CN109676267A

CN109676267A - 激光装置

Info

Publication number: CN109676267A
Application number: CN201811210590.5A
Authority: CN
Inventors: 李正浩; 朴宰范; 洪京浩; 姜志勋; 权度均; 林钟熙; 韩圭完
Original assignee: Samsung Display Co Ltd
Current assignee: Samsung Display Co Ltd
Priority date: 2017-10-17
Filing date: 2018-10-17
Publication date: 2019-04-26
Also published as: KR20190043190A; KR102382051B1

Abstract

根据本发明的实施例的激光装置包括：激光发生器，产生激光束；平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及下部吸入部，布置于所述平台下部，并吸入外部空气，其中，在所述平台定义有与所述下部吸入部连接的下部吸入孔及至少一个流入槽，在平面上，所述下部吸入孔具有与所述基板安置区域全面重叠的框架形状，在平面上，所述流入槽的一部分与所述基板安置区域的边缘位置重叠而与所述下部吸入孔连接，所述流入槽的其余一部分与所述基板安置区域不重叠并吸入所述外部空气。

Description

激光装置

技术领域

本发明涉及一种激光装置，尤其涉及一种可靠性得到提高的激光装置。

背景技术

激光装置将从激光光源射出的激光束利用光学系统照射到对象物，并可以利用激光束的照射执行针对对象物的标记(marking)、曝光(exposure)、蚀刻(etching)、穿孔(punching)、划线(scribing)、划切(dicing)等加工作业。在进行划切工序的情况下，即，切割对象物的情况下，从对象物可能产生微细粉尘(Fume)等异物。

发明内容

本发明的目的在于提供一种可靠性得到提高的激光装置。

所述平台包括：中央支撑部，与所述基板安置区域全面重叠；以及周边支撑部，具有包围所述中央支撑部的框架形状，所述下部吸入孔定义于所述中央支撑部与所述周边支撑部之间，所述流入槽定义于与所述下部吸入孔相邻的所述周边支撑部。

所述流入槽从所述周边支撑部的上表面向下部方向倾斜地形成，并与所述下部吸入孔连接。

在与所述基板安置区域重叠的所述周边支撑部定义有至少一个周边固定孔，所述周边固定孔与所述下部吸入部连接。

所述流入槽及所述周边固定孔分别被提供多个，所述流入槽及所述周边固定孔沿着所述基板安置区域的边缘位置而交替布置。

在所述中央支撑部定义至少一个中央固定孔，所述中央固定孔与所述下部吸入部连接。

所述中央支撑部的上表面及所述周边支撑部的上表面布置在相同的平面上。

在所述周边支撑部的内侧定义有安置槽，所述安置槽与所述基板安置区域重叠。

所述中央支撑部的上表面以低于所述周边支撑部的上表面的方式布置，所述安置槽的上表面布置在与所述中央支撑部的上表面相同的平面上。

所述中央支撑部包括多个子支撑部，在所述多个子支撑部之间定义有与所述下部吸入部连接的内部吸入管线。

所述子支撑部彼此相隔地布置。

所述子支撑部中的至少一个子支撑部包括：排出管，布置于所述子支撑部的内部，并向所述内部吸入管线供应空气；排出口，连接所述子支撑部的内侧面和所述排出管，并将从所述排出管提供的空气传递至所述内部吸入管线。

还包括布置于所述平台的上部的上部吸入部。

所述吸入部包括沿着垂直于所述平面的方向延伸的至少一个吸入管。

所述上部吸入部包括以与所述平面平行的方式延伸的至少一个吸入管。

所述上部吸入部还包括：引导框架，具有包围所述平台的边缘位置的多个侧壁，在所述侧壁中的至少一个定义有侧部吸入孔，在所述侧部吸入孔连接有所述吸入管。

所述引导框架包括：外部框架，连接有所述吸入管，且下端与所述平台的上表面接触；内部框架，从所述外部框架的上部延伸而向下部弯曲，所述内部框架的下端与平台的上表面相隔。

还包括：平台移动部，与所述平台连接而使所述平台移动。

根据本发明的实施例的激光装置包括：激光发生器，产生激光束；平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及下部吸入部，布置于所述平台下部而吸入外部空气，其中，在所述平台的内侧定义有与所述下部吸入部连接的吸入空间，在平面上，所述吸入空间具有框架形状，所述吸入空间的内侧边缘与所述基板安置区域重叠，所述吸入空间的外侧边缘具有一部分向所述外侧突出的形状，所述外侧边缘的所述一部分与所述基板安置区域不重叠。

根据本发明的实施例的激光装置包括：激光发生器，产生激光束；平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及下部吸入部，布置于所述平台下部，所述平台包括：中央支撑部，与所述基板安置区域全面重叠；及周边支撑部，具有包围所述中央支撑部的框架形状，并与所述中央支撑部相隔而布置，由所述中央支撑部及所述周边支撑部之间的相隔的空间定义的下部吸入孔与所述下部吸入部连接，在所述周边支撑部的内侧定义有从所述周边支撑部的上表面向下部倾斜地形成而与所述下部吸入孔连接的多个流入槽，所述流入槽分别与所述基板安置区域部分重叠。

根据本发明的实施例，可以提高激光装置的可靠性。

附图说明

图1是示意性地示出根据本发明的实施例的激光装置的模式图。

图2是图示于图1的激光装置的立体图。

图3是根据本发明的实施例的平台的平面图。

图4是示出安置有根据本发明的实施例的对象基板的平台的形状的图。

图5是图示于图3及图4的I-I’线的剖面图。

图6是图示于图3及图4的Ⅱ-Ⅱ’线的剖面图。

图7是根据本发明的另一实施例的平台的平面图。

图8是图示于图7的平台的剖面图。

图9是根据本发明的另一实施的平台的立体图。

图10是图示于图9的I-I”线的剖面图。

图11是图示于图9的Ⅱ-Ⅱ”线的剖面图。

图12是根据本发明的另一实施例的平台的立体图。

图13是图示于图12的平台的平面图。

图14是图示于图12的平台的剖面图。

图15是根据本发明的另一实施例的激光装置的剖面图。

图16是根据本发明的另一实施例的激光装置的立体图。

图17是图示于图16的激光装置的剖面图。

图18是根据本发明的另一实施例的激光装置的立体图。

图19是图示于图18的激光装置的剖面图。

符号说明

1000：激光装置 100：激光发生部

200：平台 300：下部吸入部

400：平台移动部 M：方向转换部件

LSR：激光束 LNS：光学系统

SUB：对象基板 CL：切割线

SLA：基板安置区域 210：中央支撑部

220：周边支撑部 LSH：下部吸入孔

IG：流入槽 EFH：周边固定孔

CFH：中央固定孔 SG：安置槽

STB：子支撑部 ISL：内部吸入管线

EXT：排出口 AP：排出管

400：上部吸入部 USH：上部吸入孔

FM：引导框架 IFM：内部框架

OFM：外部框架 SSH：侧部吸入孔

SCP：吸入管

具体实施方式

若参照附图以及详细地描述的实施例，则本发明的优点、特征以及实现此的方法将会变得明确。然而，本发明并不局限于以下公开的实施例，其可以体现为彼此不同的多样的形态，只不过本实施例是为了使本发明的公开变得完整，并对在本发明所属的技术领域中具有通常的知识的人员完整地告知本发明的范围而提供的，本发明仅仅由权利要求记载的范围来得到定义。在说明书全文中，相同的附图符号表示相同的构成要素。

当描述为元件(elements)或层位于另一元件或层的“上面(on)”或“上方(on)”时，其不仅包括位于另一元件或层的紧邻上面的情形，还包括中间夹设有其他层或其他元件的情形。

相反，当描述为元件位于另一部分的“直接上面(directly on)”或“紧邻上面”时表示中间没有夹设其他元件或层。“和/或”表示包括提及的事项的各自以及一个以上的所有组合。

“下面(below)”、“在……之下(beneath)”、“下部(lower)”、“在……之上(above)”、“上部(upper)”等空间上的相对术语如图所示地可以为了方便地描述一个元件或构成要素与另一元件或构成要素之间的相关关系而使用。空间上的相对的术语除了图中所示的方向之外，在使用或操作时还应当被理解为包括元件的彼此不同的方向的术语。在整个说明书中，相同的附图符号表示相同的构成要素。

虽然第一、第二等术语为了说明多样的元件、构成要素和/或部分而使用，但是这些元件、构成要素和/或部分显然并不局限于上述的术语。上述的术语只是为了将一个元件、构成要素和/或部分区别于另一元件、构成要素和/或部分而使用。因此，在本发明的技术思想范围内，以下提及的第一元件、第一构成要素或第一部分显然也可以为第二元件、第二构成要素或第二部分。

本说明书中记载的实施例将参考作为本发明的理想的示意图的平面图及剖面图而进行说明。因此，示意图的形态可能由于制造技术和/或允许误差等而变形。因此，本发明的实施例也包括根据制造工序生成的形态的变化，而不应局限于图示的特定形态。因此，附图中例示的区域具有示意性的属性，且附图中例示的区域的形状用于举例说明元件的区域的特定形态，不应用于限制本发明的范围。

以下，参照附图对本发明的优先实施例进行更详细的说明。

图1是示意性地示出根据本发明的实施例的激光装置的模式图。图2是图示于图1的激光装置的立体图。为了便于说明，在图2中仅示出了平台200及下部吸入部300。

根据本发明的实施例的激光装置1000可以用于标记工序(Marking)或切割工序(Cutting)。具体地，根据本发明的激光装置1000在对象基板SUB上照射激光束LSR而形成切割线CL或引导线，或者可以切割对象基板SUB。作为本发明的一示例，在以下介绍的附图中，示出用于切割工序的激光装置1000。但是，根据本发明的激光装置1000不限于特定工序，可以根据被加工物的种类及用途而执行多种工序。

参照图1及图2，根据本发明的实施例的激光装置1000包括激光发生器100、平台200及下部吸入部300。

激光发生器100产生激光束LSR。例如，激光发生器100可以产生准分子激光(Eximer Laser)或固体激光(Solid Laser)等。图1中仅示出了一个激光发生器100，但本发明不限于激光发生器100的数量。本发明的其他实施例中激光发生器100可以被提供多个。

对象基板SUB被安置于平台200上。安置对象基板SUB的平台200上的区域被定义为基板安置区域SLA。从激光发生器100产生的激光束LSR可以照射到安置于平台200上的对象基板SUB。随着激光束LSR沿着对象基板SUB的切割线CL照射，对象基板SUB可以被切割。

根据本发明的实施例的激光装置1000还可以包括至少一个方向转换部件M及光学系统LNS。

方向转换部件M布置在激光发生器100及平台200之间。方向转换部件M起到改变激光束LSR的行进方向以使从激光发生器100提供的激光束LSR朝向平台200的作用。例如，方向转换部件M可以是振镜(Galvanometer)或反射镜(Mirror)。

光学系统LNS布置在激光发生器100及平台200之间。图1中，示出了在光路径上，光学系统LNS布置在方向转换部件M的后方的情形，但是，本发明并不特别地限定光学系统LNS和方向转换部件M的布置关系。

光学系统LNS可以改变入射的激光束LSR的形状及大小。并且，光学系统LNS可以改变入射的激光束LSR的焦点。例如，光学系统LNS可以包括至少一个透镜。但是，本发明不限于此。在本发明的另一实施例中，光学系统LNS可以包括多个透镜，在又一实施例中，光学系统LNS还可以包括分束器(未图示)及反射镜(未示出)等多种光学部件。

在本发明的其他实施例中，可以省略方向转换部件M或光学系统LNS。

下部吸入部300布置于平台200的下部。可以借助于下部吸入部300向平台200施加吸力。虽未图示，下部吸入部300可以包括控制下部吸入部300的吸力的真空控制部(未示出)。

关于平台200及下部吸入部300，以下，在图2至图6中进行更详细的说明。

根据本发明的实施例的激光装置1000还可以包括平台移动部400。平台200可以借助平台移动部400从下部吸入部300脱离。

并且，虽然没有在附图中示出，但是根据本发明的实施例的激光装置1000还可以包括基板移动部件(未示出)。基板移动部件(未示出)可以起到将对象基板SUB安置于平台200并移动加工完毕的对象基板SUB的作用。

