 그리고, 헤드(57)로부터 대기압 플라스마(AP 플라스마; Atmospheric Pressure Plasma)를 발생하고, 이 발생한 대기압 플라스마를 몰드(7)에 조사하고, 몰드(7)의 미세한 전사 패턴(9) 등의 오염을 분해·제거를 행한다.

몰드(7)에의 플라스마의 조사는, 1회의 전사가 종료될 때마다 행해도 되고, 복수회의 전사가 종료될 때마다 행해도 된다.

전사 장치(1)는, 플라스마 유닛(55)에 의한 몰드(7)의 미세한 전사 패턴(9)의 클리닝이 불충분한 경우에는, 자외선 경화 수지(5)로부터 박리시켜, 플라스마의 조사가 된 몰드(7)의 부위를, 권취 롤(47)로 권취함으로써, 원단 몰드(43)로부터 몰드(7)의 새로운 미사용 부위를 조출한다. 새롭게 조출된 몰드(7)의 미사용 부위는, 다음 전사에 사용된다.

또한, 플라스마 유닛(55)에 의해, 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 설치되기 전의 기판(3)의 상면에도, 플라스마의 조사가 된다. 기판(3)의 상면에의 플라스마의 조사는, 기판(3)의 습윤성을 개선하기 위해 행해진다.

도공부(15)는, X축 방향에서 기판(3)에 대하여 잉크젯 헤드(31)를 기판(3)의 일단부로부터 타단부를 향하여 이동함으로써, 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 기판(3)에 얇은 막상으로 도공하도록 구성되어 있다. 플라스마 유닛(55)(헤드(57), 구동부(59))은 도공부(15)에 지지되어 있다.

전사 장치(1)는 몰드 설치 보조부(61)를 구비한다. 몰드 설치 보조부(61)는, 원단 몰드 설치부(45)에 설치되어 있는 원단 몰드(43)로부터 조출되는 몰드(7)를 전사 롤러(51)에 감아 걸어, 권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47)까지 가이드하도록 구성되어 있다. 이 가이드는, 원단 몰드(43)로부터 조출되는 몰드(7) 부위에서의 주름의 발생을 저지하면서, 조출되는 몰드(7)의 부위가, 예를 들어 거의 팽팽해진 상태에서 이루어진다.

더욱 설명하면, 전사 장치(1)에 설치되기 전의 몰드(7)는, 도 13에서 나타내는 바와 같이, 길이 방향의 일단부측의 대부분이 원단 몰드(43)의 코어재(63)에 감아 걸려 있다. 또한, 전사 장치(1)에 설치되기 전의 몰드(7)는, 길이 방향의 타단부측의 약간의 부위가 원단 몰드(43)로부터 연장 돌출되어 있으며, 이 연장 돌출되어 있는 부위의 가일층의 선단부가, 몰드 지지부(65)에 일체적으로 설치되어 있다. 또한, 몰드 지지부(65)는 권취 롤(47)의 코어재(67)와는 별체의 것이지만, 권취 롤(47)의 코어재(67)여도 된다.

몰드 설치 보조부(61)는, 원단 몰드 설치부(45)와 전사 롤러(51)와 권취 롤 설치부(49)에 대하여 이동 가능한 몰드 설치 보조 부재(69)를 구비한다. 몰드 설치 보조 부재(69)에는, 몰드 지지부(65)가 일체적으로 설치된다. 그리고, 몰드 설치 보조 부재(69)와 몰드 설치 보조 부재(69)에 설치된 몰드 지지부(65)가 이동함으로써, 상술한 가이드가 행해진다.

전사 장치(1)에 대하여 더욱 설명한다.

전사 장치(1)는 도 1 등에서 나타내는 바와 같이, 예를 들어 평면 형상의 상면을 갖는 베이스체(71)를 구비한다. 베이스체(71)의 상면에는, 기판 설치체(25)가 일체적으로 설치되어 있다. 기판 설치체(25)는 X축 방향 및 Y축 방향에서, 베이스체(71)의 중간부에 위치하고 있다.

또한, 전사 장치(1)는 제1 지지체(73)와 제2 지지체(75)와 제3 지지체(77)를 구비한다.

제1 지지체(73)는 베이스체(71)의 상면으로부터 상방으로 기립하고 있으며, 리니어 가이드 베어링(도시하지 않음)에 의해 베이스체(71)에 지지되어 있고, 서보 모터 등의 액추에이터(도시하지 않음)에 의해, X축 방향에서 베이스체(71)에 대하여 이동 위치 결정 가능하게 되어 있다.

제1 지지체(73)에는, 잉크젯 헤드(31)와 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)와 구동부(59)가 지지되어 있다. 잉크젯 헤드(31)는 제1 지지체(73)에 일체적으로 설치되어 있다.

잉크젯 헤드(31)는 X축 방향에서는, 제1 지지체(73)보다도 후방측에 위치하고 있다. 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)는 X축 방향에서는, 잉크젯 헤드(31)보다도 후방측에 위치하고 있다.

잉크젯 헤드(31)와 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)는, Z축 방향에서는, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)보다도 상측에 위치하고 있다.

플라스마 유닛(55)의 구동부(59)는 제1 지지체(73) 상에 적재되어, 제1 지지체(73)와 일체화되어 있다.

제1 지지체(73), 잉크젯 헤드(31), 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)는, 초기 상태에서는, X축 방향에서 베이스체(71)의 전단부 부분에 위치하고 있으며, 이 초기 상태의 위치로부터, 잉크젯 헤드(31)와 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)가, 기판 설치체(25)보다도 후방측에 오는 위치(도 8 참조)까지, X축 방향에서 이동 가능하게 되어 있다.

또한, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)는 Z축 방향에서 이동 위치 결정 가능하도록, 제1 지지체(73)에 지지되어 있음과 함께, Y축 방향으로 연장되어 있는 축(C1)을 회동 중심으로 하여, 예를 들어 90°의 각도로 회동 위치 결정된다.

이 회동 위치 결정이 됨으로써, 플라스마를 발생하는 방향을, X축 방향 후방측과 Z축 방향 하측으로 전환할 수 있다.

또한, 잉크젯 헤드(31)가 Z축 방향에서 이동 위치 결정 가능하도록, 제1 지지체(73)에 지지되어 있어도 된다.

제2 지지체(75)는 베이스체(71)의 상면으로부터 상방으로 기립하고 있으며, 리니어 가이드 베어링(도시하지 않음)에 의해 베이스체(71)에 지지되어 있고, 서보 모터 등의 액추에이터(도시하지 않음)에 의해, X축 방향에서 베이스체(71)에 대하여 이동 위치 결정 가능하게 되어 있다. 또한, 제2 지지체(75)는 도 2, 3, 4에서 나타내는 바와 같이, Y축 방향의 한쪽의 측으로만 베이스체(71)에 걸림 결합되어 있다.

제2 지지체(75)에는, 원단 몰드 설치부(45)가 설치되어 있음과 함께, 전사 롤러(51)와 자외선 발생 장치(53)가 지지되어 있다.

전사 롤러(51)와 자외선 발생 장치(53)는, Z축 방향에서는, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)보다도 상측에 위치하고 있다. 원단 몰드 설치부(45)는 Z축 방향에서는, 전사 롤러(51)나 자외선 발생 장치(53)보다도 상측에 위치하고 있다.

