CN108166058A - 4H-SiC晶体生长方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种4H‑SiC晶体生长方法,包括:制作多晶碳化硅与金属的混合物,将所述多晶碳化硅与金属的混合物作为原材料生长4H‑SiC晶体,所述多晶碳化硅与金属的混合物被加热融化,能够使硅与碳均匀混合,保证形成的4H‑SiC晶体中硅的含量,提高4H‑SiC晶体的质量。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造领域,特别涉及一种4H-SiC晶体生长方法。
背景技术
作为第三代宽带隙半导体材料的一员,相对于常见的硅(Si)和砷化钙(GaAs)等半导体材料,碳化硅(SiC)材料具有禁带宽度大、载流子饱和迁移速度高,热导率高、临界击穿场强高等诸多优异的性质。基于这些优良的特性,碳化硅材料是制备高温电子器件、高频大功率器件更为理想的材料。特别是在极端条件和恶劣条件下应用时,SiC器件的特性远远超过了Si器件和GaAs器件。在光电子领域,相对传统衬底材料Si与蓝宝石,SiC晶格及热适配更小,用SiC衬底制作的LED(Light-Emitting Diode,发光二极管)性能远优于蓝宝石衬底。
物理气相传输法是目前制备SiC衬底的主要方法。在典型的物理气相传输中,籽晶和源粉二者均被放置在加热到源粉能够升华温度的坩埚中,且在源粉和温度较低的籽晶之间产生温度梯度,这个温度梯度促进了物质从源粉到籽晶的气相移动,随后源粉升华的物质在籽晶上凝结从而导致晶体的生长。
SiC材料具有200多种同素异构体,目前常见的晶型有6H-SiC,4H-SiC和3H-SiC。SiC常见的晶型结构中,4H-SiC电子迁移率是6H-SiC的两倍多,具有较弱的各向异性,被认为是制备高频大功率器件最有前途的SiC材料。4H-SiC晶体生长方法主要包括:移动溶剂法(Traveling Solvent Method,TSM)、缓慢冷却技术(Slow Cooling Technique,SCT)、气液固方法(Vapor Liquid Solid,VLS)以及顶部籽晶溶盐法(Top Seeded Solution Growth,TSSG)。
在TSSG方法中,硅源、碳源在碳石墨坩埚中被加热,碳持续的从碳石墨坩埚的表面析出,然而硅的含量有限,导致最后形成的晶体中缺少硅,从而影响4H-SiC晶体的质量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种4H-SiC晶体生长方法,提高4H-SiC晶体的质量。
本发明的技术方案是一种4H-SiC晶体生长方法,包括:制作多晶碳化硅与金属的混合物,将所述多晶碳化硅与金属的混合物作为原材料生长4H-SiC晶体。
进一步的,还包括:将所述多晶碳化硅与金属的混合物放入碳石墨坩埚中,将所述碳石墨坩埚放入腔室内采用顶部籽晶溶盐法生长4H-SiC晶体。
进一步的,采用化学气相沉积的方法形成所述多晶碳化硅与金属的混合物;反应气体为:SiHCl3、C3H8与M(C2H5)n,其中,M为所述金属,n为正整数。
进一步的,所述金属为镧、铈、镨、钕、钐、铕、钆、铽、镝、钬、或镥。
进一步的,在所述反应气体中,所述Si与M的质量比为1:0.6~1:0.7,所述Si与C的原子比为1:1。
进一步的,在所述化学气相沉积中,反应腔室的温度为1200℃~1300℃,压力为760Torr。
进一步的,所述顶部籽晶溶盐法包括:升高所述腔室的温度使所述多晶碳化硅与金属的混合物融化;将4H-SiC籽晶放置于融化的所述多晶碳化硅与金属的混合物的表面生长4H-SiC晶体。
进一步的,在生长4H-SiC晶体的过程中,不断地从所述腔室的一端中通入氩气,从所述腔室的另一端排出废气。
进一步的,采用射频加热、电阻加热或红外辐射加热的方法升高所述腔室的温度。
进一步的,形成所述4H-SiC晶体之后,采用冷却的氩气对所述腔室进行冷却。
与现有技术相比,本发明提供的4H-SiC晶体生长方法中,采用多晶碳化硅与金属的混合物作为原材料生长4H-SiC晶体,所述多晶碳化硅与金属的混合物被加热融化,能够使硅与碳均匀混合,保证形成的4H-SiC晶体中硅的含量,提高4H-SiC晶体的质量。
附图说明
图1为本发明一实施例所提供的4H-SiC晶体生长方法的流程示意图。
图2为本发明一实施例所提供的4H-SiC晶体生长方法所采取的装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的内容更加清楚易懂,以下结合说明书附图,对本发明的内容做进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例,本领域的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
其次,本发明利用示意图进行了详细的表述,在详述本发明实例时,为了便于说明,示意图不依照一般比例局部放大,不应对此作为本发明的限定。
本发明的核心思想是:采用多晶碳化硅与金属的混合物作为原材料生长4H-SiC晶体,所述多晶碳化硅与金属的混合物被加热融化,能够使硅与碳均匀混合,保证形成的4H-SiC晶体中硅的含量,提高4H-SiC晶体的质量。
图1为本发明一实施例所提供的4H-SiC晶体生长方法的流程示意图,如图1所示,本发明提出一种4H-SiC晶体生长方法,包括以下步骤:
步骤S01:制作多晶碳化硅与金属的混合物;
步骤S02:将所述多晶碳化硅与金属的混合物放入碳石墨坩埚中,将所述碳石墨坩埚放入腔室内;
步骤S03:升高所述腔室的温度使所述多晶碳化硅与金属的混合物融化;
步骤S04:将4H-SiC籽晶放置于融化的所述多晶碳化硅与金属的混合物的表面生长4H-SiC晶体。
请参考图1所示,详细说明本发明提出的4H-SiC晶体生长方法:
在步骤S01中,制作多晶碳化硅与金属的混合物,将所述多晶碳化硅与金属的混合物作为生长4H-SiC晶体的原材料。
本实施例中,采用化学气相沉积的方法形成所述多晶碳化硅与金属的混合物;在反应腔室中通入的反应气体为:SiHCl3、C3H8与M(C2H5)n,其中,M为所述多晶碳化硅与金属的混合物中的金属,所述金属为镧(La)、铈(Ce)、镨(Pr)、钕(Nd)、钐(Sm)、铕(Eu)、钆(Gd)、铽(Tb)、镝(Dy)、钬(Ho)或镥(Lu),n为正整数。
在所述反应气体中,所述Si与M的质量比为1:0.6~1:0.7,所述Si与C的原子比为1:1。所述反应腔室的温度为1200℃~1300℃,压力为760Torr。
在步骤S02中,将所述多晶碳化硅与金属的混合物放入碳石墨坩埚中,将所述碳石墨坩埚放入腔室内。所述腔室为采用顶部籽晶溶盐法生长4H-SiC晶体的腔室,本实施例中,采用顶部籽晶溶盐法生长4H-SiC晶体。
在步骤S03中,升高所述腔室的温度使所述多晶碳化硅与金属的混合物融化。通过位于所述腔室外部的加热装置对腔室进行加热,升高所述腔室的温度,使得位于所述碳石墨坩埚中的多晶碳化硅与金属的混合物融化。
在步骤S04中,将4H-SiC籽晶放置于融化的所述多晶碳化硅与金属的混合物的表面生长4H-SiC晶体。待所述多晶碳化硅与金属的混合物融化之后,将所述4H-SiC籽晶放置于融化的所述多晶碳化硅与金属的混合物的上表面,即将所述4H-SiC籽晶放置于液体的硅、碳、金属的上表面,硅与碳在所述4H-SiC籽晶上凝结从而形成4H-SiC晶体。
图2为本发明一实施例所提供的4H-SiC晶体生长方法所采取的装置的结构示意图,如图2所示,所述装置包括腔室10、位于腔室10内的碳石墨坩埚20,所述碳石墨坩埚20内放置有多晶碳化硅与金属的混合物30,在所述腔室10的顶部设置有籽晶夹持装置40,所述籽晶夹持装置40夹持有4H-SiC籽晶50。在所述腔室10的侧壁外设置有加热装置60,用于升高腔室10的温度。
首先制作所述多晶碳化硅与金属的混合物30,然后将所述多晶碳化硅与金属的混合物30放置于所述碳石墨坩埚20内,将所述碳石墨坩埚20放置于所述腔室10内。
通过所述加热装置60升高所述腔室10的温度,使所述多晶碳化硅与金属的混合物20融化。所述加热装置50可以为射频加热器(RF heater)、电阻加热器(resistive Heater)或红外辐射加热器(IR heater),采用射频加热、电阻加热或红外辐射加热的方法升高所述腔室10的温度,当然也可以采用本领域技术人员已知的其他方式进行加热,或者所述加热装置60属于所述腔室10的一部分,由使用的腔室10决定加热方式。
