CN109182968A - 附着物回收方法及装置、真空成膜系统 - Google Patents

Abstract

本发明是关于一种附着物回收方法及装置、真空成膜系统，属于设备余料回收技术领域，该附着物回收装置包括：回收腔体和连通件，回收腔体设置有开口；回收腔体的开口通过连通件与待清理装置的开口连通，回收腔体和待清理装置形成密闭空间，该附着物回收装置用于对待清理装置中的附着物进行加热，使得附着物转换为液体并流入回收腔体内，解决了相关技术中采用人工方式回收附着物时使真空成膜装置产生破损，而且回收的附着物的污染度较高的问题，可以起到保护待清理装置的作用，且降低了回收的附着物的污染度，本发明用于回收待清理装置中的附着物。

Description

附着物回收方法及装置、真空成膜系统

技术领域

本发明涉及设备余料回收技术领域，特别涉及一种附着物回收方法及装置、真空成膜系统。

背景技术

近年来，有大量产品或设备需要镀膜技术来实现，其包括太阳能电池、液晶板的平板显示板、半导体装置和存储器等。上述产品和设备可通过使用溅射法、真空蒸镀法、离子喷镀法等真空成膜法的真空成膜装置制备，成膜材料中使用稀有金属的情况也很多。采用稀有金属，特别是铟或钽等稀有金属作为成膜材料使用存在其资源枯竭的问题。为了缓解上述问题，正在寻找能够控制在现有的生产阶段和使用阶段的废弃量的、回收并循环上述稀有金属的处理技术的确定和具体的对策。

通常，采用上述真空成膜法，在形成薄膜的基板之外的地方，例如基板之外的真空容器内会厚厚地附着着成膜材料的附着物。由于这些真空成膜装置被反复使用，因此，附着在真空成膜装置上的附着物会变多，并且由于一些金属会对真空成膜装置产生腐蚀作用，从而会破坏真空成膜装置。相关技术中，为了保护真空成膜装置，并回收真空成膜装置上的附着物，常常是采用人工方式回收附着物，然而采用人工方式回收附着物时会使真空成膜装置产生破损，而且回收的附着物的污染度较高。

发明内容

本发明实施例提供了一种附着物回收方法及装置、真空成膜系统，可以解决相关技术中采用人工方式回收附着物时使真空成膜装置产生破损，而且回收的附着物的污染度较高的问题。所述技术方案如下：

根据本发明实施例的第一方面，提供一种附着物回收装置，包括：回收腔体和连通件，所述回收腔体设置有开口；

所述回收腔体的开口通过所述连通件与待清理装置的开口连通，所述回收腔体和所述待清理装置形成密闭空间。

可选的，所述连通件包括第一法兰接口、第二法兰接口以及连接部，所述第一法兰接口和所述第二法兰接口的直径不同，所述第一法兰接口与所述回收腔体的开口连接，所述第二法兰接口用于与所述待清理装置的开口连接，所述第一法兰接口和所述第二法兰接口通过所述连接部连接，所述连接部设置有中中心通孔。

可选的，所述附着物回收装置还包括导流部，所述导流部包括连接端和导流条，

所述连接端围绕所述中心通孔设置；

所述导流条向所述回收腔体内延伸。

可选的，所述导流部的数量大于或等于2。

可选的，多个所述导流部围绕所述连接部的所述中心通孔对称设置。

可选的，所述回收腔体的内部为锥形结构，所述锥形结构的开口的面积大于底面的面积。

可选的，所述回收腔体的腔体壁上设置有真空设备接口，所述真空设备接口用于连接真空设备。

可选的，所述回收腔体还包括冷却部，用于冷却所述回收腔体。

根据本发明实施例的第二方面，提供一种真空成膜系统，包括真空成膜装置和根据第一方面所述的附着物回收装置，

所述附着物回收装置的回收腔体的开口通过连通件与所述真空成膜装置的盛放腔体的开口连通。

根据本发明实施例的第三方面，提供一种附着物回收方法，所述方法包括：

将附着物回收装置的回收腔体的开口通过连通件与待清理装置的开口连通，所述回收腔体和所述待清理装置形成密闭空间；

对所述回收腔体和所述待清理装置形成的密闭空间进行抽真空；

对所述待清理装置中的附着物进行加热，使所述附着物转换为液体并流入所述回收腔体内；

对所述回收腔体冷却，使回收的所述附着物凝固。

本发明实施例提供的技术方案至少包括以下有益效果：

回收腔体的开口通过连通件与待清理装置的开口连通，回收腔体和待清理装置形成密闭空间，该附着物回收装置用于对待清理装置中的附着物进行加热，能够使附着物转换为液体并流入回收腔体内，相较于相关技术中的人工方式，可以起到保护待清理装置的作用，且降低了回收的附着物的污染度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施例，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是相关技术中一种熔融设备的结构示意图；

图2是本发明实施例提供的一种附着物回收装置的结构示意图；

图3是本发明实施例提供的另一种附着物回收装置的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的连通件和导流部的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的一种回收腔体的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的一种真空成膜系统的结构示意图；

图7是本发明实施例提供的一种附着物回收方法的流程图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

通常，采用真空成膜法，在形成薄膜的基板之外的地方，例如基板之外的真空容器内会厚厚地附着着成膜材料的附着物。由于这些真空成膜装置被反复使用，因此，附着在真空成膜装置上的附着物会变多，并且由于一些金属会对真空成膜装置产生腐蚀作用，从而会破坏真空成膜装置。例如，采用真空蒸镀法可以将成膜材料加热至熔融状态，成膜材料在熔融状态下产生的蒸气经真空室转移到基板表面凝结成薄膜。示例的，在太阳能电池的制备过程中，需要采用真空蒸镀法形成薄膜，比如形成铜铟镓硒化合物半导体薄膜，以作为太阳能电池的吸收层，该过程通常要用到熔融设备，该熔融设备如图1所示，主要包括盛放腔体11、坩埚12和加热部13，坩埚12和加热部13设置在盛放腔体11内。其中，坩埚12盛放成膜材料14，加热部13对坩埚12进行加热，使坩埚12中的成膜材料14融化至熔融状态并产生蒸气，蒸汽从盛放腔体11的开口喷出，到达基板表面，并附着在基板(图1中未画出)表面。而加热部13会厚厚地附着着成膜材料的附着物，由于熔融设备被反复使用，附着在加热部13上的附着物会变多，并且由于成膜材料中的硒元素会对熔融设备产生腐蚀作用，从而会破坏熔融设备。

相关技术中，为了保护真空成膜装置，并回收真空成膜装置上的附着物，常常是采用人工方式回收附着物，然而采用人工方式回收附着物时会使真空成膜装置产生破损，而且回收的附着物的污染度较高。

而本发明实施例提供的附着物回收装置用于对待清理装置中的附着物进行加热，使得附着物转换为液体并流入回收腔体内，可以起到保护真空成膜装置的作用，且降低了回收的附着物的污染度。

图2是本发明实施例提供的一种附着物回收装置20的结构示意图，该附着物回收装置20包括：回收腔体21和连通件22，回收腔体21设置有开口213；回收腔体21的开口213通过连通件22与待清理装置30的开口301连通，回收腔体21和待清理装置30形成密闭空间。

该附着物回收装置20用于对待清理装置30中的附着物31进行加热，使得附着物31转换为液体并流入回收腔体21内。

综上所述，本发明实施例提供的附着物回收装置，回收腔体的开口通过连通件与待清理装置的开口连通，回收腔体和待清理装置形成密闭空间，该附着物回收装置用于对待清理装置中的附着物进行加热，能够使附着物转换为液体并流入回收腔体内，相较于相关技术中的人工方式，可以起到保护待清理装置的作用，且降低了回收的附着物的污染度。

图3是本发明实施例在图2的基础上提供的另一种附着物回收装置的结构示意图，该附着物回收装置包括：回收腔体21，连通件22和导流部23。

其中，回收腔体21设置有开口；回收腔体21的开口通过连通件22与待清理装置30的开口连通，回收腔体21和待清理装置30形成密闭空间。

该附着物回收装置用于对待清理装置30中的附着物31进行加热，使得附着物31转换为液体并流入回收腔体21内。

示例的，当待清理装置30设置有加热部时，本发明实施例提供的附着物回收装置可以通过待清理装置30的加热部对待清理装置30中的附着物31进行加热，这样一来，充分利用了待清理装置30已有的加热部，可以简化附着物回收装置的结构，降低附着物回收装置的制造成本。当待清理装置30未设置加热部时，本发明实施例提供的附着物回收装置可以包括加热部，该加热部可以设置在回收腔体21内，附着物回收装置通过该加热部对待清理装置30中的附着物31进行加热。示例的，该加热部可以包括加热丝，加热丝可以设置在回收腔体21的开口处。

可选的，如图4所示，连通件可以过渡法兰组建，包括第一法兰接口221、第二法兰接口222以及设置在第一法兰接口221与第二法兰接口222之间的连接部223，第一法兰接口221和第二法兰接口222的直径不同，第一法兰接口221与回收腔体的开口连接，第二法兰接口222用于与待清理装置的开口连接。第一法兰接口221和第二法兰接口222通过连接部223连接，该连接部223设置有中心通孔224。

其中，第一法兰接口与回收腔体的开口可以通过卡钳螺钉连接，第二法兰接口与待清理装置的开口可以通过卡钳螺钉连接。

如图4所示，导流部23包括连接端231和导流条232，连接端231围绕所述中心通孔设置；导流条232向回收腔体内延伸。导流部用于将附着物回收装置对附着物进行加热所产生的液体导流至回收腔体中，以提高附着物回收效率。

可选的，导流部23的数量大于或等于2。图3和图4示出的附着物回收装置均以2个导流部为例进行说明。

可选的，如图4所示，多个导流部23围绕连接部223的中心通孔224的中心对称设置，并向回收腔体内延伸，这样一来，可以进一步提高附着物回收效率。

可选的，如图3所示，回收腔体21的腔体壁上设置有真空设备接口211，该真空设备接口211用于连接真空设备40。真空设备40用于对回收腔体21和待清理装置30形成的密闭空间进行抽真空。真空设备可以使回收腔体和待清理装置形成的密闭空间始终处于真空状态，进一步降低回收的附着物的污染度，同时可以避免待清理装置内的各部件产生破损。示例的，真空设备包括真空泵，真空泵通过波纹管道与真空设备接口连接。

可选的，如图3所示，真空设备接口211的中心与回收腔体21的底部之间的距离d大于或等于60毫米。真空设备接口的中心与回收腔体的底部之间的距离较大，可以避免真空设备接口被回收的附着物堵住。

可选的，如图3所示，回收腔体21还包括冷却部212，用于冷却回收腔体21。在本发明实施例中，附着物回收装置对待清理装置中的附着物进行加热，使得附着物转换为液体并流入回收腔体内，冷却部再对回收腔体冷却，使回收的附着物凝固，便于对回收的附着物进行存储，方便下次使用。示例的，冷却部可以采用水冷的方式冷却回收腔体。

可选的，如图5所示，回收腔体21的内部为锥形结构，该锥形结构的开口的面积大于底面的面积。回收腔体的内部为锥形结构，便于快速取出凝固后的附着物。图5中回收腔体21的腔体壁上设置有真空设备接口211。

参见图3，在使用本发明实施例提供的附着物回收装置回收待清理装置中的附着物时，可以先将附着物回收装置的回收腔体21的开口通过连通件22与待清理装置30的开口连通，回收腔体21和待清理装置30形成密闭空间；再对回收腔体21和待清理装置30形成的密闭空间进行抽真空；然后对待清理装置30中的附着物31进行加热，使附着物31转换为液体并流入回收腔体21内；之后，对回收腔体21冷却，使回收的附着物凝固。其中，对待清理装置中的附着物进行加热时可以采用预设加热温度和预设加热时长进行加热，对回收腔体冷却时可以采用预设冷却温度和预设冷却时长进行冷却。

可选的，预设加热温度可以为250～320摄氏度，预设加热时长可以为6～8小时。比如预设加热温度为300摄氏度，预设加热时长为6小时。

可选的，预设冷却温度可以小于或等于20摄氏度，预设冷却时长可以大于或等于5小时。比如预设冷却温度为20摄氏度，预设冷却时长为5小时。

可选的，本发明实施例提供的附着物回收装置还可以包括显示模块，该显示模块用于显示该附着物回收装置对待清理装置中的附着物进行加热时所采用的预设加热温度和预设加热时长，以及冷却部冷却回收腔体时所采用的预设冷却温度和预设冷却时长，用户通过该显示模块可以直观得到预设温度(包括预设加热温度和预设冷却温度)和预设时长(包括预设加热时长和预设冷却时长)的数据。示例的，该显示模块可以为发光二极管(Light-Emitting Diode，LED)显示面板。

可选的，显示模块还可以用于显示对待清理装置中的附着物进行加热已使用的时长，以及对回收腔体冷却已使用的时长，便于用户及时了解回收进度。比如，当前时刻，附着物回收装置正在对待清理装置中的附着物进行加热，假设已加热2小时，那么显示模块还可以对这2小时进行显示。

可选的，本发明实施例提供的附着物回收装置还可以包括通讯模块，该通讯模块用于将预设加热温度、预设加热时长、预设冷却温度以及预设冷却时长的数据传输至目标移动终端，使得目标移动终端对预设温度和预设时长进行显示。该通讯模块还可以用于将加热或冷却已使用的时长的数据传输至目标移动终端，使得目标移动终端对已使用的时长进行显示，便于持有该目标移动终端的用户及时了解处理进度。

可选的，本发明实施例提供的附着物回收装置可以包括处理模块，该处理模块分别与加热部和冷却部电连接，当该处理模块接收到回收指令时，处理模块指示加热部采用预设加热温度和预设加热时长对待清理装置中的附着物进行加热，使附着物转换为液体并流入回收腔体内；之后，处理模块指示冷却部采用预设冷却温度和预设冷却时长对回收腔体冷却，使回收的附着物凝固。示例的，处理模块为处理器。

其中，处理模块接收回收指令可以有多种方式，下面以以下两种方式为例进行说明。

第一种方式，附着物回收装置可以设置一回收按键，当用户按下该回收按键时，产生回收指令，处理模块接收由用户触发的回收指令。在该种方式中，通过用户的一键操作，附着物回收装置可以依次完成加热处理和冷却处理。

第二种方式，回收腔体内可以设置一光照传感器，该光照传感器用于检测回收腔体内的光照强度，并在光照强度小于预设值时，向处理模块发送回收指令，当回收腔体内的光照强度小于预设值时，表明回收腔体和待清理装置已形成密闭空间。处理模块接收到回收指令后经过预设时长(该预设时长为对回收腔体和待清理装置形成的密闭空间进行抽真空对应的时长)指示加热部采用预设加热温度和预设加热时长对待清理装置中的附着物进行加热，然后指示冷却部采用预设冷却温度和预设冷却时长对回收腔体冷却。在该种方式中，附着物回收装置可以在回收腔体和待清理装置形成密闭空间后自动完成加热处理和冷却。

综上所述，本发明实施例提供的附着物回收装置，回收腔体的开口通过连通件与待清理装置的开口连通，回收腔体和待清理装置形成密闭空间，该附着物回收装置用于对待清理装置中的附着物进行加热，能够使附着物转换为液体并流入回收腔体内，相较于相关技术中的人工方式，可以起到保护待清理装置的作用，且降低了回收的附着物的污染度。

本发明实施例还提供一种真空成膜系统，该真空成膜系统包括真空成膜装置和上述实施例所提供的附着物回收装置，该附着物回收装置可以为图2或图3所示的附着物回收装置。

附着物回收装置的回收腔体的开口通过连通件与真空成膜装置的盛放腔体的开口连通。

示例的，真空成膜装置可以为用于制备太阳能电池的熔融设备，该熔融设备如图1所示，主要包括盛放腔体11、坩埚12和加热部13，相应的，真空成膜系统可以如图6所示，附着物回收装置的回收腔体21的开口通过连通件22与熔融设备的盛放腔体11的开口连通，回收腔体21和盛放腔体11形成密闭空间。附着物回收装置能够对附着在加热部13上的附着物进行回收，所以加热部可以被重复使用，避免了加热部的使用功能受到影响，起到了保护熔融设备的作用，且降低了回收的附着物的污染度，附着物能够被再次利用。

可选的，本发明实施例提供的真空成膜系统可以设置在设备柜中，设备柜包括柜体和活动设置在柜体前端的前挡门，该前挡门的打开和闭合方式为推拉方式，该前挡门上设置有锁扣结构，前挡门通过锁扣结构与柜体相连接。设备柜对真空成膜系统起到保护作用。

可选的，为了降低设备柜的成本，设备柜的内壁可以采用镀锌钢板制成。

设备柜的侧壁可以设置有用于电源线穿过的通孔，真空成膜系统通过电源线与设备柜外部的电源电连接。

设备柜的侧壁还可以设置有用于真空管道(比如波纹管道)穿过的通孔，附着物回收装置的回收腔体的真空设备接口通过波纹管道与设备柜外部的真空设备连接。

设备柜的柜体的下端还可以沿柜体的高度方向设置至少一层支撑板，每层支撑板的板面与柜体的高度方向垂直，电源和真空设备可以设置在支撑板上。

图7是本发明实施例提供的一种附着物回收方法的流程图，该方法可以用于图2或图3所示的附着物回收装置，该附着物回收方法包括：

步骤701、将附着物回收装置的回收腔体的开口通过连通件与待清理装置的开口连通，回收腔体和待清理装置形成密闭空间。

步骤702、对回收腔体和待清理装置形成的密闭空间进行抽真空。

如图3所示，回收腔体21的腔体壁上设置有真空设备接口211，该真空设备接口211用于连接真空设备40。

在本步骤中，可以通过真空设备40对回收腔体21和待清理装置30形成的密闭空间进行抽真空。通过执行步骤702，可以使回收腔体21和待清理装置30形成的密闭空间始终处于真空状态，进一步降低回收的附着物的污染度，同时可以避免待清理装置内的各部件产生破损。

步骤703、对待清理装置中的附着物进行加热，使附着物转换为液体并流入回收腔体内。

当待清理装置设置有加热部时，可以通过待清理装置的加热部对待清理装置中的附着物进行加热。对待清理装置中的附着物进行加热时可以采用预设加热温度和预设加热时长进行加热。

可选的，预设加热温度可以为250～320摄氏度，预设加热时长可以为6～8小时。比如可以采用300摄氏度对待清理装置中的附着物持续加热6小时，使附着物转换为液体并流入回收腔体内。

步骤704、对回收腔体冷却，使回收的附着物凝固。

参见图3，可以通过回收腔体包括的冷却部对回收腔体冷却。对回收腔体冷却时可以采用预设冷却温度和预设冷却时长进行冷却。

可选的，预设冷却温度可以小于或等于20摄氏度，预设冷却时长可以大于或等于5小时。比如可以采用20摄氏度对回收腔体持续冷却5小时，使回收的附着物凝固，便于对回收的附着物进行存储，方便下次使用。

综上所述，本发明实施例提供的附着物回收方法，先将附着物回收装置的回收腔体的开口通过连通件与待清理装置的开口连通，回收腔体和待清理装置形成密闭空间，再对回收腔体和待清理装置形成的密闭空间进行抽真空，然后对待清理装置中的附着物进行加热，使附着物转换为液体并流入回收腔体内，之后，对回收腔体冷却，使回收的附着物凝固，相较于相关技术中的人工方式，可以起到保护待清理装置的作用，且降低了回收的附着物的污染度。

需要说明的是，本发明实施例提供的附着物回收方法的步骤的先后顺序可以进行适当调整，附着物回收方法的步骤也可以根据情况进行相应增减。任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化的方法，都应涵盖在本发明的保护范围之内，因此不再赘述。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的各步骤的具体工作过程，可以参考前述装置实施例中装置和部件的具体工作过程，在此不再赘述。

在本发明中，术语“第一”和“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“多个”指两个或两个以上，除非另有明确的限定。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种附着物回收装置，其特征在于，包括：回收腔体和连通件，所述回收腔体设置有开口；

所述回收腔体的开口通过所述连通件与待清理装置的开口连通，所述回收腔体和所述待清理装置形成密闭空间。

2.根据权利要求1所述的附着物回收装置，其特征在于，所述连通件包括第一法兰接口、第二法兰接口以及连接部，所述第一法兰接口与所述回收腔体的开口连接，所述第二法兰接口用于与所述待清理装置的开口连接，所述第一法兰接口和所述第二法兰接口通过所述连接部连接，所述连接部设置有中心通孔。

3.根据权利要求2所述的附着物回收装置，其特征在于，所述附着物回收装置还包括导流部，所述导流部包括连接端和导流条，

所述连接端围绕所述中心通孔设置；

所述导流条向所述回收腔体内延伸。

4.根据权利要求3所述的附着物回收装置，其特征在于，

所述导流部的数量大于或等于2。

5.根据权利要求4所述的附着物回收装置，其特征在于，

多个所述导流部围绕所述连接部的所述中心通孔对称设置。

6.根据权利要求1所述的附着物回收装置，其特征在于，

所述回收腔体的内部为锥形结构，所述锥形结构的开口的面积大于底面的面积。

7.根据权利要求1所述的附着物回收装置，其特征在于，

所述回收腔体的腔体壁上设置有真空设备接口，所述真空设备接口用于连接真空设备。

8.根据权利要求1所述的附着物回收装置，其特征在于，所述回收腔体还包括冷却部，用于冷却所述回收腔体。

9.一种真空成膜系统，其特征在于，包括真空成膜装置和根据权利要求1至8任一所述的附着物回收装置，

所述附着物回收装置的回收腔体的开口通过连通件与所述真空成膜装置的盛放腔体的开口连通。

10.一种附着物回收方法，其特征在于，所述方法包括：

将附着物回收装置的回收腔体的开口通过连通件与待清理装置的开口连通，所述回收腔体和所述待清理装置形成密闭空间；

对所述回收腔体和所述待清理装置形成的密闭空间进行抽真空；

对所述待清理装置中的附着物进行加热，使所述附着物转换为液体并流入所述回收腔体内；

对所述回收腔体冷却，使回收的所述附着物凝固。