원단 몰드 설치부(45)와 전사 롤러(51)와 자외선 발생 장치(53)는, X축 방향에서는, 예를 들어 제2 지지체(75)의 내측에 위치하고 있다. 또한, X축 방향에서는, 원단 몰드 설치부(45)와 전사 롤러(51)는, 제2 지지체(75)의 전방측에 위치하고 있으며, 자외선 발생 장치(53)는 전사 롤러(51)로부터 약간 떨어져 전사 롤러(51)보다도 후방측에 위치하고 있다.

제2 지지체(75)는 초기 상태에서는, 기판 설치체(25)보다도 후방측에 위치(도 1 참조)하고 있으며, 이 초기 상태의 위치로부터, 자외선 발생 장치(53)가, 기판 설치체(25)보다도 전방측에 오는 위치(도 11 참조)까지, X축 방향에서 이동 가능하게 되어 있다.

원주형의 전사 롤러(51)는, 제2 지지체(75)에 대하여 전사 롤러(51)의 중심축(Y축 방향으로 연장되어 있는 중심축)을 회전 중심으로 하여, 회전 가능하게 지지되어 있고, 서보 모터 등의 액추에이터에 의해, 소정의 토크나 회전 속도로 회전하여 소정의 회전 위치에서 정지할 수 있다.

기판(3)의 수지(5)에의 몰드(7)의 누름이나, 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리를 행할 때에는, 몰드(7)와의 사이에서 미끄럼이 발생하지 않도록, 전사 롤러(51)의 X축 방향의 이동 속도에 동기한 회전 속도로 전사 롤러(51)가 회전한다. 또한, 액추에이터를 사용하지 않고, 전사 롤러(51)의 X축 방향의 이동 속도에 추종하여 전사 롤러(51)가 회전하게 되어 있어도 된다.

전사 롤러(51)는 제2 지지체(75)에 대하여 Z축 방향에서 이동 가능하게 되어 있고, 자외선 발생 장치(53)도 제2 지지체(75)에 대하여, 예를 들어 전사 롤러(51)와는 별개로 또는 전사 롤러(51)와 함께, Z축 방향에서 이동 가능하게 되어 있으며, 상단 위치와 하단 위치 중 어느 하나에 위치하게 되어 있다.

원단 몰드 설치부(45)는 도 1, 4에서 나타내는 바와 같이, 원주형의 제1축 부재(79)를 구비한다. 제1축 부재(79)는 제2 지지체(75)로부터 Y축 방향 타단부측으로 돌출되어 있다. 즉, 제1축 부재(79)는 외팔보인 것처럼 하여 제2 지지체(75)에 설치되어 있다. 또한, 제1축 부재(79)는 제2 지지체(75)에, 제1축 부재(79)의 중심축(Y축 방향으로 연장되어 있는 중심축)을 회전 중심으로 하여, 회전 가능하게 지지되어 있으며, 서보 모터 등의 액추에이터에 의해, 소정의 토크나 회전 속도로 회전하고, 소정의 회전 위치에서 정지하며, 소정의 토크를 가지고 회전을 정지할 수 있다.

원단 몰드(43)의 코어재(63)는 원통형으로 형성되어 있다. 제1축 부재(79)를 코어재(63)의 통에 관통시킴으로써, 원단 몰드(43)가 제1축 부재(79)에 일체적으로 설치된다. 원단 몰드(43)는 외팔보 형상의 제1축 부재(79)에 대하여 용이하게 착탈 가능하게 되어 있다.

원단 몰드(43)에서는, 도 23에서 나타내는 바와 같이, 중첩된 몰드(7)의 사이에 간지(81)가 삽입되어 있음으로써, 몰드(7)의 흠집 발생 등이 방지된다. 몰드(7)가 원단 몰드(43)로부터 연장 돌출됨으로써 불필요해진 간지(81)는, 도 1 등에서 나타내는 바와 같이, 제2 지지체(75)에 설치되어 있는 간지 권취 롤(83)로 권취된다. 간지 권취 롤(83)로 권취된 간지(81)는, 필요에 따라서 간지 권취 롤(83)로부터 다시 연장 돌출된다.

제3 지지체(77)도 베이스체(71)의 상면으로부터 상방으로 기립하고 있으며, 베이스체(71)에 일체적으로 설치되어 있다. 제3 지지체(77)도 도 2, 3에서 나타내는 바와 같이, Y축 법선 방향의 한쪽 측에서만 베이스체(71)에 걸림 결합되어 있다.

제3 지지체(77)에는, 권취 롤 설치부(49)가 설치되어 있음과 함께, 가이드 롤러(85)가 지지되어 있다.

Z축 방향에서는, 가이드 롤러(85)의 하단의 위치는, 몰드(7)를 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)의 수지(5)에 눌렀을 때의 전사 롤러(51)의 하단의 위치와 일치한다. 따라서, 몰드(7)를 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)의 수지(5)에 눌렀을 때, 가이드 롤러(85)와 전사 롤러(51) 사이에서 연신되어 있는 몰드(7)의 부위는, 수평 방향으로 전개하게 된다.

또한, 기판(3)의 두께 등에 따라서, 가이드 롤러(85)가 Z축 방향에서 제3 지지체(77)에 대하여 이동 위치 결정 가능하게 되어 있어도 된다.

Z축 방향에서는, 권취 롤 설치부(49)는 가이드 롤러(85)보다도 약간 상방에 위치하고 있다.

X축 방향에서는, 권취 롤 설치부(49)와 가이드 롤러(85)는, 예를 들어 제3 지지체(77)의 내측에 위치하고 있다. 제3 지지체(77)는 X축 방향에서는, 제2 지지체(75)보다도 후방측에 위치하고 있다.

원주형의 가이드 롤러(85)는, 제3 지지체(77)에 대하여 가이드 롤러(85)의 Y축 방향으로 연장되어 있는 중심축을 회전 중심으로 하여, 회전 가능하게 지지되어 있다. 가이드 롤러(85)는 서보 모터 등의 액추에이터(도시하지 않음)에 의해, 소정의 토크나 회전 속도로 회전하여 소정의 회전 위치에서 정지할 수 있다.

권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47)에 의해 몰드(7)를 권취할 때에는, 몰드(7)와의 사이에서 미끄럼이 발생하지 않도록, 전사 롤러(51)의 X축 방향의 이동 속도에 동기한 회전 속도로 회전한다. 또한, 액추에이터를 사용하지 않고, 몰드(7)의 권취 속도에 추종하여 가이드 롤러(85)가 회전하게 되어 있어도 된다.

권취 롤 설치부(49)는 도 1 내지 3 등에서 나타내는 바와 같이, 원주형의 제2축 부재(87)를 구비한다. 제2축 부재(87)는 제3 지지체(77)로부터 Y축 방향 타단부측으로 돌출되어 있다. 즉, 제2축 부재(87)는 외팔보인 것처럼 하여 제3 지지체(77)에 설치되어 있다. 제2축 부재(87)는 제3 지지체(77)에, 제2축 부재(87)의 Y축 방향으로 연장되어 있는 중심축을 회전 중심으로 하여, 회전 가능하게 지지되어 있다. 제2축 부재(87)는 서보 모터 등의 액추에이터(도시하지 않음)에 의해, 소정의 토크나 회전 속도로 회전하고, 소정의 회전 위치에서 정지하며, 소정의 토크를 가지고 회전을 정지할 수 있다.

권취 롤(47)의 코어재(67)는 원통형으로 형성되어 있다. 제2축 부재(87)를 코어재(67)의 통에 관통시킴으로써, 권취 롤(47)이 제2축 부재(87)에 일체적으로 설치된다. 권취 롤(47)은 제2축 부재(87)에 대하여 용이하게 착탈 가능하게 되어 있다.

권취 롤(47)에서는, 도 23에서 나타내는 바와 같이, 중첩된 몰드(7) 사이에 간지(81)가 삽입된다. 권취 롤(47)로 몰드(7)를 권취할 때, 도 1 등에서 나타내는 바와 같이, 중첩된 몰드(7) 사이에 간지(81)를 삽입할 필요가 있는 경우에는, 제3 지지체(77)에 설치되어 있는 간지 공급 롤(89)로부터 간지(81)가 공급된다. 간지 공급 롤(89)로부터 공급된 간지(81)는, 필요에 따라서 간지 공급 롤(89)로 다시 권취된다.

몰드 설치 보조 부재(69)는 베이스체(71)의 상면에 설치되어 있고, 리니어 가이드 베어링(도시하지 않음)에 의해 베이스체(71)에 지지되어 있으며, 서보 모터 등의 액추에이터(도시하지 않음)에 의해, X축 방향에서 베이스체(71)에 대하여 이동 위치 결정 가능하게 되어 있다.

몰드 설치 보조 부재(69)가 X축 방향에서 가장 전방측에 위치(도 15 참조)하고 있을 때에는, 몰드 설치 보조 부재(69)는 초기 상태에 있어서의 제2 지지체(75)의 위치보다도 약간 전방측에서 기판 설치체(25)보다도 후방측에 위치하고 있다.

몰드 설치 보조 부재(69)가 X축 방향에서 가장 후방측에 위치(도 16 참조)하고 있을 때에는, 몰드 설치 보조 부재(69)는 권취 롤 설치부(49)의 거의 바로 아래 부분에 위치하고 있다.

또한, 몰드 설치 보조 부재(69)가 수동으로(사람 손에 의해) 베이스체(71)에 대하여 이동 위치 결정되게 되어 있어도 된다.

몰드 설치 보조 부재(69)는 도 3 등에서 나타내는 바와 같이, 제2 지지체(75)나 제3 지지체(77)의 베이스체(71)의 걸림 결합부보다도, Y축 방향에서 타단부측의 중앙부에 설치되어 있다.

몰드 설치 보조 부재(69)는 도 15 등에서 나타내는 바와 같이, Z축 방향에서는, 가이드 롤러(85)보다도 약간 하측에 위치하고 있다.

몰드 설치 보조 부재(69)에는, 몰드(7)가 연장 돌출되어 있는 몰드 지지부(65)가 일체적이면서 착탈 가능하게 설치된다.

원단 몰드 설치부(45)에 원단 몰드(43)를 설치하고, 원단 몰드(43)로부터 연장 돌출되어 있는 몰드(7)의 선단이 고정되어 있는 몰드 지지부(65)를 몰드 설치 보조 부재(69)에 설치하고, 원단 몰드(43)로부터 몰드(7)를 연장 돌출시키면서 몰드 설치 보조 부재(69)(몰드 지지부(65))를 이동시킴으로써, 몰드(7)가 전사 롤러(51)에 감아 걸림과 함께, 권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47)의 부분까지(예를 들어, 도 16에서 나타내는 바와 같이, 권취 롤(47)의 근방까지) 가이드된다.

원단 몰드(43)로부터 연장 돌출되어 있는 몰드(7)의 선단부는, 몰드 지지부(65)에 점착제 또는 점착 테이프에 의해 부착되어 있다.

이렇게 몰드 지지부(65)가 가이드됨으로써, 몰드(7)의 선단부가 부착되어 있는 몰드 지지부(65)가 권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47)의 근방에까지 도달한다. 이 후, 몰드 지지부(65)로부터 몰드(7)의 선단부를 박리하고, 몰드(7)의 선단부를 권취 롤(47)에 부착시키면, 몰드(7)의 전사 장치(1)에의 설치를 행할 수 있다(도 17 등 참조). 또한, 앞에서 나타낸 바와 같이 몰드 지지부(65)를 권취 롤(47)의 코어재(67)로 해도 된다.

도 21에서 나타내는 바와 같이, 기판 설치체(25)의 전후에 전사 롤러 가이드부(91)를 설치해도 된다.

이 경우, 전사 롤러(51)의 이동에 의한 몰드(7)의 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 도공되어 있는 수지(5)에의 누름이 행해질 때, 전사 롤러 가이드부(91)가 전사 롤러(51)를 가이드한다.

또한, 전사 롤러 가이드부(91)에 의해, 몰드(7)를 지지하고 있는 전사 롤러(51)를 이동하여 몰드(7)의 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 도공되어 있는 수지(5)에의 누름이 개시될 때에 있어서의 쇼크를, 없애거나 완화시키도록 구성되어 있어도 된다. 쇼크의 발생을 없애거나 완화시킴으로써 전사 정밀도에 악영향을 주는 일이 없어진다.

즉, 전사 롤러 가이드부(91)에 의해, 전사 롤러(51)를 전방측으로 이동하여, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에의 전사 롤러(51)를 사용한 몰드(7)의 누름 개시 시에 있어서의 쇼크(전사 롤러(51)가 몰드(7)를 사이에 두고 갑자기 기판(3)에 맞닿을 때의 쇼크)를 없애거나 완화시켜도 된다.

또한, 전사 롤러 가이드부(91)에 의해, 몰드(7)를 지지하고 있는 전사 롤러(51)를 이동하여 몰드(7)의 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 도공되어 있는 수지(5)에의 누름이 종료될 때에 있어서의 쇼크를, 없애거나 완화시키도록 구성되어 있어도 된다.

즉, 전사 롤러(51)를 후방측으로 이동하여, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)으로부터의 몰드(7)의 박리 개시 시에 있어서의 쇼크(전사 롤러(51)가 몰드(7)를 사이에 두고 갑자기 기판(3)에 맞닿을 때의 쇼크)를 없애거나 완화시켜도 된다.

전사 롤러 가이드부(91)는, 기판 설치체(25)의 전방측과 후방측에 일체적으로 설치되어 있는 경사 부재(93)를 구비한다. 각각의 경사 부재(93)는 평판 형상의 기판 설치체 걸림 결합 부위(95)와 대략 평판 형상의 전사 롤러 걸림 결합 부위(97)를 구비하고, Y축 방향에서 보아서 L자 형상으로 형성되어 있다.

Y축 방향에서 보아, 기판 설치체 걸림 결합 부위(95)는 Z축 방향으로 길게 형성되어 있으며, 기판 설치체(25)에 접해 있다.

Y축 방향에서 보아서(전사 롤러(51)의 중심축의 연신 방향에서 보아), 전사 롤러 걸림 결합 부위(97)는 X축 방향(전사 롤러(51)의 이동 방향)으로 길게 형성되어 있고, 기판 설치체 걸림 결합 부위(95)의 상단으로부터 대략 X축 방향이며 기판 설치체(25)로부터 이격되는 방향으로 연장되어 있다.

전사 롤러 걸림 결합 부위(97)는, 기판 설치체(25)측에 위치하고 있는 기단측 부위(99)와 기판 설치체(25)로부터 이격되어 있는 선단측 부위(101)를 구비한다. 기단측 부위(99)는 X축 방향으로 연신되어 있지만, 선단측 부위(101)는 X축 방향에 대하여 약간의 각도(1 내지 20°)로 기울어 비스듬히 연신되어 있다. 기단측 부위(99)와 선단측 부위(101)의 경계는 원호형으로 둥글게 되어 있다(도 21의 (c)의 참조 부호 R을 참조).

전사 롤러(51)나 이 전사 롤러(51)에 감아 걸려 있는 몰드(7)는, Y축 방향의 전체 길이에 걸쳐, 경사 부재(93)에 맞닿게 구성되어 있지만, 전사 롤러(51)나 이 전사 롤러(51)에 감아 걸려 있는 몰드(7)의 일부가, 경사 부재(93)에 맞닿게 구성되어 있어도 된다. 예를 들어, 전사 패턴이 형성되지 않은 전사 롤러(51)의 단부나 이 전사 롤러(51)에 감아 걸려 있는 몰드(7)의 단부(Y축 방향에 있어서 일단부나 타단부)만이, 경사 부재(93)에 맞닿게 구성되어 있어도 된다.

또한, 롤 전사에 의해 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리가 행해질 때에는, 전사 롤러 가이드부(91)(전방측 경사 부재(93B))가 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리를 개시할 때에 있어서의 쇼크를 없애거나 완화시키도록 구성되어 있고, 전사 롤러 가이드부(91)(후방측 경사 부재(93A))가, 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리를 종료할 때에 있어서의 쇼크를 없애거나 완화시키도록 구성되어 있다.

또한, 전방측 경사 부재(93B), 후방측 경사 부재(93A) 중 어느 것이 삭제되어 있어도 된다.

여기서, 몰드(7)의 자외선 경화 수지(5)(기판(3))에의 압박을 시작할 때(전사 롤러(51)가 기판 설치체(25)에 설치되어 있는 기판(3) 등에의 걸림 결합을 하기 시작할 때)의, 전사 롤러(51) 등의 동작을 설명한다.

먼저, 전사 롤러(51)가 도 21의 (a)에서 나타내는 위치보다도 우측(후방측)에 위치하고 있는 상태에서는, 전사 롤러(51)와 몰드(7)는 후방측 경사 부재(93A)로부터 이격되어 있다. 이 상태로부터 전사 롤러(51)가 전방측(좌측)으로 이동하면, 도 21의 (a)에서 나타내는 바와 같이, 전사 롤러(51)가 몰드(7)를 사이에 두고, 후방측 경사 부재(93A)의 선단측 부위(101)에 맞닿는다. 이 맞닿을 때의 몰드(7)(선단측 부위(101)에 맞닿아 있는 부위)의 위치는, Z축 방향에서, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)의 상면보다도 약간 하측에 위치하고 있다.

또한, 선단측 부위(101)의 경사 각도가 작으므로, 맞닿을 때의 쇼크를 작게 할 수 있다.

도 21의 (a)에서 나타내는 위치로부터, 전사 롤러(51)가 더욱 전방측(좌측)으로 이동하면, 전사 롤러(51)는 선단측 부위(101)에 의해 상측에 눌리는 대로 상측으로 이동한다. 이 때, 전사 롤러(51)는 몰드(7)를 사이에 두고 선단측 부위(101)에 맞닿아 있는 상태를 유지하고 있다.

전사 롤러(51)가 더욱 전방측(좌측)으로 이동하면, 전사 롤러(51)가 몰드(7)를 사이에 두고, 후방측 경사 부재(93A)의 기단측 부위(99)에 맞닿는다.

전사 롤러(51)가 더욱 전방측(좌측)으로 이동하면, 전사 롤러(51)가 몰드(7)를 사이에 두고 기단측 부위(99)에 맞닿아 있는 상태를 유지한 채 수평 방향(X축 방향)으로 이동한다. 이 때의 몰드(7)(선단측 부위(101)에 맞닿아 있는 부위)의 위치는, Z축 방향에서, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)의 상면의 위치와 일치한다.

전사 롤러(51)가 더욱 전방측(좌측)으로 이동하면, 도 21의 (b)에서 나타내는 바와 같이, 몰드(7)의 수지(5)(기판(3))에의 압박이 시작된다. 이 압박의 개시 시에 있어서는, 전사 롤러(51)의 높이가 변화되지 않으므로, 쇼크의 발생은 거의 없다. 그리고, 기판(3) 등의 단부가 결손될 우려가 없어진다.

또한, 전사 롤러(51)가 전방측(좌측)으로 이동하면, 전사 롤러(51)가 몰드(7)를 사이에 두고 전방측 경사 부재(93B)에 맞닿는다. 이 때, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)으로부터 이격된 전사 롤러(51)의 높이 위치가 급격하게 변화되는 일은 없으므로, 기판(3)에의 전사 롤러(51)를 사용한 몰드(7)의 누름 종료 시에 있어서의 쇼크를 없애거나 완화시킬 수 있어, 기판(3) 등의 단부가 결손될 우려가 없어진다.

또한, 도 21의 (c)에서 나타내는 바와 같이, 후방측 경사 부재(93A)(전방측 경사 부재(93B))와 기판(3) 사이에는, X축 방향에서 약간의 거리(예를 들어 기판(3)의 두께보다도 작고, 전사 롤러(51)의 반경의 값보다도 훨씬 작은 거리) L3만큼 이격되어 있지만, 상기 거리 L3이 「0」으로 되어 있어도 된다.

또한, 기판(3)의 두께에 맞추어서, 후방측 경사 부재(93A)(전방측 경사 부재(93B))의 높이 위치를, 기판 설치체(25)에 대하여 조정 가능하게 구성해도 된다.

몰드(7)의 경화된 자외선 경화 수지(5)(기판(3))로부터의 박리 시의, 전사 롤러(51) 등의 동작은, 상술한 몰드(7)의 수지(5)에의 압박을 시작할 때의 동작과 역동작이 된다. 단, 전사 롤러(51)나 몰드(7)는 전방측 경사 부재(93B)에 먼저 맞닿는다.

후방측 경사 부재(93A) 또는 전방측 경사 부재(93B)를 삭제한 구성이어도 된다. 도 1 등에서는 삭제되어 있다.

이어서, 전사 장치(1)의 동작을 설명한다.

초기 상태에서는, 도 1에서 나타내는 바와 같이, 몰드(7)가 전사 장치(1)에 설치되어 있고, 제1 지지체(73)가 전단부 위치에 위치하고 있으며, 제2 지지체(75)가 후단부 위치에 위치하고 있으며, 플라스마 유닛(55)의 플라스마를 발생하지 않은 상태의 헤드(57)가 상단 위치에 위치하고 있으며, 전사 롤러(51)와 자외선 발생 장치(53)는 상단 위치에 위치하고 있다. 또한, 기판 설치체(25)에는 기판(3)이 설치되어 있다.

기판 설치체(25)의 상부는 도전체로 구성되어 있고, 플라스마를 조사할 때에는 전극으로서 작용한다.

제어부(41)의 제어 하, 상술한 초기 상태로부터, 도 6에서 나타내는 바와 같이, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)를 하단 위치에 위치시키고, 도 7에서 나타내는 바와 같이, 헤드(57)로부터 하측의 기판(3)을 향해 플라스마를 발생시키면서, 제1 지지체(73)를 후방측으로 이동하고, 잉크젯 헤드(31)로 기판(3) 상에 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공한다.

도 8은, 기판(3) 상에의 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공이 종료된 상태를 나타내고 있으며, 이 상태에서는, 헤드(57)로부터 플라스마는 발생하지 않고, 잉크젯 헤드(31)로부터의 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 방출도 정지하였다.

