CN111983142A - 气氛检测装置的测试装置以及方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种气氛检测装置的测试装置以及方法。气氛检测装置的测试装置包括：腔体模块包括第一腔体；压强检测模块包括第一检测单元，第一检测单元用于测试第一腔体内的压强；真空模块包括第一真空单元，第一真空单元用于对第一腔体内进行抽真空至第一等效测试气压，以得到第一等效测试气体；管道模块包括第一管道单元，第一管道单元包括连接第一腔体的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件以及第四管道组件，第一管道组件用于向第一腔体内输入第一测试气体，第二管道组件连接第一检测单元，第三管道组件连接第一真空单元，第四管道组件用于向气氛检测装置输出第一腔体内的等效气体。本申请可以有效减少对气氛检测装置的测试时间及成本。

Description

气氛检测装置的测试装置以及方法

技术领域

本申请涉及电子信息技术领域，特别是涉及一种气氛检测装置的测试装置以及方法。

背景技术

在构成电子系统或设备的元器件中，具有内部空腔的密封性封装的电子元器件在长期可靠性方面具有明显的优势。而密封电子元器件的可靠性，在很大程度上是由其所在的封装腔体内的气氛决定的。鉴于内部气氛对电子元器件的有害性，必须对封装腔体内的各种气氛的含量进行严格控制。气氛检测装置(如气氛检测仪)即是对封装腔体内各种气体的含量进行测定的装置。

随着技术的进步，电子元器件愈发向小型化、微型化方向发展，对其进行密封性封装的封装腔体也越来越小。封装腔体内部含有的气氛非常微量。因此，为了精确地测定电子元器件所在的封装腔体内各种气体的含量，在开发气氛检测装置时，需要对其进行已知气氛的微小腔体模型测试验证。

现有测试验证方式通常是制作的相应的微小腔体样品。然后在微小腔体样品中充入种类和含量已知的气氛。之后再利用气氛检测装置对微小腔体样品中的气氛进行检测，进而对气氛检测装置进行测试。对于具有不同大小和不同气氛的封装腔体的电子元器件进行测定的各种气氛检测装置，利用这种方法对其进行测试时，需要制作不同大小以及不同气氛的腔体，实现起来时间较长。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够减少测试时间和成本的验证气氛检测装置的测试装置以及方法。

一种气氛检测装置的测试装置，包括：

腔体模块，包括第一腔体；

压强检测模块，包括第一检测单元，所述第一检测单元用于测试所述第一腔体内的压强；

真空模块，包括第一真空单元，所述第一真空单元用于对所述第一腔体内进行抽真空至第一等效测试气压，以得到第一等效测试气体；

管道模块，包括：

第一管道单元，包括连接所述第一腔体的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件以及第四管道组件，所述第一管道组件用于向所述第一腔体内输入第一测试气体，所述第二管道组件连接所述第一检测单元，所述第三管道组件连接所述第一真空单元，所述第四管道组件用于向所述气氛检测装置输出所述第一腔体内的等效气体，所述等效气体包括第一等效测试气体。

在其中一个实施例中，

所述第一管道单元还包括连接所述第一腔体的第五管道组件，所述第五管道组件用于由所述第一腔体内向外界排气。

在其中一个实施例中，

所述腔体模块还包括第二腔体；

所述压强检测模块还包括第二检测单元，第二检测单元用于测试所述第二腔体内的压强；

所述真空模块还包括第二真空单元，所述第二真空单元用于对所述第二腔体内进行抽真空至第二等效测试气压，以得到第二等效测试气体；

所述管道模块还包括第二管道单元以及连接管道组件；

所述第二管道单元包括连接所述第二腔体的第六管道组件、第七管道组件以及第八管道组件，所述第六管道组件用于向所述第二腔体内输入第二测试气体，所述第七管道组件连接所述第二检测单元，所述第八管道组件连接所述第二真空单元；

所述连接管道组件，连接所述第一腔体与所述第二腔体，用于将所述第二腔体内的第二等效测试气体输出至所述第一腔体内，以与所述第一等效测试气体混合成所述等效气体。

在其中一个实施例中，所述第二管道单元包括还连接所述第二腔体的第九管道组件，所述第九管道组件用于由所述第二腔体内向外界排气。

在其中一个实施例中，所述管道组件包括管道以及阀门。

一种气氛检测装置的测试方法，应用上述的气氛检测装置的测试装置，包括：

通过所述第一管道组件向所述第一腔体内输入第一测试气体，至所述第一腔体内充满所述第一测试气体；

通过所述第一真空单元对所述第一腔体内进行抽真空至所述第一等效测试气压，以得到第一等效测试气体；

通过所述第四管道组件向所述气氛检测装置输出所述第一腔体内的等效气体；

对所述气氛检测装置进行测试。

在其中一个实施例中，应用上述的气氛检测装置的测试装置，所述通过所述第一管道组件向所述第一腔体内输入第一测试气体，至所述第一腔体内充满所述第一测试气体包括：

开启所述第一管道组件以及第五管道组件，在第一预设时间内，通过所述第一管道组件向所述第一腔体内第一测试气体，同时通过所述第五管道组件由所述第一腔体内向外界排气；

关闭所述第一管道组件以及所述第五管道组件。

在其中一个实施例中，所述通过所述第一管道组件向所述第一腔体内输入第一测试气体，至所述第一腔体内充满所述第一测试气体包括：

开启所述第三管道组件，通过所述第一真空单元对所述第一腔体进行抽真空至第一预设真空度；

关闭所述第三管道组件，打开所述第一管道组件而通入所述第一测试气体。

在其中一个实施例中，应用上述的气氛检测装置的测试装置，所述通过所述第四管道组件向所述气氛检测装置输出所述第一腔体内的等效气体之前，还包括：

通过第六管道组件向第二腔体内输入第二测试气体，至所述第二腔体内充满所述第二测试气体；

通过第二真空单元对所述第二腔体内进行抽真空至所述第二等效测试气压，以得到第二等效测试气体；

通过连接管道组件将所述第二腔体内的第二等效测试气体输出至所述第一腔体内，以与所述第一等效测试气体混合成所述等效气体。

在其中一个实施例中，应用上述的气氛检测装置的测试装置，所述通过第六管道组件向第二腔体内输入第二测试气体，至所述第二腔体内充满所述第二测试气体包括：

开启所述第六管道组件以及第九管道组件，在第二预设时间内，通过所述第六管道组件向所述第二腔体内输入第二测试气体，同时通过所述第九管道组件由所述第二腔体内向外界排气；

关闭所述第六管道组件以及所述第九管道组件。

上述气氛检测装置的测试装置以及方法，通过抽真空实现第一测试气体的总量等效，从而实现对气氛检测装置的精确而有效的测试验证。因此，本申请无需定制不同腔体大小以及不同气氛的微小腔体样品，测试效率高，可以节约大量的时间、成本。并且，本申请通过真空度的控制可以实现第一测试气体总量以及含量(的精确控制，可以有效提高测试精度。同时，本申请为无损测试，因此可以重复进行测试验证。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为气氛检测装置的结构示意图；

图2为一个实施例中气氛检测装置的测试装置的结构示意图；

图3为另一个实施例中气氛检测装置的测试装置的结构示意图；

图4为又一个实施例中气氛检测装置的测试装置的结构示意图；

图5为再一个实施例中气氛检测装置的测试装置的结构示意图。

附图标记说明：

附图标记说明：-腔体模块，110-第一腔体，120-第二腔体；-压强检测模块，210-第一检测单元，220-第二检测单元；-真空模块，310-第一真空单元，320-第二真空单元；-管道模块，-第一管道单元，411-第一管道组件，412-第二管道组件，413-第三管道组件，414-第四管道组件，415-第五管道组件，-第二管道单元，421-第六管道组件，422-第七管道组件，423-第八管道组件，424-第九管道组件，430-连接管道组件

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使本申请的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。

可以理解，本申请所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种元件，但这些元件不受这些术语限制。这些术语仅用于将第一个元件与另一个元件区分。

需要说明的是，当一个元件被认为是“连接”另一个元件时，它可以是直接连接到另一个元件，或者通过居中元件连接另一个元件。

在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也可以包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应当理解的是，术语“包括/包含”或“具有”等指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的存在，但是不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的可能性。

电子信息技术与微纳米器件的持续发展及不断深化不仅带来了新的机遇与挑战，同时也对电子元器件的长期可靠性提出了更高的要求。尤其是在车载设备、卫星设备、通讯设备以及航空航天等关键领域，不仅要求电子元器件具备高品质的质量和可靠性，还要求具有长的使用寿命。

在构成电子系统或设备的元器件中，具有内部空腔的密封性封装的电子元器件在长期可靠性方面具有明显的优势。而密封电子元器件的可靠性，在很大程度上是由其所在的封装腔体内的气氛决定的。

电子元器件封装腔体内的气氛，形成于封装工艺过程，主要成分由封装环境气氛决定，同时受到工艺过程洁净度、封装腔体的密封完整性，以及腔体内部各种材料长期应用中释放的气氛等因素的影响。

目前有明确证据表明会对密封电子元器件的可靠性造成广泛的不利影响的气氛有水汽、氢气、二氧化碳、以甲醇为代表的极性有机物等。例如，水汽会导致电子元器件漏电和电化学腐蚀等。水为许多电化学反应提供载体，与其相关的失效机理包括电气失效、金属腐蚀和金属化电迁移等。卤族化合物在水汽存在的情况下，会破坏集成电路铝条表面的氧化保护层，使铝与水发生反应生成氢氧化铝，进而造成电路失效。

鉴于内部气氛对电子元器件的有害性，必须对封装腔体内的各种气氛的含量进行严格控制。气氛检测装置(如气氛检测仪)即是对封装腔体内各种气体的含量进行测定的装置。参考图1，气氛检测装置通常主要包括测试样品、穿刺机构、取样室、气体通道、电离室和分析室；其中，测试样品为气氛检测装置所检测的封装腔体，其内气压通常约为一个标准大气压。

气氛检测装置工作时，首先将整个系统抽真空。安装好测试样品后，穿刺机构刺穿测试样品。测试样品内部的气氛溢出至取样室，然后经由气体通道输送至电离室被电离，最后在分析室进行气体种类和含量的分析测定。

随着技术的进步，电子元器件愈发向小型化、微型化方向发展，对其进行密封性封装的封装腔体也越来越小。封装腔体内部含有的气氛非常微量。因此，为了精确地测定电子元器件所在的封装腔体内各种气体的含量，在开发气氛检测装置时，需要对其进行已知气氛的微小腔体模型测试验证。

现有测试验证方式通常是制作的相应的微小腔体样品。然后在微小腔体样品中充入种类和含量已知的气氛。例如，设计微小管壳并进行气密封装，并在气密封装过程中控制内部气氛种类和含量。之后再利用气氛检测装置对微小腔体样品中的气氛进行检测，进而对气氛检测装置进行测试。对于对具有不同封装腔体的电子元器件进行测定的各种气氛检测装置，利用这种方法对其进行测试时，需要制作不同大小的腔体，实现起来时间较长，并且成本通常也较高。

因此，发展一种新的气氛检测装置的测试装置以及方法具有重要的工程应用价值。

在一个实施例中，参考图2，提供了一种气氛检测装置的测试装置，包括腔体模块、压强检测模块、真空模块以及管道模块。

腔体模块包括第一腔体110。第一腔体110为可被密封的腔体。压强检测模块包括第一检测单元210。第一检测单元210用于测试第一腔体110内的压强。具体地，第一检测单元210可以为压力传感器或真空规等。真空模块包括第一真空单元310。第一真空单元310用于对第一腔体110内进行抽真空。具体地，第一真空单元310可以为真空泵等。

管道模块包括第一管道单元。第一管道单元包括第一管道组件411、第二管道组件412、第三管道组件413以及第四管道组件414。第一管道组件411、第二管道组件412、第三管道组件413以及第四管道组件414均连接第一腔体110，进而实现第一腔体110内的气氛的输入、输出等。

具体地，第一腔体110具有连通第一管道组件411、第二管道组件412、第三管道组件413以及第四管道组件414的开口，进而实现第一腔体110内的气氛的输入、输出。

各个管道组件可以包括管道以及阀门等。管道用于通气，其可以为通过连接件等连接在第一腔体110上的管道，也可以为与第一腔体110一体成型而成的管道。本申请对此并没有限制。阀门用于控制相关管道的开启与关闭，进而实现控制管道组件的开启与关闭。当然，本申请并不以此为限制，一切可以实现相应功能的可变结构均可。

第一管道组件411用于向第一腔体110内输入第一测试气体。第一测试气体例如可以为氢气。具体地，向第一腔体110内输入第一测试气体时，可以首先将第一管道组件411的管道连接供第一测试气体的存储装置(例如储气瓶)，然后打开第一管道组件411的阀门，并通过其管道向第一腔体110内输入第一测试气体。第一测试气体输入完毕后可以关闭第一管道组件411的阀门。

第二管道组件412连接第一检测单元210。第一腔体110内输入第一测试气体后，其内的气压可以通过第一检测单元210进行监控。

第三管道组件413连接第一真空单元310。第一腔体110内输入第一测试气体后，可以通过第一真空单元310对其进行抽真空，直至第一腔体110的气压达到第一等效测试气压，进而得到第一等效测试气压下的第一测试气体。这里，将第一等效测试气压下的第一测试气体记作“第一等效测试气体”。

第四管道组件414用于向气氛检测装置输出第一腔体110内的等效气体。这里，等效气体可以为第一等效测试气体(即等效气体中只包括第一等效测试气体)，也可以为包括第一等效测试气体的混合气体。本申请对此没有限制。

第四管道组件414连接气氛检测装置的电离室或者取样室等，进而向气氛检测装置输出第一腔体110内的等效气体。第四管道组件414连接的气氛检测装置的具体位置可以根据实际试验目的进行调整。

当要对气氛检测装置的某种组成部件(例如质谱分析仪)进行测试时，可以将第四管道组件414直接连接至气氛检测装置的电离室(参考图2、图3)。当要对气氛检测装置整体进行测试时，可以将第四管道组件414连接至气氛检测装置的取样室(参考图4、图5)，进而更贴近气氛检测装置工作的实际情况。

由前述说明，气氛检测装置所检测的测试样品为电子元器件的封装腔体。电子元器件的封装腔体微小。所以，测试装置对气氛检测装置进行测试验证时，需要对其进行已知气氛的微小腔体模型测试验证。已知气氛的微小腔体模型为电子元器件的封装腔体的模型。

根据理想气体状态方程，PV＝nRT，P表示压强、V表示气体体积、n表示物质的量、R表示理想气体常数、T表示理想气体的热力学温度。所以，n＝PV/RT。

本实施例在对气氛检测装置进行测试验证时，对第一测试气体进行等效。“第一等效测试气体”与验证的已知气氛的微小腔体模型内的第一测试气体总量相同。此时，二者的物质的量n也相同。

同时，本申请测试装置的第一腔体110内的温度与气氛检测装置所检测的封装腔体内的温度近似相同。因此，本申请测试装置的第一腔体110内的温度与已知气氛的微小腔体模型的温度认为一致。

据此，可以计算第一等效测试气压的值。

具体地，假设等效气体只包括第一等效测试气体。测试装置对气氛检测装置进行测试验证时，所验证的已知气氛的微小腔体模型为：微小腔体中的压强为P₀，微小腔体的体积为V₀，微小腔体中的第一测试气体的体积分数为x％。同时，本实施例测试装置的第一腔体110的体积为V₁，而第一腔体110用于对第一测试气体进行抽真空压缩。因此，得到第一等效测试气体的第一等效测试气压P₁＝P₀×(V₀×x％)/V₁。

电子元器件的封装腔体内的气压通常约为一个标准大气压。已知气氛的微小腔体模型为电子元器件的封装腔体的模型。因此，计算时，可以使得已知气氛的微小腔体模型的微小腔体中的压强为P₀取值为一个标准大气压。

本实施例通过抽真空实现第一测试气体的总量等效，从而实现对气氛检测装置的精确而有效的测试验证。因此，本申请无需定制不同腔体大小的微小腔体样品，测试效率高，可以节约大量的时间、成本。并且，本申请通过真空度的控制可以实现第一测试气体总量和含量的精确控制，可以有效提高测试精度。同时，本申请为无损测试，因此可以重复进行测试验证。

在一个实施例中，参考图3，第一管道单元还包括第五管道组件415。第一腔体110具有连通第五管道组件415的开口。第五管道组件415连接第一腔体110，进而由第一腔体110内向外界排气。第五管道组件415也可以包括管道以及阀门。打开第五管道组件415的阀门，第一腔体110由第五管道组件415的管道向外排气。关闭阀门，管道关闭，第一腔体110不再排气。

利用本实施例测试装置进行测试试验时，第一腔体110由第一管道组件411通入第一测试气体时，可以同时打开第五管道组件415。此时，第一腔体110内原有的气体被第一测试气体由第五管道组件415赶出，进而将第一腔体110充满第一测试气体。

此时，当第一腔体110充满第一测试气体时，可以同时关闭第一管道组件411以及第五管道组件415。当然，也可以先关闭第五管道组件415再关闭第一管道组件411。

当然，本申请以并不以此为限制。在其他实施例中，也可以通过其他方式使得第一腔体110充满第一测试气体。

例如，在一些实施例中，可以不设有第五管道组件415。此时，可以先第一腔体110由第一管道组件411通入测试气体时，可以同时打开第四管道组件414。此时，第一腔体110内原有的气体被测试气体由第四管道组件414赶出，进而将第一腔体110充满测试气体。当第一腔体110充满测试气体时，可以同时关闭第一管道组件411以及第四管道组件414；或者先关闭第四管道组件414，再关闭第一管道组件411。

在此种实施例中，在进行测试试验时，可以设置第四管道组件414在开始时不连接气氛检测装置，而当第一腔体110充满第一测试气体后，再将第四管道组件414与气氛检测装置连接，进而向气氛检测装置输出第一腔体110内的等效气体。

或者，在一些实施例中，不设有第五管道组件415时，也可以在由第一管道组件411通入第一测试气体前，先打开第三管道组件413，通过第一真空单元310对第一腔体110进行抽真空至第一预设真空度。然后，再关闭第三管道组件413，打开第一管道组件411而通入第一测试气体。第一预设真空度为在该真空下可以将第一腔体110的气体量忽略不计的真空值，该值可以根据实际情况进行设定。

如前，第四管道组件414向气氛检测装置输出的等效气体，可以为第一等效测试气体，也可以为包括第一等效测试气体的混合气体。当其为混合气体时，可以测试气氛检测装置对微小腔室中的第一测试气体的体积分数(ppm)的测试。

此时，等效气体中含有不止一种种类的气体，除了第一等效测试气体还包括其他气体。鉴于此，在一个实施例中，参考图4，腔体模块还包括第二腔体120。第二腔体120也为可被密封的腔体。压强检测模块包括第二检测单元220。第二检测单元220用于测试第二腔体120内的压强。具体地，第二检测单元220也可以为压力传感器等。真空模块包括第二真空单元320。第二真空单元320用于对第二腔体120内进行抽真空。具体地，第二真空单元320也可以为真空泵等。

管道模块还包括包括第二管道单元以及连接管道组件430。

第二管道单元包括第六管道组件421、第七管道组件422以及第八管道组件423。第六管道组件421、第六管道组件421、第七管道组件422以及第八管道组件423均连接第二腔体120，进而实现第二腔体120内的气氛的输入、输出等。

具体地，第二腔体120具有连通第六管道组件421、第七管道组件422以及第八管道组件423的开口，进而实现第二腔体120内的气氛的输入、输出。

连接管道组件430连接第一腔体110与第二腔体120，用于将第二腔体120内的第二等效测试气体输出至第一腔体110内，以与第一等效测试气体混合成等效气体。

在本实施例中，各个管道组件可以包括管道以及阀门等。管道用于通气，其可以为通过连接件等连接在第二腔体120上的管道，也可以为与第二腔体120一体成型而成的管道。本申请对此并没有限制。阀门用于控制相关管道的开启与关闭，进而实现控制管道组件的开启与关闭。当然，本申请并不以此为限制，一切可以实现相应功能的可变结构均可。

第六管道组件421用于向第二腔体120内输入第二测试气体。第二测试气体例如可以选取氮气等。具体地，向第二腔体120内输入第二测试气体时，可以首先将第六管道组件421的管道连接供第二测试气体的存储装置(例如储气瓶)，然后打开第六管道组件421的阀门，并通过其管道向第二腔体120内输入第二测试气体。第二测试气体输入完毕后可以关闭第六管道组件421的阀门。

第六管道组件421连接第二检测单元220。第二腔体120内输入第一测试气体后，其内的气压可以通过第二检测单元220进行监控。

第三管道组件423连接第二真空单元320。第二腔体120内输入第一测试气体后，可以通过第二真空单元320对其进行抽真空，直至第二腔体120的气压达到第二等效测试气压，进而得到第二等效测试气压下的第二测试气体。这里，将第二等效测试气压下的第一测试气体记作“第二等效测试气体”。

本实施例中，等效气体为混合气体，在对气氛检测装置进行测试验证时，对第一测试气体及第二测试气体均进行等效。“第一等效测试气体”与验证的已知气氛的微小腔体模型内的第一测试气体总量相同(此时，二者的物质的量n也相同)。“第二等效测试气体”与验证的已知气氛的微小腔体模型内的第二测试气体总量相同(此时，二者的物质的量n也相同)。

第一等效测试气压以及第二等效测试气压的计算过程可以类似与前述说明：

具体地，假设测试装置对气氛检测装置进行测试验证时，所验证的已知气氛的微小腔体模型为：微小腔体中的压强为P₀，微小腔体的体积为V₀，微小腔体中的第一测试气体的体积分数为x％，第二测试气体的体积分数为(1-x％)。同时，本实施例测试装置的第一腔体110的体积为V₁，第二腔体210的体积为V₂。

第一腔体110用于对第一测试气体进行抽真空。因此，得到第一等效测试气体的第一等效测试气压P₁＝P₀×(V₀×x％)/V₁。第二腔体210用于对第二测试气体进行抽真空压缩。因此，得到第二等效测试气体的第二等效测试气压P₂＝P₀×[V₀×(1-x％)]/V₂。

更具体地，假设已知气氛的微小腔体模型为100ppm氢气以及剩余气氛为氮气的0.1cc腔体模型。第一腔体110的体积V₁＝10cc。第二腔体210的体积V₂＝10cc。微小腔体中的压强为P₀取一个标准大气压。则：

第一等效测试气压P₁＝P₀×(V₀×x％)/V₁＝1.01×10⁵pa×(0.1cc×100ppm)/10cc≈0.1pa

第二等效测试气压P₂＝P₀×[V₀×(1-x％)]/V₂≈1.01×10⁵pa×[0.1cc×(1-100ppm)]/10cc≈1000pa

因此，应用本实施测试装置，不仅可以等效测试任意种类第一测试气体、任意腔体大小内的第一测试气体，还可以测试任意气体含量的第一测试气体。

在一个实施例中，参考图5，第二管道单元还包括连接第二腔体210的第九管道组件424，第九管道组件424用于由第二腔体210内向外界排气。

在本实施例中，第二腔体210的第九管道组件424类似于第一腔体110的第九管道组件424。

利用本实施例测试装置进行测试试验时，第二腔体210由第六管道组件421通入第二测试气体时，可以同时打开第九管道组件424。此时，第二腔体210内原有的气体被第二测试气体由第九管道组件424赶出，进而将第二腔体210充满第二测试气体。

此时，当第二腔体210充满第二测试气体时，可以同时关闭第六管道组件421以及第九管道组件424。当然，也可以先关闭第九管道组件424再关闭第六管道组件421。

当然，本申请以并不以此为限制。在其他实施例中，也可以通过其他方式使得第二腔体120充满第二测试气体。例如，可以在由第六管道组件421通入第一测试气体前，先通过第二真空单元320先对第二腔体120进行抽真空至第二预设真空度，然后再通入第二测试气体。第二预设真空度为在该真空下可以将第二腔体110的气体量忽略不计的真空值，该值可以根据实际情况进行设定。

在一个实施例中，提供一种气氛检测装置的测试方法，应用前述实施例的气氛检测装置的测试装置，包括：

步骤S1，通过第一管道组件411向第一腔体110内输入第一测试气体，至第一腔体110内充满第一测试气体。

此时，可以打开第一管道组件411，并关闭第四管道组件414。第一腔体110内充满第一测试气体后，关闭第一管道组件411。

步骤S2，通过第一真空单元310对第一腔体110内进行抽真空至第一等效测试气压，以得到第一等效测试气体。

此时，可以打开第三管道组件413以及第二管道组件412，并关闭第第一管道组件411以及第四管道组件414。得到第一等效测试气体后关闭第三管道组件413。

步骤S3，通过第四管道组件414向气氛检测装置输出第一腔体110内的等效气体。

此时，可以打开第四管道组件414，并关闭第一管道组件411以及第三管道组件413。在本步骤中，第二管道组件412可以关闭，也可以开启，具体可以根据实际需求设置。

步骤S4，对气氛检测装置进行测试。

在一个实施例中，步骤S1(通过第一管道组件411向第一腔体110内输入第一测试气体，至第一腔体110内充满第一测试气体)包括：

步骤S111，开启第一管道组件411以及第五管道组件415，在第一预设时间内，通过第一管道组件411向第一腔体110内第一测试气体，同时通过第五管道组件415由第一腔体110内向外界排气。

第一预设时间可以根据实际需要设定。

步骤S112，关闭第一管道组件411以及第五管道组件415。

本步骤可以将第一管道组件411与第五管道组件415同时关闭，也可以先关闭第五管道组件415，再关闭第一管道组件411。

在一个实施例中，步骤S1(通过第一管道组件411向第一腔体110内输入第一测试气体，至第一腔体110内充满第一测试气体)包括：

步骤S121，开启第三管道组件413，通过第一真空单元310对第一腔体110进行抽真空至第一预设真空度。

本步骤中，可以开启第三管道组件413以及第二管道组件412，而其他管道组件关闭。

第一预设真空度为在该真空下可以将第一腔体110的气体量忽略不计的真空值，该值可以根据实际情况进行设定。

步骤S122，关闭第三管道组件413，打开第一管道组件411而通入第一测试气体。

本步骤可以打开第一管道组件411以及第二管道组件412，而其他管道组件关闭。

在一个实施例中，步骤S3(通过第四管道组件414向气氛检测装置输出第一腔体110内的等效气体)之前，还包括：

步骤S01，通过第六管道组件421向第二腔体120内输入第二测试气体，至第二腔体120内充满第二测试气体。

此时，可以打开第六管道组件421，并关闭第八管道组件423以及连接管道组件430。第二腔体120内充满第二测试气体后，关闭第六管道组件421。

在本步骤中，第七管道组件422可以开启，也可以关闭，具体可以根据实际需求设置。

步骤S02，通过第二真空单元320对第二腔体120内进行抽真空至第二等效测试气压，以得到第二等效测试气体。

此时，可以打开第八管道组件423以及第七管道组件422，并关闭第六管道组件421以及连接管道组件430。得到第二等效测试气体后，关闭第八管道组件423。

步骤S03，通过连接管道组件430将第二腔体120内的第二等效测试气体输出至第一腔体110内，以与第一等效测试气体混合成等效气体。

此时，可以打开连接管道组件430，并关闭第六管道组件421以及第八管道组件423。在本步骤中，第七管道组件422可以关闭，也可以开启，具体可以根据实际需求设置。

测试试验时，可以先获取第一等效测试气体，再获取第二等效测试气体，再将二者混合。

在一个实施例中，步骤S01(通过第六管道组件421向第二腔体120内输入第二测试气体，至第二腔体120内充满第二测试气体)包括：

步骤S011，开启第六管道组件421以及第九管道组件424，在第二预设时间内，通过第六管道组件421向第二腔体120内输入第二测试气体，同时通过第九管道组件424由第二腔体120内向外界排气。

第二预设时间可以根据实际需要设定。

步骤S012，关闭第六管道组件421以及第九管道组件424。

本步骤可以将第六管道组件421与第九管道组件424同时关闭，也可以先关闭第九管道组件424，再关闭第六管道组件421。

关于气氛检测装置的测试方法的具体限定可以参见上文中对于气氛检测装置的测试装置的限定，在此不再赘述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“其他实施例”、“理想实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特征包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性描述不一定指的是相同的实施例或示例。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种气氛检测装置的测试装置，包括：

腔体模块，包括第一腔体；

压强检测模块，包括第一检测单元，所述第一检测单元用于测试所述第一腔体内的压强；

真空模块，包括第一真空单元，所述第一真空单元用于对所述第一腔体内进行抽真空至第一等效测试气压，以得到第一等效测试气体；

管道模块，包括：

第一管道单元，包括连接所述第一腔体的第一管道组件、第二管道组件、第三管道组件以及第四管道组件，所述第一管道组件用于向所述第一腔体内输入第一测试气体，所述第二管道组件连接所述第一检测单元，所述第三管道组件连接所述第一真空单元，所述第四管道组件用于向所述气氛检测装置输出所述第一腔体内的等效气体，所述等效气体包括第一等效测试气体。

2.根据权利要求1所述的气氛检测装置的测试装置，其特征在于，

所述第一管道单元还包括连接所述第一腔体的第五管道组件，所述第五管道组件用于由所述第一腔体内向外界排气。

3.根据权利要求1所述的气氛检测装置的测试装置，其特征在于，

所述腔体模块还包括第二腔体；

所述压强检测模块还包括第二检测单元，第二检测单元用于测试所述第二腔体内的压强；

所述真空模块还包括第二真空单元，所述第二真空单元用于对所述第二腔体内进行抽真空至第二等效测试气压，以得到第一等效测试气体；

所述管道模块还包括第二管道单元以及连接管道组件；

所述第二管道单元包括连接所述第二腔体的第六管道组件、第七管道组件以及第八管道组件，所述第六管道组件用于向所述第二腔体内输入第二测试气体，所述第七管道组件连接所述第二检测单元，所述第八管道组件连接所述第二真空单元；

所述连接管道组件，连接所述第一腔体与所述第二腔体，用于将所述第二腔体内的第二等效测试气体输出至所述第一腔体内，以与所述第一等效测试气体混合成所述等效气体。

4.根据权利要求3所述的气氛检测装置的测试装置，其特征在于，所述第二管道单元包括还连接所述第二腔体的第九管道组件，所述第九管道组件用于由所述第二腔体内向外界排气。

5.根据权利要求1-4任一项所述的气氛检测装置的测试装置，其特征在于，所述管道组件包括管道以及阀门。

6.一种气氛检测装置的测试方法，应用权利要求1所述的气氛检测装置的测试装置，包括：

通过所述第一管道组件向所述第一腔体内输入第一测试气体，至所述第一腔体内充满所述第一测试气体；

通过所述第一真空单元对所述第一腔体内进行抽真空至所述第一等效测试气压，以得到第一等效测试气体；

通过所述第四管道组件向所述气氛检测装置输出所述第一腔体内的等效气体；

对所述气氛检测装置进行测试。

7.根据权利要求6所述的气氛检测装置的测试方法，其特征在于，应用权利要求2所述的气氛检测装置的测试装置，所述通过所述第一管道组件向所述第一腔体内输入第一测试气体，至所述第一腔体内充满所述第一测试气体包括：

开启所述第一管道组件以及第五管道组件，在第一预设时间内，通过所述第一管道组件向所述第一腔体内输入第一测试气体，同时通过所述第五管道组件由所述第一腔体内向外界排气；

关闭所述第一管道组件以及所述第五管道组件。

8.根据权利要求6所述的气氛检测装置的测试方法，其特征在于，通过所述第一管道组件向所述第一腔体内输入第一测试气体，至所述第一腔体内充满所述第一测试气体包括：

开启所述第三管道组件，通过所述第一真空单元对所述第一腔体进行抽真空至第一预设真空度；

关闭所述第三管道组件，打开所述第一管道组件而通入所述第一测试气体。

9.根据权利要求6-8任一项所述的气氛检测装置的测试方法，其特征在于，应用权利要求3所述的气氛检测装置的测试装置，所述通过所述第四管道组件向所述气氛检测装置输出所述第一腔体内的等效气体之前，还包括：

通过第六管道组件向第二腔体内输入第二测试气体，至所述第二腔体内充满所述第二测试气体；

通过第二真空单元对所述第二腔体内进行抽真空至所述第二等效测试气压，以得到第二等效测试气体；

通过连接管道组件将所述第二腔体内的第二等效测试气体输出至所述第一腔体内，以与所述第一等效测试气体混合成所述等效气体。

10.根据权利要求8所述的气氛检测装置的测试方法，其特征在于，应用权利要求4所述的气氛检测装置的测试装置，所述通过第六管道组件向第二腔体内输入第二测试气体，至所述第二腔体内充满所述第二测试气体包括：

开启所述第六管道组件以及第九管道组件，在第二预设时间内，通过所述第六管道组件向所述第二腔体内输入第二测试气体，同时通过所述第九管道组件由所述第二腔体内向外界排气；

关闭所述第六管道组件以及所述第九管道组件。

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