CN108883496A - 激光加工机 - Google Patents

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Abstract

激光加工机具备使激光的光束参数积改变的光束参数积改变装置(31)和使从光束参数积改变装置(31)射出的激光的光束直径改变的光束直径改变装置(32)。光束参数积改变装置(31)将光束参数积设定为预定的值。光束直径改变装置(32)具有：能够在光轴方向自由移动，具有正的焦距，将从激光的射出端射出的激光的扩散光变换为收敛光的第1透镜(28)、以及能够在光轴方向自由移动，具有负的焦距，入射收敛光的第2透镜(30)。第3透镜(27)具有正的焦距，将从光束直径改变装置(32)射出的激光聚光而照射到板材。

Description

激光加工机
技术领域
本发明涉及利用激光对金属的板材进行切断加工的激光加工机。
背景技术
正在普及利用由激光振荡器射出的激光来对金属的板材进行切断加工的激光加工机。激光加工机中使用各种激光振荡器。为了对厚度比较薄的板材高速进行切断加工，例如常用光纤激光振荡器。光纤激光振荡器除了适合于板材的高速切断加工的优点以外，还具有与CO2激光振荡器相比小型以及低成本的优点。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:德国专利申请公开第10 2011 117 607 A1号说明书
专利文献2:日本特表2015－500571号公报
发明内容
在厚度比较薄的板材中，将板厚例如为6mm～30mm的板材称为厚板，将板厚例如为0.1mm～6mm的板材称为薄板。此外，本领域中也有将板厚例如为2mm～12mm的板材称为中厚板的情况。通过相同的激光加工机仅变更加工条件难以对厚板和薄板进行切断加工。这里的加工条件例如为激光的功率、使激光脉冲振荡时的脉冲的占空比、焦点位置、辅助气体的种类或者气压。
因此，以往的激光加工机中，为了对厚板和薄板双方进行切断加工，必须更换透镜等的光学系统要素或者加工喷嘴这样的激光加工机的构成部件。构成部件的更换繁琐，导致成本的上升，所以期望不用更换构成部件就能够对厚板和薄板的双方进行切断加工的激光加工机。
实施方式的目的在于，提供不用更换构成部件就能够对预定范围的板厚的板材进行切断加工的激光加工机。
根据实施方式的一方式，提供一种激光加工机，具备：光束参数积改变装置，使从激光振荡器射出的激光的光束参数积改变；光束直径改变装置，使从上述光束参数积改变装置射出的激光的光束直径改变，上述光束参数积改变装置将激光的光束参数积设定为预定的值，上述光束直径改变装置具有：第1透镜，其能够在光轴方向自由移动，具有正的焦距，将从激光的射出端射出的激光的扩散光变换为收敛光；第2透镜，其能够在光轴方向自由移动，具有负的焦距，被入射上述收敛光，上述第2透镜与上述第1透镜的光轴方向的位置对应地配置在从上述收敛光聚光的位置起向上述第1透镜侧偏离与上述第2透镜的焦距相同的距离的位置，将上述收敛光变换为平行光，上述激光加工机还具备第3透镜，该第3透镜具有正的焦距，使从上述光束直径改变装置射出的激光聚光而照射到板材。
上述的激光加工机中，优选还具备：用于使上述第1透镜移动的第1移动机构；用于使上述第2透镜移动的第2移动机构；驱动上述第1移动机构的第1驱动部；驱动上述第2移动机构的第2驱动部；控制部，其控制上述第1驱动部以及第2驱动部，以使上述第1透镜以及第2透镜根据上述板材的加工条件而移动。
上述的激光加工机中，优选上述控制部控制上述光束参数积改变装置，以使激光的光束参数积改变。
上述控制部将上述第1驱动部以及第2驱动部控制为：上述板材的板厚越薄，越增大入射到上述第3透镜的激光的光束直径以使聚光直径越小，上述板材的板厚越厚，越减小入射到上述第3透镜的激光的光束直径以使聚光直径越大。即使上述第1驱动部以及第2驱动部使上述第1透镜以及第2透镜移动，从上述第3透镜射出并在上述板材上聚光的激光的焦点位置也恒定。
上述的激光加工机中，优选上述第3透镜构成为能够在光轴方向自由移动，使激光的焦点位置变化。
上述的激光加工机中，优选还具备：用于使上述第1透镜移动的第1移动机构；用于使上述第2透镜移动的第2移动机构；用于使上述第3透镜移动的第3移动机构；驱动上述第1移动机构的第1驱动部；驱动上述第2移动机构的第2驱动部；驱动上述第3移动机构的第3驱动部；控制部，其控制上述第1驱动部、上述第2驱动部以及上述第3驱动部，以使上述第1透镜、上述第2透镜以及上述第3透镜根据上述板材的加工条件而移动。
上述的激光加工机中，优选上述控制部控制上述光束参数积改变装置，以使激光的光束参数积改变。
根据实施方式的激光加工机，不用更换构成部件就能够对预定范围的板厚的板材进行切断加工。
附图说明
图1是表示一实施方式的激光加工机的整体的结构例的立体图。
图2是表示用光纤激光振荡器11F构成图1中的激光振荡器11的情况的概略结构的图。
图3是表示用直接二极管激光振荡器11D构成图1中的激光振荡器11的情况的概略结构的图。
图4是表示图1中的光束参数积改变装置31的结构例的图。
图5是表示使图1中的凸透镜28和凹透镜30和聚光透镜27自由移动的概略结构例的图。
图6是用于说明使凸透镜28和凹透镜30和聚光透镜27移动的方法的图。
图7是用于说明激光的聚光直径以及发散角的图。
图8是用于说明光束参数积改变装置31的作用的图。
具体实施方式
以下，参照附图，对一实施方式的激光加工机进行说明。图1中，激光加工机100具备：生成激光并射出的激光振荡器11、使从激光振荡器11射出的激光的光束参数积(BeamParameter Products)改变的光束参数积改变装置31、以及激光加工单元15。以下，将光束参数积称为BPP，将光束参数积改变装置31称为BPP改变装置31。
激光振荡器11和BPP改变装置31通过传输光纤121连接，传输光纤121将从激光振荡器11射出的激光传送给BPP改变装置31。
BPP改变装置31和激光加工单元15通过操作光纤122连接，操作光纤122将从BPP改变装置31射出的激光传送给激光加工单元15。操作光纤122沿着配置在激光加工单元15的X轴以及Y轴的电缆管(未图示)安装。
激光加工机100利用从激光振荡器11射出的激光对金属的板材W1进行切断加工。
作为激光振荡器11，将从激光二极管发出的激励光进行放大来射出预定的波长的激光的激光振荡器、或者直接利用从激光二极管发出的激光的激光振荡器是适合的。激光振荡器11例如为固体激光振荡器、光纤激光振荡器、碟形激光振荡器、直接二极管激光振荡器(DDL振荡器)。
激光加工单元15具有载置板材W1的加工台21、在加工台21上能够在X轴方向自由移动的门型的X轴支架22、在X轴支架22上能够在与X轴垂直的Y轴方向自由移动的Y轴支架23。另外，激光加工单元15具有固定于Y轴支架23的准直单元29。
准直单元29具有入射从操作光纤122的射出端射出的激光的凸透镜28、入射从凸透镜28射出的激光的凹透镜30。另外，准直单元29具有使从凹透镜30射出的激光向与X轴以及Y轴垂直的Z轴方向下方反射的折弯镜面25、使被折弯镜面25反射的激光聚光的聚光透镜27、以及加工头26。
凸透镜28是具有正焦距的透镜，凹透镜30是具有负焦距的透镜，聚光透镜27是具有正焦距的透镜。聚光透镜27是凸透镜。凸透镜28和凹透镜30具有使入射的激光的各个光束成为平行光的准直透镜的功能。
