CN108636046A - 一种半导体制程废气的燃烧处理装置 - Google Patents
一种半导体制程废气的燃烧处理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108636046A CN108636046A CN201810745377.8A CN201810745377A CN108636046A CN 108636046 A CN108636046 A CN 108636046A CN 201810745377 A CN201810745377 A CN 201810745377A CN 108636046 A CN108636046 A CN 108636046A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- combustion box
- communicated
- gas
- exhaust gas
- manufacture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims abstract description 59
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 12
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 2
- 244000309464 bull Species 0.000 claims 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 54
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000002585 base Substances 0.000 description 4
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 238000005202 decontamination Methods 0.000 description 2
- 230000003588 decontaminative effect Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D50/00—Combinations of methods or devices for separating particles from gases or vapours
- B01D50/60—Combinations of devices covered by groups B01D46/00 and B01D47/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/26—Drying gases or vapours
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/38—Removing components of undefined structure
- B01D53/40—Acidic components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/38—Removing components of undefined structure
- B01D53/42—Basic components
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/75—Multi-step processes
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2258/00—Sources of waste gases
- B01D2258/02—Other waste gases
- B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G2209/00—Specific waste
- F23G2209/14—Gaseous waste or fumes
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Incineration Of Waste (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
本发明提供一种半导体制程废气的燃烧处理装置，涉及工业环保设备技术领域。该制程废气的燃烧处理装置，包括除尘箱，所述除尘箱左侧连通有进气管，所述进气管上设置有第一风机，所述除尘箱顶部连通有第二风机，所述第一进气管上设置有干燥器，所述第一进气管右端连通有燃烧箱，所述燃烧箱内部固定连接有陶瓷传热板，所述燃烧箱左侧连通有第三风机，所述燃烧箱顶部固定安装有液化气箱体，所述燃烧箱右侧连通有出气管。该半导体制程废气的燃烧处理装置，通过设置除尘箱，使得气体更为流畅的通过装置，通过设置装置箱，对初步过滤的气体进行酸碱中和，通过设置燃烧箱，使得充分燃烧的气体可以通过出气口进入到大气中。
Description
技术领域
本发明涉及工业环保设备技术领域，具体为一种半导体制程废气的燃烧处理装置。
背景技术
随着社会的进步，工业化的进程也飞速发展，工业生产不断发展会对大气中排放大量的工业残余气体，这样的气体排放到大气中，会导致很多严重的后果，例如：产生环境污染，对工厂的厂房，尤其是现代化的钢结构厂房有很大的腐蚀作用，造成不可挽回的损失，对成品及再制品的表面质量产生影响，特别是酸气会导致铜及铜合金带材表面产生腐蚀、锈斑，另外酸碱废气对人的身体健康也有很大的危害，半导体废气排放也不例外，半导体制配过程中会产生酸碱气体以及其他有机废气，这样的气体排放到空气中会污染空气，危害人体的健康，甚至会产生爆炸，对工人的人身安全带来影响，于是半导体废气处理的废气燃烧处理设备应运而生。
现在对制配半导体产生的废气处理多采用洗涤塔进行吸收，碱性气体采用酸性洗涤塔吸收，酸性气体采用碱性洗涤塔吸收，将进过结构简单的燃烧装置进行燃烧处理。往往这样简单的燃烧处理的设备对排放出来的气体燃烧的不完全，没有一系列的净化处理直接进行燃烧处理会导致燃烧效果不明显，而使得排放出来的气体仍有一定的危害。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体制程废气的燃烧处理装置，解决了半导体制程废气燃烧不彻底的问题。
技术方案
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种半导体制程废气的燃烧处理装置，包括除尘箱，所述除尘箱左侧连通有进气管，所述进气管上设置有第一风机，所述除尘箱顶部连通有第二风机，所述第二风机右侧连通有第一输气管，所述第一输气管右侧贯穿装置箱左侧并延伸至装置箱右侧，所述第一进气管上设置有干燥器，所述第一进气管右端连通有燃烧箱，所述燃烧箱内部固定连接有陶瓷传热板，所述燃烧箱左侧连通有第三风机，所述燃烧箱顶部固定安装有液化气箱体，所述燃烧箱右侧连通有出气管。
进一步的，所述除尘箱内部固定安装有第一过滤网，所述第一过滤网底部固定安装有第一喷头，所述除尘箱内部固定安装有第二过滤网，所述第二过滤网底部固定安装有第二喷头，所述第二过滤网位于第一过滤网上方，第一喷头与第二喷头数量为若干个。
进一步的，所述第一进气管上连通有酸性中和器和碱性中和器，所述酸性中和器与碱性中和器均固定安装在装置箱内壁的底部。
进一步的，所述干燥器位于装置箱与燃烧箱中间位置。
进一步的，所述所述陶瓷传热板与燃烧箱底面积想等，所述陶瓷传热板上设置有通气孔，所述燃烧箱左侧穿插设置有调节装置，所述调节装置右侧贯穿燃烧箱左侧并延生至通气孔最右端，所述陶瓷传热板上部设置有燃烧室，所述液化气箱体底部连通有第二输气管，所述第二输气管贯穿燃烧箱顶部并延生至燃烧室内部，所述第二输气管的一端固定连接有燃烧装置，所述燃烧箱顶部穿插设置有点火装置，所述点火装置与第二输气管的底端紧靠，所述燃烧装置顶部固定安装在燃烧箱内壁的顶部，所述燃烧箱外部设置有隔热层。
进一步的，所述调节装置包括活动板，所述活动板左侧贯穿有旋转杆，所述旋转杆延伸至活动板内部，所述旋转杆与活动板为螺纹连接，所述旋转杆左侧固定安装有旋转阀，所述活动板截面积大于通气孔的截面积。
工作原理：使用时，半导体废气被第一风机产生的风力吸入到进气管并进入到除尘箱里，第一喷头与第二喷头会对进入的气体进行除尘，喷头向下喷射液体，因颗粒和液滴之间的惯性碰撞、拦截和凝聚等作用，使较大的粒子被液滴捕集，从而沉落在除污箱底部，较为纯的气体再次经过第一过滤网与第二过滤网进行过滤，第二风机会将过滤后的气体抽入到第一输气管并进入到装置箱内，经过酸性中和器与碱性中和器，中和掉气体内含的酸碱性气体，中和后的气体经过干燥器进行干燥，干燥后的气体通入到燃烧箱的底部，燃烧装置的燃烧会产生热量，热量经过陶瓷传热板传到燃烧箱底部，这时干燥后的气体会进行预热，打开调节装置，使得气体经过通气孔进入到燃烧室进行最后一步燃烧，燃烧后的气体被第三风机吹出燃烧室，经过出气口进入到大气。
有益效果
相比较现有技术:
1、该半导体制程废气的燃烧处理装置，通过设置除尘箱，除尘箱内部固定安装的第一过滤网与第二过滤网，第一过滤网与第二过滤网底部固定安装的第一喷头与第二喷头，第一喷头与第二喷头会对进入的气体进行除尘，喷头向下喷射液体，因颗粒和液滴之间的惯性碰撞、拦截和凝聚等作用，使较大的粒子被液滴捕集，从而沉落在除污箱底部，较为纯的气体再次经过第一过滤网与第二过滤网进行过滤，第一风机和第二风机的设置，使得气体更为流畅的通过装置。
2、该半导体制程废气的燃烧处理装置，通过设置装置箱，装置箱内固定安装的酸碱中和器，对初步过滤的气体进行酸碱中和，干燥器的设置使得气体更为干燥，使得进行燃烧处理时燃烧的更为充分。
3、该半导体制程废气的燃烧处理装置，通过设置燃烧箱，燃烧箱内部固定连接的陶瓷传热板，使得陶瓷传热板下部起到预热的作用，对进行干燥处理后气体进行预热，调节装置的设置，使得可以控制气体充分预热后进入到燃烧室，第三风机的设置，使得充分燃烧的气体可以通过出气口进入到大气中。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明调节装置结构示意图。
图中：1除尘箱、2第一风机、3进气管、4第一过滤网、5第一喷头、6第二过滤网、7第二喷头、8第二风机、9第一输气管、10装置箱、11酸性中和器、12碱性中和器、13干燥器、14燃烧箱、15陶瓷传热板、16液化气体箱、17调节装置、1701旋转阀、1702旋转杆、1703活动板、18通气孔、19第三风机、20第二输气管、21点火装置、22燃烧室、23出气管、24燃烧装置。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-2所示，本发明实施例提供一种半导体制程废气的燃烧处理装置，包括除尘箱1，除尘箱1左侧连通有进气管3，进气管3上设置有第一风机2，除尘箱1内部固定安装有第一过滤网4，第一过滤网4底部固定安装有第一喷头5，除尘箱1内部固定安装有第二过滤网6，第二过滤网6底部固定安装有第二喷头7，第二过滤网6位于第一过滤网4上方，第一喷头5与第二喷头7数量为若干个，除尘箱1顶部连通有第二风机8，通过设置除尘箱1，除尘箱1内部固定安装的第一过滤网4与第二过滤6网，第一过滤网4与第二过滤网6底部固定安装的第一喷头5与第二喷头7，第一喷头5与第二喷头7会对进入的气体进行除尘，喷头向下喷射液体，因颗粒和液滴之间的惯性碰撞、拦截和凝聚等作用，使较大的粒子被液滴捕集，从而沉落在除尘箱1底部，较为纯的气体再次经过第一过滤网4与第二过滤网6进行过滤，第一风机2和第二风机8的设置，使得气体更为流畅的通过装置，第二风机右侧连通有第一输气管9，第一输气管9右侧贯穿装置箱10左侧并延伸至装置箱10右侧，第一进气管9上连通有酸性中和器11和碱性中和器12，酸性中和器11与碱性中和器12均固定安装在装置箱10内壁的底部，第一进气管9上设置有干燥器13，干燥器13位于装置箱10与燃烧箱14中间位置，通过设置装置箱10，装置箱10内固定安装的酸碱中和器，对初步过滤的气体进行酸碱中和，干燥器13的设置使得气体更为干燥，使得进行燃烧处理时燃烧的更为充分，第一进气管9右端连通有燃烧箱14，燃烧箱14内部固定连接有陶瓷传热板15，燃烧箱14左侧连通有第三风机19，燃烧箱14顶部固定安装有液化气箱体16，燃烧箱14右侧连通有出气管23，陶瓷传热板15与燃烧箱14底面积想等，陶瓷传热板15上设置有通气孔18，燃烧箱14左侧穿插设置有调节装置17，调节装置17包括活动板1703，活动板1703左侧贯穿有旋转杆1702，旋转杆1702延伸至活动板1703内部，旋转杆1702与活动板1703为螺纹连接，旋转杆1702左侧固定安装有旋转阀1701，活动板1703截面积大于通气孔18的截面积，调节装置17右侧贯穿燃烧箱14左侧并延生至通气孔18最右端，陶瓷传热板15上部设置有燃烧室22，液化气箱体16底部连通有第二输气管20，第二输气管20贯穿燃烧箱14顶部并延生至燃烧室22内部，第二输气管20的一端固定连接有燃烧装置24，燃烧箱14顶部穿插设置有点火装置21，点火装置21与第二输气管20的底端紧靠，燃烧装置24顶部固定安装在燃烧箱14内壁的顶部，燃烧箱外部设置有隔热层，通过设置燃烧箱14，燃烧箱14内部固定连接的陶瓷传热板15，使得陶瓷传热板15下部起到预热的作用，对进行干燥处理后气体进行预热，调节装置17的设置，使得可以控制气体充分预热后进入到燃烧室22，第三风机19的设置，使得充分燃烧的气体可以通过出气口进入到大气中。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种半导体制程废气的燃烧处理装置，包括除尘箱(1)，其特征在于：所述除尘箱(1)左侧连通有进气管(3)，所述进气管(3)上设置有第一风机(2)，所述除尘箱(1)顶部连通有第二风机(8)，所述第二风机右侧连通有第一输气管(9)，所述第一输气管(9)右侧贯穿装置箱(10)左侧并延伸至装置箱(10)右侧，所述第一进气管(9)上设置有干燥器(13)，所述第一进气管(9)右端连通有燃烧箱(14)，所述燃烧箱(14)内部固定连接有陶瓷传热板(15)，所述燃烧箱(14)左侧连通有第三风机(19)，所述燃烧箱(14)顶部固定安装有液化气箱体(16)，所述燃烧箱(14)右侧连通有出气管(23)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气的燃烧处理装置，其特征在于：所述除尘箱(1)内部固定安装有第一过滤网(4)，所述第一过滤网(4)底部固定安装有第一喷头(5)，所述除尘箱(1)内部固定安装有第二过滤网(6)，所述第二过滤网(6)底部固定安装有第二喷头(7)，所述第二过滤网(6)位于第一过滤网(4)上方，第一喷头(5)与第二喷头(7)数量为若干个。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气的燃烧处理装置，其特征在于：所述第一进气管(9)上连通有酸性中和器(11)和碱性中和器(12)，所述酸性中和器(11)与碱性中和器(12)均固定安装在装置箱(10)内壁的底部。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气的燃烧处理装置，其特征在于：所述干燥器(13)位于装置箱(10)与燃烧箱(14)中间位置。
5.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气的燃烧处理装置，其特征在于：所述陶瓷传热板(15)与燃烧箱(14)底面积想等，所述陶瓷传热板(15)上设置有通气孔(18)，所述燃烧箱(14)左侧穿插设置有调节装置(17)，所述调节装置(17)右侧贯穿燃烧箱(14)左侧并延生至通气孔(18)最右端，所述陶瓷传热板(15)上部设置有燃烧室(22)，所述液化气箱体(16)底部连通有第二输气管(20)，所述第二输气管(20)贯穿燃烧箱(14)顶部并延生至燃烧室(22)内部，所述第二输气管(20)的一端固定连接有燃烧装置(24)，所述燃烧箱(14)顶部穿插设置有点火装置(21)，所述点火装置(21)与第二输气管(20)的底端紧靠，所述燃烧装置(24)顶部固定安装在燃烧箱(14)内壁的顶部，所述燃烧箱外部设置有隔热层。
6.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气的燃烧处理装置，其特征在于：所述调节装置(17)包括活动板(1703)，所述活动板(1703)左侧贯穿有旋转杆(1702)，所述旋转杆(1702)延伸至活动板(1703)内部，所述旋转杆(1702)与活动板(1703)为螺纹连接，所述旋转杆(1702)左侧固定安装有旋转阀(1701)，所述活动板(1703)截面积大于通气孔(18)的截面积。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810745377.8A CN108636046A (zh) | 2018-07-09 | 2018-07-09 | 一种半导体制程废气的燃烧处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810745377.8A CN108636046A (zh) | 2018-07-09 | 2018-07-09 | 一种半导体制程废气的燃烧处理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108636046A true CN108636046A (zh) | 2018-10-12 |
Family
ID=63751272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810745377.8A Pending CN108636046A (zh) | 2018-07-09 | 2018-07-09 | 一种半导体制程废气的燃烧处理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108636046A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112933861A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-06-11 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 半导体制程废气处理的控制方法及设备 |
| CN113446609A (zh) * | 2021-07-05 | 2021-09-28 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 | 用于处理半导体制程中产生的清洁气体的系统及方法、装置 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0796134A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-11 | Ngk Insulators Ltd | 燃焼排ガス処理装置および処理方法 |
| CN102151472A (zh) * | 2011-02-14 | 2011-08-17 | 民政部一零一研究所 | 一种小型火化烟气净化装置 |
| CN203874629U (zh) * | 2014-05-12 | 2014-10-15 | 孙艳玲 | 一种电厂锅炉烟气除尘装置 |
| CN104226098A (zh) * | 2014-10-11 | 2014-12-24 | 北京嘉格伟业筑路科技有限公司 | 一种改性沥青尾气处理系统及其处理工艺 |
| CN204952558U (zh) * | 2015-08-10 | 2016-01-13 | 浙江华德利纺织印染有限公司 | 定型机废气处理系统 |
| CN105465790A (zh) * | 2016-01-29 | 2016-04-06 | 苏州新区环保服务中心有限公司 | 工业废弃物的环保排放处理系统 |
| CN205412631U (zh) * | 2016-03-10 | 2016-08-03 | 黄河科技学院 | 一种化工废气综合处理装置 |
| CN206519006U (zh) * | 2016-12-29 | 2017-09-26 | 江苏中海华核电材料科技有限公司 | 焚烧炉烟气处理系统 |
| CN206715656U (zh) * | 2017-01-19 | 2017-12-08 | 镇江市高等专科学校 | 化工原料燃烧尾气处理装置 |
| CN208990470U (zh) * | 2018-07-09 | 2019-06-18 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 | 一种半导体制程废气的燃烧处理装置 |
-
2018
- 2018-07-09 CN CN201810745377.8A patent/CN108636046A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0796134A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-11 | Ngk Insulators Ltd | 燃焼排ガス処理装置および処理方法 |
| CN102151472A (zh) * | 2011-02-14 | 2011-08-17 | 民政部一零一研究所 | 一种小型火化烟气净化装置 |
| CN203874629U (zh) * | 2014-05-12 | 2014-10-15 | 孙艳玲 | 一种电厂锅炉烟气除尘装置 |
| CN104226098A (zh) * | 2014-10-11 | 2014-12-24 | 北京嘉格伟业筑路科技有限公司 | 一种改性沥青尾气处理系统及其处理工艺 |
| CN204952558U (zh) * | 2015-08-10 | 2016-01-13 | 浙江华德利纺织印染有限公司 | 定型机废气处理系统 |
| CN105465790A (zh) * | 2016-01-29 | 2016-04-06 | 苏州新区环保服务中心有限公司 | 工业废弃物的环保排放处理系统 |
| CN205412631U (zh) * | 2016-03-10 | 2016-08-03 | 黄河科技学院 | 一种化工废气综合处理装置 |
| CN206519006U (zh) * | 2016-12-29 | 2017-09-26 | 江苏中海华核电材料科技有限公司 | 焚烧炉烟气处理系统 |
| CN206715656U (zh) * | 2017-01-19 | 2017-12-08 | 镇江市高等专科学校 | 化工原料燃烧尾气处理装置 |
| CN208990470U (zh) * | 2018-07-09 | 2019-06-18 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 | 一种半导体制程废气的燃烧处理装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112933861A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-06-11 | 北京京仪自动化装备技术有限公司 | 半导体制程废气处理的控制方法及设备 |
| CN113446609A (zh) * | 2021-07-05 | 2021-09-28 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 | 用于处理半导体制程中产生的清洁气体的系统及方法、装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108636046A (zh) | 一种半导体制程废气的燃烧处理装置 | |
| CN208990470U (zh) | 一种半导体制程废气的燃烧处理装置 | |
| CN105465790A (zh) | 工业废弃物的环保排放处理系统 | |
| CN105546545A (zh) | 工业固体废弃物的环保排放处理系统 | |
| CN110180300A (zh) | 一种燃煤电站锅炉烟气处理装置及方法 | |
| CN204891514U (zh) | 染整定型机有机废气处理装置 | |
| CN207999835U (zh) | 一种高效焚烧炉回转窑系统 | |
| CN103752112B (zh) | 湿式烟尘处理装置 | |
| CN103405977A (zh) | 印染定型机废气多级喷淋处理装置 | |
| CN203469731U (zh) | 定型机油烟物理净化装置 | |
| CN110624344A (zh) | 一种用于喷漆室废气的处理系统 | |
| CN110806099A (zh) | 一种重碱煅烧用回转式煅烧炉 | |
| CN203869073U (zh) | 一种可循环利用废碱液处理回转窑烟气的装置 | |
| CN209292377U (zh) | 一种高炉水渣工艺节能消白处理系统 | |
| CN207871840U (zh) | 一种废气处理装置 | |
| CN206897157U (zh) | 基于环形进风管的急冷脱酸塔 | |
| CN104941365A (zh) | 一种工业锅炉废气净化装置 | |
| CN104958975A (zh) | 一种工业废气净化装置 | |
| CN205699942U (zh) | 一种纤维烘干尾气处理装置 | |
| CN205746962U (zh) | 一种火电厂烟气余热利用装置 | |
| CN206875455U (zh) | 燃煤锅炉落灰膛除尘装置 | |
| CN104962411B (zh) | 一种洗衣粉生产余热回收利用工艺及装置 | |
| CN109457068A (zh) | 一种高炉水渣工艺节能消白处理系统 | |
| CN212538845U (zh) | 一种节能净化用窑炉 | |
| CN210267755U (zh) | 一种燃煤卧式消烟除尘锅炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20181012 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |