CN109513933B - 一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，经过粉末退火、粉末绝缘包覆和造粒、颗粒成型以及烧结可制备出耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。本发明所述制备方法过程简单、容易实现，环保，对原料的利用率高，适合工业规模化生产。本发明所述的耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯可耐750℃高温，在25V电压下，表面电阻值超过50MΩ。另外，本发明所述产品可替代镍锌铁氧体产品，有助于实现电子产品的小型化。

Description

一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法
技术领域
本发明属于软磁磁性材料技术领域，涉及到一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法。
背景技术
随着CPU的主频不断提高，以及大功率、体积小的要求，在网通、中高端手机、智能电子设备、医疗保健、机器人及汽车电子领域，具有耐大电流、电磁特性平稳、温升稳定等优势的铁基软磁复合材料得到较快的发展。但是，现有的铁基软磁复合材料存在电阻低，或者电阻高但不耐高温和容易老化的缺点，不适合磁胶电感磁芯后续耐700℃温度的工艺要求。因此提高耐高温铁基软磁复合材料的表面电阻显得非常迫切。目前国内对这方面的技术研究主要集中在使用无机绝缘剂对粉末颗粒进行包覆来达到耐高温和绝缘的目的。由于无机物绝缘材料不溶于水或粒度大(一般都在10um以上)等特点，在水中以悬浊液而不是以溶液形式存在，难以把粉末包覆均匀，且无机绝缘剂包覆的材料存在成型后强度差等缺点，达不到量产要求。专利号CN105149574提供了一种包覆方法，通过把铁基软磁复合材料在有氧气氛中进行氧化，再把粉末放入酸液中反应，清除掉粉末颗粒表面的部分氧化铁，再清洗、烘干粉末，然后使用有机绝缘材料对烘干后的粉末进行包覆、成型，并在保护气氛炉中高温烧结。该发明采用化学包覆方法，来提高材料电阻。但是该发明的缺点也是显而易见的。首先，对粉末均匀氧化很难实现，通常粉末的氧化方式是把粉末堆放在匣钵内，放入高温炉中烧结。匣钵内表面与空气接触的粉末很容易氧化或者会全部氧化，内部的粉末由于与空气隔离就难氧化或不氧化，造成钵内的粉末氧化不均匀，会影响材料的整体电磁特性。其次，对氧化后的粉末进行酸洗，实施起来会非常困难，酸不但能与氧化物反应，更容易与复合材料中的金属铁反应，最终会使材料的磁性能变差，而且会产生更多的污染物；另外，该发明所述制备工艺太过复杂，包括粉末氧化、粉末酸洗、清洗烘干、粉末退火、配料、成型、保护气氛烧结7个工序。该发明中能保证粉末均匀氧化和材料电磁特性只存在理论上的可能，很难实现规模化生产。并且严格按照CN105149574的方法进行多次验证，均不能达到想要的效果。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法。制备的过程相对现有技术而言更加简洁环保，制备出来的产品同时满足耐高温和高表面电阻的要求。
本发明所述技术方案是先把含有Si、Cr、Al的铁基软磁复合材料进行成型处理形成坯件，然后把成型坯件在空气炉中烧结，通过控制烧结工艺使坯件表层的金属元素Si、Cr、Al氧化，使得坯件表面生成高电阻率的SiO2、Cr2O3、Al2O3氧化物，来达到提高磁芯表面电阻的目的。
一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，包括以下步骤：
(1)粉末退火：将颗粒直径为5-80μm的铁基软磁复合粉末放入高温真空炉(由合肥费舍罗热能技术有限公司提供，型号为箱式真空炉FZQ-60/10)或钟罩炉(由中国电子科技集团公司第48研究所提供，型号为钟罩式烧结窑炉-RBN14-32*32*100*4/UM)中，通入含有H2的保护性气体(H2占保护性气体体积分数的1-6％，优选2-4％，进一步优选3％)，升温至650-950℃，(优选700-900℃)，保温2-5小时(优选2.5-3.5小时，进一步优选3小时)，并随炉自然冷却至室温，制得粉末A，备用；
(2)粉末绝缘包覆和造粒：往步骤(1)制备的粉末A中加入粘接剂，然后加入有机溶剂进行稀释，其中粘接剂、乙醇或丙酮、粉末A的重量比为0.2-5:5-18:100，得到粘接剂、乙醇或丙酮、粉末A的混合物，然后对混合物进行搅拌，干燥，并用摇摆式造粒机进行造粒，并用筛网筛选摆式造粒机造出来的颗粒，筛网为20-150目(优选60-100目，进一步优选80目)，得到颗粒物，备用；
(3)颗粒成型：往步骤(2)制备的颗粒物中加入润滑剂，所述颗粒物与润滑剂的重量比为100:0.1-5(优选100:0.3-1)，在压力为600-2800MPa(优选800-2500MPa)下进行成型，制得坯件C，备用；
(4)烧结：将步骤(3)制备的坯件C放入炉中，在空气气氛中升温至700-1000℃，保温0.5-8小时(优选1-6小时，进一步优选2-5小时)，然后自然冷却至室温，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。
步骤(1)中所述铁基软磁复合粉末包含Fe、Si、Cr和/或Al，按重量百分数计，Si含量为1-8％，Cr含量为2-10％，Al含量小于1％，余量为Fe，优选的，Si含量为2-5％，Cr含量为3-6％，Al含量小于0.5％，余量为Fe。例如，所述铁基软磁复合粉末包含Fe、Si、Cr和Al，其中Al含量为0。
步骤(1)中所述的保护性气体包括N2、Ar中的至少一种。
步骤(1)中在650-950℃高温真空炉或钟罩炉中通入含有H2的N2或Ar保护气氛的目的是减小粉末应力，并还原部分被氧化的Fe，利于后续成型和提高材料磁导率和降低材料损耗。
步骤(1)中升温至650-950℃的升温速度为1-5℃/分钟，优选3℃/分钟。
步骤(2)中所述粘接剂是一种热固性的有机粘接剂，选自环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯中的一种或多种。
优选的，步骤(2)中有机粘接剂、乙醇或丙酮、粉末A的重量比为0.5-3:5-15:100。
步骤(2)中搅拌速度为40-120转/分钟，搅拌时间为100-130分钟，优选的，搅拌速度为50-100转/分钟，搅拌时间为120分钟。
步骤(2)中用水浴加热法(水浴加热的温度为30-40℃，优选35℃，时间为50-65分钟，优选60分钟)或抽真空(真空度为-11至-9KPa，优选-10KPa，抽真空时间为9-11分钟，优选10分钟)进行干燥。
步骤(2)中加入的粘接剂主要是提高成型坯件的强度，造粒的目的是增加流动性。
步骤(3)中所述润滑剂为粉末冶金润滑剂，选自硬脂酸锌、硬脂酸钙、KenolubeP11(石蜡润滑粉，瑞典生产)中的一种或多种。
步骤(3)中成型方式为干压或等静压。
步骤(4)中所述炉为马弗炉、钟罩炉、辊道炉或网带炉中的一种。
步骤(4)中所述炉为马弗炉或钟罩炉时，升温的速度为2-6℃/分钟(优选3℃/分钟)；所述炉为网带炉或辊道炉时，网带或辊道速度为2-10mm/分钟(优选4-8mm/分钟)。
本发明所述的技术方案制备的耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯表面氧化物薄膜的厚度为5-20nm。此氧化物层由外到内依次为Cr2O3、SiO2、Al2O3以及少部分的Fe2O3、FeO。
合金高温氧化是一个十分复杂的过程，它涉及到合金热力学和氧化动力学理论。氧化开始时氧在合金表面的吸附、离子化、氧和合金元素反应形成氧化物晶核、晶核长大、表面被薄氧化膜覆盖的过程。氧化物薄膜形成后，将金属基体与气相氧隔离，反应物只有经过氧化膜扩散才能对金属本身进一步氧化，最终形成保护性氧化膜。
依据热力学第二定律，任何化学反应过程如能自发进行，必然是自由能降低的过程，金属氧化反应能否进行以及反应物如何，要依据吉布斯自由能来判定。氧化物反应生成吉布斯自由能的大小，决定了合金的氧化程度和氧化速度，自由能大的金属活性大，容易氧化。通过查询工具书可知，部分金属自由能由小到大及氧化由难到易的次序为Co、Ni、Fe、Cr、Mn、V、Si、Al。本发明中涉及到的Cr、Si、Al等元素皆属于易氧化金属，与氧有着极强的亲和力，能形成稳定的氧化膜。结合本发明中铁基软磁复合材料，由于合金含量存在差异，研究表明，实际含量高的铬活性更大一些，存在于氧化物的表层。表面氧化膜从外到内氧化物组成依次为Cr2O3、SiO2、Al2O3及少部分Fe2O3。该复合氧化膜结构平坦、组织细密，氧化物颗粒均匀细小，具有优异的电绝缘性和与基体结合力。可以阻止基体中Fe元素的氧化。研究还表明，铬在高于600℃时开始和氧发生反应，生成Cr2O3，当表面产生致密氧化膜以后，反应便变得缓慢。当升温到1200℃时，Cr2O3氧化膜被破坏，生成CrO3，反应重新变快，这决定了烧结温度要低于1200℃；硅在高温下钝化生成SiO2，SiO2具有高熔点、高稳定性，是一种理想的抗氧化绝缘保护膜，在Fe-Si-Cr-Al合金中，SiO2有效地填补了氧化膜/基体界面的空位，增加了Cr2O3氧化膜的致密性，阻止了氧原子的内扩散氧化，提高了合金的抗氧化能力和电磁特性，同时SiO2能够提高氧化膜与基体的附着力。本发明中烧结后铁基复合材料磁体表层氧化膜中Cr2O3、SiO2、Al2O3的电阻率都比较大，能够满足本发明中磁芯耐高温和高表面电阻的要求。
相对现有技术而言，本发明的有益效果如下：
1.工艺流程简单且容易实现，且环保，对原料的利用率高，适合工业规模化生产；
2.本发明所述产品表面电阻高、电磁特性好，且能耐750℃高温，与现有技术相比，本发明很好地解决了产品有机物包覆不耐高温，无机物包覆不匀且毛坯强度差的缺点；
3.本发明所述产品可替代镍锌铁氧体产品，有助于实现电子产品的小型化。
附图说明
图1为坯件烧结前坯件表面的扫描电子显微镜(SEM)图。
图2为坯件烧结后坯件表面的扫描电子显微镜(SEM)图。
具体实施方式
为了让本领域技术人员更清楚明白本发明所述技术方案，以下列举一些实施例。
实施例1
一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，包括以下步骤：
(1)粉末退火：将D50粒径(一个样品的累计粒度分布百分数达到50％时所对应的粒径)为5μm的铁基软磁复合粉末放入高温真空炉或钟罩炉中，通入含有H2的保护性气体Ar(H2占保护性气体体积分数的1％)，以1℃/分钟的升温速度升温至650℃，保温2小时，然后随炉自然冷却至室温，制得粉末A，备用；
(2)粉末绝缘包覆和造粒：往步骤(1)制备的粉末A中加入环氧树脂，然后加入乙醇或丙酮稀释，其中环氧树脂、乙醇或丙酮、粉末A的重量比为0.2:6:100，得到环氧树脂、乙醇或丙酮、粉末A的混合物，然后对混合物进行搅拌(搅拌速度为40转/分钟，搅拌时间为100分钟)，水浴加热法(水浴加热的温度为30℃，时间为65分钟)进行干燥，并用摇摆式造粒机进行造粒，并用筛网筛选摆式造粒机造出来的颗粒，筛网为150目，得到颗粒B，备用；
(3)颗粒成型：往步骤(2)制备的颗粒B中加入硬脂酸锌，颗粒B与硬脂酸锌的重量比为100:0.1，采用干压方式，压力为600MPa下进行成型，制得坯件C，备用；
(4)烧结：将步骤(3)制备的坯件C放入马弗炉中，在空气气氛中以2℃/分钟的升温速度升温至700℃，保温0.5小时，然后自然冷却至室温，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。
步骤(1)中所述铁基软磁复合粉末包含Fe、Si、Cr和Al，按重量百分数计，Si含量为1％，Cr含量为2％，Al含量为0％，余量为Fe。
实施例2
一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，包括以下步骤：
(1)粉末退火：将D50粒径为20μm的铁基软磁复合粉末放入高温真空炉或钟罩炉中，通入含有H2的保护性气体Ar(H2占保护性气体体积分数的2％)，以3℃/分钟的升温速度升温至700℃，保温3.5小时，然后随炉自然冷却至室温，制得粉末A，备用；
(2)粉末绝缘包覆和造粒：往步骤(1)制备的粉末A中加入聚氨酯，然后加入乙醇或丙酮稀释，其中聚氨酯、乙醇或丙酮、粉末A的重量比为2:8:100，得到聚氨酯、乙醇或丙酮、粉末A的混合物，然后对混合物进行搅拌(搅拌速度为50转/分钟，搅拌时间为110分钟)，水浴加热法(水浴加热的温度为35℃，时间为60分钟)进行干燥，并用摇摆式造粒机进行造粒，并用筛网筛选摆式造粒机造出来的颗粒，筛网为80目，得到颗粒B，备用；
(3)颗粒成型：往步骤(2)制备的颗粒B中加入硬脂酸锌，颗粒B与硬脂酸锌的重量比为100:0.3，采用干压方式，压力为1000MPa下进行成型，制得坯件C，备用；
(4)烧结：将步骤(3)制备的坯件C放入马弗炉中，在空气气氛中以3℃/分钟的升温速度升温至800℃，保温3小时，然后自然冷却至室温，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。
步骤(1)中所述铁基软磁复合粉末包含Fe、Si、Cr和Al，按重量百分数计，Si含量为4％，Cr含量为5％，Al含量小于0.5％，余量为Fe。
实施例3
一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，包括以下步骤：
(1)粉末退火：将D50粒径为40μm的铁基软磁复合粉末放入高温真空炉或钟罩炉中，通入含有H2的保护性气体N2(H2占保护性气体体积分数的3％)，以3℃/分钟的升温速度升温至800℃，保温3小时，然后随炉自然冷却至室温，制得粉末A，备用；
(2)粉末绝缘包覆和造粒：往步骤(1)制备的粉末A中加入有机硅树脂，然后加入乙醇或丙酮稀释，其中有机硅树脂、乙醇或丙酮、粉末A的重量比为0.2:10:100，得到有机硅树脂、乙醇或丙酮、粉末A的混合物，然后对混合物进行搅拌(搅拌速度为60转/分钟，搅拌时间为120分钟)，水浴加热法(水浴加热的温度为40℃，时间为50分钟)进行干燥，并用摇摆式造粒机进行造粒，并用筛网筛选摆式造粒机造出来的颗粒，筛网为60目，得到颗粒B，备用；
(3)颗粒成型：往步骤(2)制备的颗粒B中加入Kenolube P11，颗粒B与KenolubeP11的重量比为100:1，采用干压方式，压力为2000MPa下进行成型，制得坯件C，备用；
(4)烧结：将步骤(3)制备的坯件C放入钟罩炉中，在空气气氛中以4℃/分钟的升温速度升温至950℃，保温3小时，然后自然冷却至室温，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。
步骤(1)中所述铁基软磁复合粉末包含Fe、Si、Cr和Al，按重量百分数计，Si含量为5％，Cr含量为6％，Al含量小于0.5％，余量为Fe。
实施例4
一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，包括以下步骤：
(1)粉末退火：将D50粒径为80μm的铁基软磁复合粉末放入钟罩炉中，通入含有H2的保护性气体N2(H2占保护性气体体积分数的6％)，以5℃/分钟的升温速度升温至950℃，保温5小时，然后随炉自然冷却至室温，制得粉末A，备用；
(2)粉末绝缘包覆和造粒：往步骤(1)制备的粉末A中加入有机硅树脂，然后加入乙醇或丙酮稀释，其中有机硅树脂、乙醇或丙酮、粉末A的重量比为5:18:100，得到有机硅树脂、乙醇或丙酮、粉末A的混合物，然后对混合物进行搅拌(搅拌速度为120转/分钟，搅拌时间为130分钟)，抽真空(真空度为-10KPa，抽真空的时间为10分钟)进行干燥，并用摇摆式造粒机进行造粒，并用筛网筛选摆式造粒机造出来的颗粒，筛网为20目，得到颗粒B，备用；
(3)颗粒成型：往步骤(2)制备的颗粒B中加入硬脂酸钙，颗粒B与硬脂酸钙的重量比为100:5，采用干压方式，压力为2800MPa下进行成型，制得坯件C，备用；
(4)烧结：将步骤(3)制备的坯件C放入辊道炉中，在空气气氛中以6℃/分钟的升温速度升温至1000℃，保温6小时，然后自然冷却至室温，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。
步骤(1)中所述铁基软磁复合粉末包含Fe、Si、Cr和Al，按重量百分数计，Si含量为8％，Cr含量为10％，Al含量小于1％，余量为Fe。
实施例5
取D50粒径为13μm的铁基软磁复合粉末(按重量百分数计，包含Si含量为2.5％，Cr含量为5.5％，余量为Fe)1000克，放入高温真空炉中，先抽真空，然后充入含3％H2体积的N2，升温到750℃，升温速度为3℃/min，在750℃保温3小时；降至室温，关闭充气阀，取出粉末。称取10克市售环氧树脂，5克市售硅树脂，两份50克丙酮。分别溶解后加入粉末中均匀搅拌，干燥，加入3克硬脂酸锌并充分搅拌均匀，过60目筛，用单发直立成型机，加压1500MPa成型，坯件放入网带炉中，升温到900℃，速度4mm/min，出炉冷却到室温，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。
实施例6
取D50粒径为27μm的铁基软磁复合粉末(按重量百分数计，包含Si含量为3.5％，Cr含量为5.5％，余量为Fe)1000克，放入高温真空炉中，先抽真空，然后充入含3％H2体积的N2，升温到750℃，升温速度为3℃/min，在750℃保温3小时；降至室温，关闭充气阀，取出粉末，称取10克市售环氧树脂，5克市售硅树脂，两份50克丙酮，分别溶解后加入粉末中均匀搅拌，干燥，加入3克硬脂酸锌并充分搅拌均匀，过60目筛，用单发直立成型机，加压1500MPa成型，坯件放入网带炉中，升温到900℃，速度4mm/min，出炉冷却到室温，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。
实施例7
取D50粒径为43μm的铁基软磁复合粉末(按重量百分数计，包含Si含量为4.5％，Cr含量为5.5％，余量为Fe)1000克，放入高温真空炉中，先抽真空，然后充入含3％H2体积的N2，升温到750℃，升温速度为3℃/min，在750℃保温3小时；降至室温，关闭充气阀，取出粉末，称取10克市售环氧树脂，5克市售硅树脂，两份50克丙酮。分别溶解后加入粉末中均匀搅拌，干燥，加入3克硬脂酸锌并充分搅拌均匀，过60目筛。用单发直立成型机，加压1500MPa成型。坯件放入网带炉中，升温到900℃，速度4mm/min，出炉冷却到室温，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。
图1为本实施例坯件烧结前坯件表面的扫描电子显微镜(SEM)图。图2为本实施例坯件烧结后坯件表面的扫描电子显微镜(SEM)图。烧结前坯件表面粉末颗粒未被氧化，属于粉末原貌，坯件烧结后表面金属元素氧化成高绝缘的氧化膜。
实施例8
取D50粒径为43μm的铁基软磁复合粉末(按重量百分数计，包含Si含量为4.5％，Cr含量为6％，余量为Fe)1000克，放入高温真空炉中，先抽真空，然后充入含3％H2体积的N2，并保持炉内正压；升温到750℃，升温速度为3℃/min，在750℃保温3小时；降至室温，关闭充气阀，取出粉末，称取10克市售环氧树脂，5克市售硅树脂，两份50克丙酮，分别溶解后加入粉末中均匀搅拌，干燥，加入3克硬脂酸锌并充分搅拌均匀，过60目筛，用单发直立成型机，加压1500MPa成型，坯件放入网带炉中，升温到900℃，速度4mm/min，出炉冷却到室温，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯。
产品性能测试
对实施例1-8制备的产品采用测试仪器为HP4284电感仪(1MHz，1V)、SM-8216电阻仪(25V，3秒)测试，另外，还测试了实施例1-8制备的产品耐高温的情况，其结果如表1所示。
表1：
Figure BDA0001823778790000081
从表1可以看出，本发明所述产品的表面电阻和耐高温程度能同时满足高表面电阻、耐高温的要求，市售的铁基软磁磁芯1和市售的铁基软磁磁芯2都不能同时满足耐高温和高表面电阻的要求。本发明所述产品的表面电阻全部达到了50MΩ(25V)的要求，能耐受的温度超过750℃，且磁芯表面氧化层均匀、平坦、致密，特性稳定。

Claims (9)

1.一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)粉末退火：将铁基软磁复合粉末放入炉中，通入含有H2的保护性气体，升温，保温，冷却，制得粉末A，备用；
(2)粉末绝缘包覆和造粒：往步骤(1)制备的粉末A中加入粘接剂，再加入有机溶剂，粘接剂、有机溶剂、粉末A的重量比为0.2-5:5-18:100，然后搅拌，干燥，造粒，筛选，得到颗粒物，备用，其中所述有机溶剂为乙醇和/或丙酮；
(3)颗粒成型：往步骤(2)制备的颗粒物中加入润滑剂，所述颗粒物与润滑剂的重量比为100:0.1-5，在压力为600-2800MPa下进行成型，制得坯件，备用；
(4)烧结：将步骤(3)制备的坯件放入炉中，在空气气氛中升温至700-1000℃，保温0.5-8小时，然后冷却，制得所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯；
步骤(1)中所述铁基软磁复合粉末包含Fe、Si、Cr和Al，按重量百分数计，Si含量为1-8％，Cr含量为2-10％，Al含量小于1％，余量为Fe；
步骤(2)中所述粘接剂选自环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯中的一种或多种；
所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的表面电阻在25V电压下，达到了50MΩ，耐受的温度超过750℃；
所述坯件烧结后表面金属元素氧化成氧化膜。
2.根据权利要求1所述的一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，其特征在于，所述铁基软磁复合粉末的颗粒直径为5-80μm。
3.根据权利要求1所述的一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，其特征在于，步骤(1)中H2占保护性气体体积分数的1-6％；所述保护性气体包括N2、Ar中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，其特征在于，步骤(1)中升温至650-950℃，升温的速度为1-5℃/分钟，保温的时间为2-5小时。
5.根据权利要求1所述的一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，其特征在于，步骤(2)中搅拌的速度为40-120转/分钟，搅拌时间为100-130分钟。
6.根据权利要求1所述的一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，其特征在于，步骤(2)中筛选所用的筛网为20-150目。
7.根据权利要求1所述的一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，其特征在于，步骤(3)中所述润滑剂选自硬脂酸锌、硬脂酸钙、石蜡润滑粉中的一种或多种。
8.根据权利要求1所述的一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的制备方法，其特征在于，步骤(4)中所述炉为马弗炉、钟罩炉、辊道炉或网带炉中的一种，所述炉为马弗炉或钟罩炉时，升温的速度为2-6℃/分钟；所述炉为网带炉或辊道炉时，网带炉的网带或辊道炉的辊道的速度为2-10mm/分钟。
9.一种耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯，其特征在于，根据权利要求1-8中任一项所述的制备方法制备得到；所述耐高温高表面电阻铁基软磁磁芯的表面电阻在25V电压下，达到了50MΩ，耐受的温度超过750℃。
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