계속해서, 제1 지지체(73)를 전방측으로 이동하고, 도 9에서 나타내는 바와 같이, 전단부 위치에 위치시킴과 함께, 전사 롤러(51)와 자외선 발생 장치(53)를 하단 위치에 위치시킨다.

계속해서, 도 10에서 나타내는 바와 같이, 제2 지지체(75)를 전방측으로 이동하면서 기판(3)에의 몰드(7)의 누름을 행한다. 이 때, 몰드(7)가 전사 롤러(51)의 전방측으로의 이동에 따라서 원단 몰드(43)로부터 연장 돌출되고, 자외선 발생 장치(53)로부터 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에 자외선을 조사한다.

도 11은, 기판(3)에의 몰드(7)의 누름이 종료된 상태를 나타내고 있으며, 이 상태에서는, 자외선 발생 장치(53)로부터 자외선은 발생하지 않았다.

계속해서, 도 11에서 나타내는 상태로부터, 제2 지지체(75)를 후방측으로 이동하고, 기판(3)이나 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리를 행한다. 이 때, 원단 몰드(43)에서 몰드(7)를 권취하고, 자외선 발생 장치(53)로부터 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에 자외선을 조사한다.

기판(3)이나 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리가 종료된 상태(도 12 참조)에서, 제2 지지체(75)가 후단부 위치에 위치하여, 몰드(7)의 전사 패턴(9)의, 기판(3)의 수지(5)에의 전사가 종료된다. 다음 전사를 행하는 경우에는, 다음에 전사가 될 기판(3)을 교환한다.

이어서, 플라스마 유닛(55)에 의한 몰드(7)의 클리닝 동작에 대하여 설명한다.

플라스마 유닛(55)에 의한 몰드(7)의 클리닝 대상은, 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에의 전사에 사용된 몰드(7)의 부위(특히, 미세한 전사 패턴(9))이다.

도 12에서 나타내는 바와 같이, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)를 상단 위치에 위치시킴과 함께, 후방측을 향해 플라스마를 발생하도록 도 1에 도시한 축(C1)을 중심으로 하여 회동하고, 제1 지지체(73)를 후단부 위치에 위치시키며, 헤드(57)를 몰드(7)의 근방에 위치시킨다.

도 12에서 나타내는 상태로, 헤드(57)로부터 몰드(7)를 향해 플라스마를 발생함과 함께, 원단 몰드(43)와 권취 롤(47)에 의해 몰드(7)의 권취와 조출을 적절하게 행하여, 기판(3)의 수지(5)에의 전사에 사용된 몰드(7)의 부위의 전체에 플라스마를 조사하여 클리닝한다.

몰드(7)를 사이에 둔 헤드(57)의 반대측에는, 도전성의 판(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 도전성의 판은, 플라스마 유닛(55)이 몰드(7)에 플라스마를 조사할 때, 전극으로서 작용한다.

플라스마 유닛(55)에 의한 몰드(7)의 클리닝을, 도 12에서 나타내는 상태로의 클리닝 대신에 또는 부가적으로, 경화된 자외선 경화 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리가 되었을 때에 행해도 된다. 즉, 롤 전사 중 경화된 자외선 경화 수지(5)로부터 박리가 된 직후의 몰드(7)의 부위에, 플라스마 유닛(55)으로부터 플라스마를 조사함으로써, 몰드(7)의 클리닝을 해도 된다.

더욱 설명하면, 도 11에서 나타내는 상태로부터 도 12에서 나타내는 상태가 될 때까지, 제2 지지체(75)를 후방측으로 이동하여 기판(3)이나 자외선 경화 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리를 행하고 있을 때, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)(제1 지지체(73))도 후방측으로 이동하고, 자외선 경화 수지(5)로부터 박리된 직후의 몰드(7)에, 플라스마 유닛(55)으로부터 플라스마를 조사해도 된다.

플라스마 유닛(55)의 헤드(57)의 후방측으로의 이동 속도는, 예를 들어 제2 지지체(75)의 이동 속도와 일치하고 있으며, 제2 지지체(75)와 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)가 후방측으로 이동하고 있을 때에는, 제2 지지체(75)와 헤드(57)의 X 방향의 거리가 몰드(7)에의 플라스마의 조사가 가능한 일정한 거리로 되어 있다.

또한, 복수매의 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에 몰드(7)의 일정한 부위를 반복해서 사용함으로써, 순서대로 복수회의 전사를 행하는 경우, 전사의 횟수에 따라서, 플라스마 유닛(55)에 의한 전사에 사용된 몰드(7)의 부위에의 플라스마의 조사량(조사 횟수, 조사 강도 중 적어도 어느 것)을 변화시켜도 된다.

더욱 상세하게 설명한다. 도 12에서 나타내는 바와 같이, 자외선 경화 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리가 종료된 후에, 이 박리가 된 몰드(7)에, 플라스마 유닛(55)으로부터 플라스마를 조사한다. 몰드(7)의 클리닝은, 몰드(7)의 박리가 종료된 후에, 원단 몰드(43)와 권취 롤(47)에 의해 몰드(7)의 권취와 조출을 적시에 행하여, 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에의 전사에 사용된 몰드(7)의 부위의 전체에 플라스마를 조사함으로써 이루어진다. 클리닝된 몰드(7)의 부위는, 다음 전사에 다시 사용된다.

이와 같이 하여, 전사에 사용된 몰드(7)의 부위는, 플라스마 조사에 의해 클리닝되는 것과, 다시 전사에 사용되는 것을 반복한다. 이 경우에 있어서, 몰드(7)의 클리닝은, 전사에 사용된 횟수가 증가함에 따라서 유념해서 행해진다.

예를 들어, 1회째의 전사가 된 후에는, 도 12에서 나타내는 상태로부터, 원단 몰드(43)와 권취 롤(47)에 의해 몰드(7)의 권취와 조출을 1 왕복만 행하고, 이 때, 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에의 전사에 사용된 몰드(7)의 부위의 전체에 플라스마를 조사한다.

또한, 상기 플라스마의 조사는, 몰드(7)의 권취와 조출의 1 왕복의 동작의 양쪽으로 행해도 되고, 몰드(7)의 권취와 조출의 1 왕복의 동작 중 어느 한쪽으로 행해도 된다.

동일하게 하여, 2회째의 전사가 된 후에는, 도 12에서 나타내는 상태로부터, 몰드(7)의 권취와 조출의 왕복 동작을 2 왕복 행하고, 이 때, 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에의 전사에 사용된 몰드(7)의 부위의 전체에 플라스마를 조사한다.

또한, 동일하게 하여, 3회째 이후의 전사에 있어서도, 전사의 횟수와 동일한 횟수의 몰드(7)의 권취와 조출의 왕복 동작을 행하고, 이 때, 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)에의 전사에 사용된 몰드(7)의 부위의 전체에 플라스마를 조사한다. 그리고, 소정의 횟수(예를 들어 5회)의 전사가 되었을 때, 원단 몰드(43)로부터 권취 롤(47)에 몰드(7)를 보내고, 전사에 사용되는 몰드(7)의 부위를 교환한다.

이와 같이, 전사의 횟수에 따라서, 플라스마 유닛(55)에 의한 몰드(7)에의 플라스마의 조사량을 변화시킴으로써, 전사 횟수가 증가할 때마다 오염이 심해지는 몰드(7)를 적절하게 클리닝할 수 있다.

또한, 자외선 경화 수지(5)로부터의 박리가 된 몰드(7)의 부위의 오염을 검출하기 위한 몰드 검출부(도시하지 않음)를 설치해도 된다. 몰드 검출부로서, 예를 들어 투과형 광전 센서나 반사형 광전 센서 등을 사용할 수 있다.

그리고, 몰드 검출부에서의 검출 결과에 따라서, 플라스마 유닛(55)에 의한 몰드(7)의 클리닝이 불충분한지 여부를 판단하도록 구성해도 된다.

예를 들어, 플라스마 유닛(55)에 의한 몰드(7)의 클리닝을 모두 마친 후, 몰드 검출부에서 검출한 결과, 자외선 경화 수지(5)로부터의 박리가 된 몰드(7)의 부위의 오염이 소정의 역치보다 심한 경우(예를 들어 잔존 수지의 양이 소정의 값을 초과한 경우), 플라스마 유닛(55)에 의한 몰드(7)의 클리닝이 불충분하다고 판단하여, 몰드(7)의 교환을 하도록 구성해도 된다.

또한, 몰드 검출부에 의해, 자외선 경화 수지(5)로부터의 박리가 된 몰드(7)의 부위에 있어서의 전사 패턴(9)의 혼란(예를 들어 결손 등의 문제)을 검출해도 된다. 즉, 플라스마 유닛(55)에 의한 몰드(7)의 클리닝을 모두 마친 후, 몰드 검출부에서 검출한 결과, 자외선 경화 수지(5)로부터의 박리가 된 몰드(7)의 부위의 전사 패턴(9)의 형상이 소정의 역치보다도 무너진 경우, 몰드(7)의 교환을 행하도록 구성해도 된다.

또한, 도공부(15)와 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)는, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 대하여 상대적으로 동시에 이동하지만, 이 이동 시, 플라스마 유닛(55)에서 기판(3)에 플라스마를 조사하면서, 도공부(15)에서 기판(3)에 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공하도록 구성해도 된다.

더욱 설명하면, 도공부(15)와 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)는, X축 방향에서, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 대하여 함께 이동하도록 되어 있다. 또한, 도공부(15)는 X축 방향에서, 플라스마 유닛(55)보다도 전방측에 위치하고 있다.

그리고, 도공부(15)와 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)가 도 6에서 나타내는 바와 같이, 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)보다도 전방측에 위치하고 있는 상태로부터, 도공부(15)와 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)를 후방측으로 이동할 때, 먼저 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)로부터 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 플라스마를 조사하고, 이 직후에, 도공부(15)에서 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공하도록 구성해도 된다.

또한, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)로부터 기판(3)에 조사되는 플라스마에서는, 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 경화되지 않게 되어 있지만, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)로부터 기판(3)에 조사되는 플라스마로 미경화의 자외선 경화 수지(5)가 경화될 우려가 있는 경우에는, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)로부터 조사되는 플라스마를 차단하는 실드(도시하지 않음)를 설치하고, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)로부터 조사되는 플라스마가, 도공부(15)에서 도공된 미경화의 자외선 경화 수지(5)에 도달하지 않도록 한다.

도공부(15)와 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)가 기판 설치부(13)에 설치되어 있는 기판(3)에 대하여 동시에 이동하고, 플라스마 유닛(55)에서 기판(3)에 플라스마를 조사하면서, 도공부(15)에서 기판(3)에 미경화의 수지(5)를 도공하므로, 기판(3)의 습윤성 개선과 기판(3)에의 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 도공을 거의 동시에 행할 수 있어, 전사에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.

또한, 플라스마 유닛(55)이, 전사 후에 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)로부터 박리된 몰드(7)에도 플라스마를 조사하도록 구성되어 있지만, 구동부(59)가 도공부(15)에 지지되어 있음으로써, X축 방향에서 도공부(15)와 헤드(57)와 구동부(59)가 동시에 함께 이동하도록 되어 있다.

플라스마 유닛(55)의 구동부(59)에 의해 구동된 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)로부터, 기판(3)과 전사 후에 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)로부터 박리된 몰드(7)에 플라스마가 조사되도록 구성되어 있음으로써, 플라스마 유닛(55)의 구동부(59)나 헤드(57)가 공통화되어 있게 된다.

여기서, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)의 공통화에 대하여 상세하게 설명한다.

플라스마 유닛(55)에 의해 플라스마가 조사되는 기판(3)의 면과, 플라스마 유닛(55)에 의해 플라스마가 조사되는 몰드(7)의 면과는 서로 교차하고 있다.

플라스마 유닛(55)에 의해 플라스마가 조사되는 기판(3)의 면은, 예를 들어 Z축 방향에 대하여 직교하고 있는 평면이며, 플라스마 유닛(55)에 의해 플라스마가 조사되는 몰드(7)의 면은, 예를 들어 X축 방향에 대하여 직교하고 있는 평면이다. 이와 같이, 플라스마 유닛(55)에 의해 플라스마가 조사되는 기판(3)의 면과, 플라스마 유닛(55)에 의해 플라스마가 조사되는 몰드(7)의 면과는 서로 직교하고 있다.

헤드(57)는 도공부(15) 등에 대하여 회동 위치 결정 가능하게 되어 있다. 기판(3)의 면에 헤드(57)로부터 플라스마를 조사할 때의 헤드(57)의 자세는, 몰드(7)의 면에 헤드(57)로부터 플라스마를 조사할 때의 헤드(57)의 자세에 대하여, 소정의 각도(예를 들어 90°) 회동되게 구성되어 있다.

더욱 설명하면, 플라스마 유닛(55)의 헤드(57)는 Y축 방향으로 연장되어 있는 축(C1)을 회동 중심으로 하여, 예를 들어 90°의 각도로 회동 위치 결정되도록 제1 지지체(73)에 지지되어 있다. 이 회동 위치 결정이 됨으로써, 플라스마를 발생하는 방향을, X축 방향 후방측과 Z축 방향 하측으로 전환할 수 있다.

그리고, 기판(3)의 면에 헤드(57)로부터 플라스마를 조사할 때에는, Z축 방향 하측을 향해 플라스마를 발생하고, 몰드(7)의 면에 헤드(57)로부터 플라스마를 조사할 때에는, X축 방향 후방측을 향해 플라스마를 발생한다.

기판(3)의 면에 헤드(57)로부터 플라스마를 조사할 때의 헤드(57)의 자세가, 몰드(7)의 면에 헤드(57)로부터 플라스마를 조사할 때의 헤드(57)의 자세에 대하여, 소정의 각도 회동되어 있으므로, 하나의 헤드(57)를 사용하여, 서로가 다른 위치나 자세에 있는 기판(3)과 몰드(7)에 적확하게 플라스마를 조사할 수 있다.

이어서, 몰드 설치 보조부(61)를 사용한 전사 장치(1)에의 몰드(7)의 설치에 대하여 설명한다.

초기 상태로서, 도 13에서 나타내는 바와 같이, 제2 지지체(75)가 후단부 위치에 위치하고 있고, 몰드 설치 보조 부재(69)가 전단부 위치에 위치하고 있으며, 원단 몰드 설치부(45)에는, 원단 몰드(43)가 설치되지 않은 것으로 한다.

상술한 바와 같은 초기 상태에서, 원단 몰드(43)의 코어재(63)를 원단 몰드(43)에 설치하고(도 14 참조), 원단 몰드(43)로부터 몰드(7)를 적절히 연장 돌출시켜, 몰드 지지부(65)를 몰드 설치 보조 부재(69)에 일체적으로 설치한다(도 15 참조).