如后述，凸透镜28和凹透镜30和聚光透镜27构成为能够在光轴方向自由移动。凸透镜28以及凹透镜30构成使光束直径改变的光束直径改变装置32(图5或者图6参照)。
凸透镜28以及凹透镜30、折弯镜面25，聚光透镜27、加工头26在光轴预先被调整的状态下配置在准直单元29内。
准直单元29被固定于能够在Y轴方向自由移动的Y轴支架23，Y轴支架23被设置在能够在X轴方向自由移动的X轴支架22上。因此，激光加工单元15能够使将从加工头26射出的激光照射在板材W1上的位置向X轴方向以及Y轴方向移动。
通过以上的结构，激光加工机100能够将从激光振荡器11射出的激光经由BPP改变装置31传送到激光加工单元15，将通过聚光透镜27聚光的激光照射到板材W1来对板材W1进行切断加工。图1中，将BPP改变装置31设置在激光振荡器11的外部，然而也可以将BPP改变装置31设置在激光振荡器11的壳体的内部。
此外，在对板材W1进行切断加工时，对板材W1喷射用于去除熔融物的辅助气体。图1中，喷射辅助气体的结构省略了图示。
图2表示由光纤激光振荡器11F构成激光振荡器11的情况的概略的结构。图2中，多个激光二极管110分别射出波长λ的激光。激励合成器111使从多个激光二极管110射出的激光进行空间光束叠加。
从激励合成器111射出的激光入射到2个光纤布拉格光栅(FBG)112以及114之间的Yb掺杂光纤113。Yb掺杂光纤113是在纤芯中添加了稀土类的Yb(镱)元素的光纤。
入射到Yb掺杂光纤113的激光在FBG112以及114间反复往复，从FBG114射出与波长λ不同的大体1060nm～1080nm的波长λ’(1μm段)的激光。从FBG114射出的激光经由传输光纤115以及光束耦合器116入射到传输光纤121。光束耦合器116具有透镜1161以及1162。
图3表示由DDL振荡器11D构成激光振荡器11的情况的概略的结构。图3中，多个激光二极管117分别射出相互不同波长λ1～λn的激光。波长λ1～λn(比1μm段短的波段)例如为910nm～950nm。
光学箱118使从多个激光二极管117射出的波长λ1～λn的激光进行空间光束叠加。光学箱118具有准直透镜1181、光栅1182和聚光透镜1183。
准直透镜1181使波长λ1～λn的激光成为平行光。光栅1182将平行光化的激光的方向弯曲90度，入射到聚光透镜1183。聚光透镜1183将入射的激光聚光而入射到传输光纤121。
使用图4，对BPP改变装置31的结构例进行说明。BPP改变装置31具有配置在传输光纤121的射出端和操作光纤122的入射端之间的聚光透镜311、以及使传输光纤121的端部的位置移动的移动机构312。
如图4所示，操作光纤122是包层1222覆盖纤芯1221的周围的结构。纤芯1221的折射率比包层1222的折射率高。传输光纤121也是相同的结构。
若使用移动机构312使相对于聚光透镜311的传输光纤121的端部的位置变化，则入射到聚光透镜311的激光的入射位置变化，聚光透镜311使入射到操作光纤122的纤芯1221的激光的入射角度变化。
在传输光纤121处于用实线表示的位置时，激光如实线所示那样前进，在传输光纤121处于用点划线表示的位置时，激光如点划线所示那样前进。其结果，从操作光纤122射出的激光的BPP变化。
BPP改变装置31不限于图4所示的结构，只要是能够使BPP变化的结构则可以是任意的结构。也可以是使传输光纤121的位置固定，使透镜移动，从而使入射到操作光纤122的激光的入射角度变化的结构。也可以在操作光纤122的入射端进一步具备透镜。
使用图5，对能够自由移动凸透镜28、凹透镜30和聚光透镜27的概略的结构例进行说明。图5中，构成光束直径改变装置32的凸透镜28以及凹透镜30分别安装于用于使凸透镜28以及凹透镜30向光轴方向(图1的X轴向)自由移动的移动机构281以及301。聚光透镜27安装于用于使聚光透镜27向光轴方向(图1的Z轴方向)自由移动的移动机构271。
移动机构281、301以及271例如是使用齿轮、皮带、齿条和小齿轮、蜗轮、滚珠丝杠等的任一(或者这些的任意组合)，使凸透镜28、凹透镜30和聚光透镜27分别自由移动的机构即可。
凸透镜28、凹透镜30和聚光透镜27分别通过驱动部282、302以及272驱动移动机构281、301以及271，由此，如箭头所示向光轴方向移动。驱动部282、302以及272例如为电动机。
控制部50控制驱动部282、302以及272。控制部50能够用微处理器构成。控制部50可以是控制激光加工机100的整体的NC装置。
操作人员能够操作操作部51来设定板材W1的材料的种类、板材W1的板厚、激光的聚光直径、焦点位置等各种加工条件。板材W1的材料例如为铁、不锈钢、铝、铜、黄铜。板材W1的板厚例如以0.1mm～30mm为预定的范围，为预定的范围内的任意的板厚。
控制部50控制驱动部282以及302对移动机构281以及301的驱动，以便根据通过操作部51输入的板材W1的加工条件来调整凸透镜28以及凹透镜30的位置。
在通过操作部51输入了激光的聚光直径的情况下，控制部50控制驱动部282以及302，使其根据输入的聚光直径调整凸透镜28以及凹透镜30的位置。
即使不输入激光的聚光直径，只要输入板材W1的材料的种类以及板厚，就基本决定最佳的聚光直径。在通过操作部51输入了板材W1的材料的种类以及板厚的情况下，控制部50能够控制驱动部282以及302，使其根据与输入的材料的种类以及板厚对应的聚光直径，调整凸透镜28以及凹透镜30的位置。
控制部50可以基于加工条件通过计算求出必要的聚光直径，也可以读出预先保持的各加工条件所对应的聚光直径。
在通过操作部51输入了焦点位置的情况下，控制部50控制驱动部272对移动机构271的驱动，以便根据输入的焦点位置调整聚光透镜27的位置。
图5中，激光作为发散光从操作光纤122的射出端122e如点划线所示射出。
凸透镜28以从射出端122e到凸透镜28为止的距离为凸透镜28的焦距以下的方式配置。因此，凸透镜28将激光的扩散光变换为收敛光。控制部50使凸透镜28在从射出端122e到凸透镜28为止的距离为凸透镜28的焦距以下的范围内向光轴方向移动。
若凹透镜30配置在后述的最佳的位置，则凹透镜30将收敛光变换为平行光。这里的平行光指的是激光的光束为平行光。从凹透镜30射出的平行光被折弯镜面25反射后光路被弯曲，入射到聚光透镜27。聚光透镜27以焦点位置处于板材W1的表面或者其附近的方式对平行光聚光，使激光照射到板材W1。
控制部50控制BPP改变装置31以使BPP变化。
使用图6的(a)～(c)，对光束直径改变装置32的作用进行说明。图6的(a)～(c)概念性地示出省略图5中的折弯镜面25，且以光轴成一直线的方式配置凸透镜28、凹透镜30和聚光透镜27的状态。
图6的(a)～(c)中，假设不存在凹透镜30，来自凸透镜28的收敛光聚光的位置为点Pf28。若将凹透镜30配置在比点Pf28靠凸透镜28侧，偏离与凹透镜30的焦距相同的距离L的位置，则凹透镜30将收敛光变换为平行光。
如图6的(a)以及(b)所示，从凹透镜30射出的平行光的光束直径D根据从凸透镜28射出的收敛光的收敛角而变化。
