CN108987315A - 晶圆清洗回收机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗回收机，降低设备故障率，负荷小；提高搅拌效率；添加回收晶圆和清洗液过程较简单；包括筒体、一组第一搅拌叶、第一挡盖、第二挡盖和第一传动轴，进入口处和出料口处分别设置有第一挡盖和第二挡盖，筒体上方设置有电机，第一传动轴下半区域设置有一组第一搅拌叶；还包括工作箱、第一齿轮、第二齿轮和第二传动轴，电机输出端设置有第二传动轴；还包括上齿轮、下齿轮、上链条、下链条、左齿轮、右齿轮、左安装箱、右安装箱、左连接杆、右连接杆和一组第二搅拌叶；还包括挂钩、支撑块、固定销、下压杆、受力环、一组固定板、中心转轴、下连接杆和一组定位挡板。

Description

晶圆清洗回收机

技术领域

本发明涉及半导体制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗回收机。

背景技术

众所周知，晶圆清洗回收机是一种用于晶圆回收过程中，对回收晶圆清洗的设备，其在半导体制造的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆清洗回收机包括筒体、一组第一搅拌叶、第一挡盖、第二挡盖和第一传动轴，筒体内部设置有清洗腔，筒体左侧壁上半区域和右侧壁下半区域分别设置有旋转口、进入口和出料口，进入口处和出料口处分别设置有第一挡盖和第二挡盖，第一挡盖和第二挡盖均螺装至筒体，旋转口、进入口和出料口均与清洗腔连通，筒体上方设置有电机，电机输出端设置有第一传动轴，第一传动轴穿过旋转口进入筒体内部，第一传动轴下半区域设置有一组第一搅拌叶；现有的晶圆清洗回收机使用时，第一挡盖螺装至进入口处，使用者通过进入口将回收晶圆和清洗液加入筒体内部，使用将电机通电，电能转化为电机的动能，从而带动第一传动轴转动，进而带动一组第一搅拌叶转动，清洗液和回收晶圆混合接触，清洗液将回收晶圆表面杂质清理干净，清洗后，使用者打开第二挡盖，清洗后物料通过出料口排出；现有的晶圆清洗回收机使用中发现，设备故障率较高，负荷大，使用可靠性较低；搅拌效率较低，需要长时间搅拌，工作效率较低；添加回收晶圆和清洗液过程较复杂，使用局限性较高。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种的降低设备故障率，负荷小，提高使用可靠性；提高搅拌效率，缩短搅拌时间，提高工作效率；添加回收晶圆和清洗液过程较简单，降低使用局限性的晶圆清洗回收机。

本发明的晶圆清洗回收机，包括筒体、一组第一搅拌叶、第一挡盖、第二挡盖和第一传动轴，筒体内部设置有清洗腔，筒体左侧壁上半区域和右侧壁下半区域分别设置有旋转口、进入口和出料口，进入口处和出料口处分别设置有第一挡盖和第二挡盖，第二挡盖螺装至筒体，旋转口、进入口和出料口均与清洗腔连通，筒体上方设置有电机，第一传动轴穿过旋转口进入筒体内部，第一传动轴下半区域设置有一组第一搅拌叶；还包括工作箱、第一齿轮、第二齿轮和第二传动轴，所述工作箱内部设置有工作腔，所述工作箱顶侧壁左半区域和下侧壁中央区域分别设置有第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口均与工作腔连通，所述电机位于工作箱上方，所述电机输出端设置有第二传动轴，所述工作箱内底侧壁左半区域和中央区域分别设置有左盛放槽和右盛放槽，所述左盛放槽和右盛放槽内部分别设置有左滚珠轴承和右滚珠轴承，所述第一齿轮和第二齿轮均位于工作箱内部，所述第二传动轴底部穿过第一连接口、第一齿轮和左滚珠轴承上半区域，所述第一齿轮内侧壁与第二传动轴外侧壁连接，所述第二传动轴底部插入到左滚珠轴承内，第二传动轴与左滚珠轴承键连接，第二传动轴底部脱离工作箱，所述第二连接口与右盛放槽连通，所述工作箱内顶侧壁设置有上盛放槽，所述上盛放槽内部设置有上滚珠轴承，所述第一传动轴顶部穿过旋转口、第二连接口、右滚珠轴承和上滚珠轴承下半区域，第一传动轴与右滚珠轴承和上滚珠轴承键连接，第一传动轴顶部脱离工作箱顶部，所述第一齿轮和第二齿轮啮合连接；还包括上齿轮、下齿轮、上链条、下链条、左齿轮、右齿轮、左安装箱、右安装箱、左连接杆、右连接杆和一组第二搅拌叶，所述第一传动轴上半区域设置有上齿轮和下齿轮，上齿轮位于下齿轮上方，上齿轮和下齿轮内侧壁与第一传动轴外侧壁连接，所述筒体顶侧壁左半区域和右半区域分别设置有一组放置槽，一组放置槽内分别设置有一组下滚珠轴承，所述筒体顶侧壁设置有一组放置口，一组放置口均与清洗腔连通，一组放置口分别与一组放置槽连通，所述左连接杆和右连接杆底部分别穿过一组下滚珠轴承和一组放置口进入筒体内部，左连接杆和右连接杆分别与一组下滚珠轴承键连接，所述左安装箱和右安装箱内部分别设置有一组安装腔，所述左安装箱和右安装箱底侧壁分别与筒体顶侧壁左半区域和右半区域连接，所述左安装箱和右安装箱顶侧壁分别设置有一组过渡槽，所述一组过渡槽内分别设置有一组上滚珠轴承，所述左安装箱和右安装箱顶侧壁分别设置有一组第一过渡口，一组第一过渡口分别与一组安装腔连通，一组第一过渡口分别与一组过渡槽连通，所述左安装箱和右安装箱底侧壁分别设置有一组第二过渡口，所述左连接杆和右连接杆上半区域分别穿过一组第一过渡口和一组上滚珠轴承，左连接杆和右连接杆分别与一组上滚珠轴承键连接，所述下齿轮和左齿轮上设置有下链条，下链条与下齿轮和左齿轮啮合连接，所述上齿轮和右齿轮上设置有上链条，上链条与上齿轮和右齿轮啮合连接，所述一组第二搅拌叶左侧壁和右侧壁分别与右连接杆右侧壁下半区域和左连接杆左侧壁下半区域连接，所述左齿轮内侧壁与左连接杆外侧壁连接，所述右齿轮内侧壁与右连接杆外侧壁连接，所述左安装箱右侧壁和右安装箱左侧壁分别设置有一组链条进出口，一组链条进出口分别与一组安装腔连通，所述上链条和下链条分别穿过一组链条进出口；还包括挂钩、支撑块、固定销、下压杆、受力环、一组固定板、中心转轴、下连接杆和一组定位挡板，所述下连接杆顶侧壁与第一挡盖底端连接，所述下连接杆中央区域设置有第一旋转孔，所述一组固定板右侧壁均与筒体左侧壁连接，所述一组固定板中央区域分别设置有一组第二旋转孔，所述中心转轴穿过第一旋转孔和一组第二旋转孔，所述一组定位挡板前侧壁和后侧壁分别与中心转轴后侧壁和前侧壁连接，所述挂钩和支撑块右侧壁均与筒体左侧壁连接，所述挂钩左半区域穿过受力环顶部，所述下压杆下半区域和上半区域分别设置有第一连接孔和第二连接孔，所述支撑块中央区域设置有第三连接孔，所述固定销穿过第三连接孔和第二连接孔，所述受力环底部穿过第一连接孔。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括延长杆、内限位挡板和一组外限位挡板，所述下压杆内部设置有延长腔，所述下压杆底侧壁设置有延长口，延长口与延长腔连通，所述延长杆上半区域插入到延长腔中，所述延长杆顶侧壁与内限位挡板底侧壁中央区域连接，所述一组外限位挡板分别安装在下压杆内侧壁底部。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括一组刮板，所述一组刮板均安装在第一传动轴外侧壁底部。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括一组链条保护托盘，所述一组链条保护托盘左侧壁和右侧壁分别与左安装箱右侧壁下半区域和右安装箱左侧壁上半区域连接。

本发明的晶圆清洗回收机，所述工作箱顶侧壁左半区域设置有加油口。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括一组防脱板，所述一组防脱板前侧壁和后侧壁分别与固定销后侧壁和前侧壁连接。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括一组保护盖，所述一组保护盖中央区域分别纵向设置有一组保护孔，所述左连接杆和右连接杆分别穿过一组保护孔，一组保护盖底侧壁分别与左安装箱和右安装箱顶侧壁接触。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括软垫，所述软垫黏贴安装在筒体左侧壁下半区域。

与现有技术相比本发明的有益效果为：电机需要外界固定，第一齿轮外径小于第二齿轮外径，第二传动轴顶端与电机输出端连接，第二传动轴底端与左滚珠轴承内侧壁连接，并且第二传动轴底端不与工作箱内底侧壁接触，第二传动轴与左滚珠轴承键连接，从而第二传动轴在电机的带动下转动，进而带动第一齿轮转动，第二齿轮安装在第一传动轴上半区域，并且第二齿轮与第二传动轴连接，第一传动轴顶部与上滚珠轴承连接，并且第一传动轴上半区域与右滚珠轴承键连接，上滚珠轴承和右滚珠轴承减小第一传动轴转动时的摩擦力，使用者将电机通电，电能转化为电机的动能，从而带动第二传动轴转动，进而带动第一齿轮和第二齿轮转动，由于第二齿轮外径比第一齿轮外径大，第二齿轮的齿数比第一齿轮多，第二齿轮的转速比第一齿轮慢，再由第二齿轮输出，速度降低，输出扭矩增大，降低设备故障率，负荷小，提高使用可靠性；上齿轮和下齿轮均与第一传动轴连接，从而第一传动轴转动的同时会带动上齿轮和下齿轮转动，上齿轮通过上链条带动右齿轮转动，下齿轮通过下链条带动左齿轮转动，左安装箱和右安装箱将一组上滚珠轴承和一组下滚珠轴承分别固定起来，左连接杆和右连接杆在一组上滚珠轴承和一组下滚珠轴承的支撑下，左连接杆和右连接杆均可以以本身中心线为轴转动，一组上滚珠轴承和一组下滚珠轴承降低左连接杆和右连接杆转动的摩擦力，在左齿轮和右齿轮的带动下，左连接杆和右连接杆以本身中心线为轴转动，从而带动一组第二搅拌叶转动，一组第二搅拌叶分别与一组第一搅拌叶错位安装，提高搅拌效率，缩短搅拌时间，提高工作效率；中心转轴穿过一组固定板和下连接杆，并且一组定位挡板分别安装在中心转轴前端和后端，阻碍中心转轴脱离，从而下连接杆可以以中心转轴为中心轴转动，下连接杆与第一挡盖连接，从而第一挡盖可以以中心转轴为中心轴转动，当需要关闭第一挡盖时，使用者将挡盖右侧壁与筒体左侧壁接触，使用者向上转动下压杆，在支撑块和固定销的支撑下，下压杆以固定销为中心轴转动，从而带动受力环向上运动，直至挂钩穿过受力环上半区域停止向上转动，使用者向下转动下压杆，并且使挂钩一直穿过受力环上半区域，直至下压杆与第一挡盖接触，第一挡盖与筒体紧密接触，当需要打开第一挡盖时，使用者向上转动下压杆，在支撑块和固定销的作用下，下压杆以固定销为中心轴转动，直至挂钩脱离受力环上半区域，第一挡盖被打开，使用者打开第二挡盖，清洗后物料通过出料口排出，添加回收晶圆和清洗液过程较简单，降低使用局限性。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1中A部的局部放大图；

图3是图1中B部的局部放大图；

图4是一组固定板、中心转轴、下连接杆和一组定位挡板连接示意左视图；

图5是第一齿轮和第二齿轮的连接示意俯视图；

附图中标记：1、筒体；2、第一搅拌叶；3、第一挡盖；4、第二挡盖；5、第一传动轴；6、电机；7、工作箱；8、第一齿轮；9、第二齿轮；10、第二传动轴；11、左滚珠轴承；12、右滚珠轴承；13、上滚珠轴承；14、上齿轮；15、下齿轮；16、上链条；17、下链条；18、左齿轮；19、右齿轮；20、左安装箱；21、右安装箱；22、左连接杆；23、右连接杆；24、第二搅拌叶；25、下滚珠轴承；26、上滚珠轴承；27、挂钩；28、支撑块；29、固定销；30、下压杆；31、受力环；32、固定板；33、中心转轴；34、下连接杆；35、定位挡板；36、延长杆；37、内限位挡板；38、外限位挡板；39、刮板；40、链条保护托盘；41、防脱板；42、保护盖；43、软垫。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1至图5所示，本发明的晶圆清洗回收机，包括筒体1、一组第一搅拌叶2、第一挡盖3、第二挡盖4和第一传动轴5，筒体内部设置有清洗腔，筒体左侧壁上半区域和右侧壁下半区域分别设置有旋转口、进入口和出料口，进入口处和出料口处分别设置有第一挡盖和第二挡盖，第二挡盖螺装至筒体，旋转口、进入口和出料口均与清洗腔连通，筒体上方设置有电机6，第一传动轴穿过旋转口进入筒体内部，第一传动轴下半区域设置有一组第一搅拌叶；还包括工作箱7、第一齿轮8、第二齿轮9和第二传动轴10，工作箱内部设置有工作腔，工作箱顶侧壁左半区域和下侧壁中央区域分别设置有第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口均与工作腔连通，电机位于工作箱上方，电机输出端设置有第二传动轴，工作箱内底侧壁左半区域和中央区域分别设置有左盛放槽和右盛放槽，左盛放槽和右盛放槽内部分别设置有左滚珠轴承11和右滚珠轴承12，第一齿轮和第二齿轮均位于工作箱内部，第二传动轴底部穿过第一连接口、第一齿轮和左滚珠轴承上半区域，第一齿轮内侧壁与第二传动轴外侧壁连接，第二传动轴底部插入到左滚珠轴承内，第二传动轴与左滚珠轴承键连接，并且第二传动轴底部脱离工作箱，第二连接口与右盛放槽连通，工作箱内顶侧壁设置有上盛放槽，上盛放槽内部设置有上滚珠轴承13，第一传动轴顶部穿过旋转口、第二连接口、右滚珠轴承和上滚珠轴承下半区域，第一传动轴与右滚珠轴承和上滚珠轴承键连接，并且第一传动轴顶部脱离工作箱顶部，第一齿轮和第二齿轮啮合连接；还包括上齿轮14、下齿轮15、上链条16、下链条17、左齿轮18、右齿轮19、左安装箱20、右安装箱21、左连接杆22、右连接杆23和一组第二搅拌叶24，第一传动轴上半区域设置有上齿轮和下齿轮，并且上齿轮位于下齿轮上方，上齿轮和下齿轮内侧壁与第一传动轴外侧壁连接，筒体顶侧壁左半区域和右半区域分别设置有一组放置槽，一组放置槽内分别设置有一组下滚珠轴承25，筒体顶侧壁设置有一组放置口，一组放置口均与清洗腔连通，并且一组放置口分别与一组放置槽连通，左连接杆和右连接杆底部分别穿过一组下滚珠轴承和一组放置口进入筒体内部，并且左连接杆和右连接杆分别与一组下滚珠轴承键连接，左安装箱和右安装箱内部分别设置有一组安装腔，左安装箱和右安装箱底侧壁分别与筒体顶侧壁左半区域和右半区域连接，左安装箱和右安装箱顶侧壁分别设置有一组过渡槽，一组过渡槽内分别设置有一组上滚珠轴承26，左安装箱和右安装箱顶侧壁分别设置有一组第一过渡口，一组第一过渡口分别与一组安装腔连通，并且一组第一过渡口分别与一组过渡槽连通，左安装箱和右安装箱底侧壁分别设置有一组第二过渡口，左连接杆和右连接杆上半区域分别穿过一组第一过渡口和一组上滚珠轴承，并且左连接杆和右连接杆分别与一组上滚珠轴承键连接，下齿轮和左齿轮上设置有下链条，并且下链条与下齿轮和左齿轮啮合连接，上齿轮和右齿轮上设置有上链条，并且上链条与上齿轮和右齿轮啮合连接，一组第二搅拌叶左侧壁和右侧壁分别与右连接杆右侧壁下半区域和左连接杆左侧壁下半区域连接，左齿轮内侧壁与左连接杆外侧壁连接，右齿轮内侧壁与右连接杆外侧壁连接，左安装箱右侧壁和右安装箱左侧壁分别设置有一组链条进出口，一组链条进出口分别与一组安装腔连通，上链条和下链条分别穿过一组链条进出口；还包括挂钩27、支撑块28、固定销29、下压杆30、受力环31、一组固定板32、中心转轴33、下连接杆34和一组定位挡板35，下连接杆顶侧壁与第一挡盖底端连接，下连接杆中央区域设置有第一旋转孔，一组固定板右侧壁均与筒体左侧壁连接，一组固定板中央区域分别设置有一组第二旋转孔，中心转轴穿过第一旋转孔和一组第二旋转孔，一组定位挡板前侧壁和后侧壁分别与中心转轴后侧壁和前侧壁连接，挂钩和支撑块右侧壁均与筒体左侧壁连接，挂钩左半区域穿过受力环顶部，下压杆下半区域和上半区域分别设置有第一连接孔和第二连接孔，支撑块中央区域设置有第三连接孔，固定销穿过第三连接孔和第二连接孔，受力环底部穿过第一连接孔；电机需要外界固定，第一齿轮外径小于第二齿轮外径，第二传动轴顶端与电机输出端连接，第二传动轴底端与左滚珠轴承内侧壁连接，并且第二传动轴底端不与工作箱内底侧壁接触，第二传动轴与左滚珠轴承键连接，从而第二传动轴在电机的带动下转动，进而带动第一齿轮转动，第二齿轮安装在第一传动轴上半区域，并且第二齿轮与第二传动轴连接，第一传动轴顶部与上滚珠轴承连接，并且第一传动轴上半区域与右滚珠轴承键连接，上滚珠轴承和右滚珠轴承减小第一传动轴转动时的摩擦力，使用者将电机通电，电能转化为电机的动能，从而带动第二传动轴转动，进而带动第一齿轮和第二齿轮转动，由于第二齿轮外径比第一齿轮外径大，第二齿轮的齿数比第一齿轮多，第二齿轮的转速比第一齿轮慢，再由第二齿轮输出，速度降低，输出扭矩增大，降低设备故障率，负荷小，提高使用可靠性；上齿轮和下齿轮均与第一传动轴连接，从而第一传动轴转动的同时会带动上齿轮和下齿轮转动，上齿轮通过上链条带动右齿轮转动，下齿轮通过下链条带动左齿轮转动，左安装箱和右安装箱将一组上滚珠轴承和一组下滚珠轴承分别固定起来，左连接杆和右连接杆在一组上滚珠轴承和一组下滚珠轴承的支撑下，左连接杆和右连接杆均可以以本身中心线为轴转动，一组上滚珠轴承和一组下滚珠轴承降低左连接杆和右连接杆转动的摩擦力，在左齿轮和右齿轮的带动下，左连接杆和右连接杆以本身中心线为轴转动，从而带动一组第二搅拌叶转动，一组第二搅拌叶分别与一组第一搅拌叶错位安装，提高搅拌效率，缩短搅拌时间，提高工作效率；中心转轴穿过一组固定板和下连接杆，并且一组定位挡板分别安装在中心转轴前端和后端，阻碍中心转轴脱离，从而下连接杆可以以中心转轴为中心轴转动，下连接杆与第一挡盖连接，从而第一挡盖可以以中心转轴为中心轴转动，当需要关闭第一挡盖时，使用者将挡盖右侧壁与筒体左侧壁接触，使用者向上转动下压杆，在支撑块和固定销的支撑下，下压杆以固定销为中心轴转动，从而带动受力环向上运动，直至挂钩穿过受力环上半区域停止向上转动，使用者向下转动下压杆，并且使挂钩一直穿过受力环上半区域，直至下压杆与第一挡盖接触，第一挡盖与筒体紧密接触，当需要打开第一挡盖时，使用者向上转动下压杆，在支撑块和固定销的作用下，下压杆以固定销为中心轴转动，直至挂钩脱离受力环上半区域，第一挡盖被打开，使用者打开第二挡盖，清洗后物料通过出料口排出，添加回收晶圆和清洗液过程较简单，降低使用局限性。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括延长杆36、内限位挡板37和一组外限位挡板38，下压杆内部设置有延长腔，下压杆底侧壁设置有延长口，延长口与延长腔连通，延长杆上半区域插入到延长腔中，延长杆顶侧壁与内限位挡板底侧壁中央区域连接，一组外限位挡板分别安装在下压杆内侧壁底部；延长杆间接延长下压杆的长度，使用者更方便的转动下压杆，内限位挡板和一组外限位挡板共同作用，阻碍延长杆脱离下压杆。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括一组刮板39，一组刮板均安装在第一传动轴外侧壁底部；第一传动轴转动的同时带动一组刮板运动，对筒体内底部物料进行搅拌，提高清洗效果。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括一组链条保护托盘40，一组链条保护托盘左侧壁和右侧壁分别与左安装箱右侧壁下半区域和右安装箱左侧壁上半区域连接；一组链条保护托盘分别安装在上链条和下链条下方，阻碍上链条和下链条脱离上齿轮、下齿轮、左齿轮和右齿轮，提高使用稳定性。

本发明的晶圆清洗回收机，工作箱顶侧壁左半区域设置有加油口；使用者可通过加油口定期对第一齿轮和第二齿轮加润滑油，提高使用稳定性。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括一组防脱板41，一组防脱板前侧壁和后侧壁分别与固定销后侧壁和前侧壁连接；一组防脱板阻碍固定销脱离一组固定板，提高使用可靠性。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括一组保护盖42，一组保护盖中央区域分别纵向设置有一组保护孔，左连接杆和右连接杆分别穿过一组保护孔，一组保护盖底侧壁分别与左安装箱和右安装箱顶侧壁接触；一组保护盖阻碍外界杂质进入一组上滚珠轴承，提高使用稳定性。

本发明的晶圆清洗回收机，还包括软垫43，软垫黏贴安装在筒体左侧壁下半区域；软垫减弱挡盖与筒体之间的碰撞。

本发明的晶圆清洗回收机，电机需要外界固定，第一齿轮外径小于第二齿轮外径，第二传动轴顶端与电机输出端连接，第二传动轴底端与左滚珠轴承内侧壁连接，并且第二传动轴底端不与工作箱内底侧壁接触，第二传动轴与左滚珠轴承键连接，从而第二传动轴在电机的带动下转动，进而带动第一齿轮转动，第二齿轮安装在第一传动轴上半区域，并且第二齿轮与第二传动轴连接，第一传动轴顶部与上滚珠轴承连接，并且第一传动轴上半区域与右滚珠轴承键连接，上滚珠轴承和右滚珠轴承减小第一传动轴转动时的摩擦力，使用者将电机通电，电能转化为电机的动能，从而带动第二传动轴转动，进而带动第一齿轮和第二齿轮转动，由于第二齿轮外径比第一齿轮外径大，第二齿轮的齿数比第一齿轮多，第二齿轮的转速比第一齿轮慢，再由第二齿轮输出，速度降低，输出扭矩增大，使用者可通过加油口定期对第一齿轮和第二齿轮加润滑油，降低设备故障率，负荷小，提高使用可靠性，上齿轮和下齿轮均与第一传动轴连接，从而第一传动轴转动的同时会带动上齿轮和下齿轮转动，上齿轮通过上链条带动右齿轮转动，下齿轮通过下链条带动左齿轮转动，一组链条保护托盘分别安装在上链条和下链条下方，阻碍上链条和下链条脱离上齿轮、下齿轮、左齿轮和右齿轮，左安装箱和右安装箱将一组上滚珠轴承和一组下滚珠轴承分别固定起来，左连接杆和右连接杆在一组上滚珠轴承和一组下滚珠轴承的支撑下，左连接杆和右连接杆均可以以本身中心线为轴转动，一组上滚珠轴承和一组下滚珠轴承降低左连接杆和右连接杆转动的摩擦力，一组保护盖阻碍外界杂质进入一组上滚珠轴承，在左齿轮和右齿轮的带动下，左连接杆和右连接杆以本身中心线为轴转动，从而带动一组第二搅拌叶转动，一组第二搅拌叶分别与一组第一搅拌叶错位安装，第一传动轴转动的同时带动一组刮板运动，对筒体内底部物料进行搅拌，提高搅拌效率，缩短搅拌时间，提高工作效率，中心转轴穿过一组固定板和下连接杆，并且一组定位挡板分别安装在中心转轴前端和后端，阻碍中心转轴脱离，从而下连接杆可以以中心转轴为中心轴转动，下连接杆与第一挡盖连接，从而第一挡盖可以以中心转轴为中心轴转动，当需要关闭第一挡盖时，使用者将挡盖右侧壁与筒体左侧壁接触，使用者向上转动下压杆，延长杆间接延长下压杆的长度，使用者更方便的转动下压杆，内限位挡板和一组外限位挡板共同作用，阻碍延长杆脱离下压杆，在支撑块和固定销的支撑下，下压杆以固定销为中心轴转动，一组防脱板阻碍固定销脱离一组固定板，从而带动受力环向上运动，直至挂钩穿过受力环上半区域停止向上转动，使用者向下转动下压杆，并且使挂钩一直穿过受力环上半区域，直至下压杆与第一挡盖接触，第一挡盖与筒体紧密接触，当需要打开第一挡盖时，使用者向上转动下压杆，在支撑块和固定销的作用下，下压杆以固定销为中心轴转动，直至挂钩脱离受力环上半区域，第一挡盖被打开，软垫减弱挡盖与筒体之间的碰撞，使用者打开第二挡盖，清洗后物料通过出料口排出，添加回收晶圆和清洗液过程较简单，降低使用局限性。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种晶圆清洗回收机，包括筒体（1）、一组第一搅拌叶（2）、第一挡盖（3）、第二挡盖（4）和第一传动轴（5），筒体（1）内部设置有清洗腔，筒体（1）左侧壁上半区域和右侧壁下半区域分别设置有旋转口、进入口和出料口，进入口处和出料口处分别设置有第一挡盖（3）和第二挡盖（4），第二挡盖（4）螺装至筒体（1），旋转口、进入口和出料口均与清洗腔连通，筒体（1）上方设置有电机（6），第一传动轴（5）穿过旋转口进入筒体（1）内部，第一传动轴（5）下半区域设置有一组第一搅拌叶（2）；其特征在于，还包括工作箱（7）、第一齿轮（8）、第二齿轮（9）和第二传动轴（10），所述工作箱（7）内部设置有工作腔，所述工作箱（7）顶侧壁左半区域和下侧壁中央区域分别设置有第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口均与工作腔连通，所述电机（6）位于工作箱（7）上方，所述电机（6）输出端设置有第二传动轴（10），所述工作箱（7）内底侧壁左半区域和中央区域分别设置有左盛放槽和右盛放槽，所述左盛放槽和右盛放槽内部分别设置有左滚珠轴承（11）和右滚珠轴承（12），所述第一齿轮（8）和第二齿轮（9）均位于工作箱（7）内部，所述第二传动轴（10）底部穿过第一连接口、第一齿轮（8）和左滚珠轴承（11）上半区域，所述第一齿轮（8）内侧壁与第二传动轴（10）外侧壁连接，所述第二传动轴（10）底部插入到左滚珠轴承（11）内，第二传动轴（10）与左滚珠轴承（11）键连接，第二传动轴（10）底部脱离工作箱（7），所述第二连接口与右盛放槽连通，所述工作箱（7）内顶侧壁设置有上盛放槽，所述上盛放槽内部设置有上滚珠轴承（26）（13），所述第一传动轴（5）顶部穿过旋转口、第二连接口、右滚珠轴承（12）和上滚珠轴承（26）（13）下半区域，第一传动轴（5）与右滚珠轴承（12）和上滚珠轴承（26）（13）键连接，第一传动轴（5）顶部脱离工作箱（7）顶部，所述第一齿轮（8）和第二齿轮（9）啮合连接；还包括上齿轮（14）、下齿轮（15）、上链条（16）、下链条（17）、左齿轮（18）、右齿轮（19）、左安装箱（20）、右安装箱（21）、左连接杆（22）、右连接杆（23）和一组第二搅拌叶（24），所述第一传动轴（5）上半区域设置有上齿轮（14）和下齿轮（15），上齿轮（14）位于下齿轮（15）上方，上齿轮（14）和下齿轮（15）内侧壁与第一传动轴（5）外侧壁连接，所述筒体（1）顶侧壁左半区域和右半区域分别设置有一组放置槽，一组放置槽内分别设置有一组下滚珠轴承（25），所述筒体（1）顶侧壁设置有一组放置口，一组放置口均与清洗腔连通，一组放置口分别与一组放置槽连通，所述左连接杆（22）和右连接杆（23）底部分别穿过一组下滚珠轴承（25）和一组放置口进入筒体（1）内部，左连接杆（22）和右连接杆（23）分别与一组下滚珠轴承（25）键连接，所述左安装箱（20）和右安装箱（21）内部分别设置有一组安装腔，所述左安装箱（20）和右安装箱（21）底侧壁分别与筒体（1）顶侧壁左半区域和右半区域连接，所述左安装箱（20）和右安装箱（21）顶侧壁分别设置有一组过渡槽，所述一组过渡槽内分别设置有一组上滚珠轴承（26）（13），所述左安装箱（20）和右安装箱（21）顶侧壁分别设置有一组第一过渡口，一组第一过渡口分别与一组安装腔连通，一组第一过渡口分别与一组过渡槽连通，所述左安装箱（20）和右安装箱（21）底侧壁分别设置有一组第二过渡口，所述左连接杆（22）和右连接杆（23）上半区域分别穿过一组第一过渡口和一组上滚珠轴承（26）（13），左连接杆（22）和右连接杆（23）分别与一组上滚珠轴承（26）（13）键连接，所述下齿轮（15）和左齿轮（18）上设置有下链条（17），下链条（17）与下齿轮（15）和左齿轮（18）啮合连接，所述上齿轮（14）和右齿轮（19）上设置有上链条（16），上链条（16）与上齿轮（14）和右齿轮（19）啮合连接，所述一组第二搅拌叶（24）左侧壁和右侧壁分别与右连接杆（23）右侧壁下半区域和左连接杆（22）左侧壁下半区域连接，所述左齿轮（18）内侧壁与左连接杆（22）外侧壁连接，所述右齿轮（19）内侧壁与右连接杆（23）外侧壁连接，所述左安装箱（20）右侧壁和右安装箱（21）左侧壁分别设置有一组链条进出口，一组链条进出口分别与一组安装腔连通，所述上链条（16）和下链条（17）分别穿过一组链条进出口；还包括挂钩（27）、支撑块（28）、固定销（29）、下压杆（30）、受力环（31）、一组固定板（32）、中心转轴（33）、下连接杆（34）和一组定位挡板（35），所述下连接杆（34）顶侧壁与第一挡盖（3）底端连接，所述下连接杆（34）中央区域设置有第一旋转孔，所述一组固定板（32）右侧壁均与筒体（1）左侧壁连接，所述一组固定板（32）中央区域分别设置有一组第二旋转孔，所述中心转轴（33）穿过第一旋转孔和一组第二旋转孔，所述一组定位挡板（35）前侧壁和后侧壁分别与中心转轴（33）后侧壁和前侧壁连接，所述挂钩（27）和支撑块（28）右侧壁均与筒体（1）左侧壁连接，所述挂钩（27）左半区域穿过受力环（31）顶部，所述下压杆（30）下半区域和上半区域分别设置有第一连接孔和第二连接孔，所述支撑块（28）中央区域设置有第三连接孔，所述固定销（29）穿过第三连接孔和第二连接孔，所述受力环（31）底部穿过第一连接孔。

2.如权利要求1所述的晶圆清洗回收机，其特征在于，还包括延长杆（36）、内限位挡板（37）和一组外限位挡板（38），所述下压杆（30）内部设置有延长腔，所述下压杆（30）底侧壁设置有延长口，延长口与延长腔连通，所述延长杆（36）上半区域插入到延长腔中，所述延长杆（36）顶侧壁与内限位挡板（37）底侧壁中央区域连接，所述一组外限位挡板（38）分别安装在下压杆（30）内侧壁底部。

3.如权利要求2所述的晶圆清洗回收机，其特征在于，还包括一组刮板（39），所述一组刮板（39）均安装在第一传动轴外侧壁底部。

4.如权利要求3所述的晶圆清洗回收机，其特征在于，还包括一组链条保护托盘（40），所述一组链条保护托盘（40）左侧壁和右侧壁分别与左安装箱（20）右侧壁下半区域和右安装箱（21）左侧壁上半区域连接。

5.如权利要求4所述的晶圆清洗回收机，其特征在于，所述工作箱（7）顶侧壁左半区域设置有加油口。

6.如权利要求5所述的晶圆清洗回收机，其特征在于，还包括一组防脱板（41），所述一组防脱板（41）前侧壁和后侧壁分别与固定销（29）后侧壁和前侧壁连接。

7.如权利要求6所述的晶圆清洗回收机，其特征在于，还包括一组保护盖（42），所述一组保护盖（42）中央区域分别纵向设置有一组保护孔，所述左连接杆（22）和右连接杆（23）分别穿过一组保护孔，一组保护盖（42）底侧壁分别与左安装箱（20）和右安装箱（21）顶侧壁接触。

8.如权利要求7所述的晶圆清洗回收机，其特征在于，还包括软垫（43），所述软垫（43）黏贴安装在筒体（1）左侧壁下半区域。