CN109103266A - 一种光电传感器封装结构及其封装方法 - Google Patents

一种光电传感器封装结构及其封装方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109103266A
CN109103266A CN201811098921.0A CN201811098921A CN109103266A CN 109103266 A CN109103266 A CN 109103266A CN 201811098921 A CN201811098921 A CN 201811098921A CN 109103266 A CN109103266 A CN 109103266A
Authority
CN
China
Prior art keywords
chip
substrate
cushion block
glass
package structure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811098921.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109103266B (zh
Inventor
庞宝龙
刘宇环
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Huatian Technology Xian Co Ltd
Original Assignee
Huatian Technology Xian Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Huatian Technology Xian Co Ltd filed Critical Huatian Technology Xian Co Ltd
Priority to CN201811098921.0A priority Critical patent/CN109103266B/zh
Publication of CN109103266A publication Critical patent/CN109103266A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109103266B publication Critical patent/CN109103266B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0203Containers; Encapsulations, e.g. encapsulation of photodiodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L24/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L25/00Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
    • H01L25/16Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
    • H01L25/167Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits comprising optoelectronic devices, e.g. LED, photodiodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/852Applying energy for connecting

Abstract

本发明公开了一种光电传感器封装结构及其封装方法,包括基板,基板上设置有第二芯片,第二芯片与基板电性连接;第二芯片上设置有垫块;第二垫块上设置有第一芯片;第一芯片上方覆盖有玻璃;所述第二芯片为控制处理芯片,第一芯片为光电传感器芯片;所述玻璃覆盖在第一芯片的正极面上,第一芯片的正极面上通过金属导电体与基板电性连接。解决了能够使现有的光电传感器封装结构尺寸更小,使其感应更加灵敏,满足现有的需求。

Description

一种光电传感器封装结构及其封装方法
技术领域
本发明属于传感器封装技术领域;具体涉及一种光电传感器封装结构;还涉及光电传感器的封装方法。
背景技术
心血管疾病是当前威胁人类健康的首要疾病,人体脉搏波反映心血管系统的机能。脉搏波的强度、速度和节律反映出来的机体生理、精神状态、体力水平等信息可以显示个人健康状态,或作为其他医疗仪器的辅助监测、为医生提供诊断参考等。
目前脉搏波的监测方法主要是采用光电容积法(PPG)或压电感应器原理来间接反映脉搏波的变化。光电容积法是利用血液中血红蛋白的光吸收作用而改变照射到皮肤上的发光二极管(LED)的光强,通过对经皮肤反射的光进行测量而间接得到脉搏波波形。另外一种压电感应法则通过脉搏的波动引起皮肤的波动,由于传感器与皮肤的间隔十分小,当皮肤发生波动时,引起和受压元件间空气的波动,再作用在压电薄膜上产生电信号,这样就把脉搏的机械波动转换成电信号的变化。
发明内容
本发明提供了一种光电传感器封装结构及其封装方法;解决了能够使现有的光电传感器封装结构尺寸更小,使其感应更加灵敏,满足现有的需求。
本发明的技术方案是:一种光电传感器封装结构,包括基板,基板上设置有第二芯片,第二芯片与基板电性连接;第二芯片上设置有垫块;第二垫块上设置有第一芯片;第一芯片上方覆盖有玻璃;所述第二芯片为控制处理芯片,第一芯片为光电传感器芯片;所述玻璃覆盖在第一芯片的正极面上,第一芯片的正极面上通过金属导电体与基板电性连接;所述第一芯片的负极面通过金属导电体与基板电性连接;所述基板上设置有塑封结构,塑封结构包裹第二芯片、垫块、第一芯片和玻璃,以及金属导电体;所述玻璃的上表面裸露。
更进一步的,本发明的特点还在于:
其中封装结构的四个侧边与基板的四个侧边齐平,封装结构的上表面与玻璃齐平。
其中垫块上镀有金属层,第一芯片的负极面通过金属层和金属导电体与基板电性连接。
其中垫块上的金属层的一部分与第一芯片的负极面接触;金属层的另一部分上通过焊接金属导电体与基板电性连接。
其中第一芯片的正极面包括传感区和非传感区,所述玻璃覆盖在传感区上,非传感区上设置有若干焊盘,焊盘与基板之间连接金属导电体。
其中第二芯片具有凸起件的一面设置在基板上。
其中垫块的底面设置有胶膜层,垫块通过胶膜层粘接第二芯片。
本发明的另一技术方案是:一种光电传感器封装方法,包括以下步骤:步骤S1,将第二芯片具有凸起件的一面设置在基板上,且第二芯片和基板电性连接;第二芯片为控制处理芯片;步骤S2,将垫块覆盖在第二芯片的上表面;步骤S3,在垫块的上表面设置第一芯片,第一芯片的负极面与垫块的上表面接触,第一芯片的正极面朝上;第一芯片的正极面和负极面均通过金属导电体与基板电性连接;第一芯片为光电传感器芯片;步骤S4,在第一芯片的正极面上覆盖玻璃;步骤S5,采用塑封料封装基板上的第二芯片、垫块、第一芯片和玻璃,形成塑封结构;步骤S6,磨削塑封结构的上表面,使玻璃的上表面裸露;得到如上所述的光电传感器封装结构。
更进一步的,本发明的特点还在于:
其中步骤S6中对塑封结构进行磨削,塑封结构的四个侧面分别与基板的四个侧面齐平,封装结构的上表面与玻璃的上表面齐平。
其中步骤S3中垫块的上表面镀有金属层,第一芯片的负极面覆盖在金属层上,第一芯片的负极面与金属层电性连接;金属层通过金属导电体与基板电性连接。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:该封装结构中采用玻璃传到光电传感器,并且通过封装结构将玻璃、第一芯片、垫块、第二芯片以及金属导电体进行封装,并且第一芯片通过金属导电体与基板连接,第二芯片直接与基板连接,实现光电传感器芯片与控制处理芯片之间的信息交互,采用垫块实现光电传感器芯片与控制处理芯片之间的隔离。
更进一步的,在垫块上镀有金属层,通过金属层实现光电传感器负极面与基板的连接。
更进一步的,玻璃只需要覆盖光电传感器芯片正极面的传感区,非传感区用于连接基板。
更进一步的,垫块上通过胶膜层实现对第二芯片的粘接,防止在封装的过程中垫块相对第二芯片滑动。
附图说明
图1为本发明光电传感器封装结构的示意图。
图中:1为玻璃;2为第一芯片;3为垫块;4为第二芯片;5为金属导电体;6为基板;7为塑封结构;8为凸起件。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明的技术方案进一步说明。
本发明提供了一种光电传感器封装结构,如图1所示,包括基板6,基板6上设置有第二芯片4,第二芯片4为控制处理芯片,且第二芯片4具有凸起件8的一面与基板6接触,第二芯片4通过凸起件8与基板6电性连接;第二芯片4上设置有垫块3,垫块3为硅片、陶瓷或玻璃等材质制成,垫块3的四个侧面与第二芯片4的四个侧面齐平;垫块3的上方设置有第一芯片2;第一芯片2包括正极面和负极面,第一芯片2的负极面朝下与垫块3的上表面接触,第一芯片2的正极面朝上,且第一芯片2的正极面和负极面均与基板6电性连接;第一芯片2的正极面上覆盖有玻璃1。
其中,第一芯片2为光电传感器芯片,第二芯片4为控制处理芯片。
优选的,第一芯片2的正极面和负极面均通过金属导电体5与基板6电性连接。
优选的,垫块3的上表面镀有金属层,金属层为镀金层、镀银层、镀铜层或镀铝层;第一芯片2的负极面与金属层电性连接,金属层上焊接有与基板6电性连通的金属导电体,从而实现第一芯片2的负极面通过垫块3上表面的金属层、金属导电体5与基板6电性连接。
第一芯片2的正极面包括有传感区和非传感区,其中玻璃1覆盖在传感区上,非传感区上设置有焊盘,焊盘焊接有与基板6连接的金属导电体,实现第一芯片2正极面与基板6的电性连接。
优选的,垫块3的下表面设置有胶膜层,垫块3通过胶膜层粘接在第二芯片4上。
其中,基板6上设置有封装结构7,封装结构7包括第二芯片4、垫块3、第一芯片2、玻璃1以及若干个金属导电体5;封装结构7的四个侧面与基板6的四个侧面齐平,且玻璃1裸露。其中第二芯片4上的凸起件8之间也填充有封装料。
优选的,封装结构7的上表面与玻璃1的上表面齐平,且使玻璃1的上表面裸露。
本发明还提供了一种光电传感器的封装方法,包括以下步骤:
步骤S1,将第二芯片4设置在基板6的上表面,其中第二芯片4具有凸起件8的一面朝下与基板6的上表面电性连接,相邻两个凸起件8之间填充有胶水或者塑封料,其中第二芯片4为控制处理芯片。
步骤S2,将垫块3粘接在第二芯片4的上方,且垫块3的四个侧面与第二芯片4的四个侧面齐平;其中垫块3的材质为硅片、陶瓷或者玻璃,优选使用硅片。
优选的,垫块3的上表面镀有金属层,优选为镀金层、镀银层、镀铜层或镀铝层,垫块3的上表面键合有焊盘,焊盘焊接与基板6电性连接的金属导电体5。
垫块3的下表面涂有胶膜层,具体的其涂有DAF胶膜,通过胶膜层将垫块3粘接在第二芯片4的上方。
步骤S3,将第一芯片2的负极面朝下与垫块3的上表面贴合,第一芯片2的正极面朝上;其中第一芯片2为光电传感器芯片,第一芯片2的负极面与垫块3上表面的金属层电性连接;此时第一芯片2的负极面通过金属层、金属导电体与基板6电性连接。
优选的第一芯片2负极面的面积小于垫块3上表面金属层的面积,且第一芯片2不能覆盖金属层上键合的焊盘。
步骤S4,将玻璃1粘接在第一芯片2的正极面上;其中第一芯片2的正极面包括传感区和非传感区,其中玻璃1粘接在传感区上,非传感区上键合有焊盘,焊盘上焊接有与基板6电性连接的金属导电体;其中玻璃1为透光玻璃,能够透过可见光,玻璃1的表面还可以镀膜,使玻璃1具备滤光功能,能够透过不同波长的光。
其中采用透光率为90%以上的DAF胶膜将玻璃1粘接在传感区上。
步骤S5,采用塑封料对基板6上的第二芯片4、垫块3、第一芯片2、玻璃1以及若干个金属导电体5进行塑封,得到塑封结构7;其中塑封料为黑色或其他不透光的塑封料,其中第二芯片4的凸起件8之间也填充有塑封料。
步骤S6,对塑封结构7进行切割或磨削,使塑封结构7的四个侧面与基板6的四个侧面齐平;使玻璃1的上表面裸露,且塑封结构7的上表面与玻璃1的上表面齐平。
最终得到本发明所述的光电传感器塑封结构。

Claims (10)

1.一种光电传感器封装结构,其特征在于,包括基板(6),基板(6)上设置有第二芯片(4),第二芯片(4)与基板(6)电性连接;第二芯片(4)上设置有垫块(3);第二垫块(3)上设置有第一芯片(2);第一芯片(2)上方覆盖有玻璃(1);
所述第二芯片(4)为控制处理芯片,第一芯片(2)为光电传感器芯片;
所述玻璃(1)覆盖在第一芯片(2)的正极面上,第一芯片(2)的正极面上通过金属导电体(5)与基板(6)电性连接;
所述第一芯片(2)的负极面通过金属导电体(5)与基板6电性连接;
所述基板(6)上设置有塑封结构(7),塑封结构(7)包裹第二芯片(4)、垫块(3)、第一芯片(2)和玻璃(1),以及金属导电体(5);
所述玻璃(1)的上表面裸露。
2.根据权利要求1所述的光电传感器封装结构,其特征在于,所述封装结构(7)的四个侧边与基板(6)的四个侧边齐平,封装结构(7)的上表面与玻璃(1)齐平。
3.根据权利要求1所述的光电传感器封装结构,其特征在于,所述垫块(3)上镀有金属层,第一芯片(2)的负极面通过金属层和金属导电体(5)与基板(6)电性连接。
4.根据权利要求3所述的光电传感器封装结构,其特征在于,所述垫块(3)上的金属层的一部分与第一芯片(2)的负极面接触;金属层的另一部分上焊接金属导电体(5)。
5.根据权利要求1所述的光电传感器封装结构,其特征在于,所述第一芯片(2)的正极面包括传感区和非传感区,所述玻璃(1)覆盖在传感区上,非传感区上设置有若干焊盘,焊盘与基板(6)之间连接金属导电体(5)。
6.根据权利要求1所述的光电传感器封装结构,其特征在于,所述第二芯片(4)具有凸起件的一面设置在基板(6)上。
7.根据权利要求1所述的光电传感器封装结构,其特征在于,所述垫块(3)的底面设置有胶膜层,垫块(3)通过胶膜层粘接第二芯片(4)。
8.一种光电传感器封装方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1,将第二芯片具有凸起件的一面设置在基板上,且第二芯片和基板电性连接;第二芯片为控制处理芯片;
步骤S2,将垫块覆盖在第二芯片的上表面;
步骤S3,在垫块的上表面设置第一芯片,第一芯片的负极面与垫块的上表面接触,第一芯片的正极面朝上;第一芯片的正极面和负极面均通过金属导电体与基板电性连接;第一芯片为光电传感器芯片;
步骤S4,在第一芯片的正极面上覆盖玻璃;
步骤S5,采用塑封料封装基板上的第二芯片、垫块、第一芯片和玻璃,形成塑封结构;
步骤S6,磨削塑封结构的上表面,使玻璃的上表面裸露;得到如权利要求1所述的光电传感器封装结构。
9.根据权利要求8所述的光电传感器封装方法,其特征在于,所述步骤S6中对塑封结构进行磨削,封装结构的上表面与玻璃的上表面齐平。
10.根据权利要求8所述的光电传感器封装方法,其特征在于,所述步骤S3中垫块的上表面镀有金属层,第一芯片的负极面覆盖在金属层上,第一芯片的负极面与金属层电性连接;所述金属层通过金属导电体与基板电性连接。
CN201811098921.0A 2018-09-19 2018-09-19 一种光电传感器封装结构及其封装方法 Active CN109103266B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811098921.0A CN109103266B (zh) 2018-09-19 2018-09-19 一种光电传感器封装结构及其封装方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811098921.0A CN109103266B (zh) 2018-09-19 2018-09-19 一种光电传感器封装结构及其封装方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109103266A true CN109103266A (zh) 2018-12-28
CN109103266B CN109103266B (zh) 2024-02-06

Family

ID=64866851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811098921.0A Active CN109103266B (zh) 2018-09-19 2018-09-19 一种光电传感器封装结构及其封装方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109103266B (zh)

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020096758A1 (en) * 2001-01-23 2002-07-25 Ho Mon Nan Packaging structure of image sensor and method for packaging the same
KR20050087737A (ko) * 2005-04-06 2005-08-31 한국과학기술원 이미지 센서 모듈 및 이의 제조 방법
KR20050093752A (ko) * 2005-09-02 2005-09-23 한국과학기술원 이미지 센서 모듈용 웨이퍼 레벨 칩 사이즈 패키지 및 이의제조방법
JP2005317820A (ja) * 2004-04-30 2005-11-10 Korai Kagi Kofun Yugenkoshi 発光ダイオードパッケージ構造
JP2012104661A (ja) * 2010-11-10 2012-05-31 Nikon Corp 撮像装置及びその製造方法
CN103956370A (zh) * 2014-05-20 2014-07-30 苏州晶方半导体科技股份有限公司 影像传感器模组及其形成方法
CN103985723A (zh) * 2014-05-20 2014-08-13 苏州晶方半导体科技股份有限公司 封装方法以及封装结构
CN104538379A (zh) * 2014-12-31 2015-04-22 华天科技(西安)有限公司 一种基于局部塑封工艺的指纹设计封装结构及其制备方法
CN105304575A (zh) * 2015-10-23 2016-02-03 华天科技(西安)有限公司 采用垫块预防指纹传感芯片倾斜的封装结构及制造方法
CN105529308A (zh) * 2015-11-09 2016-04-27 华天科技(西安)有限公司 一种垫块加底部填充的指纹芯片封装结构及制造方法
CN105845672A (zh) * 2016-06-15 2016-08-10 南通富士通微电子股份有限公司 封装结构
CN106784031A (zh) * 2017-01-18 2017-05-31 华天科技(西安)有限公司 一种新型光电传感器的封装件
CN107946269A (zh) * 2017-12-18 2018-04-20 华天科技(西安)有限公司 一种传感芯片的封装结构及其封装方法
JP2018115987A (ja) * 2017-01-19 2018-07-26 株式会社デンソー シリコンと導電体との接合体およびこれを用いた圧力センサ

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020096758A1 (en) * 2001-01-23 2002-07-25 Ho Mon Nan Packaging structure of image sensor and method for packaging the same
JP2005317820A (ja) * 2004-04-30 2005-11-10 Korai Kagi Kofun Yugenkoshi 発光ダイオードパッケージ構造
KR20050087737A (ko) * 2005-04-06 2005-08-31 한국과학기술원 이미지 센서 모듈 및 이의 제조 방법
KR20050093752A (ko) * 2005-09-02 2005-09-23 한국과학기술원 이미지 센서 모듈용 웨이퍼 레벨 칩 사이즈 패키지 및 이의제조방법
JP2012104661A (ja) * 2010-11-10 2012-05-31 Nikon Corp 撮像装置及びその製造方法
CN103985723A (zh) * 2014-05-20 2014-08-13 苏州晶方半导体科技股份有限公司 封装方法以及封装结构
CN103956370A (zh) * 2014-05-20 2014-07-30 苏州晶方半导体科技股份有限公司 影像传感器模组及其形成方法
CN104538379A (zh) * 2014-12-31 2015-04-22 华天科技(西安)有限公司 一种基于局部塑封工艺的指纹设计封装结构及其制备方法
CN105304575A (zh) * 2015-10-23 2016-02-03 华天科技(西安)有限公司 采用垫块预防指纹传感芯片倾斜的封装结构及制造方法
CN105529308A (zh) * 2015-11-09 2016-04-27 华天科技(西安)有限公司 一种垫块加底部填充的指纹芯片封装结构及制造方法
CN105845672A (zh) * 2016-06-15 2016-08-10 南通富士通微电子股份有限公司 封装结构
CN106784031A (zh) * 2017-01-18 2017-05-31 华天科技(西安)有限公司 一种新型光电传感器的封装件
JP2018115987A (ja) * 2017-01-19 2018-07-26 株式会社デンソー シリコンと導電体との接合体およびこれを用いた圧力センサ
CN107946269A (zh) * 2017-12-18 2018-04-20 华天科技(西安)有限公司 一种传感芯片的封装结构及其封装方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109103266B (zh) 2024-02-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10211360B2 (en) Optical biosensor module and method for making the same
US6745061B1 (en) Disposable oximetry sensor
US4794431A (en) Package for photoactivated semiconductor device
WO2017143721A1 (zh) 封装结构、电子设备以及封装结构的制备方法
KR20060016134A (ko) 반도체 패키지, 그 제조방법 및 이미지 센서용 반도체패키지 모듈
EP4145508A1 (en) Optical sensor encapsulation structure and electronic device
CN212750892U (zh) 半导体封装模组及智能电子设备
CN208781844U (zh) 一种双垫块光电传感器封装结构
CN208781856U (zh) 一种光电传感器封装结构
CN209000920U (zh) 一种带有垫块的光电传感器封装结构
CN109003973A (zh) 一种双垫块光电传感器封装结构及其封装方法
CN109103266A (zh) 一种光电传感器封装结构及其封装方法
WO2005064689A1 (ja) 光データ通信モジュール
CN109103265B (zh) 一种带有垫块的光电传感器封装结构及其封装方法
KR20060114429A (ko) 이미지센서의 픽셀 어레이와 접촉발광센서가 직접 접촉된지문감지장치
CN109119347B (zh) 一种可穿戴设备的生物特征光学传感器的封装方法
CN112040856A (zh) 裸片承载件封装及其形成方法
TW201818877A (zh) 光學式生醫感測器模組及其製作方法
CN211929487U (zh) 光学传感器封装结构和电子设备
CN208835057U (zh) 一种led灯
CN218513473U (zh) 一种传感器封装结构
JP2005093495A (ja) 受光素子、これを用いた光結合半導体装置、及びその製造方法
KR20170019882A (ko) 심박 센서 및 이를 포함하는 감지 장치
JPS5737867A (en) Semiconductor device
CN216749911U (zh) 贴片光敏器件及塑封模具

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant