CN109382365B - 一种用于金属掩膜板的清洗系统 - Google Patents

一种用于金属掩膜板的清洗系统 Download PDF

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Abstract

本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板的清洗系统，包括封闭的车间，车间内地面上放置有一排若干个清洗槽，清洗槽后端装有脱水槽，其特征是：车间内位于清洗槽上方装有两根纵向梁，两根纵向梁上装有机械手，清洗系统还包括用于装载金属掩膜板的吊具，机械手可以将吊具进行升降或平移；所述清洗槽包括鼓泡清洗槽、酒精清洗槽；本发明清洗效率更高，清洗效果更好，运行成本低，适用于对现有金属掩膜板清洗机的改进。

Description

一种用于金属掩膜板的清洗系统
技术领域
本发明涉及金属掩膜板清洗技术领域，具体是一种用于金属掩膜板的清洗系统。
背景技术
有机电致发光器件，具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点，被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED（Organic Light-Emitting Diode，有机电发光二极管）技术中，用于真空蒸镀的掩膜板是一项非常重要和关键的部件，该部件的质量直接影响OLED产品的质量和制造成本。
掩膜板（Mask），特别是细小网格的掩膜板（Fine Mask），在初加工成型后，会在网格内或表面残留金属边角料等颗粒物质，影响掩膜板的正常使用。在循环使用的过程中，掩膜板上会沾上有机发光材料等杂质，这些杂质将影响掩膜板的精度或正常使用，在将掩膜板再次投入使用前必须清除。
目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统由于自身结构设计不够合理，其清洗效果不佳，难以达到用户要求，同时系统投入成本及运行成本较高。
发明内容
本发明的目的就是为了解决目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统由于自身结构设计不够合理，其清洗效果不佳，难以达到用户要求，同时系统投入成本及运行成本较高的问题，提供一种用于金属掩膜板的清洗系统。
本发明的具体方案是：一种用于金属掩膜板的清洗系统，包括封闭的车间，车间内地面上放置有一排若干个清洗槽，清洗槽后端装有脱水槽，车间内位于清洗槽上方装有两根纵向梁，两根纵向梁上装有机械手，清洗系统还包括用于装载金属掩膜板的吊具，机械手可以将吊具进行升降或平移；所述清洗槽包括鼓泡清洗槽、酒精清洗槽。
本发明所述鼓泡清洗槽包括一个上端开口的矩形槽体，槽体侧壁上装有进水管，槽体底部装有出水管，槽体外部一侧装有一台鼓风机，鼓风机的出风口装有一根管道，管道包括跨过槽体侧壁上方的U型管，U型管伸入槽体内装有一根沿槽体长度方向布置的水平直管，水平直管顶部沿全长设有若干个风孔。
本发明所述鼓泡清洗槽的槽体侧壁上装有电加热管。
本发明所述鼓泡清洗槽的槽体底部设有一凹坑，所述出水管安装在凹坑上。
本发明所述酒精清洗槽包括一个上端开口的矩形槽体，槽体侧壁上装有进水管，槽体底部装有出水管，槽体顶部装有两条平行的轨道，轨道上装有一块沿轨道滑动的盖板，盖板宽度与槽体相匹配，盖板一侧固定装有一块支板，支板上装有用于开启和关闭盖板的驱动机构，所述驱动机构包括安装在槽体一侧的支架，支架上装有减速电机，减速电机输出端装有驱动齿轮，槽体另一侧装有从动齿轮，驱动齿轮和从动齿轮上绕装有一根循环的链条，所述支板与链条固定连接。
本发明酒精清洗槽还包括制冷系统，制冷系统包括压缩机、冷凝器、蒸发盘管，蒸发盘管安装在槽体内壁，压缩机的排气管与冷凝器进气管连接，压缩机的进气管与蒸发盘管的一端连接，冷凝器的出气管与蒸发盘管的另一端连接。
本发明所述酒精清洗槽的槽体侧壁上装有过滤器，过滤器的进水管安装在槽体上端，过滤器的出水管安装在槽体下端。
本发明所述脱水槽包括一个上端开口的矩形槽体，槽体一侧壁外侧装有一根竖直的抽风管，抽风管下端装有引风机，抽风管顶端装有一根与抽风管连通的引风管，引风管向脱水槽前端的清洗槽方向延伸，引风管上设有若干个风孔；抽风管上装有两根穿入脱水槽槽体内的脱水管，其中一根位于脱水槽上端，另一根位于脱水槽下端，所述抽风管底端装有埋入地下且引出外部的排气管。
本发明所述脱水槽的槽体两侧壁上装有向清洗系统外部延伸的支撑壁，每个支撑壁上装有用于将吊具向清洗系统外输送的输送装置。
本发明输送输送装置包括固定安装在支撑壁上的水平的支撑梁，支撑壁外端装有传动齿轮，支撑壁内端或槽体侧壁上装有驱动齿轮，驱动齿轮上装有减速电机，驱动齿轮与传动齿轮上绕装有一根循环的链条，链条位于支撑梁上方的部分固定装有一块沿支撑梁滑动的滑板，滑板顶部装有用于承托吊具的支撑块。
本发明所述支撑壁外端装有接近开关，接近开关与减速电机电气连接，滑板或支撑块移动到接近开关处时减速电机停机。
本发明所述机械手包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构，行走机构上装有升降机构，行走机构包括矩形框架，矩形框架的一根横梁上装有减速电机，减速电机的两个输出端各装有一根传动轴，每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮，矩形框架另一横梁的两端装有从动轮，矩形框架中间固定装有一个龙门架，龙门架上装有抓取支架，抓取支架与吊具配合作用，龙门架上装有用于驱动抓取支架升降的升降驱动机构。
本发明所述升降驱动机构包括安装在龙门架两侧立柱上的齿轮链条传动机构，齿轮链条传动机构包括上端的驱动齿轮和下端的从动齿轮，驱动齿轮和从动齿轮上绕装有一根循环的链条，位于上端的两个驱动齿轮之间装有一根传动轴，龙门架上装有与传动轴连接的电机，所述抓取支架两端分别固定在两根立柱的链条上。
本发明所述矩形框架的四角处装有沿清洗系统纵向梁侧面移动的导向轮。
本发明所述吊具包括矩形框架，矩形框架顶部装有与机械手配合的悬挂横杆，矩形框架顶部横梁两侧装有与所述支撑块配合的支撑杆，矩形框架底部内侧装有用于固定金属掩膜板的脚垫，矩形框架一侧面内部装有两根竖直的固定杆，两根竖直的固定杆之间的距离小于金属掩膜板的宽度，两根竖直的固定杆上还装有水平的支撑条，支撑条上装有一排若干个固定夹，所述固定夹包括固定安装在支撑条上的底座，底座顶部铰接有一把手，把手中间铰接有一根压条，压条末端装有可压紧金属掩膜板的橡胶垫。
本发明所述固定杆上还装有竖直方向的压紧机构，压紧机构包括安装在支撑条上的底座，底座顶部铰接有一把手，把手中间铰接有一根竖直向下的压杆，支撑条上位于压杆处装有导向套，压杆穿过导向套外端装有橡胶垫。
本发明工作原理如下：装有金属掩膜板的吊具从车间入口处进入车间内，通过机械手将吊具依顺序逐个放入清洗槽内，使金属掩膜板完全浸入清洗液中，进入鼓泡清洗槽时系统打开鼓风机将外界的空气鼓入清洗槽内，空气从位于槽底的风孔向上窜动的过程中增加了清洗液与金属掩膜板的接触，可将金属掩膜板的角落及难以清洗的地方清洗干净；电加热管用于维持清洗液的温度以保持清洗液的活性；当机械手将吊具移送到酒精清洗槽上方时，系统控制驱动机构启动将盖板滑开，机械手再将吊具放入酒精清洗槽内；清洗完成后，系统控制驱动机构反向运转将盖板关闭，减少酒精挥发；脱水工作时，引风机开启将脱水槽内的空气向外抽出达到风干的目的，抽风管顶部水平的引风管可同时将前端清洗槽中产生的气体向外抽；
脱水槽的输送装置的工作原理如下：脱水干燥完毕后，机械手将吊具吊出脱水槽使吊具两侧的支撑杆对应放置在两侧的支撑块上，减速电机动作使滑板向清洗系统外移动将吊具送出，当滑板或支撑块移动到接近开关处时减速电机停机；
机械手工作原理如下：行走机构控制机械手沿清洗系统纵向梁水平移动，实现将吊具在不同清洗槽之间移动的功能；升降驱动机构控制抓取机构升降，实现将吊具从一个清洗槽内取出或将吊具放入槽内的功能；
吊具工作原理如下：金属掩膜板斜靠在矩形框架内，金属掩膜板的底部固定在脚垫上，金属掩膜板的顶部靠在两根竖直的固定杆上，扳动支撑条上固定夹的把手可将压条压住金属掩膜板的面板，扳动压紧机构的把手可将压杆竖直向下压住金属掩膜板的顶面。
本发明相比现有技术具有以下优点：1、本发明自动化程度更高，清洗效率大大提高；2、清洗效果更好，可将金属掩膜板的角落及难以清洗的地方清洗干净；3、通过设置盖板极大地减少了酒精的挥发，减少了浪费；4、清洗过程中装夹金属掩膜板的吊具固定可靠，装载或拆卸时不会划伤或磕碰金属掩膜板。
附图说明
图1是本发明的俯视图；
图2是本发明鼓泡清洗槽的俯视图；
图3是图2的A-A视图；
图4是图2的B-B视图；
图5是本发明酒精清洗槽的立体视图；
图6是图5的主视图；
图7是图6的A-A视图；
图8是本发明脱水槽的立体视图；
图9是图8的主视图；
图10是本发明机械手的立体视图；
图11是图10的主视图；
图12是图11的A-A视图；
图13是图11的俯视图；
图14是本发明吊具的立体视图；
图15是图14的主视图；
图16是图15的左视图；
图中：1-车间，2-纵向梁，3-鼓泡清洗槽，31-槽体，32-U型管，33-进水管，34-鼓风机，35-水平直管，36-电加热管，37-出水管，38-风孔，39-凹坑，4-酒精清洗槽，41-槽体，42-轨道，43-盖板，44-支板，45-驱动机构，451-从动齿轮，452-链条，453-减速电机，46-支架，47-过滤器，48-出水管，49-压缩机，410-冷凝器，411-蒸发盘管，412-进水管，5-脱水槽，51-支撑壁，52-槽体，53-接近开关，54-传动齿轮，55-滑板，56-支撑块，57-支撑梁，58-引风机，59-抽风管，510-脱水管，511-减速电机，512-引风管，513-风孔，514-排气管，6-机械手，61-矩形框架，62-减速电机，63-驱动轮，64-龙门架，65-抓取支架，66-链条，67-驱动齿轮，68-从动齿轮，69-立柱，610-电机，611-从动轮，612-导向轮，613-传动轴，7-吊具，71-矩形框架，72-固定杆，73-支撑条，74-悬挂横杆，75-脚垫，76-压紧机构，761-把手，762-底座，763-压杆，764-导向套，77-固定夹，771-把手，772-压条，773-底座，774-橡胶垫，78-支撑杆。
具体实施方式
参见图1、图14，本实施例包括封闭的车间1，车间1内地面上放置有一排若干个清洗槽，清洗槽后端装有脱水槽5，车间1内位于清洗槽上方装有两根纵向梁2，两根纵向梁2上装有机械手6，清洗系统还包括用于装载金属掩膜板的吊具7，机械手6可以将吊具7进行升降或平移；所述清洗槽包括鼓泡清洗槽3、酒精清洗槽4。
参见图2-4，本实施例所述鼓泡清洗槽3包括一个上端开口的矩形槽,31，槽体31侧壁上装有进水管33，槽体31底部装有出水管37，槽体31外部一侧装有一台鼓风机34，鼓风机34的出风口装有一根管道，管道包括跨过槽体31侧壁上方的U型管32，U型管32伸入槽体31内装有一根沿槽体31长度方向布置的水平直管35，水平直管35顶部沿全长设有若干个风孔38。
本实施例所述槽体31侧壁上装有电加热管36。
本实施例所述槽体31底部设有一凹坑39，所述出水管37安装在凹坑39上。
参见图5-7，本实施例所述酒精清洗槽4包括一个上端开口的矩形槽体41，槽体41侧壁上装有进水管412，槽体41底部装有出水管48，槽体41顶部装有两条平行的轨道42，轨道42上装有一块沿轨道42滑动的盖板43，盖板43宽度与槽体41相匹配，盖板43一侧固定装有一块支板44，支板44上装有用于开启和关闭盖板43的驱动机构45。
本实施例所述驱动机构45包括安装在槽体41一侧的支架46，支架46上装有减速电机453，减速电机453输出端装有驱动齿轮，槽体41另一侧装有从动齿轮451，驱动齿轮和从动齿轮451上绕装有一根循环的链条452，所述支板44与链条452固定连接。
本实施例酒精清洗槽4还包括制冷系统，制冷系统包括压缩机49、冷凝器410、蒸发盘管411，蒸发盘管411安装在槽体41内壁，压缩机49的排气管与冷凝器410进气管连接，压缩机49的进气管与蒸发盘管411的一端连接，冷凝器410的出气管与蒸发盘管411的另一端连接。
本实施例所述槽体41侧壁上装有过滤器47，过滤器47的进水管安装在槽体41上端，过滤器47的出水管安装在槽体41下端。
参见图8-9，本实施例所述脱水槽5包括一个上端开口的矩形槽体52，槽体52一侧壁外侧装有一根竖直的抽风管59，抽风管59下端装有引风机58，抽风管59顶端装有一根与抽风管59连通的引风管512，引风管512向脱水槽前端的清洗槽方向延伸，引风管512上设有若干个风孔513；抽风管59上装有两根穿入脱水槽槽体52内的脱水管510，其中一根位于脱水槽上端，另一根位于脱水槽5下端。
本实施例所述抽风管59底端装有埋入地下且引出外部的排气管514。
本实施例所述槽体52两侧壁上装有向清洗系统外部延伸的支撑壁51，每个支撑壁51上装有用于将吊具7向清洗系统外输送的输送装置。
本实施例输送输送装置包括固定安装在支撑壁51上的水平的支撑梁57，支撑壁51外端装有传动齿轮54，支撑壁51内端（也可以是槽体52）侧壁上装有驱动齿轮，驱动齿轮上装有减速电机511，驱动齿轮与传动齿轮上绕装有一根循环的链条，链条位于支撑梁57上方的部分固定装有一块沿支撑梁57滑动的滑板55，滑板55顶部装有用于承托吊具的支撑块56。
本实施例所述支撑壁51外端装有接近开关53，接近开关53与减速电机511电气连接，滑板55（也可以是支撑块56）移动到接近开关53处时减速电机511停机。
参见图10-13，本实施例所述机械手6包括安装在清洗系统纵向梁2上的行走机构，行走机构上装有升降机构，行走机构包括矩形框架61，矩形框架61的一根横梁上装有减速电机62，减速电机62的两个输出端各装有一根传动轴，每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮63，矩形框架61另一横梁的两端装有从动轮611，矩形框架61中间固定装有一个龙门架64，龙门架64上装有抓取支架65，抓取支架65与吊具7配合作用，龙门架64上装有用于驱动抓取支架65升降的升降驱动机构。
本实施例所述升降驱动机构包括安装在龙门架64两侧立柱69上的齿轮链条传动机构，齿轮链条传动机构包括上端的驱动齿轮67和下端的从动齿轮68，驱动齿轮67和从动齿轮68上绕装有一根循环的链条66，位于上端的两个驱动齿轮67之间装有一根传动轴613，龙门架64上装有与传动轴613连接的电机610，所述抓取支架65两端分别固定在两根立柱69的链条66上。
本实施例所述矩形框架61的四角处装有沿清洗系统纵向梁侧面移动的导向轮612。
参见图14-16，本实施例所述吊具7包括矩形框架71，矩形框架71顶部装有与机械手配合的悬挂横杆74，矩形框架71顶部横梁两侧装有与所述支撑块56配合的支撑杆78，矩形框架71底部内侧装有用于固定金属掩膜板的脚垫75，矩形框架71一侧面内部装有两根竖直的固定杆72，两根竖直的固定杆72之间的距离小于金属掩膜板的宽度，两根竖直的固定杆72上还装有水平的支撑条73，支撑条73上装有一排若干个固定夹77，所述固定夹77包括固定安装在支撑条73上的底座773，底座773顶部铰接有一把手771，把手771中间铰接有一根压条772，压条772末端装有可压紧金属掩膜板的橡胶垫774。
本实施例所述固定杆72上还装有竖直方向的压紧机构76，压紧机构76包括安装在支撑条73上的底座762，底座762顶部铰接有一把手761，把手761中间铰接有一根竖直向下的压杆763，支撑条73上位于压杆处装有导向套764，压杆763穿过导向套764外端装有橡胶垫。

Claims (1)

1.一种用于金属掩膜板的清洗系统，包括封闭的车间，车间内地面上放置有一排若干个清洗槽，清洗槽后端装有脱水槽，其特征是：车间内位于清洗槽上方装有两根纵向梁，两根纵向梁上装有机械手，清洗系统还包括用于装载金属掩膜板的吊具，机械手将吊具进行升降或平移；所述清洗槽包括鼓泡清洗槽、酒精清洗槽；
所述鼓泡清洗槽包括一个上端开口的矩形槽体，槽体侧壁上装有进水管，槽体底部装有出水管，槽体外部一侧装有一台鼓风机，鼓风机的出风口装有一根管道，管道包括跨过槽体侧壁上方的U型管，U型管伸入槽体内装有一根沿槽体长度方向布置的水平直管，水平直管顶部沿全长设有若干个风孔；
所述酒精清洗槽包括一个上端开口的矩形槽体，槽体侧壁上装有进水管，槽体底部装有出水管，槽体顶部装有两条平行的轨道，轨道上装有一块沿轨道滑动的盖板，盖板宽度与槽体相匹配，盖板一侧固定装有一块支板，支板上装有用于开启和关闭盖板的驱动机构，所述驱动机构包括安装在槽体一侧的支架，支架上装有减速电机，减速电机输出端装有驱动齿轮，槽体另一侧装有从动齿轮，驱动齿轮和从动齿轮上绕装有一根循环的链条，所述支板与链条固定连接；
酒精清洗槽还包括制冷系统，制冷系统包括压缩机、冷凝器、蒸发盘管，蒸发盘管安装在槽体内壁，压缩机的排气管与冷凝器进气管连接，压缩机的进气管与蒸发盘管的一端连接，冷凝器的出气管与蒸发盘管的另一端连接；
所述槽体侧壁上装有过滤器，过滤器的进水管安装在槽体上端，过滤器的出水管安装在槽体下端；
所述脱水槽包括一个上端开口的矩形槽体，槽体一侧壁外侧装有一根竖直的抽风管，抽风管下端装有引风机，抽风管顶端装有一根与抽风管连通的引风管，引风管向脱水槽前端的清洗槽方向延伸，引风管上设有若干个风孔；抽风管上装有两根穿入脱水槽槽体内的脱水管，其中一根位于脱水槽上端，另一根位于脱水槽下端，所述抽风管底端装有埋入地下且引出外部的排气管；
所述槽体两侧壁上装有向清洗系统外部延伸的支撑壁，每个支撑壁上装有用于将装载金属掩膜板的吊具向清洗系统外输送的输送装置；
所述机械手包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构，行走机构上装有升降机构，行走机构包括矩形框架，矩形框架的一根横梁上装有减速电机，减速电机的两个输出端各装有一根传动轴，每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮，矩形框架另一横梁的两端装有从动轮，矩形框架中间固定装有一个龙门架，龙门架上装有抓取支架，抓取支架与装载金属掩膜板的吊具配合作用，龙门架上装有用于驱动抓取支架升降的升降驱动机构；
所述升降驱动机构包括安装在龙门架两侧立柱上的齿轮链条传动机构，齿轮链条传动机构包括上端的驱动齿轮和下端的从动齿轮，驱动齿轮和从动齿轮上绕装有一根循环的链条，位于上端的两个驱动齿轮之间装有一根传动轴，龙门架上装有与传动轴连接的电机，所述抓取支架两端分别固定在两根立柱的链条上；
所述吊具包括矩形框架，矩形框架顶部装有与机械手配合的悬挂横杆，矩形框架底部内侧装有用于固定金属掩膜板的脚垫，矩形框架一侧面内部装有两根竖直的固定杆，两根竖直的固定杆之间的距离小于金属掩膜板的宽度，两根竖直的固定杆上还装有水平的支撑条，支撑条上装有一排若干个固定夹，所述固定夹包括固定安装在支撑条上的底座，底座顶部铰接有一把手，把手中间铰接有一根压条，压条末端装有压紧金属掩膜板的橡胶垫。
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