CN109127584B - 膜异物干式去除装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及膜异物干式去除装置，该膜异物干式去除装置在以卷对卷方式制造光学膜等膜的设备中去除粘在膜的表面的异物，并且涉及在以喷射压缩空气的方式去除异物的同时噪音小、使膜的损伤最小化的膜异物去除装置。

Description

膜异物干式去除装置

技术领域

本发明涉及一种在以卷对卷方式制造光学膜等膜的设备中去除粘在膜的表面的异物的膜异物去除装置，涉及在以喷射压缩空气的方式去除异物的同时噪音小、使膜的损伤最小化的膜异物去除装置。

背景技术

近年来，随着社会进入一个全面的信息时代，用于处理及显示大量信息的显示器(display)领域得到了迅速发展，并且针对此开发了多种平板显示装置。

这种平板显示装置的具体示例包括液晶显示装置(Liquid Crystal Displaydevice，LCD)、等离子体显示装置(Plasma Display Panel device，PDP)、场致发射显示装置(Field Emission Display device，FED)、电致发光显示装置(ElectroluminescenceDisplay device，ELD)等，这些平板显示装置具有薄型化、轻量化、低功耗化的优秀的性能，并且正在迅速代替现有的阴极射线管(Cathode Ray Tube，CRT)。

另一方面，为了表现出高质量的显示，这种平板显示装置包括各种光学膜或柔性电路基板(Flexible Printed Circuit Board)等，光学膜包括多种光学膜，例如用于背光的膜组(扩散膜、棱镜片、增亮膜等)、用于偏光板的膜组(偏光膜、偏光片保护膜)、用于校正液晶面板和偏光板的相位差的相位差膜等。

而且，柔性电路基板可以为具有用于电连接液晶面板和外部驱动电路的多个配线的印刷电路基板(PCB)、柔性印刷电路(FPC)或柔性印刷电路等。

近年来，这种光学膜或柔性电路基板(以下，称为膜)通过使用薄型的长条带状以卷对卷(roll to roll)方式解绕及卷绕卷(roll)来制造，以便节省时间和成本，从而在膜的输送过程中进行各种处理工序。

对这种膜进行各种机械或化学处理工序，例如蚀刻工序(Etching)、烘烤(Bake)工序，在进行这种工序的过程中，若异物粘在膜表面，则将导致膜的性能下降，因而需进行去除异物的工序。

用于去除异物的方式有多种。

代表性的方式为利用纯水或清洗液和超声波来去除微粒子的超声波清洗方式、喷射空气和超声波来吹除微粒子的干式清洗方式、利用等离子的等离子方式等。

与双重干式方法去除异物的方式相关的技术有“基于聚酯的膜表面异物去除装置”(韩国公开实用新型公报实1994-0019107号，专利文献1)，其中，在卷绕膜的辊的相反侧设置有用于吸入异物的异物吸入装置，异物吸入装置包括：空气喷出口，用于向膜表面喷射空气；以及吸入口，用于吸入空气及异物。

但是，该方式需使空气的压力均匀并使膜与吸入装置之间维持非常窄的间隔，由于存在产生负压的区域，因而存在因膜被吸入到吸入装置而使性能下降的缺点。

另一方面，通过在用于进行喷射的空气喷射口设置超声波产生器来向膜表面施加超声波振动能量，由此剥离附着于膜表面的微粒子灰尘，但这种方式也因在压力空气的流速达到高速时在辊与头部之间产生真空或形成乱流而存在噪音变大的问题。

由于这种问题，近来，以干式方法喷射高压空气来吸入异物的方式的使用率逐渐减少，近来，实际情况是，等离子方式、湿式方式的使用率逐渐增加。

但是，等离子方式存在设置费用增加的问题，湿式清洗方式存在需进行去除异物的工序的问题，近来，由于膜的异物去除率需达到极高水平，因而存在用于去除异物的设备的费用增加的趋势。

因此，实际情况是，需研发解决现有干式异物去除方式中产生的噪音问题并提高灰尘的去除效率的异物去除装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：KR 20-1994-0019107(1994年08月19日)

发明内容

本发明的膜异物去除装置用于解决如上所述的在现有技术中产生的问题，通过从卷绕膜的卷膜辊的两侧喷射高压的压缩空气并在卷绕辊之间吸收所喷射的空气和异物，两侧的高压供给口通过使流路在端部侧急剧缩小来增加流速并朝向膜和卷膜辊相接触的切线方向与正交于切线方向的方向之间，从而通过使压缩空气的喷射角对于膜形成倾斜来减少噪音。

进而，本发明的目的在于，通过一侧高压供给口使另一侧形成曲面形状，由此产生柯安达效应，以便沿着与曲面相接的头部的凹面表面流动，而不是高压空气击打膜的流动，由此，使得膜表面的异物朝向凹面侧的负压在一侧高压供给口周边得到加强，从而以击打膜的方式及负压产生方式来去除异物，从而提高异物去除效果并使噪音的产生最小化。

并且，本发明的目的在于，通过使中央的空气吸入口壁面形成圆弧形，来向空气吸入口内部自然引导沿着凹面表面流动的流体的流动，从而减少噪音。

进而，本发明的目的在于，方向与膜的移动方向相反的另一侧高压供给口使得内部流路以与一侧高压供给口不同的方式恒定，从另一侧高压供给口供给的高压空气通过击打少量的异物来进行去除，不仅如此，通过对空气吸入口周边的膜产生吸入压力来防止膜被卷入的现象。

并且，本发明的目的在于，通过对卷膜辊表面中的空气吸入口周边具有抽吸功能，来使膜被卷入的现象最小化。

用于解决如上所述的问题的本发明涉及一种膜异物干式去除装置，在以卷对卷方式加工膜1的设备中去除膜1表面的异物，其特征在于，包括：卷膜辊100，用于卷绕膜1；头部200，位于上述卷膜辊100的相反侧，与卷膜辊100相向的表面形成凹陷形状的凹面210，在朝向上述卷膜辊100的中心的凹面210沿着长度方向形成有空气吸入口220，形成有位于从上述空气吸入口220朝向膜1的进入方向侧隔开的位置且用于向卷膜辊100供给高压空气的一侧高压供给口230，形成有位于从上述空气吸入口220朝向膜1的出料方向侧隔开的位置且用于向卷膜辊100供给高压空气的另一侧高压供给口240；高压空气供给装置300，与上述头部200的一侧高压供给口230和另一侧高压供给口240相连接，用于供给高压空气；以及空气吸入装置400，与上述头部200的空气吸入口220相连接，用于通过空气吸入口220吸入空气及异物，上述头部200的凹面210具有与上述卷膜辊100的中心相同的中心以及与卷膜辊100相隔开的规定曲率，上述一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240的端部侧流路沿着在虚拟轴a与虚拟轴b之间形成锐角的方向c形成，虚拟轴a为与上述一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240的端部相向的膜1和卷膜辊100相接触的切线方向上的虚拟轴，虚拟轴b为与切线正交的方向上的虚拟轴，上述一侧高压供给口230在膜1的进入方向侧端部形成有内部流路的截面积逐渐减小的引导卡止部231。

本发明的特征在于，在如上所述的结构中，在上述一侧高压供给口230中的膜1的出料方向侧端部形成有圆弧形的一侧曲面部232，来引导压缩空气沿着凹面210移动。

并且，本发明的特征在于，在上述空气吸入口220中的一侧高压供给口230侧方向的端部形成有圆弧形的中心曲面部221。

而且，在上述另一侧高压供给口240的端部形成与内部相同的流路截面积。

并且，上述卷膜辊100为在与上述空气吸入口220相向的部分形成有朝向内侧方向吸入上述膜1的抽吸区的抽吸辊。

根据本发明，通过从卷绕膜的卷膜辊的两侧喷射高压的压缩空气并在卷绕辊之间吸收所喷射的空气和异物，两侧的高压供给口通过使流路在端部侧急剧缩小来增加流速并朝向膜和卷膜辊相接触的切线方向与正交于切线方向的方向之间，从而通过使压缩空气的喷射角对于膜形成倾斜来减少噪音。

进而，通过一侧高压供给口使另一侧形成曲面形状，由此产生柯安达效应，以便沿着与曲面相接的头部的凹面表面流动，而不是高压空气击打膜的流动，由此，使得膜表面的异物朝向凹面侧的负压在一侧高压供给口周边得到加强，从而以击打膜的方式及负压产生方式来去除异物，从而提高异物去除效果并使噪音的产生最小化。

并且，通过使中央的空气吸入口壁面形成圆弧形，来向空气吸入口内部自然引导沿着凹面表面流动的流体的流动，从而减少噪音。

进而，方向与膜的移动方向相反的另一侧高压供给口使得内部流路以与一侧高压供给口不同的方式恒定，从另一侧高压供给口供给的高压空气通过击打少量的异物来进行去除，不仅如此，通过对空气吸入口周边的膜产生吸入压力来防止膜被卷入的现象。

或者，通过对卷膜辊表面中的空气吸入口周边形成抽吸功能，从而可使膜被卷入的现象最小化。

附图说明

图1为示出本发明的膜异物去除装置的部分切割立体图。

图2为示出本发明的在一侧高压供给口的端部形成有引导卡止部及一侧曲面部的例的截面简图。

图3为示出本发明的使另一侧高压供给口和一侧高压供给口形成不同的端部形状的例的截面简图。

图4为示出本发明的使头部由多个单元组装而成的例的分解立体图。

图5为示出本发明的卷膜辊由抽吸辊形成的例的剖视图。

图6为示出在图5中形成未抽吸区间的加工例的立体图。

图7为示出在图6中焊接固定金属管体的例的立体图。

图8为示出图5中的侧面壳体的一例的立体图。

图9为示出现有的干式异物去除装置的简图。

附图标记的说明

1：膜 2：异物

3：焊接棒 10：抽吸辊

11：抽吸槽 12：突起

13：高度差部 20：金属管体

21：焊接孔 22：扣入突起

30：网眼 40：旋转轴部件

50：侧面壳体 51：轴承

52：开口部 53：吸入口

60：支架

100：卷膜辊 200：头部

210：凹面 220：空气吸入口

221：中心曲面部 230：一侧高压供给口

231：引导卡止部 232：一侧曲面部

240：另一侧高压供给口 250：第一单元

260：第二单元 270：第三单元

280：第四单元 290：侧面单元

300：高压空气供给装置 400：空气吸入装置

a：膜与卷膜辊相接触的切线方向上的虚拟轴

b：与切线正交的方向上的虚拟轴

c：一侧高压供给口和另一侧高压供给口的端部侧流路方向

d：未抽吸区间

具体实施方式

本发明涉及在以卷对卷方式加工膜1的设备中去除膜1表面的异物的膜异物去除装置。

如上所述的本发明的异物去除装置可设置于卷对卷膜生产加工线上的多个工序设备之间。

以下，参照附图详细说明本发明的膜异物去除装置。

如图1的部分切割立体图所示，本发明的膜异物去除装置包括卷膜辊100、头部200、高压空气供给装置300及空气吸入装置400。

如图所示，作为本发明的结构要素的卷膜辊100用于卷绕膜1，以便在卷对卷设备中使膜1能够以方向转换等方式在各个工序设备上被移送，被卷绕的表面为作为异物去除对象的表面的背面。

这种卷膜辊100可由图1中所示的普通辊构成。

但是，针对于在应用过程中因使得向高压空气供给装置300供给的高压空气的流速最大化而在空气吸入装置400部位产生膜1被卷入到空气吸入装置400的现象的情况，卷膜辊100可由在与后述的空气吸入口220相向的部分形成有抽吸区间的抽吸辊来代替。

将在后述内容中说明由抽吸辊代替卷膜辊100的结构进行说明。

如图1所示，作为本发明的结构要素的头部200位于上述卷膜辊100的相反侧，与卷膜辊100相向的表面形成凹陷的凹面210。

而且，在朝向上述卷膜辊100的中心的凹面210的中心沿着长度方向形成有空气吸入口220。

并且，形成有位于从上述空气吸入口220朝向膜1的进入方向侧隔开的位置的用于向卷膜辊100供给高压空气的一侧高压供给口230。

而且，形成有位于从上述空气吸入口220朝向膜1的出料方向侧隔开的位置的用于向卷膜辊100供给高压空气的另一侧高压供给口240。

在附图中，空气吸入口220、一侧高压供给口230、另一侧高压供给口240能够以如下方式形成，即，流路从头部200的另一侧端部延伸到隔开规定距离的位置之后，未示出的连接件向头部200端部突出，通过连接件来与高压空气供给装置300、空气吸入装置400配管连接。

像这样，作为在头部200内部形成如上所述的流路的方案，优选地，如图4所示，可形成头部200由多个单元组装而成的结构。

具体地，头部200可由第一单元250、第二单元260、第三单元270、第四单元280及两侧的侧面单元290螺栓结合而成。

在此情况下，对第一单元250的底部和第二单元260的上部、第二单元260的底部和第三单元270的上部、第三单元270的底部和第四单元280的上部分别进行槽加工，在多个单元螺栓结合于侧面单元290的状态下，可在随着槽加工互相接触的部分自然地形成上述一侧高压供给口230、另一侧高压供给口240及空气吸入口220。

这尤其便于后述的引导卡止部231、一侧曲面部232及中心曲面部221的形成。

作为本发明的结构要素的高压空气供给装置300可由一种压缩器构成，通过与上述头部200的一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240配管连接，来向一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240供给高压空气。

作为本发明的结构要素的空气吸入装置400可由真空泵等的吸入空气的泵等来构成，通过与上述头部200的空气吸入口220配管连接来通过空气吸入口220吸入空气及异物。

在如上所述的结构中，本发明的特征在于，使头部200的凹面210和上述卷膜辊100的中心相同，具有与卷膜辊100相隔开的规定曲率，上述一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240的端部侧流路沿着在虚拟轴a与虚拟轴b之间形成锐角的方向c形成，虚拟轴a为与上述一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240的端部相向的膜1和卷膜辊100相接触的切线方向上的虚拟轴，虚拟轴b为与切线正交的方向上的虚拟轴。

如上所述，使得从一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240供给的压缩空气的流动沿着在轴a与轴b之间形成锐角的方向c形成的原因如下，若沿着切线方向的虚拟轴施加压缩空气，则几乎没有向膜1的表面施加的击打，因而很难去除粘在膜1的表面的异物，相反，若沿着正交方向的轴b施加压缩空气，则将产生非常强的击打或非常强的噪音。

因此，通过沿着形成锐角的方向c形成，从而可减少噪音并顺畅地去除异物。

使得具有这种倾斜角的流路形成从一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240供给的压缩空气的流动被引导为朝向空气吸入口220的流动的结构，通过不朝向相反侧，从而可抑制涡流的形成并可减少噪音。

在此情况下，如图所示，一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240的端部在凹面210上形成一种缝隙形状的长方形，因而，若想充分去除异物，则需使流速变大。

因此，一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240在膜1的进入方向侧端部形成有内部流路的截面积逐渐减少的引导卡止部231，来增加流速，从而使所施加的流速达到可在以倾斜的方向击打膜1的同时充分去除异物的流速。

如图1所示的如上所述的结构在膜1向头部200的凹面210与卷膜辊100之间流入并以与卷膜辊100紧贴的方式移动的过程中第一次从一侧高压供给口230喷射高压空气，通过高压空气的冲击来使膜1表面的异物被剥离，第二次通过在中间的空气吸入口220产生因启动空气吸入装置400而产生的负压，从而使被剥离的异物和空气被吸入。

而且，剩余的异物基于通过另一侧的另一侧高压供给口240喷射的高压空气来从膜1的表面被剥离并通过空气吸入口220被吸入。

在此过程中，如上所述，在从一侧高压供给口230及另一侧高压供给口240排出的高压空气的流动沿着与膜1正交的方向击打膜1的情况下，将产生很大的噪音，并在击打膜1时，压缩空气的一部分瞬间朝向与膜1的移动方向正交的方向，由此瞬间产生涡流而使得噪音变大，在本发明中，朝向倾斜的方向排出高压空气的瞬间使速度达到高速，从而与正交的方向时相比，减少噪音并抑制涡流的产生。

但是，在采用这种压缩空气直接击打膜1表面的方式的情况下，即使是流体也因高压的空气而有可能在膜1的表面产生损伤，噪音也仅是比喷射角为直角的情况相比减少而以，并不能把噪音最小化。

为了对此进行改善，一侧高压供给口230在膜1的出料方向侧端部形成有圆弧形的一侧曲面部232，来引导压缩空气沿着凹面210移动。

这利用了流体的柯安达效应，柯安达效应是指靠近墙面或顶棚面喷射的气流卷入并紧贴该面流动的情况。

即，如图2所示，若使一侧高压供给口230的端部侧形状形成为在膜1的进入侧形成有内部流路的截面积逐渐减少的引导卡止部231并在相反侧形成有由曲面形成的一侧曲面部232，则从一侧高压供给口230排出的压缩空气通过引导卡止部231的流体引导件和由曲面形成的一侧曲面部232来与卷绕于卷膜辊100的膜1的表面相比更倾向于沿着凹面210移动。

为此，引导卡止部231的形状、一侧曲面部232的曲率等可根据多种实施例设计来满足条件。

像这样，在使沿着凹面210移动的流动最大化的情况下，从一侧高压供给口230排出的压缩空气的流动击打膜1的表面的力量将减少，这不仅能够减少噪音，膜1表面的异物2因朝向凹面210的负压增加而通过负压(即，吸入压力)得到强化来从膜1的表面被剥离，而不是通过击打来产生剥离。

即，使异物从膜1的表面剥离的性能的减少最小化并最大限度抑制噪音的产生。

而且，如图所示，上述空气吸入口220在一侧高压供给口230侧方向的端部形成圆弧形的中心曲面部221，从而因在空气吸入装置400产生的空气吸入压力来沿着中心曲面部22a自然地被吸入。

在此情况下，如图2所示，另一侧高压供给口240也可采用与一侧高压供给口230相同的形态。

在此情况下，从另一侧高压供给口240供给的空气也通过柯安达效应来形成沿着凹面210流动的流动。

但是，在未在一侧高压供给口230附近剥离完而使得异物留在膜1的表面的状态下，若从另一侧高压供给口240供给的空气沿着凹面210流动，则有可能不好产生在一侧高压供给口230附近般的基于负压的异物去除效率。

并且，使得朝向空气吸入口220的负压在空气吸入口220的周边得到加强，因而有可能产生卷绕在与空气吸入口220相向的卷膜辊100的膜1朝向空气吸入口220被吸入的现象。

考虑到这一点，如图3所示，上述另一侧高压供给口240以与图2中所示的实施例相同的方式使端部形成与内部相同的截面积，并使中心的空气吸入口220也在靠近一侧高压供给口230的端部形成中心曲面部221，相反侧端部并不以曲线形状形成，而是以基于凹面210的曲率的形态来形成与内部流路形成角度的形态。

这种形态在一侧高压供给口230的附近以如上所述的方式利用基于柯安达效应产生的负压来使异物被剥离，相反，在另一侧高压供给口240的附近向压缩空气击打膜1的方向供给压缩空气，这种流体的流动延伸到中心的空气吸入口220附近，从中心的空气吸入口220到另一侧高压供给口240附近为止的膜1表面上的异物因压缩空气的击打能量而产生活跃的剥离现象，可在减少噪音的同时使异物去除效果最大化。

作为另一种方式，如图2或图3中的例，卷膜辊100可由之前所述的抽吸辊形成。

在此情况下，优选地，上述卷膜辊100为抽吸辊，上述抽吸辊在与上述空气吸入口220相向的部分形成朝向内侧方向吸入上述膜1的抽吸区间。

抽吸辊可由公知的多种抽吸辊形成，由于抽吸辊的购入及制造成本高，因而，使用高价的抽吸辊的情况并不优选。

作为解决这种问题的方案，可提出如图5所示的结构的抽吸辊。

所示的结构包括辊10、金属管体20、网眼30、旋转轴部件40及侧面壳体50。

附图中，旋转轴部件40在上述辊10的两端相结合，在一侧连接旋转马达41，从而来使辊10旋转。

并且，侧面壳体50以包围上述旋转轴部件40的方式设置，并在与旋转轴部件40之间设置有轴承51，在一侧形成有与上述辊10的抽吸槽11相连通的开口部52，在另一侧形成有与外部的吸入机构相连接的吸入口53。

在此情况下，旋转轴部件40的一端部形成与上述辊10的端部相接触的结构，在与上述抽吸槽11相对应的部位形成有插槽形状或网状结构的孔，空气可从抽吸槽11贯通旋转轴部件40来向相邻的侧面壳体50的内部传递。

其中，旋转轴部件40和辊10可通过未赋予附图标记的螺栓等来结合，这是不言而喻的。

另一方面，如图8的立体图所示，优选地，旋转轴部件40仅使开口部52形成于与移送对象物相接触的区域，即，在用于指定抽吸区间的规定范围。

即，开口部52形成于与空气吸入口220的端部相向的部分，因而在凹面210的其他部分不产生抽吸，使得压缩空气去除膜1表面的异物并在仅空气吸入口220周围形成吸入，从而抑制膜1被卷入到空气吸入口220的现象。

为此，空气的压力满足不使膜1被卷入的程度即可，这与常规抽吸方式的面料给料辊不同。

如附图所示，吸入口53与未图示的真空吸入泵等配管连接，使空气从网眼30的网状结构的开口部以抽吸槽11、开口部52的顺序被吸入，来可达到在移送对象物被吸附的状态下移送膜。

附图中，旋转轴部件40放置于一侧的支架60。

但是，常规的抽吸辊在除了中心的与膜相接触的区域之外的两侧形成作为空白空间的未抽吸区间，若未抽吸区间采用网状结构，则在未与移送对象物相接触的区域使空气被吸入，因而存在吸入效率急剧下降的问题。

尤其，如本发明，在通过一侧高压供给口230、另一侧高压供给口240来向膜1的表面供给高压空气的过程中，若未抽吸区间的形成并不顺畅，则有可能产生异物去除效率下降的问题。

即，在用于本发明的异物去除装置的卷膜辊100由抽吸辊形成的情况下，需使制造成本低廉并使未抽吸区间的形成变得顺畅。

为此，在本发明中，优选地，通过图6中所示的方式形成未抽吸区间。

具体地，如图6所示，准备圆筒形的金属辊10，在上述金属辊10的外周面从一侧端部到另一侧端部为止沿着长度方向交替形成有抽吸槽11和突起12。

图中的辊10可通过向具有用于由碳素钢或合金钢材质形成抽吸槽及突起的剖面结构的模具投入熔融金属来以挤压方式制造。

或者，也可通过对以挤压方式制造的管状的钢或不锈钢的表面进行加工而制造。

之后，为了形成未抽吸区间d，通过以从上述辊10的两端部达到规定长度的方式对上述突起12的上部进行切削加工，来在辊10的两端部形成使得突起12的高度低于中间部位的高度差部13。

在此情况下，优选地，切削加工的厚度小于20mm，被薄薄地切削。

若以大于20mm的方式进行切削，则在进行抽吸(吸入)的过程中，从中间的深度达到规定深度的空间即网眼30底部与抽吸槽11底面之间的空间吸入的空气与金属管体20的下端边角台阶部位相碰撞来形成涡流的程度变得严重，因而，有可能对抽吸功能造成阻碍。

这种现象尤其在金属管体20相邻的部位上的网眼30下部空间更加严重。

另一方面，优选地，切削加工的厚度最少达到1.0mm以上。

若金属管体20的厚度过薄，则使得基于外力或抽吸压力的金属管体20的变形可能性变高，在此情况下，在产生膜等的移送对象物与未抽吸区间d相接触的环境的情况下，移送对象物无法维持吸附状态，因而有可能产生移送功能的下降。

当考虑到这一点，优选地，高度差部13的深度应形成1.0～20mm左右。

之后，通过使上述高度差部13和金属管体20相结合来对高度差部13及高度差部13之间的抽吸槽11的上部空间进行密封。

金属管体20由挤出成形的管形成，由此可在未抽吸区间d扣入设置于上述辊10的外侧。

或者，可通过使可弯曲加工的平平的铁板包围上述辊10并实现弯曲之后对两端部进行焊接加工来实现结合。

在此情况下，金属管体20的高度可与未抽吸区间d外部的辊10的突起12的高度相同，或至少比突起部12更向上侧突出。

若比突起12的高度低，则使得抽吸槽11在金属管体20的内侧端部侧露出，从而有可能产生吸入功能下降的问题。

在设置这种金属管体20方面，在金属管体20仅在辊10的端部侧扣入结合且并未完全被固定的情况下，有可能产生金属管体20在辊10旋转时无法实现一体化而产生摩擦并受损，从而有可能引起抽吸功能的下降。

因此，优选地，金属管体20通过焊接方式等来固定于辊10。

代表性的固定方式有沿着高度差部13的边界对辊10进行线焊接的方式，在此情况下，在后述的表面处理过程中，有可能产生焊接部位掉落等的问题。

并且，必须在辊10的端部侧设置侧面收尾部件，在进行表面处理后与侧面收尾部件进行固定时，将产生需再次进行焊接处理的不便之处。

尤其，适合以如上所述的方式使高度差部13的高度最小化，并使得由此设置的金属管体20的厚度也被最小化，很难回避焊接进行螺栓连接。

为了对此进行解决，可进行如图7所示的方式的工序。

参照图7，可知，在上述金属管体20的与上述高度差部13相对应的位置形成有焊接孔21。

这是如下的方式，即，在使金属管体20扣入于辊10的组装状态下，使焊接棒3插入于焊接孔21，并在焊接孔21部位实施焊接，从而使上述金属管体20和高度差部13焊接固定。

在此情况下，如图所示，焊接部位在高度差部13的两侧各形成两处，则金属管体20坚固地紧贴于辊10，从而无需对高度差部13的两侧进行线焊接。

并且，在该方式中，通过焊接形成的焊接部22不向焊接孔21的上部突出，从而在后述的表面处理步骤中防止焊接部22的损伤，来维持坚固的固定状态。

之后，如图所示，除了两侧高度差部13上部的金属管体20的表面和上述高度差部13之外的辊10的突起12表面从辊10的中心开始形成相同外径的方式进行表面处理。

表面处理可采用附着有刀的辊、激光切割机、辊磨床等多种表面处理机器。

当进行表面处理时，使得辊10中间部位的突起12的高度与设置于未抽吸区间d的金属管体20的表面型号曾平平的水平面，这是为了在将后述的网眼30设置于表面时在平平的面产生接触，来防止网眼30的变形可能性。

若网眼30表面无法形成平坦面，则有可能导致吸入功能下降。

在进行表面处理后，如图所示，在经过上述研磨步骤的辊10的外部设置网状结构的网眼30。

网眼设置步骤可由现有的不锈钢冲孔板来代替，在此情况下，由于加工费用非常高，因而并不优选。

在本发明中，考虑到这种问题，以包围包括未抽吸区间d在内的辊10的所有部位的方式设置价格更加低廉的镍网眼30，并在未抽吸区间d的网眼30的下部设置没有孔的金属管体20，从而可轻松地防止在未抽吸区间d产生抽吸现象。

网眼30形成圆筒形，可向辊10扣入结合预先形成的网眼30，或在用平板形网眼包围辊10之后对端部进行焊接来进行设置。

以这种方式构成的抽吸辊包括：金属辊10，形成在外周面从一侧端部到另一侧端部为止沿着长度方向交替形成有抽吸槽11和突起12的圆筒形形状，通过以两端部达到规定长度的方式对上述突起12的上部进行切削加工，来在两端部形成使得突起12的高度低于中间部位的高度差部13；金属管体20，以对上述金属辊10的高度差部13及高度差部13之间的抽吸槽11的上部空间进行密封的方式扣入设置于金属辊10的两侧端部；以及网眼30，以包围上述金属管体20和金属辊10的方式设置。

产业上的可利用性

本发明还可适用于采用卷对卷制造工序的多种膜体的制造工序，最为优选地，适用于可使异物的产生最小化的光学膜的制造工序。

Claims (2)

1.一种膜异物干式去除装置，在以卷对卷方式加工膜(1)的设备中以干式法去除膜(1)表面的异物，其特征在于，

包括：

卷膜辊(100)，用于卷绕膜(1)；

头部(200)，位于上述卷膜辊(100)的相反侧，与卷膜辊(100)相向的表面形成凹陷形状的凹面(210)，在朝向上述卷膜辊(100)的中心的凹面(210)沿着长度方向形成有空气吸入口(220)，形成有位于从上述空气吸入口(220)朝向膜(1)的进入方向侧隔开的位置且用于向卷膜辊(100)供给高压空气的一侧高压供给口(230)，形成有位于从上述空气吸入口(220)朝向膜(1)的出料方向侧隔开的位置且用于向卷膜辊(100)供给高压空气的另一侧高压供给口(240)；

高压空气供给装置(300)，与上述头部(200)的一侧高压供给口(230)和另一侧高压供给口(240)相连接，用于供给高压空气；以及

空气吸入装置(400)，与上述头部(200)的空气吸入口(220)相连接，用于通过空气吸入口(220)吸入空气及异物，

上述头部(200)的凹面(210)具有与上述卷膜辊(100)的中心相同的中心以及与卷膜辊(100)相隔开的规定曲率，

上述一侧高压供给口(230)及另一侧高压供给口(240)的端部侧流路沿着在虚拟轴(a)与虚拟轴(b)之间形成锐角的方向(c)形成，虚拟轴(a)为与上述一侧高压供给口(230)及另一侧高压供给口(240)的端部相向的膜(1)和卷膜辊(100)相接触的切线方向上的虚拟轴，虚拟轴(b)为与切线正交的方向上的虚拟轴，

在上述一侧高压供给口(230)中的膜(1)的进入方向侧端部形成有内部流路的截面积逐渐减小的引导卡止部(231)，

在上述一侧高压供给口(230)中的膜(1)的出料方向侧端部形成有圆弧形的一侧曲面部(232)，来引导压缩空气沿着凹面(210)移动，

在上述空气吸入口(220)中的一侧高压供给口(230)侧方向的端部形成有圆弧形的中心曲面部(221)，

上述另一侧高压供给口(240)的端部形成与内部相同的流路截面积。

2.根据权利要求1所述的膜异物干式去除装置，其特征在于，上述卷膜辊(100)为在与上述空气吸入口(220)相向的部分形成有朝向内侧方向吸入上述膜(1)的抽吸区间的抽吸辊。

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