图3是根据本发明的实施例的平台的平面图，图4是示出安置有根据本发明的实施例的对象基板的平台的形状的图。图5是图示于图3及图4的I-I’线的剖面图，图6是图示于图3及图4的Ⅱ-Ⅱ’线的剖面图。

参照图2至图6，根据本发明的实施例的平台200具有四边形形状。但是，本发明不被特殊地限制于平台200的形状。平台200包括周边支撑部210及中央支撑部220。

周边支撑部210具有围绕中央支撑部220的框架形状。中央支撑部220支撑对象基板SUB。

基板安置区域SLA在平面上与中央支撑部220全面重叠，并与周边支撑部210的内侧一部分区域重叠。周边支撑部210的边缘位置区域不与基板安置区域SLA重叠。

根据本实施例，周边支撑部210的上表面布置在与中央支撑部220的上表面相同的平面上。

周边支撑部210及中央支撑部220彼此相隔地布置。周边支撑部210及中央支撑部220之间的相隔的空间被定义为下部吸入孔LSH。下部吸入孔LSH具有框架形状。下部吸入孔LSH与下部吸入部300连接。下部吸入孔LSH与基板安置区域SLA全面重叠。在对象基板SUB布置在平台200上的情况下，对象基板SUB的切割线CL可以与下部吸入孔LSH重叠。

虽未图示，但是根据本发明的另一实施例，周边支撑部210及中央支撑部220可以具有借助至少一个连接部(未示出)连接的形状。在此情况下，下部吸入孔LSH可以具有末端没有连接的框架形状。

并且，根据本发明的又一实施例，连接部(未图示)可以被提供多个。连接部(未示出)彼此相隔地形成而连接周边支撑部210及中央支撑部220。在此情况下，周边支撑部210及中央支撑部220之间可以定义有多个下部吸入孔LSH。

根据本实施例，在平面上，与下部吸入孔LSH相邻的周边支撑部210上的区域可以定义有至少一个流入槽IG。在图2至图6中，示出了在周边支撑部210定义有多个流入槽IG的形状。流入槽IG沿着下部吸入孔LSH的框架形状而以彼此相隔的方式排列。

流入槽IG与下部吸入孔LSH连接。流入槽IG及下部吸入孔LSH可以被定义为吸入空间。在本实施例中，吸入空间具有一体的形状。吸入空间的内侧边缘与基板安置区域SLA重叠。吸入空间的外侧边缘可以借助流入槽IG而具有一部分向所述外侧突出的形状。所述突出的外侧边缘的一部分不与基板安置区域SLA重叠。

具体地，流入槽IG可以分别在平面上与基板安置区域SLA部分重叠。具体地，在平面上，流入槽IG各自的内侧区域与基板安置区域SLA重叠，流入槽IG各自的外侧区域不与基板安置区域SLA重叠。因此，在平台200上安置对象基板SUB的情况下，流入槽IG的各自的所述外侧区域可以暴露于外部而不会被对象基板SUB覆盖。

根据本发明的实施例，可以在周边支撑部210上的区域定义有多个周边固定孔EFH。但是，在本发明的另一实施例中，在周边支撑部210可以仅定义有一个周边固定孔EFH。在平面上，周边固定孔EFH在周边支撑部210上的区域沿着下部吸入孔LSH的框架形状而以彼此相隔的方式排列。周边固定孔EFH可以定义于流入槽IG之间。周边固定孔EFH在平面上与基板安置区域SLA全面重叠。因此，在平台200上安置对象基板SUB的情况下，周边固定孔EFH可以被对象基板SUB覆盖。

周边固定孔EFH与下部吸入部300连接。在安置对象基板SUB的情况下，对象基板SUB可以借助从下部吸入部300施加的吸力而固定在平台200上。

根据本实施例，各个流入槽IG形成为随着朝向周边支撑部210的内侧，从周边支撑部210的上表面向下部倾斜。但是，本发明并不被各个流入槽IG的形状特殊地限制。

根据本实施例，流入槽IG的外侧区域暴露于外部而不会被对象基板SUB覆盖，因此借助从下部吸入部300施加的吸力SF，外部空气AR可以通过所述流入槽IG而被吸入到下部吸入部300。即，空气AR的流动可以被引导至朝向流入槽IG的方向。因此，当对象基板SUB被激光束LSR切割时，产生的异物及碎片可以借助所述空气AR的流动而流入流入槽IG。

其结果，根据本实施例，随着对象基板SUB被切割，可以有效地去除在对象基板SUB的上部及下部产生的异物及碎片。

图7是根据本发明的另一实施例的平台的平面图，图8是图示于图7的平台的剖面图。

为了便于说明，以与本发明的一实施例不同的点为主进行说明，并且省略的部分参照本发明的一实施例。并且，对于上文中说明的构成要素，使用相同的附图符号，并省略对于上述构成要素的重复的说明。

如图7及图8所示，根据本发明的另一实施例，可以在平台200-1的中央支撑部220-1定义有多个中央固定孔CFH。本发明并不被中央固定孔CFH的数量特别地限定。例如，在本发明的又一实施例中，可以在中央支撑部220-1仅定义有一个中央固定孔CFH。

中央固定孔CFH可以在平面上以矩阵形态排列。但是，本发明并不被中央固定孔CFH的排列形态特别地限定。中央固定孔CFH分别与下部吸入部300连接。因此，由于通过中央固定孔CFH施加到对象基板SUB的吸力SF，对象基板SUB可以固定于中央支撑部220-1。即，根据本实施例，对象基板SUB可以更有效地固定于平台200-1。

图9是根据本发明的另一实施的平台的立体图。图10是图示于图9的I-I”线的剖面图，图11是图示于图9的Ⅱ-Ⅱ”线的剖面图。

为了说明的便利，以与本发明的一实施例不同的点为主进行说明，并且省略的部分参照本发明的一实施例。并且，对于上文中说明的构成要素，使用相同的附图符号，并省略对于上述构成要素的重复的说明。

参照图9至图11，根据本发明的另一实施例的平台200-2的周边支撑部210-2的上表面可以布置成高于中央支撑部220-2的上表面。

并且，根据本实施例，在平面上，周边支撑部210-2区域中，在与基板安置区域SLA重叠的周边支撑部210-2区域中定义有安置槽SG。由于安置槽SG，在周边支撑部210-2的内侧可以形成台阶。即，安置槽SG的上表面布置在与中央支撑部220-2的上表面相同的平面上。

在对象基板SUB布置在平台200-2上的情况下，对象基板SUB可以安置于中央支撑部220-2及周边支撑部210-2的安置槽SG上。具体地，在对象基板SUB布置在平台200-2上的情况下，对象基板SUB下表面的中央区域与中央支撑部220-2的上表面接触，对象基板SUB下表面的边缘位置区域可以与安置槽SG的上表面接触。

根据本实施例，可以有效地固定对象基板SUB。因此，可以省略中央固定孔CFH。并且，由于与基板安置区域SLA重叠的平台200-2上的区域布置成低于平台200-2的最上表面，因此可以容易对齐对象基板SUB。

图12是根据本发明的另一实施例的平台的立体图。图13是图示于图12的平台的平面图。图14是图示于图12的平台的剖面图。

参照图12至图14，根据本发明的另一实施例的平台200-3的中央支撑部220-3包括多个子支撑部STB。子支撑部STB彼此相隔地布置。在图12及图13中，子支撑部STB以形成矩阵形态的方式排列，但本发明并不被子支撑部STB的排列形态特别地限定。

子支撑部STB之间的相隔的空间被定义为内部吸入管线ISL。在本实施例中，内部吸入管线ISL在平面上分别沿着一方向及垂直于所述一方向的方向而延伸。内部吸入管线ISL具有网状(Net Shape)或网格形状(MashedShape)。但是，本发明并不被内部吸入管线ISL的形态特别地限定，内部吸入管线ISL的形态可以根据子支撑部STB的排列形态而改变。内部吸入管线ISL与下部吸入部300连接。

根据本实施例，在对象基板SUB-3布置在平台200-3上的情况下，对象基板SUB-3的切割线CL-3可以在平面上与下部吸入孔LSH及内部吸入管线ISL全面重叠。即，根据本实施例的激光装置可以将对象基板SUB-3切割而分离成多个。

并且，根据本实施例的多个子支撑部STB分别包括至少一个排出管AP及排出口EXT。

排出管AP布置在子支撑部STB内部。排出管AP从外部接收空气。

排出口EXT形成于子支撑部STB的内侧面中的至少一个，排出口EXT将排出管AP连接于内部吸入管线ISL或下部吸入孔LSH。排出口EXT可以将从排出管AP提供的空气传递至内部吸入管线ISL或下部吸入孔LSH。在对象基板SUB-3布置在平台200-3上的情况下，连接于排出口EXT的内部吸入管线ISL可以与切割线CL-3重叠。

在本发明的另一实施例中，多个子支撑部STB可以均不包括排出管AP及排出口EXT。即，多个子支撑部STB中的至少一个可以不包括排出管AP及排出口EXT。

根据本实施例，在沿着对象基板SUB的最外廓区域的切割线CL-3照射激光束LSR的情况下，在所述最外廓区域的切割线CL-3产生的异物及碎片可以借助如下的诱导气流AR而被吸入到下部吸入部300，即，所述诱导气流AR根据外部的空气AR通过流入槽IG及下部吸入孔LSH被吸入下部吸入部300而形成。

并且，在最外廓区域的切割线CL-3产生的异物及碎片可以通过连接于下部吸入孔LSH的排出口EXT而被吸入到下部吸入部300。在此情况下，即使借助流入槽IG形成诱导气流，也可以防止可能在与中央支撑部220-3相邻的对象基板SUB-3的下部空间生成的涡流现象。即，根据本发明的实施例的激光装置可以将在切割对象基板SUB的工序中产生的异物及碎片有效地去除。

在沿着对象基板SUB的内侧区域的切割线CL-3照射激光束LSR的情况下，在所述内侧区域的切割线CL-3产生的异物及碎片可以借助如下的诱导气流而被吸入到吸入部300，即，所述诱导气流根据在排出管AP产生的空气通过排出口EXT及内部吸入管线ISL被吸入到下部吸入部300而形成。因此，根据本发明的实施例的激光装置在执行将对象基板SUB切割成多个的工序的情况下也可以将异物及碎片有效地去除。

图15是根据本发明的另一实施例的激光装置的剖面图。

参照图15，根据本发明的另一实施例的激光装置1000-4还包括上部吸入部500。上部吸入部500布置于平台200的上部。

上部吸入部500包括至少一个吸入管SCP。图15中示出了吸入管SCP被提供多个的形态。各吸入管SCP沿着与由平行于平台200的平面定义的平面垂直的方向延伸。各吸入管SCP可以定义有上部吸入孔USH。外部的空气可以通过上部吸入孔USH被吸入到吸入管SCP。

根据本实施例，当向对象基板SUB照射激光束LSR时，可以将在对象基板SUB的上部产生的异物及碎片有效地去除。

图16是根据本发明的另一实施例的激光装置的立体图，图17是图示于图16的激光装置的剖面图。

参照图16及图17，根据本发明的另一实施例的激光装置1000-5的上部吸入部500-5包括引导框架FM及至少一个吸入管SCP。图16及图17中，示出了以与平台200的上表面平行的方式延伸且布置在平台200的两侧的两个吸入管SCP。

引导框架FM布置在平台200的上部。在平面上，引导框架FM所占的区域包括基板安置区域SLA。基板框架FM可以具有包围基板安置区域LSA的形状。

引导框架FM可以具有多个侧壁。所述侧壁彼此连接而形成框架形状。引导框架FM使诱导气流能够在平台200上容易形成。

在引导框架FM的侧壁中的至少一个可以定义有侧部吸入孔SSH。在图16及图17中，示出了在引导框架FM的侧壁中的彼此相向的两个侧壁分别定义有侧部吸入孔SSH的情形。各侧壁吸入孔SSH可以与吸入管SCP连接。

根据本实施例，吸入管SCP沿着与照射激光束LSR的方向，即与垂直于平台200上表面的方向不同的方向形成诱导气流，因此当向对象基板SUB照射激光束LSR时，可以防止对象基板SUB的加工精度由于异物及碎片而降低的现象。

