CN109300801B - 连动装置及具有该连动装置的处理设备 - Google Patents
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Abstract
一种连动装置，适于连接在一门板与一顶撑杆组之间，该连动装置包含一托架，及一连杆机构。托架用以承托该顶撑杆组。连杆机构连接于该门板及该托架之间，该门板移动时会通过该连杆机构带动该托架移动，使得该门板移动至一关闭位置时该顶撑杆组移动至一初始位置，而该门板移动至一开启位置时该顶撑杆组移动至一抬升位置。借此，能降低处理设备结构设计的复杂度以及制造的成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种应用于半导体制程的晶圆处理设备中的连动装置，特别是涉及一种用以连动门板与顶撑杆组同时移动的连动装置及具有该连动装置的处理设备。
背景技术
在半导体制程中，晶圆处理设备的机台通常设置一门装置，门装置包括一门板，及一与门板相连接的气缸。门板用以封闭腔室的开口，气缸用以驱动门板移动以控制开口的开启或关闭。腔室内设置有一承载装置，承载装置包括一承载盘、一顶撑杆组，及一与顶撑杆组相连接的气缸，气缸用以驱动顶撑杆组在一初始位置及一抬升位置之间移动。当腔室的开口开启且顶撑杆组在抬升位置时，移载机械手臂通过开口穿伸至腔室内以将一晶圆放置于顶撑杆组上，待放置完成后移载机械手臂移离腔室。接着，气缸驱动顶撑杆组下移到初始位置，以将晶圆放置于承载盘上。之后，通过另一气缸驱动门板移动以封闭开口，使得晶圆处理设备能进行后续晶圆的加工处理。
由于晶圆处理设备需配置两个单独的气缸分别驱动门板及顶撑杆组移动，因此，易增添晶圆处理设备结构设计的复杂度以及制造的成本。
发明内容
因此，本发明的一目的，在于提供一种连动装置，用以连动门板与顶撑杆组同时移动，借此，能降低结构设计的复杂度以及制造的成本。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用于下技术方案来实现的，依据本发明提出的连动装置，适于连接在一门板与一顶撑杆组之间。
该连动装置包含一托架，及一连杆机构，该托架用以承托该顶撑杆组，该连杆机构连接于该门板及该托架之间，该门板移动时会通过该连杆机构带动该托架移动，使得该门板移动至一关闭位置时该顶撑杆组移动至一初始位置，而该门板移动至一开启位置时该顶撑杆组移动至一抬升位置。
在一些实施态样中，该连动装置还包含一基柱，该托架套设于该基柱上并可沿一纵轴线相对于该基柱上下滑动，该门板沿一平行于该纵轴线的移动方向移动时会通过该连杆机构带动该托架沿一相反于该移动方向的滑动方向移动。
在一些实施态样中，该基柱界定多个呈环状相间隔排列的导引滑槽，各该导引滑槽呈长型且其长向沿该纵轴线延伸，该托架包括多个分别可上下滑动地滑接于所述导引滑槽内的滑块。
在一些实施态样中，该连杆机构包括一固设于该门板的支架，及一呈弯折状的弯折连杆，该弯折连杆的两相反端分别可转动地枢接于该支架及该托架。
在一些实施态样中，该弯折连杆具有一第一杆体，及一由该第一杆体一端弯折延伸而出的第二杆体，该第一杆体相反于该第二杆体的一端可转动地枢接于该支架，该第二杆体相反于该第一杆体的一端可转动地枢接于该托架，该第一杆体与该第二杆体之间形成有一夹角，该夹角为一钝角。
在一些实施态样中，该支架具有一第一枢轴，该托架具有一第二枢轴，该第一、第二枢轴的轴向相互平行并且垂直于该纵轴线，该第一杆体界定一枢接于该第一枢轴的第一枢接孔，该第二杆体界定一枢接于该第二枢轴的第二枢接孔。
在一些实施态样中，该连动装置还包含一间隔位于该基柱与该门板之间的框架，该框架包括两个相间隔的侧架体，及一设置于该两侧架体之间的轴杆，该轴杆邻近于各该侧架体顶端，该轴杆的轴向平行于该第一、第二枢轴的轴向，该连杆机构还包括一设置于该两侧架体之间的摆动杆，该摆动杆具有一可转动地枢接于该轴杆的杆本体，及一连接轴，该杆本体界定一供该第二杆体穿设的穿槽，该连接轴的轴向平行于该轴杆的轴向，该连接轴穿设于该杆本体及该穿槽且间隔位于该轴杆下方，该第二杆体界定一枢接于该连接轴的第三枢接孔。
在一些实施态样中，该连动装置还包含一框架，该框架包括一轴杆，该连杆机构还包括一摆动杆，该摆动杆两相反端分别枢接于该轴杆及该弯折连杆。
本发明的另一目的，在于提供一种具有连动装置的处理设备，借由连动装置连动门板与顶撑杆组同时移动，能降低结构设计的复杂度以及制造的成本。
本发明的目的及解决背景技术问题是采用于下技术方案来实现的，依据本发明提出的该处理设备包括一机台、一承载装置、一顶撑杆组、一门装置，及一连动装置，该机台界定一腔室，及一使该腔室与外部相连通的开口，该承载装置设置于该腔室内，该顶撑杆组设置于该腔室内，该门装置设置于该机台并包含一用以封闭该开口的门板，及一与该门板相连接的气缸，该气缸用以驱动该门板在一封闭该开口的关闭位置，及一未封闭该开口的开启位置之间移动，该连动装置包含一托架，及一连杆机构，该托架承托该顶撑杆组，该连杆机构连接于该门板及该托架之间，该门板移动时会通过该连杆机构带动该托架移动，使得该门板移动至该关闭位置时该顶撑杆组移动至一初始位置，而该门板移动至该开启位置时该顶撑杆组移动至一对齐于该开口的抬升位置。
在一些实施态样中，该开启位置的高度低于该关闭位置的高度，该抬升位置的高度高于该初始位置的高度，该关闭位置的高度与该抬升位置的高度相当，而该开启位置的高度则与该初始位置的高度相当，该连动装置还包含一设置于该腔室内的基柱，该托架套设于该基柱上并可沿一纵轴线相对于该基柱上下滑动，该门板沿一平行于该纵轴线的移动方向移动时会通过该连杆机构带动该托架沿一相反于该移动方向的滑动方向移动。
在一些实施态样中，该基柱界定多个呈环状相间隔排列的导引滑槽，各该导引滑槽呈长型且其长向沿该纵轴线延伸，该托架包括多个分别可上下滑动地滑接于所述导引滑槽内的滑块。
在一些实施态样中，该连杆机构包括一固设于该门板的支架，及一呈弯折状的弯折连杆，该弯折连杆的两相反端分别可转动地枢接于该支架及该托架。
在一些实施态样中，该弯折连杆具有一第一杆体，及一由该第一杆体一端弯折延伸而出的第二杆体，该第一杆体相反于该第二杆体的一端可转动地枢接于该支架，该第二杆体相反于该第一杆体的一端可转动地枢接于该托架，该第一杆体与该第二杆体之间形成有一夹角，该夹角为一钝角。
在一些实施态样中，该支架具有一第一枢轴，该托架具有一第二枢轴，该第一、第二枢轴的轴向相互平行并且垂直于该纵轴线，该第一杆体界定一枢接于该第一枢轴的第一枢接孔，该第二杆体界定一枢接于该第二枢轴的第二枢接孔。
在一些实施态样中，该连动装置还包含一设置于该腔室内且间隔位于该基柱与该门板之间的框架，该框架包括两个相间隔的侧架体，及一设置于该两侧架体之间的轴杆，该轴杆邻近于各该侧架体顶端，该轴杆的轴向平行于该第一、第二枢轴的轴向，该连杆机构还包括一设置于该两侧架体之间的摆动杆，该摆动杆具有一可转动地枢接于该轴杆的杆本体，及一连接轴，该杆本体界定一供该第二杆体穿设的穿槽，该连接轴的轴向平行于该轴杆的轴向，该连接轴穿设于该杆本体及该穿槽且间隔位于该轴杆下方，该第二杆体界定一枢接于该连接轴的第三枢接孔。
在一些实施态样中，该连动装置还包含一设置于该腔室内的框架，该框架包括一轴杆，该连杆机构还包括一摆动杆，该摆动杆两相反端分别枢接于该轴杆及该弯折连杆。
本发明的有益效果在于：借由连动装置能连动门板与顶撑杆组同时移动的设计方式，使得处理设备只需配置单独一个气缸便能同时驱动门板与顶撑杆组移动，借此，能降低处理设备结构设计的复杂度以及制造的成本。
附图说明
图1是本发明具有连动装置的处理设备的一实施例的立体图；
图2是该实施例的不完整的立体图，说明门板、顶撑杆组以及连动装置之间的连接关系；
图3是图2的俯视图；
图4是该实施例的局部放大图，说明连动装置的细部结构；
图5是该实施例的不完整的剖视图，说明门板位在关闭位置，顶撑杆组位在初始位置；
图6是该实施例的不完整的剖视图，说明门板移动至开启位置，顶撑杆组移动至抬升位置；及
图7是该实施例的不完整的剖视图，说明门板复位至关闭位置，顶撑杆组复位至初始位置。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。
在本发明被详细描述之前，应当注意在以下的说明内容中，类似的元件是以相同的编号来表示。
参阅图1及图2，是本发明具有连动装置的处理设备的一实施例，处理设备100应用于半导体制程中并且用以对一晶圆6(如图6所示)进行加工处理。处理设备100包含一机台1、一承载装置2、一顶撑杆组3、一门装置4，及一连动装置5。
参阅图2及图3，机台1界定一腔室11，及一使腔室11与外部相连通的开口12。承载装置2设置于腔室11内并且固定于机台1，承载装置2包括一中心柱21，及一设置于中心柱21邻近顶端处的承载框22，承载框22用以承载晶圆6。顶撑杆组3设置于腔室11内并包括多根顶撑杆31，各顶撑杆31用以顶撑晶圆6。
参阅图2、图4、图5及图6，门装置4设置于机台1并包含一用以封闭开口12的门板41，及一与门板41相连接的气缸42。气缸42用以驱动门板41在一如图5所示封闭开口12的关闭位置，及一如图6所示未封闭开口12的开启位置之间移动。连动装置5包含一托架51，及一连杆机构52。托架51呈环形状并且围绕在中心柱21外周围，托架51用以承托顶撑杆组3的所述顶撑杆31。所述顶撑杆31等角度地相间隔排列，且各顶撑杆31位于承载框22的一对应镂空孔221下方。连杆机构52连接于门板41及托架51之间，门板41被气缸42驱动而移动时会通过连杆机构52带动托架51移动，使得门板41移动至关闭位置时顶撑杆组3移动至一如图5所示的初始位置，而门板41移动至开启位置时顶撑杆组3移动至一如图6所示对齐于开口12的抬升位置。借由连动装置5能连动门板41与顶撑杆组3同时移动的设计方式，使得处理设备100只需配置单独一个气缸42便能同时驱动门板41与顶撑杆组3移动，借此，能降低处理设备100结构设计的复杂度以及制造的成本。
以下将针对处理设备100的具体构造进行详细说明:
参阅图5及图6，门板41的开启位置的高度低于关闭位置的高度，顶撑杆组3的抬升位置的高度高于初始位置的高度，且关闭位置的高度与抬升位置的高度相当，而开启位置的高度则与初始位置的高度相当。
参阅图3、图4及图5，连动装置5还包含一设置于腔室11内的基柱54，基柱54呈中空状并且套设在承载装置2的中心柱21上。基柱54界定多个呈环状等角度相间隔排列的导引滑槽541，各导引滑槽541呈长形且其长向沿一纵轴线Z延伸。托架51包括一呈环形且套设于基柱54上的套环511、一连接于套环511底端的顶撑框体512，及多个设置于套环511且呈环状等角度相间隔排列的滑块513。各滑块513呈长形，各滑块513内侧端可上下滑动地滑接于对应的导引滑槽541。各顶撑杆513固定地设置于对应滑块513顶面且邻近滑块513外侧端。
连杆机构52包括一固设于门板41背面的支架520，及一呈弯折状的弯折连杆521。弯折连杆521的两相反端分别可转动地枢接于支架520及托架51的顶撑框体512。借由弯折连杆521呈弯折状且两相反端分别可转动地枢接于支架520及托架51，使得门板41沿一移动方向移动时会通过连杆机构52带动托架51沿一相反于该移动方向的滑动方向移动。借此，当门板41移动至关闭位置时顶撑杆组3能移动至初始位置，而当门板41移动至开启位置时顶撑杆组3能移动至抬升位置。
具体而言，支架520具有一第一枢轴522，托架51的顶撑框体512具有一第二枢轴514，第一、第二枢轴522、514的轴向相互平行并且垂直于纵轴线Z。弯折连杆521具有一第一杆体523，及一由第一杆体523一端弯折延伸而出的第二杆体524。第一杆体523相反于第二杆体524的一端界定一可转动地枢接于第一枢轴522的第一枢接孔525。第二杆体524相反于第一杆体523的一端界定一可转动地枢接于第二枢轴514的第二枢接孔526。借此，弯折连杆521能绕第一枢轴522及第二枢轴514分别相对于支架520及托架51转动。
由于门板41在关闭位置时的高度高于顶撑杆组3在初始位置时的高度，因此，设置在门板41背面的支架520与承托顶撑杆组3的托架51之间会形成有高度差。为了使弯折连杆521的两相反端能分别连接在支架520与托架51，本实施例的弯折连杆521的第一杆体523与第二杆体524之间形成有一夹角A，夹角A为一钝角。借此，使得弯折连杆521的第一杆体523能连接在高度较高的支架520，而第二杆体524能连接在高度较低的托架51。
进一步地，连动装置5还包含一设置于腔室11内且固定于机台1的框架55。框架55间隔位于基柱54与门板41之间，框架55包括两个相间隔的侧架体551，及一设置于两侧架体551之间的轴杆552。轴杆552邻近于侧架体551顶端，且轴杆552的轴向平行于第一、第二枢轴522、514的轴向。连杆机构52还包括一设置于该两侧架体551之间的摆动杆527。摆动杆527具有一可转动地枢接于轴杆552的杆本体528，及一连接轴529。杆本体528界定一供第二杆体524穿设的穿槽530。连接轴529的轴向平行于轴杆552的轴向，连接轴529穿设于杆本体528及其穿槽530且间隔位于轴杆552下方。第二杆体524穿设于穿槽530且界定一枢接于连接轴529的第三枢接孔531。借由两侧架体551分别挡止在摆动杆527相反侧，能防止摆动杆527沿轴杆552的轴向移动，以防止摆动杆527绕轴杆552转动的过程中产生晃动的情形。再者，借由第二杆体524穿设于穿槽530并通过连接轴529与摆动杆527枢接在一起的方式，除了能防止弯折连杆521在摆动过程中产生晃动的情形之外，还能增加弯折连杆521整体的结构强度，以防止弯折连杆521在摆动过程中产生弯折变形的情形。
参阅图5，当门板41在关闭位置时，顶撑杆组3位在初始位置，且各顶撑杆31位于承载框22下方。此外，弯折连杆521的第一杆体523呈倾斜状，而第二杆体524呈水平状。
参阅图4、图5及图6，处理设备100欲对晶圆6进行加工处理时，首先，门装置4的气缸42会驱动门板41沿一平行于纵轴线Z的下移动方向D1向下移动，门板41下移时会带动支架520下移。支架520下移过程中会通过第一枢轴522施加一下压力F1至第一杆体523界定出第一枢接孔525的一端以将其下压，第一杆体523被下压而往下移动时会同时沿一第一转动方向R1绕第一枢轴522转动。同时，第一杆体523会穿过两侧架体551之间并且逐渐地将第二杆体524往上抬升。第二杆体524被往上抬升的过程中会带动摆动杆527沿第一转动方向R1绕轴杆552摆动，同时，第二杆体524界定出第二枢接孔526的一端会施加一上压力F2至第二枢轴514，并且沿第一转动方向R1绕第二枢轴514转动。由于托架51的滑块513(如图3所示)被导引滑槽541局限了上下滑动的方向，因此，当第二杆体524施加上压力F2至第二枢轴514时会将托架51往上抬升，使托架51带动顶撑杆组3沿一相反于下移动方向D1的上滑动方向S1相对于基柱54往上滑动。
当门板41沿下移动方向D1向下移动至开启位置时，门板41通过连杆机构52及托架51同时带动顶撑杆组3移动至对齐于开口12的抬升位置，此时，各顶撑杆31穿过对应的镂空孔221(如图2所示)并凸伸出承载框22顶端一段距离。随后，移载机械手臂(图未示)通过开口12穿伸至腔室11内以将晶圆6放置于顶撑杆31上，待放置完成后移载机械手臂便移离腔室11。
参阅图6及图7，接着，气缸42会驱动门板41沿一相反于下移动方向D1的上移动方向D2向上移动，门板41上移时会带动支架520上移。支架520上移过程中会通过第一枢轴522施加上压力F2至第一杆体523界定出第一枢接孔525的一端以将其往上抬升，第一杆体523被抬升而往上移动时会同时沿一相反于第一转动方向R1的第二转动方向R2绕第一枢轴522转动。同时，第一杆体523会移离两侧架体551之间并且逐渐地将第二杆体524往下压。第二杆体524被往下压的过程中会带动摆动杆527沿第二转动方向R2绕轴杆552摆动，同时，第二杆体524界定出第二枢接孔526的一端会施加下压力F1至第二枢轴514，并且沿第二转动方向R2绕第二枢轴514转动。当第二杆体524施加下压力F1至第二枢轴514时会将托架51往下压，使托架51带动顶撑杆组3沿一相反于上移动方向D2的下滑动方向S2相对于基柱54往下滑动。
顶撑杆组3的各顶撑杆31带动晶圆6下移的过程中，晶圆6背面会先被承载框22阻挡而无法继续下移，此时，晶圆6被放置在承载框22上。随后，各顶撑杆31会继续向下移动并移离晶圆6背面。当门板41沿上移动方向D2复位至关闭位置时，门板41通过连杆机构52及托架51同时带动顶撑杆组3回复至初始位置，此时，处理设备100便能对晶圆6进行后续的加工处理。
归纳上述，本实施例的处理设备100，借由连动装置5能连动门板41与顶撑杆组3同时移动的设计方式，使得处理设备100只需配置单独一个气缸42便能同时驱动门板41与顶撑杆组3移动，借此，能降低处理设备100结构设计的复杂度以及制造的成本，确实能达到本发明所诉求的目的。
Claims (16)
1.一种连动装置，适于连接在一门板与一顶撑杆组之间；其特征在于：
该连动装置包含一托架，及一连杆机构，该托架用以承托该顶撑杆组，该连杆机构连接于该门板及该托架之间，该门板移动时会通过该连杆机构带动该托架移动，使得该门板移动至一关闭位置时该顶撑杆组移动至一初始位置，而该门板移动至一开启位置时该顶撑杆组移动至一抬升位置。
2.根据权利要求1所述的连动装置，其特征在于：该连动装置还包含一基柱，该托架套设于该基柱上并可沿一纵轴线相对于该基柱上下滑动，该门板沿一平行于该纵轴线的移动方向移动时会通过该连杆机构带动该托架沿一相反于该移动方向的滑动方向移动。
3.根据权利要求2所述的连动装置，其特征在于：该基柱界定多个呈环状相间隔排列的导引滑槽，各该导引滑槽呈长型且其长向沿该纵轴线延伸，该托架包括多个分别可上下滑动地滑接于所述导引滑槽内的滑块。
4.根据权利要求3所述的连动装置，其特征在于：该连杆机构包括一固设于该门板的支架，及一呈弯折状的弯折连杆，该弯折连杆的两相反端分别可转动地枢接于该支架及该托架。
5.根据权利要求4所述的连动装置，其特征在于：该弯折连杆具有一第一杆体，及一由该第一杆体一端弯折延伸而出的第二杆体，该第一杆体相反于该第二杆体的一端可转动地枢接于该支架，该第二杆体相反于该第一杆体的一端可转动地枢接于该托架，该第一杆体与该第二杆体之间形成有一夹角，该夹角为一钝角。
6.根据权利要求5所述的连动装置，其特征在于：该支架具有一第一枢轴，该托架具有一第二枢轴，该第一、第二枢轴的轴向相互平行并且垂直于该纵轴线，该第一杆体界定一枢接于该第一枢轴的第一枢接孔，该第二杆体界定一枢接于该第二枢轴的第二枢接孔。
7.根据权利要求6所述的连动装置，其特征在于：该连动装置还包含一间隔位于该基柱与该门板之间的框架，该框架包括两个相间隔的侧架体，及一设置于该两侧架体之间的轴杆，该轴杆邻近于各该侧架体顶端，该轴杆的轴向平行于该第一、第二枢轴的轴向，该连杆机构还包括一设置于该两侧架体之间的摆动杆，该摆动杆具有一可转动地枢接于该轴杆的杆本体，及一连接轴，该杆本体界定一供该第二杆体穿设的穿槽，该连接轴的轴向平行于该轴杆的轴向，该连接轴穿设于该杆本体及该穿槽且间隔位于该轴杆下方，该第二杆体界定一枢接于该连接轴的第三枢接孔。
8.根据权利要求4至6其中任一权利要求所述的连动装置，其特征在于：该连动装置还包含一框架，该框架包括一轴杆，该连杆机构还包括一摆动杆，该摆动杆两相反端分别枢接于该轴杆及该弯折连杆。
9.一种具有连动装置的处理设备；其特征在于：
该处理设备包括一机台、一承载装置、一顶撑杆组、一门装置，及一连动装置，该机台界定一腔室，及一使该腔室与外部相连通的开口，该承载装置设置于该腔室内，该顶撑杆组设置于该腔室内，该门装置设置于该机台并包含一用以封闭该开口的门板，及一与该门板相连接的气缸，该气缸用以驱动该门板在一封闭该开口的关闭位置，及一未封闭该开口的开启位置之间移动，该连动装置包含一托架，及一连杆机构，该托架承托该顶撑杆组，该连杆机构连接于该门板及该托架之间，该门板移动时会通过该连杆机构带动该托架移动，使得该门板移动至该关闭位置时该顶撑杆组移动至一初始位置，而该门板移动至该开启位置时该顶撑杆组移动至一对齐于该开口的抬升位置。
10.根据权利要求9所述的具有连动装置的处理设备，其特征在于：该开启位置的高度低于该关闭位置的高度，该抬升位置的高度高于该初始位置的高度，该关闭位置的高度与该抬升位置的高度相当，而该开启位置的高度则与该初始位置的高度相当，该连动装置还包含一设置于该腔室内的基柱，该托架套设于该基柱上并可沿一纵轴线相对于该基柱上下滑动，该门板沿一平行于该纵轴线的移动方向移动时会通过该连杆机构带动该托架沿一相反于该移动方向的滑动方向移动。
11.根据权利要求10所述的具有连动装置的处理设备，其特征在于：该基柱界定多个呈环状相间隔排列的导引滑槽，各该导引滑槽呈长型且其长向沿该纵轴线延伸，该托架包括多个分别可上下滑动地滑接于所述导引滑槽内的滑块。
12.根据权利要求11所述的具有连动装置的处理设备，其特征在于：该连杆机构包括一固设于该门板的支架，及一呈弯折状的弯折连杆，该弯折连杆的两相反端分别可转动地枢接于该支架及该托架。
13.根据权利要求12所述的具有连动装置的处理设备，其特征在于：该弯折连杆具有一第一杆体，及一由该第一杆体一端弯折延伸而出的第二杆体，该第一杆体相反于该第二杆体的一端可转动地枢接于该支架，该第二杆体相反于该第一杆体的一端可转动地枢接于该托架，该第一杆体与该第二杆体之间形成有一夹角，该夹角为一钝角。
14.根据权利要求13所述的具有连动装置的处理设备，其特征在于：该支架具有一第一枢轴，该托架具有一第二枢轴，该第一、第二枢轴的轴向相互平行并且垂直于该纵轴线，该第一杆体界定一枢接于该第一枢轴的第一枢接孔，该第二杆体界定一枢接于该第二枢轴的第二枢接孔。
15.根据权利要求14所述的具有连动装置的处理设备，其特征在于：该连动装置还包含一设置于该腔室内且间隔位于该基柱与该门板之间的框架，该框架包括两个相间隔的侧架体，及一设置于该两侧架体之间的轴杆，该轴杆邻近于各该侧架体顶端，该轴杆的轴向平行于该第一、第二枢轴的轴向，该连杆机构还包括一设置于该两侧架体之间的摆动杆，该摆动杆具有一可转动地枢接于该轴杆的杆本体，及一连接轴，该杆本体界定一供该第二杆体穿设的穿槽，该连接轴的轴向平行于该轴杆的轴向，该连接轴穿设于该杆本体及该穿槽且间隔位于该轴杆下方，该第二杆体界定一枢接于该连接轴的第三枢接孔。
16.根据权利要求12至14其中任一权利要求所述的具有连动装置的处理设备，其特征在于：该连动装置还包含一设置于该腔室内的框架，该框架包括一轴杆，该连杆机构还包括一摆动杆，该摆动杆两相反端分别枢接于该轴杆及该弯折连杆。
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