CN109609993A - 一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法 - Google Patents
一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109609993A CN109609993A CN201811611848.2A CN201811611848A CN109609993A CN 109609993 A CN109609993 A CN 109609993A CN 201811611848 A CN201811611848 A CN 201811611848A CN 109609993 A CN109609993 A CN 109609993A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- titanium
- niobium
- temperature
- niobium alloy
- nanotube array
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 title claims abstract description 52
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 title claims description 10
- 239000010955 niobium Substances 0.000 title claims description 10
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 10
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims 7
- RJSRQTFBFAJJIL-UHFFFAOYSA-N niobium titanium Chemical compound [Ti].[Nb] RJSRQTFBFAJJIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 88
- 229910001257 Nb alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 35
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 29
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 15
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 9
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 37
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 33
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 17
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 11
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 7
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 2
- -1 fluoride ions Chemical class 0.000 claims 2
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 claims 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 27
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 26
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 abstract description 16
- 238000005915 ammonolysis reaction Methods 0.000 abstract description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 3
- 239000002114 nanocomposite Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 12
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 10
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- OBOYOXRQUWVUFU-UHFFFAOYSA-N [O-2].[Ti+4].[Nb+5] Chemical compound [O-2].[Ti+4].[Nb+5] OBOYOXRQUWVUFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 7
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 5
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 5
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 5
- 239000003643 water by type Substances 0.000 description 5
- QFUKUPZJJSMEGE-UHFFFAOYSA-N 5-(hydroxymethyl)-1-(3-methylbutyl)pyrrole-2-carbaldehyde Chemical compound CC(C)CCN1C(CO)=CC=C1C=O QFUKUPZJJSMEGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 3
- FSIYTTDWJNZDIM-UHFFFAOYSA-N [Ti]O[Nb] Chemical compound [Ti]O[Nb] FSIYTTDWJNZDIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229960000935 dehydrated alcohol Drugs 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 244000137852 Petrea volubilis Species 0.000 description 1
- 238000003723 Smelting Methods 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000001458 anti-acid effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229940117975 chromium trioxide Drugs 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N chromium trioxide Inorganic materials O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAMDZJFZMJECOS-UHFFFAOYSA-N chromium(6+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Cr+6] GAMDZJFZMJECOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 230000009849 deactivation Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- ZOMNIUBKTOKEHS-UHFFFAOYSA-L dimercury dichloride Chemical class Cl[Hg][Hg]Cl ZOMNIUBKTOKEHS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005622 photoelectricity Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000572 poisoning Toxicity 0.000 description 1
- 230000000607 poisoning effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
- 238000004758 underpotential deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D11/00—Electrolytic coating by surface reaction, i.e. forming conversion layers
- C25D11/02—Anodisation
- C25D11/26—Anodisation of refractory metals or alloys based thereon
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/08—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases only one element being applied
- C23C8/24—Nitriding
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
Abstract
本发明涉及纳米复合结构技术领域,为解决现有技术无法以高效简洁的方法制备氮化钛铌纳米管阵列的问题,本发明提供了一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法。所述方法包括:1)对钛铌合金进行表面处理;2)以经过预处理的钛铌合金作为阳极、石墨作为阴极,置于电解液中在恒电压条件下进行阳极氧化;3)将阳极氧化后的钛铌合金置于空气中进行退火处理;4)将经过退火的钛铌合金置于氨气气氛中进行高温氮化,即得到氮化钛铌纳米管阵列。本发明制备方法简洁高效,生产成本低,通过阳极氧化可制备具有良好形貌特征的纳米管阵列结构,进一步通过氮化处理大幅提高了纳米管阵列的导电性和耐腐蚀性,在多功能电极材料载体方面具有重要应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及纳米复合结构技术领域,尤其涉及一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法。
背景技术
在电化学生产及研究领域,Pt、Pd、Ru等贵金属在析氢、析氧、析氯、电催化、光电催化、惰性电极等功能性电极应用方面有着无可比拟的优势。然而,贵金属在地球上储量少,价格昂贵,且容易因欠电位沉积而中毒失活。为了提高贵金属的利用率和降低成本,需要将贵金属高度分散,因此常将贵金属负载在某些催化剂载体上。催化剂载体需要符合以下要求:(1)具有良好的导电性能,以提供电子通道;(2)具有较大的比表面积,以实现金属的高度分散;(3)表面孔径分布合理,使反应物比较容易接触催化剂活性;(4)具有良好的抗腐蚀性能及稳定性,以此来保证催化剂的稳定性和使用寿命。
