CN108730341B - 一种基于气压控制的联锁结构及联锁方法 - Google Patents

一种基于气压控制的联锁结构及联锁方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种基于气压控制的联锁结构及联锁方法，包括基座、内动子及摩擦块，基座上运动导向台，外动子配合设置在运动导向台外侧，内动子插设在运动导向台内，工作台固定连接于外动子上方，摩擦块固定设置在内动子上；在运动导向台顶面与内动子之间设有气浮面，气浮面连通有正压供气通道，在气浮面位置对应设有真空腔，真空腔连通有负压供气通道。利用正、负压的开闭，实现了两个运动部件接触和非接触状态的转化，从而实现了运动部件之间的联锁与解锁。该结构没有增加外部执行机构，完全利用了内动子的气浮支承形式，仅在此基础上增加了负压的调节，不改变原有结构。该联锁结构为高精度运动定位提供了很好的基础条件，具有很高的实用价值。

Description

一种基于气压控制的联锁结构及联锁方法
技术领域
本发明涉及超精密运动、超精密测量技术领域，具体涉及一种基于气压控制的联锁结构及联锁方法。
背景技术
在超精密运动领域，经常会出现一种“宏微结合”的运动方式，通过大电机驱动进行大行程驱动，再通过精密电机进行超精密微调。以上运动过程涉及到两套支承及驱动方式的切换，需要一种可实现精密联锁的结构。
联锁结构要实现两套运动部件由非接触状态变为接触状态，可采用油、气、电等多种形式。如油缸、气缸及电磁铁等，通过外界控制，改变接触面的距离，从而实现两个部件接触状态的变化。但以上方式主要应用于静止部件和运动部件的联锁，即实现刹车功能。针对两个运动部件的联锁，如采用以上方式，则需要向运动部件传递油、气及电等动力源，实现难度较大，且存在一定的可靠性问题。
发明内容
本发明的目的即在于克服现有技术不足，提供一种基于气压控制的联锁结构及联锁方法，利用运动部件自身结构的联锁结构，在不增加额外执行机构的基础上，实现了运动部件之间的联锁。用以实现两个运动部件的平滑联锁与分离。
本发明通过下述技术方案实现：
一种基于气压控制的联锁结构，包括基座、外动子、工作台、内动子及摩擦块，所述基座上运动导向台，所述外动子配合设置在运动导向台外侧，所述内动子插设在运动导向台内，工作台固定连接于外动子上方，所述摩擦块固定设置在内动子上；
在运动导向台与内动子之间设有气浮面，气浮面连通有正压供气通道，运动导向台顶面与内动子之间设有真空腔，真空腔连通有负压供气通道。
本发明一种基于气压控制的联锁结构，利用正、负压的开闭，实现了两个运动部件接触和非接触状态的转化，从而实现了运动部件之间的联锁与解锁。该结构没有增加外部执行机构，完全利用了内动子的气浮支承形式，仅在此基础上增加了负压的调节，不改变原有结构。整体结构简单轻巧，控制方便，连接可靠，同时可适用于回转运动机构和直线运动机构。该联锁结构为高精度运动定位提供了很好的基础条件，具有很高的实用价值。
进一步的，所述运动导向台为设置在基座上的两个凸台结构，所述外动子、工作台和内动子为直线滑动动件，每件运动导向台顶面与内动子之间设有的气浮面为条型面，所述真空腔为条型槽。
进一步的，所述运动导向台为设置在基座上的环套结构，所述外动子、工作台和内动子为转动件，运动导向台顶面与内动子之间设有的气浮面为环型面，所述真空腔为环型槽。
进一步的，所述正压供气通道设置在基座内与气浮面连通，所述负压供气通道也设置在基座内与真空腔连通，所述真空腔设置在运动导向台顶面上。
进一步的，所述正压供气通道设置在内动子内与气浮面连通，所述负压供气通道也设置在内动子内与真空腔连通，所述真空腔设置在与运动导向台顶面对应的内动子上。
进一步的，所述内动子上摩擦块与工作台之间实现联锁配合。
进一步的，所述内动子上摩擦块与外动子之间实现联锁配合。
进一步的，所述正压供气通道和负压供气通道分别连接有调压阀；所述的外动子与基座之间的支承形式为气体静压支承、液体静压支承、滑动支承或滚动支承的任一种形式。
本发明通过下述另一技术方案实现：
一种基于气压控制联锁结构的联锁方法，包括步骤：
步骤1气浮面连通外端与供气泵连接，负压供气通道外端与真空泵连接；
步骤2供气泵和真空泵同时开启，正压供气通道和负压供气通道均开通，内动子浮于基座1上，同时摩擦块与工作台及外动子均保留有5～10μm间隙；摩擦块与工作台或外动子2不发生接触，工作台和外动子相对于基座自由运动；
步骤3断开负压供气通道，继续保持正压供气通道开通，内动子上浮，摩擦块与工作台摩擦接触，内动子与工作台发生联锁，内动子与工作台及外动子同步运动。
进一步的，所述步骤3为，断开正压供气通道，负压供气通道保持开通，内动子下浮，摩擦块与外动子摩擦接触，内动子与外动子发生联锁，内动子与工作台及外动子同步运动。
本发明与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：
本发明一种基于气压控制的联锁结构，利用正、负压的开闭，实现了两个运动部件接触和非接触状态的转化，从而实现了运动部件之间的联锁与解锁。该结构没有增加外部执行机构，完全利用了内动子的气浮支承形式，仅在此基础上增加了负压的调节，不改变原有结构。整体结构简单轻巧，控制方便，连接可靠，同时可适用于回转运动机构和直线运动机构。该联锁结构为高精度运动定位提供了很好的基础条件，具有很高的实用价值。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明实施例的限定。在附图中：
图1为本发明一种基于气压控制的联锁结构的转动结构立体示意图；
图2为本发明一种基于气压控制的联锁结构的转动结构剖视示意图；
图3为本发明一种基于气压控制的联锁结构的直线滑动结构立体示意图；
图4为本发明一种基于气压控制的联锁结构的直线滑动结构剖视示意图；
附图中标记及对应的零部件名称：
1-基座，2-外动子，3-工作台，4-内动子，5-摩擦块，6-运动导向台，7-气浮面，8-正压供气通道，9-真空腔，10-负压供气通道，11-上摩擦面，12-下摩擦面。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本发明作进一步的详细说明，本发明的示意性实施方式及其说明仅用于解释本发明，并不作为对本发明的限定。
实施例1
如图1-2所示，本发明一种基于气压控制的联锁结构，包括基座1、外动子2、工作台3、内动子4及摩擦块5，所述基座1上运动导向台6，所述外动子2配合设置在运动导向台6外侧，所述内动子4插设在运动导向台内，工作台3为环形凹型结构，工作台3固定连接于外动子2上方，工作台3将内动子4罩着扣在外动子2上，所述摩擦块5固定设置在内动子4上；在运动导向台6与内动子4之间整个接触面上设有气浮面7，气浮面7是相对密闭的空间，气浮面7连通有正压供气通道8，运动导向台6顶面与内动子4之间设有真空腔9，真空腔9也是相对密闭的空间，真空腔9连通有负压供气通道10。
运动导向台6为设置在基座1上的环套结构，所述外动子2、工作台3和内动子4为转动件，外动子2套在运动导向台6上，内动子4为环形凸型结构，内动子4下端部插设在运动导向台6的套筒内，运动导向台6顶面与内动子4之间设有的气浮面7为环型面，所述真空腔9为环型槽。
所述正压供气通道8设置在基座1内与气浮面7连通，所述负压供气通道10也设置在基座1内与真空腔9连通，所述真空腔9设置在运动导向台6顶面上。所述正压供气通道8和负压供气通道10分别连接有调压阀(附图未显示)；所述的外动子2与基座1之间的支承形式为气体静压支承、液体静压支承、滑动支承或滚动支承的任一种形式。所述内动子4上摩擦块5与工作台3之间通过上摩擦面11连接实现联锁配合。
