CN109234697B - 一种真空镀膜用高效冷却装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种真空镀膜用高效冷却装置，包括冷却桶和镀膜桶，所述冷却桶的顶端连接有散热扇，且冷却桶与散热扇之间为固定连接，所述冷却桶的内部顶端安装有循环管，所述循环管的左右两侧固定有水管，且循环管与水管之间为固定连接，所述水管的右侧中部设置有隔板。本发明的有益效果是：通过卡板在隔板和锁板槽之间的卡合，从而能够将隔板阻挡在冷却桶和镀膜桶，且能够预防镀膜桶中进入空气，并且能够提高镀膜桶的镀膜质量，而且能够始终能够保持在真空环境下，同时能够保持冷却桶的冷却温度，从而能够将镀膜桶中产品进行单独冷却，且通过卡板和锁板槽的卡合，可以随时取下两者之间的隔板，从而能够将冷却桶冷却空气传送到镀膜桶中。

Description

一种真空镀膜用高效冷却装置

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种真空镀膜用高效冷却装置。

背景技术

真空镀膜设备主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，但是生产之后的产品存在高温，从而造成了产品包装的弊端，且降低了真空镀膜的工作效率，因此需要对真空镀膜设备进行冷却降温改良。

在中国发明专利CN201711353205-一种冷却构件及真空镀膜设备-申请公开，该真空镀膜设备,旋转机构驱动冷却板内的冷却条转动，冷却状态，冷却条与腔室内的基片平行，加大冷却面积，提高冷却效率，非冷却状态，驱动件驱动冷却条转动，使冷却条与腔室内的基片垂直，减小冷却面积，提高加热效率，实现工艺温度的快速切换，降低工艺生产时间，提高设备产能，节约能源消耗，但是没有将产品进行单独的冷却加工，冷却环境也没有进一步调节，从而造成真空镀膜之后的产品效果不佳。

市场上的真空镀膜设备，旋转机构驱动冷却时容易发生晃动，且容易容易发生冷却不均的情况，并且没有对镀膜产品进行单独的冷却加工，而且容易造成表面镀膜冷却不佳，从而造成镀膜质量下降的问题，且冷却温度没有进行循环加工，并且容易容易造成冷却环境温度过高情况，而且产生高温损坏零部件的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空镀膜用高效冷却装置，以解决上述背景技术中提出的市场上的真空镀膜设备，旋转机构驱动冷却时容易发生晃动，且容易容易发生冷却不均的情况，并且没有对镀膜产品进行单独的冷却加工，而且容易造成表面镀膜冷却不佳，从而造成镀膜质量下降的问题，且冷却温度没有进行循环加工，并且容易容易造成冷却环境温度过高情况，而且产生高温损坏零部件的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空镀膜用高效冷却装置，包括冷却桶和镀膜桶，所述冷却桶的顶端连接有散热扇，且冷却桶与散热扇之间为固定连接，所述冷却桶的内部顶端安装有循环管，所述循环管的左右两侧固定有水管，且循环管与水管之间为固定连接，所述水管的右侧中部设置有隔板，且冷却桶与隔板之间紧密贴合，所述镀膜桶安装于隔板的右侧，所述镀膜桶的顶端连接有连接杆，且连接杆与镀膜桶之间为活动连接，所述连接杆的顶端中部安装有护板，且连接杆与护板之间为垂直结构。

优选的，所述隔板的顶端连接有卡板，且隔板与卡板之间为活动连接，所述卡板的底端安装有锁板槽，且隔板通过卡板与锁板槽构成为卡合结构。

优选的，所述镀膜桶的内部中部安装有护架，所述护架的底端连接有旋转板，且护架与旋转板之间为垂直结构，所述护架的左右两侧限位块，所述旋转板的左右两端安装有防碰撞板，且旋转板与防碰撞板之间为固定连接，所述限位块底端设置有活动板，且限位块与活动板之间为活动连接，所述旋转板的底部中段固定有主轴，且旋转板与主轴之间为固定连接，所述主轴的底端安装有电机，且镀膜桶与电机之间为固定连接，所述镀膜桶的右侧中部固定有抽风机，且抽风机与镀膜桶之间紧密贴合，所述抽风机的右端安装有散热管，且抽风机与散热管之间为固定连接。

优选的，所述旋转板的顶端中部上下两侧固定有滑杆，且旋转板与滑杆之间为固定连接，所述护架与滑杆之间紧密贴合，且护架通过滑杆与旋转板构成为滑动结构。

优选的，所述循环管的底端安装有伸缩杆，且循环管与伸缩杆之间相平行，所述伸缩杆的左端固定有夹具，且夹具与伸缩杆之间为固定连接，所述旋转板与限位块之间紧密贴合，且旋转板通过限位块与活动板构成为卡扣结构。

优选的，所述伸缩杆的底部安装有传送板，所述传送板的顶端均连接有固定盘，且传送板与固定盘之间为固定连接，所述固定盘的内部设置有活动珠，所述固定盘的内侧安装有隔杆，且传送板与隔杆之间为固定连接，所述活动珠与固定盘之间为活动连接，且传送板通过活动珠与固定盘构成为传动结构。

优选的，所述伸缩杆的左端连接有液压泵，且伸缩杆与液压泵之间为活动连接，所述传送板的底端连接有弹簧组，且传送板与弹簧组之间为固定连接，所述主轴与电机之间为垂直结构，且旋转板通过主轴与电机构成为旋转结构。

优选的，所述弹簧组的底端右侧连接有水箱，且弹簧组与水箱之间为固定连接，并且传送板通过弹簧组与水箱构成为弹性结构。

优选的，所述水箱的内部设置有水泵，且水箱与水泵之间为固定连接，所述水箱的左侧安装有调节阀，且水箱与调节阀之间为紧密贴合，所述调节阀的左端固定有制冷机，且冷却桶与制冷机之间为固定连接，所述调节阀与制冷机之间为活动连接，且水箱通过调节阀与制冷机构成为螺纹结构。

与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

1、本发明隔板通过卡板与锁板槽构成为卡合结构，且护架通过滑杆与旋转板构成为滑动结构，通过卡板在隔板和锁板槽之间的卡合，从而能够将隔板阻挡在冷却桶和镀膜桶，且能够预防镀膜桶中进入空气，并且能够提高镀膜桶的镀膜质量，而且能够始终能够保持在真空环境下，同时能够保持冷却桶的冷却温度，从而能够将镀膜桶中产品进行单独冷却，且通过卡板和锁板槽的卡合，可以随时取下两者之间的隔板，从而能够将冷却桶冷却空气传送到镀膜桶中，通过护架在旋转板的滑杆上的来回滑动，从而可以将护架之间的镀膜产品滑动送进冷却桶中，且避免人工进行搬运冷却，并且能够节约大量劳动力成本的投入，而且能够避免工作人员和镀膜产品直接接触，同时能够预防镀膜产品高温伤害到工作人员。

2、本发明旋转板通过限位块与活动板构成为卡扣结构，且传送板通过活动珠与固定盘构成为传动结构，通过限位块在旋转板和活动板之间的卡扣运动，从而能够将镀膜产品固定在旋转板上，且能够避免加工时发生脱落现象，并且能够将护架限位在旋转板上，从而能够预防镀膜加工时发生左右滑动情况，通过活动珠在传送板和固定盘之间的活动，从而能够通过启动液压泵推动伸缩杆，且能够将护架卡扣在夹具上，并且能够将镀膜之后的产品，通过活动珠左右传动运动，从而能够避免工作人员直接接触产品，且通过防碰撞板能够预防镀膜产品发生碰撞损坏。

3、本发明旋转板通过主轴与电机构成为旋转结构，通过启动电机带动主轴推动旋转板，从而能够将护架进行旋转冷却，且通过启动抽风机，能够将旋转的热量和镀膜的气味进行收集过滤，并且能够将生产之后的镀膜产品进行第一轮旋转降温处理，而且通过旋转时能够将产品的表面的膜进行均匀扩撒，从而能够将镀膜的气味和产品之间旋转分离，不仅能够降低产品的表面温度，而且可以有毒气体传播，从而能够减少车间中气味，且能够维护工作人员的身体健康。

4、本发明传送板通过弹簧组与水箱构成为弹性结构，通过传送板和水箱之间的弹簧组，从而能够降低镀膜产品对水管的压力，且能够保护水管和冷却桶之间的活动空间，并且能够预防镀膜产品损坏水管，而且可以将水管和循环管之间牢牢的联系起来，从而通过弹簧组能够保护水管和循环管正常运行。

5、本发明水箱通过调节阀与制冷机构成为螺纹结构，通过调节阀在水箱和制冷机之间的活动，从而可以根据冷却桶中产品冷却效果，且通过调节阀更换水箱中的液体，并且能够提高冷却桶的温度，而且能够将制冷机的效果发挥极致，同时通过调节阀在制冷机的滑动，从而可以对水箱和制冷机之间进行检查维修保养，且能够提高水管和循环管之间的水循环效果，从而能够将冷却桶的镀膜产品进行彻底的冷却处理。

附图说明

图1为本发明一种真空镀膜用高效冷却装置的结构示意图；

图2为本发明一种真空镀膜用高效冷却装置的俯视结构示意图；

图3为本发明一种真空镀膜用高效冷却装置的传送板结构示意图；

图4为本发明一种真空镀膜用高效冷却装置的旋转板结构示意图；

图5为本发明一种真空镀膜用高效冷却装置的图1中A处放大结构示意图。

图中：1、冷却桶；2、散热扇；3、循环管；4、隔板；5、连接杆；6、护板；7、护架；8、旋转板；9、限位块；10、抽风机；11、镀膜桶；12、散热管；13、防碰撞板；14、活动板；15、主轴；16、电机；17、水管；18、传送板；19、弹簧组；20、水箱；21、水泵；22、调节阀；23、制冷机；24、夹具；25、伸缩杆；26、液压泵；27、活动珠；28、固定盘；29、隔杆；30、滑杆；31、卡板；32、锁板槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参阅图1-5，本发明提供一种技术方案：一种真空镀膜用高效冷却装置，包括冷却桶1、散热扇2、循环管3、隔板4、连接杆5、护板6、护架7、旋转板8、限位块9、抽风机10、镀膜桶11、散热管12、防碰撞板13、活动板14、主轴15、电机16、水管17、传送板18、弹簧组19、水箱20、水泵21、调节阀22、制冷机23、夹具24、伸缩杆25、液压泵26、活动珠27、固定盘28、隔杆29、滑杆30、卡板31和锁板槽32，冷却桶1的顶端连接有散热扇2，且冷却桶1与散热扇2之间为固定连接，冷却桶1的内部顶端安装有循环管3，循环管3的左右两侧固定有水管17，且循环管3与水管17之间为固定连接，水管17的右侧中部设置有隔板4，且冷却桶1与隔板4之间紧密贴合，隔板4的顶端连接有卡板31，且隔板4与卡板31之间为活动连接，卡板31的底端安装有锁板槽32，且隔板4通过卡板31与锁板槽32构成为卡合结构，通过卡板31在隔板4和锁板槽32之间的卡合，从而能够将隔板4阻挡在冷却桶1和镀膜桶11，且能够预防镀膜桶11中进入空气，并且能够提高镀膜桶11的镀膜质量，而且能够始终能够保持在真空环境下，同时能够保持冷却桶1的冷却温度，从而能够将镀膜桶11中产品进行单独冷却，且通过卡板31和锁板槽32的卡合，可以随时取下两者之间的隔板4，从而能够将冷却桶1冷却空气传送到镀膜桶11中，镀膜桶11安装于隔板4的右侧，镀膜桶11的顶端连接有连接杆5，且连接杆5与镀膜桶11之间为活动连接，连接杆5的顶端中部安装有护板6，且连接杆5与护板6之间为垂直结构；

镀膜桶11的内部中部安装有护架7，护架7的底端连接有旋转板8，且护架7与旋转板8之间为垂直结构，旋转板8的顶端中部上下两侧固定有滑杆30，且旋转板8与滑杆30之间为固定连接，护架7与滑杆30之间紧密贴合，且护架7通过滑杆30与旋转板8构成为滑动结构，通过活动珠27在传送板18和固定盘28之间的活动，从而能够通过启动液压泵26推动伸缩杆25，且能够将护架7卡扣在夹具24上，并且能够将镀膜之后的产品，通过活动珠27左右传动运动，从而能够避免工作人员直接接触产品，且通过防碰撞板13能够预防镀膜产品发生碰撞损坏，护架7的左右两侧限位块9，旋转板8的左右两端安装有防碰撞板13，且旋转板8与防碰撞板13之间为固定连接，伸缩杆25的左端连接有液压泵26，且伸缩杆25与液压泵26之间为活动连接，传送板18的底端连接有弹簧组19，且传送板18与弹簧组19之间为固定连接，主轴15与电机16之间为垂直结构，且旋转板8通过主轴15与电机16构成为旋转结构，通过启动电机16带动主轴15推动旋转板8，从而能够将护架7进行旋转冷却，且通过启动抽风机10，能够将旋转的热量和镀膜的气味进行收集过滤，并且能够将生产之后的镀膜产品进行第一轮旋转降温处理，而且通过旋转时能够将产品的表面的膜进行均匀扩撒，从而能够将镀膜的气味和产品之间旋转分离，不仅能够降低产品的表面温度，而且可以有毒气体传播，从而能够减少车间中气味，且能够维护工作人员的身体健康，限位块9底端设置有活动板14，且限位块9与活动板14之间为活动连接，循环管3的底端安装有伸缩杆25，且循环管3与伸缩杆25之间相平行，伸缩杆25的左端固定有夹具24，且夹具24与伸缩杆25之间为固定连接，伸缩杆25的底部安装有传送板18，传送板18的顶端均连接有固定盘28，且传送板18与固定盘28之间为固定连接，固定盘28的内部设置有活动珠27，固定盘28的内侧安装有隔杆29，且传送板18与隔杆29之间为固定连接，活动珠27与固定盘28之间为活动连接，且传送板18通过活动珠27与固定盘28构成为传动结构，通过活动珠27在传送板18和固定盘28之间的活动，从而能够通过启动液压泵26推动伸缩杆25，且能够将护架7卡扣在夹具24上，并且能够将镀膜之后的产品，通过活动珠27左右传动运动，从而能够避免工作人员直接接触产品，且通过防碰撞板13能够预防镀膜产品发生碰撞损坏，旋转板8与限位块9之间紧密贴合，且旋转板8通过限位块9与活动板14构成为卡扣结构，通过限位块9在旋转板8和活动板14之间的卡扣运动，从而能够将镀膜产品固定在旋转板8上，且能够避免加工时发生脱落现象，并且能够将护架7限位在旋转板8上，从而能够预防镀膜加工时发生左右滑动情况，旋转板8的底部中段固定有主轴15，且旋转板8与主轴15之间为固定连接，主轴15的底端安装有电机16，且镀膜桶11与电机16之间为固定连接，镀膜桶11的右侧中部固定有抽风机10，且抽风机10与镀膜桶11之间紧密贴合，抽风机10的右端安装有散热管12，且抽风机10与散热管12之间为固定连接；

弹簧组19的底端右侧连接有水箱20，且弹簧组19与水箱20之间为固定连接，并且传送板18通过弹簧组19与水箱20构成为弹性结构，通过传送板18和水箱20之间的弹簧组19，从而能够降低镀膜产品对水管17的压力，且能够保护水管17和冷却桶1之间的活动空间，并且能够预防镀膜产品损坏水管17，而且可以将水管17和循环管3之间牢牢的联系起来，从而通过弹簧组19能够保护水管17和循环管3正常运行，水箱20的内部设置有水泵21，且水箱20与水泵21之间为固定连接，水箱20的左侧安装有调节阀22，且水箱20与调节阀22之间为紧密贴合，调节阀22的左端固定有制冷机23，且冷却桶1与制冷机23之间为固定连接，调节阀22与制冷机23之间为活动连接，且水箱20通过调节阀22与制冷机23构成为螺纹结构，通过调节阀22在水箱20和制冷机23之间的活动，从而可以根据冷却桶1中产品冷却效果，且通过调节阀22更换水箱20中的液体，并且能够提高冷却桶1的温度，而且能够将制冷机23的效果发挥极致，同时通过调节阀22在制冷机23的滑动，从而可以对水箱20和制冷机23之间进行检查维修保养，且能够提高水管17和循环管3之间的水循环效果，从而能够将冷却桶1的镀膜产品进行彻底的冷却处理；

本实施例的工作原理：该真空镀膜用高效冷却装置，通过冷却桶1上的散热扇2，从而能够保护冷却桶1的外表面温度，且通过护板6在来连接杆5之间的活动，从而能够保护镀膜桶11外表面处于真空状态，通过调节阀22在水箱20和制冷机23之间的活动，从而可以根据冷却桶1中产品冷却效果，且通过调节阀22更换水箱20中的液体，并且能够提高冷却桶1的温度，而且能够将制冷机23的效果发挥极致，同时通过调节阀22在制冷机23的滑动，从而可以对水箱20和制冷机23之间进行检查维修保养，且能够提高水管17和循环管3之间的水循环效果，从而能够将冷却桶1的镀膜产品进行彻底的冷却处理，通过传送板18和水箱20之间的弹簧组19，从而能够降低镀膜产品对水管17的压力，且能够保护水管17和冷却桶1之间的活动空间，并且能够预防镀膜产品损坏水管17，而且可以将水管17和循环管3之间牢牢的联系起来，从而通过弹簧组19能够保护水管17和循环管3正常运行，通过活动珠27在传送板18和固定盘28之间的活动，从而能够通过启动液压泵26推动伸缩杆25，且能够将护架7卡扣在夹具24上，并且能够将镀膜之后的产品，通过活动珠27左右传动运动，从而能够避免工作人员直接接触产品，且通过防碰撞板13能够预防镀膜产品发生碰撞损坏，通过护架7在旋转板8的滑杆30上的来回滑动，从而可以将护架7之间的镀膜产品滑动送进冷却桶1中，且避免人工进行搬运冷却，并且能够节约大量劳动力成本的投入，而且能够避免工作人员和镀膜产品直接接触，同时能够预防镀膜产品高温伤害到工作人员，通过卡板31在隔板4和锁板槽32之间的卡合，从而能够将隔板4阻挡在冷却桶1和镀膜桶11，且能够预防镀膜桶11中进入空气，并且能够提高镀膜桶11的镀膜质量，而且能够始终能够保持在真空环境下，同时能够保持冷却桶1的冷却温度，从而能够将镀膜桶11中产品进行单独冷却，且通过卡板31和锁板槽32的卡合，可以随时取下两者之间的隔板4，从而能够将冷却桶1冷却空气传送到镀膜桶11中，通过限位块9在旋转板8和活动板14之间的卡扣运动，从而能够将镀膜产品固定在旋转板8上，且能够避免加工时发生脱落现象，并且能够将护架7限位在旋转板8上，从而能够预防镀膜加工时发生左右滑动情况，通过启动电机16带动主轴15推动旋转板8，从而能够将护架7进行旋转冷却，且通过启动抽风机10，能够将旋转的热量和镀膜的气味进行收集过滤，并且能够将生产之后的镀膜产品进行第一轮旋转降温处理，而且通过旋转时能够将产品的表面的膜进行均匀扩撒，从而能够将镀膜的气味和产品之间旋转分离，不仅能够降低产品的表面温度，而且可以有毒气体传播，从而能够减少车间中气味，且能够维护工作人员的身体健康，这就是该真空镀膜用高效冷却装置的工作原理。

尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种真空镀膜用高效冷却装置，包括冷却桶(1)和镀膜桶(11)，其特征在于：所述冷却桶(1)的顶端连接有散热扇(2)，且冷却桶(1)与散热扇(2)之间为固定连接，所述冷却桶(1)的内部顶端安装有循环管(3)，所述循环管(3)的左右两侧固定有水管(17)，且循环管(3)与水管(17)之间为固定连接，所述水管(17)的右侧中部设置有隔板(4)，且冷却桶(1)与隔板(4)之间紧密贴合，所述镀膜桶(11)安装于隔板(4)的右侧，所述镀膜桶(11)的顶端连接有连接杆(5)，且连接杆(5)与镀膜桶(11)之间为活动连接，所述连接杆(5)的顶端中部安装有护板(6)，且连接杆(5)与护板(6)之间为垂直结构，所述隔板(4)的顶端连接有卡板(31)，且隔板(4)与卡板(31)之间为活动连接，所述卡板(31)的底端安装有锁板槽(32)，且隔板(4)通过卡板(31)与锁板槽(32)构成为卡合结构，所述镀膜桶(11)的内部中部安装有护架(7)，所述护架(7)的底端连接有旋转板(8)，且护架(7)与旋转板(8)之间为垂直结构，所述护架(7)的左右两侧限位块(9)，所述旋转板(8)的左右两端安装有防碰撞板(13)，且旋转板(8)与防碰撞板(13)之间为固定连接，所述限位块(9)底端设置有活动板(14)，且限位块(9)与活动板(14)之间为活动连接，所述旋转板(8)的底部中段固定有主轴(15)，且旋转板(8)与主轴(15)之间为固定连接，所述主轴(15)的底端安装有电机(16)，且镀膜桶(11)与电机(16)之间为固定连接，所述镀膜桶(11)的右侧中部固定有抽风机(10)，且抽风机(10)与镀膜桶(11)之间紧密贴合，所述抽风机(10)的右端安装有散热管(12)，且抽风机(10)与散热管(12)之间为固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用高效冷却装置，其特征在于：所述旋转板(8)的顶端中部上下两侧固定有滑杆(30)，且旋转板(8)与滑杆(30)之间为固定连接，所述护架(7)与滑杆(30)之间紧密贴合，且护架(7)通过滑杆(30)与旋转板(8)构成为滑动结构。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用高效冷却装置，其特征在于：所述循环管(3)的底端安装有伸缩杆(25)，且循环管(3)与伸缩杆(25)之间相平行，所述伸缩杆(25)的左端固定有夹具(24)，且夹具(24)与伸缩杆(25)之间为固定连接，所述旋转板(8)与限位块(9)之间紧密贴合，且旋转板(8)通过限位块(9)与活动板(14)构成为卡扣结构。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜用高效冷却装置，其特征在于：所述伸缩杆(25)的底部安装有传送板(18)，所述传送板(18)的顶端均连接有固定盘(28)，且传送板(18)与固定盘(28)之间为固定连接，所述固定盘(28)的内部设置有活动珠(27)，所述固定盘(28)的内侧安装有隔杆(29)，且传送板(18)与隔杆(29)之间为固定连接，所述活动珠(27)与固定盘(28)之间为活动连接，且传送板(18)通过活动珠(27)与固定盘(28)构成为传动结构。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜用高效冷却装置，其特征在于：所述伸缩杆(25)的左端连接有液压泵(26)，且伸缩杆(25)与液压泵(26)之间为活动连接，所述传送板(18)的底端连接有弹簧组(19)，且传送板(18)与弹簧组(19)之间为固定连接，所述主轴(15)与电机(16)之间为垂直结构，且旋转板(8)通过主轴(15)与电机(16)构成为旋转结构。

6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜用高效冷却装置，其特征在于：所述弹簧组(19)的底端右侧连接有水箱(20)，且弹簧组(19)与水箱(20)之间为固定连接，并且传送板(18)通过弹簧组(19)与水箱(20)构成为弹性结构。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜用高效冷却装置，其特征在于：所述水箱(20)的内部设置有水泵(21)，且水箱(20)与水泵(21)之间为固定连接，所述水箱(20)的左侧安装有调节阀(22)，且水箱(20)与调节阀(22)之间为紧密贴合，所述调节阀(22)的左端固定有制冷机(23)，且冷却桶(1)与制冷机(23)之间为固定连接，所述调节阀(22)与制冷机(23)之间为活动连接，且水箱(20)通过调节阀(22)与制冷机(23)构成为螺纹结构。

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