CN109188783A - 一种转印装置及转印液转印方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种转印装置及转印液转印方法。该转印装置,包括滴液组件、转印版、承载基台、机械手和柔性形变版;其中,所述滴液组件用于向所述转印版上涂布转印液;所述承载基台用于承载柔性形变版;所述转印版用于将转印液转印至所述承载基台上的柔性形变版表面;所述柔性形变版与柱透镜视差分离元件贴合后,与所述柱透镜视差分离元件具有相同的表面起伏结构;所述机械手用于将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与所述柱透镜视差分离元件贴合压印,实现转印液的转印。本发明实施例的技术方案中,利用柔性形变版易变性的特点,实现压印过程中柔性形变版与柱透镜视差分离元件表面的具有相同的起伏结构,从而确保配向膜的厚度均匀。
Description
技术领域
本发明实施例涉及显示技术领域,尤其涉及一种转印装置及转印液转印方法。
背景技术
目前,液晶显示器已经应用到了各行各业,为生产生活带来了巨大的便利。液晶显示技术中,配向膜为液晶材料提供预倾角,进而实现液晶显示效果,因此配向膜的涂覆质量,对显示效果具有十分重要的影响。
无论是平板液晶显示还是3D显示,配向膜的涂覆主要通过转印版实现。而对于平板液晶显示,无论是薄膜晶体管(Thin film Transistor,TFT)玻璃基板还是彩色滤光片(Color Filter,CF)玻璃基板,其表面相对平坦,转印版将转印液转印到玻璃基板表面时,基本可以保证不同位置的膜厚一致。但对于3D技术而言,需要在玻璃基板上成型柱透镜阵列,由于其表面凹凸不平的结构,会出现配向膜转印后,膜厚不均匀的情况,固化后易脱落,进而影响显示效果。
发明内容
本发明提供一种转印装置及转印液转印方法,以实现提高柱透镜表面配向膜的均匀性。
第一方面,本发明实施例提供了一种转印装置,该转印装置包括滴液组件、转印版、承载基台、机械手和柔性形变版;
其中,所述滴液组件用于向所述转印版上涂布转印液;
所述承载基台用于承载柔性形变版;
所述转印版用于将转印液转印至所述承载基台上的柔性形变版表面;
所述柔性形变版与柱透镜视差分离元件贴合后,与所述柱透镜视差分离元件具有相同的表面起伏结构;
所述机械手用于将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与所述柱透镜视差分离元件贴合压印,以使转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上。
第二方面,本发明实施例还提供了一种转印液转印方法,由上述转印装置执行,所述转印液转印方法包括:
滴液组件向所述转印版上涂布转印液;
转印版将转印液转印至承载基台上的柔性形变版表面;
机械手将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与柱透镜视差分离元件贴合压印,以使转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上。
本发明通过提出一种基于柔性形变版的转印装置及转印液转印方法,解决了柱透镜视差分离元件表面配向膜涂覆不均匀的问题,提升了配向膜的转印质量,进而提升了液晶显示的效果。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的转印装置的结构示意图;
图2为本发明实施例一提供的固定结构的示意图;
图3为本发明实施例二所提供的固定结构的俯视图;
图4为本发明实施例二所提供的固定结构的主视图;
图5为本发明实施例三提供的固定结构的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
图1为本发明实施例提供的一种转印装置的结构示意图,该转印装置包括滴液组件101、转印版102、承载基台103、机械手104和柔性形变版105;
其中,滴液组件101用于向转印版102上涂布转印液;
承载基台103用于承载柔性形变版105;
转印版102用于将转印液转印至承载基台103上的柔性形变版105表面;
柔性形变版105与柱透镜视差分离元件106贴合后,与柱透镜视差分离元件106具有相同的表面起伏结构;
机械手104用于将转印有转印液的柔性形变版105的表面与柱透镜视差分离元件106贴合压印,以使转印有转印液的柔性形变版105将转印液转印至柱透镜视差分离元件106上。
本发明实施例与传统的转印装置相比,引入了柔性形变版将转印液转印到柱透镜视差分离元件表面,使得柱透镜视差分离元件表面的配向膜膜厚更加均匀,提高了转印质量。对于平板液晶显示,传统的转印液转印装置,直接采用转印版将转印液转印到玻璃基板的方式,基本可以实现配向膜厚度一致,对于柱透镜视差分离元件,由于其表面起伏不平的构造特点,若采用传统的转印装置极易造成柱透镜视差分离元件谷峰和谷底配向膜厚的不均匀,影响柱透镜视差分离元件的分光效果,显示效果变差。本发明实施例采用易变形的柔性形变版,压印过程中柔性形变版随着柱透镜视差分离元件表面的形状发生形变,实现柔性形变版和柱透镜视差分离元件的紧密贴合,从而实现了确保了配向膜的厚度一致。
本发明实施例还提供一种转印液转印方法,可以采用图1所示的转印装置执行,该转印方法包括:
S110、滴液组件101向转印版102上涂布转印液。
S120、转印版102将转印液转印至承载基台103上的柔性形变版105表面。
S130、机械手104将转印有转印液的柔性形变版105的表面与柱透镜视差分离元件106贴合压印,以使转印有转印液的柔性形变版105将转印液转印至柱透镜视差分离元件106上。
本发明实施例在柔性形变版表面吸附转印液后,利用机械手将柔性形变版印压在柱透镜视差分离元件表面,印压的过程中,由于柔性形变版容易变形的特点,实现了柔性形变版表面与柱透镜视差分离元件表面形状完全贴合,包括最难印刷到位的柱透镜谷底处,这样就保证了柱透镜视差分离元件表面所有的位置都印刷了转印液,且保证了各处的转印液转印量基本一致,保证最终成膜后的膜厚的均一性。此外,针对不同棱镜排列方式的柱透镜视差分离元件,只需要使用一张柔性形变版,因为柔性形变版的可塑性很强,可以根据柱透镜视差分离元件的棱镜排列方式发生对应的变化。当是棱镜排列方式为斜排时,柔性形变版与该柱透镜视差分离元件接触后,压印出的是与斜排柱透镜视差分离元件表面相反的结构,也是斜排排布。同样,当棱镜排列方式是竖排时,柔性形变版与该柱透镜视差分离元件接触后,压印出的是与竖排柱透镜视差分离元件表面相反的结构,也是竖排排布。因此可保证在每一种柱透镜视差分离元件的棱镜排列方式下,柔性形变版的表面都可以与柱透镜视差分离元件表面实现完全接触压印,保证配向膜厚度更加均一。
可选的,柔性形变版105采用高分子材料,柔性形变版要求材料具有良好的柔韧性和形变恢复性,金属、陶瓷等常规材料无法满足我们对柔性形变版的性能要求,因此选择高分子材料来制作柔性形变版。高分子材料可选择的种类很多。例如聚氨酯类材料、丙烯酸酯类及环氧树脂类材料。
柔性形变版105待转印转印液的一侧表面设置有多个凹陷结构,凹陷结构用于储存所述转印版转印的转印液。
可选的,上述凹陷结构的面积可以占整个柔性形变版面积的10%-40%,这一比例是由柱透镜视差分离元件阵列的的尺寸决定的,比例越大,载液量越大,适合较大尺寸的柱透镜视差分离元件阵列使用,比例越小,载液量越少,适合尺寸较小的柱透镜视差分离元件阵列使用。10%-40%的数值范围基本符合不同尺寸的柱透镜视差分离元件阵列需求。
凹陷结构的尺寸范围为1-15um,凹陷结构利用毛细管效应将转印液储存在的凹陷处,转印液较好的附着在柔性形变版上,若凹陷结构尺寸过大,会导致转印液的附着力降低,在柔性形变版表面分布不均匀,从而导致转印后配向膜的厚度不一致。
凹陷结构包括微孔结构、蜂窝型凹陷结构或波浪型结构,还可以是其他粗糙无规则的形状。
可选的,机械手104可360°空间旋转,方便柔性形变版与柱透镜视差分离元件完成对位并压印。
可选的,本发明实施例提供的转印装置还包括:固定结构110。
图2为本发明实施例提供的固定结构的示意图,该固定结构110包括平台201、第一支撑柱202、和第二支撑柱203;
第一支撑柱202和第二支撑柱203相对且平行设置;平台201两端分别连接第一支撑柱202和第二支撑柱203,且平台201垂直于第一支撑柱202以及第二支撑柱203;
柔性形变版105平行于平台201,且柔性形变版105的边缘通过滑块205分别与第一支撑柱202和所述第二支撑柱203活动连接;所述柔性形变版105待转印转印液的一侧表面背离所述平台201设置。
可选的,本发明实施例提供的转印方法中,步骤S130还可以包括:
S131、机械手104夹持固定结构,将转印有转印液的柔性形变版105的表面与柱透镜视差分离元件106对位。
S132、机械手104将固定结构110与柱透镜视差分离元件106按压,固定结构110中的滑块205朝向平台201移动,直至转印有转印液的柔性形变版105朝向平台201的一侧表面与平台201贴合按压,以使转印有转印液的柔性形变版105将转印液转印至柱透镜视差分离元件106上。
本发明实施例提供的固定结构采用支撑柱、滑块及平台结构,在转印版向柔性形变版转印及柔性形变版向柱透镜视差分离元件表面压印过程中,有效固定了柔性形变版的位置,防止错位情况的发生。同时也为机械手抓取柔性形变版提供了便利。
可选的,在步骤S132之后,还包括:
S140、机械手将所述柔性形变版与所述柱透镜视差分离元件剥离。
S150、所述机械手将所述固定结构中的所述柔性形变版与所述承载基台对位按压,所述固定结构中的所述滑块朝向所述平台移动,直至转印有转印液的所述柔性形变版朝向所述平台的一侧表面与所述平台贴合按压,以使所述柔性形变版背离所述平台的一侧恢复平面形状。
本发明实施例适用于压印过程中仅柔性形变版凹陷一侧发生形变的情况。通过将形变后的柔性形变版与承载基台对位,利用固定结构的平台按压形变后的柔性形变版,使发生形变的柔性形变版凹陷一侧恢复平面形状,实现了柔性形变版的重复利用,降低成本。
可选的,本发明实施例提供的转印装置还包括:固定结构210;
图3、图4分别本发明实施例所提供的固定结构的俯视图和主视图,该固定结构210包括开口腔体301;
柔性形变版105位于开口腔体301内,且平行于开口腔体301的开口正对的腔体壁;柔性形变版105的边缘通过密封圈(图中未示出)与开口腔体301的腔体壁密封,以形成封闭腔;柔性形变版105沿开口腔体301的腔体壁上下运动;柔性形变版105待转印转印液的一侧表面背离开口腔体301的开口正对的腔体壁;
柔性形变版105的边缘通过滑块302与开口腔体301的腔体壁活动连接,滑块302与密封圈例如可以采用螺钉(图中未示出)连接;
可选的,本发明实施例提供的转印方法中,步骤S130还可以包括:
S133、机械手104夹持固定结构210,将转印有转印液的柔性形变版105的表面与柱透镜视差分离元件106对位;
S134、机械手104将固定结构210与柔性形变版105按压,固定结构210中的滑块302带动柔性形变版105朝向所述开口腔体301的开口正对的腔体壁移动,直至柔性形变版105与开口腔体301形成的封闭腔中的气压将转印有转印液的柔性形变版105将转印液转印至柱透镜视差分离元件106上。
可选的,在步骤S134之后,还包括:
S160、机械手104将柔性形变版105与柱透镜视差分离元件106剥离;
S170、机械手104将固定结构210中的柔性形变版105与承载基台103对位按压,固定结构210中的滑块302朝向平台移动,直至柔性形变版105与开口腔体301形成的封闭腔中的气压使柔性形变版恢复平面形状。
本发明实施例提供的固定结构,采用开口腔体、柔性形变版和密封圈组成的封闭腔体,通过封闭腔体内气压挤压柔性形变版,使柔性形变版具有与柱透镜视差分离元件相同的表面起伏结构,实现配向膜的均匀涂布。变形后的柔性形变版与承载基台对位按压,同样利用封闭腔内的气压使柔性形变版恢复平面形状,实现循环利用,节省了生产成本。
可选的,本发明实施例提供的转印装置还包括:固定结构310;
图5为本发明实施例三提供的固定结构的示意图,该固定结构310包括开口腔体401;开口腔体401设置有进气口402和出气口403;
柔性形变版105覆盖开口腔体401的开口,柔性形变版105的边缘设置有密封圈404,柔性形变版105的边缘通过固定螺钉406与开口腔体401的开口侧壁固定,以形成密封腔;柔性形变版105待转印转印液的一侧表面背离开口腔体的开口正对的腔体壁。
可选的,本发明实施例提供的转印方法中,步骤S130还可以包括:
S135、机械手104夹持固定结构210,将转印有转印液的柔性形变版105的表面与柱透镜视差分离元件106对位;
S136、机械手104将固定结构210与柔性形变版105按压,固定结构210中的滑块203带动柔性形变版105朝向所述开口腔体301的开口正对的腔体壁移动,直至柔性形变版105与开口腔体301形成的封闭腔中的气压将转印有转印液的柔性形变版105将转印液转印至柱透镜视差分离元件106上。
可选的,在步骤S136之后,还包括:
S180、机械手104将柔性形变版105与柱透镜视差分离元件106剥离;
S190、通过进气口402所述密封腔通气,密封腔中的气压将柔性形变版105背离恢复平面形状。
本发明实施例提供的固定结构,也采用封闭腔体,但封闭腔体内壁上分别开有进气口和出气口,通过充气和放气实现封闭腔体内气压的调节。充气时,封闭腔体内的气压增大,挤压柔性形变版与柱透镜视差分离元件表面实现紧密贴合,从而使各处配向膜的厚度达到一致,提升了配向膜的转印质量。将变形后的柔性形变版与柱透镜视差分离元件剥离后,向封闭腔内充气,使变形后的柔性形变版恢复平面形状,实现柔性形变版的可重复利用。
注意,上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解,本发明不限于这里所述的特定实施例,对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此,虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明,但是本发明不仅仅限于以上实施例,在不脱离本发明构思的情况下,还可以包括更多其他等效实施例,而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (20)
1.一种转印装置,其特征在于,包括:
滴液组件、转印版、承载基台、机械手和柔性形变版;
其中,所述滴液组件用于向所述转印版上涂布转印液;
所述承载基台用于承载柔性形变版;
所述转印版用于将转印液转印至所述承载基台上的柔性形变版表面;
所述柔性形变版与柱透镜视差分离元件贴合后,与所述柱透镜视差分离元件具有相同的表面起伏结构;
所述机械手用于将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与所述柱透镜视差分离元件贴合压印,以使转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上。
2.根据权利要求1所述转印装置,其特征在于,还包括:固定结构;
所述固定结构包括第一支撑柱、第二支撑柱和平台,
所述第一支撑柱和所述第二支撑柱相对且平行设置;所述平台两端分别连接所述第一支撑柱和所述第二支撑柱,且所述平台垂直于所述第一支撑柱以及所述第二支撑柱;
所述柔性形变版平行于所述平台,且所述柔性形变版的边缘通过滑块分别与所述第一支撑柱和所述第二支撑柱活动连接;所述柔性形变版待转印转印液的一侧表面背离所述平台设置。
3.根据权利要求1所述转印装置,其特征在于,还包括:固定结构;所述固定结构包括开口腔体;
所述柔性形变版位于所述开口腔体内,且平行于所述开口腔体的开口正对的腔体壁;所述柔性形变版的边缘通过密封圈与所述开口腔体的腔体壁密封,以形成封闭腔;所述柔性形变版沿开口腔体的腔体壁上下运动;所述柔性形变版待转印转印液的一侧表面背离所述开口腔体的开口正对的腔体壁。
4.根据权利要求3所述转印装置,其特征在于,所述柔性形变版的边缘通过滑块与所述开口腔体的腔体壁活动连接。
5.根据权利要求1所述转印装置,其特征在于,还包括:固定结构;所述固定结构包括开口腔体;所述开口腔体设置有进气口和出气口;
所述柔性形变版覆盖所述开口腔体的开口,所述柔性形变版的边缘设置有密封圈,所述柔性形变版的边缘通过固定螺钉与所述开口腔体的开口侧壁固定,以形成密封腔;所述述柔性形变版待转印转印液的一侧表面背离所述开口腔体的开口正对的腔体壁。
6.根据权利要求1所述转印装置,其特征在于,所述柔性形变版包括高分子材料。
7.根据权利要求1所述转印装置,其特征在于,所述柔性形变版待转印转印液的一侧表面设置有多个凹陷结构,所述凹陷结构用于储存所述转印版转印的转印液。
8.根据权利要求7所述转印装置,其特征在于,所述凹陷结构的面积占整个柔性形变版面积的10%-40%。
9.根据权利要求7所述转印装置,其特征在于,所述凹陷结构的尺寸范围为1-15um。
10.根据权利要求7所述转印装置,其特征在于,所述凹陷结构包括微孔结构、蜂窝型凹陷结构或波浪型结构。
11.根据权利要求1所述转印装置,其特征在于,所述机械手可360°空间旋转。
12.一种转印液转印方法,其特征在于,由权利要求1-11中任一项所述转印装置执行,所述转印液转印方法包括:
滴液组件向所述转印版上涂布转印液;
转印版将转印液转印至承载基台上的柔性形变版表面;
机械手将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与柱透镜视差分离元件贴合压印,以使转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上。
13.根据权利要求12所述转印液转印方法,其特征在于,所述转印装置还包括固定结构,所述固定结构包括第一支撑柱、第二支撑柱和平台;所述第一支撑柱和所述第二支撑柱相对且平行设置;所述平台两端分别连接所述第一支撑柱和所述第二支撑柱,且所述平台垂直于所述第一支撑柱以及所述第二支撑柱;所述柔性形变版平行于所述平台,且所述柔性形变版两端分别通过滑块与所述第一支撑柱和所述第二支撑柱活动连接;所述柔性形变版待转印转印液的一侧表面背离所述平台设置;
所述机械手将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与柱透镜视差分离元件贴合压印,以使转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上,包括:
所述机械手夹持所述固定结构,将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与柱透镜视差分离元件对位;
所述机械手将所述固定结构与所述柱透镜视差分离元件按压,所述固定结构中的所述滑块朝向所述平台移动,直至转印有转印液的所述柔性形变版朝向所述平台的一侧表面与所述平台贴合按压,以使转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上。
14.根据权利要求13所述转印液转印方法,其特征在于,在所述机械手将所述固定结构与所述柱透镜视差分离元件按压,所述固定结构中的所述滑块朝向所述平台移动,直至转印有转印液的所述柔性形变版朝向所述平台的一侧表面与所述平台贴合按压,以使转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上之后,还包括:
机械手将所述柔性形变版与所述柱透镜视差分离元件剥离;
所述机械手将所述固定结构中的所述柔性形变版与所述承载基台对位按压,所述固定结构中的所述滑块朝向所述平台移动,直至转印有转印液的所述柔性形变版朝向所述平台的一侧表面与所述平台贴合按压,以使所述柔性形变版背离所述平台的一侧恢复平面形状。
15.根据权利要求12所述转印液转印方法,其特征在于,所述转印装置还包括固定结构;所述固定结构包括开口腔体;所述柔性形变版位于所述开口腔体内,且平行于所述开口腔体的开口正对的腔体壁;所述柔性形变版的边缘通过密封圈与所述开口腔体的腔体壁密封,以形成封闭腔;所述柔性形变版沿开口腔体的腔体壁上下运动;所述柔性形变版待转印转印液的一侧表面背离所述开口腔体的开口正对的腔体壁;
所述机械手将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与柱透镜视差分离元件贴合压印,以使转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上,包括:
所述机械手夹持所述固定结构,将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与柱透镜视差分离元件对位;
所述机械手将所述固定结构与所述柔性形变版按压,所述柔性形变版朝向所述开口腔体的开口正对的腔体壁移动,直至所述柔性形变版与所述开口腔体形成的封闭腔中的气压将转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上。
16.根据权利要求15所述转印液转印方法,其特征在于,在所述机械手将所述固定结构与所述柔性形变版按压,所述柔性形变版朝向所述开口腔体的开口正对的腔体壁移动,直至所述柔性形变版与所述开口腔体形成的封闭腔中的气压将转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上之后,还包括:
所述机械手将所述柔性形变版与所述柱透镜视差分离元件剥离;
所述机械手将所述固定结构中的所述柔性形变版与所述承载基台对位按压,所述柔性形变版朝向所述开口腔体的开口正对的腔体壁移动,直至所述柔性形变版与所述开口腔体形成的封闭腔中的气压将所述柔性形变版恢复平面形状。
17.根据权利要求15所述转印液转印方法,其特征在于,所述柔性形变版的边缘通过滑块与所述开口腔体的腔体壁活动连接,滑块与密封圈采用螺钉连接;
所述机械手将所述固定结构与所述柔性形变版按压,所述柔性形变版朝向所述开口腔体的开口正对的腔体壁移动,直至所述柔性形变版与所述开口腔体形成的封闭腔中的气压将转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上,包括:
所述机械手将所述固定结构与所述柔性形变版按压,所述固定结构中的所述滑块带动所述柔性形变版朝向所述开口腔体的开口正对的腔体壁移动,直至所述柔性形变版与所述开口腔体形成的封闭腔中的气压将转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上。
18.根据权利要求17所述转印液转印方法,其特征在于,在所述机械手将所述固定结构与所述柔性形变版按压,所述固定结构中的所述滑块带动所述柔性形变版朝向所述开口腔体的开口正对的腔体壁移动,直至所述柔性形变版与所述开口腔体形成的封闭腔中的气压将转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上之后,还包括:
机械手将所述柔性形变版与所述柱透镜视差分离元件剥离;
所述机械手将所述固定结构中的所述柔性形变版与所述承载基台对位按压,所述固定结构中的滑块带动所述柔性形变版朝向所述开口腔体的开口正对的腔体壁移动,直至所述柔性形变版与所述开口腔体形成的封闭腔中的气压将所述柔性形变版恢复平面形状。
19.根据权利要求12所述转印液转印方法,其特征在于,所述转印装置还包括固定结构;所述固定结构包括开口腔体;所述开口腔体设置有进气口和出气口;
所述柔性形变版覆盖所述开口腔体的开口,所述柔性形变版的边缘设置有密封圈,所述柔性形变版的边缘通过固定螺钉与所述开口腔体的开口侧壁固定,以形成密封腔;所述述柔性形变版待转印转印液的一侧表面背离所述开口腔体的开口正对的腔体壁;
所述机械手将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与柱透镜视差分离元件贴合压印,以使转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上,包括:
所述机械手夹持所述固定结构,将转印有转印液的所述柔性形变版的表面与柱透镜视差分离元件对位;
通过进气口向所述密封腔中通气,所述密封腔中的气压将转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上。
20.根据权利要求19所述转印液转印方法,其特征在于,在通过进气口向所述密封腔中通气,所述密封腔中的气压将转印有转印液的所述柔性形变版将转印液转印至所述柱透镜视差分离元件上之后,还包括:
机械手将所述柔性形变版与所述柱透镜视差分离元件剥离;
通过进气口所述密封腔通气,所述密封腔中的气压将所述柔性形变版恢复平面形状。
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- 2018-10-09 CN CN201811172928.2A patent/CN109188783B/zh active Active
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