CN109556518B - 移位测量装置、测量系统及移位测量方法 - Google Patents

移位测量装置、测量系统及移位测量方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109556518B
CN109556518B CN201810151233.XA CN201810151233A CN109556518B CN 109556518 B CN109556518 B CN 109556518B CN 201810151233 A CN201810151233 A CN 201810151233A CN 109556518 B CN109556518 B CN 109556518B
Authority
CN
China
Prior art keywords
distance
measurement
sensor head
value
function
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810151233.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN109556518A (zh
Inventor
近藤智则
铃木祐太
的场贤一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Omron Corp filed Critical Omron Corp
Publication of CN109556518A publication Critical patent/CN109556518A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109556518B publication Critical patent/CN109556518B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
    • G01S17/02—Systems using the reflection of electromagnetic waves other than radio waves
    • G01S17/06—Systems determining position data of a target
    • G01S17/46—Indirect determination of position data
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G01B11/0608—Height gauges
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/042—Calibration or calibration artifacts
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/045—Correction of measurements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D1/00—Measuring arrangements giving results other than momentary value of variable, of general application
    • G01D1/14—Measuring arrangements giving results other than momentary value of variable, of general application giving a distribution function of a value, i.e. number of times the value comes within specified ranges of amplitude
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00
    • G01D18/002—Automatic recalibration
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
    • G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
    • G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
    • G01S7/4811—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements common to transmitter and receiver
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/50—Using chromatic effects to achieve wavelength-dependent depth resolution

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

本发明提供一种能够高精度地测量至测量对象面的距离的移位测量装置、测量系统及移位测量方法。本发明的移位测量装置具备：投光部，产生光；传感器头，对测定值与实际移位成为非线形的测量对象物，以在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射光，且接收所照射的所述光中在所述测量对象面反射的光；存储部，存储着将传感器头与测量对象面之间的距离设为变量的函数；以及控制部，基于由传感器头所接收到的光的波长而算出距离。控制部将传感器头与测量对象物的测量对象面之间的距离设为变量的值，算出函数的值。控制部使用算出的函数的值，对算出的距离进行校正。

Description

移位测量装置、测量系统及移位测量方法
技术领域
本发明涉及一种移位测量装置、测量系统及移位测量方法。
背景技术
以往，例如如专利文献1所示，已知有使用白色共焦方式作为测量方式的移位测量装置。根据这种移位测量装置，能够基于所接收到的光的波长，测量至测量对象物(详细来说为测量对象面)的距离。
[背景技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2012-208102号公报
发明内容
[发明欲解决的课题]
一般来说，在移位测量装置中，在生产时利用基准工件(workpiece)进行校正，由此确保距离与测定值的线形性。但是，生产过程中的校正是针对基准工件进行，所以当使用者在生产过程中使用移位测量装置时，距离与测定值的关系根据工件而有成为非线形的情况。
这种误差大多为非线形误差。因此，在利用一次函数对整个测定范围进行校正的方法中难以降低该误差。
例如在利用白色共焦方式的移位测量装置的测量中，如下所述那样产生误差。在测量对象面为形成在基板上的薄膜的正面的情况下，因由薄膜所引起的干涉，导致检测到的波长偏离于在薄膜正面形成焦点的波长。
另外，在经由玻璃(glass)等透明体测量与测量对象物的测量对象面的距离的情况下，因折射率的波长色散(wavelength dispersion)导致距离与检测波长的关系发生变化。
进而，即便在测量至玻璃等透明体的正面的距离及至玻璃等透明体的背面的距离来测量透明体的厚度的情况下，其中关于至玻璃等透明体的背面的测量，也会因折射率的波长色散导致距离与检测波长的关系发生变化。
本发明是鉴于所述问题点而完成的，其目的在于提供一种能够高精度地测量至测量对象面的距离的移位测量装置及测量方法。
[解决课题的手段]
依据本发明的一实施方式，移位测量装置具备：投光部，产生光；传感器头(sensorhead)，对测定值与实际移位成为非线形的测量对象物，通过在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射光，且接收所照射的光中在测量对象面反射的光；存储部，存储着将传感器头与测量对象面之间的距离设为变量的函数；以及控制部，基于传感器头所接收到的光的波长而算出距离。控制部将传感器头与作为测量对象物的第一测量对象物的测量对象面之间的第一距离设为变量的值，而算出函数的值。控制部使用算出的函数的值来对算出的第一距离进行校正。
依据本发明的一实施方式，移位测量装置具备：投光部，产生具有预先规定的波长幅度的光；传感器头，经由折射率会波长色散的部件，通过在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射光，且接收所照射的光中在测量对象面反射的光；存储部，存储着将传感器头与测量对象面之间的距离设为变量的函数；以及控制部，基于传感器头所接收到的光的波长而算出距离。控制部将传感器头与作为测量对象物的第一测量对象物的测量对象面之间的第一距离设为变量的值，而算出函数的值。控制部使用算出的函数的值来对算出的第一距离进行校正。
依据本发明的一实施方式，测量系统具备：移位测量装置；以及信息处理装置，与移位测量装置通信地连接；信息处理装置，受理使用者操作，该使用者操作是将在多个位置的各者算出的第二距离与基准距离输入至信息处理装置，且将在多个位置的各者算出的第二距离与基准距离发送给移位测量装置。
依据本发明的一实施方式，一种移位测量方法包括如下步骤：产生光；从传感器头对测定值与实际移位成为非线形的测量对象物，通过在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射光；接收所照射的光中在测量对象面反射的光；基于所接收到的光的波长，算出传感器头与测量对象面之间的距离；将算出的距离作为设距离为变量的函数的变量的值，而算出函数的值；以及使用算出的函数的值，对算出的距离进行校正。
依据本发明的一实施方式，一种移位测量方法包括如下步骤：产生具有预先规定的波长幅度的光；从传感器头经由折射率会波长色散的部件，通过在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射光；接收所照射的光中在测量对象面反射的光；基于所接收到的光的波长，算出传感器头与测量对象面之间的距离；将算出的距离作为设距离为变量的函数的变量的值，而算出函数的值；以及使用算出的函数的值，对算出的距离进行校正。
[发明的效果]
根据本发明，能够高精度地测量至测量对象面的距离。
附图说明
图1是表示本实施方式的测量系统的构成的图。
图2是用来对用来生成多个连续的一次函数的数据(data)处理进行说明的图。
图3是用来对所生成的一次函数进行说明的图。
图4是用来对测量值的校正进行说明的图。
图5是用来对测量系统的功能性构成进行说明的图。
图6A、图6B是表示在信息处理装置的显示部显示的画面例的图。
图7是用来对测量系统中的处理流程进行说明的序列图。
图8是对图7的序列(sequence)SQ6中的处理的详细内容进行说明的流程图。
图9是用来对正式测量时的测量值的校正处理进行说明的流程图。
图10是用来对所述校正处理的效果进行说明的图。
图11是用来对另一实施方式的测量进行说明的图。
图12是用来对又一实施方式的测量进行说明的图。
符号的说明
1：测量系统；
2：移位传感器；
3：信息处理装置；
4：载置台；
10：传感器控制器；
11、31：控制部；
12：投光部；
13：受光部；
14、34：显示部；
15、35：通信IF部；
16、32：存储部；
19：导光部；
20：传感器头；
33：输入部；
131：分光器；
132：检测器；
341：画面；
342、343、349：图标；
700：照射光；
701、702、703、704：光；
800、800A：测量对象物；
800B：玻璃；
810：基板；
820：薄膜；
821、871：正面；
851：测量对象面；
872：背面；
P1～P7：点；
SQ2、SQ4、SQ6：序列；
S12、S14、S16、S18、S102、S104、S106、S108、S110：步骤。
具体实施方式
以下，一边参照附图，一边对本发明的各实施方式进行说明。在以下的说明中，对于相同零件标注相同的符号。它们的名称及功能也相同。因此，不对它们重复进行详细说明。
在实施方式1中，对产生由干涉导致的误差的情况进行说明。在实施方式2、3中，对产生由波长色散导致的误差的情况进行说明。
详细来说，在实施方式1、3中，说明对测定值与实际移位成为非线形的测量对象物进行测量的情况。更详细来说，在实施方式1中，列举测量对象物产生干涉的情况为例进行说明。另外，在实施方式3中，列举测量对象物的折射率会引起波长色散的情况为例进行说明。
在实施方式2中，对经由折射率会波长色散的部件来对测量对象物进行测量的情况进行说明。
另外，在以下的各实施方式中，列举使用白色共焦方式的测量为例进行说明。但是，测量方式并不限定于此。
[实施方式1]
<A.系统构成>
图1是表示本实施方式的测量系统的构成的图。
参照图1，测量系统1具备移位传感器2、信息处理装置3、及载置台(stage)4。信息处理装置3典型来说为个人计算机(personal computer)。
移位传感器2是使用白色共焦方式作为测量方式的移位测量装置。移位传感器2也被称为光纤(fiber)同轴移位传感器。移位传感器2具有传感器控制器(sensorcontroller)10、导光部19、及传感器头20。传感器头20包含共焦光学系统。详细来说，传感器头20具有物镜(objective lens)及色像差单元(chromatic aberration unit)。
传感器控制器10产生具有特定的波长宽度(波长幅度)的光。传感器控制器10典型来说产生白色光。该光在导光部19传输并到达至传感器头20。
在传感器头20中，传输的光被物镜聚光后向测量对象物800照射。照射光700因通过色像差单元而产生轴上色像差，所以从物镜照射的照射光的焦点位置根据各波长而不同。仅焦点对准测量对象物800的波长的光再次入射至导光部19。
载置台4构成为能够在照射光700的光轴的方向(图的箭头所示的上下方向)上移动。通过传感器控制器10控制载置台4的移动。在载置台4载置测量对象物800。
测量对象物800具有基板(基材)810、及形成在基板810上的薄膜820。此外，正面821是在外部露出的面。
焦点对焦于正面821的波长的光701作为反射光由传感器头20接收。由传感器头20接收的反射光经由导光部19入射至传感器控制器10。传感器控制器10基于该反射光，算出从传感器头20至正面821的距离(移位)。
信息处理装置3连接在传感器控制器10。能够通过信息处理装置3对传感器控制器10的各种设定进行变更。另外，在信息处理装置3中，能够显示通过传感器控制器10算出的距离等信息。针对信息处理装置3的各种功能，将于后文进行叙述。此外，这种设定及显示也能够通过传感器控制器10单体来实现。
此外，传感器控制器10、传感器头20及导光部19的硬件构成与以往相同，所以此处不重复进行它们的说明。
移位传感器2对传感器头20与薄膜820的正面821之间的距离进行测量，所以因由薄膜820所引起的干涉，导致检测到的波长偏离于在薄膜820的正面821形成焦点的波长。因此，必须对测量值进行校正。以下，对校正的内容进行说明。
<B.校正处理>
(b1.概要)
典型来说，通过提前测量而在下述批次(lot)的测量时(以下，也称为“正式测量时”)之前，移位传感器2生成相同批次(或者同种)的多个测量对象物800的测量时所使用的函数。该函数用来对测量值(距离)进行校正。该函数将能够通过移位传感器2测量的测量值设为变量。
另外，移位传感器2使用在各位置进行测量时的测量值生成所述函数，该各位置为使载置台4移动至多个位置时的位置。典型来说，移位传感器2生成连续的多个一次函数作为该函数。
移位传感器2测量至作为测量对象面的正面821的距离，并使用与该测量值(距离)对应的一次函数进行校正。具体来说，移位传感器2使用将测量值设为变量的值时的一次函数的值对该测量值进行校正。
以下，列举具体例对这些处理的详细内容进行说明。此外，以下，为便于说明，也将如图1的箭头所示那样使载置台4移动时的各载置台4的位置(铅垂方向的位置)称为“载置台位置”。
(b2.详细内容)
(1)一次函数的生成处理
图2是用来对用来生成多个连续的一次函数的数据处理进行说明的图。
参照图2，曲线图(graph)的横轴(也称为“X轴”)表示通过移位传感器2所测量的测量值M。也就是表示通过移位传感器2所测量的传感器头20与薄膜820的正面821之间的距离。此外，横轴的值设为对测量值实施了补偿后的值。详细来说，在横轴中，将通过移位传感器2对测量对象物800进行测量而获得的测量值的范围的中央值设为0。
曲线图的纵轴(也称为“Y轴”)表示线性(1inearity)误差E。具体来说，纵轴表示从测量值M减去理想值R所得的值(E＝M-R)。此处，所谓“理想值R”指的是由使用者设定的值，且为表示从传感器头20至薄膜820的正面821的理想距离(基准距离)的值。理想值R是根据载置台位置而算出的值。
使用者通过使载置台4移动多次，而在多个载置台位置对传感器头20与薄膜820的正面821之间的距离进行测量。例如，如图2所示，为了获得7个点P1～P7，使用者使用移位传感器2进行7次测量。
此外，以下为便于说明，将点Pi(i为大于等于1且小于等于7的自然数)的X坐标记述为“Mi”，且也将Y坐标记述为“Ei”。另外，也将点Pi记述为“坐标值Pi(Mi，Ei)”。进而，也将获得测量值Mi时的载置台位置时的理想值R称为“理想值Ri”。
具体来说，移位传感器2关于通过7次测量而获得的各测量值Mi，算出测量值Mi减去理想值Ri所得的线性误差Ei。由此，移位传感器2获得7个坐标值Pi(Mi，Ei)。
图3是用来对所产生的一次函数进行说明的图。
参照图3，虚线的曲线是作为比较例的实验数据。虚线的曲线表示使载置台4连续移动时所获得的数据。在移位传感器2中，在产品的检查时等测量处理(也就是正式测量时)中，就高速处理的观点来说，并非使用这种连续的数据来进行校正，而是使用作为离散的数据的7个点Pi。
移位传感器2由于进行线形插补，所以使用7个坐标值Pi(Mi，Ei)来生成6个一次函数Fi(x)。具体来说，利用直线将7个坐标值Pi(Mi，Ei)中X坐标相邻的2个坐标值彼此连结，由此生成6个连续的一次函数F1(X)～F6(X)。例如，移位传感器2使用坐标值P1(M1，E1)与坐标值P2(M2，E2)来生成一次函数F1(X)。
各一次函数Fi(x)是由以下的数式(1)来表现。
Fi(x)＝AX+B…(1)
此处，在式(1)中，在正式测量时所获得的测量值M是作为变量X的值代入。
式(1)中的“A”是将X坐标相邻的2个坐标值彼此连结而成的线段的斜率。式(1)中的“B”是各线段的左侧的端点的线性误差Ei(＝Ri-Mi)的值。
如果具体地表示一次函数F1(X)～F6(X)，那么如下所述。
F1(X)＝((E2-E1)/(M2-M1))×X+E1
F2(X)＝((E3-E2)/(M3-M2))×X+E2
F3(X)＝((E4-E3)/(M4-M3))×X+E3
F4(X)＝((E5-E4)/(M5-M4))×X+E4
F5(X)＝((E6-E5)/(M6-M5))×X+E5
F6(X)＝((E7-E6)/(M7-M6))×X+E6
如果使用i使这些6个一次函数通式化，那么会变成式(2)那样。
Fi(x)＝((E(i+1)-Ei)/(M(i+1)-Mi))×X+Ei…(2)
在正式测量时的测量值时，根据X的值(也就是测量值M)而使用的函数不同。例如，在测量值M为包含在M1至M2的范围的值的情况下，利用一次函数F1(X)。
如果使用i进行通式化，那么只要测量值M为包含在Mi至M(i+1)的范围的值，则使用一次函数Fi(x)。
(2)校正的具体例
移位传感器2如上所述那样，在正式测量时使用一次函数F1(X)～F6(X)进行测量值的校正。
图4是用来对测量值的校正进行说明的图。
参照图4，在算出的测量值M(距离，变量X的值)为包含在X轴方向的区间Qi(Mi＜M＜M(i+1))的值的情况下，移位传感器2使用一次函数Fi(x)进行该测量值M的校正。
具体来说，移位传感器2通过使用以下的式(3)进行校正来获得校正后的测量值C。
C＝M-Fi(x)…(3)
例如，在如图示那样获得区间Q1的值Mα作为测量值M的情况下，移位传感器2通过从Mα减去将函数F1(X)的X的值设为Mα时的函数的值Vα(＝F1(Mα))，获得校正后的测量值C。
另外，在如图示那样获得区间Q3的值Mβ作为测量值M的情况下，移位传感器2通过从Mβ减去将函数F3(X)的X的值设为Mβ时的函数的值Vβ(＝F3(Mβ))，获得校正后的测量值C。
此外，移位传感器2也可以使用以下的式(4)代替所述式(2)，且使用以下的式(5)代替所述式(3)来进行测量值的校正。
Fi(x)＝((-E(i+1)+Ei)/(M(i+1)-Mi))×X-Ei…(4)
C＝M+Fi(x)…(5)
移位传感器2对测量同一批次等的多个测量对象物800各自的测量对象面所获得的测量值(距离)，同样地进行所述校正。
通过这种校正，能够对因干涉而产生的非线形误差进行校正。因此，根据移位传感器2，能够高精度地测量至作为测量对象面的薄膜正面的距离。
<C.功能性构成>
图5是用来对测量系统1的功能性构成进行说明的图。
参照图5，如上所述，测量系统1具备移位传感器2及信息处理装置3。移位传感器2具有传感器控制器10、导光部19、及传感器头20。
传感器控制器10具有控制部11、投光部12、受光部13、显示部14、通信接口(IF，Inter Face)部15、及存储部16。受光部13包含分光器131及检测器132。
在投光部12产生的具有特定波长幅度的照射光，在导光部19传输并到达至传感器头20。再次入射至传感器头20的反射光沿导光部19传输并入射至受光部13。在受光部13，利用分光器131将所入射的反射光分离成各波长成分，并利用检测器132检测各波长成分的强度。
控制部11基于检测器132中的检测结果，算出从传感器头20至测量对象物800的测量对象面(例如薄膜820的正面821)的距离(移位)。控制部11生成一次函数Fi(x)，并将其储存在存储部16中。控制部11适当读出一次函数Fi(x)，并使用该一次函数进行测量值的校正。
显示部14利用数值表示通过控制部11算出的距离。
构成受光部13的检测器132的多个受光元件中接收反射光的受光元件，根据相对于传感器头20的测量对象物800的正面的形状而变化。因此，能够根据检测器132的多个受光元件的检测结果(像素信息)，测量相对于测量对象物800的测量对象面的距离变化(移位)。由此，能够通过移位传感器2对测量对象物800的测量对象面的形状进行测量。
通信IF部15用于与信息处理装置3的通信。
信息处理装置3具有控制部31、存储部32、输入部33、显示部34、及通信IF部35。
控制部31控制信息处理装置3的动作。控制部31在存储部32中存储的操作系统(Operating system)上执行特定的应用程序(application program)。针对通过执行应用程序而显示在显示部34上的画面(使用者界面(user interface))的例，将于后文进行叙述。
控制部31受理经由输入部33的使用者(user)输入(输入操作)。另外，控制部31将画面输出至显示部34。控制部31经由通信IF部35与传感器控制器10进行通信。
信息处理装置3基于使用者对输入部33的操作，受理预先规定的个数(在图2的例中为7个)的测量值M与获得各测量值M时的各理想值R的输入。信息处理装置3将用来受理这些值的输入的画面(参照图6A与图6B)显示在显示部34。
信息处理装置3将所受理的多个值的组合(测量值M与理想值R的组合)发送给传感器控制器10。信息处理装置3在图2的情况下，发送七个组的数据。
传感器控制器10的控制部11基于从信息处理装置3接收到的多个值的组合(测量值与理想值的组合)，生成用于校正的多个一次函数Fi(X)。控制部11在正式测量时，对相同批次的测量对象物，使用所产生的一次函数Fi(X)执行测量值(距离)的校正。
此外，使用者对信息处理装置3输入的数据组(测量值及理想值)的数量并不限定于7个。它们的数量可由使用者任意决定。
<D.使用者界面>
图6A与图6B是表示在信息处理装置3的显示部34显示的画面例的图。
参照图6A与图6B，信息处理装置3的控制部31显示画面341，该画面341要求输入各载置台位置上的测量值(通过移位传感器2算出的距离)与理想值。典型来说，控制部31将画面341以与成为基底(base)的画面重叠的状态显示。
在图6A状态下，基于使用者操作，显示完成第5个数据(测量值及理想值)的输入的状态。在使用者输入第6个数据的情况下，选择图标(object)342。由此，信息处理装置3的控制部31显示用来输入第6个数据的画面。
在使用者判断五个数据即可的情况下，只要选择表示结束的图标343即可。由此，如图6B状态所示那样画面转变，校正用的多个数据的输入结束。
当使用者选择表示结束的图标349时，将所输入的数据组发送给移位传感器2的传感器控制器10。由此，在传感器控制器10内生成一次函数Fi(X)。
<E.控制构造>
首先，基于图7及图8，对用于校正的一次函数Fi(X)的生成进行说明。接下来，基于图9，对使用所生成的一次函数Fi(X)的正式测量时的测量值的校正处理进行说明。
图7是用来对测量系统1中的处理流程进行说明的序列图。
参照图7，在序列SQ2中，信息处理装置3重复受理N次测量值与理想值的输入。例如，在图2的情况下，受理7次输入。
在序列SQ4中，信息处理装置3将N个测量值M与N个理想值R发送给移位传感器2。也就是信息处理装置3将N组数据发送给移位传感器2。
在序列SQ6中，移位传感器2基于N个测量值M与N个理想值R，生成N-1个一次函数Fi(X)。
图8是对图7的序列SQ6中的处理的详细内容进行说明的流程图。
参照图8，在步骤S12中，移位传感器2的控制部11将变量i的值设定为1。在步骤S14中，控制部11使用在信息处理装置3中第i个输入的测量值及理想值与第i+1个输入的测量值M及理想值R，生成第i个区间Qi(参照图4)的一次函数Fi(X)。
在步骤S16中，控制部11使i递增(increment)。也就是说，控制部11使i的值仅增加1。在步骤S18中，控制部11判断i是否为大于等于N。此处，N是指移位传感器2从信息处理装置3接收到的数据组的数量。
当控制部11判断i为大于等于N(在步骤S18中为是(YES))时，结束一系列处理。当控制部11判断i小于N(在步骤S18中为否(NO))时，将处理前进至步骤S14。
图9是用来对正式测量时的测量值M的校正处理进行说明的流程图。
参照图9，在步骤S102中，移位传感器2的控制部11获取测量值M。也就是说，控制部11基于传感器头20所接收到的光而算出与测量对象面(薄膜820的正面821)的距离。
在步骤S104中，控制部11确定出与测量值M对应的一次函数Fi(X)。也就是说，控制部11从多个一次函数Fi(X)中特定出包含该测量值M的区间Qi的一次函数Fi(X)。
在步骤S106中，控制部11使用所确定出的一次函数Fi(X)对测量值M进行校正。在步骤S108中，控制部11输出校正后的测量值(测量值C)。例如，控制部11将校正后的测量值显示在显示部14中。另外，控制部11将校正后的测量值储存在未图示的存储部16中。
在步骤S110中，控制部11判断相同批次的测量对象物800是否有剩余。当控制部11判断为有剩余(在步骤S110中为是)时，将处理前进至步骤S102。当控制部11判断为未有剩余(在步骤S110中为否)时，结束一系列处理。
<F.效果>
图10是用来对所述校正处理的效果进行说明的图。
参照图10，针对一测量对象物，将载置台位置变更大于等于50次而获得测量值。通常不进行这种次数的测量，但这是为了验证效果而进行的。此外，纵轴是线性误差E，横轴表示移位传感器2所测量的测量值M。
虚线的曲线与校正前的线性误差E(E＝M-R)相关。详细来说，虚线的曲线是利用线段将53个线性误差E的各点连结而成。此外，该各线段本身相当于用于校正的一次函数。
实线的曲线与校正前的线性误差E(E＝M-R)相关。详细来说，实线的曲线是利用线段将53个校正后的线性误差E的各点连结而成。
如果将虚线的曲线与实线的曲线进行对比，那么得知通过校正而线性误差E变小。
<G.变化例>
上文中，列举传感器控制器10生成多个一次函数Fi(X)的构成为例进行了说明，但并不限定于此。所生成的函数并不限定于一次函数。
也可以是二次函数或大于等于三次的高次函数(多次函数)。例如，在图2的例中，也可以是通过7个点P1～P7的大于等于2次的函数。
另外，并非必须生成通过各点的函数。例如也可以使用最小平方法生成函数。
另外，校正间隔(也就是各点的间隔)也可不为等间隔。
这些变化例也能够应用在下述实施方式2、3中。
[实施方式2]
在本实施方式中，对经由折射率会波长色散的部件对测量对象物照射白色光的构成进行说明。典型来说，对经由玻璃对测量对象物照射白色光的构成进行说明。
图11是用来对本实施方式的测量进行说明的图。
参照图11，通过移位传感器2对测量对象物800A的测量对象面851进行测量。
焦点对准于测量对象面851的波长的光702作为反射光由传感器头20接收。由传感器头20接收的反射光经由导光部19入射至传感器控制器10。传感器控制器10基于该反射光，算出从传感器头20至测量对象面851的距离(移位)。
此外，在本实施方式的测量中，经由玻璃算出与测量对象面851的距离。在此情况下，因由玻璃所引起的波长色散，导致所检测出的波长偏离于在假定不存在玻璃的情况下在测量对象面851形成焦点的波长。因此，在本实施方式中，也需要与实施方式1同样地对测量值进行校正。
具体来说，即便在本实施方式中，也与实施方式1同样地，通过移位传感器2提前生成用于校正的一次函数Fi(X)。而且，在正式测量时，使用与所测量出的区间Qi对应的一次函数Fi(X)进行测量值的校正。具体来说，移位传感器2的控制部11使用所述数式(3)进行校正。
在这种经由透明体进行测量的情况下，通过进行所述校正，能够对因透明体中的波长色散而产生的非线形误差进行校正。因此，根据移位传感器2，能够高精度地测量至测量对象面851的距离。
[实施方式3]
在本实施方式中，说明与实施方式2同样地经由折射率会波长色散的部件对测量对象物照射白色光的构成。具体来说，对测量透明体(典型来说为玻璃)的厚度的构成进行说明。
图12是用来对本实施方式的测量进行说明的图。
参照图12，通过移位传感器2测量作为测量对象物的玻璃800B的厚度。具体来说，移位传感器2算出传感器头20与玻璃800B的正面871之间的距离、及传感器头20与玻璃800B的背面872之间的距离，由此算出玻璃800B的厚度。此外，所谓“正面”是在外部露出的面，在本例中，且是传感器头20侧的面。所谓“背面”是与载置台4接触的面，且是较正面远离传感器头20的面。
更详细来说，焦点对准于正面871的波长的光703作为反射光由传感器头20接收。由传感器头20接收的反射光经由导光部19入射至传感器控制器10。传感器控制器10基于该反射光，算出从传感器头20至正面871的距离(移位)。
焦点对准于背面872的波长的光704作为反射光由传感器头20接收。由传感器头20接收的反射光经由导光部19入射至传感器控制器10。传感器控制器10基于该反射光，算出从传感器头20至背面872的距离(移位)。
此外，在本实施方式的测量中，关于至背面872的距离的测量(算出)，因由玻璃800B本身所引起的波长色散，导致与实施方式2同样地，所检测出的波长偏移。因此，即便在本实施方式中，也需要与实施方式1、2同样地对测量值M进行校正。
具体来说，即便在本实施方式中，也与实施方式1同样地，通过移位传感器2提前生成用于校正的一次函数Fi(X)。而且，在正式测量时，使用与所测量出的区间Qi对应的一次函数Fi(X)进行测量值的校正。具体来说，移位传感器2的控制部11使用所述数式(3)进行校正。
与实施方式1、2不同之处在于用来生成一次函数Fi(X)的理想值R的设定方法。在实施方式1、2中，理想值R设为根据载置台位置算出的值。在本实施方式中，将至正面871的测量值(距离)加上玻璃800B的理想的厚度所得的值设为理想值R。
如此，在实施方式3中，理想值R的算出方法与实施方式1、2中的理想值R的算出方法不同的原因如下所述。
在仅对背面872进行校正而算出玻璃800B的厚度(从背面872的测量值减去正面871的测量值的情况)下，受到正面871的线形性误差的影响而误差变大。通过根据正面871的测量值求出理想值，能够进行将正面871的线形性误差包含在内的校正。其结果能够降低厚度误差。
如以上所述，在测量透明体的厚度的情况下进行所述校正，由此能够对因作为测量对象物的玻璃800B本身的波长色散而产生的非线形误差进行校正。因此，根据移位传感器2，能够高精度地测量透明体的厚度(详细来说为至背面的距离)。
技术人员应当认为本次所公开的实施方式的全部内容均为例示，而非对本发明的限制。本发明的范围并非由所述实施方式的说明来表示，而是由权利要求来表示，且意图包含与权利要求均等的意义及范围内的所有变更。

Claims (9)

1.一种移位测量装置，其特征在于包括：
投光部，产生光；
传感器头，对测定值与实际移位成为非线形关系的测量对象物，通过在所述测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射所述光，且接收所照射的所述光中在所述测量对象面反射的光；
存储部，存储着将所述传感器头与所述测量对象面之间的距离设为变量的函数；以及
控制部，基于由所述传感器头所接收到的光的波长，采用白色共焦方式，来算出所述距离，所述测量对象物包括第一测量对象物与第二测量对象物，所述距离包括第一距离与第二距离；且
所述控制部，
于在载置台上载置所述第二测量对象物的状态下使所述载置台移动至多个位置，并在所述多个位置的各者算出所述第二距离，
基于所述第二距离及所述第二距离与基准距离的差而生成所述函数，
使用在所述多个位置的各者算出的所述第二距离，将所述变量的数值范围分成多个区间，且针对所述多个区间的各者生成所述函数，
将所述传感器头与所述第一测量对象物的测量对象面之间的所述第一距离设为所述变量的值，而算出所述函数的值，且
使用算出的所述函数的值来对算出的所述第一距离进行校正。
2.一种移位测量装置，其特征在于包括：
投光部，产生具有预先规定的波长幅度的光；
传感器头，经由基于折射率会引起波长色散的部件并通过在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射所述光，且接收所照射的所述光中在所述测量对象面反射的光；
存储部，存储着将所述传感器头与所述测量对象面之间的距离设为变量的函数；以及
控制部，基于由所述传感器头所接收到的光的波长，采用白色共焦方式，来算出所述距离，所述测量对象物包括第一测量对象物与第二测量对象物，所述距离包括第一距离与第二距离；且
所述控制部，
于在载置台上载置所述第二测量对象物的状态下使所述载置台移动至多个位置，并在所述多个位置的各者算出所述第二距离，
基于所述第二距离及所述第二距离与基准距离的差而生成所述函数，
使用在所述多个位置的各者算出的所述第二距离，将所述变量的数值范围分成多个区间，且针对所述多个区间的各者生成所述函数，
将所述传感器头与所述第一测量对象物的测量对象面之间的所述第一距离作为所述变量的值，而算出所述函数的值，且
使用算出的所述函数的值来对算出的所述第一距离进行校正。
3.根据权利要求1所述的移位测量装置，其特征在于：作为所述测量对象物的所述第一测量对象物与所述第二测量对象物皆具有产生干涉的薄膜，
所述控制部，
于在所述载置台上载置所述第二测量对象物的状态下使所述载置台移动至所述多个位置，算出所述传感器头与所述薄膜的正面之间的所述第二距离，该载置台在所述传感器头的光轴的方向上为可移动的，且
基于在所述多个位置的各者算出的所述第二距离、与算出所述第二距离时所述传感器头与所述正面之间的所述基准距离，生成所述函数。
4.根据权利要求2所述的移位测量装置，其特征在于：所述控制部，
于在所述载置台上载置所述第二测量对象物的状态下使所述载置台移动至所述多个位置，算出所述传感器头与所述第二测量对象物的测量对象面之间的所述第二距离，该载置台在所述传感器头的光轴的方向上为可移动的，
基于在所述多个位置的各者算出的所述第二距离、与算出所述第二距离时所述传感器头与所述测量对象面之间的所述基准距离，生成所述函数。
5.根据权利要求1所述的移位测量装置，其特征在于：所述测量对象物是产生波长色散的物体，且具有作为所述测量对象面的第一面及比所述第一面远离所述传感器头的第二面；且
所述控制部，
于在所述载置台上载置所述第二测量对象物的状态下使所述载置台移动至所述多个位置，算出所述传感器头与所述第二测量对象物的所述测量对象面之间的所述第二距离，该载置台在所述传感器头的光轴的方向上为可移动的，且
基于在所述多个位置的各者算出的所述第二距离、与算出所述第二距离时的所述基准距离，生成所述函数，
所述基准距离是将从所述传感器头至所述第一面的距离加上所述测量对象物的理想的厚度所得的距离。
6.根据权利要求1至2中任一项所述的移位测量装置，其特征在于：各所述区间的所述函数为一次函数。
7.一种测量系统，其特征在于包括：
根据权利要求3至6中任一项所述的移位测量装置；以及
信息处理装置，与所述移位测量装置通信地连接；
所述信息处理装置，
受理使用者操作，该使用者操作是将在所述多个位置的各者算出的所述第二距离与所述基准距离输入至所述信息处理装置，且
将在所述多个位置的各者算出的所述第二距离与所述基准距离发送给所述移位测量装置。
8.一种移位测量方法，其特征在于包括如下步骤：
产生光；
从传感器头对测定值与实际移位成为非线形关系的测量对象物，通过在所述测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射所述光；
接收所照射的所述光中在所述测量对象面反射的光；
基于所接收到的光的波长，采用白色共焦方式，算出所述传感器头与所述测量对象面之间的距离；
将算出的所述距离作为设所述距离为变量的函数的所述变量的值，而算出所述函数的值；以及
使用算出的所述函数的值，对算出的所述距离进行校正。
9.一种移位测量方法，其特征在于包括如下步骤：
产生具有预先规定的波长幅度的光；
从传感器头经由基于折射率会引起波长色散的部件，通过在测量对象物的测量对象面形成焦点的方式照射所述光；
接收所照射的所述光中在所述测量对象面反射的光；
基于所接收到的光的波长，采用白色共焦方式，算出所述传感器头与所述测量对象面之间的距离；
将算出的所述距离作为设所述距离为变量的函数的所述变量的值，而算出所述函数的值；以及
使用算出的所述函数的值，对算出的所述距离进行校正。
CN201810151233.XA 2017-09-26 2018-02-13 移位测量装置、测量系统及移位测量方法 Active CN109556518B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-185000 2017-09-26
JP2017185000A JP6919458B2 (ja) 2017-09-26 2017-09-26 変位計測装置、計測システム、および変位計測方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109556518A CN109556518A (zh) 2019-04-02
CN109556518B true CN109556518B (zh) 2020-12-22

Family

ID=61189377

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810151233.XA Active CN109556518B (zh) 2017-09-26 2018-02-13 移位测量装置、测量系统及移位测量方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10444360B2 (zh)
EP (1) EP3460390B1 (zh)
JP (1) JP6919458B2 (zh)
KR (2) KR20190035458A (zh)
CN (1) CN109556518B (zh)
TW (1) TWI658251B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11781420B2 (en) 2021-03-25 2023-10-10 Chengdu University Of Technology Displacement measuring device and speed measuring method of drilling traction robot

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07120213A (ja) * 1993-10-25 1995-05-12 Agency Of Ind Science & Technol 追尾式レーザ干渉計
JPH09178439A (ja) * 1995-12-27 1997-07-11 Technol Res Assoc Of Medical & Welfare Apparatus ３次元形状測定装置
CN1955634A (zh) * 2005-10-28 2007-05-02 欧姆龙株式会社 位移传感器
EP2278268A2 (en) * 2009-07-16 2011-01-26 Mitutoyo Corporation Optical displacement meter
CN102192714A (zh) * 2010-03-12 2011-09-21 株式会社三丰 光干涉测量装置
CN202393356U (zh) * 2011-12-27 2012-08-22 合肥工业大学 法向位移和角度传感光学测头
WO2017046254A1 (de) * 2015-09-15 2017-03-23 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh BETREIBEN EINES KONFOKALEN WEIßLICHTSENSORS AN EINEM KOORDINATENMESSGERÄT
CN106802129A (zh) * 2016-12-30 2017-06-06 中国科学院光电研究院 一种高分辨力与自校准光谱共焦位移测量系统
CN106907998A (zh) * 2017-03-20 2017-06-30 深圳立仪科技有限公司 线性优化的光谱共焦测量装置及方法
CN107131855A (zh) * 2017-04-14 2017-09-05 中国科学院光电研究院 一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0814484B2 (ja) * 1985-04-09 1996-02-14 株式会社ニコン パタ−ン位置測定装置
JPH063115A (ja) * 1992-06-19 1994-01-11 Hitachi Ltd 試料高さ計測装置
JPH06273166A (ja) * 1993-03-19 1994-09-30 Keyence Corp 光学式距離測定装置の補正値獲得装置及び補正装置
JPH07120216A (ja) * 1993-10-25 1995-05-12 Fanuc Ltd 光学式変位センサのデータ補正方式
JPH0979844A (ja) * 1995-09-14 1997-03-28 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 距離計測センサの較正方法
DE19713362A1 (de) * 1997-03-29 1998-10-01 Zeiss Carl Jena Gmbh Konfokale mikroskopische Anordnung
US6630680B2 (en) * 2000-12-25 2003-10-07 Fuji Photo Film Co., Ltd. Scanner having confocal optical system, method for producing focus position data of confocal optical system of scanner having confocal optical system and method for producing digital data of scanner having confocal optical system
IL146174A (en) * 2001-10-25 2007-08-19 Camtek Ltd Confocal system for testing woofers
DE10242374A1 (de) * 2002-09-12 2004-04-01 Siemens Ag Konfokaler Abstandssensor
US20060285120A1 (en) 2005-02-25 2006-12-21 Verity Instruments, Inc. Method for monitoring film thickness using heterodyne reflectometry and grating interferometry
US20070148792A1 (en) * 2005-12-27 2007-06-28 Marx David S Wafer measurement system and apparatus
US7990522B2 (en) * 2007-11-14 2011-08-02 Mitutoyo Corporation Dynamic compensation of chromatic point sensor intensity profile data selection
TWI359258B (en) 2008-02-14 2012-03-01 Univ Southern Taiwan Tech A contact measurement probe with optical sensing f
US7876456B2 (en) * 2009-05-11 2011-01-25 Mitutoyo Corporation Intensity compensation for interchangeable chromatic point sensor components
TWI473970B (zh) 2009-10-05 2015-02-21 Taiyo Yuden Kk Displacement measurement method and displacement measurement device
WO2011111228A1 (ja) * 2010-03-12 2011-09-15 トヨタ自動車株式会社 電極活物質及び電極活物質の製造方法
JP5790178B2 (ja) 2011-03-14 2015-10-07 オムロン株式会社 共焦点計測装置
US8587772B2 (en) * 2011-12-21 2013-11-19 Mitutoyo Corporation Chromatic point sensor configuration including real time spectrum compensation
SG11201502436SA (en) * 2012-09-28 2015-04-29 Rudolph Technologies Inc Inspection of substrates using calibration and imaging
JP5701837B2 (ja) 2012-10-12 2015-04-15 横河電機株式会社 変位センサ、変位測定方法
JP6044315B2 (ja) * 2012-12-12 2016-12-14 オムロン株式会社 変位計測方法および変位計測装置
JP2014153092A (ja) * 2013-02-05 2014-08-25 Canon Inc 測定装置および物品の製造方法
US9041914B2 (en) 2013-03-15 2015-05-26 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US9068822B2 (en) * 2013-07-03 2015-06-30 Mitutoyo Corporation Chromatic range sensor probe detachment sensor
JP6335495B2 (ja) 2013-12-09 2018-05-30 パナソニック デバイスＳｕｎｘ株式会社 変位センサ
JP2015135292A (ja) 2014-01-17 2015-07-27 シチズンホールディングス株式会社 変位センサ及び変位測定方法
US9541376B2 (en) * 2015-03-02 2017-01-10 Mitutoyo Corporation Chromatic confocal sensor and measurement method
DE102015121673B4 (de) * 2015-12-11 2019-01-10 SmartRay GmbH Formermittlungsverfahren
JP6493265B2 (ja) * 2016-03-24 2019-04-03 オムロン株式会社 光学計測装置
JP7024285B2 (ja) * 2017-09-26 2022-02-24 オムロン株式会社 変位計測装置、システム、および変位計測方法

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07120213A (ja) * 1993-10-25 1995-05-12 Agency Of Ind Science & Technol 追尾式レーザ干渉計
JPH09178439A (ja) * 1995-12-27 1997-07-11 Technol Res Assoc Of Medical & Welfare Apparatus ３次元形状測定装置
CN1955634A (zh) * 2005-10-28 2007-05-02 欧姆龙株式会社 位移传感器
EP2278268A2 (en) * 2009-07-16 2011-01-26 Mitutoyo Corporation Optical displacement meter
CN102192714A (zh) * 2010-03-12 2011-09-21 株式会社三丰 光干涉测量装置
CN202393356U (zh) * 2011-12-27 2012-08-22 合肥工业大学 法向位移和角度传感光学测头
WO2017046254A1 (de) * 2015-09-15 2017-03-23 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh BETREIBEN EINES KONFOKALEN WEIßLICHTSENSORS AN EINEM KOORDINATENMESSGERÄT
CN106802129A (zh) * 2016-12-30 2017-06-06 中国科学院光电研究院 一种高分辨力与自校准光谱共焦位移测量系统
CN106907998A (zh) * 2017-03-20 2017-06-30 深圳立仪科技有限公司 线性优化的光谱共焦测量装置及方法
CN107131855A (zh) * 2017-04-14 2017-09-05 中国科学院光电研究院 一种光谱共焦测量系统标定装置及标定方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Characterization of the main error sources of chromatic confocal probes for dimensional measurement;H Nouira 等;《Measurement Science and Technology》;20140305;第25卷(第4期);第1-14页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN109556518A (zh) 2019-04-02
JP2019060700A (ja) 2019-04-18
JP6919458B2 (ja) 2021-08-18
KR20190069362A (ko) 2019-06-19
EP3460390B1 (en) 2023-07-26
TWI658251B (zh) 2019-05-01
US10444360B2 (en) 2019-10-15
US20190094368A1 (en) 2019-03-28
EP3460390A1 (en) 2019-03-27
KR102412544B1 (ko) 2022-06-23
KR20190035458A (ko) 2019-04-03
TW201915428A (zh) 2019-04-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11672631B2 (en) Intraoral scanner calibration
US7876456B2 (en) Intensity compensation for interchangeable chromatic point sensor components
US5193120A (en) Machine vision three dimensional profiling system
KR101651762B1 (ko) 거리 계측 장치
JP6046929B2 (ja) 光学測定装置
CN109556518B (zh) 移位测量装置、测量系统及移位测量方法
EP3647758B1 (en) Device for determining the optical power of lenses and measurement method
CN109557545B (zh) 位移测量装置、测量系统及位移测量方法
CN113195150A (zh) 用于设置激光加工系统中的激光束的焦点位置的装置、包括该装置的激光加工系统以及用于设置激光加工系统中的激光束的焦点位置的方法
JP2008292210A (ja) 光学式測定装置
JP3806486B2 (ja) 測距装置用調整装置
JP2011023248A (ja) 荷電粒子線装置による画像の歪み評価方法
JP2015152786A (ja) 光学素子の光軸調整方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant