CN108181943A - 气体浓度控制方法、装置、存储介质和计算机设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种气体浓度控制方法、装置、计算机设备与存储介质，方法包括以下步骤：根据预设的目标气体浓度、填充气体浓度和获取的真空密封腔体的内外气压差数据，分别计算充入填充气体和充入目标气体时，真空密封腔体分别达到的第一、第二内外气压差值理论值；控制充入填充气体和目标气体，以使真空密封腔体的内外气压差值分别达到第一、第二内外气压差值理论值。采用真空密封腔体避免混有其他杂质气体，由于内外压强差可以通过充入气体实现精确控制，通过计算得到内外压强差值理论值，并根据理论值严格控制气体充入量，通过控制充入不同的气体达到计算的对应内外压强差值理论值，达到了对气体浓度的准确控制，可以获得中低浓度的目标气体。

Description

气体浓度控制方法、装置、存储介质和计算机设备

技术领域

本申请涉及浓度控制领域，特别是涉及一种气体浓度控制方法、装置、存储介质和计算机设备。

背景技术

随着电子技术的发展，对电子器件的封装过程要求越来越严格，当封装过程中存在“氢效应”时，会改变器件的使用性能，导致器件不正常的工作，使器件失效，最终大大缩短器件的使用寿命。为了能解决器件的氢效应问题，需要对器件的抗“氢中毒”能力进行快速评价。这需要在高温、高压的氢气气体中加速器件氢效应的效果，因此我们需要对高温、高压腔体中的氢气浓度进行准确的控制。

目前对于气体的浓度控制，一般通过控制充入气体的流量实现气体浓度的控制，但这种控制方法只适用于实现获取浓度较高的气体，无法实现中低浓度气体的控制。

发明内容

基于此，有必要针对无法实现中低浓度气体控制的问题，提供一种可以实现中低浓度控制的气体浓度控制方法、装置、存储介质和计算机设备。

一种气体浓度控制方法，包括以下步骤：

获取真空密封腔体的内外气压差数据；

根据预设的目标气体浓度、填充气体浓度和所述内外气压差数据，分别计算充入填充气体和充入所述目标气体时，所述真空密封腔体达到的第一内外气压差值理论值和第二内外气压差值理论值；

控制充入所述填充气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第一内外气压差值理论值；

控制充入所述目标气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第二内外气压差值理论值。

上述气体浓度控制方法，采用真空密封腔体避免充入的气体中混有其他杂质气体，由于内外压强差可以通过充入气体改变真空密封腔体内的气压实现精确控制，通过真空密封腔体的内外压强差与预设的气体浓度，可计算得到内外压强差值理论值，根据内外压强差值理论值严格控制充入气体的比例，通过控制充入不同的气体达到计算的对应内外压强差值理论值，达到了对气体浓度的准确控制，可以获得中低浓度的目标气体。

在其中一个实施例中，在所述控制充入所述目标气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第二内外气压差值理论值的步骤之后，还包括：

获取所述真空密封腔体内目标气体浓度检测结果。

在其中一个实施例中，所述获取所述真空密封腔体内目标气体浓度检测结果的步骤之后，还包括：

当检测到目标气体浓度检测结果大于预设的目标气体浓度时，获取所述检测结果与所述目标气体浓度差值，并根据所述浓度差值，计算充入所述填充气体时，所述真空密封腔体达到的第三内外气压差值理论值；

控制充入所述填充气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第三内外气压差值理论值。

在其中一个实施例中，在所述控制充入所述填充气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第三内外气压差值理论值的步骤之前，还包括：

当检测到所述第三内外气压差值理论值大于预设值时，控制抽取所述真空密封腔体中的气体并更新所述第三内外气压差值理论值，以使更新的第三内外气压差值理论值小于预设值。

在其中一个实施例中，在所述获取所述真空密封腔体内目标气体浓度检测结果的步骤之后，还包括：

当检测到目标气体浓度检测结果小于预设的目标气体浓度时，获取所述检测结果与所述目标气体浓度差值，并根据所述浓度差值，计算充入所述目标气体时，所述真空密封腔体达到的第四内外气压差值理论值；

控制充入所述目标气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第四内外气压差值理论值。

一种气体浓度控制装置，包括真空密封腔体和充气控制组件，所述充气控制组件与所述真空密封腔体连接；

所述充气控制组件获取所述真空密封腔体的内外气压差数据，根据预设的目标气体浓度、填充气体浓度和所述内外气压差数据，分别计算充入填充气体和充入所述目标气体时，所述真空密封腔体达到的第一内外气压差值理论值和第二内外气压差值理论值，控制充入所述填充气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第一内外气压差值理论值，控制充入所述目标气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第二内外气压差值理论值。

上述气体浓度控制装置，采用真空密封腔体避免充入的气体中混有其他杂质气体，由于内外压强差可以通过充入气体改变真空密封腔体内的气压实现精确控制，通过真空密封腔体的内外压强差与预设的气体浓度，可计算得到内外压强差值理论值，根据内外压强差值理论值严格控制充入气体的比例，通过充气控制组件控制充入不同的气体达到计算的对应内外压强差值理论值，达到了对气体浓度的准确控制，可以获得中低浓度的目标气体。

在其中一个实施例中，所述充气控制组件包括气压差传感器，所述气压差传感器与所述真空密封腔体连接；

所述气压差传感器用于检测所述真空密封腔体的内外气压差。

在其中一个实施例中，气体浓度控制装置还包括抽气组件，所述抽气组件与所述真空密封腔体连接；

所述抽气组件用于当计算的气压差值理论值大于所述气压差传感器的检测范围时，控制抽取所述真空密封腔体中的气体，以使更新的内外气压差值理论值在所述气压差传感器的检测范围。

一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现所述气体浓度控制方法的步骤。

上述用于实现气体浓度控制方法的计算机设备，采用真空密封腔体避免充入的气体中混有其他杂质气体，由于内外压强差可以通过充入气体改变真空密封腔体内的气压实现精确控制，通过真空密封腔体的内外压强差与预设的气体浓度，可计算得到内外压强差值理论值，根据内外压强差值理论值严格控制充入气体的比例，通过控制充入不同的气体达到计算的对应内外压强差值理论值，达到了对气体浓度的准确控制，可以获得中低浓度的目标气体。

一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现所述气体浓度控制方法的步骤。

上述用于实现气体浓度控制方法的计算机可读存储介质，采用真空密封腔体避免充入的气体中混有其他杂质气体，由于内外压强差可以通过充入气体改变真空密封腔体内的气压实现精确控制，通过真空密封腔体的内外压强差与预设的气体浓度，可计算得到内外压强差值理论值，根据内外压强差值理论值严格控制充入气体的比例，通过控制充入不同的气体达到计算的对应内外压强差值理论值，达到了对气体浓度的准确控制，可以获得中低浓度的目标气体。

附图说明

图1为本申请一个实施例中气体浓度控制方法的流程示意图；

图2为本申请另一个实施例中气体浓度控制方法的流程示意图；

图3为本申请一个实施例中气体浓度控制装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体地实施例的目的，不是旨在于限制本申请。

如图1所示，一种气体浓度控制方法，包括以下步骤：

步骤S100，获取真空密封腔体的内外气压差数据。

真空密封腔体是指用于存储具有一定浓度的气体的器件，具体地，密封腔体可以是用于评估电子器件抗“氢中毒”能力的含有一定浓度氢气的高温高压腔体，真空密封腔体可以使充入的气体不含有其他杂质气体，以获得精确浓度的气体。内外气压差是指真空密闭腔体的内部气压与外界大气压的压强差，通过内外气压差数据的变化可以控制气体充入比例。

步骤S200，根据预设的目标气体浓度、填充气体浓度和内外气压差数据，分别计算充入填充气体和充入目标气体时，真空密封腔体达到的第一内外气压差值理论值和第二内外气压差值理论值。

目标气体可以是指混合气体中想要控制达到特定浓度的气体，比如评估电子器件抗“氢中毒”能力时需要严格控制氢气的浓度，则目标气体可以是氢气，填充气体可以是指与目标气体混合，且不会与目标气体发生反应的气体，如氮气等，也可以是氦气等惰性气体。可以理解，当需要通过控制目标气体与填充气体的比例，使目标气体与填充气体发生化学反应，来实现对化学反应的生成物浓度的控制也可以通过本申请所述方法来实现。根据预设的目标气体浓度和内外气压差数据可以计算得到充入目标气体时，达到预设浓度所需达到的内外气压差值，也就是通过控制各气体所占的压强比例来实现对气体浓度的控制，通过将难以控制的气体的质量或体积比转换成易于实现的内外压强差的变化，是控制过程更为精确。第一内外气压差值理论值和第二内外气压差值理论值是指通过目标气体和填充气体浓度所占的比例，经过理论计算得到的可以实现目标气体浓度控制的内外气压差值理论值

步骤S300，控制充入填充气体，以使真空密封腔体的内外气压差值达到第一内外气压差值理论值。

通过控制充入填充气体，改变真空密封腔体的内外气压差值，因为内外气压差值可以实现精确的控制，当真空密封腔体的内外气压差值达到第一内外气压差值理论值时，即达到了所需的填充气体体积或质量。

步骤S400，控制充入目标气体，以使真空密封腔体的内外气压差值达到第二内外气压差值理论值。

通过控制充入目标气体，改变真空密封腔体的内外气压差值，因为内外气压差值可以实现精确地控制，当真空密封腔体的内外气压差值达到第二内外气压差值理论值时，即达到了所需的目标气体体积或质量。已有的填充气体和充入的目标气体，通过控制各自改变的内外气压差值，实现了各自所需的比例，实现了对气体浓度的精确控制。

上述气体浓度控制方法，采用真空密封腔体避免充入的气体中混有其他杂质气体，由于内外压强差可以通过充入气体改变真空密封腔体内的气压实现精确控制，通过真空密封腔体的内外压强差与预设的气体浓度，可计算得到内外压强差值理论值，根据内外压强差值理论值严格控制充入气体的比例，通过控制充入不同的气体达到计算的对应内外压强差值理论值，达到了对气体浓度的准确控制，可以获得中低浓度的目标气体。

具体地，通过上述气体浓度控制方法可以实现将氢气等目标气体的浓度控制在0.01％～1％的范围内，实现中低浓度的目标气体的精确控制。

如图2所示，在其中一个实施例中，步骤S400之后，还包括：

步骤S500，获取真空密封腔体内目标气体浓度检测结果。

目标气体浓度检测结果是指在充入目标气体和填充气体，并充分混合后，对目标气体进行浓度检测得到的检测结果。具体地，目标气体浓度可以通过气体浓度检测传感器检测获得，也可以通过对混合气体进行取样检测获得。

在其中一个实施例中，步骤S500之后，还包括：

步骤600，当检测到目标气体浓度检测结果大于预设的目标气体浓度时，获取检测结果与目标气体浓度差值，并根据浓度差值，计算充入填充气体时，真空密封腔体达到的第三内外气压差值理论值。

预设的目标气体浓度是指实际需要的气体的种类与实际需要的气体的浓度，当目标气体浓度检测结果大于预设的目标气体浓度时，说明充入的目标气体过多，需要再充入部分填充气体，对已充入的目标气体进行稀释，通过检测结果与目标气体浓度差值计算需要改变的气压差值的大小，通过对内外气压差值变化量的控制，实现目标气体浓度的调整。

步骤S700，控制充入填充气体，以使真空密封腔体的内外气压差值达到第三内外气压差值理论值。

当真空密封腔体内目标气体浓度高于预设的目标气体浓度时，需要根据计算好的第三内外气压理论值，严格控制充入的气体量，当真空密封腔体的内外气压差值达到第三内外气压差值理论值时，停止充入填充气体。

在其中一个实施例中，步骤S700之前，还包括：

步骤S650，当检测到第三内外气压差值理论值大于预设值时，控制抽取真空密封腔体中的气体并更新第三内外气压差值理论值，以使更新的第三内外气压差值理论值小于预设值。

当充入的目标气体为中低浓度时，可以通过充入填充气体来改变目标气体的浓度，但是一般需要充入大量的填充气体才能改变微弱的目标气体浓度变化，此时内外气压差值的变化可能很大，甚至可能超过检测范围，此时可以通过检测范围预设一个检测极限值，通过比较计算得到的内外气压差值理论值与预设的内外气压差值，判断是否超出检测范围，当出现超过检测范围的情况时，可以控制抽出真空密封腔体中的部分气体，以减小需要充入的填充气体量，并使更新的内外气压差值理论值小于预设值，能够准确检测内外气压差值。

在其中一个实施例中，步骤S500之后，还包括：

步骤S800，当检测到目标气体浓度检测结果小于预设的目标气体浓度时，获取检测结果与目标气体浓度差值，并根据浓度差值，计算充入目标气体时，真空密封腔体达到的第四内外气压差值理论值。

当检测到目标气体浓度检测结果小于预设的目标气体浓度时，说明充入的目标气体量不够，此时可以通过继续充入目标气体来达到预设的目标气体浓度，通过检测结果与目标气体浓度差值计算需要改变的气压差值的大小，通过对内外气压差值变化量的控制，实现目标气体浓度的调整。

步骤S900，控制充入目标气体，以使真空密封腔体的内外气压差值达到第四内外气压差值理论值。

当真空密封腔体内目标气体浓度低于预设的目标气体浓度时，需要根据计算好的第四内外气压理论值，严格控制充入的目标气体量，当真空密封腔体的内外气压差值达到第四内外气压差值理论值时，停止充入目标气体。

如图3所示，一种气体浓度控制装置，包括真空密封腔体100和充气控制组件200，充气控制组件200与真空密封腔体100连接，充气控制组件200获取密封腔体的内外气压差数据，根据预设的目标气体浓度、填充气体浓度和内外气压差数据，分别计算充入填充气体和充入目标气体时，密封腔体达到的第一内外气压差值理论值和第二内外气压差值理论值，控制充入填充气体，以使密封腔体的内外气压差值达到第一内外气压差值理论值，控制充入目标气体，以使密封腔体的内外气压差值达到第二内外气压差值理论值。

上述气体浓度控制装置，采用真空密封腔体100避免充入的气体中混有其他杂质气体，由于内外压强差可以通过充入气体改变真空密封腔体100内的气压实现精确控制，通过真空密封腔体100的内外压强差与预设的气体浓度，可计算得到内外压强差值理论值，根据内外压强差值理论值严格控制充入气体的比例，通过充气控制组件200控制充入不同的气体达到计算的对应内外压强差值理论值，达到了对气体浓度的准确控制，可以获得中低浓度的目标气体。

具体地，通过上述气体浓度控制装置可以实现将氢气等目标气体的浓度控制在0.01％～1％的范围内，实现中低浓度的目标气体的精确控制。

在其中一个实施例中，充气控制组件200包括气压差传感器300，气压差传感器300与真空密封腔体100连接，气压差传感器300用于检测真空密封腔体100的内外气压差。

气压差传感器300是一种用来测量两个压力之间差值的传感器，具体地，气压差传感器300的量程可以为-24KPa～100KPa。

在其中一个实施例中，气体浓度控制装置还包括抽气组件400，抽气组件400与真空密封腔体100连接，抽气组件400用于当计算的气压差值理论值大于气压差传感器300的检测范围时，控制抽取真空密封腔体100中的气体，以使更新的内外气压差值理论值在气压差传感器300的检测范围。

抽气组件400可以是抽气机，抽气机是用来抽出密闭容器内气体的机器，一般有手摇和电动两种，抽气组件400也可以是真空处理组件，如真空泵等。

在其中一个实施例中，气体浓度控制装置还包括真空处理组件500，真空处理组件500与真空密封腔体100连接，可以对密封腔体进行抽真空处理，使密封腔体达到所需的真空度，避免因存在其他杂质气体影响气体浓度。真空处理组件500可以是真空泵，真空泵通常是对特定的封闭空间抽气来获得真空的设备，真空泵可以是包括机械真空泵或分子真空泵，也可以结合机械真空泵和分子真空泵同时使用，其中，机械真空泵指利用机械方法对被抽容器进行抽气而获得真空的设备，利用机械的方法，周期性地改变泵内吸气腔的容积，使容器中的气体不断地通过泵的进气口膨胀到吸气腔中，然后通过压缩经排气口排出泵外，机械真空泵的极限真空度可以达到10^-4Pa，机械真空泵具有抽气速度快的特点。分子真空泵是指利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，分子真空泵具有极限真空度高的特点，具体地，可以通过机械真空泵对密封腔体进行抽真空处理，当检测到密封腔体内部的真空度达到预设真空度时，通过分子真空泵对密封腔体进行抽真空处理，当检测到密封腔体的内外气压差达到预设要求时，停止抽真空动作。机械真空泵抽真空速度快，但极限真空度不高，分子真空泵可以达到较好的真空度，但处理速度慢，通过将机械真空泵与分子真空泵相结合的方式，使密封腔体的真空度快速达到要求。

在其中一个实施例中，气体浓度控制装置还包括真空度检测仪600，真空度检测仪600与真空密封腔体100连接，真空度检测仪600用于检测真空密封腔体100的真空度，还可以对压强差传感器的检测结果进行校验。

在其中一个实施例中，气体浓度控制装置还包括气体浓度检测组件700，气体浓度检测组件700与真空密封腔体100连接，用于检测真空密封中的气体浓度。具体地，气体浓度检测组件700可以是取样元件也可以是气体浓度检测传感器，取样元件是指是指用于采集和保存待检测气体，并使采集的气体通过检测设备分析获得气体浓度检测结果的元件，气体浓度检测传感器是指用于检测气体浓度，将气体浓度信号转化为电信号的器件，具体地，当需要在混合气体中同时检测多种气体的浓度时，可以在真空密封腔体100内部设置多个气体浓度检测传感器，用于检测不同的气体浓度。可以通过取样元件校验气体浓度检测传感器是否出现故障。

在其中一个实施例中，气体浓度检测组件还包括温度调节器，气体浓度检测传感器通过温度调节器与真空密封腔体100连接,当需要真空密封腔体100中检测的气体为高温或低温状态时，可以通过温度调节器对气体温度进行处理，避免传感器的损坏。

在其中一个实施例中，以控制达到真空密封腔体100内氢气浓度为1％，且填充气体为氮气为例进行说明。

控制真空处理组件500对密封腔体100进行抽真空处理，当与密封腔体100连接的真空度检测仪600检测到密封腔体内部的真空度达到10^-5Pa，停止抽真空动作，以通过气压差传感器300检测到的真空密封腔体100的内外压强差值为100KPa为例，经计算得到充入氮气和充入氢气分别应达到的内外压强差值理论值的大小分别为99KPa和0KPa，控制充入氮气使内外压强差值达到99KPa，通过充气控制组件200控制充入氢气使内外压强差值达到0KPa，充分混合后，通过气体浓度检测组件700检测氢气的浓度，当检测到氢气浓度为1.1％时，计算填充氮气使氢气浓度下降到1％时内外压强差值，当超过气压差传感器300的量程时，通过抽气组件400抽出密封腔体中的部分混合气体。并通过计算抽取部分混合气体后，要达到1％浓度的氢气，再次氮气后需要达到的内外气压差值。从而实现了对氢气浓度的调整，实现精确的浓度控制。

一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行程序时实现气体浓度控制方法的步骤。

计算机设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器、网络接口、输入装置和显示屏。其中，存储器包括非易失性存储介质和内存储器，该计算机设备的非易失性存储介质存储有操作系统，还可存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时，可使得处理器实现气体浓度控制方法，该内存储器中也可储存有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时，可使得处理器执行气体浓度控制方法，计算机设备的显示屏可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，计算机设备的输入装置可以是显示屏上覆盖的触摸层，也可以是计算机设备外壳上设置的按键、轨迹球或触控板，还可以是外接的键盘、触控板或鼠标等。

一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现气体浓度控制方法的步骤。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例气体浓度控制方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(RAM)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM以多种形式可得，诸如静态RAM(SRAM)、动态RAM(DRAM)、同步DRAM(SDRAM)、双数据率SDRAM(DDRSDRAM)、增强型SDRAM(ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线(Rambus)直接RAM(RDRAM)、直接存储器总线动态RAM(DRDRAM)、以及存储器总线动态RAM(RDRAM)等。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种气体浓度控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取真空密封腔体的内外气压差数据；

根据预设的目标气体浓度、填充气体浓度和所述内外气压差数据，分别计算充入填充气体和充入所述目标气体时，所述真空密封腔体达到的第一内外气压差值理论值和第二内外气压差值理论值；

控制充入所述填充气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第一内外气压差值理论值；

控制充入所述目标气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第二内外气压差值理论值。

2.根据权利要求1所述的气体浓度控制方法，其特征在于，在所述控制充入所述目标气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第二内外气压差值理论值的步骤之后，还包括：

获取所述真空密封腔体内目标气体浓度检测结果。

3.根据权利要求2所述的气体浓度控制方法，其特征在于，在所述获取所述真空密封腔体内目标气体浓度检测结果的步骤之后，还包括：

当检测到目标气体浓度检测结果大于预设的目标气体浓度时，获取所述检测结果与所述目标气体浓度差值，并根据所述浓度差值，计算充入所述填充气体时，所述真空密封腔体达到的第三内外气压差值理论值；

控制充入所述填充气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第三内外气压差值理论值。

4.根据权利要求3所述的气体浓度控制方法，其特征在于，在所述控制充入所述填充气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第三内外气压差值理论值的步骤之前，还包括：

当检测到所述第三内外气压差值理论值大于预设值时，控制抽取所述真空密封腔体中的气体并更新所述第三内外气压差值理论值，以使更新的第三内外气压差值理论值小于预设值。

5.根据权利要求2所述的气体浓度控制方法，其特征在于，在所述获取所述真空密封腔体内目标气体浓度检测结果的步骤之后，还包括：

当检测到目标气体浓度检测结果小于预设的目标气体浓度时，获取所述检测结果与所述目标气体浓度差值，并根据所述浓度差值，计算充入所述目标气体时，所述真空密封腔体达到的第四内外气压差值理论值；

控制充入所述目标气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第四内外气压差值理论值。

6.一种气体浓度控制装置，其特征在于，包括真空密封腔体和充气控制组件，所述充气控制组件与所述真空密封腔体连接；

所述充气控制组件获取所述真空密封腔体的内外气压差数据，根据预设的目标气体浓度、填充气体浓度和所述内外气压差数据，分别计算充入填充气体和充入所述目标气体时，所述真空密封腔体达到的第一内外气压差值理论值和第二内外气压差值理论值，控制充入所述填充气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第一内外气压差值理论值，控制充入所述目标气体，以使所述真空密封腔体的内外气压差值达到所述第二内外气压差值理论值。

7.根据权利要求6所述的气体浓度控制装置，其特征在于，所述充气控制组件包括气压差传感器，所述气压差传感器与所述真空密封腔体连接；

所述气压差传感器用于检测所述真空密封腔体的内外气压差。

8.根据权利要求7所述的气体浓度控制装置，其特征在于，还包括抽气组件，所述抽气组件与所述真空密封腔体连接；

所述抽气组件用于当计算的气压差值理论值大于所述气压差传感器的检测范围时，控制抽取所述真空密封腔体中的气体，以使更新的内外气压差值理论值在所述气压差传感器的检测范围。

9.一种计算机设备，其特征在于，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现权利要求1-5任意一项所述气体浓度控制方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现权利要求1-5任一项所述气体浓度控制方法的步骤。