钛铌合金具有熔点高、耐腐蚀性能好、高强度、导电性优良、稳定的化学性能等优点,是一种良好的金属基体,但由于其比表面积较小,贵金属无法高度分散。为了增加钛铌合金的比表面积,可以通过阳极氧化工艺使钛铌合金表面获得有序排列的纳米管阵列。但阳极氧化后生成的氧化钛铌纳米管反而会导致其阻抗增大。为了提高其导电性,可通过高温氮化的方式将氧化钛铌转化为氮化钛铌,最终合成的氮化钛铌纳米管阵列具有优异的导电性,同时可在钛铌合金表面产生极高的比表面积,是一种理想的催化剂载体。
中国专利局于2003年12月3日公开了一种用电弧离子镀沉积氮化钛铌硬质薄膜的方法的发明专利授权,授权公开号为CN1129679C,其通过控制电弧离子镀纯钛、纯铌阴极靶在镀膜过程中的弧电流来控制薄膜的成分,在工模具钢基体上沉积合成硬度高于常用的氮化钛的氮化钛铌硬质薄膜,操作简便、控制容易。但该方法只能制备氮化钛铌的致密镀层,而无法制备具有纳米管阵列结构的氮化钛铌。
因此,目前尚无一种高效制备具有良好微观结构的氮化钛铌纳米管阵列的方法。
发明内容
为解决现有技术无法以高效简洁的方法制备氮化钛铌纳米管阵列的问题,本发明提供了一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法。其首先要实现制备排列整齐、分布均匀、比表面积大且导电性优异的氮化钛铌纳米管阵列的目的,并在此基础上简化制备方法、降低设备要求,以实现适于工业化生产的目的。
为实现上述目的,本发明采用以下技术方案。
一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,所述方法包括以下步骤:
1)预处理:对钛铌合金进行表面处理;
2)阳极氧化:以经过预处理的钛铌合金作为阳极、石墨作为阴极,置于电解液中在恒电压条件下进行阳极氧化,结束后清洗并干燥;
3)退火:将阳极氧化后的钛铌合金置于空气中进行退火处理;
4)高温氮化:将经过退火的钛铌合金置于氨气气氛中进行高温氮化,即在钛铌合金表面得到氮化钛铌纳米管阵列。
在阳极氧化过程中,钛铌合金表面会原位生长氧化钛铌纳米管阵列,且所形成的阵列具有极高的均匀性和较大的比表面积,具有良好的微观形貌特征,并且该过程能够通过调整制备参数来控制纳米管结构的长度和管径。此后,在退火过程中,能够进一步减少形成纳米管结构过程中形成的缺陷,提高成分的均匀性,并改善基体及纳米管结构的稳定性。最后的氮化过程能够将氧化钛铌逐渐转化形成氮化钛铌。所制备得到的氮化钛铌纳米管阵列消除了氧化物存在的界面电阻,具有良好的导电性;同时具有较大的比表面积,为催化材料的负载及其与电解液中离子扩散和接触提供了大量的活性位点。此外,氮化钛铌具有优异的抗酸碱腐蚀性能,改善了钛铌合金基体的稳定性,提高了电极的寿命。
作为优选,步骤1)所用钛铌合金中含钛量为20~60wt%。
含钛量20~60wt%的钛铌合金是最为常见的钛铌合金,由于钛铌合金是用合金粉末烧结、或用铌片和钛片经真空自耗电弧炉或电子束熔炼数次制备,因此若钛含量过低或过高,则合金中钛铌的均匀性会较差,在阳极氧化生长氧化钛铌纳米管时会出现部分纯钛纳米管或纯铌纳米管,导致所制备的电极效果下降。
作为优选,步骤1)所述表面处理包括去除氧化物、清洗、干燥和抛光。
去除氧化物能够避免原本的氧化物成分对阳极氧化过程造成不利影响,导致氧化钛铌纳米管阵列的均匀性等指标下降,清洗、干燥和抛光等步骤也同样是如此。
作为优选,所述去除氧化物过程为采用砂纸打磨的方式打磨至钛铌合金表面平整并无明显划痕,所述清洗过程为依次置于丙酮、无水乙醇和去离子水中超声清洗10~20min。
丙酮和无水乙醇超声能够有效地去除钛铌合金表面防锈油等有机杂质。
作为优选,所述抛光过程使用的抛光液中含有CrO3 50~75g/L和HF溶液50~100mL/L,抛光温度为40~70℃,抛光时间为5~20min。
该成分的抛光液中,三氧化铬以Cr2O7 2-的形式存在,具有很强的氧化性,能使钛铌合金表面形成钝化氧化膜,而HF溶解氧化膜,也就使表面划痕凸起的部分被优先快速溶解,从而起到抛光作用。
作为优选,步骤2)所述阳极氧化过程所用电解液组成为含有0.5~2.5wt%氟离子的水溶液或含有0.5~2.5wt%氟离子的乙二醇溶液。
含低浓度氟离子的电解液能够进一步提高氧化钛铌纳米管阵列的均匀性,使得纳米管结构形貌更加完整、表面更加光滑,并且,需要借助氟离子溶解阳极氧化过程中形成的氧化膜。
作为优选,步骤2)所述阳极氧化电压为20~60V,阳极氧化温度为25~60℃,阳极氧化时间为0.25~3h。
该参数范围能够制备形貌较为良好的氧化钛铌纳米管阵列。
作为优选,步骤3)所述退火过程为将阳极氧化后的钛铌合金置于空气气氛中升温至450~600℃,并恒温保持1.5~2.5h,随炉冷却。
在该温度范围内,钛铌元素互相扩散,减少形成纳米管结构过程中形成的缺陷,提高成分的均匀性,并改善基体及纳米管结构的稳定性。
作为优选,步骤4)所述高温氮化步骤为将退火后的钛铌合金置于氮气气氛中进行三段升温,第一阶段升温为从初温度升温至300℃、第二阶段升温为从300℃升温至600℃、第三阶段升温为从600℃升温至末温度,并在升至末温度后通入氨气保温1.5~2.5h,最后通入氮气并随炉冷却。
氨气在高温下分解产生高活性的氮原子,将氧化层氮化形成氮化钛铌。
作为优选,所述初温度为室温,末温度为700~900℃,第一阶段升温的升温速率为5℃/min、第二阶段升温的升温速率为2℃/min、第三阶段升温的升温速率为1℃/min。
作为优选,步骤4)通入氨气的流速为200~400mL/min。
作为优选,步骤4)所通氮气与氨气的纯度均>99vol%。
本发明的有益效果是:
1)制备方法简洁,工艺简单,生产成本低;
2)可制备高密度且具有高度均匀性的纳米管阵列结构;
3)纳米管的长度和管径可控;
4)所制得的表面生长有氮化钛铌纳米管阵列的钛铌合金具有优异的电化学性能。
附图说明
图1为本发明所制得氮化钛铌纳米管阵列的SEM图。
具体实施方式
以下结合具体实施例和说明书附图对本发明作出进一步清楚详细的描述说明。本领域普通技术人员在基于这些说明的情况下将能够实现本发明。此外,下述说明中涉及到的本发明的实施例通常仅是本发明一分部的实施例,而不是全部的实施例。因此,基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明保护的范围。
实施例1
以钛含量为20wt%的钛铌合金作为基体,将经打磨的钛铌合金依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中超声清洗,每次清洗时间为10min。再将钛铌合金置于75g/L CrO3、100ml/LHF溶液的抛光液中,抛光温度为40℃,抛光时间为5min。取出用大量去离子水清洗,烘干。在电解槽中,将打磨、抛光和清洗完的钛铌合金作为阳极,石墨电极作为阴极,其中电解液为0.5wt%含氟离子的水混合溶液,阳极氧化电压为20V,温度为25℃,时间为15min。阳极氧化后的钛铌合金在空气气氛中恒温450℃热处理2h,随炉冷却。高温氮化处理条件为:室温到300℃升温速率为5℃/min,300~600℃升温速度为2℃/min,600℃~800℃升温速率为1℃/min;在800℃时将氮气转换为氨气,氨气流速为200mL/min,保温2h,随后再次转换为氮气,随炉冷却。
实施例2
以钛含量为60wt%的钛铌合金作为基体,将经打磨的钛铌合金依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中超声清洗,每次清洗时间为20min。再将钛铌合金置于50g/L CrO3、50ml/LHF溶液的抛光液中,抛光温度为70℃,抛光时间为20min。取出用大量去离子水清洗,烘干。在电解槽中,将打磨、抛光和清洗完的钛铌合金作为阳极,石墨电极作为阴极,其中电解液为0.5wt%含氟离子的乙二醇混合溶液,阳极氧化电压为60V,温度为25℃,时间为3h。阳极氧化后的钛铌合金在空气气氛中恒温450℃热处理2h,随炉冷却。高温氮化处理条件为:室温到300℃升温速率为5℃/min,300~600℃升温速度为2℃/min,600℃~700℃升温速率为1℃/min;在700℃时将氮气转换为氨气,氨气流速为400mL/min,保温2h,随后再次转换为氮气,随炉冷却。
实施例3
以钛含量为56wt%的钛铌合金作为基体,将经打磨的钛铌合金依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中超声清洗,每次清洗时间为10min。再将钛铌合金置于50g/L CrO3、100ml/LHF溶液的抛光液中,抛光温度为60℃,抛光时间为15min。取出用大量去离子水清洗,烘干。在电解槽中,将打磨、抛光和清洗完的钛铌合金作为阳极,石墨电极作为阴极,其中电解液为2.5wt%含氟离子的水混合溶液,阳极氧化电压为30V,温度为25℃,时间为30min。阳极氧化后的钛铌合金在空气气氛中恒温450℃热处理2h,随炉冷却。高温氮化处理条件为:室温到300℃升温速率为5℃/min,300~600℃升温速度为2℃/min,600℃~900℃升温速率为1℃/min;在900℃时将氮气转换为氨气,氨气流速为450mL/min,保温2h,随后再次转换为氮气,随炉冷却。
实施例4
以钛含量为45wt%的钛铌合金作为基体,将经打磨的钛铌合金依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中超声清洗,每次清洗时间为10min。再将钛铌合金置于50g/L CrO3、100ml/LHF溶液的抛光液中,抛光温度为60℃,抛光时间为15min。取出用大量去离子水清洗,烘干。在电解槽中,将打磨、抛光和清洗完的钛铌合金作为阳极,石墨电极作为阴极,其中电解液为1wt%含氟离子的乙二醇混合溶液,阳极氧化电压为40V,温度为60℃,时间为3h。阳极氧化后的钛铌合金在空气气氛中恒温450℃热处理2h,随炉冷却。高温氮化处理条件为:室温到300℃升温速率为5℃/min,300~600℃升温速度为2℃/min,600℃~700℃升温速率为1℃/min;在700℃时将氮气转换为氨气,氨气流速为250mL/min,保温2h,随后再次转换为氮气,随炉冷却。
实施例5
以钛含量为50wt%的钛铌合金作为基体,将经打磨的钛铌合金依次放入丙酮、无水乙醇和去离子水中超声清洗,每次清洗时间为10min。再将钛铌合金置于50g/L CrO3、100ml/LHF溶液的抛光液中,抛光温度为60℃,抛光时间为15min。取出用大量去离子水清洗,烘干。在电解槽中,将打磨、抛光和清洗完的钛铌合金作为阳极,石墨电极作为阴极,其中电解液为2.5wt%含氟离子的乙二醇混合溶液,阳极氧化电压为50V,温度为25℃,时间为60min。阳极氧化后的钛铌合金在空气气氛中恒温450℃热处理2h,随炉冷却。高温氮化处理条件为:室温到300℃升温速率为5℃/min,300~600℃升温速度为2℃/min,600℃~800℃升温速率为1℃/min;在800℃时将氮气转换为氨气,氨气流速为300mL/min,保温2h,随后再次转换为氮气,随炉冷却。
对本发明实施例所制得的氮化钛铌纳米管阵列进行检测,其中实施例3所制得的氮化钛铌纳米管阵列的SEM图如图1所示,从图1中可明显看出,所制得纳米管阵列具有极高的均匀性,长度和管径均一,具有极大的比表面积。
经检测各个实施例中的氮化钛铌纳米管阵列的主要参数表1所示。其中阻抗值通过电化学交流阻抗方式测得。阻抗测试体系为三电极体系,采用电化学工作站(CHI660C),以实施例1~5所制得表面制备有氮化钛铌纳米管阵列的钛铌合金分别作为工作电极(工作面积为1.0cm2),以石墨片作为辅助电极(工作面积为4.0cm2),以饱和甘汞电极作为参比电极。电解液为1mol/L的KOH水溶液。电化学交流阻抗测试施加正弦波电势的振幅为5.0mV,频率为10-2~105Hz,偏置电压0.5V(vs SCE),测试开始前向电解液中持续通入30min氮气以驱除电解液中的溶解氧,测试在水浴25℃条件下进行。
表1实施例1~5的部分表征结果
Claims (10)
1.一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:
1)预处理:对钛铌合金进行表面处理;
2)阳极氧化:以经过表面处理的钛铌合金作为阳极、石墨作为阴极,置于电解液中在恒电压条件下进行阳极氧化,结束后清洗并干燥;
3)退火:将阳极氧化后的钛铌合金置于空气中进行退火处理;
4)高温氮化:将经过退火的钛铌合金置于氨气气氛中进行高温氮化,即在钛铌合金表面得到氮化钛铌纳米管阵列。
2.根据权利要求1所述的一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,步骤1)所用钛铌合金中含钛量为20~60wt%。
3.根据权利要求1或2所述的一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,步骤1)所述表面处理包括去除氧化物、清洗、干燥和抛光。
4.根据权利要求3所述的一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,所述去除氧化物过程为采用砂纸打磨的方式打磨至钛铌合金表明平整并无明显划痕,所述清洗过程为分别置于丙酮、无水乙醇和去离子水中超声清洗10~20min。
5.根据权利要求3所述的一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,所述抛光过程使用的抛光液中含有CrO350~75g/L和HF溶液50~100mL/L,抛光温度为40~70℃,抛光时间为5~20min。
6.根据权利要求1所述的一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,步骤2)所述阳极氧化过程所用电解液组成为含有0.5~2.5wt%氟离子的水溶液或含有0.5~2.5wt%氟离子的乙二醇溶液。
7.根据权利要求1或6所述的一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,步骤2)所述阳极氧化电压为20~60V,阳极氧化温度为25~60℃,阳极氧化时间为0.25~3h。
8.根据权利要求1所述的一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,步骤3)所述退火过程为将阳极氧化后的钛铌合金置于空气气氛中升温至450~600℃,并恒温保持1.5~2.5h,随炉冷却。
9.根据权利要求1所述的一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,步骤4)所述高温氮化步骤为将退火后的钛铌合金置于氮气气氛中进行三段升温,第一阶段升温为从初温度升温至300℃、第二阶段升温为从300℃升温至600℃、第三阶段升温为从600℃升温至末温度,并在升至末温度后通入氨气保温1.5~2.5h,最后通入氮气并随炉冷却。
10.根据权利要求9所述的一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法,其特征在于,所述初温度为室温,末温度为700~900℃,第一阶段升温的升温速率为5℃/min、第二阶段升温的升温速率为2℃/min、第三阶段升温的升温速率为1℃/min。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811611848.2A CN109609993B (zh) | 2018-12-27 | 2018-12-27 | 一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811611848.2A CN109609993B (zh) | 2018-12-27 | 2018-12-27 | 一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109609993A true CN109609993A (zh) | 2019-04-12 |
CN109609993B CN109609993B (zh) | 2020-11-24 |
Family
ID=66012094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811611848.2A Active CN109609993B (zh) | 2018-12-27 | 2018-12-27 | 一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109609993B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112198203A (zh) * | 2020-09-16 | 2021-01-08 | 北京科技大学 | 同时检测多巴胺、尿酸和抗坏血酸的氮化钛纳米线/纳米管阵列一体化电极的制备方法 |
US11319640B2 (en) * | 2019-05-03 | 2022-05-03 | Purdue Research Foundation | Solar thermoplasmonic nanofurnaces and method for making and using same |
CN118516684A (zh) * | 2024-05-22 | 2024-08-20 | 哈尔滨工业大学 | 一种具有熵减特性的铌酸钛材料的电致晶态化制备方法及其应用 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1292393A1 (ru) * | 1985-04-09 | 1996-07-10 | Институт химии Дальневосточного научного центра АН СССР | Электролит для оксидирования металлов |
CN1974874A (zh) * | 2006-11-14 | 2007-06-06 | 郝婷婷 | 钛及钛合金手术器械表面阳极氧化处理工艺 |
CN101413140A (zh) * | 2007-10-17 | 2009-04-22 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种钛合金蓝色阳极氧化工艺 |
CN101519783A (zh) * | 2009-04-07 | 2009-09-02 | 吉林大学 | 一种钛合金表面自润滑层及其制备方法 |
CN101922037A (zh) * | 2010-09-26 | 2010-12-22 | 武汉大学 | 一种氮掺杂二氧化钛纳米管阵列的制备方法 |
CN102534630A (zh) * | 2012-02-08 | 2012-07-04 | 武汉科技大学 | 一种多孔氮化钛纳米管阵列薄膜及其制备方法 |
CN103014814A (zh) * | 2012-12-03 | 2013-04-03 | 中国科学院金属研究所 | 一种提高医用β型钛合金表面耐腐蚀性的电化学处理方法 |
PL214630B1 (pl) * | 2010-03-22 | 2013-08-30 | Politechnika Slaska Im Wincent | Sposób modyfikacji warstwy wierzchniej stopów tytanu typu Ti-xNb-yZr wapniem lub wapniem i fosforem metodą elektrochemicznego utleniania plazmowego |
KR101399391B1 (ko) * | 2012-12-26 | 2014-05-27 | 한국세라믹기술원 | 티타늄과 니오븀 합금 나노 구조체 제조 방법 |
CN104220630A (zh) * | 2012-02-23 | 2014-12-17 | 特来德斯通技术公司 | 耐腐蚀且导电的金属表面 |
CN105256356A (zh) * | 2015-10-20 | 2016-01-20 | 昆明理工大学 | 一种钛合金金属基陶瓷涂层刀具及其制备方法 |
CN105369324A (zh) * | 2015-11-18 | 2016-03-02 | 太原理工大学 | 一种铜氮共掺杂多孔TiO2涂层的制备方法 |
US20180105938A1 (en) * | 2013-11-13 | 2018-04-19 | Applied Materials, Inc. | High purity metallic top coat for semiconductor manufacturing components |
-
2018
- 2018-12-27 CN CN201811611848.2A patent/CN109609993B/zh active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1292393A1 (ru) * | 1985-04-09 | 1996-07-10 | Институт химии Дальневосточного научного центра АН СССР | Электролит для оксидирования металлов |
CN1974874A (zh) * | 2006-11-14 | 2007-06-06 | 郝婷婷 | 钛及钛合金手术器械表面阳极氧化处理工艺 |
CN101413140A (zh) * | 2007-10-17 | 2009-04-22 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种钛合金蓝色阳极氧化工艺 |
CN101519783A (zh) * | 2009-04-07 | 2009-09-02 | 吉林大学 | 一种钛合金表面自润滑层及其制备方法 |
PL214630B1 (pl) * | 2010-03-22 | 2013-08-30 | Politechnika Slaska Im Wincent | Sposób modyfikacji warstwy wierzchniej stopów tytanu typu Ti-xNb-yZr wapniem lub wapniem i fosforem metodą elektrochemicznego utleniania plazmowego |
CN101922037A (zh) * | 2010-09-26 | 2010-12-22 | 武汉大学 | 一种氮掺杂二氧化钛纳米管阵列的制备方法 |
CN102534630A (zh) * | 2012-02-08 | 2012-07-04 | 武汉科技大学 | 一种多孔氮化钛纳米管阵列薄膜及其制备方法 |
CN104220630A (zh) * | 2012-02-23 | 2014-12-17 | 特来德斯通技术公司 | 耐腐蚀且导电的金属表面 |
CN103014814A (zh) * | 2012-12-03 | 2013-04-03 | 中国科学院金属研究所 | 一种提高医用β型钛合金表面耐腐蚀性的电化学处理方法 |
