CN108775979A - 一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法 - Google Patents

一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN108775979A
CN108775979A CN201810440774.4A CN201810440774A CN108775979A CN 108775979 A CN108775979 A CN 108775979A CN 201810440774 A CN201810440774 A CN 201810440774A CN 108775979 A CN108775979 A CN 108775979A
Authority
CN
China
Prior art keywords
film
pressure sensor
pliable pressure
preparation
highly sensitive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810440774.4A
Other languages
English (en)
Inventor
张学锋
柴润宁
阮晓光
蔡安江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xian University of Architecture and Technology
Original Assignee
Xian University of Architecture and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian University of Architecture and Technology filed Critical Xian University of Architecture and Technology
Priority to CN201810440774.4A priority Critical patent/CN108775979A/zh
Publication of CN108775979A publication Critical patent/CN108775979A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

本发明提供一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法，包括上电极、压敏层、下电极，所述上电极、下电极为镀有铜的柔性PC板电极，所述压敏层是由两层带有微结构的碳纳米管(CNTs)/聚二甲基硅氧烷(PDMS)复合材料薄膜“面对面”封装组成。本发明公开的一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法，工艺简单、成本低廉、灵敏度高、响应速度快，且稳定性好。

Description

一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法
技术领域
本发明属于传感技术领域，特别涉及一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法。
背景技术
近年来，柔性压力传感器由于其高应变、高灵敏度、高耐久性等优势已在多个领域有着广泛的应用，如人体运动检测、健康诊断、智能服装和电子皮肤等。
柔性压力传感器根据敏感原理主要分为电容式、压电式、压阻式三类，制备方法各不相同。通常而言，基于导电填料填充聚合物带有微结构的柔性传感器可以实现高灵敏度、快速响应，但微结构加工技术,具有较高的加工成本,复杂的工艺,且工艺对材料的巨大浪费等弊端。通常要用到光刻、电子束蒸镀、磁控溅射、氧等离子体处理、3D打印等先进制造技术，增加了柔性传感器的制作成本，限制了柔性传感器的大范围使用。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法，该传感器灵敏度高、响应速度快、稳定性好，且制备方法工艺简单、成本低廉。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种高灵敏度柔性压力传感器，包括上电极1-1、压敏层1-2以及下电极1-3，其特征在于，所述压敏层1-2由两个带有微半球结构的碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜贴合组成，所述微半球结构是指碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜表面具有的半球形凸起，两个碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合薄膜的凸起相对。
所述上电极1-1、下电极1-3均为镀有铜的柔性PC板电极。
所述凸起为半球形，均匀分布。
所述碳纳米管为多壁碳纳米管，碳纳米管内径5～10纳米，外径10～31纳米，长度为10～30微米。
本发明还提供了所述高灵敏度柔性压力传感器的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：制备碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料；
步骤2：制备压敏层，步骤如下：
1)将聚二甲基硅氧烷主剂和固化剂均匀混合，在真空环境下静置20～30分钟，脱去气泡；
2)将上述聚二甲基硅氧烷在硅基板上旋涂，得到厚度均匀的薄膜一4-1；
3)取二氧化硅颗粒4-2，加入到无水乙醇中，超声分散得到均匀分散的二氧化硅乙醇溶液；
4)将所述二氧化硅乙醇溶液装入喷枪中，加压喷涂到所述薄膜一4-1表面上，二氧化硅颗粒4-2均匀分散在薄膜一4-1的表面；
5)在真空干燥箱中静置，得到嵌有二氧化硅颗粒4-2的薄膜二4-3，然后加热固化；
6)将薄膜二4-3放置到氢氟酸稀释液中，腐蚀掉嵌入其中的二氧化硅颗粒4-2，表面留下整齐的凹坑，得到薄膜三4-4；
7)利用图形转移技术，以薄膜三4-4为基板，将碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料旋涂到基板上，得到双层薄膜4-5，固化后取下，得到带有微结构的复合薄膜4-6；
8)重复步骤7，得到同样的带有微结构的复合薄膜4-6；
9)将两个带有微结构的复合薄膜4-6面对面即凸起与凸起相对进行封装，得到结构4-7，即压敏层1-2；
步骤3：制作柔性传感器。
所述碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料的制备方法为溶液共混法。
所述碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料中，碳纳米管的质量百分比为4％。
所述柔性传感器制作的具体过程为：
1)在结构4-7上，冲压出圆形传感器单元4-8；
2)将圆形传感器单元4-8用导电银胶分别与上电极1-1、下电极1-3粘接，并用引线引出以便于测量，传感器制作完成。
所述二氧化硅颗粒4-2直径为4～5微米，所述氢氟酸稀释液质量浓度为5％，腐蚀时间为30分钟。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1.本发明采用一种溶液共混法制备碳纳米管/PDMS复合材料，工艺简单、易于操作，碳纳米管分散均匀，复合材料导电性良好，固化后拉伸性能良好；
2.本发明采用简单的腐蚀二氧化硅颗粒成型的制备工艺，操作过程简单、成本低廉、易于大范围使用；
3.本发明方法所制备的柔性压力传感器，具有良好的柔性，灵敏度高、响应速度快、稳定性好。
附图说明
图1为本发明柔性压力传感器的结构示意图。
图中：上电极1-1、压敏层1-2、下电极1-3。
图2为本发明柔性压力传感器测量原理图。
图3为本发明实施例的碳纳米管/PDMS复合材料制备流程图。
图4为本发明实施例的压敏层的制备流程图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例详细说明本发明的实施方式。
如图1所示，本发明柔性压力传感器，包括自上而下的上电极1-1、压敏层1-2、下电极1-3。其中上电极1-1、下电极1-3均为铜电极，例如镀有铜的柔性PC板电极。压敏层1-2由两个带有微结构的碳纳米管/聚二甲基硅氧烷(CNTs/PDMS)复合薄膜“面对面”贴合组成，微结构是指碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜表面的凸起，两个碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合薄膜的凸起相对，作为一种典型结构，凸起可为半球形，均匀分布。
本发明柔性压力传感器测量原理如图2所示，外载荷轻微变化时，第一微结构碳纳米管/PDMS复合薄膜与第二微结构碳纳米管/PDMS复合薄膜的凸起结构的接触面积会发生改变，上下电极之间的电阻随之发生改变。
参考图3和图4，本发明高灵敏度柔性压力传感器的制备方法，包括如下步骤：
步骤1：采用溶液共混法制备碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料，具体过程如下：
1)取碳纳米管为原材料，加入到氯仿溶液中，通过超声分散4小时，使其均匀分散。其中碳纳米管为多壁碳纳米管，碳纳米管内径5～10纳米，外径10～31纳米，长度为10～30微米。
2)取PDMS加入到氯仿溶液中，通过磁力搅拌，得到PDMS稀释液。
3)混合上述两种溶液，再次超声分散1小时，得到均匀分散的碳纳米管/PDMS/氯仿溶液。
4)机械搅拌碳纳米管/PDMS/氯仿溶液，并辅以超声，使溶液中的氯仿完全挥发。
5)在得到的复合材料中按照10:1加入固化剂，并搅拌均匀，放置在真空环境中20～30分钟，脱去气泡，得到胶状碳纳米管/PDMS复合材料，碳纳米管的质量百分比为4％。
步骤2：制备压敏层，步骤如下：
1)将聚二甲基硅氧烷主剂和固化剂均匀混合，在真空环境下静置20～30分钟，脱去气泡。
2)将步骤1)得到的聚二甲基硅氧烷在硅基板上旋涂，旋涂速率为1500rpm，旋涂时间为40s，得到厚度均匀的薄膜一4-1，如图4(1)所示；
3)取直径为4～5微米的二氧化硅颗粒4-2，加入到无水乙醇中，超声分散15分钟，得到均匀分散的二氧化硅乙醇溶液；
4)将所述二氧化硅乙醇溶液装入喷枪中，加压喷涂到所述薄膜一4-1表面上，二氧化硅颗粒4-2均匀分散在薄膜一4-1的表面，如图4(2)所示；
5)在真空干燥箱中静置2～3小时，得到嵌有二氧化硅颗粒4-2的薄膜二4-3，然后加热固化，固化温度为80℃，固化时间2小时，如图4(3)所示；
6)将薄膜二4-3放置到质量浓度为5％的氢氟酸稀释液中，腐蚀时间为30分钟，腐蚀掉嵌入其中的二氧化硅颗粒4-2，表面留下整齐的凹坑，得到薄膜三4-4，如图4(4)所示；
7)利用图形转移技术，以薄膜三4-4为基板，将碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料旋涂到基板上，得到双层薄膜4-5，如图4(5)所示，固化后取下，得到带有微结构的复合薄膜4-6，如图4(6)所示；
8)重复步骤7，得到同样的带有微结构的复合薄膜4-6；
9)将两个带有微结构的复合薄膜4-6面对面即凸起与凸起相对进行封装，得到结构4-7，即压敏层1-2，如图4(7)所示。
步骤3：制作柔性传感器，具体过程为：
1)在结构4-7上，冲压出圆形传感器单元4-8，如图4(8)所示；
2)将圆形传感器单元4-8用导电银胶分别与上电极1-1、下电极1-3粘接，并用引线引出以便于测量，传感器制作完成。

Claims (9)

1.一种高灵敏度柔性压力传感器，包括上电极(1-1)、压敏层(1-2)以及下电极(1-3)，其特征在于，所述压敏层(1-2)由两个具有微半球结构的碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜贴合组成，所述微半球结构是指碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜表面的半球形凸起，两个碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料薄膜的凸起相对。
2.根据权利要求1所述高灵敏度柔性压力传感器，其特征在于，所述上电极(1-1)、下电极(1-3)均为镀有铜的柔性PC板电极。
3.根据权利要求1所述高灵敏度柔性压力传感器，其特征在于，所述凸起为半球形，均匀分布。
4.根据权利要求1所述高灵敏度柔性压力传感器，其特征在于，所述碳纳米管为多壁碳纳米管，碳纳米管内径5～10纳米，外径10～31纳米，长度为10～30微米。
5.权利要求1所述高灵敏度柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：制备碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料；
步骤2：制备压敏层，步骤如下：
1)将聚二甲基硅氧烷主剂和固化剂均匀混合，在真空环境下静置20～30分钟，脱去气泡；
2)将聚二甲基硅氧烷在硅基板上旋涂，得到厚度均匀的薄膜一(4-1)；
3)取二氧化硅颗粒(4-2)，加入到无水乙醇中，超声分散得到均匀分散的二氧化硅乙醇溶液；
4)将所述二氧化硅乙醇溶液装入喷枪中，加压喷涂到所述薄膜一(4-1)表面上，二氧化硅颗粒(4-2)均匀分散在薄膜一(4-1)的表面；
5)在真空干燥箱中静置，得到嵌有二氧化硅颗粒(4-2)的薄膜二(4-3)，然后加热固化；
6)将薄膜二(4-3)放置到氢氟酸稀释液中，腐蚀掉嵌入其中的二氧化硅颗粒(4-2)，表面留下整齐的凹坑，得到薄膜三(4-4)；
7)利用图形转移技术，以薄膜三(4-4)为基板，将碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料旋涂到基板上，得到双层薄膜(4-5)，固化后取下，得到带有微结构的复合薄膜(4-6)；
8)重复步骤7，得到同样的带有微结构的复合薄膜(4-6)；
9)将两个带有微结构的复合薄膜(4-6)面对面即凸起与凸起相对进行封装，得到结构(4-7)，即压敏层(1-2)；
步骤3：制作柔性传感器。
6.根据权利要求5所述高灵敏度柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料的制备方法为溶液共混法。
7.根据权利要求5或6所述高灵敏度柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合材料中，碳纳米管的质量百分比为4％。
8.根据权利要求5所述高灵敏度柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述柔性传感器制作的具体过程为：
1)在结构(4-7)上，冲压出圆形传感器单元(4-8)；
2)将圆形传感器单元(4-8)用导电银胶分别与上电极(1-1)、下电极(1-3)粘接，并用引线引出以便于测量，传感器制作完成。
9.根据权利要求5所述高灵敏度柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，所述二氧化硅颗粒(4-2)直径为4～5微米，所述氢氟酸稀释液质量浓度为5％，腐蚀时间为30分钟。
CN201810440774.4A 2018-05-10 2018-05-10 一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法 Pending CN108775979A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810440774.4A CN108775979A (zh) 2018-05-10 2018-05-10 一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810440774.4A CN108775979A (zh) 2018-05-10 2018-05-10 一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108775979A true CN108775979A (zh) 2018-11-09

Family

ID=64027010

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810440774.4A Pending CN108775979A (zh) 2018-05-10 2018-05-10 一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108775979A (zh)

Cited By (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109855776A (zh) * 2019-01-31 2019-06-07 京东方科技集团股份有限公司 压力传感器、压力检测系统及可穿戴设备
CN109945999A (zh) * 2019-03-15 2019-06-28 电子科技大学 一种柔性薄膜压力传感器的制备方法
CN109975370A (zh) * 2019-04-29 2019-07-05 西京学院 一种高灵敏度柔性湿度传感器及其制备方法
CN110006560A (zh) * 2019-04-16 2019-07-12 华东师范大学 一种柔性压力传感器及压敏材料的制备方法
CN110068404A (zh) * 2019-05-17 2019-07-30 深圳市航天新材科技有限公司 一种电阻式柔性压力传感器件及其制备方法、传感器阵列
CN110123271A (zh) * 2019-04-10 2019-08-16 华中科技大学 基于碳纳米管薄膜的可穿戴压力传感器及其制造方法
CN110207861A (zh) * 2019-07-18 2019-09-06 柔微智能科技(苏州)有限公司 一种柔性压力传感器及其制备方法
CN110967131A (zh) * 2019-12-24 2020-04-07 中国科学院深圳先进技术研究院 柔性导电复合膜及其制备方法、柔性压力传感器及其制备方法
CN111122021A (zh) * 2019-12-30 2020-05-08 浙江清华柔性电子技术研究院 柔性复合薄膜及制备方法、柔性压力传感器及制备方法
CN111307341A (zh) * 2020-04-01 2020-06-19 河北工业大学 一种柔性电容式压力传感器
CN111765998A (zh) * 2019-04-02 2020-10-13 天津大学 柔性电容传感器
CN111765907A (zh) * 2019-04-02 2020-10-13 天津大学 基于聚碳酸酯模板法制备柔性电阻传感器的方法
CN111855040A (zh) * 2020-07-27 2020-10-30 京东方科技集团股份有限公司 压力传感器及其制作方法、电子设备
CN112378554A (zh) * 2020-10-26 2021-02-19 北京机械设备研究所 具有压敏结构的柔性压力传感器
CN112697317A (zh) * 2020-12-15 2021-04-23 嘉兴学院 一种兼具高灵敏与宽量程的柔性压力传感器及其制备方法
CN113176020A (zh) * 2021-04-30 2021-07-27 温州大学 一种用于生产pdms—gr聚合物薄膜压阻式柔性压力传感器的制作工艺及其产品
CN113237581A (zh) * 2021-05-06 2021-08-10 复旦大学附属中山医院 一种皮肤硬度传感器及其制作方法
CN113231277A (zh) * 2021-04-21 2021-08-10 河南特思检测技术有限公司 一种二维氧化物纳米压力传感器工作范围的调控方法
CN113465795A (zh) * 2021-07-01 2021-10-01 西北工业大学 一种柔性压力传感结构及柔性压力传感器
CN113503993A (zh) * 2021-07-28 2021-10-15 天津科技大学 具有多级微结构的弹性体薄膜及其制备方法与含该弹性体薄膜的柔性压力传感器
CN114459671A (zh) * 2020-11-10 2022-05-10 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 柔性透明电容式传感器及其制作方法
CN114964575A (zh) * 2022-05-24 2022-08-30 四川大学 一种掺杂异丙醇的复合膜柔性压力传感器及其制备方法
CN115014592A (zh) * 2021-03-05 2022-09-06 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种柔性双功能电子皮肤及其制备方法
CN115144106A (zh) * 2022-06-09 2022-10-04 华南理工大学 一种柔性压力传感器及其制备方法和应用
CN115655532A (zh) * 2022-10-08 2023-01-31 天津大学 一种气动软手指及基于气动软手指的硬度识别系统
WO2023109639A1 (zh) * 2021-12-15 2023-06-22 深圳先进技术研究院 一种微结构柔性压力传感器及其制备方法
WO2024029977A1 (ko) * 2022-08-04 2024-02-08 숭실대학교 산학협력단 압력센서 및 압력센서 제조방법

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1603761A (zh) * 2004-11-10 2005-04-06 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法
CN1772463A (zh) * 2005-10-20 2006-05-17 南京大学 聚合物表面的亚微米/微米微透镜阵列的制备方法
CN102900945A (zh) * 2012-09-06 2013-01-30 山东科技大学 一种跨尺度仿树蛙足垫的增摩橡胶板及其制备方法
CN106370327A (zh) * 2016-10-08 2017-02-01 中国科学院深圳先进技术研究院 一种柔性压力传感器及其制作方法
CN106768520A (zh) * 2016-12-28 2017-05-31 中国科学院深圳先进技术研究院 压力传感器及其制备方法
CN208350249U (zh) * 2018-05-10 2019-01-08 西安建筑科技大学 一种高灵敏度柔性压力传感器

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1603761A (zh) * 2004-11-10 2005-04-06 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 柔性平板波压差式微流量传感器及其制作方法
CN1772463A (zh) * 2005-10-20 2006-05-17 南京大学 聚合物表面的亚微米/微米微透镜阵列的制备方法
CN102900945A (zh) * 2012-09-06 2013-01-30 山东科技大学 一种跨尺度仿树蛙足垫的增摩橡胶板及其制备方法
CN106370327A (zh) * 2016-10-08 2017-02-01 中国科学院深圳先进技术研究院 一种柔性压力传感器及其制作方法
CN106768520A (zh) * 2016-12-28 2017-05-31 中国科学院深圳先进技术研究院 压力传感器及其制备方法
CN208350249U (zh) * 2018-05-10 2019-01-08 西安建筑科技大学 一种高灵敏度柔性压力传感器

Cited By (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109855776A (zh) * 2019-01-31 2019-06-07 京东方科技集团股份有限公司 压力传感器、压力检测系统及可穿戴设备
CN109945999B (zh) * 2019-03-15 2020-12-29 电子科技大学 一种柔性薄膜压力传感器的制备方法
CN109945999A (zh) * 2019-03-15 2019-06-28 电子科技大学 一种柔性薄膜压力传感器的制备方法
CN111765998A (zh) * 2019-04-02 2020-10-13 天津大学 柔性电容传感器
CN111765907A (zh) * 2019-04-02 2020-10-13 天津大学 基于聚碳酸酯模板法制备柔性电阻传感器的方法
CN110123271A (zh) * 2019-04-10 2019-08-16 华中科技大学 基于碳纳米管薄膜的可穿戴压力传感器及其制造方法
CN110006560A (zh) * 2019-04-16 2019-07-12 华东师范大学 一种柔性压力传感器及压敏材料的制备方法
CN109975370A (zh) * 2019-04-29 2019-07-05 西京学院 一种高灵敏度柔性湿度传感器及其制备方法
CN110068404A (zh) * 2019-05-17 2019-07-30 深圳市航天新材科技有限公司 一种电阻式柔性压力传感器件及其制备方法、传感器阵列
CN110068404B (zh) * 2019-05-17 2021-06-01 深圳市航天新材科技有限公司 一种电阻式柔性压力传感器件及其制备方法、传感器阵列
CN110207861A (zh) * 2019-07-18 2019-09-06 柔微智能科技(苏州)有限公司 一种柔性压力传感器及其制备方法
CN110967131A (zh) * 2019-12-24 2020-04-07 中国科学院深圳先进技术研究院 柔性导电复合膜及其制备方法、柔性压力传感器及其制备方法
CN111122021A (zh) * 2019-12-30 2020-05-08 浙江清华柔性电子技术研究院 柔性复合薄膜及制备方法、柔性压力传感器及制备方法
CN111122021B (zh) * 2019-12-30 2023-08-15 浙江清华柔性电子技术研究院 柔性复合薄膜及制备方法、柔性压力传感器及制备方法
CN111307341A (zh) * 2020-04-01 2020-06-19 河北工业大学 一种柔性电容式压力传感器
CN111307341B (zh) * 2020-04-01 2021-10-08 河北工业大学 一种柔性电容式压力传感器
CN111855040A (zh) * 2020-07-27 2020-10-30 京东方科技集团股份有限公司 压力传感器及其制作方法、电子设备
CN112378554A (zh) * 2020-10-26 2021-02-19 北京机械设备研究所 具有压敏结构的柔性压力传感器
CN114459671A (zh) * 2020-11-10 2022-05-10 苏州苏大维格科技集团股份有限公司 柔性透明电容式传感器及其制作方法
CN112697317A (zh) * 2020-12-15 2021-04-23 嘉兴学院 一种兼具高灵敏与宽量程的柔性压力传感器及其制备方法
CN115014592A (zh) * 2021-03-05 2022-09-06 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种柔性双功能电子皮肤及其制备方法
CN115014592B (zh) * 2021-03-05 2024-05-10 中国科学院上海硅酸盐研究所 一种柔性双功能电子皮肤及其制备方法
CN113231277A (zh) * 2021-04-21 2021-08-10 河南特思检测技术有限公司 一种二维氧化物纳米压力传感器工作范围的调控方法
CN113176020A (zh) * 2021-04-30 2021-07-27 温州大学 一种用于生产pdms—gr聚合物薄膜压阻式柔性压力传感器的制作工艺及其产品
CN113237581A (zh) * 2021-05-06 2021-08-10 复旦大学附属中山医院 一种皮肤硬度传感器及其制作方法
CN113237581B (zh) * 2021-05-06 2022-10-28 复旦大学附属中山医院 一种皮肤硬度传感器及其制作方法
CN113465795B (zh) * 2021-07-01 2023-12-29 西北工业大学 一种柔性压力传感结构及柔性压力传感器
CN113465795A (zh) * 2021-07-01 2021-10-01 西北工业大学 一种柔性压力传感结构及柔性压力传感器
CN113503993A (zh) * 2021-07-28 2021-10-15 天津科技大学 具有多级微结构的弹性体薄膜及其制备方法与含该弹性体薄膜的柔性压力传感器
WO2023109639A1 (zh) * 2021-12-15 2023-06-22 深圳先进技术研究院 一种微结构柔性压力传感器及其制备方法
CN114964575A (zh) * 2022-05-24 2022-08-30 四川大学 一种掺杂异丙醇的复合膜柔性压力传感器及其制备方法
CN115144106A (zh) * 2022-06-09 2022-10-04 华南理工大学 一种柔性压力传感器及其制备方法和应用
WO2024029977A1 (ko) * 2022-08-04 2024-02-08 숭실대학교 산학협력단 압력센서 및 압력센서 제조방법
CN115655532A (zh) * 2022-10-08 2023-01-31 天津大学 一种气动软手指及基于气动软手指的硬度识别系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108775979A (zh) 一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法
CN208350249U (zh) 一种高灵敏度柔性压力传感器
Zhang et al. Highly sensitive capacitive pressure sensor based on a micropyramid array for health and motion monitoring
Shi et al. Multiscale hierarchical design of a flexible piezoresistive pressure sensor with high sensitivity and wide linearity range
CN108318161B (zh) 可穿戴压力传感器及其制造方法
Qian et al. Research progress in flexible wearable electronic sensors
Li et al. A flexible and ultrasensitive interfacial iontronic multisensory sensor with an array of unique “cup-shaped” microcolumns for detecting pressure and temperature
WO2020114366A1 (zh) 压力传感器及其制备方法
CN108007617A (zh) 具有微圆锥台基底的压阻式柔性触觉传感器及其制造方法
CN104458835B (zh) 一种湿度传感器及其制备方法
CN106946221A (zh) 基于“v”型槽阵列电极的柔性压力传感器制作方法
CN105800605B (zh) 一种氧化石墨烯/石墨烯双层压阻薄膜及制备方法
Kim et al. Fabrication of highly sensitive capacitive pressure sensors with porous PDMS dielectric layer via microwave treatment
CN106959176B (zh) 一种柔性压力传感器及其制备方法
Yuan et al. Synergistic resistance modulation toward ultrahighly sensitive piezoresistive pressure sensors
Sun et al. A highly-sensitive flexible tactile sensor array utilizing piezoresistive carbon nanotube–polydimethylsiloxane composite
Zhang et al. Flexible and Highly Sensitive Pressure Sensors with Surface Discrete Microdomes Made from Self‐Assembled Polymer Microspheres Array
Liang et al. Direct stamping multifunctional tactile sensor for pressure and temperature sensing
CN106895931A (zh) 一种高灵敏度且大形变量的柔性应力传感器
CN109764998A (zh) 一种膜片式石墨烯mems微压传感器芯片及其制备方法
CN111504527B (zh) 一种海胆状氧化物基复合膜仿生压力传感器及其制备方法
Sun et al. A facile strategy for low Young's modulus PDMS microbeads enhanced flexible capacitive pressure sensors
Yi et al. A new approach for an ultra-thin piezoresistive sensor based on solidified carbon ink film
CN108225620A (zh) 一种具有多层结构的柔性触觉传感器及其制作方法
CN110563981A (zh) 一种取向氮化硼复合膜的制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination