CN109468592A - 一种蒸发镀膜用材料的清洗方法 - Google Patents

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Abstract

本发明属于电子信息技术领域，具体涉及一种蒸发镀膜用材料的清洗方法，该方法如下步骤：1)对材料进行酸洗及漂洗；2)对步骤1)所得材料进行自磨抛操作；3)对步骤2)所得材料进行洁净清洗操作；4)将步骤3)所得材料烘干。本方法清洗后的蒸发材料洁净度高，不影响蒸发材料杂质元素的检测，可以保证蒸发镀膜能工艺的稳定进行。

Description

一种蒸发镀膜用材料的清洗方法
技术领域
本发明属于电子信息技术领域，具体涉及一种蒸发镀膜用材料的清洗方法。
背景技术
蒸发镀膜技术广泛应用于电子信息产业，其过程是在高真空的腔体中蒸发器加热蒸发物质，使之升华，蒸发粒子流直接射向基片，并在基片上沉积形成固态薄膜。
由于蒸镀过程中蒸发腔体是高真空状态，同时蒸发镀膜工艺的设备和产品价值很高，对蒸发镀膜用材料表面质量提出了极高要求。为防止对蒸发设备和产品造成污染，要求蒸发材料表面洁净度达到电子级；为了避免材料使用过程中异常打火放电造成设备损坏或薄膜失效，材料表面禁止出现变色、尖角、毛刺等异常，因此蒸发材料的表面洁净度及外观是影响蒸发材料使用性能的决定性因素，其过程的控制尤为重要。
目前还没有成熟的蒸发镀膜材料的清洗方法，开发一种能有效控制蒸发镀膜材料表面洁净度和良好表面质量的清洗方法具有重要意义。
发明内容
本发明提供一种蒸发镀膜用材料的清洗方法，按此方法处理后的蒸发材料表面洁净度达到电子级要求，表面光洁无毛刺无尖角等异常，且不影响蒸发材料杂质元素的检测，能提前验证蒸发材料性能。
本发明具体技术方案如下。
一种蒸发镀膜用材料的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)对完成机械加工的材料其进行酸洗及漂洗；
2)对材料进行自磨抛操作；
3)对材料进行洁净清洗操作；
4)将材料烘干。
可选的，步骤(1)所述机械加工材料包括但不限于铜、镍、钛、银、铝、钒等材料，外观为片状、粒状或其它形状。
可选的，步骤(1)酸洗使用硝酸和氢氟酸混合酸液，漂洗时用水冲洗。
可选的，步骤(2)所述自磨抛中，磨抛机转速100-130r/min，研磨时间5-15min。
可选的，步骤(3)所述洁净清洗先使用去离子水超声清洗，再使用去离子水喷淋冲洗，使用无水乙醇或IPA脱水、吹干。
可选的，步骤(4)所述烘干温度不小于80℃，时间不少于30±5min。
可选的，所述混合酸液中，硝酸质量浓度45％-55％，氢氟酸质量浓度1％-8％；酸洗时间为1-2min。
可选的，所述喷淋冲洗，喷淋角度为30-70°，喷淋压力为0.4Mpa-0.8Mpa,喷淋时间为30-60s。
本发明的有益效果，本方法清洗后的蒸发材料洁净度高，不影响蒸发材料杂质元素的检测，可以保证蒸发镀膜能工艺的稳定进行。
附图说明
图1为本发明蒸发镀膜用材料的清洗方法的流程图。
图2单侧喷淋角度示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步详细说明。
实施例1
(1).提供完成机械加工的纯度大于99.995％的一种蒸发镀膜用材料(镍)，使用硝酸质量浓度45％、氢氟酸质量浓度1％的混合酸液，对其进行1.5min酸洗浸泡操作，之后自来水漂洗1min；
(2).对蒸发镀膜用材料(镍)进行自磨抛操作，设备为卧式离心研磨机，研磨机转速120r/min，研磨时间5min；
(3).对其进行洁净清洗操作，使用工业纯水在超声频率28KHz，功率密度20W/L条件下，超声4min；再使用工业纯水喷淋冲洗，喷淋角度为45°，喷淋压力为0.6Mpa,喷淋时间为60s，之后使用纯度99.9％的乙醇脱水，热风吹干。
(4).使用电热鼓风干燥箱,在85℃下，将脱水后的蒸发镀膜用材料(镍)烘干30min。
表1为采用本发明所述工艺清洗后的蒸发镀膜用材料(镍)的化学成分分析结果。方法：GDMS(QB-YQ-011-2010)，其结果表明杂质元素含量低，纯度大于99.995wt.％。
表1蒸发镀膜用材料(镍)的化学成分分析结果
实施例2
(1).提供完成机械加工的纯度大于99.9999％的一种蒸发镀膜用材料(铜)，使用硝酸质量浓度50％、氢氟酸质量浓度1.5％的混合酸液，对其进行1min酸洗浸泡操作，之后自来水漂洗1min；
(2).对蒸发镀膜用材料(铜)进行研磨操作，设备为卧式离心研磨机，研磨机转速110r/min，研磨时间7min；
(3).对其进行洁净清洗操作，使用工业纯水在超声频率28KHz，功率密度25W/L条件下，超声3min；再使用工业纯水喷淋冲洗，喷淋角度为60°，喷淋压力为0.7Mpa,喷淋时间为50s，之后使用纯度99.9％的乙醇脱水，热风吹干。
(4).使用电热鼓风干燥箱在80℃温度下，将脱水后的蒸发镀膜用材料(铜)烘干35min。
表2为采用本发明所述工艺清洗后的蒸发镀膜用材料(铜)的化学成分分析结果。方法：GDMS(QB-YQ-011-2010)，其结果表明杂质元素含量低，纯度大于99.9999wt.％。
表2蒸发镀膜用材料(铜)的化学成分分析结果
上述实施例对本发明的技术方案进行了详细说明。显然，本发明并不局限于所描述的实施例。基于本发明中的实施例，熟悉本技术领域的人员还可据此做出多种变化，但任何与本发明等同或相类似的变化都属于本发明保护的范围。

Claims (8)

1.一种蒸发镀膜用材料的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：
1)对材料进行酸洗及漂洗；
2)对步骤1)所得材料进行自磨抛操作；
3)对步骤2)所得材料进行洁净清洗操作；
4)将步骤3)所得材料烘干。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1)中所述材料包括铜、镍、钛、银、铝、钒，外观为片状、粒状。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤1)中所述酸洗使用硝酸和氢氟酸混合酸液，漂洗用水冲洗。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤2)中所述自磨抛的磨抛机转速100-130r/min，研磨时间5-15min。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤3)中所述洁净清洗,先使用去离子水超声清洗，再使用去离子水喷淋冲洗，使用无水乙醇或IPA脱水、吹干。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤4)中所述烘干的温度不低于80℃，时间不少于30±5min。
7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述混合酸液中，硝酸质量浓度45％-55％，氢氟酸质量浓度1％-8％；酸洗时间为1-2min。
8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述喷淋冲洗，喷淋角度为30-70°，喷淋压力为0.4Mpa-0.8Mpa,喷淋时间为30-60s。
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