本发明联锁方法为：气浮面连通8外端与供气泵连接，负压供气通道10外端与真空泵连接；真空泵可以为真空发生器等能够产生负压的器件。供气泵和真空泵同时开启，正压供气通道8和负压供气通道10均开通，内动子4浮于基座1上，同时摩擦块5与工作台3及外动子2均保留有5～10μm间隙；摩擦块5与工作台3或外动子2不发生接触，工作台3和外动子2相对于基座1自由运动；断开负压供气通道10，继续保持正压供气通道8开通，内动子4上浮，摩擦块5与工作台3摩擦接触，内动子4与工作台3发生联锁，内动子4与工作台3及外动子2同步旋转运动。
本发明一种基于气压控制的联锁结构，利用正、负压的开闭，实现了两个运动部件接触和非接触状态的转化，从而实现了运动部件之间的联锁与解锁。该结构没有增加外部执行机构，完全利用了内动子的气浮支承形式，仅在此基础上增加了负压的调节，不改变原有结构。整体结构简单轻巧，控制方便，连接可靠，同时可适用于回转运动机构和直线运动机构。该联锁结构为高精度运动定位提供了很好的基础条件，具有很高的实用价值。
实施例2
如图1-2所示，本发明一种基于气压控制的联锁结构，在实施例1的基础上，所述正压供气通道8设置在内动子4内与气浮面7连通，所述负压供气通道10也设置在内动子4内与真空腔9连通，所述真空腔9设置在与运动导向台6顶面对应的内动子4上。内动子4上摩擦块5与外动子2之间通过下摩擦面12连接实现联锁配合。
本发明一种基于气压控制的联锁结构，利用正、负压的开闭，实现了两个运动部件接触和非接触状态的转化，从而实现了运动部件之间的联锁与解锁。该结构没有增加外部执行机构，完全利用了内动子的气浮支承形式，仅在此基础上增加了负压的调节，不改变原有结构。整体结构简单轻巧，控制方便，连接可靠，同时可适用于回转运动机构和直线运动机构。该联锁结构为高精度运动定位提供了很好的基础条件，具有很高的实用价值。
实施例3
如图3-4所示，本发明一种基于气压控制的联锁结构，包括基座1、外动子2、工作台3、内动子4及摩擦块5，所述基座1上运动导向台6，所述外动子2配合设置在运动导向台6外侧，内动子4为凸型结构，所述内动子4插设在运动导向台内，工作台3为凹型结构，工作台3固定连接于外动子2上方，所述摩擦块5固定设置在内动子4上；在运动导向台6与内动子4之间设有气浮面7，气浮面7连通有正压供气通道8，运动导向台6顶面与内动子4之间设有真空腔9，真空腔9连通有负压供气通道10。
运动导向台6为设置在基座1上的两个凸台结构，两个凸台结构(导轨功能)平行设置在基座1上，所述外动子2、工作台3和内动子4为直线滑动动件，内动子4为凸型结构，内动子4的凸起部位插在两个凸台结构之间，每件运动导向台6顶面与内动子4之间设有的气浮面7为条型面，所述真空腔9为条型槽。所述正压供气通道8设置在基座1内与气浮面7连通，所述负压供气通道10也设置在基座1内与真空腔9连通，所述真空腔9设置在运动导向台6顶面上。所述正压供气通道8和负压供气通道10分别连接有调压阀；所述的外动子2与基座1之间的支承形式为气体静压支承、液体静压支承、滑动支承或滚动支承的任一种形式。外动子2与基座1之间的支承形式采用可以减小摩擦力，所述内动子4上摩擦块5与工作台3之间实现联锁配合。
本发明联锁方法为：气浮面连通8外端与供气泵连接，负压供气通道10外端与真空泵连接；供气泵和真空泵同时开启，正压供气通道8和负压供气通道10均开通，内动子4浮于基座1上，同时摩擦块5与工作台3及外动子2均保留有5～10μm间隙；摩擦块5与工作台3或外动子2不发生接触，工作台3和外动子2相对于基座1自由运动；断开正压供气通道8，负压供气通道10保持开通，并通过真空吸紧，内动子4下浮，摩擦块5与外动子2摩擦接触，内动子4与外动子2发生联锁，内动子4与工作台3及外动子2同步直线水平滑行运动。
本发明一种基于气压控制的联锁结构，利用正、负压的开闭，实现了两个运动部件接触和非接触状态的转化，从而实现了运动部件之间的联锁与解锁。该结构没有增加外部执行机构，完全利用了内动子的气浮支承形式，仅在此基础上增加了负压的调节，不改变原有结构。整体结构简单轻巧，控制方便，连接可靠，同时可适用于回转运动机构和直线运动机构。该联锁结构为高精度运动定位提供了很好的基础条件，具有很高的实用价值。
实施例4
如图3-4所示，本发明一种基于气压控制的联锁结构，在实施例3的基础上，，所述正压供气通道8设置在内动子4内与气浮面7连通，所述负压供气通道10也设置在内动子4内与真空腔9连通，所述真空腔9设置在与运动导向台6顶面对应的内动子4上。内动子4上摩擦块5与外动子2之间实现联锁配合。
本发明一种基于气压控制的联锁结构，利用正、负压的开闭，实现了两个运动部件接触和非接触状态的转化，从而实现了运动部件之间的联锁与解锁。该结构没有增加外部执行机构，完全利用了内动子的气浮支承形式，仅在此基础上增加了负压的调节，不改变原有结构。整体结构简单轻巧，控制方便，连接可靠，同时可适用于回转运动机构和直线运动机构。该联锁结构为高精度运动定位提供了很好的基础条件，具有很高的实用价值。
实施例5
如图1-2或3-4所示，本发明一种基于气压控制联锁结构的联锁方法，包括步骤：
步骤1气浮面连通8外端与供气泵连接，负压供气通道10外端与真空泵连接；真空泵可以为真空发生器等能够产生负压的器件。
步骤2供气泵和真空泵同时开启，正压供气通道8和负压供气通道10均开通，内动子4浮于基座1上，同时摩擦块5与工作台3及外动子2均保留有5～10μm间隙；摩擦块5与工作台3或外动子2不发生接触，工作台3和外动子2相对于基座1自由运动；
步骤3断开负压供气通道10，继续保持正压供气通道8开通，内动子4上浮，摩擦块5与工作台3摩擦接触，内动子4与工作台3发生联锁，内动子4与工作台3及外动子2同步运动。
本发明一种基于气压控制联锁结构的联锁方法，利用正、负压的开闭，实现了两个运动部件接触和非接触状态的转化，从而实现了运动部件之间的联锁与解锁。该结构没有增加外部执行机构，完全利用了内动子的气浮支承形式，仅在此基础上增加了负压的调节，不改变原有结构。整体结构简单轻巧，控制方便，连接可靠，同时可适用于回转运动机构和直线运动机构。该联锁结构为高精度运动定位提供了很好的基础条件，具有很高的实用价值。
实施例6
如图1-2或3-4所示，本发明一种基于气压控制联锁结构的联锁方法，包括步骤：
步骤1气浮面连通8外端与供气泵连接，负压供气通道10外端与真空泵连接；
步骤2供气泵和真空泵同时开启，正压供气通道8和负压供气通道10均开通，使进气和出气形成平衡，内动子4浮于基座1上，同时摩擦块5与工作台3及外动子2均保留有5～10μm间隙；摩擦块5与工作台3或外动子2不发生接触，工作台3和外动子2相对于基座1自由运动；
所述步骤3为，断开正压供气通道8，负压供气通道10保持开通，并通过真空吸紧，内动子4下浮，摩擦块5与外动子2摩擦接触，内动子4与外动子2发生联锁，内动子4与工作台3及外动子2同步运动。
本发明一种基于气压控制联锁结构的联锁方法，利用正、负压的开闭，实现了两个运动部件接触和非接触状态的转化，从而实现了运动部件之间的联锁与解锁。该结构没有增加外部执行机构，完全利用了内动子的气浮支承形式，仅在此基础上增加了负压的调节，不改变原有结构。整体结构简单轻巧，控制方便，连接可靠，同时可适用于回转运动机构和直线运动机构。该联锁结构为高精度运动定位提供了很好的基础条件，具有很高的实用价值。
以上所述的具体实施方式，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施方式而已，并不用于限定本发明的保护范围，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种基于气压控制的联锁结构，包括基座（1）、外动子（2）、工作台（3）、内动子（4）及摩擦块（5），其特征在于：所述基座（1）上设置有运动导向台（6），所述外动子（2）配合设置在运动导向台（6）外侧，所述内动子（4）插设在运动导向台内，工作台（3）固定连接于外动子（2）上方，所述摩擦块（5）固定设置在内动子（4）上；
在运动导向台（6）与内动子（4）之间设有气浮面（7），气浮面（7）连通有正压供气通道（8），运动导向台（6）顶面与内动子（4）之间设有真空腔（9），真空腔（9）连通有负压供气通道（10）。
2.根据权利要求1所述的一种基于气压控制的联锁结构，其特征在于：所述运动导向台（6）为设置在基座（1）上的两个凸台结构，所述外动子（2）、工作台（3）和内动子（4）为直线滑动动件，每件运动导向台（6）顶面与内动子（4）之间设有的气浮面（7）为条型面，所述真空腔（9）为条型槽。
3.根据权利要求1所述的一种基于气压控制的联锁结构，其特征在于：所述运动导向台（6）为设置在基座（1）上的环套结构，所述外动子（2）、工作台（3）和内动子（4）为转动件，运动导向台（6）顶面与内动子（4）之间设有的气浮面（7）为环型面，所述真空腔（9）为环型槽。
4.根据权利要求2或3所述的一种基于气压控制的联锁结构，其特征在于：所述正压供气通道（8）设置在基座（1）内与气浮面（7）连通，所述负压供气通道（10）也设置在基座（1）内与真空腔（9）连通，所述真空腔（9）设置在运动导向台（6）顶面上。
5.根据权利要求2或3所述的一种基于气压控制的联锁结构，其特征在于：所述正压供气通道（8）设置在内动子（4）内与气浮面（7）连通，所述负压供气通道（10）也设置在内动子（4）内与真空腔（9）连通，所述真空腔（9）设置在与运动导向台（6）顶面对应的内动子（4）上。
6.根据权利要求2或3所述的一种基于气压控制的联锁结构，其特征在于：所述内动子（4）上摩擦块（5）与工作台（3）之间实现联锁配合。
7.根据权利要求2或3所述的一种基于气压控制的联锁结构，其特征在于：所述内动子（4）上摩擦块（5）与外动子（2）之间实现联锁配合。
8.根据权利要求2或3所述的一种基于气压控制的联锁结构，其特征在于：所述正压供气通道（8）和负压供气通道（10）分别连接有调压阀；所述的外动子（2）与基座（1）之间的支承形式为气体静压支承、液体静压支承、滑动支承或滚动支承的任一种形式。
9.一种基于气压控制联锁结构的联锁方法，其特征在于，采用权利要求1～6和8中任意一项所述的基于气压控制的联锁结构，包括步骤：
步骤1）气浮面（7）连通外端与供气泵连接，负压供气通道（10）外端与真空泵连接；
步骤2）供气泵和真空泵同时开启，正压供气通道（8）和负压供气通道（10）均开通，内动子（4）浮于基座（1）上，同时摩擦块（5）与工作台（3）及外动子（2）均保留有5～10μm间隙；摩擦块（5）与工作台（3）或外动子（2）不发生接触，工作台（3）和外动子（2）相对于基座（1）自由运动；
步骤3）断开负压供气通道（10），继续保持正压供气通道（8）开通，内动子（4）上浮，摩擦块（5）与工作台（3）摩擦接触，内动子（4）与工作台（3）发生联锁，内动子（4）与工作台（3）及外动子（2）同步运动。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11210749A (ja) * 1997-11-19 1999-08-03 Ntn Corp スライドテーブル装置
US7748952B1 (en) * 2007-08-02 2010-07-06 Florida Turbine Technologies, Inc. Snorkel tube for a gas turbine engine
CN201954205U (zh) * 2011-01-05 2011-08-31 河南科技大学 精密气浮工作台

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19915983A1 (de) * 1999-04-09 2000-10-12 Pfeiffer Vacuum Gmbh Vakuumpumpe mit Gaslagerung
JP2001074051A (ja) * 1999-09-08 2001-03-23 Nikon Corp 真空用エアベアリングインターロック
JP2004100925A (ja) * 2002-09-13 2004-04-02 Canon Inc 静圧軸受および案内装置
JP2004330384A (ja) * 2003-05-12 2004-11-25 Canon Inc 回転主軸装置および加工装置
TWI338912B (en) * 2003-05-12 2011-03-11 Nikon Corp Stage device and exposing device
JP2005256856A (ja) * 2004-03-09 2005-09-22 Nsk Ltd 直線案内装置
JP2006077835A (ja) * 2004-09-08 2006-03-23 Nsk Ltd シール装置
JP2007247812A (ja) * 2006-03-16 2007-09-27 Sumitomo Heavy Ind Ltd 静圧空気軸受け監視装置及び静圧空気軸受け監視装置を備えたステージ装置
JP5070142B2 (ja) * 2008-06-18 2012-11-07 黒崎播磨株式会社 流体静圧案内装置部品、工具支持部品、およびこれらの製造方法
JP2010082489A (ja) * 2008-09-29 2010-04-15 Seiko Epson Corp フラッシング受容装置およびこれを備えた液滴吐出装置
CN203317051U (zh) * 2013-07-18 2013-12-04 北京微纳精密机械有限公司 一种超精密气体静压回转工作台
JP6019003B2 (ja) * 2013-10-25 2016-11-02 株式会社神戸製鋼所 圧縮機
CN105899811B (zh) * 2013-12-19 2018-01-30 皮尔伯格泵技术有限责任公司 带有内燃机与能切换的真空泵的机动车机组装置
CN203817777U (zh) * 2014-05-08 2014-09-10 四川工程职业技术学院 立式机床回转工作台的制动装置
JP6391496B2 (ja) * 2015-02-24 2018-09-19 日本電産コパル電子株式会社 モータ、モータ制御システム
CN205876987U (zh) * 2016-07-22 2017-01-11 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种真空预载气浮转台
US10215230B2 (en) * 2016-09-24 2019-02-26 Radiant Physics Inc. Pressurized gas bearings for rotating machinery
CN106369056B (zh) * 2016-12-05 2019-06-21 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 涡轮增压器
CN208546443U (zh) * 2018-07-26 2019-02-26 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种基于气压控制的联锁结构

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11210749A (ja) * 1997-11-19 1999-08-03 Ntn Corp スライドテーブル装置
US7748952B1 (en) * 2007-08-02 2010-07-06 Florida Turbine Technologies, Inc. Snorkel tube for a gas turbine engine
CN201954205U (zh) * 2011-01-05 2011-08-31 河南科技大学 精密气浮工作台

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