CN108761929B - 一种显示基板、显示装置、制作方法及其修复方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种显示基板、显示装置、制作方法及其修复方法，以解决现有技术在对电容结构进行维修时，存在容易发生维修失败的问题。所述电容结构包括：位于所述衬底基板之上的第一电极、位于所述第一电极之上且与所述第一电极绝缘的第二电极，其中，所述第一电极包括：条状的第一主体部、由第一主体部的一侧边延伸出的多个条状第一支部、位于所述第一主体部另一侧且与所述第一主体部间隔设置的条状第一辅助主体部；所述第二电极包括：条状的第二主体部、由第二主体部的一侧边延伸出的多个条状第二支部、位于所述第二主体部另一侧且与所述第二主体部间隔设置的条状第二辅助主体部。

Description

一种显示基板、显示装置、制作方法及其修复方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种显示基板、显示装置、制作方法及其修复方法。
背景技术
液晶显示器件(TFT-LCD)是一种依靠液态的液晶分子的排列状态在电场中发生改变,进而调制背光源透过的显示器件。目前应用最广泛的液晶显示器件是扭曲向列型LCD，它是将液晶夹在两片玻璃之间并使其分子沿玻璃表面平行排列，液晶分子在两片玻璃之间连续扭曲成一定角度，玻璃外面再配上偏振片。当TFT电路施加上电压后会引起液晶分子排列状态的改变，调制了背光源光线通过CF(彩膜)基板从而达成彩色显示的目的。
驱动显示面板进行显示的驱动电路，例如，栅极驱动电路，一般设置有多个电容结构，参见图1所示，其中，图1为该电容结构的平面俯视示意图，图2为该电容结构发生不良时的剖面示意图，图3为该电容结构发生不良时的剖面修复示意图。现有技术中的电容结构一般包括梳状的第一电极01、位于第一电极之上的介质层03、以及位于介质层03之上梳状的第二电极02，其中，第一电极01包括：第一主体部012、以及与第一主体部连接的多个第一支部(位于第二支部021下方，图1中未示出)；第二电极02包括：第二主体部022,以及与第二主体部022连接的多个第二支部021。其中，当中间的介质层03遇到颗粒物时会存在部分膜层缺失的不良。现有技术在维修该种不良时，通常是在不良位置处的两侧采用激光进行切割，参见图2和图3所示，但该种维修方式，由于激光能量较大，在不良区域的两侧进行激光切割时，很容易使电容结构的上、下两个金属电极在重叠区域发生融融，进而导致整个电容结构发生短路。
由上，现有技术在对电容结构进行维修时，存在容易发生维修失败的问题。
发明内容
本发明提供一种显示基板、显示装置、制作方法及其修复方法，以解决现有技术在对电容结构进行维修时，存在容易发生维修失败的问题。
本发明实施例提供一种显示基板，包括：衬底基板、设置在所述衬底基板之上的电容结构，所述电容结构包括：位于所述衬底基板之上的第一电极、位于所述第一电极之上且与所述第一电极绝缘的第二电极，其中，
所述第一电极包括：条状的第一主体部、由第一主体部的一侧延伸出的多个条状第一支部、以及位于所述第一主体部另一侧且与所述第一主体部间隔设置的条状第一辅助主体部，所述第一辅助主体部的两端与所述第一主体部的两端对应连接；
所述第二电极包括：条状的第二主体部、由第二主体部的一侧边延伸出的多个条状第二支部、以及位于所述第二主体部另一侧且与所述第二主体部间隔设置的条状第二辅助主体部，所述第二辅助主体部的两端与所述第二主体部的两端对应连接；
所述第一电极具有所述第一支部的一侧与所述第二电极具有所述第二支部的一侧相向设置，以使所述第一电极的每一所述第一支部与所述第二电极的每一对应所述第二支部形成一电容。
可选的，所述第一电极与所述第二电极之间设置有介质层。
可选的，所述显示基板设置有薄膜晶体管，所述第一电极与所述薄膜晶体管的栅极同层设置，所述第二电极与所述薄膜晶体管的源漏极同层设置。
可选的，在垂直于所述第一主体部延伸的方向上，所述第一辅助主体部与所述第一主体部之间间隙的距离为2μm～4μm；在垂直于所述第二主体部延伸的方向上，所述第二辅助主体部与所述第二主体部之间间隙的距离为2μm～4μm。
可选的，在垂直于所述第一辅助主体部延伸的方向上，所述第一辅助主体部的宽度为2μm～5μm；在垂直于所述第二辅助主体部延伸的方向上，所述第二辅助主体部的宽度为2μm～5μm。
可选的，所述电容结构为显示面板栅极驱动电路中的电容结构。
本发明实施例还提供一种显示装置，包括本发明实施例提供的所述显示基板。
本发明实施例还提供一种制作如本发明实施例提供的所述显示基板的制作方法，所述制作方法包括：
采用光刻工艺，使用图案化的第一掩膜板在衬底基板之上形成图案化的第一电极，其中，所述第一掩膜板的图案与所述第一电极的图案相匹配；
在所述第一电极之上，采用光刻工艺，使用图案化的第二掩膜板形成与所述第一电极绝缘且图案化的第二电极，其中，所述第二掩膜板的图案与所述第二电极的图案相匹配。
可选的，在使用图案化的第二掩膜板形成图案化的第二电极之前，所述制作方法还包括：
采用气相沉积法，在所述第一电极之上形成介质层。
本发明实施例还提供一种修复如本发明实施例提供的所述显示基板的修复方法，所述修复方法包括：
第一电极的第一支部与第二电极的对应第二支部之间发生不良时，切断第一主体部的连接该所述第一支部的两侧；
切断第二主体部的连接该所述第二支部的两侧。
本发明实施例有益效果如下：
本发明实施例提供的电容结构包括：位于所述衬底基板之上的第一电极、位于所述第一电极之上且与所述第一电极绝缘的第二电极，其中，所述第一电极还包括位于所述第一主体部另一侧且与所述第一主体部间隔设置的条状第一辅助主体部，所述第二电极还包括位于所述第二主体部另一侧且与所述第二主体部间隔设置的条状第二辅助主体部，进而在所述第一电极的所述第一支部与所述第二电极的对应所述第二支部之间发生不良时，例如，第一电极和第二电极之间的介质层的部分区域遇到颗粒物导致该区域膜层缺失时，可以通过切断所述第一主体部的连接该所述第一支部的两侧，并切断所述第二主体部的连接该所述第二支部的两侧，由所述第一辅助主体部对剩余所述第一支部提供电信号，所述第二辅助主体部对剩余所述第二支部提供电信号，进而可以避免现有技术中在第一电极和第二电极之间存在不良时，直接在不良处的两端进行切割时，由于激光的能量较大，容易导致电容结构的上下两个电极融融进而发生短路的问题。
附图说明
图1为现有技术的一种电容结构的俯视结构示意图；
图2为现有技术的一种电容结构的剖视结构示意图；
图3为现有技术的一种对电容结构进行维修时的剖视结构示意图；
图4为本发明实施例提供的一种电容结构的立体的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的一种电容结构的俯视的结构示意图；
图6为本发明实施例提供的一种对电容结构进行维修时的俯视的结构示意图；
图7为本发明实施例提供的一种对电容结构进行维修时的立体的结构示意图；
图8为本发明实施例提供的一种电容结构的等效示意图；
图9为本发明实施例提供的一种电容结构的制作流程示意图；
图10为本发明实施例提供的一种具体的电容结构的制作流程示意图；
图11为本发明实施例提供的一种电容结构的维修流程示意图。
具体实施方式
为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明，本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明。
参见图4-图5所示，本发明实施例提供一种显示基板，包括：衬底基板(图中未示出)、设置在衬底基板之上的电容结构，电容结构包括：位于衬底基板之上的第一电极、位于第一电极之上且与第一电极绝缘的第二电极，其中，
第一电极包括：条状的第一主体部11、由第一主体部11的一侧边延伸出的多个条状第一支部111、以及位于第一主体部11另一侧且与第一主体部11间隔设置的条状第一辅助主体部12，第一辅助主体部12的两端与第一主体部11的两端对应连接，具体实施时，可以将第一辅助主体部12与第一主体部11间隔平行设置，通过第一连接部13将第一辅助主体部12的两端与第一主体部11的两端对应连接，即，第一电极整体为类梳状的结构；
第二电极包括：条状的第二主体部21、由第二主体部21的一侧边延伸出的多个条状第二支部211，以及位于第二主体部21另一侧且与第二主体部21间隔设置的条状第二辅助主体部22，将第二辅助主体部22的两端与第二主体部21的两端对应连接的第二连接部23，具体实施时，可以将第二辅助主体部22与第二主体部21间隔平行设置，通过第二连接部23将第二辅助主体部22的两端与第二主体部21的两端对应连接，即，第二电极整体为类梳状的结构；
第一电极具有第一支部11的一侧与第二电极具有第二支部211的一侧相向设置，以使第一电极的每一第一支部111与第二电极的每一对应第二支部211形成一电容，具体实施时，可以是第一电极的第一支部111在衬底基板上的正投影与第二电极的第二支部211在衬底基板上的正投影一一对应重叠，当然，第一辅助主体部12的延伸长度可以大于第一主体部11的延伸长度，第二辅助主体部22的延伸长度可以大于第一主体部21的延伸长度，以便于通过第一辅助主体部12、第二辅助主体部22进行与外电路的连接；
结合图6和图7所示，第一电极的第一支部111与第二电极的对应第二支部211之间发生不良时，例如，第一电极与第二电极之间设置有介质层，该介质层在图6和图7中由上往下的第三个电容之间发生不良，由于存在颗粒物4，使第一电极的第三个第一支部111和第二电极的第三个第二支部211发生短路，此时，可以切断第一主体部11的连接该第一支部111的两侧(如图7中左侧的两个箭头所示)，并切断第二主体部21的连接该第二支部211的两侧(如图7中右侧的两个箭头所示)，由第一辅助主体部12对剩余第一支部111提供电信号，由第二辅助主体部22对剩余第二支部211提供电信号。
本发明实施例提供的电容结构包括：位于衬底基板之上的梳状第一电极、位于第一电极之上且与第一电极绝缘的第二电极，其中，第一电极还包括位于第一主体部另一侧且与第一主体部间隔设置的条状第一辅助主体部，第二电极还包括位于第二主体部另一侧且与第二主体部间隔设置的条状第二辅助主体部，进而在第一电极的第一支部与第二电极的对应第二支部之间发生不良时，例如，第一电极和第二电极之间的介质层的部分区域遇到颗粒物导致该区域膜层缺失时，可以通过切断第一主体部的连接该第一支部的两侧，并切断第二主体部的连接该第二支部的两侧，由第一辅助主体部对剩余第一支部提供电信号，第二辅助主体部对剩余第二支部提供电信号，即，参见图8所示，通过将电容结构分割多个子电容(C1、C2、C3)的并联设计，当发生介质层发生部分缺失的情况时，只需在单层金属线上使用激光就可以隔离不良区，进而可以避免现有技术中在对第一电极和第二电极之间存在不良时，直接在不良处的两端进行切割时，容易导致电容结构的上下两个电极融融进而导致整个电容结构发生短路的问题。
在具体实施时，考虑设备激光切割精度，为保证激光切割时，不伤及相邻图案，同时又可以有效地利用面板的空间，参见图6所示，在垂直于第一主体部11延伸的方向上，第一辅助主体部12与第一主体部11之间间隙的距离d1为2μm～4μm。在垂直于第二主体部21延伸的方向上，第二辅助主体部22与第二主体部21之间间隙的距离d3为2μm～4μm。
在具体实施时，考虑到工艺曝光能力对最小线宽的限制，以及为了有效地利用面板的空间，参见图6所示，在垂直于第一辅助主体部12延伸的方向上，第一辅助主体部12的宽度d2为2μm～5μm。在垂直于第二辅助主体部22延伸的方向上，第二辅助主体部22的宽度d4为2μm～5μm。
在具体实施时，第一电极与第二电极之间还设置有介质层。具体的介质层具体可以为氮化硅和/或氧化硅。
在具体实施时，显示基板还设置有薄膜晶体管，第一电极与薄膜晶体管的栅极同层设置，第二电极与薄膜晶体管的源漏极层同层设置。
可选的，电容结构为显示面板栅极驱动电路中的电容结构。
本发明实施例还提供一种显示装置，包括本发明实施例提供的显示基板。
基于同一发明构思，参见图9所示，本发明实施例还提供一种制作如本发明实施例提供的显示基板的制作方法，制作方法包括：
步骤S101、采用光刻工艺，使用图案化的第一掩膜板在衬底基板之上形成图案化的第一电极，其中，第一掩膜板的图案与第一电极的图案相匹配；
步骤S102、在第一电极之上，采用光刻工艺，使用图案化的第二掩膜板形成与第一电极绝缘且图案化的第二电极，其中，第二掩膜板的图案与第二电极的图案相匹配。
在具体实施时，参见图10所示，在使用图案化的第二掩膜板形成图案化的第二电极之前，制作方法还包括：
步骤S103、采用气相沉积法，在第一电极之上形成介质层。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供一种修复如本发明实施例提供的显示基板的修复方法，参见图11所示，修复方法包括：
步骤S201、第一电极的第一支部与第二电极的对应第二支部之间发生不良时，切断第一主体部的连接该第一支部的两侧。具体可以采用激光切割技术，切断第一主体部的连接该第一支部的两侧。
步骤S202、切断第二主体部的连接该第二支部的两侧。具体可以采用激光切割技术，切断第二主体部的连接该第二支部的两侧。
本发明实施例有益效果如下：本发明实施例提供的电容结构包括：位于衬底基板之上的梳状第一电极、位于第一电极之上且与第一电极绝缘的梳状第二电极，其中，第一电极还包括位于第一主体部另一侧且与第一主体部间隔平行设置的条状第一辅助主体部，第二电极还包括位于第二主体部另一侧且与第二主体部间隔平行设置的条状第二辅助主体部，进而在第一电极的第一支部与第二电极的对应第二支部之间发生不良时，例如，第一电极和第二电极之间的介质层的部分区域遇到颗粒物导致存在该区域膜层缺失时，可以通过切断第一主体部的连接该第一支部的两侧，并切断第二主体部的连接该第二支部的两侧，由第一辅助主体部对剩余第一支部提供电信号，第二辅助主体部对剩余第二支部提供电信号，进而可以避免现有技术中在对第一电极和第二电极之间存在不良时，直接在不良处的两端进行切割时，由于激光的能量较大，容易导致电容结构的上下两个电极融融进而发生短路的问题。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种显示基板，其特征在于，包括：衬底基板、设置在所述衬底基板之上的电容结构，所述电容结构包括：位于所述衬底基板之上的第一电极、位于所述第一电极之上且与所述第一电极绝缘的第二电极，其中，
所述第一电极包括：条状的第一主体部、由第一主体部的一侧延伸出的多个条状第一支部、以及位于所述第一主体部另一侧且与所述第一主体部间隔设置的条状第一辅助主体部，所述第一辅助主体部的两端与所述第一主体部的两端对应连接；
所述第二电极包括：条状的第二主体部、由第二主体部的一侧边延伸出的多个条状第二支部、以及位于所述第二主体部另一侧且与所述第二主体部间隔设置的条状第二辅助主体部，所述第二辅助主体部的两端与所述第二主体部的两端对应连接；
所述第一电极具有所述第一支部的一侧与所述第二电极具有所述第二支部的一侧相向设置，以使所述第一电极的每一所述第一支部与所述第二电极的每一对应所述第二支部形成一电容。
2.如权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一电极与所述第二电极之间设置有介质层。
3.如权利要求2所述的显示基板，其特征在于，所述显示基板设置有薄膜晶体管，所述第一电极与所述薄膜晶体管的栅极同层设置，所述第二电极与所述薄膜晶体管的源漏极同层设置。
4.如权利要求1所述的显示基板，其特征在于，在垂直于所述第一主体部延伸的方向上，所述第一辅助主体部与所述第一主体部之间间隙的距离为2μm～4μm；在垂直于所述第二主体部延伸的方向上，所述第二辅助主体部与所述第二主体部之间间隙的距离为2μm～4μm。
5.如权利要求4所述的显示基板，其特征在于，在垂直于所述第一辅助主体部延伸的方向上，所述第一辅助主体部的宽度为2μm～5μm；在垂直于所述第二辅助主体部延伸的方向上，所述第二辅助主体部的宽度为2μm～5μm。
6.如权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述电容结构为显示面板栅极驱动电路中的电容结构。
7.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的显示基板。
8.一种制作如权利要求1-6任一项所述的显示基板的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
采用光刻工艺，使用图案化的第一掩膜板在衬底基板之上形成图案化的第一电极，其中，所述第一掩膜板的图案与所述第一电极的图案相匹配；
在所述第一电极之上，采用光刻工艺，使用图案化的第二掩膜板形成与所述第一电极绝缘且图案化的第二电极，其中，所述第二掩膜板的图案与所述第二电极的图案相匹配。
9.如权利要求8所述的制作方法，其特征在于，在使用图案化的第二掩膜板形成图案化的第二电极之前，所述制作方法还包括：
采用气相沉积法，在所述第一电极之上形成介质层。
10.一种修复如权利要求1-6任一项所述的显示基板的修复方法，其特征在于，所述修复方法包括：
第一电极的第一支部与第二电极的对应第二支部之间发生不良时，切断第一主体部的连接该所述第一支部的两侧；
切断第二主体部的连接该所述第二支部的两侧。
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