图7概念性地放大示出在板材W1的表面或者其附近聚光的激光的束腰周边。图7的左侧为板材W1的上方侧，右侧为板材W1的下方侧。
聚光直径d如式(1)所示。瑞利长度Zr如式(2)表示。式(1)以及(2)中，f为聚光透镜27的焦距。此外，BPP以束腰的半径d/2和光束的发散角的半峰半宽θ的积表示。
[式1]
[式2]
即使使凸透镜28以及凹透镜30或者聚光透镜27移动，BPP也不变化。若假设不通过BPP改变装置31来使BPP变化，则根据式(1)以及(2)，聚光直径d以及瑞利长度Zr根据光束直径D决定，若光束直径D变化，则聚光直径d以及瑞利长度Zr变化。
若光束直径D变大，则聚光直径d以及瑞利长度Zr变小，功率密度变高而成为适于薄板的光束轮廓。若光束直径D变小，则聚光直径d以及瑞利长度Zr变大，功率密度变低而成为适于厚板的光束轮廓。
控制部50基于式(1)计算成为目标聚光直径d的光束直径D，控制驱动部282以及302使凸透镜28以及凹透镜30移动，以使凸透镜28以及凹透镜30的位置成为实现计算出的光束直径D的位置。
详细而言，控制部50使凸透镜28移动，以使从凸透镜28射出的激光的收敛角成为得到目标光束直径D的收敛角。除此之外，控制部50使凹透镜30移动到向比点Pf28向凸透镜28侧偏离距离L后的位置，以便与凸透镜28的光轴方向的位置对应地将收敛光变换为平行光。
控制部50计算用于成为目标光束直径D以及目标聚光直径d的凸透镜28以及凹透镜30的位置，使凸透镜28以及凹透镜30移动。
从图6的(a)以及(b)可知，聚光透镜27将平行光聚光，所以即使凹透镜30的位置变化，激光的焦点位置也不变化。
如以上所述，控制部50以如下方式控制驱动部282以及302：板材W1的板厚越薄，越增大入射到聚光透镜27的激光的光束直径，以使聚光直径越小；板材W1的板厚越厚，越减小入射到聚光透镜27的激光的光束直径，以使聚光直径越大。即使驱动部282以及302使凸透镜28以及凹透镜30移动，从聚光透镜2射出而聚光到板材W1的激光的焦点位置也恒定，不变化。
此外，通过传递到操作光纤122的纤芯和包层的激光的反射合成而形成光束直径D内的光强度分布。即使如图6的(a)以及(b)所示光束直径D变化，光束直径D内的光强度分布也几乎不变化，即使变化也是极小。
若控制部50使聚光透镜27移动，则如图6的(c)所示，能够使焦点位置变化。有时不是将板材W1的表面设为焦点位置，而是将从板材W1的表面或者背面稍微偏离的位置设为焦点位置进行切断加工。
在通过操作部51输入了焦点位置的情况下，控制部50控制驱动部272使聚光透镜27移动，以便成为输入的焦点位置。即使使聚光透镜27移动来变更焦点位置，聚光直径d也不变化。
接下来，使用图8的(a)～(d)对BPP改变装置31的作用进行说明。根据式(1)以及(2)，聚光直径d以及瑞利长度Zr根据BPP变化。图8的(a)以及图8的(b)所示的光束直径D1设为聚光透镜27中可允许的最大直径。假设控制部50将BPP改变装置31控制为图8的(a)中的BPP比图8的(b)中的BPP小。
若通过BPP改变装置31使BPP变化，则光束的发散角变大，所以为了使光束直径D与光束直径D1相同，需要使凸透镜28以及凹透镜30的位置不同。在图8的(a)和图8的(b)中，凸透镜28以及凹透镜30的位置不同是由于使BPP变化，而且使光束直径D与光束直径D1相同。
通过BPP改变装置31将图8的(a)中的BPP设为比图8的(b)中的BPP小，从而能够使图8的(a)中的聚光直径d比图8的(b)中的聚光直径d小。若将图8的(a)中的聚光直径d设为d1，图8的(b)中的聚光直径d设为d2，则d1＜d2。
图8的(c)以及图8的(d)所示的光束直径D2设为聚光透镜27中可允许的最小直径。最小直径根据热透镜的影响、聚光透镜27的涂层的耐光强度决定。假设控制部50将BPP改变装置31控制为图8的(d)中的BPP比图8的(c)中的BPP大。
相同地，图8的(c)和图8的(d)中凸透镜28以及凹透镜30的位置不同是由于使BPP变化，并且使光束直径D与光束直径D2相同。
通过BPP改变装置31将图8的(d)中的BPP设为比图8的(c)中的BPP大，从而能够使图8的(d)中的聚光直径d比图8的(c)中的聚光直径d大。若将图8的(c)中的聚光直径d设为d3，将图8的(d)中的聚光直径d设为d4，则d3＜d4。
控制部50控制BPP改变装置31以使BPP成为预定的值，并且，控制驱动部282以及302来决定凸透镜28以及凹透镜30的位置，以便成为所希望的光束直径D即可。
本实施方式的激光加工机100中，具备BPP改变装置31以及光束直径改变装置32，所以能够仅利用BPP改变装置31来使聚光直径d不同，仅利用光束直径改变装置32来使聚光直径d不同。另外，也能够利用BPP改变装置31和光束直径改变装置32的双方使聚光直径d不同。
如图8的(a)～(d)所示，设光束直径D在从最大值的光束直径D1到最小值的光束直径D2的范围内变化。假设通过BPP改变装置31，BPP的值在从BPP1到BPP2的范围内变化。图8的(a)以及图8的(c)中BPP的值为BPP1，图8的(b)以及图8的(d)中BPP的值为BPP2。
在该情况下，若BPP的值固定为BPP1，则聚光直径d在从d1到d3的范围内变化，若BPP的值固定为BPP2，则聚光直径d在从d2到d4的范围内变化。本实施方式的激光加工机100中，通过使BPP改变，能够使聚光直径d在从d1到d4的范围内变化。
通过使BPP和光束直径D的至少一方变化，能够使聚光直径d变化。若使BPP和光束直径D的双方变化，则能够使聚光直径d在广范围内变化。
根据本实施方式的激光加工机100，具备BPP改变装置31和光束直径改变装置32而能够在广范围内调整聚光直径d，所以能够扩大可适当地进行切断加工的板厚的范围。
设基于BPP改变装置31的BPP的改变范围为1.5～5mm·mrad(即，1～3.33倍)，基于光束直径改变装置32的光束直径D的改变范围为1～3倍，则根据式(1)能够使聚光直径d改变为1～10倍。若进一步扩大BPP的改变范围，则能够进一步使聚光直径d在广范围内改变。
根据本实施方式的激光加工机100，作为光束形状能够适当地选择高斯形状和环状中的任意一方。
根据本实施方式的激光加工机100，根据板材W1的板厚以及材质调整束腰，而且调整BPP，能够适当地控制照射到板材W1的激光的功率密度的分布。根据本实施方式的激光加工机100，能够适当地控制束腰以及功率密度的分布来适当地调整板材W1的熔化时间以及切断速度，从而能够使板材W1的切断面粗糙度良好。
根据本实施方式的激光加工机100，能够相互独立地调整聚光直径d和焦点位置。在不需要变更焦点位置的情况下，可以固定聚光透镜27的位置，仅使凸透镜28以及凹透镜30自由移动。
控制部50可以根据板材W1的板厚连续地调整聚光直径d，例如，将板厚为6mm～30mm的板材分为厚板，将板厚为0.1mm～6mm的板材分为薄板，以2阶段调整聚光直径d。并且，也可以将板厚为12mm～30mm的分为厚板，将2mm～12mm的分为中厚板，将0.1mm～2mm的板材分为薄板，以3阶段调整聚光直径d。控制部50也可以将板材W1的板厚分为4个以上的组，以4阶段以上调整聚光直径d。
本实施方式的激光加工机100能够调整聚光直径d，所以不用更换透镜等构成部件，就能够将预定范围的板厚的板材W1与各自的板厚对应地适当地切断加工。
根据本实施方式的激光加工机100，使用具有正的焦距的第1透镜(凸透镜28)、具有负的焦距的第2透镜(凹透镜30)、具有正的焦距的第3透镜(聚光透镜27)这3个透镜即可。因此，与专利文献1记载的结构相比能够简化结构，并且能够以低成本实现不用更换构成部件就能够将预定范围的板厚的板材进行切断加工的激光加工机。
根据本实施方式的激光加工机100，构成为至少仅使第1以及第2透镜能够自由移动，从而能够实现与板厚对应地适当的切断加工。
本发明不限于以上说明的本实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种变更。
产业上的可利用性
本发明能够在通过激光对多个板厚的板材进行切断加工时利用。

Claims (7)

1.一种激光加工机，其特征在于，具备：
光束参数积改变装置，使从激光振荡器射出的激光的光束参数积改变；以及
光束直径改变装置，使从上述光束参数积改变装置射出的激光的光束直径改变，
上述光束参数积改变装置将激光的光束参数积设定为预定的值，
上述光束直径改变装置具有：
第1透镜，其能够在光轴方向自由移动，具有正的焦距，将从激光的射出端射出的激光的扩散光变换为收敛光；以及
第2透镜，其能够在光轴方向自由移动，具有负的焦距，被入射上述收敛光，
上述第2透镜与上述第1透镜的光轴方向的位置对应地配置在从上述收敛光聚光的位置起向上述第1透镜侧偏离与上述第2透镜的焦距相同的距离的位置，将上述收敛光变换为平行光，
上述激光加工机还具备第3透镜，该第3透镜具有正的焦距，使从上述光束直径改变装置射出的激光聚光而照射到板材。
2.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，
上述激光加工机还具备：
用于使上述第1透镜移动的第1移动机构；
用于使上述第2透镜移动的第2移动机构；
驱动上述第1移动机构的第1驱动部；
驱动上述第2移动机构的第2驱动部；以及
控制部，其控制上述第1驱动部以及第2驱动部，以使上述第1透镜以及第2透镜根据上述板材的加工条件而移动。
3.根据权利要求2所述的激光加工机，其特征在于，
上述控制部控制上述光束参数积改变装置，以使激光的光束参数积改变。
4.根据权利要求2或3所述的激光加工机，其特征在于，
上述控制部将上述第1驱动部以及第2驱动部控制为：上述板材的板厚越薄，越增大入射到上述第3透镜的激光的光束直径以使聚光直径越小，上述板材的板厚越厚，越减小入射到上述第3透镜的激光的光束直径以使聚光直径越大，
即使上述第1驱动部以及第2驱动部使上述第1透镜以及第2透镜移动，从上述第3透镜射出并在上述板材上聚光的激光的焦点位置也恒定。
5.根据权利要求1所述的激光加工机，其特征在于，
上述第3透镜构成为能够在光轴方向自由移动，使激光的焦点位置变化。
6.根据权利要求5所述的激光加工机，其特征在于，
上述激光加工机还具备：
用于使上述第1透镜移动的第1移动机构；
用于使上述第2透镜移动的第2移动机构；
用于使上述第3透镜移动的第3移动机构；
驱动上述第1移动机构的第1驱动部；
驱动上述第2移动机构的第2驱动部；
驱动上述第3移动机构的第3驱动部；以及
控制部，其控制上述第1驱动部、上述第2驱动部以及上述第3驱动部，以使上述第1透镜、上述第2透镜以及上述第3透镜根据上述板材的加工条件而移动。
7.根据权利要求6所述的激光加工机，其特征在于，
上述控制部控制上述光束参数积改变装置，以使激光的光束参数积改变。
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