CN108340680A - 液体喷射装置及其驱动方法以及液体供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了液体喷射装置及其驱动方法以及液体供给装置，薄膜压电体当长时间被施加电场时能够劣化而产生绝缘破坏。液体喷射装置包括形成有与喷出液体的喷嘴连通的压力室的基板、与压力室对应设置且通过施加电压而向与厚度方向正交的方向收缩的压电体、以及配置在压力室与压电体之间且通过向压电体施加电压而使压力室的容积变化的容积可变板，在液体喷射装置的驱动方法中包括以下工序：施加从喷嘴喷出液体之前的休止状态的第一电压；在从喷嘴喷出液体之前施加使压电体收缩的比第一电压高的待机状态下的第二电压；施加从喷嘴喷出液体的比第二电压低的第三电压；根据表示是否喷出液体的喷出数据而向压电体切换施加第一电压、第二电压、第三电压。

Description

液体喷射装置及其驱动方法以及液体供给装置

技术领域

本发明的实施方式涉及一种包括液体喷射装置的喷墨记录装置，该液体喷射装置使填充有墨的压力室的容积变化而从与压力室连通的喷嘴喷出墨滴。

背景技术

已知有将微量的液滴以必要量向必要场所供给的液体喷射装置。例如是喷墨打印机、点胶装置、3D打印机等。喷墨打印机使墨滴附着在纸等介质的所希望的位置而形成图像、文字。喷墨打印机包括根据印字数据使墨滴喷出的喷墨头。点胶装置是在制药、生物领域中将试剂以规定量朝规定的容器供给的装置。另外，3D打印机通过将液体树脂以规定量在规定的时刻向规定的场所供给，从而实现立体印刷。喷墨打印机、点胶装置、3D打印机均包括根据控制数据来喷射微量的液滴的液体喷射装置。喷墨头也是液体喷射装置之一。

作为以往的喷墨头，已知如下结构：具有形成了墨压力室的基板、层叠于基板的振动板、以及在振动板上形成的压电元件。薄膜的压电体存在当长时间被持续施加高电压时发生劣化的趋势。压电体的劣化会缩短喷墨头的寿命。

发明内容

发明要解决的技术问题

薄膜的压电体存在当长时间被持续施加高电压时发生劣化的趋势。若发生劣化，则通过施加电压而使薄膜压电体产生绝缘破坏。作为具有薄膜压电体的喷墨头而有可能无法动作。压电体的劣化会缩短喷墨头的寿命。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的实施方式的液体喷射装置的驱动方法，该液体喷射装置包括：基板，形成有与喷出液体的喷嘴连通的压力室；压电体，与所述压力室对应设置，并通过施加电压而向与厚度方向正交的方向收缩；以及容积可变板，配置在所述压力室与所述压电体之间，并通过向所述压电体施加电压而使所述压力室的容积变化，其特征在于，所述液体喷射装置的驱动方法包括：第一工序，在从所述喷嘴喷出所述液体之前的休止期间向所述压电体施加第一电压；第二工序，在从所述喷嘴喷出所述液体之前的待机期间，所述压电体施加使所述压电体收缩并使所述压力室的容积减少的比所述第一电压高的第二电压；第三工序，在向所述压电体施加比所述第二电压低的第三电压之后，向所述压电体施加所述第二电压，从所述喷嘴喷出所述液体；以及切换工序，根据表示是否喷出所述液体的喷出数据，切换所述第一工序、第二工序、第三工序。

本发明的实施方式的液体喷射装置，包括：基板，形成有与喷出液体的喷嘴连通的压力室；压电体，与所述压力室对应设置，并通过施加电压而向与厚度方向正交的方向收缩；容积可变板，配置在所述压力室与压电体之间，并通过向所述压电体施加电压而使所述压力室的容积变化；以及驱动电路，产生包括从所述喷嘴喷出所述液体之前的休止状态的第一电压、在从所述喷嘴喷出所述液体之前使所述压电体收缩的比所述第一电压高的待机状态的第二电压、以及从所述喷嘴喷出所述液体的比所述第二电压低的第三电压的电信号，并根据表示是否喷出所述液体的喷出数据，向所述压电体切换施加所述第一电压、第二电压、第三电压。

本发明的实施方式的液体供给装置，包括：液体喷射装置，具有：基板，形成有与喷出液体的喷嘴连通的压力室；压电体，与所述压力室对应设置，并通过施加电压而向与厚度方向正交的方向收缩；容积可变板，配置在所述压力室与压电体之间，并通过向所述压电体施加电压而使所述压力室的容积变化；以及驱动电路，产生包括从所述喷嘴喷出所述液体之前的休止状态的第一电压、在从所述喷嘴喷出所述液体之前使所述压电体收缩的比所述第一电压高的待机状态的第二电压、以及从所述喷嘴喷出所述液体的比所述第二电压低的第三电压的电信号，根据表示是否喷出所述液体的喷出数据，向所述压电体切换施加所述第一电压、第二电压、第三电压；存储器，保存所述喷出数据；控制电路，基于所述存储器所保存的喷出数据，产生切换所述第一电压、第二电压、第三电压的信号；以及搬运装置，对接受由所述液体喷射装置喷出的液体的介质进行搬运。

附图说明

图1是示意性表示第一实施方式的喷墨打印机的侧视图。

图2是表示第一实施方式的喷墨头的立体图。

图3是从墨喷出口侧观察第一实施方式的喷墨头的流路基板的俯视图。

图4是图3的流路基板的致动器的详细图。

图5是图4所示的致动器的A-A部的剖视图。

图6是表示驱动第一实施方式的喷墨打印机的电路结构的图。

图7是表示使第一实施方式的喷墨头动作的电压波形、压力、流速、弯液面位置的变化以及墨喷出的状态的图。

图8是表示使第一实施方式的喷墨头动作的电压波形的图。

图9是表示对第二实施方式的喷墨打印机进行驱动的电路结构的图。

图10是表示使第三实施方式的喷墨头动作的电压波形的图。

图11是表示使第四实施方式的喷墨头动作的电压波形的图。

图12是表示使第五实施方式的喷墨头动作的电压波形的图。

图13的13-A和13-B是第六实施方式的液体点胶装置的简要图。

附图标记说明：

1、1A、1B、1C、1D、喷墨头；2、墨供给部；3、流路基板；4、柔性基板；5、驱动电路；6、致动器；10、振动板；12、压电体膜；71、休止期间；72、待机期间；73、印字期间；74、休止期间；100、喷墨打印机；102、供纸盒；123、排纸托盘；110、搬运带；130a、130b、130c、130d、墨罐；140、控制基板。

具体实施方式

记录介质是没有花纹的用纸、美术纸、涂布纸等。纸以外的记录介质是布、聚氯乙烯树脂膜、塑料膜、陶瓷等。

墨是作为着色剂而使染料或者颜料向溶剂溶解或者分散而成的液体。作为墨溶剂，具有水性溶剂、油性溶剂等。另外，墨也包含由液体喷射装置喷出的透明液体。透明液体在用于图像形成的基底层、保护层形成中被利用。在使包含着色剂的墨附着之前，基底层形成在记录介质上，改善附着的墨的发色性。在使包含着色剂的墨附着于记录介质之后，保护层形成在形成的墨层上。在液体喷射装置的作用下飞翔的液体除墨以外，也包括在制药、生物领域中使用的试剂、医药品、3D打印机所使用的液体树脂等。

以下，参照附图对实施方式进行说明。在附图中，相同的编号表示相同的结构。

作为液体喷射装置，例示说明了喷墨头。另外，作为搭载有液体喷射装置的液体喷射记录装置，例示了喷墨打印机。

(第一实施方式)

图1表示搭载有实施方式的喷墨头(1A、1B、1C、1D)的喷墨打印机100的剖面。计算机150产生用于向记录介质103、108描绘的印字数据。印字数据通过电缆143、连接器141、142向喷墨打印机100输入。喷墨头1A至1D(印字部134)喷出青色、品红色、黄色、黑色的墨，根据印字数据在记录介质(用纸103、108)上记录图像。Y轴方向表示重力方向。将墨喷出的方向设为正，记载为+Y轴。

喷墨打印机100具有箱型的壳体101。在壳体101的内部从Y轴方向下部朝向上部配置有供纸盒102、107、上游搬运路106、搬运带110、印字部134、下游搬运路120、排纸托盘123。喷墨打印机100还包括显示器142、控制基板140。喷墨头1A～1D向在搬运带110上保持的用纸103、108喷出墨滴而记录图像。

供纸盒102收容多张A4尺寸用纸103。供纸盒107收容多张A3尺寸用纸108。喷墨打印机100利用墨在供纸盒102、供纸盒107中的这两种用纸上进行描绘。供纸盒102与供纸盒107设于壳体101的下部。

供纸辊104将用纸103一张一张地从供纸盒102朝上游搬运路106供给。上游搬运路106由进给辊对105a、105b、105c、以及限制用纸103、108的搬运方向的用纸引导板106a、106b构成。用纸103借助进给辊对105a、105b的旋转而被搬运，在通过进给辊对105a之后，在用纸引导板106a的作用下朝搬运带110的外周面输送。图1中的虚线箭头A1表示用纸103的引导路线。

供纸辊109将用纸108一张一张地从供纸盒107朝上游搬运路106供给。用纸108借助进给辊对105c、105a、105b的旋转而被搬运，在通过进给辊对105c之后，在用纸引导板106a、106b的作用下朝搬运带110的外周面输送。图1中的虚线箭头A2表示用纸108的引导路线。

搬运带110形成为编织成网状且贯穿表里地形成有微小孔的环形带。搬运带110形成为比搬运的纸宽度大的宽度(Z轴方向的宽度)。在本实施例中，为了搬运A3用纸，因此宽度为330mm。搬运带110在驱动辊112a、从动辊112b、112c这三根辊的作用下，被支撑为无松动且旋转自如。驱动辊112a在马达111的作用下朝A3方向旋转，以规定的周速使搬运带110旋转。与搬运带110的内表面接触而设有负压容器113。负压容器113的Y轴方向的上表面与搬运带110的内表面接触。在负压容器113上表面形成有许多微小孔114。负压容器113与对容器内部进行减压的风扇115连通。通过风扇115的旋转，如箭头A4所示那样，产生气流并使负压容器113内减压。通过减压，穿过形成于搬运带110的微小孔而将用纸103、108吸附在搬运带110上表面。通过搬运带110的旋转，用纸103、108被搬运带110吸附，穿过印字部134的下部沿X轴方向被搬运。之后，用纸103、108被下游搬运部120搬运。

印字部134包括喷出青色墨的喷墨头1A、喷出品红色墨的喷墨头1B、喷出黄色墨的喷墨头1C、以及喷出黑色墨的喷墨头1D。另外，印字部134包括使喷墨头1A动作的、墨供给压力调整装置131a、墨罐130a、维护单元132a。维护单元132a包括保护喷墨头1A的墨喷出喷嘴的表面的盖132a2、以及除去在喷嘴表面上残留的附着物的刮板132a1。同样包括使喷墨头1B动作的、墨供给压力调整装置131b、墨罐130b、维护单元132b。包括使喷墨头1C动作的、墨供给压力调整装置131c、墨罐130c、维护单元132c。包括使喷墨头1D动作的墨供给压力调整装置131d、墨罐130d、维护单元132d。维护单元132b、132c、132d包括与盖132a2和刮板132a1相同的盖和刮板。

以使喷墨头1A～1D的墨喷出面从搬运带110的上表面起分离距离H1的方式将喷墨头1A～1D固定于喷墨打印机100。H1为1mm。各喷墨头1A～1D构成为在搬运带110的宽度方向(主扫描方向)上长且在搬运带110旋转方向(副扫描方向)上短，另外配置为沿搬运带110的旋转方向隔开间隔。喷墨头1A～1D的用纸宽度方向上的长度形成为297mm。在本实施例中，将宽度30mm的小型头呈锯齿状排列，形成297mm的喷墨头。喷墨头1A～1D除了喷出的墨色以外形成相同的构造。喷墨头1A～1D的详细构造见后述。

墨罐130a是储存青色墨的墨容器。墨罐130a在Y轴方向上配置于喷墨头1A的上部。

在Y轴方向上，墨罐130a配置在喷墨头1A的上部，喷墨头1A朝向下方喷出墨滴135。在待机时，需要使青色墨不会从喷墨头1A漏出，因此需要使喷墨头1A内的墨相对于大气压维持为负压。墨供给压力调整装置131a在Y轴方向上配置在墨罐130a与喷墨头1A之间，将喷墨头1A内的墨相对于大气压维持为负压。负压设定为-1kPa。墨从墨供给压力调整装置131a穿过喷墨头1A的墨供给管133向喷墨头1A供给。墨供给管133为树脂制管。喷墨头1B～1D也分别包括同样的墨罐130b、130c、130d与墨供给压力调整装置131b、131c、131d。

形成有图像的用纸103、108与搬运带110分离，朝进给辊对120a被输送。下游搬运路120由进给辊对120a、120b、120c、120d以及限制用纸103、108的搬运方向的用纸引导板121a、121b构成。沿着图中的虚线箭头A5，利用进给辊对120a、120b、120c、120d将用纸103、108从排纸口122朝排纸托盘123排出。

详细说明喷墨头1A的结构。如所述那样，喷墨头1B～1D形成与1A相同的构造。

图2是表示喷墨头1(1A～1D)的外观立体图。喷墨头1由墨供给部2、流路基板3(基板)、柔性基板4、驱动电路5构成。墨供给管133将墨供给压力调整装置131a～131d与喷墨头1连接起来。箭头B1表示喷墨头1相对于用纸103、108的印刷面相对移动的方向。图3是从墨喷出口侧观察喷墨头1的流路基板3的俯视图。图4是详细表示图3所示的致动器6的结构的俯视图。图5是流路基板3的图4所示的A-A剖视图，且是沿A箭头方向观察的图。

如图3所示，流路基板3包括致动器6、独立电极7、共用电极8a、8b、安装垫片9。如图4所示，在致动器6的中心设有喷出墨的喷嘴17。另外，致动器6包括振动板10、下部电极11、压电体膜12、上部电极13、绝缘层14、保护层16、接触孔15a、15b。(上部电极13、绝缘层14、保护层16参照图5。)下部电极11与上部电极13夹着压电体膜12。由下部电极11与上部电极13夹着压电体膜12的结构形成压电体。流路基板3包括多个压力室18。各致动器的一面构成压力室18的一个内表面。致动器6根据电信号使压力室18的容积发生变化。

墨供给部2包括墨供给口21(图5)。墨供给口21与墨供给管133连接，将墨朝墨供给部2供给。墨供给部2由氧化铝(Al₂O₃)形成。墨供给部2从墨供给口21向形成于流路基板3的多个压力室18供给墨。墨供给部2通过环氧树脂22粘合于流路基板3。

在流路基板3的表面上二维配置有多个圆形的致动器6(图3)。在致动器6的中心形成有喷出墨的喷嘴17。通过致动器6的动作将墨滴从喷嘴17朝+Y轴方向(图2)喷出。各喷嘴17在印刷方向(X方向)上相互不重叠，在与印刷方向正交的方向(Z方向)上以等间隔配置。各喷嘴17配置为沿X轴方向分离距离X1、沿Z轴方向分离距离Z1(图4)。在本实施方式中，X1为250μm，Z1为21.2μm。在喷墨头1的Z轴方向上，以1200(DPI(DOT PER INCH)的记录密度配置有喷嘴。X轴方向的记录密度由搬运带110的周速与墨喷出的时间决定。在本实施方式中，在X轴方向上也以1200DPI印字。如图3所示，将沿X轴方向排列的8个致动器6设为1组(61)，沿Z轴方向排列75组。另外，将75组设为1个群(62、63)，沿X轴方向排列2个群。致动器的总数为1200个。

各个致动器6通过向独立电极7与共用电极8a、8b施加的信号进行动作。独立电极7将一个致动器6与同该致动器6对应设置的安装垫片9电连接。独立电极7彼此设置为电独立。

共用电极8a电连接1组(61)致动器6。即，共用电极8a被8个致动器6共用。将1组(61)致动器6连接起来的共用电极8a在共用电极8a的端部8a1与共用电极8b连接。根据2个群(62、63)的致动器6，将合计150个共用电极8a与共用电极8b连接。共用电极8b的端部与安装垫片9电连接。安装垫片9成为向致动器6发送驱动信号(电信号)的输入口。

安装垫片9通过各向异性导电薄膜41(ACF：Anisotropic Contact Film)与形成于柔性基板4的多个布线图案电连接。柔性基板4的布线图案与驱动电路5连接。利用由驱动电路5产生的驱动信号，致动器6进行动作。此外，也能够替代ACF，通过引线结合法来连接安装垫片9与驱动电路5。

参照图5，说明流路基板3的结构。流路基板3由单晶硅晶圆19与在单晶硅晶圆19的第一面上形成的致动器6构成。单晶硅晶圆19的厚度为500μm。直径200μm的孔20在与致动器6对应的位置形成于单晶硅晶圆19的内部。利用致动器6与孔20构成供墨填充的压力室18。孔20通过干式蚀刻从单晶硅晶圆19的第二面形成。

致动器6的振动板10与流路基板3形成为一体以覆盖压力室18的第一面。振动板10由厚度4μm的二氧化硅形成。在振动板10上，以与压力室18呈同心圆的方式形成有直径比喷嘴17大30μm的贯通孔23。二氧化硅通过在形成孔20之前以高温对单晶硅晶圆19进行加热而形成。

振动板10的厚度为2～10μm，优选为4～6μm。当压电体膜12在面内方向上伸缩时，在绝缘性无机材料的振动板10上产生弯曲。将产生弯曲的板称作振动板。振动板13是以通过变形来改变压力室的墨的压力的方式发挥功能的容积可变板。

在振动板10的与压力室18对置的位置，下部电极11、压电体膜12、上部电极13以喷嘴17为中心形成为面包圈状(圆环)。喷嘴17形成于压力室18的中心。下部电极11、压电体膜12、上部电极13成为内径30μm、外形140μm。下部电极11由厚度0.15μm的铂形成。压电体膜12由厚度2μm的PZT(锆钛酸铅)形成。上部电极13由厚度0.15μm的铂形成。下部电极11、压电体膜12、上部电极13分别由RF磁控管溅射法形成。此外，下部电极11以及上部电极13的厚度优选处于0.1至0.2μm的范围。

作为压电体膜12的材料而使用PZT(锆钛酸铅)。作为其它的材料，也能够使用KNN((KNa)NbO₃：铌酸钾钠)、PTO(PbTiO₃：钛酸铅)、PMNT(Pb(Mg1/3Nb2/3)O₃-PbTiO₃)、PZNT(Pb(Zn1/3Nb2/3)O₃-PbTiO₃)、ZnO、AlN等。

作为压电体膜12的其它制法，也能够使用CVD(化学气相生长法)、溶胶-凝胶法、AD法(气溶胶沉淀法)、水热合成法等。

在本实施方式中，优选的压电体膜12的厚度的范围为5μm以下。压电体12的膜厚通过考虑压电材料的压电特性与绝缘破坏电压来决定。5μm以下的压电体膜12能够通过所述的制法来制作，能够为了喷出压力室18内的墨而产生足够的压力振动。5μm以上的压电体膜12为了成膜而需要较长时间，并且下部电极11与上部电极13的间隔增大，因此在压电体膜12上产生的电场的强度降低，压电体膜的效降低。已知有利用烧结法来制造压电体膜的方法，但利用烧结法形成5μm以下的压电体膜12是非常困难的。

在上部电极13之上形成有绝缘层14。绝缘层14成为厚度0.5μm的二氧化硅膜(SiO₂)。二氧化硅膜由TEOS-CVD法(Tetraethoxysilane-Chemical Vapor Deposition)形成。在绝缘层14上形成有接触孔15a、15b。接触孔15a形成内径70μm且外径100μm的面包圈状的开口。穿过接触孔15a，上部电极13与共用电极8a进行电连接。接触孔15b成为直径15μm的开口。穿过接触孔15b，下部电极11与独立电极7进行电连接。绝缘层14形成为覆盖下部电极11、压电体膜12、上部电极13的外周部。其结果是，绝缘层14防止在压电体膜12的外周部使共用电极8a与下部电极11电接触。

在绝缘层14之上形成有独立电极7、共用电极8a、8b与安装垫片9。独立电极7、共用电极8a、8b与安装垫片9是厚度0.3μm的金(Au)，由RF磁控管溅射法形成。各独立电极7穿过接触孔15b与各致动器6的下部电极11连接。在1组致动器6中共用的共用电极8a穿过接触孔15a与各致动器6的上部电极13连接。此外，独立电极7、共用电极8a、8b、安装垫片9的厚度优选处于0.1μm至0.5μm的范围。

在本实施方式中，下部电极11与独立电极7连接，上部电极13与共用电极8a连接。作为其它的连接法，也能够将上部电极13与独立电极7连接，下部电极11与共用电极8a、8b连接。

在独立电极7、共用电极8a、8b以及绝缘层14之上形成有保护层16。保护层16由厚度4μm的感光性聚酰亚胺制作。保护层的形成通过在形成有绝缘层14的流路基板3上旋涂感光性聚酰亚胺材料来进行。保护层16形成为，覆盖独立电极7、共用电极8a、8b以及绝缘层14，进一步覆盖振动板10的贯通孔23的内表面。其结果是，保护层16防止独立电极7、共用电极8a、8b以及绝缘层14与压力室18内的墨接触。

在保护层16上形成有与压力室18连通的喷嘴17。喷嘴17在圆筒形的开口处，直径为20μm。喷嘴17通过对成为保护层16的感光性聚酰亚胺材料进行曝光以及显影来形成。Y轴方向的喷嘴17的长度由振动板10的厚度与保护层16的厚度的合计确定。本实施方式的喷嘴17的长度L1成为8μm。

图6是表示喷墨打印机100的控制基板140与喷墨头1的驱动电路5的框图。控制基板140包括CPU160、ROM161、RAM162、图像存储器163、I/O端口164。CPU160通过该作为输入输出端口的I/O端口164来控制打印机内的设备165(显示器142、使用纸搬运带110动作的用纸搬运部、调整墨供给压力的墨供给部、维护部、各种传感器)。另外，如所述那样，印字数据从外部的计算机150通过连接器141向I/O端口164传送。CPU160遵照ROM161以及RAM162所保存的程序，将印字数据保存于图像存储器163。印字数据按照描绘的顺序从图像存储器163朝喷墨头1的驱动电路5传送。印字数据包括成为图像的空白的不喷出墨的数据与形成图像的墨喷出数据。

驱动电路5包括印字数据缓冲器51、解码器52、驱动器53。印字数据缓冲器51将印字数据以致动器6为单位而呈时间序列保存。解码器152以致动器6为单位，基于保存于印字数据缓冲器51的印字数据而控制驱动器53。驱动器53基于解码器52的控制而输出使各致动器6动作的电信号V。电信号V是向各致动器6施加的电压。

参照图7，对使墨从喷墨头1喷出的电信号V与印字动作进行说明。图7(7-A)表示驱动电路5的驱动器53向致动器6施加的电信号V。电信号V中，从时刻0(电压施加开始)至时刻t1施加电压V1(偏置电压)，从时刻t1至t2而电压为V2＝0V，从时刻t2至t3施加电压V3，在时刻t3以下恢复电压V1。V1、V3为正的电压，V3成为比V1小的值。从时刻t1至t2的时间与从时刻t2至t3的时间成为后述的固有振动周期λ的1/2。通过从V1开始而朝向V2、V3、V1的电压变化，从喷嘴17喷出1滴墨滴135。共用电极8a、8b的电压为0V且设为恒定。

图7(7-B)表示通过电信号V在压力室18内产生的墨的压力振动P。纵轴表示压力，横轴表示时间。图7(7-C)表示通过压力振动P在喷嘴17内产生的墨的流速振动U。纵轴表示流速，横轴表示时间。流速振动U将墨喷出方向(+Y轴方向)设为正。图7(7-D)表示喷嘴17内的墨的弯液面位置M。纵轴表示弯液面位置，横轴表示时间。关于弯液面位置M，将喷嘴17的墨喷出侧的开口面的位置17a设为0(图7(7-F))，将墨喷出侧设为正，将压力室侧设为负。

图7(7-E)表示在施加电压V1的时刻0以前未施加电压的致动器6的状态。未施加电压是指，施加0V或者实质为0V的电压。图7(7-F)表示从时刻0至时刻t1的致动器6的动作状态。图7(7-G)表示从时刻t1至时刻t2的致动器6的动作状态。图7(7-H)表示从时刻t2至时刻t3的致动器6的动作状态。图7(7-I)表示时刻t3以下的致动器6的动作状态、以及从喷嘴17喷出墨滴135的动作。

时间λ表示墨填充到压力室18与喷嘴17的状态下的致动器6的固有振动周期。压力室18与喷嘴17内的墨的压力振动P与流速振动U也按照该固有振动周期λ振动。

固有振动周期λ是通过在向喷墨头1填充有墨的状态下检测致动器6的阻抗的变化来测定的。此外，阻抗的检测使用市售的阻抗分析仪。作为测定固有振动周期λ的其它的方法，也能够在从驱动电路5向致动器6输出阶梯波形等的电信号的状态下，由激光多普勒振动计来测定致动器6的振动，由此求出振动周期λ。

说明从待机状态使墨滴135喷出的工序。墨从墨供给部2的墨供给口21注入，填充到压力室18与喷嘴17的内部。压力室18内的墨压力在所述的墨供给压力调整装置的作用下被维持为比大气压低1kPa的压力。电信号V在比墨喷出动作的开始时机t1提前的待机状态下维持电压V1(图7(7-A))。在待机状态下，喷嘴17内的墨的弯液面位置M在0(图7(7-D))附近静止。

如图7(7-A)所示，在待机状态下，在下部电极11与上部电极13之间施加电压V1。利用电压V1，沿压电体膜12的厚度方向产生电场，在压电体膜12上产生d31模式的变形。即，压电体膜12沿厚度方向伸长，沿与厚度方向正交的方向收缩。图7(7-F)示意性表示压电体膜12的变形。通过压电体膜12的收缩，在振动板10与保护层16产生压缩应力，但在振动板10产生的压缩力大于在保护层16产生的压缩力。因此致动器6向压力室18的方向弯曲，压力室18的容积维持比未施加电压V1的状态小的状态。

在时刻t1，为了描绘而开始墨喷出动作。电信号V从V1变化为V2。电压V2是使施加了电压V1的状态下的压力室18的容积增大的电压。理想的电压V2为0V。电压V2不限于0V，也能够设为比0V稍小的负的值、即与电压V1相反极性的值。但是，在负的值过大的情况下，压电体膜12的极化方向相对于待机状态进行反转。其结果是，有可能无法获得所希望的墨喷出动作。为了获得适当的墨喷出动作，期望电压V2为0V或者与电压V1相同极性的电压。

当电信号V在时刻t1从电压V1向V2变化时，如图7(7-B)所示，在时刻t1，压力室18的墨压力P降低。在时刻t1，从电压V1向V2急剧地发生电压变化，墨内的压力P在时刻t1急剧地降低。在墨压力P降低之后，墨从墨供给部2朝压力室18供给。为了朝压力室18供给墨，降低的墨压力P开始上升。另外，如图7(7-C)所示，喷嘴17内的墨弯液面M从时刻t1起向压力室18的方向后退。弯液面位置M借助墨的惯性而比较平缓地变化。

在时刻t1～t2，向致动器6施加的电压V2＝0V，如图7(7-G)所示，致动器6恢复无变形状态。当从时刻t1经过λ/2的时间而成为时刻t2时，朝向压力室18的墨供给停止，墨压力P的上升停止(图7(7-B))。在时刻t2，喷嘴17内的墨流速U成为0(图7(7-C))，墨弯液面M停止后退(图7(7-D))。

在时刻t2，从电压V2向V3变化。通过从电压V2向V3变化，致动器6朝向压力室18的方向位移以便使压力室18的容积减小(图7(7-H))。如所述那样，在时刻t1～t2，墨朝压力室18被供给，墨压力P上升。在时刻t2，基于墨供给的墨压力P的上升停止，但通过基于从电压V2向V3的变化的致动器6的位移而使墨压力P进一步上升。通过升高的墨压力P，弯液面M沿墨喷出方向前进，将墨从喷嘴17挤出。电压V3从时刻t2起持续λ/2的时间，将墨从喷嘴17以成为墨滴135的方式喷出。从时刻t2至λ/2的时间后的t3之间，墨压力P减少，在时刻t3，墨压力P成为最低的负压。同时，喷嘴17内的墨流速U成为0。但是，已经从喷嘴17喷出的墨以成为墨滴135的方式朝向记录介质飞翔。

在时刻t3，使电信号V的电压从V3向V1变化(图7(7-I))。通过使电压从V3向V1变化，致动器6朝压力室18的方向位移，压力室18内的墨被加压。加压后的墨压力P从最低的负压状态起实际上成为0，墨的振动停止。

伴随着墨滴135的飞翔，墨滴135的尾部与喷嘴17内的墨自然切断，以弯液面位置M为0附近的方式再次形成弯液面。

电压V3根据墨的压力振动P或者流速振动U的衰减率来决定。压力振动P的衰减率与流速振动U的衰减率成为相同的值。衰减率能够与固有振动周期λ的测定同时求出。在向喷墨头1填充有墨的状态下，使致动器6动作，之后使动作停止。通过墨的振动，致动器6机械式振动，产生电压。根据在致动器6产生的电压的衰减量，能够测定衰减率。另外，通过利用激光多普勒振动计等测定致动器6的机械式振动，也能够测定衰减率。在衰减率大的情况下，将电压(V1-V3)相对于电压(V1-V2)之比设定得较小。即，将电压V3设定得较高。在衰减率小的情况下，将电压(V1-V3)相对于电压(V1-V2)之比设定得较大。即，将电压V3设定得较低。以使经过时刻t3后的压力振动P或者流速振动U最小或者实际为0的方式调整电压V3。

由于以使经过时刻t3后的压力振动P或者流速振动U最小或者实际为0的方式进行调整，因此如图7(7-B、7-C)所示，墨的压力振动P、流速振动U在从喷嘴17喷出墨滴135之后停止。由于压力振动P、流速振动U停止，因此能够防止由墨喷出动作后的残留振动引起的意外的墨喷出。

如图7(7-D)所示，在喷出墨滴135之后，在墨喷出前的静止状态的位置附近再次形成墨弯液面。再次形成后的弯液面几乎成为静止状态。由于不产生弯液面的位移，因此能够防止意外的墨喷出。

参照图8，对使喷墨头1动作的电信号V(驱动信号V)进行说明。

使本实施方式的喷墨头1动作的驱动信号V包括休止期间、待机期间、印字期间这三种期间。休止期间是没有向致动器6施加电压V的期间(休止状态)。待机期间是向致动器6施加电压V并能够进行印字动作的期间(待机状态)。印字期间是使致动器6动作而从喷嘴17喷出墨滴135的期间。

根据印字数据以各个致动器6为单位设置休止期间。致动器6根据印字数据中的使墨喷出的信号来动作，在印字数据中的不喷出墨的信号的作用下不进行动作。在印字数据中的不喷出墨的期间中，将之后不进行墨喷出动作的期间设为休止期间。在休止期间中，将向致动器6施加的电压V设为0V或者比待机电压低的电压V。在印字数据中的不喷出墨的期间中，将之后进行墨喷出动作的情况设为待机期间。在待机期间向致动器6施加待机电压。接着待机期间而形成进行印字动作的印字期间。将休止期间、待机期间与印字期间这三种以致动器6为单位进行切换而喷出墨。休止期间71、74、待机期间72均是不伴有墨喷出的非印字期间。

参照图8(8-A)，详细说明休止期间、待机期间、印字期间。

休止期间71设于待机期间72之前。在休止期间71，向致动器6施加电压V2(0V)。在不使墨喷出的印字数据的情况下，向致动器6施加休止期间71的电压V2。直至在使墨喷出的印字数据之前设置的待机期间72为止，向致动器6施加休止期间71的电压V2(0V)。

在使墨滴喷出的印字期间73之前设置待机期间72。将待机期间72(时刻t4～t1)设为与使一个墨滴喷出的印字期间73(时刻t1～t6)相同的时间。在待机期间72，以时刻t4至t5的时间(固有振动周期λ的1/2的时间)向致动器6施加电压V3(电压V1的中间电压)，在时刻t5至t1向致动器6施加电压V1。在从休止期间71朝待机期间72切换时，若瞬间使电压从V2(0V)向V1变化，则有可能意外地喷出墨、或者从喷嘴17获取气泡。在时刻t4～t5的期间，向致动器6施加中间电压，由此抑制与电压变化相伴的压力振动。

印字期间73表示使致动器6动作并从一个喷嘴17喷出一个墨滴135的期间。致动器6利用时刻t1～t3(时间λ)的动作喷出一个墨滴135，直至喷出下一墨滴135为止在约3λ的时间内维持电压V1。通过在喷出墨滴135后在3λ的时间内维持电压V1，使压力室18内的残留振动充分停止。在喷出一个墨滴135之后，即便在移至休止期间或待机期间的情况下，也在约3λ的时间内维持电压V1。

在印字期间73结束后，在印字数据不伴随墨喷出的情况下，形成休止期间74。在休止期间74，在从印字期间73结束的时刻t6至t7为止、即固有振动周期λ的1/2的时间，向致动器6施加中间电压V3。之后，在休止期间74，向致动器6施加的电压成为V2(0V)。在时刻t6～t7的期间向致动器6施加中间电压V3的理由在于，抑制与电压变化相伴的压力振动。其结果是，能够抑制意外喷出墨的现象、从喷嘴17获取气泡的现象。

在本实施方式中，在印字期间之前设有一次待机期间。该一次待机期间(T)与一次印字期间(T)相同。也能够改变一次待机期间，n次(1≤n≤5程度)连续地设置待机期间(nT时间)。另外，待机期间(T)也能够设置为不限于一次印字期间(T)的整数倍。该情况下，将中间电压V3仅在待机期间的最初向致动器6施加是有效的。在本实施方式中，在印字期间结束之后，立即成为休止期间74。替代立即设为休止期间74，也能够在印字期间73结束后设置待机期间72，之后设为休止期间74。

切换作为非印字期间的休止期间71、74、待机期间72的时机根据印字数据以喷嘴17为单位来决定。控制基板140的CPU160参照图像存储器163所保存的印字数据来决定切换时机。控制基板140将包含灰度信息的印字数据166、与以致动器6为单位指定非印字期间是休止期间还是待机期间的数据167向驱动电路5发送。驱动电路5基于从控制基板140发送来的数据，在非印字期间中切换休止期间与待机期间。

在本实施方式中，在墨喷出前使压力室18内的墨压力降低而产生压力振动U，在墨压力升高的时刻进一步对墨进行加压而使墨喷出。该印字方法成为所谓的拉射法。因此，能够从喷嘴17以高压力喷出墨。另外，由于在使墨弯液面M暂时朝压力室侧后退后喷出墨，因此墨在喷嘴17中被加速。通过将墨在喷嘴17内加速，能够提高喷出的墨滴135的前进性。若墨滴135的前进性提高，则提高用纸103、108上的弹着位置精度，因此描绘的分辨率提高。

另外，在以拉射法使喷墨头1动作时，在休止期间不需要对压电体膜12给予电场。在喷出墨的印字期间与喷出墨之前的待机期间使压电体膜12产生规定的电场而喷出墨。在休止期间不需要向压电体膜12持续施加电场，因此能够抑制压电体膜12的劣化，实现喷墨头1的长寿命化。

在本实施方式的喷墨头1中，利用超过矫顽电场的电场使压电体膜12动作。矫顽电场是指，使压电体的极化方向反转的电场强度。致动器6的压电体膜12的膜厚薄至2μm，因此以低电压在压电体膜12上产生超过矫顽电场的电场。当以超过矫顽电场的电场驱动压电体膜12时，与相对于极化方向的电场的朝向无关地使压电体膜的变形方向变得相同。即，与电场的朝向无关而使致动器的位移方向成为恒定。

由于与电场的朝向无关地使致动器的位移方向恒定，对致动器施加的电压是单极性的电压。因此，待机期间的电压V1的绝对值比印字期间中的从喷嘴喷出液体的电压V2、V3的绝对值高，休止期间的电压的绝对值成为比待机期间的电压的绝对值低的值。

为了参考，参照图8(8-B)对以往的驱动喷墨头的电信号进行说明。为了进行拉射动作，需要在喷出墨之前的待机时向压电体持续施加偏置电压，在喷出墨时将电压设为0V，在喷出墨后再次向压电体施加电压。换句话说，在印字期间以外，需要使压电体始终持续产生电场。当使压电体薄膜长时间持续产生电场时，压电体薄膜有可能劣化而发生绝缘破坏。当压电体薄膜发生绝缘破坏时，无法进行墨喷出动作。通常来说，在喷墨头中，不喷出墨的待机状态的时间比使压电体动作而喷出墨的时间长10倍以上。与在非印字期间需要向压电体持续施加偏置电压的以往结构相比，在本实施方式的结构中，在休止期间不需要施加偏置电压就能够实现喷墨头的长寿命化。

(第二实施方式)

参照图9来说明第二实施方式。在第二实施方式中，控制基板140、以及搭载于喷墨头1的驱动电路5的结构与第一实施方式不同。除了控制基板140与驱动电路5的结构以外，第二实施方式的喷墨头1以及喷墨打印机100的结构与第一实施方式相同。

切换作为非印字期间的休止期间71、74、待机期间72的时机与第一实施方式同样地根据印字数据以喷嘴17为单位决定。控制基板140的图像存储器163所保存的印字数据向搭载于喷墨头1的驱动电路5发送。驱动电路5将接收到的印字数据按照以致动器6为单位的时间序列储存于印字数据缓冲器51。解码器52基于储存在印字数据缓冲器51的印字数据，产生包括灰度信息的印字数据168与以致动器6为单位指定非印字期间是休止期间还是待机期间的数据169。驱动电路5基于由解码器5产生的数据，驱动器53在非印字期间中切换休止期间与待机期间，在印字期间使致动器6动作。

在第二实施方式中，搭载于喷墨头1的驱动电路5产生了指定是休止期间还是待机期间的数据169，因此控制基板140仅朝喷墨头输送印字数据即可。因此，能够提供一种通用性高的喷墨头。

(第三实施方式)

参照图10来说明第三实施方式。在第三实施方式中，从休止期间朝待机期间的切换时的电压的变化和从印字期间朝休止期间的切换时的电压的变化与第一实施方式不同。包括产生切换时的电压的变化的电路。除了切换时的电压的变化以外，第三实施方式的喷墨头1以及喷墨打印机100的结构与第一实施方式的结构相同。

在第三实施方式中，在时刻t8从休止期间朝待机期间切换。直至时刻t8，在致动器6被施加电压V2(0V)，从时刻t8至t9向致动器6施加电压V4(V1×1/3)。从时刻t9至t10向致动器6施加电压V5(V1×2/3)。从印字期间朝休止期间的切换时，从时刻t11至t12向致动器6施加电压V5(V1×2/3)。从时刻t12至t13向致动器6施加电压V4(V1×1/3)。从休止期间朝待机期间的电压的上升、以及从印字期间朝休止期间的电压的下降呈阶梯状的波形进行。时刻t8～t9、时刻t9～10、时刻t11～t12、时刻t12～t13成为固有振动周期λ/2的时间。

在第三实施方式中，在从休止期间朝待机期间、或者从印字期间朝休止期间切换时，使朝向压电体的施加电压呈阶梯状增加或者减少。通过使施加电压呈阶梯状变化，能够防止从喷嘴17意外喷出墨或穿过喷嘴17朝压力室18卷进气泡。

(第四实施方式)

参照图11来说明第四实施方式。在第四实施方式中，从休止期间朝待机期间的切换时的电压的变化和从印字期间朝休止期间的切换时的电压的变化与第一实施方式不同。包括产生切换时的电压的变化的电路。除了切换时的电压的变化以外，第四实施方式的喷墨头1以及喷墨打印机100的结构与第一实施方式的结构相同。

在第四实施方式中，在时刻t14从休止期间朝待机期间切换。直至时刻t14为止，向致动器6施加电压V2(0V)，在时刻t14～t15直至形成电压V1为止使电压呈直线状变化。在时刻t16从印字期间朝休止期间切换。直至时刻t16为止，向致动器6施加电压V1，在时刻t16～t17直至形成电压V2为止使电压呈直线状变化。时刻t14～t15的期间以及时刻t16～t17的期间成为固有振动周期λ。

在第四实施方式中，在从休止期间朝待机期间或者从印字期间朝休止期间切换时，花费固有振动周期λ的时间而使朝向压电体的施加电压呈直线状增加或者减少。通过使电压呈直线状变化，能够防止从喷嘴17意外喷出墨或穿过喷嘴17朝压力室18卷进气泡。

(第五实施方式)

参照图12来说明第五实施方式。在第五实施方式中，从休止期间朝待机期间的切换时的电压的变化和从印字期间朝休止期间的切换时的电压的变化与第一实施方式不同。包括产生切换时的电压的变化的电路。除了切换时的电压的变化以外，第五实施方式的喷墨头1以及喷墨打印机100的结构与第一实施方式的结构相同。

在第五实施方式中，在时刻t18从休止期间朝待机期间切换。直至时刻t18为止，在致动器6被施加电压V2(0V)，在时刻t18～t19直至形成电压V1为止呈指数函数状使电压变化。在时刻t20从印字期间朝休止期间切换。直至时刻t20为止，在致动器6被施加电压V1，在时刻t20～t21从电压V1至电压V2为止呈指数函数状使电压变化。时刻t18～t19的期间、以及时刻t20～t21的期间成为固有振动周期λ。

在第五实施方式中，在从休止期间朝待机期间、或者从印字期间朝休止期间切换时，花费固有振动周期λ的时间使朝向压电体的施加电压呈指数函数状增加或者减少。通过使电压按照指数函数变化，能够防止从喷嘴17意外喷出墨或穿过喷嘴17朝压力室18卷进气泡。另外，指数函数由输出电路的时间常数决定，因此与第三实施方式、第四实施方式相比，能够由更简单的电路结构来产生上述效果。

在上述实施方式中，作为液体喷射装置而例示了喷墨头。液体喷射装置也能够替代喷出墨而喷出在制药、生物领域中使用的试剂或医药品。搭载有液体喷射装置的液体供给装置向形成有多个凹部的凹下板的凹部以规定的液滴数供给试剂、医药品。另外，液体喷射装置也能够喷出3D打印机所使用的液体树脂。3D打印机用的液体喷射装置基于三维设计数据，在规定的时机向规定的场所喷出液体树脂。3D打印机在层叠液体树脂之后使其固化而制作三维构造。

(第六实施方式)

图13(13-A)是作为第六实施方式的点胶装置200的立体图。图13(13-B)表示从液体喷射面侧看到的液体喷射部205。点胶装置200由液体喷射装置201、板搬运部220构成。

液体喷射装置201包括将试剂203作为规定量的液滴135喷出的液体喷射头202a、202b、202c、202d、202e。液体喷射头202a至202e形成相同的结构。液体喷射头202a包括保持试剂203的容器204、以及与各容器204对应设置的液体喷射部205。液体喷射部205除了喷嘴排列以外与所述的喷墨头形成相同的结构。液体喷射部205的喷嘴17如图13(13-B)所示并非图3至图4所示的倾斜排列，而是排列在与基板206的端面平行的直线上。通过将喷嘴17排列在直线上，与倾斜排列相比而能够减小基板206。液体喷射部205穿过布线207、连接器208而接收控制信号，按照控制信号来喷出必要量的试剂203。使试剂203喷出的信号构成为与所述的驱动喷墨头的驱动电路同样地包括休止期间、待机期间、印字期间。

板搬运部220构成为将具有多个凹部211的板210(介质)相对于液体喷射装置201朝C1方向搬运。板210由树脂制且包括保持用于制药的试剂的多个凹部211。板210借助板搬运部220的定位构件221、222固定于板搬运部220。点胶装置200能够一边使板210朝C1方向移动，一边使规定量的试剂203与在各凹部211保持的药品自动地混合。

在第二实施方式至第六实施方式中，也能够获得与第一实施方式的结构相同的效果。

液体喷射记录装置、点胶装置、3D打印机均是供给规定量的液滴的液体供给装置。

针对休止期间中的电压，优选为“0”，但也能够如至此的实施方式中的说明所言及的那样，设为比0稍小的负的值、即与电压V1相反极性的值。但是，在负的值过大的情况下，压电体膜12的极化方向相对于待机状态反转。其结果是，有可能无法获得所希望的墨喷出动作。为了获得适当的墨喷出动作，期望使电压V2为0V或者与电压V1相同极性的电压。从“压电体膜(薄膜)”的长寿命化这样的观点出发，电压V2也能够选择“0”以外的值。在这种情况下，也能够设为不会对压电体膜的寿命给予影响的程度、或者实际上不使压电体膜产生收缩的程度的值。相对于偏置电压V1，也可以与是相同极性还是相反极性无关地采用“0”或者视为“实际为0”的值。另外，如图8所示，在休止期间、待机期间、印字期间确定电压V1、V2、V3。例如，将待机期间中的偏置电压设定为V1，但是若不会对墨滴的举动给予影响，则也可以不是V1，例如采用了相同的电压值，但也未必是相同的，也能够在休止期间、待机期间、印字期间将电压值从V1、V2、V3适当设为不同值。

本发明的实施方式是作为例子来提示的，并非意图限定发明的范围。这些新颖的实施方式能够以其它的各种形态来实施，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种省略、置换、变更。这些实施方式或其变形包含于发明的范围或主旨，并且包含于权利要求书所记载的发明与其均等的范围。

Claims (10)

1.一种液体喷射装置的驱动方法，该液体喷射装置包括：基板，形成有与喷出液体的喷嘴连通的压力室；压电体，与所述压力室对应设置，并通过施加电压而向与厚度方向正交的方向收缩；以及容积可变板，配置在所述压力室与所述压电体之间，并通过向所述压电体施加电压而使所述压力室的容积变化，其中，

所述液体喷射装置的驱动方法包括：

第一工序，在从所述喷嘴喷出所述液体之前的休止期间向所述压电体施加第一电压；

第二工序，在从所述喷嘴喷出所述液体之前的待机期间，向所述压电体施加使所述压电体收缩并使所述压力室的容积减少的比所述第一电压高的第二电压；

第三工序，在向所述压电体施加比所述第二电压低的第三电压之后，向所述压电体施加所述第二电压，从所述喷嘴喷出所述液体；以及

切换工序，根据表示是否喷出所述液体的喷出数据，切换所述第一工序、所述第二工序、所述第三工序。

2.一种液体喷射装置，包括：

基板，形成有与喷出液体的喷嘴连通的压力室；

压电体，与所述压力室对应设置，并通过施加电压而向与厚度方向正交的方向收缩；

容积可变板，配置在所述压力室与所述压电体之间，并通过向所述压电体施加电压而使所述压力室的容积变化；以及

驱动电路，产生包括从所述喷嘴喷出所述液体之前的休止状态的第一电压、在从所述喷嘴喷出所述液体之前使所述压电体收缩的比所述第一电压高的待机状态的第二电压、以及从所述喷嘴喷出所述液体的比所述第二电压低的第三电压的电信号，并根据表示是否喷出所述液体的喷出数据，向所述压电体切换施加所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压。

3.根据权利要求2所述的液体喷射装置，其中，

所述驱动电路基于所述喷出数据而产生切换所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压的信号，并根据所述切换信号按所述喷嘴而切换所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压。

4.根据权利要求2或3所述的液体喷射装置，其中，

在将所述压力室内的液体的固有振动周期设为λ时，在从所述休止状态的第一电压朝所述待机状态的第二电压的切换中，将所述第一电压与所述第二电压之间的电压保持λ/2的期间。

5.根据权利要求4所述的液体喷射装置，其中，

所述固有振动周期是通过在向喷墨头填充有墨的状态下检测致动器的阻抗的变化来测定的。

6.根据权利要求4所述的液体喷射装置，其中，

所述压力室与喷嘴内的墨的压力振动与流速振动也按照该固有振动周期振动。

7.一种液体供给装置，包括：

液体喷射装置，所述液体喷射装置具有：基板，形成有与喷出液体的喷嘴连通的压力室；压电体，与所述压力室对应设置，并通过施加电压而向与厚度方向正交的方向收缩；容积可变板，配置在所述压力室与所述压电体之间，并通过向所述压电体施加电压而使所述压力室的容积变化；以及驱动电路，产生包括从所述喷嘴喷出所述液体之前的休止状态的第一电压、在从所述喷嘴喷出所述液体之前使所述压电体收缩的比所述第一电压高的待机状态的第二电压、以及从所述喷嘴喷出所述液体的比所述第二电压低的第三电压的电信号，根据表示是否喷出所述液体的喷出数据，向所述压电体切换施加所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压；

存储器，保存所述喷出数据；

控制电路，基于所述存储器所保存的喷出数据，产生切换所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压的信号；以及

搬运装置，对接受由所述液体喷射装置喷出的液体的介质进行搬运。

8.根据权利要求7所述的液体供给装置，其中，

所述驱动电路基于所述喷出数据而产生切换所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压的信号，并根据所述切换信号按所述喷嘴而切换所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压。

9.根据权利要求7或8所述的液体供给装置，其中，

在将所述压力室内的液体的固有振动周期设为λ时，在从所述休止状态的第一电压朝所述待机状态的第二电压的切换中，将所述第一电压与所述第二电压之间的电压保持λ/2的期间。

10.根据权利要求9所述的液体供给装置，其中，

所述固有振动周期是通过在向喷墨头填充有墨的状态下检测致动器的阻抗的变化来测定的。