CN108179383A - 冷却系统及蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种冷却系统，包括冷却板、储水罐和温控器，所述冷却板包括多个冷却区域，多个所述冷却区域分别设置水回路，所述水回路包括进水口和出水口，所述温控器用于调节所述储水罐内储存的水的温度，所述储水罐用于向所述进水口输送水，并从所述出水口回收水，所述多个冷却区域的水回路内流动的水的温度不同。通过在冷却板上划分多个冷却区域，并在多个冷却区域分别设置水回路，多个水回路由储水罐供水，温控器调节储水罐的水的温度，使得多个水回路的水的温度不同，使得在OLED蒸镀过程中，玻璃基板上各部分的温度由冷却板上多个冷却区域的水回路进行调节，可以保证玻璃基板受热均匀，提高蒸镀膜层的良率。

Description

冷却系统及蒸镀机

技术领域

本发明属于OLED制作技术领域，尤其涉及一种冷却系统及蒸镀机。

背景技术

OLED蒸镀机的冷却板(Cooling Plate)主要的作用有二，一是使蒸镀玻璃基板背靠在平坦的冷却板表面进行蒸镀，起到支撑的作用；二是通过冷却板上的冷却水回路使蒸镀玻璃基板的温度受控，不会被蒸镀源蒸发出来的蒸镀材料携带的热量导致玻璃基板受热变形，从而产生蒸镀膜层位置偏差。

现有的冷却板的冷却水回路是一个水回路在冷却板上整面排布，仅设置一个进水口和出水口，对温控是整体一致的，而玻璃基板上的温度变化因蒸镀材料的相对位置不同，是有差异的，不均匀的。整体一致的温控不能对受热不均的不同位置做出相对应的调整。

因此，需要提供一种新的冷却系统，解决上述技术问题，以提高蒸镀膜层的良率。

发明内容

本发明的目的是提供一种冷却系统，能对温度进行分区域调控，可提高蒸镀膜层的良率。

为实现本发明的目的，本发明提供了如下的技术方案：

第一方面，一种冷却系统，包括冷却板、储水罐和温控器，所述冷却板包括多个冷却区域，多个所述冷却区域分别设置水回路，所述水回路包括进水口和出水口，所述温控器用于调节所述储水罐内储存的水的温度，所述储水罐用于向所述进水口输送水，并从所述出水口回收水，所述多个冷却区域的水回路内流动的水的温度不同。

在第一方面的第一种可能的实现方式中，所述冷却板包括相对的第一长边和第二长边，以及相对的第一短边和第二短边，多个所述冷却区域包括第一冷却区域、第二冷却区域和第三冷却区域，所述第一冷却区域靠近所述第一短边设置，所述第三冷却区域靠近所述第二短边设置，所述第二冷却区域设于所述第一冷却区域和所述第三冷却区域之间。

结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第二种可能的实现方式中，所述水回路包括第一水回路、第二水回路和第三水回路，所述第一水回路设置于所述第一冷却区域内，所述第一水回路的进水口和出水口设置于所述第一短边。

结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第三种可能的实现方式中，所述第二水回路设置于所述第二冷却区域内，所述第二水回路的进水口和出水口设置于所述第一长边和/或所述第二长边。

结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第四种可能的实现方式中，所述第一冷却区域的水回路包括第四水回路、第五水回路和第六水回路，所述第四水回路、所述第五水回路和所述第六水回路沿所述第一短边方向连续设置并布满所述第一冷却区域，所述第四水回路、所述第五水回路和所述第六水回路的进水口和出水口设置于所述第一短边。

结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第五种可能的实现方式中，所述第二冷却区域的水回路包括沿所述第一长边向所述第二长边方向依次设置的第七水回路、第八水回路和第九水回路，所述第七水回路、所述第八水回路和所述第九水回路布满所述第二冷却区域，所述第七水回路的进水口和出水口设置于所述第一长边，所述第八水回路的进水口设置于所述第一长边，所述第八水回路的出水口设置于所述第二长边，所述第九水回路的进水口和出水口设置于所述第二长边。

结合第一方面及第一方面的第一种可能的实现方式，在第一方面的第六种可能的实现方式中，所述水回路包括沿所述第一长边方向延伸的主要冷却段，和连接相邻两个所述主要冷却段的过渡段，所述过渡段沿所述第一短边方向延伸，相邻的所述主要冷却段之间间隔距离相等。

结合第一方面及第一方面的第六种可能的实现方式，在第一方面的第七种可能的实现方式中，相邻的所述第一冷却区域和所述第二冷却区域与相邻的所述第二冷却区域和所述第三冷却区域的水回路的过渡段之间的距离相等。

结合第一方面及第一方面的第七种可能的实现方式，在第一方面的第八种可能的实现方式中，相邻的所述第一冷却区域与所述第二冷却区域的水回路的过渡段之间的距离等于相邻的所述主要冷却段之间的间隔距离。

第二方面，本发明还提供了一种蒸镀机，包括第一方面各种实现方式的冷却系统。

本发明的有益效果：

本发明提供的一种冷却系统，通过在冷却板上划分多个冷却区域，并在多个冷却区域分别设置水回路，多个水回路由储水罐供水，温控器调节储水罐的水的温度，使得多个水回路的水的温度不同，使得在OLED蒸镀过程中，玻璃基板上各部分的温度由冷却板上多个冷却区域的水回路进行调节，可以保证玻璃基板受热均匀，提高蒸镀膜层的良率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一种实施方式的冷却系统的示意图，图中省略了水回路；

图2是一种实施方式的冷却板的结构示意图；

图3是另一种实施方式的冷却板的结构示意图；

图4是一种实施方式的冷却板和水回路的结构示意图；

图5是另一种实施方式的冷却板和水回路的结构示意图；

图6是另一种实施方式的冷却板和水回路的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种蒸镀机，包括冷却系统，用于对玻璃基板进行分区域不同温度的冷却。

请参阅图1至图3，图1是本发明一种实施方式的冷却系统的示意图，图中省略了水回路，图2是一种实施方式的冷却板的结构示意图，图3是另一种实施方式的冷却板的结构示意图，本发明的实施例提供了一种冷却系统，包括冷却板100，所述冷却板100包括相对的第一长边101和第二长边102，以及相对的第一短边103和第二短边104，第一短边103和第二短边104连接在第一长边101和第二长边102之间，冷却板100可以呈矩形形状。

所述冷却板100包括多个冷却区域，一种实施方式中，多个所述冷却区域的面积相同。

一种实施方式中，多个所述冷却区域包括第一冷却区域110、第二冷却区域120和第三冷却区域130，所述第一冷却区域110靠近所述第一短边103设置，所述第三冷却区域130靠近所述第二短边104设置，所述第二冷却区域120设于所述第一冷却区域110和所述第三冷却区域130之间。

具体的，第一冷却区域110占据冷却板100自第一短边103向冷却板100中部延伸的一块面积，延伸的方向为第一长边110的方向，第三冷却区域130占据冷却板100自第三短边130向冷却板100中部延伸的一块面积，延伸的方向为第一长边110的方向，第二冷却区域120占据第一冷却区域110和第三冷却区域130之间的一块面积。第一冷却区域110、第二冷却区域120和第三冷却区域130为连接在一起的连续的三块区域，一种实施方式中，第一冷却区域110、第二冷却区域120和第三冷却区域130的面积相同，进一步的，第一冷却区域110、第二冷却区域120和第三冷却区域130为矩形，三者将冷却板100分为三块面积相同的区域，每块区域的面积为冷却板100总面积的三分之一。

进一步的，多个所述冷却区域分别设置水回路，所述水回路包括进水口和出水口。优选的，所述水回路呈蛇形布置在所述冷却区域内。所述冷却系统还包括储水罐210和温控器500，所述温控器500用于调节所述储水罐210内储存的水的温度，所述储水罐210用于向所述进水口输送水，并从所述出水口回收水，所述多个冷却区域的水回路内流动的水的温度不同。进水口和出水口分别进水和出水，冷却水在水回路内流动，水回路吸收的玻璃基板的热量被冷却水吸收，水流动将热量带走。呈蛇形布置的水回路能覆盖更多的面积，并且可以使冷却区域内的各个部分均匀的布置有水回路，热量可被均匀布置的水回路吸收而带走。所述储水罐210内可以包括多个不同温度的储水区域，不同温度的储水区域的水的温度由温控器500调节，储水罐210还可以为多个类似的储水罐，例如还有储水罐220、储水罐230等，每个储水罐对应一个冷却水回路，以使每个冷却水回路的水温都不同，可以对玻璃基板进行分区域不同的温度控制。

玻璃基板的热量也可以先传递至冷却板100，冷却板100的热量再传递至水回路，也可将玻璃基板的热量带走。

请参考图4至图6，图4是一种实施方式的冷却板和水回路的结构示意图，图5是另一种实施方式的冷却板和水回路的结构示意图；图6是另一种实施方式的冷却板和水回路的结构示意图。冷却板100包括相背的上表面和下表面，其中上表面用于支撑玻璃基板(图中未示出)，水回路可设置于冷却板内(如图3所示)，或冷却板的上表面(如图4所示)，或冷却板的下表面(如图5所示)，水回路设置于冷却板的上表面时，水回路形成支撑平面。当水回路设置于冷却板上表面或下表面时，水回路可以为管材制作而成，管材通过焊接或粘贴等工艺固定于冷却板的上表面或下表面，管材应具有良好的散热性能，例如为钢铁或铝合金等金属材质，管材横截面可以为圆形，也可以为矩形。当水回路设置于冷却板内时，水回路可以为在冷却板内挖设的通道，冷却板可以为两层结构，内部水回路通过分别在两层冷却板表面挖出凹槽，再将两层冷却板组合成一体制成。在其他的一些实施方式中，水回路还可以为在冷却板上表面挖槽形成。冷却板置于工作台(图中未示出)上或架设于支架(图中未示出)上，冷却板一般为水平放置，使得冷却板支撑的玻璃基板处于水平位置，便于OLED的蒸镀制程的蒸汽作用于玻璃基板上。

通过在冷却板100上划分多个冷却区域，并在多个冷却区域分别设置水回路，多个水回路由储水罐供水，温控器调节储水罐的水的温度，使得多个水回路的水的温度不同，使得在OLED蒸镀过程中，玻璃基板上各部分的温度由冷却板100上多个冷却区域的水回路进行调节，可以保证玻璃基板受热均匀，提高蒸镀膜层的良率。

请参考图2，一种实施例中，所述水回路包括第一水回路310、第二水回路320和第三水回路330，所述第一水回路310设置于所述第一冷却区域110内，所述第一水回路310的进水口311和出水口312设置于所述第一短边103。在其他实施方式中，所述第一水回路310的进水口311可以设置于第一长边101，第一水回路310的出水口312可以设置于第二长边102。所述第一水回路310的进水口311和出水口312的设置位置不同，使冷却板100的边缘部分的温度有变化，优选的，第一水回路310的进水口311和出水口312对称设置，使冷却板100边缘的温度变化较小，减小传递到玻璃基板上的温度的差异造成不良的影响。进水口和出水口对称设置同样是本申请中其他实施例的优选实施方式。

所述第一水回路310的进水口311和出水口312与冷却水输送管道(图中未示出)连接，本申请的各个实施例中，各个水回路的进水口和出水口所连接的冷却水输送管道不同，以实现不同各个水回路的温度的独立控制。

所述第二水回路320设置于所述第二冷却区域120内，所述第二水回路320的进水口321设置于所述第一长边101，所述第二水回路320的出水口322设置于所述第二长边102。在其他实施方式中，第二水回路320的进水口321和出水口322也可同时设置于所述第一长边101或所述第二长边102。

所述第三水回路330的设置方式可以与所述第一水回路310的设置方式类似，不同的是所述第三水回路330的进水口331和出水口332设置于所述第二短边104，在一种优选的实施方式中，第一水回路310与第三水回路330呈对称的结构。

所述第一水回路310包括沿所述第一长边101方向延伸的主要冷却段，和连接相邻两个所述主要冷却段的过渡段，所述过渡段沿所述第一短边103方向延伸，相邻的所述主要冷却段之间间隔距离相等(如图1中d1所示)。主要冷却段的长度大于过渡段的长度，在一些实施方式中，主要过渡段的长度是过渡段的长度的2～10倍。主要过渡段和过渡段互相连接构成第一水回路310的蛇形形状，并在第一冷却区域110内均匀布置。具体的，第一水回路310的进水口311所连接的主要冷却段位于第一冷却区域110的边缘，靠近第一长边101并与第一长边101平行，第一水回路的出水口312所连接的主要冷却段位于第一冷却区域110的另一侧的边缘，靠近第二长边102并与第二长边102平行，在第一水回路的进水口311所连接的主要冷却段与出水口312所连接的主要冷却段之间的其他主要冷却段由过渡段进行连接，使第一水回路310自进水口311到出水口312形成完整的回路，并且形成蛇形的形状。

第二水回路320的结构与第一水回路310的结构类似，也包括沿所述第一长边101方向延伸的主要冷却段，和连接相邻两个所述主要冷却段的过渡段，所述过渡段沿所述第一短边103方向延伸，相邻的所述主要冷却段之间间隔距离相等(如图1中d2所示)。第三水回路330的结构也与第一水回路310的结构类似，也包括沿所述第一长边101方向延伸的主要冷却段，和连接相邻两个所述主要冷却段的过渡段，所述过渡段沿所述第一短边103方向延伸，相邻的所述主要冷却段之间间隔距离相等(如图1中d3所示)。

进一步的，第一水回路310的相邻的主要冷却段之间的距离d1、第二水回路320的相邻的主要冷却段之间的距离d2和第三水回路330的相邻的主要冷却段之间的距离d3相等，使得第一冷却区域110、第二冷却区域120和第三冷却区域130的水回路内部的各个缝隙的温度变化相同。

进一步的，相邻的所述第一冷却区域110和所述第二冷却区域120与相邻的所述第二冷却区域120和所述第三冷却区域130的水回路的过渡段之间的距离相等。具体的，所述第一冷却区域110和所述第二冷却区域120的第一水回路310的过渡段和第二水回路320的过渡段之间的距离为L1，所述第二冷却区域120和所述第三冷却区域130的第二水回路320的过渡段和第三水回路330的过渡段之间的距离为L2，L1等于L2。如此设置，使得冷却板100上相邻的第一冷却区域110、第二冷却区域120和第三冷却区域130之间布置的水回路之间的缝隙的温度变化相同。

进一步的，相邻的所述第一冷却区域110与所述第二冷却区域120的水回路的过渡段之间的距离等于相邻的所述主要冷却段之间的间隔距离。具体的，第一水回路310的过渡段和第二水回路320的过渡段之间的距离L1与第一水回路310的相邻的主要冷却段之间的间隔距离d1相等，优选的，L1等于d2等于d3。通过上述设置，使得冷却板100上相邻的第一冷却区域110、第二冷却区域120和第三冷却区域130之间布置的水回路均匀的布满冷却板100，提升对玻璃基板的散热效果。

请参考图3，另一实施例中，所述第一冷却区域110的水回路410包括第四水回路411、第五水回路412和第六水回路413，所述第四水回路411、所述第五水回路412和所述第六水回路413沿所述第一短边103方向连续设置并布满所述第一冷却区域110，所述第四水回路411、所述第五水回路412和所述第六水回路413的进水口和出水口设置于所述第一短边103。具体的，本实施例中的第一冷却区域110内设置的水回路与前一实施例的基本相同，不同的是，第四水回路411分别设置有进水口414和出水口415，第五水回路412分别设置有进水口416和出水口417，第六水回路413分别设有进水口418和出水口419，也就是说，本实施例中将第一冷却区域110的空间再次进行划分为3个水回路进行温度控制，使得第一冷却区域110内的温度控制更为精细。

进一步的，所述第二冷却区域120的水回路420包括沿所述第一长边101向所述第二长边102方向依次设置的第七水回路421、第八水回路422和第九水回路423，所述第七水回路421、所述第八水回路422和所述第九水回路423布满所述第二冷却区域120，所述第七水回路421的进水口424和出水口425设置于所述第一长边101，所述第八水回路422的进水口426设置于所述第一长边101，所述第八水回路422的出水口427设置于所述第二长边102，所述第九水回路423的进水口428和出水口429设置于所述第二长边102。

具体的，第七水回路421的进水口424设置于更靠近第一冷却区域110的位置，第七水回路421的出水口425向远离第一短边103的方向偏移一段距离；第九水回路423的结构与第七水回路421的结构类似，相当于沿第一短边103中点和第二短边104中点连线轴对称的结构。第八水回路422的进水口426和出水口427设置于更靠近第三冷却区域130的位置，为了使水回路的布置更为均匀，可将第七水回路421和第九水回路422稍向远离第二短边104方向偏移一段距离，用以容纳第八水回路422的进水口426和出水口427的位置空间。

进一步的，所述第三冷却区域130的水回路430与第一冷却区域110的水回路410的设置基本相同，即，所述第三冷却区域130的水回路430包括第十水回路431、第十一水回路432和第十二水回路433，所述第十水回路431、所述第十一水回路432和所述第十二水回路433沿所述第二短边104方向连续设置并布满所述第三冷却区域130，第十水回路431、第十一水回路432和第十二水回路433，所述第十水回路431、所述第十一水回路432和所述第十二水回路433的进水口和出水口设置于所述第一短边103。具体的，第十水回路431的进水口434和出水口435设置于第二短边104，第十一水回路432的进水口436和出水口437也设置于第二短边104，第十二水回路433的进水口438和出水口439同样设置于第二短边104，第一冷却区域110的水回路410和第三冷却区域130的水回路430呈对称的结构。

进一步的，所述第四水回路411包括沿所述第一长边101方向延伸的主要冷却段，和连接相邻两个所述主要冷却段的过渡段，所述过渡段沿所述第一短边103方向延伸，相邻的所述主要冷却段之间间隔距离d4相等。第五水回路412和第六水回路413的结构与第四水回路411的结构类似，即第五水回路412的相邻的所述主要冷却段之间间隔距离d5相等，第六水回路413的相邻的所述主要冷却段之间间隔距离d6相等。

所述第七水回路421的结构与第四水回路411结构类似，相邻的所述主要冷却段之间间隔距离d7相等，第八水回路422和第九水回路423也类似，即第八水回路422的相邻的所述主要冷却段之间间隔距离d8相等，第九水回路413的相邻的所述主要冷却段之间间隔距离d9相等。

所述第十水回路431的结构也与第四水回路411结构类似，相邻的所述主要冷却段之间间隔距离d10相等，第十一水回路432和第十二水回路433也类似，即第十一水回路432的相邻的所述主要冷却段之间间隔距离d11相等，第十二水回路433的相邻的所述主要冷却段之间间隔距离d12相等。

进一步的，第一冷却区域110内的第四水回路411、第五水回路412和第六水回路413的相邻的主要冷却段之间的距离相等。具体的，第四水回路411与第五水回路412的相邻的主要冷却段之间的距离为L3，第五水回路423与第六水回路413的相邻的主要冷却段之间的距离为L4，L3等于L4。

第二冷却区域120内的第七水回路421、第八水回路422和第九水回路423的相邻的主要冷却段之间的距离相等。具体的，第七水回路421与第八水回路422的相邻的主要冷却段之间的距离为L5，第八水回路422和第九水回路423的相邻的主要冷却段之间的距离为L6，L5等于L6。

第三冷却区域130内的第十水回路431、第十一水回路432和第十二水回路433的相邻的主要冷却段之间的距离相等。具体的，第十水回路431与第十一水回路432的相邻的主要冷却段之间的距离为L7，第十一水回路432和第十二水回路433的相邻的主要冷却段之间的距离为L8，L7等于L8。

进一步的，相邻的所述第一冷却区域110和所述第二冷却区域120与相邻的所述第二冷却区域120和所述第三冷却区域130的水回路的过渡段之间的距离相等。具体的，第四水回路411与第七水回路421的过渡段之间的距离为L9，第五水回路412与第八水回路422的过渡段之间的距离为L10，第六水回路413与第九水回路423的过渡段之间的距离为L11，第八水回路422的过渡段与第十水回路431的过渡段之间的距离为L14，与第十一水回路432的过渡段之间的距离为L15，与第十二水回路433的过渡段之间的距离为L16，L9、L10、L11、L14、L15、L16相等。

进一步的，第二冷却区域120内的第七水回路421与第八水回路422的相邻的过渡段之间的距离为L12，第八水回路422与第九水回路423的相邻的过渡段之间的距离为L13，L12等于L13。

进一步的，相邻的所述第一冷却区域110与所述第二冷却区域120的水回路的过渡段之间的距离等于相邻的所述主要冷却段之间的间隔距离。具体的，结合上文所述，d4、d5、d6、d7、d8、d9、d10、d11、d12、L3、L4、L5、L6、L7、L8、L9、L10、L11、L12、L13、L14、L15和L16相等。

通过上述设置，本发明提供的冷却系统的水回路布置方式，可以实现对不同区域分别进行温度控制，使得玻璃基板的温度得到有效的控制，可以解决现有水回路温度控制造成的缺陷，提高蒸镀膜层的良率。

以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施方式而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施方式的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。

Claims (10)

1.一种冷却系统，其特征在于，包括冷却板、储水罐和温控器，所述冷却板包括多个冷却区域，多个所述冷却区域分别设置水回路，所述水回路包括进水口和出水口，所述温控器用于调节所述储水罐内储存的水的温度，所述储水罐用于向所述进水口输送水，并从所述出水口回收水，所述多个冷却区域的水回路内流动的水的温度不同。

2.如权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，所述冷却板包括相对的第一长边和第二长边，以及相对的第一短边和第二短边，多个所述冷却区域包括第一冷却区域、第二冷却区域和第三冷却区域，所述第一冷却区域靠近所述第一短边设置，所述第三冷却区域靠近所述第二短边设置，所述第二冷却区域设于所述第一冷却区域和所述第三冷却区域之间。

3.如权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，所述水回路包括第一水回路、第二水回路和第三水回路，所述第一水回路设置于所述第一冷却区域内，所述第一水回路的进水口和出水口设置于所述第一短边。

4.如权利要求3所述的冷却系统，其特征在于，所述第二水回路设置于所述第二冷却区域内，所述第二水回路的进水口和出水口设置于所述第一长边和/或所述第二长边。

5.如权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，所述第一冷却区域的水回路包括第四水回路、第五水回路和第六水回路，所述第四水回路、所述第五水回路和所述第六水回路沿所述第一短边方向连续设置并布满所述第一冷却区域，所述第四水回路、所述第五水回路和所述第六水回路的进水口和出水口设置于所述第一短边。

6.如权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，所述第二冷却区域的水回路包括沿所述第一长边向所述第二长边方向依次设置的第七水回路、第八水回路和第九水回路，所述第七水回路、所述第八水回路和所述第九水回路布满所述第二冷却区域，所述第七水回路的进水口和出水口设置于所述第一长边，所述第八水回路的进水口设置于所述第一长边，所述第八水回路的出水口设置于所述第二长边，所述第九水回路的进水口和出水口设置于所述第二长边。

7.如权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，所述水回路包括沿所述第一长边方向延伸的主要冷却段，和连接相邻两个所述主要冷却段的过渡段，所述过渡段沿所述第一短边方向延伸，相邻的所述主要冷却段之间间隔距离相等。

8.如权利要求7所述的冷却系统，其特征在于，相邻的所述第一冷却区域和所述第二冷却区域与相邻的所述第二冷却区域和所述第三冷却区域的水回路的过渡段之间的距离相等。

9.如权利要求8所述的冷却系统，其特征在于，相邻的所述第一冷却区域与所述第二冷却区域的水回路的过渡段之间的距离等于相邻的所述主要冷却段之间的间隔距离。

10.一种蒸镀机，其特征在于，包括如权利要求1至9任一所述的冷却系统。