CN109230321B - 物料传输系统、传输方法及存储装置 - Google Patents

物料传输系统、传输方法及存储装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种物料传输系统、传输方法及存储装置，该物料存储装置具有可移动存储架；可移动存储架用于承载多个物料盒且与物料存储装置可分离；自动运输装置能够自由地沿任意方向任意路径运动；自动运输装置用于承载可移动存储架，并且，将可移动存储架送至物料存储装置前方，或者将可移动存储架从物料存储装置运输到目标存储位置。本发明实现了将多个物料盒同时在物料存储装置之间的传输、以及物料存储装置和工艺设备之间的传输等。由于采用了自动运输装置，取消了传统空中轨道传输系统中的单盒轨道天车和空中轨道的设置，从而克服了传统空中轨道传输系统在设计时的复杂度高、后期调整时的难度高且受限、以及在实际应用中受限的问题。

Description

物料传输系统、传输方法及存储装置
技术领域
本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种物料存储装置、物料传输系统及物料传输方法。
背景技术
在一个追求高效率的生产车间里，通常会按照产品的生产工艺、环境要求、厂务要求等因素将工厂划分成数个生产区域。在制造过程中半成品必须在不同的生产区域中交叉穿梭的流动。为了提高生产效率和生产稳定性，工艺工程师通常会在每个生产区域内放置半成品，并且在生产物料的缓存区里安置自动化存储设备，从而确保生产物料的正确快速流动，并且保证不会由于人为因素、设备或者厂务维修等突发状况，造成生产线缺料而停顿生产的重大事故发生。在一个全自动的生产车间里，为提高运输效率，首先将半成品和生产用材料按批次、批量整齐的排放在特别设计的载具内，然后通过自动化传输手段，将“半成品”从上一个工段的生产区域自动传输到下一个工段的生产区域。
传统半导体晶圆厂中，每25片晶圆片放在一个开放式花篮（cassette），或者是密闭式的盒子里，如承载8寸晶圆片的SMIF Pod (Standard Mechanical InterFace Pod) 或者是12寸晶圆片的FOUP(Front Opening Unit Pod）。而且，这些cassettes、SMIF Pods或者FOUP等物料盒集中独立存放在一个大型的全自动存储系统（Stocker）里。通常会在每个生产区域置放一座存储系统，然后通过某种自动传输系统，将半成品的物料盒在Stockers之间通过中央控制系统自动传输。
传统半导体晶圆厂里存储系统之间（stock to stocker）的物料盒传输，或者是设备和存储系统间（stocker to tools）之间的物料盒传输，大多是采用全自动空中轨道传输系统（Over Head Transportation，OHT）来实现的。请参阅图1~图3，图1为传统的空中轨道传输系统中的单盒轨道天车的示意图，图2为传统的空中轨道传输系统中的空中轨道示意图，图3为现有的单盒轨道天车的垂直升降吊丝机构的示意图。在物料盒传输过程中，如图3所示单盒轨道天车利用垂直升降吊丝机构取放物料，如图1所示单盒轨道天车在空中轨道上运行来实现物料盒在存储系统之间的运输或者设备和存储系统之间的运输。每部单盒轨道天车可以承载一个物料盒，经过空中轨道依序传输物料盒。单盒轨道天车到达货架(stocker)或者设备(tool)的工位后，再次如图3所示，经过垂直升降吊丝机构的吊丝将物料盒摆放到设备或者存储设备的工位上。
然而，虽然全自动天车轨道系统技术成熟，为目前半导体晶圆厂里的标准配置，但是，传统空中轨道传输系统也存在有严重而且无法克服的缺点，如下：
首先，由于空中轨道传输系统中物料盒的高速运行，所以，从安全角度考虑，传统空中轨道传输系统基本都是采用单向运输设计，以防止因管控失误或者机械故障，造成严重的对撞事故。因此，传统空中轨道传输系统的设计，必须要和晶圆厂中设备的网络布局、生产工艺流程、存储槽的规模和数量等因素密切配合，否则会影响空中轨道传输系统的搬运效率。这样为了做好空中轨道传输系统的设计，在建厂初期必须对整个晶圆厂的未来工艺规划、产能要求、和工厂布局等都有完善的规划。无疑大大增加了初期设计成本。
再者，对于晶圆厂来说，一旦生产线扩充、工艺设备调整、或者生产线重新优化布局时，传统空中轨道传输系统会出现修改难、费用昂贵等问题，这也进一步将严重限制企业决策。
并且，传统空中轨道传输系统中，垂直升降吊丝机构是采用垂直升降方式来取放物料盒，需要将垂直吊丝与晶圆盒、或者将晶圆盒与工位进行对位，这导致需要对设备的工位位置精准度的要求严苛，不允许随意变换位置，因此，传统空中轨道传输系统中，限制了对局部工艺或设备的灵活更新，导致对局部工艺或设备的更新缺乏弹性。
其次，传统空中轨道传输系统中，由于是单向运行，一旦发生单点故障而长时间无法解决的时候，将会产生严重的交通拥塞，从而导致整个空中轨道传输系统的运输效率急速下降，进而影响到整个晶圆厂的生产。
此外，由于空中轨道传输系统中单盒轨道天车的设计负载能力是建厂初期就确定的，在后期的技术更新中，特别是在物料盒的尺寸和重量发生改变时，空中轨道传输系统必须同步升级，而空中轨道传输系统造价高昂，对维修技术要求高，日常维护费用也高，必将造成成本严重增加和时间的浪费，因此，限制了空中轨道传输系统的更新换代的灵活性。
最后，传统空中轨道传输系统中，单盒轨道天车并不适用于大重量和大尺寸的物料盒传输，这也大大限制了传统空中轨道传输系统的应用范围。
综上所述，在一个新晶圆厂的初期建设阶段要考虑全自动化生产线的先进制造要求，而上述所描述的传统空中轨道传输系统对于未来产品布局的灵活性限制以及应用限制也是要同时考虑的因素，因此，传统空中轨道传输系统在实际生产应用中受到极大限制。
发明内容
为了克服以上问题，本发明旨在提供一种物料传输系统、物料传输方法，以及一种物料存储装置，从而使得物料传输在后期调整时的灵活性和应用范围得到提高，并减少建厂初期的设计成本。
为了达到上述目的，本发明一种物料传输系统，包括：
物料存储装置，物料存储装置具有可移动存储架；所述可移动存储架用于承载多个物料盒，并且所述可移动存储架与所述物料存储装置可分离；
自动运输装置，能够自由地沿任意方向任意路径运动；自动运输装置用于承载并运输所述可移动存储架。
在一实施例中，还包括：自动升降平移机构、第一侧壁传感器和控制器；
第一侧壁传感器，探测所述自动运输装置是否到达或者是否离开所述可移动存储架的外部区域，如果是，则发送信号给所述控制器；
自动升降平移机构，设置于所述可移动存储架底部；其中，
所述控制器接收到第一侧壁传感器的信号后，控制自动升降平移机构执行上升动作，从而将可移动存储架向上升起，并且控制自动升降平移机构执行平移动作，从而将可移动存储架向外输送到所述自动运输装置上或者将可移动存储架从自动运输装置上拾取并送回所述物料存储装置中。
在一实施例中，所述自动升降平移机构还包括：
伸缩机构，在控制器的控制下进行伸展动作或收缩动作；
升降机构，在控制器的控制下执行上升动作或下降动作；
若干限位传感组件，用于限定所述伸缩机构的伸展距离或收缩距离，以及判断伸缩机构的伸展动作或者收缩动作是否到位，并且发送信号给控制器，然后控制器控制升降机构进行上升动作或下降动作。
在一实施例中，所述伸缩机构具有支撑所述可移动存储架的一支撑层；
所述自动升降平移机构向外送出或者向内送进所述可移动存储架的过程中，所述支撑层经历四个位置：
第一位置D1为支撑层的原始位置；
第二位置D2为支撑层在原始位置上方到达的位置；
第三位置D3为支撑层在自动运输装置顶部上方到达的位置；
第四位置D4为支撑层在自动运输装置顶部下方到达的位置。
在一实施例中，所述自动升降平移机构向外送出所述可移动存储架的过程中，包括：
所述控制器控制所述升降机构执行上升动作，支撑层从第一位置达到第二位置；
所述控制器控制所述伸缩机构进行伸展动作，支撑层从第二位置达到第三位置；
所述限位传感组件判断所述伸缩机构是否伸展到位，如果是，则发送信号给控制器；
所述控制器控制升降机构执行下降动作，支撑层从第三位置达到第四位置，在支撑层从第三位置到达第四位置的过程中，可移动存储架与自动运输装置顶部接触后被支撑，所述支撑层脱离所述可移动存储架向下运动至第四位置；
所述控制器控制收缩机构执行收缩动作，支撑层从第四位置达到第一位置；
限位传感组件判断所述伸缩机构是否收缩到位，如果是，则发送信号给控制器。
在一实施例中，所述自动升降平移机构嵌套于一固定支撑体内，所述固定支撑体用于承载所述自动升降平移机构以及用于非运输过程中支撑所述可移动存储架；
在所述控制器控制所述升降机构执行上升动作，且在支撑层从第一位置达到第二位置的过程中，所述支撑层接触所述可移动存储架的底部并将其顶起，所述支撑层支撑所述可移动存储架向上运动至第二位置。
在一实施例中，所述自动升降平移机构向内送回所述可移动存储架的过程中，包括：
所述控制器控制所述伸缩机构执行伸展动作，所述支撑层从第一位置达到第四位置；
所述限位传感组件判断所述伸缩机构是否伸展到位，如果是，则发送信号给控制器；
所述控制器控制升降机构执行上升动作，所述支撑层从第四位置达到第三位置；在支撑层从第四位置到达第三位置的过程中，支撑层与可移动存储架底部接触并顶起可移动存储架，继续向上运动至第三位置；
所述控制器控制所述伸缩机构进行收缩动作，所述支撑层从第三位置达到第二位置；
限位传感组件判断所述伸缩机构是否收缩到位，如果是，则发送信号给控制器；
控制器控制升降机构执行下降动作，所述支撑层从第二位置达到第一位置。
在一实施例中，所述自动升降平移机构嵌套于一固定支撑体内，所述固定支撑体用于承载所述自动升降平移机构以及用于非运输过程中支撑所述可移动存储架；
在所述控制器控制升降机构执行下降动作，所述支撑层从第二位置达到第一位置的过程中，所述可移动存储架的底部接触并被所述固定支撑体的顶部支撑，所述支撑层脱离所述可移动存储架底部向下运动至第一位置。
在一实施例中，所述物料传输系统还包括自动门；自动门设置于所述可移动存储架所对应的所述物料存储装置外壁上；
当所述第一侧壁传感器探测所述自动运输装置到达所述可移动存储架的外部后，发送信号给所述控制器，所述控制器控制自动升降平移机构执行上升动作的同时还控制开启所述自动门；
当所述第一侧壁传感器探测所述自动运输装置离开所述物料存储装置后，发送信号给所述控制器，所述控制器控制自动升降平移机构执行下降动作的同时还控制关闭所述自动门。
在一实施例中，所述自动运输装置的顶部还设置有顶部传感器，用于探测所述自动运输装置的顶部是否为空；并反馈给所述控制器，控制器根据反馈结果来控制自动升降平移机构开始运行。
在一实施例中，在所述自动升降平移机构开始执行向外送出所述可移动存储架之前，所述顶部传感器探测所述自动运输装置的顶部为空，发送信号给控制器，则所述控制器控制所述自动升降平移机构开始执行向外送出所述可移动存储架的动作；以及，
所述自动升降平移机构开始执行向内送回所述可移动存储架之前，所述顶部传感器探测所述自动运输装置的顶部不为空，发送信号给控制器，则所述控制器控制所述自动升降平移机构开始执行向内送回所述可移动存储架的动作。
在一些实施例中，所述伸缩机构具上设置有一伸缩驱动组件；所述伸缩驱动组件具有一变形驱动机构和可变形传输部件；可变形传输部件连接于伸缩机构和变形驱动机构之间；
当所述伸缩机构进行伸缩时，在控制器的控制下，变形驱动机构通过驱动可变形传输部件发生伸缩变形，来带动所述伸缩机构进行伸缩。
在一些实施例中，在控制器的控制下所述变形驱动机构驱动所述可变形传输部件发生弯曲变形或恢复形变，来带动所述伸缩机构收缩或伸展。
在一些实施例中，所述可变形传输部件至少包括一活动传输杆和一导向传输杆；导向传输杆固定不动；活动传输杆的两端分别为第一端和第二端；活动传输杆的第一端转动连接于所述伸缩机构上，活动传输杆的第二端活动连接于导向传输杆上，使得活动传输杆的第二端能够沿导向传输杆移动，以带动活动传输杆的第一端沿水平方向移动，从而使活动传输杆的第一端推动所述伸缩机构向外伸展或拉动所述伸缩机构向内收缩。
在一些实施例中，所述变形驱动机构与所述导向传输杆之间采用齿轮啮合驱动，活动传输杆的第二端与导向传输杆之间采用螺纹活动连接；变形驱动机构通过齿轮驱动导向传输杆沿中心轴转动，导向传输杆上转动的螺纹导致活动传输杆的第二端沿所述导向传输杆移动。
在一些实施例中，所述第二端上设置有螺纹组件，螺纹组件固定于所述导向传输杆上，且螺纹组件的螺纹与导向传输杆的螺纹配合连接。
在一些实施例中，所述导向传输杆上为外螺纹，所述螺纹组件上为内螺纹。
在一实施例中，所述物料传输系统中还包括：多臂自动运输装置；多臂自动运输装置能够自由地沿任意方向任意路径运动；多臂自动运输装置将物料存储装置中的物料盒拾取并传输至工艺腔，或者将工艺腔的物料盒拾取并传输至物料存储装置中。
在一实施例中，所述多臂自动运输装置包括多个机械手臂、抓手、承载物料盒的多个载物台和位于多个机械手臂底部的自动运输台；
自动运输台用于实现所述多臂自动运输装置的移动；
抓手用于夹持物料盒；
多个机械手臂之间通过多轴独立运动来实现对物料盒的取放。
在一实施例中，多个机械手臂之间通过活动轴相连，包括：垂直升降手臂和多个水平旋转手臂；
垂直升降手臂固定于自动运输台上，其中一个水平旋转手臂活动连接于垂直升降手臂上，通过沿着垂直升降手臂进行运动来实现上下移动；
每个水平旋转手臂之间活动连接，每个水平旋转手臂均在水平面内进行旋转且每个水平旋转手臂之间的旋转运动互不干涉。
在一实施例中，所述抓手具有驱动马达和多个可移动夹片；驱动马达驱动可移动夹片之间的距离产生变化，从而使得可移动夹片相适应的调整夹持距离。
在一实施例中，所述物料存储装置还包括：
多个第三存储容纳腔，用于向工艺腔传输或接收工艺设备传输来的物料盒；
感应门，对应于第三存储容纳腔的物料存储装置侧壁而设置；
底部传感器，设置于第三存储容纳腔底部，底部传感器用于探测第三存储容纳腔中是否具有物料盒，并且把探测结果反馈给控制器，控制器根据反馈结果来控制感应门开启或关闭。
在一实施例中，在第三存储容纳腔下方的物料存储装置侧壁还可以设置有第二侧壁传感器，第二侧壁传感器用于探测多臂自动运输装置是否在第三存储容纳腔的外部，根据探测结果，控制器来控制感应门是否开启或关闭。
为了达到上述目的，本发明还提供了一种采用上述物料传输系统进行的物料传输方法，包括：
步骤01：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域；如果是，则执行步骤02；
步骤02： 将可移动存储架向上升起；
步骤03：将可移动存储架向外送出所述物料存储装置；
步骤04：将可移动存储架向下移动放置在自动运输装置上；
步骤05：自动运输装置携带可移动存储架向目标位置运动。
在一实施例中，所述可移动存储架底部还设置有自动升降平移机构；自动升降平移机构通过一支撑层来支撑所述可移动存储架；支撑层可以经历四个位置；第一位置为支撑层的原始位置，第二位置为支撑层在原始位置上方到达的位置，第三位置为支撑层在自动运输装置顶部上方到达的位置，第四位置为支撑层在自动运输装置顶部下方到达的位置。
所述步骤02中，自动升降平移机构将可移动存储架向上升起从第一位置至第二位置；
所述步骤03中，自动升降平移机构将可移动存储架向外伸出从第二位置到第三位置；
所述步骤04中，自动升降平移机构将可移动存储架向下降落，支撑层从第三位置到第四位置，在此过程中，可移动存储架与自动运输装置顶部接触后被支撑，支撑层脱离可移动存储架向下运动至第四位置；
所述步骤05中，还包括：自动升降平移机构往回收缩，从第四位置到第一位置。
在一实施例中，对应于可移动存储架的所述物料存储装置侧壁还设置有自动门；所述步骤02中，还包括：开启自动门；所述步骤05中，还包括：探测自动运输装置是否离开物料存储装置；如果是，则关闭自动门。
在一实施例中，所述步骤01具体包括：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域，并且判断自动运输装置的顶部是否为空，如果二者均是，则执行步骤02。
在一实施例中，所述步骤05中，还包括：判断自动升降平移机构是否收缩到位；如果探测自动运输装置离开物料存储装置，且自动升降平移机构收缩到位，则关闭自动门。
为了达到上述目的，本发明还提供了一种采用上述的物料传输系统进行的物料传输方法，包括：
步骤01：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域；如果是，则执行步骤02；
步骤02： 将可移动存储架从自动运输装置向上升起；
步骤03：将可移动存储架向内送回所述物料存储装置；
步骤04：将可移动存储架向下移动放置在所述物料存储装置内；
步骤05：自动运输装置离开物料存储装置。
在一实施例中，所述可移动存储架底部还设置有自动升降平移机构；自动升降平移机构通过一支撑层来支撑所述可移动存储架；支撑层可以经历四个位置；第一位置为支撑层的原始位置，第二位置为支撑层在原始位置上方到达的位置，第三位置为支撑层在自动运输装置顶部上方到达的位置，第四位置为支撑层在自动运输装置顶部下方到达的位置。
所述步骤02中，首先，自动升降平移机构向外伸出，从第一位置到第四位置；然后，自动升降平移机构向上升起，支撑层从第四位置达到第三位置；其中，在支撑层从第四位置到达第三位置的过程中，支撑层与可移动存储架底部接触并顶起可移动存储架，继续向上运动至第三位置；
所述步骤03中，自动升降平移机构将可移动存储架往回送进物料存储装置从第三位置到第二位置；
所述步骤04中，自动升降平移机构将可移动存储架向下降落，支撑层从第二位置到第一位置，在此过程中，可移动存储架到达原始位置被支撑，支撑层脱离可移动存储架向下运动至第一位置。
在一实施例中，对应于可移动存储架的所述物料存储装置侧壁还设置有自动门；所述步骤02中，还包括：开启自动门；所述步骤05中，还包括：探测自动运输装置是否离开物料存储装置；如果是，则关闭自动门。
在一实施例中，所述步骤01具体包括：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域，并且判断自动运输装置的顶部是否不为空，如果二者均是，则执行步骤02。
在一实施例中，所述步骤03中，还包括：判断自动升降平移机构是否收缩到位；如果是，则执行步骤04。
为了达到上述目的，本发明还提供了一种物料存储装置，用于存储物料；其中，所述物料存储装置具有可移动存储架；所述可移动存储架用于承载多个物料盒，并且所述可移动存储架与所述物料存储装置可分离。
在一实施例中，所述可移动存储架底部设置有自动升降平移机构，用于将所述可移动存储架从所述物料存储装置的内部输送到所述物料存储装置的外部，或者从所述物料存储装置的外部将所述可移动存储架送进所述物料存储装置的内部。
在一实施例中，所述自动升降平移机构的顶部支撑并接触所述可移动存储架的底部，用于运输过程中来支撑所述可移动存储架；所述自动升降平移机构嵌套于一固定支撑体内，所述固定支撑体用于承载所述自动升降平移机构以及用于非运输过程中支撑所述可移动存储架。
在一实施例中，所述自动升降平移机构的顶部以及所述固定支撑体的顶部均具有顶部修正定位部件，所述可移动存储架的底部具有与各个所述顶部修正定位部件相配合的底部修正定位部件，每个所述顶部修正定位部件与相应的所述底部修正定位部件一一对应相配合共同修正所述自动升降平移机构的顶部与所述可移动存储架的底部的对准偏差、或者所述固定支撑体的顶部与所述可移动存储架的底部的对准偏差。
在一实施例中，所述顶部修正定位部件为修正定位凸起，所述底部修正定位部件为修正定位孔；或者，所述顶部修正定位部件为修正定位孔，所述底部修正定位部件为修正定位凸起；其中，所述修正定位孔的顶部尺寸大于所述修正定位凸起的顶部直径，所述修正定位凸起进入所述修正定位孔中，从而使所述自动升降平移机构的顶部与所述可移动存储架的底部定位对准、或者使所述固定支撑体的顶部与所述可移动存储架的底部定位对准。
在一实施例中，所述修正定位凸起为圆锥体，所述修正定位孔为圆锥孔；或者，所述修正定位凸起为圆柱体，所述修正定位孔为长槽孔。
在一实施例中，所述圆锥体的尖顶上还设置有顶部圆柱体，所述圆锥孔的尖端上也相应设置有顶部圆柱体孔；其中，所述顶部圆柱体进入所述顶部圆柱体孔，从而完成所述自动升降平移机构的顶部与所述可移动存储架的底部定位对准、或者使所述固定支撑体的顶部与所述可移动存储架的底部定位对准。
在一实施例中，所述自动升降平移机构具有伸缩机构和升降机构；所述伸缩机构通过执行伸展动作将所述可移动存储架从所述物料存储装置内部向外推出、或者通过执行收缩动作将所述可移动存储架拉入所述物料存储装置内部；所述升降机构通过执行上升动作将所述可移动存储架向上顶起、或者通过执行下降动作将所述可移动存储架向下放落。
在一实施例中，所述伸缩机构具有多节联动伸缩组件，从而通过多节联动伸缩动作实现所述伸缩机构的伸缩。
在一实施例中，所述多节联动伸缩组件包括多层滑轨，每层滑轨的条数至少为两条，每条滑轨上对应套设有与之相配合的滑块；每条滑轨上套设的滑块还同时与相邻的滑轨固定连接；从而使得所述多节联动伸缩组件实现多节联动伸缩。
在一实施例中，所述滑轨的两端向内均设置有缓冲定位块，在滑轨移动过程中，缓冲定位块用于限定滑轨的移动距离以及释放滑轨端部对滑块(L02)的冲击。
在一实施例中，所述滑轨还连接有变形限定部件，所述变形限定部件与所述滑轨平行排列，用于限定滑轨在非滑轨延伸方向的任何方向的移动。
在一实施例中，所述伸缩机构还具有限位传感组件，用于限定所述伸缩机构的伸展距离或收缩距离。
在一些实施例中，所述伸缩机构具上设置有一伸缩驱动组件；所述伸缩驱动组件具有一变形驱动机构和可变形传输部件；可变形传输部件连接于伸缩机构和变形驱动机构之间；
当所述伸缩机构进行伸缩时，在控制器的控制下，变形驱动机构通过驱动可变形传输部件发生伸缩变形，来带动所述伸缩机构进行伸缩。
在一些实施例中，在控制器的控制下所述变形驱动机构驱动所述可变形传输部件发生弯曲变形或恢复形变，来带动所述伸缩机构收缩或伸展。
在一些实施例中，所述可变形传输部件至少包括一活动传输杆和一导向传输杆；导向传输杆固定不动；活动传输杆的两端分别为第一端和第二端；活动传输杆的第一端转动连接于所述伸缩机构上，活动传输杆的第二端活动连接于导向传输杆上，使得活动传输杆的第二端能够沿导向传输杆移动，以带动活动传输杆的第一端沿水平方向移动，从而使活动传输杆的第一端推动所述伸缩机构向外伸展或拉动所述伸缩机构向内收缩。
在一些实施例中，所述变形驱动机构与所述导向传输杆之间采用齿轮啮合驱动，活动传输杆的第二端与导向传输杆之间采用螺纹活动连接；变形驱动机构通过齿轮驱动导向传输杆沿中心轴转动，导向传输杆上转动的螺纹导致活动传输杆的第二端沿所述导向传输杆移动。
在一些实施例中，所述第二端上设置有螺纹组件，螺纹组件固定于所述导向传输杆上，且螺纹组件的螺纹与导向传输杆的螺纹配合连接。
在一些实施例中，所述导向传输杆上为外螺纹，所述螺纹组件上为内螺纹。
在一实施例中，所述自动升降平移机构与所述固定支撑体之间通过相互嵌套的导轨和滑动块实现升降运动。
在一实施例中，导轨设置于所述固定支撑体上，所述自动升降平移机构设置有与导轨相配合的滑动块，滑动块与导轨相互嵌套。
在一实施例中，所述物料存储装置中具有多个第一存储容纳腔，每个第一存储容纳腔放置一个物料盒；所述可移动存储架中也具有多个第二存储容纳腔，每个第二存储容纳腔放置一个物料盒；所述第二存储容纳腔小于所述第一存储容纳腔，相同数量的第一存储容纳腔的体积大于相同数量的第二存储容纳腔的体积，使得物料存储装置中容纳所述可移动存储架的空间尺寸大于所述可移动存储架的空间尺寸。
在一实施例中，所述物料存储装置中具有多个第一存储容纳腔，每个第一存储容纳腔放置一个物料盒；所述物料存储装置还包括多个用于向工艺腔传输或接收工艺设备传输来的物料盒的第三存储容纳腔；每个所述第三存储容纳腔的体积大于第一存储容纳腔的体积。
本发明的物料存储装置、物料传输系统及传输方法，通过在物料存储装置内设置可移动存储架，来实现多个物料盒例如6个的同时传输，克服了现有的空中轨道传输系统一次只能从物料存储装置拾取一个物料盒的弊端；进一步的，在物料存储装置内通过设置自动升降平移机构，实现了对可移动存储架的自动搬运至物料存储装置内或外部。特别的，利用顶部修正定位部件，对可移动存储架在升降移送过程中出现的位置偏差进行修正，使得可移动存储架能够精准的定位，避免在升降移送过程中出现位置偏差而导致可移动存储架歪斜甚至翻倒。本发明中的物料传输系统，利用可移动存储架和自动运输装置，实现了将多个物料盒同时在物料存储装置之间的传输、物料存储装置和工艺设备之间的传输等。并且，由于采用了自动运输装置，取消了传统空中轨道传输系统中的单盒轨道天车和空中轨道的设置，从而克服了传统空中轨道传输系统在设计时的复杂度高、后期调整时的难度高且受限、以及在实际应用中受限的问题。相比之下，本发明的自动运输装置和可移动存储架的配合，可以降低建厂初期对生产线的设计的复杂度，在后期调整时灵活度很高，从而提高了实际应用范围。
附图说明
图1为传统的空中轨道传输系统中的单盒轨道天车的示意图
图2为传统的空中轨道传输系统中的空中轨道示意图
图3为现有的单盒轨道天车的垂直升降吊丝机构的示意图
图4为本发明的一个实施例的物料存储装置的结构示意图
图5为图4中的物料存储装置的侧面示意图
图6为本发明的一个实施例的可移动存储架的结构示意图
图7为图6中的可移动存储架的侧面结构示意图
图8为图6中的可移动存储架的底部示意图
图9为本发明的一个实施例的自动升降平移机构的三维结构示意图
图10为图9的自动升降平移机构的主视结构示意图
图11为本发明的一个实施例的一组相配合的顶部修正定位部件和底部修正定位部件的结构示意图
图12为本发明的另一个实施例的一组相配合的顶部修正定位部件和底部修正定位部件的结构示意图
图13为本发明的另一个实施例的一组相配合的顶部修正定位部件和底部修正定位部件的结构示意图
图14为本发明的一个实施例的伸缩机构的三维结构示意图
图15为本发明的一个实施例的伸缩机构在收缩状态时的结构示意图
图16为本发明的一个实施例的伸缩结构在伸展状态时的结构示意图
图17为本发明的一个实施例的一组限位传感组件的结构示意图
图18为本发明的一个实施例的另一组限位传感组件的结构示意图
图19为本发明的一个实施例的自动升降平移机构的固定组件的结构示意图
图20为本发明的一个实施例的收缩机构在收缩状态的驱动组件的结构示意图
图21为本发明的一个实施例的收缩机构在伸展状态的驱动组件的结构示意图
图22为本发明的一个实施例的物料存储装置中挡板和可移动存储架的位置关系示意图
图23为本发明的一个实施例的自动运输装置与物料存储装置的关系图
图24为本发明的一个实施例的自动运输装置的三维结构示意图
图25为本发明的一个实施例的支撑层所经历的四个位置的示意图
图26为本发明的一个实施例中自动运输装置运输可移动存储架的各个过程的结构流程示意图
图27为本发明的一个实施例中向物料存储装置中运输空的可移动存储架的流程示意图
图28为本发明的一个实施例中从物料存储装置中运输可移动存储架的流程示意图
图29为本发明的一个实施例中向物料存储装中运输带有物料盒的可移动存储架的流程示意图
图30为本发明的一个实施例中从物料存储装置中运输可移动存储架的流程示意图
图31为本发明的一个实施例中向物料存储装中运输带有物料盒的可移动存储架的流程示意图
图32为本发明的一个实施例的物料传输系统的方块图
图33为本发明的一个实施例的多臂自动运输装置的三维结构示意图
图34为图33的多臂自动运输装置的俯视结构示意图
图35为本发明的一个实施例的具有多臂自动运输装置的物料传输系统部分的方块图
图36为本发明的一个实施例的多臂自动运输装置从第三存储容纳腔拾取物料并传输的流程示意图
图37为本发明的一个实施例的多臂自动运输装置向第三存储容纳腔放置物料并进行传输的流程示意图
图38为本发明的一个实施例的物料传输方法的流程示意图
图39为本发明的一个实施例的物料传输方法的流程示意图。
具体实施方式
为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
以下结合附图4~18和具体实施例对本发明作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式、使用非精准的比例，且仅用以方便、清晰地达到辅助说明本实施例的目的。
请参阅图4，本实施例的物料存储装置00设置于基台100上，基台100是镂空的，用于隔离物料存储装置00与地面，有利于物料存储装置00散热。物料存储装置00具有多个存储容纳腔以及可移动存储架01。此外，请结合图4和图5，图5为本实施例的物料存储装置的侧面示意图。本实施例的物料存储装置00还包括：物料盒传输台200、人机交互显示界面300等。本实施例中的每个存储容纳腔用于存储物料盒。每个存储容纳腔内放置一个物料盒。
请参阅图4，这些存储容纳腔可以包括：第一存储容纳腔Q1、第二存储容纳腔Q2、以及第三存储容纳腔Q3。第一存储容纳腔Q1呈矩阵排列设置于物料存储装置00中，第二存储容纳腔Q2是设置于可移动存储架01中的，这里，设置第二存储容纳腔Q2小于第一存储容纳腔Q1，相同数量的第一存储容纳腔Q1的体积大于相同数量的第二存储容纳腔Q2的体积，使得物料存储装置00中容纳可移动存储架01的空间尺寸大于可移动存储架01的空间尺寸，这样，可移动存储架01在进出物料存储装置00的过程中，避免与物料存储装置00之间发生碰撞，并且，还能够保证在物料存储装置00中容纳可移动存储架01的空间得到充分利用；较佳的，可移动存储架01的底部高于物料存储装置00的底部，且可移动存储架01中第N层第二存储容纳腔Q2的高度接近物料存储装置00中第N-1层第一存储容纳腔Q1的高度，N为正整数，且大于等于1。
此外，物料存储装置00对应于可移动存储架01的侧壁还设置有一自动门(为了便于表示可移动存储架，图4中未示出自动门，自动门设置于可移动存储架01外侧)，通过自动门的启闭来实现对可移动存储架01的送出或送进。
这里，第三存储容纳腔Q3用于传输或接收工艺设备传输来的物料盒，第三存储容纳腔Q3的体积可以大于第一存储容纳腔Q1的体积。第三存储容纳腔Q3的体积设置的较大，便于大体积的机械手臂进出其中来取放物料盒。
请再次参阅图6~8并结合图4，图6为本实施例的可移动存储架的结构示意图，图7为本实施例的可移动存储架的侧面结构示意图，图8为本实施例的可移动存储架的底部结构示意图，本实施例的可移动存储架01一共设置了六个第二存储容纳腔Q2，但这不用于限制本发明的保护范围，本发明的其它实施例中，第二存储容纳腔Q2的个数还可以为四个、八个甚至更多，但也不局限于偶数个，奇数个尚可，采用偶数个第二存储容纳腔Q2，可以确保可移动存储架01在静止状态和移动过程中的平衡和稳定。本实施例中，请参阅图6和图7，可移动存储架01的底部设置有双层底部支撑结构，双层底部支撑结构包括上层底部支撑结构101和下层底部支撑结构102，上层底部支撑结构101上承载物料盒，下层底部支撑结构102支撑整个可移动存储架01，上层底部支撑结构101的底部高于下层底部支撑结构102的顶部。请参阅图8，本实施例中，在上层底部支撑结构101和下层底部支撑结构102上均设置有修正定位部件103，这里可以为修正定位孔，这是与自动平移升降机构、伸缩机构和自动运输装置上的修正定位部件相配合的，关于修正定位部件、自动平移升降机构、伸缩结构和自动运输装置将在后续详细描述，这里不再描述。因此，上层底部支撑结构101和下层底部支撑结构102的这种设置，使得可移动存储架01不仅在静止状态而且在运动状态，都能够保持平衡和稳定。而且，还便于自动升降平移机构拾取和运输可移动存储架01，以及便于自动运输装置承载可移动存储架01。
请参阅图9和图10并结合图4，图9为本实施例的自动升降平移机构的三维结构示意图，图10为本实施例的自动升降平移机构的主视结构示意图，本实施例的自动升降平移机构03可以用于将可移动存储架01从物料存储装置00的内部输送到物料存储装置00的外部，或者从物料存储装置00的外部将可移动存储架01送进物料存储装置00的内部。这里，自动升降平移机构03的顶部支撑并接触可移动存储架01的底部，用于运输过程中来支撑可移动存储架01。这里，将自动升降平移机构03嵌套于一固定支撑体02内，这里的固定支撑体02用于承载自动升降平移机构03以及用于非运输过程中支撑可移动存储架01。本实施例中，固定支撑体02为固定架，但这不用于限制本发明的保护范围，本发明的其他实施例中，固定支撑体还可以为其它形式。
如图9所示，固定架的框架由四根竖直支撑柱201、与四根竖直支撑柱201底部相连的第一层支座203，与四根支撑柱201的中上部相连的第二层支座202构成，还可以将四根竖直支撑柱201中的相对两根的顶部设置相连的顶板204。第一层支座203作为整个固定架的底座，用于支撑整个固定架；第二层支座202用于支撑自动升降平移机构03；以第二层支座202为基面，四根支撑柱201向上凸起部分的高度大于第二支撑座202的高度，四个支撑柱201的顶板204用于支撑可移动存储架01的底部。
请结合图8（可移动存储架的底部结构示意图图）至图13。图9中，自动升降平移机构03的顶部以及固定支撑体02的顶部均具有顶部修正定位部件204；图8中，可移动存储架01的底部具有与各个顶部修正定位部件204相配合的底部修正定位部件103。这样，请结合图8和图11，每个顶部修正定位部件204与相应的底部修正定位部件103一一对应相配合共同修正自动升降平移机构03的顶部与可移动存储架01的底部的对准偏差、或者固定支撑体02的顶部与可移动存储架01的底部的对准偏差。具体的，本实施例中，图11中，顶部修正定位部件204为修正定位凸起，图8中底部修正定位部件103为修正定位孔；但这不用于限定本发明的保护范围，在本发明的其它实施例中，顶部修正定位部件还可以为修正定位孔，底部修正定位部件可以为修正定位凸起。本实施例或其它实施例中，修正定位凸起204进入修正定位孔103中，从而使自动升降平移机构03的顶部与可移动存储架01的底部定位对准、或者使固定支撑体02的顶部与可移动存储架01的底部定位对准。因此，当可移动存储架01在下降且将要坐落在固定支撑体02利用固定支撑体02上的顶部修正定位部件204和可移动存储架01的底部定位修正部件103，一旦可移动存储架01与固定支撑体02之间发生位置偏差，利用这里的顶部修正定位部件204和底部修正定位部件103的相互配合完成对偏差的修正，例如，顶部修正定位部件204为修正定位凸起，底部修正定位部件103为修正定位孔，由于修正定位孔的顶部尺寸大于修正定位凸起的顶部尺寸，这样，当可移动存储架01与固定支撑体02之间发生位置偏差时，修正定位凸起的顶部始终能够进入修正定位孔的范围内，从而落入修正定位孔中，并带动可移动存储架01发生相应偏移，以实现对可移动存储架01的位置修正。这里需要注意的是，为了实现位置偏差修正，修正定位孔的顶部尺寸的设计应当基于自动升降平移机构03的移动精度来设定，从而确保发生位置偏差的可移动存储架始01终能够落入修正定位孔的顶部尺寸中。同理，当自动升降平移机构03向上升起且将要接触可移动存储架01的底部时，利用自动升降平移机构03顶部的修正定位凸起和可移动存储架01底部的修正定位孔，一旦可移动存储架01与自动升降平移机构03之间发生位置偏差，利用这里的修正定位凸起和修正定位孔的相互配合完成对偏差的修正。关于这一过程及其原理可以参照上述关于可移动存储架01和固定支撑体02之间的修正定位凸起和修正定位孔的描述，这里不再赘述。
关于修正定位凸起和修正定位孔的结构形式，本实施例中，较佳的，请参阅图11，顶部修正定位部件204为修正定位凸起，这里为圆锥体，底部修正定位部件103为修正定位孔，这里为圆锥孔。修正定位凸起可以包括顶部圆锥体和底部圆柱体，修正定位孔可以相配合地包括顶部圆锥孔和底部圆柱孔，顶部圆锥孔和顶部圆锥体相配合，底部圆柱体和底部圆柱孔相配合。请参阅图12，顶部修正定位部件204为修正定位凸起，这里为修正定位凸起可以包括底部圆锥体和顶部圆柱体，底部修正定位部件103为修正定位孔，这里修正定位孔可以包括底部圆锥孔和顶部圆柱孔。在其它实施例中，请参阅图13，图13中虚线右边表示底部修正定位部件103为修正定位孔，虚线左边表示修正定位孔和修正定位凸起的配合关系，这里，顶部修正定位部件204为修正定位凸起，底部修正定位部件103为修正定位孔，修正定位凸起的顶端可以但不限于为圆柱体，例如，可以整个修正定位凸起为圆柱体，或者为顶部带有圆柱体的圆锥体，修正定位孔为长槽孔。需要说明的是，本发明中，修正定位凸起可以作为顶部修正定位部件，也可以作为底部修正定位部件，修正定位孔也可以作为顶部修正定位部件，也可以作为底部修正定位部件。进一步的，本发明的其它实施例中，修正定位凸起为圆锥体，圆锥体的尖顶上还设置有顶部圆柱体，修正定位孔为圆锥孔，圆锥孔的尖端上也相应设置有顶部圆柱体孔；其中，顶部圆柱体进入顶部圆柱体孔，从而完成自动升降平移系统的顶部与可移动存储架的底部定位对准。
请再次参阅图9和图10并结合图4，本实施例中，自动升降平移机构03具有伸缩机构301和升降机构；伸缩机构301通过执行伸展动作将可移动存储架01从物料存储装置00内部向外推出、或者通过执行收缩动作将可移动存储架01拉入物料存储装置00内部；升降机构通过执行上升动作将可移动存储架01向上顶起、或者通过执行下降动作将可移动存储架01向下放落。需要说明的是，本实施例中，伸缩机构301的顶部还可以设置有支撑层303，支撑层303用于支撑可移动存储架01，从而提高在运输可移动存储架01过程中的稳定性。
这里，较佳的，请参阅图14并结合图15，伸缩机构301具有多节联动伸缩组件L00，从而通过多节联动伸缩动作实现伸缩机构301的伸缩。
具体的，多节联动伸缩组件L00可以包括多层滑轨，每层滑轨的条数可以至少为两条，每条滑轨L01上对应套设有与之相配合的滑块L02；每条滑轨L01上套设的滑块L02还同时与相邻的滑轨L01固定连接；从而使得伸缩机构301实现多节联动伸缩。本实施例中，多层滑轨可以在同一水平方向上多层排布。在其它实施例中，多层滑轨可以在竖直方向上多层排布。
本实施例中，较佳的，滑轨L01的两端向内可以均设置有缓冲定位块L03，在滑轨L01移动过程中，缓冲定位块L03用于限定滑轨L01的移动距离以及释放滑轨L01端部对滑块L03的冲击，本实施例中，还在多节联动伸缩组件L00的最外面的两侧分别设置固定板L04，固定板L04上固定有滑块L02，滑块L02套接在相邻的滑轨L01上。这样，请结合图15和图16并结合图4，在水平排布的多节联动伸缩组件L00向外伸展的滑动过程中，位于最内侧的滑轨L01在相邻滑块L02的导向作用下向前滑动，当最内侧滑轨L01的末端即将达到相邻滑块L02时，仍然继续向前移动，此时，缓冲定位块L03能够缓解该最内侧滑轨L01对该相邻滑块L02的冲击，避免损伤导致使用寿命减小，同时，由于缓冲定位块L03的设置，能够确保最内侧滑轨L01移动过程中在接触相邻滑轨L01时仍然能够稳定移动，不会产生突然停顿的问题，确保多节联动伸缩组件L00的多层滑轨在移动过程中保持连续形和流畅性，从而保证其上防携带的可移动存储架01的移动连续性、流畅性和稳定形。此外，当缓冲定位块L03接触到该相邻滑轨L01时，由于该最内侧滑轨L01继续向前移动，缓冲定位块L03会推动该相邻滑块L02向前移动，而该相邻滑块L02会带动其所固定的另一根的滑轨L01开始向前移动，然后，按照上述过程，可以继续带动后续其它层的滑轨L01向前滑动，直至最外侧的滑轨L01向前滑动，最后被最外面的固定板L04限制住而不能移动，如图16并结合图15和图4所示，此时，最内侧滑轨L01的最前端与固定板L04最前端的距离即为整个多节联动伸缩组件L00的伸出距离，因为多节联动伸缩组件L00是携带可移动存储架01向外伸出，所以，该伸出距离应当为可移动存储架01的伸出距离。需要说明的是，在多节联动伸缩组件L00向外伸出的过程中，如上述描述，位于滑轨L01末端的缓冲定位块L03起到主要作用；而在多节联动伸缩组件L00收缩过程中，同理，位于滑轨L01前端的缓冲定位块L03起到主要作用，与上述位于滑轨L01末端的缓冲定位块L03起到的效果相同，这里不再赘述。需要说明的是，结合图10、图15和图16，支撑层303固定于多节联动伸缩组件L00中最先动作的那一节上，例如，上述多层滑轨L01中，支撑层303应固定于多层滑轨中最先伸出的那一层滑轨上，从而带动可移动存储架01移动。
然而，请结合图4和图16，在多层滑轨的依次联动滑动过程中，反复的往返滑动，再加上滑轨上面承载的可移动存储架01的重量，会不可避免的造成滑轨L01的变形，比如，在水平面内的任意方向弯曲或在竖直面内的任意方向弯曲，从而损坏伸缩机构301的整体损坏，因此，本实施例中，在滑轨L01侧面还可以设置变形限定部件，变形限定部件与滑轨L01平行排列，用于限定滑轨L01在非滑轨延伸方向的任何方向的移动。具体的，如图14中所示，变形限定部件可以由与滑轨L01平行的限定杆L05以及限定销L06组成；限定杆L05的两端分别固定于滑轨L01的两端，限定杆L05的侧面与滑轨L01的侧面贴合，从而限定滑轨L01在水平面内的变形，而滑轨L01的另一面由于嵌套于滑块L02内，实际上也起到了对滑轨L01另一面在水平面内的变形。此外，限定销L06可以分布设置于限定杆L05上且向外凸出，将相应滑轨L01的顶面和底部卡合住，这样，利用限定销L06来限制滑轨L01在竖直面的弯曲变形，从而使得限定杆L05和限定销L06构成的变形限定部件能够避免滑轨L01在水平面和竖直面内的任何方向的变形。
在伸缩机构301进行伸缩的过程中，对于伸缩移动的距离虽然可以通过上述的缓冲定位块L03、滑轨L0的长度等来进行限定，然而，在实际应用中，由于反复的运动，会造成一定的移动偏差，久而久之，会越来越大，给整个物料存储装置00造成较大的安全隐患。因此，本实施例中，请查阅图17并结合图15和图10，伸缩机构301还可以具有限位传感组件L07，用于限定伸缩机构301的伸展距离或收缩距离。这里的限位传感组件，并不采用常规的传感器通过单向感应并结合内部逻辑运算来得出大概的位置，而是通过双向精准定位，来确保每次伸缩机构的伸缩移动都在基本相同的距离，并且回归基本相同的位置，进一步减少移动距离偏差。下面具体来描述本实施例的限位传感组件L07。请参阅图17和18并结合图15，本实施例的限位传感组件L07可以包括限位传感器L072和挡板L071。在多节联动伸缩组件L00底部设置有支撑板304，挡板L071设置于滑轨L01的一侧，并且挡板L071的一侧面与滑轨L01之间保留一定距离，该距离是使得挡板L071进入限位传感器L072的开口中。限位传感器L072安装于支撑板304的上面或下面，限位传感器L072中设置有与挡板L071相配合的开口，当挡板L071进入开口中，限位传感器L072判断伸缩机构301伸展到位或收缩到位。具体的，请参阅图17，位于最内侧的滑轨L01最后收缩移动直至到位，则表示多节联动伸缩组件L00收缩到位，此时，最内侧的滑轨L01上的挡板L071进入限位传感器L072的开口中，从而使得限位传感器L072感应到挡板L071进入，则判断最内侧滑轨L071收缩到位。请参阅图18并结合图15，支撑板304中则设置有一狭长镂空槽305，另一个限位传感器L072设置于支撑板304底部，且在该狭长镂空槽305的靠近外侧的一端，并且位于最外侧的滑轨L01上的另一个挡板L071通过此狭长镂空槽305伸到支撑板304的下方。由于最外侧的滑轨L01最后伸出直至到位，则表示多节联动伸缩组件L00伸出到位，此时，位于最外侧的滑轨L01上的挡板进入支撑板304底部的限位传感器L072的开口中，从而使得该另一个限位传感器L072感应到该另一个挡板L071进入，则判断最外侧的滑轨L01伸出到位。
需要说明的是，限位传感器L072的位置最初调整或者发生位置偏差时也需要调整，因此，本实施例中，请再次参阅图17和图18，在限位传感器L072与支撑板304通过修正限位轨道L073连接。具体的，限位传感器L072可以卡合于修正限位轨道L073中，并且通过将限位传感器L072沿着修正限位轨道L073移动来调整限位传感器L072的位置，从而实现对限位传感器L072的位置的修正。
本实施例中，请参阅图19并结合图9和图10，升降机构包括相互嵌套的导轨401和滑动块402来实现升降运动。具体的，导轨401设置于固定架的支撑柱201上，升降机构设置有与导轨401相配合的滑动块402，滑动块402与导轨401相互嵌套。升降机构还可以具有固定组件来固定滑动块402。固定组件可以由第一方向设置的第一固定板和第二方向设置的第二固定板404构成，本实施例中，第一固定板和上述的支撑板304为同一结构；这里的第一方向与导轨401延伸方向平行，第二方向与第一方向垂直。滑动块402固定于第二固定板404上，第一固定板（支撑板304）用于承载伸缩机构。并且，请结合图15，第一固定板（支撑板304）和第二固定板404之间通过一长孔406和固定件405来连接，这样，可以通过固定件405在长孔406中移动来调整第一固定板（支撑板304）和第二固定板404的对准偏差，较佳的，长孔406的长度方向与第一固定板（支撑板304）的竖直表面相垂直。此外，本实施例中，伸缩机构301底部的支撑板304和第二支座202的顶部还还可以通过第二固定板404固定连接。
这里，请查阅图32并结合图10，物料传输系统还具有控制器，控制驱动机构执行驱动指令。具体的，驱动机构可以包括：一伸缩驱动组件和一升降驱动组件302。伸缩驱动组件可以在控制器的控制下驱动伸缩机构301进行伸展动作或收缩动作，升降驱动组件302可以在控制器的控制下驱动升降机构进行上升动作或下降动作。升降驱动组件302可以采用气缸和驱动轴；较佳的，在第一层支座302上还设置有第三支座205，升降驱动组件302的驱动轴可以抵触第三支座302来实现对第二支座202的推起，进一步实现对升降机构的滑移。具体的，利用气缸推动驱动轴向外抵压第三支座302来反作用推动升降机构的滑动块402相对于导轨401向上移动；利用气缸收缩带动驱动轴收缩从而使气缸牵引第二支座202向下移动，以驱使升降机构的滑动块403相对于导轨401向下移动。此外，伸缩机构301底部的支撑板304和第二支座202的顶部通过第二固定板404固定连接。升降驱动组件302设置于第二支座202上，第二支座202具有允许升降驱动组件302的驱动轴穿过的开口，升降驱动组件302的驱动轴能够穿过该开口而接触到第一层支座203。升降驱动组件302的驱动轴通过向下抵触第一层支座203，从而得到第一层支座203给予的反作用力，而将支撑板304向上推起，同时第二固定板404上的滑动块402沿导轨401向上滑动。
请参阅图20并结合图15，伸缩驱动组件设置于多节联动伸缩组件L00上，用于驱动多节联动伸缩组件L00进行伸缩运动。这里的伸缩驱动组件具有一变形驱动机构503和可变形传输部件，可变形传输部件连接于多节联动伸缩组件L00和变形驱动机构503之间；变形驱动机构503通过驱动传输部件发生伸缩变形，来带动多节联动伸缩组件L00伸缩。这里，控制器还控制变形驱动机构503的启闭。
请参阅图20并结合图9，可变形传输部件可以为刚性的。这里，可变形传输部件至少包括一导向传输杆502和一活动传输杆501。导向传输杆502固定不动。这里，导向传输杆502固定于第二固定板404上。活动传输杆501的两端分别设为第一端和第二端；活动传输杆501的第一端转动连接于伸缩机构301上，这里，活动传输杆501的第一端可以但不限于连接于伸缩机构301的支撑层303上；活动传输杆501的第二端活动连接于导向传输杆502上，使得活动传输杆501的第二端能够沿导向传输杆502移动，以带动活动传输杆501的第一端沿水平方向移动，从而使活动传输杆501的第一端推动伸缩机构301向外伸展或拉动伸缩机构301向内收缩。
请参阅图21并结合图9，变形驱动机构503与导向传输杆502之间采用齿轮啮合驱动，例如，变形驱动机构503采用马达和丝杆，丝杆与固定传输杆502配合连接的地方设置有第一齿轮，固定传输杆502的一端具有第二齿轮，第一齿轮和第二齿轮相啮合，第一齿轮和第二齿轮的中心轴垂直。活动传输杆501的第二端与导向传输杆502之间采用螺纹活动连接。请结合附图4，变形驱动机构503通过齿轮驱动导向传输杆502沿中心轴转动，第二端上设置有螺纹组件504，螺纹组件504不仅活动连接活动传输杆501，而且螺纹组件504还固定于导向传输杆502上，且螺纹组件504的螺纹与导向传输杆502的螺纹配合连接；本实施例中导向传输杆502上为外螺纹，螺纹组件上为内螺纹。具体的，通过马达驱动丝杆转动，丝杆带动第一齿轮在竖直面内转动，从而带动第二齿轮在水平面内转动，第二齿轮具有螺纹，从而使得第二齿轮的螺纹也转动，通过导向传输杆502上转动的螺纹，使得活动传输杆501的第二端沿导向传输杆502上下移动。这样，由于活动传输杆501转动连接于伸缩机构301的底部的一个支点位置，因此，活动传输杆501的第一端只能随着第二端的上下移动而沿水平方向移动，从而推动伸缩机构301向外伸展或者拉动伸缩机构301向内收缩。
本实施例中，请参阅图22并结合图9，在物料存储装置00对应于可移动存储架01外侧底部的区域设置有挡板05。挡板05用于保护自动升降平移机构03，还可以避免后续的物料传输系统中的自动运输装置探测到自动升降平移机构03错误的认为是故障，而发出危险信号，导致物料传输系统的运输出现不必要的阻断，从而确保物料传输系统的高效顺利运行。
接下来，结合附图23~36具体描述本实施例的物料传输系统。
请参阅图23，本实施例的物料传输系统可以采用上述的物料传输装置，此外，还包括自动运输装置06。自动运输装置06能够自由地沿任意方向任意路径运动，其用于承载可移动存储架01，并且，自动运输装置06将可移动存储架01送至物料存储装置00前方，或者将从物料存储装置00传输到自动运输装置06上的可移动存储架01运输到目标存储位置。例如，进行物料传输时，将承载有多个物料盒的可移动存储架01从物料存储装置00中传输至自动运输装置06上。自动运输装置06携带着可移动存储架01向目标存储位置运动。或者，自动运输装置06携带着承载有多个物料盒的可移动存储架01到达物料存储装置00中，然后将可移动存储架01传输至物料存储装置00中。物料传输时，可以包括从物料存储装置00到物料存储装置00之间的传输，也可以包括物料存储装置00与机台之间的传输。
较佳的，本实施例中，自动运输装置06可以采用自走式背伏机器人。请参阅图24并结合图23和图8，该自走式背伏机器人在顶部设置有支撑可移动存储架01的支撑部件061，支撑部件061可以为支撑架、支撑台等，并且，在支撑部件061顶部也可以设置有与可移动存储架01底部的底部修正定位部件103相配合的顶部修正定位部件062，支撑部件061的顶部修正定位部件062与自动升降平移机构03、固定支撑体02的顶部修正定位部件204相一致，其结构和作用均可以参照上述关于自动升降平移机构03、固定支撑体02的顶部修正定位部件204的描述，这里不再赘述。
这里，请查阅图33并结合图4和图9，物料传输系统还具有控制器。如前所述，物料存储装置00中设置有自动升降平移机构03，具体的可以位于可移动存储架01的底部。此外，在物料存储装置的00外侧壁还可以设置有第一侧壁传感器。这里的第一侧壁传感器用于探测自动运输装置06是否到达可移动存储架01的外部区域，如果是，则发送信号给控制器。控制器接收到第一侧壁传感器的信号后，控制器控制自动升降平移机构03执行上升动作，将可移动存储架01向上升起，并控制自动升降平移机构03执行向外平移动作，将可移动存储架01向外输送到自动运输装置06上或者将可移动存储架01从自动运输装置06上拾取并送回物料存储装置00中。
请参阅图23并结合图4和图22，基于本实施例中对应于可移动存储架01的物料存储装置00外壁上还设置有自动门，第一侧壁传感器还进一步设置于自动门下方的物料存储装置00外侧壁上。当第一侧壁传感器探测自动运输装置06到达可移动存储架01的外部后，发送信号给控制器，控制器控制自动升降平移机构03执行上升动作的同时还可以控制开启自动门。当第一侧壁传感器探测自动运输装置06离开物料存储装置00后，发送信号给控制器，控制器控制自动升降平移机构03执行下降动作的同时还控制关闭自动门。
关于本实施例的伸缩机构301和升降机构、限位传感组件L07的结构描述可以参照上述图9~10的描述，这里不再赘述。这里，在控制器的控制下伸缩机构301执行伸缩动作。以下来详细描述本实施的物料传输系统中，伸缩机构301、升降机构以及限位传感组件L07在传输过程中的配合关系。
伸缩机构301和升降机构都是在控制器的控制下进行相应动作的。在控制器的控制下，伸缩机构301进行伸展动作或收缩动作；在控制器的控制下，升降机构执行上升动作或下降动作。
需要说明的是，在本实施例的传输系统中，若干限位传感组件L07，不仅用于限定伸缩机构301的伸展距离或收缩距离，还可以判断伸缩机构301的伸展动作或者收缩动作是否到位，并且发送信号给控制器，然后由控制器控制升降机构进行上升动作或下降动作。
此外，请查阅图25并结合图15、图 16和图4，自动升降平移机构03向外送出或者向内送进可移动存储架01的过程所采用的路径可以根据实际需要来设置。基于本实施例中在伸缩机构301的顶部设置支撑层303来支撑可移动存储架01，较佳的，请参阅图25，在上述自动升降平移机构03向外送出或者向内送进可移动存储架01的过程中，支撑层303可以经历四个位置，图25中带箭头的矩形粗实线表示支撑层303移动的路径。第一位置D1为支撑层303的原始位置，第二位置D2为支撑层303在原始位置上方到达的位置，第三位置D3为支撑层303在自动运输装置06顶部上方到达的位置，第四位置D4为支撑层303在自动运输装置06顶部下方到达的位置。上述的四个位置，为支撑层303的必经位置，由这四个位置构成一个回形路径。需要说明的是，自动升降平移机构03向外送出可移动存储架01的过程所经历的路径方向与自动升降平移机构03向内送进可移动存储架01的过程所经历的路径方向相反。
请参阅图26并结合图25和图4，自动运输装置06在物料存储装置00之间运输可移动存储架01的过程，可以包括：
A：自动运输装置06来到物料存储装置00之前；B:自动门打开；C：自动升降平移机构03将可移动存储架01搬进物料存储装置00中；D：自动门关闭；E：在这里，物料存储装置00中的搬运机械手还将物料存储装置00中第一存储容纳腔Q1中的物料盒拾取并取出放置到空的第二存储容纳腔Q2中。后续就是自动运输装置06来拾取带有物料盒的可移动存储架01，具体可以包括，F:自动运输装置06来到自动门前，自动门打开；G：自动升降平移机构03将带有物料盒的可移动存储架01送出并放置到自动运输装置06上；H：自动门关闭；I：自动运输装置06将带有物料盒的可移动存储架01放置到其它的物料存储装置00中。需要说明的是，以上为物料运输的一个实施例，这并不用于限制本发明的保护范围。
以下请参阅图27并结合图32、图25、图15、图9和图4，对本实施例的上述物料运输过程中从物料存储装置00中运输可移动存储架01的过程进行详细描述。
本实施例中，在将带有物料盒的可移动存储架01取出之前，可以包括：将空的可移动存储架01放入物料存储装置00中，具体包括：
第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否到达可移动存储架01的外部区域，如果是，则发送信号给控制器；
控制器接收到第一侧壁传感器的信号后，控制开启自动门，并且控制伸缩机301执行伸展动作，支撑层303从第一位置D1达到第四位置D2；
限位传感组件L07判断伸缩机构301是否伸展到位，如果是，则发送信号给控制器；
控制器控制升降机构执行上升动作，支撑层303从第四位置D4达到第三位置D3；在支撑层303从第四位置D4到达第三位置D3的过程中，支撑层303与可移动存储架01底部接触并顶起可移动存储架01，继续向上运动至第三位置D3；
控制器控制伸缩机构301进行收缩动作，支撑层303从第三位置D3达到第二位置D2；
限位传感组件L07判断伸缩机构301是否收缩到位，如果是，则发送信号给控制器；
还可以包括：第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否离开物料存储装置00，如果是，发送信号给控制器；
控制器控制自动门关闭，并且控制升降机构执行下降动作，支撑层303从第二位置D2达到第一位置D1。这里，由于自动升降平移机构03嵌套于固定支撑体02内，因此，在控制器控制升降机构执行下降动作，也即是支撑层303从第二位置D2达到第一位置D1的过程中，可移动存储架01的底部接触并被固定支撑体02的顶部支撑，支撑层303脱离可移动存储架01底部向下运动至第一位置。
空的可移动存储架01放置到物料存储装置00中到位后，控制器还可以控制物料存储装置00内部的一搬运机械手从第一存储容纳腔Q1中拾取物料盒并放置到空的第二存储容纳腔Q2中，直至将可移动存储架00放满，然后控制器控制搬运机械手停止搬运。
以下请参阅图28并结合图32、图25、图15、图9和图4，对本实施例的上述物料运输过程中从物料存储装置00中运输可移动存储架01的过程进行详细描述。本实施例中自动升降平移机构03向外送出带有物料盒的可移动存储架01的过程，可以包括：
第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否到达可移动存储架01的外部区域，如果是，则发送信号给控制器；
控制器接收到第一侧壁传感器的信号后，控制器控制开启自动门，并且控制自动升降平移机构03执行上升动作，支撑层从第一位置D1达到第二位置D2；这里，由于自动升降平移机构03嵌套于固定支撑体02内，在控制器控制升降机构执行上升动作，也即是支撑层303从第一位置D1达到第二位置D2的过程中，支撑层303接触可移动存储架01的底部并将其顶起，支撑层303支撑可移动存储架01向上运动至第二位置D2。
控制器控制伸缩机构301进行伸展动作，支撑层303从第二位置D2达到第三位置D3，限位传感组件L07判断伸缩机构301是否伸展到位，如果是，则发送信号给控制器；
控制器控制升降机构执行下降动作，支撑层303从第三位置D3达到第四位置D4，在支撑层303从第三位置D3到达第四位置D4的过程中，可移动存储架01与自动运输装置06顶部接触后被支撑，支撑层303脱离可移动存储架01向下运动至第四位置D4；
控制器控制伸缩机构301执行收缩动作，支撑层303从第四位置D4达到第一位置D1；
限位传感组件L07判断伸缩机构301是否收缩到位，如果是，则发送信号给控制器。并且还可以包括，第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否离开物料存储装置00，如果是，发送信号给控制器；
控制器控制关闭自动门。需要说明的是后续控制器可以根据限位传感组件L07的信号，还可以根据实际需要来执行后续操作，例如控制自动门关闭，或者控制自动升降平移机构03进行后续动作。
相应的，以下请参阅图29并结合图32、图25、图15、图9和图4对自动升降平移机构03向内送回可移动存储架01的过程进行详细描述，其可以包括：
第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否到达可移动存储架01的外部区域，如果是，则发送信号给控制器；
控制器接收到第一侧壁传感器的信号后，控制开启自动门，并且控制伸缩机构301执行伸展动作，支撑层303从第一位置D1达到第四位置D4；
限位传感组件L07判断伸缩机构301是否伸展到位，如果是，则发送信号给控制器；
控制器控制升降机构执行上升动作，支撑层303从第四位置D4达到第三位置D3；在支撑层303从第四位置D4到达第三位置D3的过程中，支撑层303与可移动存储架01底部接触并顶起可移动存储架01，继续向上运动至第三位置D3；
控制器控制伸缩机构301进行收缩动作，支撑层303从第三位置D3达到第二位置D2；
限位传感组件L07判断伸缩机构301是否收缩到位，如果是，则发送信号给控制器；
还可以包括：第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否离开物料存储装置00，如果是，发送信号给控制器；
控制器控制自动门关闭，并且控制升降机构执行下降动作，支撑层303从第二位置D2达到第一位置D1。这里，由于自动升降平移机构03嵌套于固定支撑体02内，因此，在控制器控制升降机构执行下降动作，也即是支撑层303从第二位置D2达到第一位置D1的过程中，可移动存储架01的底部接触并被固定支撑体02的顶部的顶板支撑，支撑层303脱离可移动存储架01底部向下运动至第一位置D1。
然后，控制器可以控制物料存储装置00内的搬运机械手从可移动存储架01中的第二存储容纳腔Q2中拾取物料盒并放置到空的第一存储容纳腔Q1中，直至可移动存储架01中的物料盒被拾取完。空的可移动存储架01还可以从物料存储装置00中送出到自动运输装置06上，并送到其它的物料存储装置00中。
此外，为了避免在自动升降平移机构03向外送出可移动存储架01或者向内送进可移动存储架01之前，出现自动运输装置06上的可移动存储架01是否存在的问题，本实施例中还在自动运输装置06的顶部还设置有顶部传感器，用于探测自动运输装置06的顶部是否为空；并且可以反馈给控制器，控制器可以根据反馈结果来控制自动升降平移机构03开始运行。
这样，本实施例中，请参阅图30并结合图32、图25、图15、图9和图4，上述自动升降平移机构03向外送出可移动存储架01的过程中，还可以包括：
第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否到达可移动存储架01的外部区域，如果是，则发送信号给控制器；
在自动升降平移机构开始执行向外送出可移动存储架01之前，顶部传感器探测自动运输装置06的顶部为空，发送信号给控制器；
控制器接收到第一侧壁传感器的信号，并且接受到顶部传感器的信号后，控制器控制开启自动门，并且控制自动升降平移机构03执行上升动作，支撑层303从第一位置D1达到第二位置D2；这里，由于自动升降平移机构03嵌套于固定支撑体02内，在控制器控制升降机构执行上升动作，也即是支撑层303从第一位置D1达到第二位置D2的过程中，支撑层303接触可移动存储架01的底部并将其顶起，支撑层303支撑可移动存储架01向上运动至第二位置D2。
控制器控制伸缩机构301进行伸展动作，支撑层303从第二位置D2达到第三位置D3；限位传感组件L07判断伸缩机构301是否伸展到位，如果是，则发送信号给控制器；
控制器控制升降机构执行下降动作，支撑层303从第三位置D3达到第四位置D4，在支撑层303从第三位置D3到达第四位置D4的过程中，可移动存储架01与自动运输装置06顶部接触后被支撑，支撑层303脱离可移动存储架01向下运动至第四位置D4；
控制器控制伸缩机构301执行收缩动作，支撑层303从第四位置D4达到第一位置D1；
限位传感组件L07判断伸缩机构301是否收缩到位，如果是，则发送信号给控制器。并且，第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否离开物料存储装置00，如果是，发送信号给控制器。
控制器控制关闭自动门。需要说明的是后续控制器可以根据限位传感组件L07的信号，还可以根据实际需要来执行后续操作，例如控制自动门关闭，或者控制自动升降平移机构03进行后续动作。
相应的，请参阅图31并结合图32、图25、图15、图9和图4，本实施例中的上述自动升降平移机构03向内送回可移动存储架01的过程还可以包括：
第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否到达可移动存储架01的外部区域，如果是，则发送信号给控制器；
自动升降平移机构03开始执行向内送回可移动存储架01之前，顶部传感器探测自动运输装置的顶部不为空，则发送信号给控制器；
控制器接收到第一侧壁传感器的信号，且接受到顶部传感器的信号后，控制器控制伸缩机构301执行伸展动作，支撑层303从第一位置D1达到第四位置D4；
限位传感组件L07判断伸缩机构301是否伸展到位，如果是，则发送信号给控制器；
控制器控制升降机构执行上升动作，支撑层303从第四位置D4达到第三位置D3；在支撑层303从第四位置D4到达第三位置D3的过程中，支撑层303与可移动存储架01底部接触并顶起可移动存储架01，继续向上运动至第三位置D3；
控制器控制伸缩机构301进行收缩动作，支撑层303从第三位置D3达到第二位置D2；
限位传感组件L07判断伸缩机构301是否收缩到位，如果是，则发送信号给控制器；
还可以包括：第一侧壁传感器探测自动运输装置06是否离开物料存储装置00，如果是，发送信号给控制器；
控制器控制自动门关闭，并且控制器控制升降机构执行下降动作，支撑层303从第二位置D2达到第一位置D1。这里，由于自动升降平移机构01嵌套于固定支撑体02内，因此，在控制器控制升降机构执行下降动作，也即是支撑层303从第二位置D2达到第一位置D1的过程中，可移动存储架01的底部接触并被固定支撑体02的顶部支撑，支撑层303脱离可移动存储架01底部向下运动至第一位置D1。
此外，请参阅图33并结合图4，由于本实施例的物料存储装置00中还设置有第三存储容纳腔Q3，第三存储容纳腔Q3是用于向工艺腔传输或接收工艺设备传输来的物料盒，因此，在本实施例的物料传输系统中，还可以包括：多臂自动运输装置700。多臂自动运输装置700能够自由地沿任意方向任意路径运动。这里多臂自动运输装置700用于将物料存储装置00中的物料盒拾取并传输至工艺腔，或者将工艺腔的物料盒拾取并传输至物料存储装置00中。具体的，请结合图33和图34本实施例中，多臂自动运输装置700可以包括多个机械手臂701、抓手702、承载物料盒的多个载物台703和位于多个机械手臂701底部的自动运输台704。自动运输台704是用于实现多臂自动运输装置700的自由移动的，自动运输台704上承载有载物台703。其中，载物台703可以呈垂直排布，抓手702用于夹持物料盒。多个机械手臂701之间通过多轴独立运动来实现对物料盒的取放。通过自动运输台704的运动带动整个多臂自动运输装置700的运动。
这里，多个机械手臂701之间通过活动轴相连，包括：垂直升降手臂7013和水平旋转手臂7011,7012；垂直升降手臂7013固定于自动运输台704上，其中一个水平旋转手臂7012活动连接于垂直升降手臂7013上，通过沿着垂直升降手臂7013进行运动来实现上下移动；每个水平旋转手臂7011、7012之间活动连接，每个水平旋转手臂7011、7012均在水平面内进行旋转且每个水平旋转手臂之间的旋转运动互不干涉，从而可以实现四轴、六轴等多臂机械手的任意方向上对物料的拾取或放置。抓手702具有驱动马达和多片可移动夹片7021；例如，两片可移动夹片相对设置。利用驱动马达驱动可移动夹片7021之间的距离产生变化，从而使得可移动夹片7021相适应的调整夹持距离。
请参阅图35，并结合图33和图4，对应于第三存储容纳腔Q3的物料存储装置00侧壁具有感应门，第三存储容纳腔Q3底部设置有底部传感器，底部传感器用于探测第三存储容纳腔Q3中是否具有物料盒，并且把探测结果反馈给控制器，控制器根据反馈结果来控制感应门开启或关闭。
此外，在第三存储容纳腔Q3下方的物料存储装置00侧壁还可以设置有第二侧壁传感器，第二侧壁传感器用于探测多臂自动运输装置700是否在第三存储容纳腔Q3的外部，根据探测结果，控制器来控制感应门是否开启或关闭。具体的，第二侧壁传感器探测多臂自动运输装置700是否到达第三存储容纳腔Q3外部，如果是，则发送信号给控制器，控制器可以控制感应门开启。第二侧壁传感器还用于探测多臂自动运输装置700是否离开第三存储容纳腔Q3外部，如果是，则发送信号给控制器，控制器可以控制感应门关闭。
本实施例中，请参阅图36并结合图4，以下举例来说明多臂自动运输装置700从第三存储容纳腔Q3拾取物料并进行传输的过程，可以但不限于包括以下过程：
多臂自动运输装置700到达一第三存储容纳腔Q3外部；
第二侧壁传感器探测多臂自动运输装置700已经到达第三存储容纳腔Q3的外部，并且发送信号给控制器；
底部探测器探测第三存储容纳腔Q3中具有物料盒，并且发送探测结果给控制器；
控制器得到第二侧壁传感器的信号，并且得到底部探测器的信号之后，控制感应门开启；
多臂自动运输装置700从第三存储容纳腔Q3中拾取物料盒；具体的，多臂自动运输装置700的带有抓手702的机械手臂7011向第三存储容纳腔Q3中伸入第三存储容纳腔Q3，在此之前，多臂自动运输装置700控制水平旋转手臂7012沿着垂直升降手臂7013进行升降操作，来调整带有抓手702的水平旋转手臂7011的高度，并且控制多个水平旋转手臂7011,7012进行旋转操作，来调整带有抓手702的水平旋转手臂7011的角度，使得带有抓手702的水平旋转手臂7011能够垂直进入第三存储容纳腔Q3中并准确定位到第三存储容纳腔Q3中的物料盒上方，并且在拾取物料盒之后，带有抓手702的水平旋转手臂7011保持垂直退出第三存储容纳腔Q3。
在拾取完一个物料盒之后，可以重复上述过程，来拾取下一个物料盒。需要说明的是，多臂自动运输装置700具有多个载物台703，从而可以承载多个物料盒，因此，可以依次拾取多个物料盒。
多臂自动运输装置700携带物料盒向目标位置运动，同时，第二侧壁传感器探测多臂自动运输装置700离开物料存储装置00，则发送信号给控制器，此外，底部传感器还可以探测第三存储容纳腔Q3中不具有物料盒，并且把探测结果反馈给控制器。具体的，这里的目标位置可以是工艺设备等，从而实现多臂自动运输装置700在物料存储装置00和工艺设备之间的物料传输。
控制器接收到第二侧壁传感器发送的信号，以及接收到底部传感器发送的信号，则控制感应门关闭。
本实施例中，请参阅图37并结合图4，以下举例来说明多臂自动运输装置700向第三存储容纳腔Q3放置物料并进行传输的过程，可以但不限于包括以下过程：
多臂自动运输装置700到达一第三存储容纳腔Q3外部；这里，需要说明的是，如果是从工艺设备传输来的物料盒，则多臂自动运输装置700从工艺设备拾取物料盒之后，携带物料盒到达第三存储容纳腔Q3外部。
第二侧壁传感器探测多臂自动运输装置700到达第三存储容纳腔Q3的外部，并且发送信号给控制器；
底部探测器探测第三存储容纳腔Q3中不具有物料盒，并且发送探测结果给控制器；
控制器得到第二侧壁传感器的信号，并且得到底部探测器的信号之后，控制感应门开启；
多臂自动运输装置700将物料盒放置在第三存储容纳腔Q3中；具体的，多臂自动运输装置700的带有抓手702的水平旋转手臂7011伸向载物台703去抓取物料盒，在此之前，多臂自动运输装置700控制水平旋转手臂水平旋转手臂7011通过垂直升降手臂7013进行升降操作，来调整带有抓手702的水平旋转手臂7011的高度；并且控制多个水平旋转手臂7011,7012进行旋转操作，来调整带有抓手702的水平旋转手臂7011的角度，使得抓手702能够在载物台703上的物料盒上方准确定位并准确抓取物料盒；然后，多臂自动运输装置700的带有抓手702的水平旋转手臂7011伸入第三存储容纳腔Q3，在此之前，多臂自动运输装置700控制水平旋转手臂7012沿着垂直升降手臂7013进行升降操作，来调整带有抓手702的水平旋转手臂7011的高度，并且控制多个水平旋转手臂7011,7012进行旋转操作，来调整带有抓手702的水平旋转手臂7011的角度，使得带有抓手702的水平旋转手臂7011能够垂直进入第三存储容纳腔Q3中并准确定位到第三存储容纳腔Q3中的待放置物料盒的底部上方，并且放置物料盒；然后，带有抓手702的水平旋转手臂7011保持垂直退出第三存储容纳腔Q3。
在放置完一个物料盒之后，可以重复上述过程，来放置下一个物料盒。需要说明的是，多臂自动运输装置700具有多个载物台，从而可以放置多个物料盒。
多臂自动运输装置700离开物料存储装置00向目标位置运动，同时，第二侧壁传感器探测多臂自动运输装置700离开物料存储装置，则发送信号给控制器，此外，底部传感器还可以探测第三存储容纳腔Q3中具有物料盒，并且把探测结果反馈给控制器。具体的，这里的目标位置可以是工艺设备等，从而实现多臂自动运输装置700在物料存储装置00和工艺设备之间的物料传输。
控制器接收到第二侧壁传感器发送的信号，以及接收到底部传感器发送的信号，则控制感应门关闭。
需要说明的是，以上多臂自动运输装置700的取放物料盒的过程均为示例，但这不用于限制本发明的保护范围。
此外，本实施例中，采用上述物料传输系统进行物料传输的方法，可以举例如下。
例如，请查阅图38，一种物料传输方法，将物料存储装置中的可移动存储架运输到其他目标位置，具体包括：
步骤01：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域；如果是，则执行步骤02；
具体的，本步骤01具体包括：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域，并且判断自动运输装置的顶部是否为空，如果二者均是，则执行步骤02。
步骤02： 将可移动存储架向上升起；
具体的，由于可移动存储架底部还设置有自动升降平移机构；自动升降平移机构通过一支撑层来支撑所述可移动存储架；支撑层可以经历四个位置；第一位置为支撑层的原始位置，第二位置为支撑层在原始位置上方到达的位置，第三位置为支撑层在自动运输装置顶部上方到达的位置，第四位置为支撑层在自动运输装置顶部下方到达的位置。并且由于可移动存储架的所述物料存储装置侧壁还设置有自动门。因此，本步骤02中，自动升降平移机构将可移动存储架向上升起从第一位置至第二位置；同时还可以开启自动门。
步骤03：将可移动存储架向外送出所述物料存储装置；
具体的，本步骤03中，自动升降平移机构将可移动存储架向外伸出从第二位置到第三位置；
步骤04：将可移动存储架向下移动放置在自动运输装置上；
具体的，本步骤04中，自动升降平移机构将可移动存储架向下降落，支撑层从第三位置到第四位置，在此过程中，可移动存储架与自动运输装置顶部接触后被支撑，支撑层脱离可移动存储架向下运动至第四位置；
步骤05：自动运输装置携带可移动存储架向目标位置运动。
具体的，本步骤05中，还包括：自动升降平移机构往回收缩，支撑层从第四位置到第一位置。还可以探测自动运输装置是否离开物料存储装置；如果是，则关闭自动门。
此外，本步骤05中，还可以包括：判断自动升降平移机构是否收缩到位；这样，如果探测自动运输装置离开物料存储装置，且自动升降平移机构收缩到位，则关闭自动门。
再例如，请参阅图39，一种物料传输方法，将自动运输装置上的可移动存储架运输到物料存储装置中，具体包括：
步骤01：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域；如果是，则执行步骤02；
具体的，探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域，并且判断自动运输装置的顶部是否不为空，如果二者均是，则执行步骤02。
步骤02： 将可移动存储架从自动运输装置向上升起；
具体的，由于可移动存储架底部还设置有自动升降平移机构；自动升降平移机构通过一支撑层来支撑所述可移动存储架；支撑层可以经历四个位置；第一位置为支撑层的原始位置，第二位置为支撑层在原始位置上方到达的位置，第三位置为支撑层在自动运输装置顶部上方到达的位置，第四位置为支撑层在自动运输装置顶部下方到达的位置；而且本实施例的对应于可移动存储架的所述物料存储装置侧壁还设置有自动门。因此，本步骤02中，可以具体包括：首先，自动升降平移机构向外伸出，从第一位置到第四位置；然后，自动升降平移机构向上升起，支撑层从第四位置达到第三位置；其中，在支撑层从第四位置到达第三位置的过程中，支撑层与可移动存储架底部接触并顶起可移动存储架，继续向上运动至第三位置；同时还可以包括：开启自动门；
步骤03：将可移动存储架向内送回物料存储装置；
具体的，自动升降平移机构将可移动存储架往回送进物料存储装置，支撑层从第三位置到第二位置；
此外，本步骤03中，还可以包括：判断自动升降平移机构是否收缩到位；如果是，则执行步骤04。
步骤04：将可移动存储架向下移动放置在物料存储装置内；
具体的，自动升降平移机构将可移动存储架向下降落，支撑层从第二位置到第一位置，在此过程中，可移动存储架到达原始位置被支撑，支撑层脱离可移动存储架向下运动至第一位置。
步骤05：自动运输装置离开物料存储装置。
具体的，本步骤05中，还包括：探测自动运输装置是否离开物料存储装置；如果是，则关闭自动门。
综上所述，本发明的物料存储装置、物料传输系统及传输方法，通过在物料存储装置内设置可移动存储架，来实现多个物料盒例如6个的同时传输，克服了现有的空中轨道传输系统一次只能从物料存储装置拾取一个物料盒的弊端；进一步的，在物料存储装置内通过设置自动升降平移机构，实现了对可移动存储架的自动搬运至物料存储装置内或外部。特别的，利用顶部修正定位部件，对可移动存储架在升降移送过程中出现的位置偏差进行修正，使得可移动存储架能够精准的定位，避免在升降移送过程中出现位置偏差而导致可移动存储架歪斜甚至翻倒。本发明中的物料传输系统，利用可移动存储架和自动运输装置，实现了将多个物料盒同时在物料存储装置之间的传输、物料存储装置和工艺设备之间的传输等。并且，由于采用了自动运输装置，取消了传统空中轨道传输系统中的单盒轨道天车和空中轨道的设置，从而克服了传统空中轨道传输系统在设计时的复杂度高、后期调整时的难度高且受限、以及在实际应用中受限的问题。相比之下，本发明的自动运输装置和可移动存储架的配合，可以降低建厂初期对生产线的设计的复杂度，在后期调整时灵活度很高，从而提高了实际应用范围。
虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。

Claims (50)

1.一种物料传输系统，其特征在于，包括：
物料存储装置(00)，物料存储装置(00)具有可移动存储架(01)；所述可移动存储架(01)用于承载多个物料盒，并且所述可移动存储架(01)与所述物料存储装置(00)可分离；
自动运输装置(06)，能够自由地沿任意方向任意路径运动；自动运输装置(06)承载并运输所述可移动存储架(01)；自动升降平移机构(03)、第一侧壁传感器和控制器；
第一侧壁传感器，探测所述自动运输装置(06)是否到达或者是否离开所述可移动存储架(01)的外部区域，如果是，则发送信号给所述控制器；
自动升降平移机构(03)，设置于所述可移动存储架(01)底部，包括升降机构，在控制器的控制下执行上升动作或下降动作；其中，
所述控制器接收到第一侧壁传感器的信号后，控制自动升降平移机构(03)执行上升动作，从而将可移动存储架(01)向上升起，并且控制自动升降平移机构(03)执行平移动作，从而将可移动存储架(01)向外输送到所述自动运输装置(06)上或者将可移动存储架(01)从自动运输装置(06)上拾取并送回所述物料存储装置(00)中；
所述自动升降平移机构(03)嵌套于一固定支撑体(02)内，所述固定支撑体(02)用于承载所述自动升降平移机构(03)以及用于非运输过程中支撑所述可移动存储架(01)；
在所述控制器控制所述升降机构执行上升动作，且在支撑层(303)从第一位置(D1)达到第二位置(D2)的过程中，所述支撑层(303)接触所述可移动存储架(01)的底部并将其顶起，所述支撑层(303)支撑所述可移动存储架(01)向上运动至第二位置(D2)；
所述自动升降平移机构(03)的顶部以及所述固定支撑体(02)的顶部均具有顶部修正定位部件(204)，所述可移动存储架(01)的底部具有与各个所述顶部修正定位部件(204)相配合的底部修正定位部件(103)，每个所述顶部修正定位部件(204)与相应的所述底部修正定位部件(103)一一对应相配合共同修正所述自动升降平移机构(03)的顶部与所述可移动存储架(01)的底部的对准偏差、或者所述固定支撑体(02)的顶部与所述可移动存储架(01)的底部的对准偏差；
所述顶部修正定位部件(204)为修正定位凸起，所述底部修正定位部件(103)为修正定位孔；或者，所述顶部修正定位部件(204)为修正定位孔，所述底部修正定位部件(103)为修正定位凸起；其中，所述修正定位孔的顶部尺寸大于所述修正定位凸起的顶部直径，所述修正定位凸起进入所述修正定位孔中，从而使所述自动升降平移机构(03)的顶部与所述可移动存储架(01)的底部定位对准、或者使所述固定支撑体(02)的顶部与所述可移动存储架(01)的底部定位对准。
2.根据权利要求1所述的物料传输系统，其特征在于，所述自动升降平移机构(03)还包括：
伸缩机构(301)，在控制器的控制下进行伸展动作或收缩动作；
若干限位传感组件(L07)，用于限定所述伸缩机构(301)的伸展距离或收缩距离，以及判断伸缩机构(301)的伸展动作或者收缩动作是否到位，并且发送信号给控制器，然后控制器控制升降机构进行上升动作或下降动作。
3.根据权利要求2所述的物料传输系统，其特征在于，所述伸缩机构(301)具有支撑所述可移动存储架(01)的一支撑层(303)；
所述自动升降平移机构(03)向外送出或者向内送进所述可移动存储架(01)的过程中，所述支撑层(303)经历四个位置：
第一位置(D1)为支撑层(303)的原始位置；
第二位置(D2)为支撑层(303)在原始位置上方到达的位置；
第三位置(D3)为支撑层(303)在自动运输装置(06)顶部上方到达的位置；
第四位置(D4)为支撑层(303)在自动运输装置(06)顶部下方到达的位置。
4.根据权利要求3所述的物料传输系统，其特征在于，所述自动升降平移机构(03)向外送出所述可移动存储架(01)的过程中，包括：
所述控制器控制所述升降机构执行上升动作，支撑层(303)从第一位置(D1)达到第二位置(D2)；
所述控制器控制所述伸缩机构(301)进行伸展动作，支撑层(303)从第二位置(D2)达到第三位置(D3)；
所述限位传感组件(L07)判断所述伸缩机构(301)是否伸展到位，如果是，则发送信号给控制器；
所述控制器控制升降机构执行下降动作，支撑层(303)从第三位置(D3)达到第四位置(D4)，在支撑层(303)从第三位置(D3)到达第四位置(D4)的过程中，可移动存储架(01)与自动运输装置(06)顶部接触后被支撑，所述支撑层(303)脱离所述可移动存储架(01)向下运动至第四位置(D4)；
所述控制器控制收缩机构(301)执行收缩动作，所述支撑层(303)从第四位置(D4)达到第一位置(D1)；
限位传感组件(L07)判断所述伸缩机构(301)是否收缩到位，如果是，则发送信号给控制器。
5.根据权利要求4所述的物料传输系统，其特征在于，所述自动升降平移机构(03)向内送回所述可移动存储架(01)的过程中，包括：
所述控制器控制所述伸缩机构(301)执行伸展动作，所述支撑层(303)从第一位置(D1)达到第四位置(D4)；
所述限位传感组件(L07)判断所述伸缩机构(301)是否伸展到位，如果是，则发送信号给控制器；
所述控制器控制升降机构执行上升动作，所述支撑层(303)从第四位置(D4)达到第三位置(D3)；在支撑层(303)从第四位置(D4)到达第三位置(D3)的过程中，支撑层(303)与可移动存储架(01)底部接触并顶起可移动存储架(01)，继续向上运动至第三位置(D3)；
所述控制器控制所述伸缩机构(301)进行收缩动作，所述支撑层(303)从第三位置(D3)达到第二位置(D2)；
限位传感组件(L07)判断所述伸缩机构(301)是否收缩到位，如果是，则发送信号给控制器；
控制器控制升降机构执行下降动作，所述支撑层(303)从第二位置(D2)达到第一位置(D1)。
6.根据权利要求5所述的物料传输系统，其特征在于，所述自动升降平移机构(03)嵌套于一固定支撑体(02)内，所述固定支撑体(02)用于承载所述自动升降平移机构(03)以及用于非运输过程中支撑所述可移动存储架(01)；
在所述控制器控制升降机构执行下降动作，所述支撑层(303)从第二位置(D2)达到第一位置(D1)的过程中，所述可移动存储架(01)的底部接触并被所述固定支撑体(02)的顶部支撑，所述支撑层(303)脱离所述可移动存储架(01)底部向下运动至第一位置(D1)。
7.根据权利要求6所述的物料传输系统，其特征在于，所述物料传输系统还包括：自动门；自动门设置于所述可移动存储架(01)所对应的所述物料存储装置(00)外壁上；
当所述第一侧壁传感器探测所述自动运输装置(06)到达所述可移动存储架(01)的外部后，发送信号给所述控制器，所述控制器控制自动升降平移机构(03)执行上升动作的同时还控制开启所述自动门；
当所述第一侧壁传感器探测所述自动运输装置(06)离开所述物料存储装置(00)后，发送信号给所述控制器，所述控制器控制自动升降平移机构(03)执行下降动作的同时还控制关闭所述自动门。
8.根据权利要求7所述的物料传输系统，其特征在于，所述自动运输装置(06)的顶部还设置有顶部传感器，用于探测所述自动运输装置(06)的顶部是否为空；并反馈给所述控制器，控制器根据反馈结果来控制自动升降平移机构(03)开始运行。
9.根据权利要求8所述的物料传输系统，其特征在于，在所述自动升降平移机构(03)开始执行向外送出所述可移动存储架(01)之前，所述顶部传感器探测所述自动运输装置(06)的顶部为空，发送信号给控制器，则所述控制器控制所述自动升降平移机构(03)开始执行向外送出所述可移动存储架(01)的动作；以及，
所述自动升降平移机构(03)开始执行向内送回所述可移动存储架(01)之前，所述顶部传感器探测所述自动运输装置(06)的顶部不为空，发送信号给控制器，则所述控制器控制所述自动升降平移机构(03)开始执行向内送回所述可移动存储架(01)的动作。
10.根据权利要求9所述的物料传输系统，其特征在于，所述伸缩机构具(301)上设置有一伸缩驱动组件；所述伸缩驱动组件具有一变形驱动机构和可变形传输部件；可变形传输部件连接于伸缩机构(301)和变形驱动机构之间；
当所述伸缩机构(301)进行伸缩时，在控制器的控制下，变形驱动机构通过驱动可变形传输部件发生伸缩变形，来带动所述伸缩机构(301)进行伸缩。
11.根据权利要求10所述的物料传输系统，其特征在于，在控制器的控制下所述变形驱动机构驱动所述可变形传输部件发生弯曲变形或恢复形变，来带动所述伸缩机构(301)收缩或伸展。
12.根据权利要求11所述的物料传输系统，其特征在于，所述可变形传输部件至少包括一活动传输杆(501)和一导向传输杆(502)；导向传输杆(502)固定不动；活动传输杆(501)的两端分别为第一端和第二端；活动传输杆(501)的第一端转动连接于所述伸缩机构(301)上，活动传输杆(501)的第二端活动连接于导向传输杆(502)上，使得活动传输杆(501)的第二端能够沿导向传输杆(502)移动，以带动活动传输杆(501)的第一端沿水平方向移动，从而使活动传输杆(501)的第一端推动所述伸缩机构(301)向外伸展或拉动所述伸缩机构(301)向内收缩。
13.根据权利要求12所述的物料传输系统，其特征在于，所述变形驱动机构与所述导向传输杆(502)之间采用齿轮啮合驱动，活动传输杆(501)的第二端与导向传输杆(502)之间采用螺纹活动连接；变形驱动机构通过齿轮驱动导向传输杆(502)沿中心轴转动，导向传输杆(502)上转动的螺纹导致活动传输杆(501)的第二端沿所述导向传输杆(502)移动。
14.根据权利要求13所述的物料传输系统，其特征在于，所述活动传输杆(501)第二端上设置有螺纹组件(504)，螺纹组件(504)固定于所述导向传输杆(502)上，且螺纹组件(504)的螺纹与导向传输杆(502)的螺纹配合连接。
15.根据权利要求14所述的物料传输系统，其特征在于，所述导向传输杆(502)上为外螺纹，所述螺纹组件上为内螺纹。
16.根据权利要求15所述的物料传输系统，其特征在于，所述物料传输系统中还包括：多臂自动运输装置(700)；多臂自动运输装置(700)能够自由地沿任意方向任意路径运动；多臂自动运输装置(700)将物料存储装置(00)中的物料盒拾取并传输至工艺腔，或者将工艺腔的物料盒拾取并传输至物料存储装置(00)中。
17.根据权利要求16所述的物料传输系统，其特征在于，所述多臂自动运输装置(700)包括多个机械手臂(701)、抓手(702)、承载物料盒的多个载物台(703)和位于多个机械手臂(701)底部的自动运输台(704)；
自动运输台(704)用于实现所述多臂自动运输装置(700)的移动；
抓手(702)用于夹持物料盒；
多个机械手臂(701)之间通过多轴独立运动来实现对物料盒的取放。
18.根据权利要求17所述的物料传输系统，其特征在于，多个机械手臂(701)之间通过活动轴相连，包括：垂直升降手臂(7013)和多个水平旋转手臂(7011，7012)；
垂直升降手臂(7013)固定于自动运输台(704)上，其中一个水平旋转手臂(7012)活动连接于垂直升降手臂(7013)上，通过沿着垂直升降手臂(7013)进行运动来实现上下移动；
每个水平旋转手臂(7011,7012)之间活动连接，每个水平旋转手臂(7011,7012)均在水平面内进行旋转且每个水平旋转手臂(7011,7012)之间的旋转运动互不干涉。
19.根据权利要求18所述的物料传输系统，其特征在于，所述抓手(702)具有驱动马达和多个可移动夹片(7021)；驱动马达驱动可移动夹片(7021)之间的距离产生变化，从而使得可移动夹片(7021)相适应的调整夹持距离。
20.根据权利要求19所述的物料传输系统，其特征在于，所述物料存储装置(00)还包括：
多个第三存储容纳腔(Q3)，用于向工艺腔传输或接收工艺设备传输来的物料盒；
感应门，对应于第三存储容纳腔(Q3)的物料存储装置(00)侧壁而设置；
底部传感器，设置于第三存储容纳腔(Q3)底部，底部传感器用于探测第三存储容纳腔(Q3)中是否具有物料盒，并且把探测结果反馈给控制器，控制器根据反馈结果来控制感应门开启或关闭。
21.根据权利要求20所述的物料传输系统，其特征在于，在第三存储容纳腔(Q3)下方的物料存储装置(00)侧壁还可以设置有第二侧壁传感器，第二侧壁传感器用于探测多臂自动运输装置(700)是否在第三存储容纳腔(Q3)的外部，根据探测结果，控制器来控制感应门是否开启或关闭。
22.一种采用权利要求1所述的物料传输系统进行的物料传输方法，其特征在于，包括：
步骤01：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域；如果是，则执行步骤02；
步骤02： 将可移动存储架向上升起；
步骤03：将可移动存储架向外送出所述物料存储装置；
步骤04：将可移动存储架向下移动放置在自动运输装置上；
步骤05：自动运输装置携带可移动存储架向目标位置运动。
23.根据权利要求22所述的物料传输方法，其特征在于，所述可移动存储架底部还设置有自动升降平移机构；自动升降平移机构通过一支撑层来支撑所述可移动存储架；支撑层可以经历四个位置；第一位置为支撑层的原始位置，第二位置为支撑层在原始位置上方到达的位置，第三位置为支撑层在自动运输装置顶部上方到达的位置，第四位置为支撑层在自动运输装置顶部下方到达的位置；
所述步骤02中，自动升降平移机构将可移动存储架向上升起从第一位置至第二位置；
所述步骤03中，自动升降平移机构将可移动存储架向外伸出从第二位置到第三位置；
所述步骤04中，自动升降平移机构将可移动存储架向下降落，支撑层从第三位置到第四位置，在此过程中，可移动存储架与自动运输装置顶部接触后被支撑，支撑层脱离可移动存储架向下运动至第四位置；
所述步骤05中，还包括：自动升降平移机构往回收缩，从第四位置到第一位置。
24.根据权利要求23所述的物料传输方法，其特征在于，对应于可移动存储架的所述物料存储装置侧壁还设置有自动门；所述步骤02中，还包括：开启自动门；所述步骤05中，还包括：探测自动运输装置是否离开物料存储装置；如果是，则关闭自动门。
25.根据权利要求24所述的物料传输方法，其特征在于，所述步骤01具体包括：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域，并且判断自动运输装置的顶部是否为空，如果二者均是，则执行步骤02。
26.根据权利要求25所述的物料传输方法，其特征在于，所述步骤05中，还包括：判断自动升降平移机构是否收缩到位；如果探测自动运输装置离开物料存储装置，且自动升降平移机构收缩到位，则关闭自动门。
27.一种采用权利要求1所述的物料传输系统进行的物料传输方法，其特征在于，包括：
步骤01：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域；如果是，则执行步骤02；
步骤02： 将可移动存储架从自动运输装置向上升起；
步骤03：将可移动存储架向内送回所述物料存储装置；
步骤04：将可移动存储架向下移动放置在所述物料存储装置内；
步骤05：自动运输装置离开物料存储装置。
28.根据权利要求27所述的物料传输方法，其特征在于，所述可移动存储架底部还设置有自动升降平移机构；自动升降平移机构通过一支撑层来支撑所述可移动存储架；支撑层可以经历四个位置；第一位置为支撑层的原始位置，第二位置为支撑层在原始位置上方到达的位置，第三位置为支撑层在自动运输装置顶部上方到达的位置，第四位置为支撑层在自动运输装置顶部下方到达的位置；
所述步骤02中，首先，自动升降平移机构向外伸出，从第一位置到第四位置；然后，自动升降平移机构向上升起，支撑层从第四位置达到第三位置；其中，在支撑层从第四位置到达第三位置的过程中，支撑层与可移动存储架底部接触并顶起可移动存储架，继续向上运动至第三位置；
所述步骤03中，自动升降平移机构将可移动存储架往回送进物料存储装置从第三位置到第二位置；
所述步骤04中，自动升降平移机构将可移动存储架向下降落，支撑层从第二位置到第一位置，在此过程中，可移动存储架到达原始位置被支撑，支撑层脱离可移动存储架向下运动至第一位置。
29.根据权利要求28所述的物料传输方法，其特征在于，对应于可移动存储架的所述物料存储装置侧壁还设置有自动门；所述步骤02中，还包括：开启自动门；所述步骤05中，还包括：探测自动运输装置是否离开物料存储装置；如果是，则关闭自动门。
30.根据权利要求29所述的物料传输方法，其特征在于，所述步骤01具体包括：探测自动运输装置是否到达可移动存储架的外部区域，并且判断自动运输装置的顶部是否不为空，如果二者均是，则执行步骤02。
31.根据权利要求30所述的物料传输方法，其特征在于，所述步骤03中，还包括：判断自动升降平移机构是否收缩到位；如果是，则执行步骤04。
32.一种物料存储装置，用于存储物料；其特征在于，所述物料存储装置(00)具有可移动存储架(01)；所述可移动存储架(01)用于承载多个物料盒，并且所述可移动存储架(01)与所述物料存储装置(00)可分离；所述可移动存储架(01)底部设置有自动升降平移机构(03)，用于将所述可移动存储架(01)从所述物料存储装置(00)的内部输送到所述物料存储装置(00)的外部，或者从所述物料存储装置(00)的外部将所述可移动存储架(01)送进所述物料存储装置(00)的内部；所述自动升降平移机构(03)嵌套于一固定支撑体(02)内，所述固定支撑体(02)用于承载所述自动升降平移机构(03)；
所述自动升降平移机构(03)的顶部以及所述固定支撑体(02)的顶部均具有顶部修正定位部件(204)，所述可移动存储架(01)的底部具有与各个所述顶部修正定位部件(204)相配合的底部修正定位部件(103)，每个所述顶部修正定位部件(204)与相应的所述底部修正定位部件(103)一一对应相配合共同修正所述自动升降平移机构(03)的顶部与所述可移动存储架(01)的底部的对准偏差、或者所述固定支撑体(02)的顶部与所述可移动存储架(01)的底部的对准偏差；
所述顶部修正定位部件(204)为修正定位凸起，所述底部修正定位部件(103)为修正定位孔；或者，所述顶部修正定位部件(204)为修正定位孔，所述底部修正定位部件(103)为修正定位凸起；其中，所述修正定位孔的顶部尺寸大于所述修正定位凸起的顶部直径，所述修正定位凸起进入所述修正定位孔中，从而使所述自动升降平移机构(03)的顶部与所述可移动存储架(01)的底部定位对准、或者使所述固定支撑体(02)的顶部与所述可移动存储架(01)的底部定位对准。
33.根据权利要求32所述的物料存储装置，其特征在于，所述自动升降平移机构(03)的顶部支撑并接触所述可移动存储架(01)的底部，用于运输过程中来支撑所述可移动存储架(01)；所述自动升降平移机构(03)嵌套于一固定支撑体(02)内，所述固定支撑体(02)用于承载所述自动升降平移机构(03)以及用于非运输过程中支撑所述可移动存储架(01)。
34.根据权利要求33所述的物料存储装置，其特征在于，所述修正定位凸起为圆锥体，所述修正定位孔为圆锥孔；或者，所述修正定位凸起为圆柱体，所述修正定位孔为长槽孔。
35.根据权利要求34所述的物料存储装置，其特征在于，所述圆锥体的尖顶上还设置有顶部圆柱体，所述圆锥孔的尖端上也相应设置有顶部圆柱体孔；其中，所述顶部圆柱体进入所述顶部圆柱体孔，从而完成所述自动升降平移机构(03)的顶部与所述可移动存储架(10)的底部定位对准、或者使所述固定支撑体(02)的顶部与所述可移动存储架(01)的底部定位对准。
36.根据权利要求35所述的物料存储装置，其特征在于，所述自动升降平移机构(03)具有伸缩机构(301)和升降机构；所述伸缩机构(301)通过执行伸展动作将所述可移动存储架(01)从所述物料存储装置(00)内部向外推出、或者通过执行收缩动作将所述可移动存储架(01)拉入所述物料存储装置(00)内部；所述升降机构通过执行上升动作将所述可移动存储架(01)向上顶起、或者通过执行下降动作将所述可移动存储架(01)向下放落。
37.根据权利要求36所述的物料存储装置，其特征在于，所述伸缩机构(301)具有多节联动伸缩组件(L00)，从而通过多节联动伸缩动作实现所述伸缩机构(301)的伸缩。
38.根据权利要求37所述的物料存储装置，其特征在于，所述多节联动伸缩组件(L00)包括多层滑轨，每层滑轨的条数至少为两条，每条滑轨(L01)上对应套设有与之相配合的滑块(L02)；每条滑轨(L01)上套设的滑块(L02)还同时与相邻的滑轨(L01)固定连接；从而使得所述多节联动伸缩组件(L00)实现多节联动伸缩。
39.根据权利要求38所述的物料存储装置，其特征在于，所述滑轨(L01)的两端向内均设置有缓冲定位块(L03)，在滑轨(L01)移动过程中，缓冲定位块(L03)用于限定滑轨(L01)的移动距离以及释放滑轨(L01)端部对滑块(L02)的冲击。
40.根据权利要求39所述的物料存储装置，其特征在于，所述滑轨(L01)还连接有变形限定部件，所述变形限定部件与所述滑轨(L01)平行排列，用于限定滑轨(L01)在非滑轨延伸方向的任何方向的移动。
41.根据权利要求39所述的物料存储装置，其特征在于，所述伸缩机构(301)还具有限位传感组件(L07)，用于限定所述伸缩机构(301)的伸展距离或收缩距离。
42.根据权利要求41所述的物料存储装置，其特征在于，所述伸缩机构具(301)上设置有一伸缩驱动组件；所述伸缩驱动组件具有一变形驱动机构和可变形传输部件；可变形传输部件连接于伸缩机构(301)和变形驱动机构之间；
当所述伸缩机构(301)进行伸缩时，在控制器的控制下，变形驱动机构通过驱动可变形传输部件发生伸缩变形，来带动所述伸缩机构(301)进行伸缩。
43.根据权利要求42所述的物料存储装置，其特征在于，在控制器的控制下所述变形驱动机构驱动所述可变形传输部件发生弯曲变形或恢复形变，来带动所述伸缩机构(301)收缩或伸展。
44.根据权利要求43所述的物料存储装置，其特征在于，所述可变形传输部件至少包括一活动传输杆(501)和一导向传输杆(502)；导向传输杆(502)固定不动；活动传输杆(501)的两端分别为第一端和第二端；活动传输杆(501)的第一端转动连接于所述伸缩机构(301)上，活动传输杆(501)的第二端活动连接于导向传输杆(502)上，使得活动传输杆(501)的第二端能够沿导向传输杆(502)移动，以带动活动传输杆(501)的第一端沿水平方向移动，从而使活动传输杆(501)的第一端推动所述伸缩机构(301)向外伸展或拉动所述伸缩机构(301)向内收缩。
45.根据权利要求44所述的物料存储装置，其特征在于，所述变形驱动机构与所述导向传输杆(502)之间采用齿轮啮合驱动，活动传输杆(501)的第二端与导向传输杆(502)之间采用螺纹活动连接；变形驱动机构通过齿轮驱动导向传输杆(502)沿中心轴转动，导向传输杆(502)上转动的螺纹导致活动传输杆(501)的第二端沿所述导向传输杆(502)移动。
46.根据权利要求45所述的物料存储装置，其特征在于，所述活动传输杆(501)的第二端上设置有螺纹组件(504)，螺纹组件(504)固定于所述导向传输杆(502)上，且螺纹组件(504)的螺纹与导向传输杆(502)的螺纹配合连接。
47.根据权利要求46所述的物料存储装置，其特征在于，所述自动升降平移机构(03)与所述固定支撑体(02)之间通过相互嵌套的导轨(401)和滑动块(402)实现升降运动。
48.根据权利要求47所述的物料存储装置，其特征在于，所述升降机构包括设置于所述固定支撑体(02)上的导轨(401)，以及与导轨(401)相配合的滑动块(402)，滑动块(402)与导轨(401)相互嵌套。
49.根据权利要求48所述的物料存储装置，其特征在于，所述物料存储装置(00)中具有多个第一存储容纳腔(Q1)，每个第一存储容纳腔(Q1)放置一个物料盒；所述可移动存储架(01)中也具有多个第二存储容纳腔(Q2)，每个第二存储容纳腔(Q2)放置一个物料盒；所述第二存储容纳腔(Q2)小于所述第一存储容纳腔(Q1)，相同数量的第一存储容纳腔(Q1)的体积大于相同数量的第二存储容纳腔(Q2)的体积，使得物料存储装置(00)中容纳所述可移动存储架(01)的空间尺寸大于所述可移动存储架(01)的空间尺寸。
50.根据权利要求49所述的物料存储装置，其特征在于，所述物料存储装置(00)中具有多个第一存储容纳腔(Q1)，每个第一存储容纳腔(Q1)放置一个物料盒；所述物料存储装置(00)还包括多个用于向工艺腔传输或接收工艺设备传输来的物料盒的第三存储容纳腔(Q3)；每个所述第三存储容纳腔(Q3)的体积大于第一存储容纳腔(Q1)的体积。
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