待所述多晶碳化硅与金属的混合物20融化之后,移动所述籽晶夹持装置40,将所述4H-SiC籽晶50放置于所述多晶碳化硅与金属的混合物20的上表面,即将所述4H-SiC籽晶50放置于液体的硅、碳、金属的上表面,硅与碳在所述4H-SiC籽晶50上凝结从而形成4H-SiC晶体。
所述腔室10的顶端设置有第一开口11,在底部设置有第二开口12,在生成4H-SiC晶体的过程中,不断地从所述腔室的第一开口中通入氩气(Ar),从腔室10的第二开口中排出废气。并且,形成所述4H-SiC晶体之后,采用冷却的氩气对所述腔室进行冷却。
综上所述,本发明提供的4H-SiC晶体生长方法,采用多晶碳化硅与金属的混合物作为原材料生长4H-SiC晶体,所述多晶碳化硅与金属的混合物被加热融化,能够使硅与碳均匀混合,保证形成的4H-SiC晶体中硅的含量,提高4H-SiC晶体的质量。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述,并非对本发明范围的任何限定,本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰,均属于权利要求书的保护范围。
Claims (10)
1.一种4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,包括:制作多晶碳化硅与金属的混合物,将所述多晶碳化硅与金属的混合物作为原材料生长4H-SiC晶体。
2.如权利要求1所述的4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,还包括:将所述多晶碳化硅与金属的混合物放入碳石墨坩埚中,将所述碳石墨坩埚放入腔室内采用顶部籽晶溶盐法生长4H-SiC晶体。
3.如权利要求2所述的4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,采用化学气相沉积的方法形成所述多晶碳化硅与金属的混合物;反应气体为:SiHCl3、C3H8与M(C2H5)n,其中,M为所述金属,n为正整数。
4.如权利要求3所述的4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,所述金属为镧、铈、镨、钕、钐、铕、钆、铽、镝、钬、或镥。
5.如权利要求3所述的4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,在所述反应气体中,所述Si与M的质量比为1:0.6~1:0.7,所述Si与C的原子比为1:1。
6.如权利要求5所述的4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,在所述化学气相沉积中,反应腔室的温度为1200℃~1300℃,压力为760Torr。
7.如权利要求3所述的4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,所述顶部籽晶溶盐法包括:升高所述腔室的温度使所述多晶碳化硅与金属的混合物融化;将4H-SiC籽晶放置于融化的所述多晶碳化硅与金属的混合物的表面生长4H-SiC晶体。
8.如权利要求7所述的4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,在生长4H-SiC晶体的过程中,不断地从所述腔室的一端中通入氩气,从所述腔室的另一端排出废气。
9.如权利要求8所述的4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,采用射频加热、电阻加热或红外辐射加热的方法升高所述腔室的温度。
10.如权利要求9所述的4H-SiC晶体生长方法,其特征在于,形成所述4H-SiC晶体之后,采用冷却的氩气对所述腔室进行冷却。
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