계속해서, 몰드 설치 보조 부재(69)를, 원단 몰드(43)로부터 몰드(7)를 적절히 연장 돌출시키면서 후방측으로 이동하여 후단부 위치에 위치시킨다(도 16 참조). 이 이동 시, 원단 몰드(43)와 몰드 지지부(65) 사이에서 연장 돌출되어 있는 몰드(7)가 전사 롤러(51)와 가이드 롤러(85)에 감아 걸린다.

계속해서, 몰드(7)의 선단부를, 몰드 지지부(65)로부터 떼어내어, 권취 롤(47)의 코어재(67)에 고정시킨다(도 17 참조).

전사 장치(1)에 의하면, 잉크젯 헤드(31)를 사용하여 미경화의 수지(5)를 기판(3)에 도공하므로, 기판(3)에 도공되는 미경화의 수지(5)의 도공 정밀도(예를 들어, 자외선 경화 수지(5)의 막 두께의 정밀도)를 양호한 것으로 할 수 있다. 즉, 스프레이 등의 다른 도공 방법을 사용하는 경우보다도, 얇으며 양호한 정밀도로 수지(5)를 기판(3)에 설치할 수 있다.

수지(5)의 막 두께의 정밀도를 양호한 것으로 함으로써, 전사 전의 수지(5)의 체적과 전사 후의 수지(5)의 체적을 거의 동등하게 할 수 있고, 전사 후에 있어서의 잔막(11)의 두께를 최대한 얇게 하거나, 잔막(11)의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 전사 장치(1)에 의하면, 잉크젯 헤드(31)가 복수 설치되어 있기 때문에, 수지(5)의 도공이 필요한 기판(3)의 개소에만, 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 도공을 할 수 있다. 예를 들어, 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 토출하는 잉크젯 헤드(31)와 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 토출하지 않는 잉크젯 헤드(31)를 설정할 수 있어, 기판(3)의 사이즈가 변경되어도 유연하게 대응할 수 있다. 또한, 1회의 전사로 복수의 전사 패턴(9)을 전사하는 경우(예를 들어, 1매의 기판(3)에서 4개 취득 또는 8개 취득을 행하는 경우), 8개 취득으로부터 4개 취득하도록 몰드(7)의 형태가 변화되어도 유연하게 대응할 수 있다.

또한, 전사 장치(1)에 의하면, 복수의 잉크젯 헤드(31)가 번갈아 배치되어 있으므로, 기판(3)에 미경화의 자외선 경화 수지(5)를 도공했을 때, 잉크젯 헤드(31) 사이에 간극(수지(5)가 도공되지 않은 부위)이 발생하는 것이 방지된다.

또한, 전사 장치(1)에 의하면, 도 20에서 나타내는 바와 같이, 기판(3)에 도공되는 미경화의 자외선 경화 수지(5)가, 몰드(7)에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴(9)에 대응한 형상으로 되어 있으므로, 전사를 행할 때에 있어서의 미경화의 자외선 경화 수지(5)의 유동량이 적어지고, 잔막(11)의 발생 등을 한층 억제할 수 있음과 함께, 수지(5)에 형성된 전사 패턴(9)의 형상이 샤프해져 형상 정밀도가 향상된다.

또한, 전사 장치(1)에 의하면, 전사 롤러(51)가 전방측으로 이동하고 있을 때, 및 전사 롤러(51)가 후방측으로 이동하고 있을 때, 자외선 경화 수지(5)에 자외선을 조사하므로, 자외선 경화 수지(5)에 자외선을 조사하는 시간을 길게 취할 수 있어, 큰 출력의 자외선 발생 장치(53)를 사용하지 않고(자외선 발생 장치(53)를 대형화하지 않고), 자외선 경화 수지(5)를 확실하게 경화시킬 수 있다.

또한, 전사 장치(1)에 의하면, 전사 후에 기판(3)의 자외선 경화 수지(5)로부터 박리된 몰드(7)의 미세한 전사 패턴(9)을 플라스마 유닛(55)으로 클리닝하므로, 몰드(7)를 복수회 반복하여 사용하는 경우에, 몰드(7)의 이형성의 악화나, 기판(3)의 수지(5)에 전사되는 패턴의 형태의 악화를 방지할 수 있다.

또한, 전사 장치(1)에 의하면, 플라스마 유닛(55)으로 기판(3)의 습윤성을 개선하도록 구성되어 있으므로, 기판(3)의 친수성을 증가시켜 기판(3)과 수지(5)의 밀착 강도를 높일 수 있다.

또한, 전사 장치(1)에 의하면, 플라스마 유닛(55)이, 부피가 커지지 않고 설치 용적이 작은 도공부(15)에 지지되어 있으므로, 크고 부피가 커지는 플라스마 유닛(55)의 구동부(59)의 배치가 용이하게 되어 있다.

또한, 전사 장치(1)에 의하면, 원단 몰드 설치부(45)에 설치되어 있는 원단 몰드(43)로부터 조출되는 몰드(7)를, 조출되는 부위에서의 주름의 발생을 억제하면서, 전사 롤러(51)에 감아 걸어, 권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47)까지 가이드하는 몰드 설치 보조부(61)가 설치되어 있기 때문에, 몰드(7)의 전사 장치(1)에의 정확한 설치를, 숙련자를 요구하지 않고, 쉬우면서도 빨리 행할 수 있다.

그런데, 상기 설명에서는, 1매의 기판(3)에 1회의 전사를 행함으로써, 1매의 기판(3)의 수지(5)에 하나의 전사 패턴(9)이 전사되는 것으로 하였지만, 1매의 기판(3)에 1회의 전사를 행함으로써, 복수의 전사 패턴(9)이 1매의 기판(3)의 수지(5)에 전사되게 구성되어 있어도 된다.

1매의 기판(3)의 수지(5)에 복수의 전사 패턴(9)이 전사된 경우, 1매의 기판(3)을 하나의 전사 패턴(9)이 전사된 부위마다 분할하여, 복수매의 제품 또는 반제품을 얻게 된다.

예를 들어, 1매의 기판(3)의 수지(5)가 설치되어 있는 4개 부위의 각각에 전사 패턴(예를 들어 동일한 전사 패턴)(9)이 1회의 전사로 전사된 경우, 이 기판(3)을 4 등분으로 분할함으로써, 4매의 제품 또는 반제품을 얻게 된다.

또한, 상기 설명에서는, 원단 몰드(43)와 권취 롤(47) 사이에서 연신되어 있는 몰드(7)의 부위의 일부를 전사 롤러(51)에 감아서 전사를 행하였지만, 1매의 몰드(길이가 전사 롤러(51)의 외주의 길이와 동일한 정도의 짧은 몰드)(7)를, 전사 롤러(51)의 외주에 고정시켜두고(일체적으로 감아 두고) 전사를 행해도 된다. 이 경우, 몰드(7)는 전사 롤러(51)에 대하여 착탈 가능(교환 가능)하게 설치되어 있게 된다.

즉, 기판(3)과 기판(3)에 도공되어 얇은 막상으로 되어 있는 미경화의 수지(5)에 전사 롤러(51)를 사용하여 몰드(7)를 누른 상태에서 전사 롤러(51)를 X축 방향에서 기판에 대하여 상대적으로 기판(3)의 일단부로부터 타단부를 향하여 이동함으로써, 전사 중 수지(5)에의 몰드(7)의 누름, 전사 중 수지(5)로부터의 몰드(7)의 박리가 되도록 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 수지(5)로서 열가소성 수지가 사용되는 경우가 있다.

또한, 상술한 것을 방법의 발명으로서 파악해도 된다.

즉, 기판(3)에 도공되어 있는 수지(5)에 몰드(7)에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴(9)을 전사하는 전사 방법이며, 미립자상의 미경화 수지(5)를 잉크젯 헤드(31)로부터 방출함으로써 기판(3)에 수지(5)를 도공하는 도공 공정을 갖는 전사 방법으로서 파악해도 된다.

또한, 기판(3)에 도공되어 있는 수지(5)에 몰드(7)에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴(9)을 전사하는 전사 방법이며, 전사를 행한 후에 기판(3)의 수지(5)로부터 박리된 몰드(7)의 미세한 전사 패턴(9)에 플라스마를 조사하는 플라스마 조사 공정을 갖는 전사 방법으로서 파악해도 된다.

또한, 기판(3)에 도공되어 있는 수지(5)에 몰드(7)에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴(9)을 전사하는 전사 방법이며, 몰드(7)가 감겨 있는 원단 몰드(43)를, 원단 몰드 설치부(45)에 설치하는 원단 몰드 설치 공정과, 원단 몰드 설치 공정에서 설치된 원단 몰드(43)로부터 조출되는 몰드(7)를 전사 롤러(51)에 감아 거는 몰드 감아 걸기 공정과, 원단 몰드 설치 공정에서 원단 몰드 설치부(45)에 설치된 원단 몰드(43)로부터 조출되어 전사 롤러(51)에 감아 걸린 몰드(7)의 단부를, 권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47)에 설치하는 몰드 권취 롤 설치 공정과, 원단 몰드 설치 공정에서의 원단 몰드(43)의 설치 후, 몰드 감아 걸기 공정, 몰드 권취 롤 설치 공정을 행할 때, 원단 몰드 설치부(45)에서 설치되어 있는 원단 몰드(43)로부터 조출되는 몰드(7)를, 조출되고 있는 부위에서의 주름의 발생을 억제하면서 조출되고 있는 부위가 팽팽해진 상태에서, 전사 롤러(51)에 감아 걸어, 권취 롤 설치부(49)에 설치되어 있는 권취 롤(47)의 근방까지, 몰드 설치 보조부(61)를 사용하여 가이드하는 몰드 가이드 공정을 갖는 전사 방법으로서 파악해도 된다.

이 경우, 원단 몰드 설치 공정, 몰드 감아 걸기 공정, 몰드 권취 롤 설치 공정이 행해지기 전의 몰드(7)는, 길이 방향의 일단부측의 대부분이 원단 몰드(43)의 코어재(63)에 감아 걸려 있으며, 길이 방향의 타단부측의 약간의 부위가, 원단 몰드(43)으로부터 연장 돌출되어 있으며, 이 연장 돌출되어 있는 부위의 가일층의 선단부가, 몰드 지지부(65)에 설치되어 있다. 몰드 설치 보조부(61)는, 원단 몰드 설치부(45)와 전사 롤러(51)와 권취 롤 설치부(49)에 대하여 이동 가능한 몰드 설치 보조 부재(61)를 구비하고, 몰드 설치 보조 부재(69)에 몰드 지지부(65)가 설치된다.

1 전사 장치
3 기판
5 수지
7 몰드
9 전사 패턴
11 잔막
13 기판 설치부
15 도공부
17 몰드 설치부
19 누름부
21 수지 경화부
23 박리부
25 기판 설치체
27 홈
29 공기 흡인 구멍
31 잉크젯 헤드
31A 제1 잉크젯 헤드
31B 제2 잉크젯 헤드
31C 제3 잉크젯 헤드
31D 제4 잉크젯 헤드
33 하우징
35 수지 방출 부위
39 메모리
41 제어부
43 원단 몰드
45 원단 몰드 설치부
47 권취 롤
49 권취 롤 설치부
51 전사 롤러
53 자외선 발생 장치
55 플라스마 유닛
57 헤드
59 구동부
61 몰드 설치 보조부
63 코어재
65 몰드 지지부
67 코어재
69 몰드 설치 보조 부재
71 베이스체
73 제1 지지체
75 제2 지지체
77 제3 지지체
79 제1 축 부재
81 간지
83 간지 권취 롤
85 가이드 롤러
87 제2 축 부재
89 간지 공급 롤
91 전사 롤러 가이드부
93 경사 부재
93A 후방측 경사 부재
93B 전방측 경사 부재
95 기판 설치체 걸림 결합 부위
97 전사 롤러 걸림 결합 부위
99 기단측 부위
101 선단측 부위
105 볼록부

Claims (16)

1. 기판에 도공되어 있는 수지에, 몰드에 형성되어 있는 미세한 전사 패턴을 전사하기 위한 전사 장치이며,
   미경화의 상기 수지를 상기 기판에 도공하기 위한 도공부와,
   상기 기판이 위치 결정되어 일체적으로 설치되는 기판 설치부와,
   시트상의 상기 몰드가 설치되는 몰드 설치부와,
   상기 기판에 도공되어 있는 상기 수지에 상기 몰드에 형성되어 있는 상기 미세한 전사 패턴을 전사하기 위한 전사 롤러와,
   상기 기판에 도공되어 있는 상기 수지에 상기 몰드에 형성되어 있는 상기 전사 패턴을 전사한 후에, 상기 기판의 상기 수지로부터 박리된 상기 몰드에 플라스마를 조사하여 상기 몰드를 클리닝하기 위한 플라스마 유닛을
   구비하고,
   상기 기판의 상기 수지로부터 박리된 상기 몰드는, 상기 플라스마 유닛에 의해 플라스마를 조사하여 클리닝된 후에, 다시 상기 전사 패턴의 전사에 사용되고,
   상기 몰드가 감겨 있는 원단 몰드와,
   상기 원단 몰드로부터 조출되고 있는 상기 몰드를 권취하는 권취 롤을 더 구비하고,
   상기 전사 롤러에는, 상기 원단 몰드와 상기 권취 롤 사이에서 연신되어 있는 상기 몰드가 감아 걸려 있으며,
   상기 전사 롤러를 사용하여 상기 몰드를 상기 수지에 누른 상태에서 상기 전사 롤러를 이동하는 롤 전사에 의해, 상기 수지에의 상기 몰드의 누름과, 상기 수지로부터의 상기 몰드의 박리가 실행되고,
   상기 수지로부터의 상기 몰드의 박리가 종료된 후에, 상기 플라스마 유닛은, 박리된 상기 몰드에 플라스마를 조사하고,
   상기 플라스마 유닛에 의한 상기 몰드의 클리닝이 불충분한 경우에는, 상기 권취 롤이 상기 수지로부터의 박리가 된 상기 몰드의 부위를 권취하고, 상기 몰드의 새로운 부위가 상기 원단 몰드로부터 조출되는
   것을 특징으로 하는, 전사 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 플라스마 유닛은, 상기 몰드가 상기 전사를 행한 횟수에 따라서, 상기 몰드에의 플라스마의 조사량을 바꾸도록 구성되어 있는
   것을 특징으로 하는, 전사 장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 수지로부터의 박리가 된 상기 몰드의 오염을 검출하기 위한 몰드 검출부를 더 구비하고,
   상기 몰드 검출부에서의 검출 결과에 따라서, 상기 플라스마 유닛에 의한 상기 몰드의 클리닝이 불충분한지 여부를 판단하는
   것을 특징으로 하는, 전사 장치.
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6. 삭제
7. 삭제
8. 삭제
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11. 삭제
12. 삭제
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15. 삭제
16. 삭제

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