图18是根据本发明的另一实施例的激光装置的立体图，图19是图示于图18的激光装置的剖面图。

参照图18及图19，根据本发明的另一实施例的上部吸入部500-6的引导框架FM包括外部框架OFM及内部框架IFM。即，根据本实施例的引导框架FM可以具有双重侧壁。

外部框架OFM及内部框架IFM在上侧方向彼此连接。具体地，外部框架OFM布置于框架FM的外侧而具有包围内部框架IFM的形状。在外部框架OFM的侧壁中的至少一个可以定义有连接有吸入管SCP的侧部吸入孔SSH。内部框架IFM具有从外部框架OFM的上部延伸而向下部弯曲的形状。内部框架IF及外部框架OFM之间的空间被定义为诱导空间IS。

外部框架OFM的下端与平台200的上表面接触。内部框架IFM的下端从平台200的上表面向上部相隔。因此，可以在内部框架IFM的下端和平台200之间定义有开口。

根据本实施例，借助吸入管SCP而向平台200的两侧方向施加吸力。所述吸力可以在内部框架IFM及外部框架OFM之间的诱导空间形成沿着框架形状循环的诱导气流。

因此，通过切割工序而在对象基板SUB上产生的异物及碎片可以通过所述开口流入内部框架IFM及外部框架OFM之间的诱导空间。并且异物及碎片可以在所述诱导空间内随着沿框架形状循环的诱导气流而移动，从而被吸入管SCP吸入。

根据本实施例，可以将在切割对象基板SUB的工序中产生的异物及碎片有效地去除。即，可以提高激光装置1000-6的可靠性。

以上，参照实施例进行了说明，但是应当理解，本技术领域中的熟练的技术人员可以在不脱离记载于权利要求书的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行多种修改及变更。并且，本发明中公开的实施例并不用于限定本发明的技术思想，属于权利要求书记载的范围及其等同范围内的所有技术思想应被解释为被包含于本发明的权利范围内。

Claims

1.一种激光装置，包括：

激光发生器，产生激光束；

平台，定义有安置对象基板的基板安置区域；以及

下部吸入部，布置于所述平台下部，并吸入外部空气，

其中，在所述平台定义有与所述下部吸入部连接的下部吸入孔及至少一个流入槽，

在平面上，所述下部吸入孔具有与所述基板安置区域全面重叠的框架形状，

在平面上，所述流入槽的一部分与所述基板安置区域的边缘位置重叠而与所述下部吸入孔连接，

所述流入槽的其余一部分与所述基板安置区域不重叠并吸入所述外部空气。

2.如权利要求1所述的激光装置，其中，

所述平台包括：

中央支撑部，与所述基板安置区域全面重叠；以及

周边支撑部，具有包围所述中央支撑部的框架形状，

所述下部吸入孔定义于所述中央支撑部与所述周边支撑部之间，

所述流入槽定义于与所述下部吸入孔相邻的所述周边支撑部。

3.如权利要求2所述的激光装置，其中，

4.如权利要求2所述的激光装置，其中，

在与所述基板安置区域重叠的所述周边支撑部定义有至少一个周边固定孔，

所述周边固定孔与所述下部吸入部连接。

5.如权利要求4所述的激光装置，其中，

所述流入槽及所述周边固定孔分别被提供多个，

所述流入槽及所述周边固定孔沿着所述基板安置区域的边缘位置而交替布置。

6.如权利要求2所述的激光装置，其中，

在所述中央支撑部定义有至少一个中央固定孔，

所述中央固定孔与所述下部吸入部连接。

7.如权利要求2所述的激光装置，其中，

8.如权利要求2所述的激光装置，其中，

在所述周边支撑部的内侧定义有安置槽，

所述安置槽与所述基板安置区域重叠。

9.如权利要求8所述的激光装置，其中，

所述中央支撑部的上表面以低于所述周边支撑部的上表面的方式布置，

所述安置槽的上表面布置在与所述中央支撑部的上表面相同的平面上。

10.如权利要求2所述的激光装置，其中，

所述中央支撑部包括多个子支撑部，

在所述多个子支撑部之间定义有与所述下部吸入部连接的内部吸入管线。