KR101399391B1 (ko) * | 2012-12-26 | 2014-05-27 | 한국세라믹기술원 | 티타늄과 니오븀 합금 나노 구조체 제조 방법 |
US20180105938A1 (en) * | 2013-11-13 | 2018-04-19 | Applied Materials, Inc. | High purity metallic top coat for semiconductor manufacturing components |
CN105256356A (zh) * | 2015-10-20 | 2016-01-20 | 昆明理工大学 | 一种钛合金金属基陶瓷涂层刀具及其制备方法 |
CN105369324A (zh) * | 2015-11-18 | 2016-03-02 | 太原理工大学 | 一种铜氮共掺杂多孔TiO2涂层的制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
余志勇 等: ""阳极氧化TiN薄膜制备N掺杂纳米TiO_2薄膜及其可见光活性"", 《物理化学学报》 * |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11319640B2 (en) * | 2019-05-03 | 2022-05-03 | Purdue Research Foundation | Solar thermoplasmonic nanofurnaces and method for making and using same |
US11807950B2 (en) | 2019-05-03 | 2023-11-07 | Purdue Research Foundation | Solar thermoplasmonic nanofurnaces and method for making and using same |
CN112198203A (zh) * | 2020-09-16 | 2021-01-08 | 北京科技大学 | 同时检测多巴胺、尿酸和抗坏血酸的氮化钛纳米线/纳米管阵列一体化电极的制备方法 |
CN118516684A (zh) * | 2024-05-22 | 2024-08-20 | 哈尔滨工业大学 | 一种具有熵减特性的铌酸钛材料的电致晶态化制备方法及其应用 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109609993B (zh) | 2020-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111170415B (zh) | 一种亚氧化钛/氧化钌复合电极及其制备方法和应用 | |
CN112609218B (zh) | 一种超疏水微弧氧化复合膜的制备方法 | |
CN109609993A (zh) | 一种氮化钛铌纳米管阵列的制备方法 | |
CN106048690B (zh) | 一种钛基二氧化钛纳米管复合阳极及其制备方法 | |
CN105483744B (zh) | 一种多孔析氢催化剂及其制备方法及含有所述析氢催化剂的电极 | |
CN108505083A (zh) | 一种添加改性二氧化锰中间层制备钛基β-PbO2阳极的方法 | |
CN106086989B (zh) | 一种银改性二氧化钛纳米管复合阳极及其制备方法 | |
CN114752951A (zh) | 一种可同步制氢和有机物氧化的装置及电极制备方法 | |
CN106191945A (zh) | 一种脉冲电沉积制备二氧化钛纳米管固载铂‑镍双金属复合电极的方法 | |
CN103695981B (zh) | 一种铝合金表面微弧氧化膜功能化设计的方法 | |
WO2024021403A1 (zh) | 一种具有梯度组分结构的镍基合金复合电极及其制备方法与应用 | |
CN102433575A (zh) | 一种在离子液体中电沉积金属镧的方法 | |
CN115058727A (zh) | 一种用于质子交换膜电解池钛基双极板的表面改性方法 | |
CN110980889A (zh) | 一种电极及其制备方法 | |
CN111719164A (zh) | 一种三维蜂窝状多孔镍铜电催化剂电极的制备方法 | |
CN109811389B (zh) | 一种氮化钛铌纳米管阵列及渗氮层复合结构的制备方法 | |
CN102899684B (zh) | 煤炭电解加氢液化阴极多孔负载型催化电极的制备方法 | |
CN110387558A (zh) | 一种钌钽析氯电极及其制备方法和测试方法 | |
CN116083940A (zh) | 一种提高镍基析氢电极性能的方法及其在碱性电解制氢中的应用 | |
KR20230032250A (ko) | 연료전지 촉매, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 연료전지 | |
CN112376047A (zh) | 一种钛基二氧化铱复合石墨烯和Mn-Mo氧化物电极及其制备方法 | |
CN109504996B (zh) | 一种用于钢铁表面dlc复合氧化膜制备的阴极微弧氧化溶液和方法 | |
CN114433082B (zh) | 一种增强孔隙型Pt基合金膜催化剂及其制备方法 | |
Zheng et al. | Thermal reconstruction engineered titanium-based gas diffusion electrodes for robust and energy-saving hydrogen hydrometallurgy | |
CN108251871A (zh) | 一种咪唑型离子液体中电沉积Al-Pt合金的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |