CN108136509A - 被覆切削工具 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种被覆切削工具，其含有基材、和形成于上述基材的表面的被覆层，上述被覆层至少含有1层指定的层，上述指定的层为含有具有下述式：(AlxTiyM1‑x‑y)N[式中，M表示选自由Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W和Si组成的群组中的至少一种元素，x表示Al元素相对Al元素、Ti元素、和M所表示的元素的总量的原子比，y表示Ti元素相对Al元素、Ti元素、和M所表示的元素的总量的原子比，并满足0.60≦x≦0.85、0≦y≦0.40、0.60≦x+y≦1.00]所表示的组成的化合物的层，上述指定的层的平均厚度为1.4μm以上15μm以下，上述指定的层含有满足下述条件(1)、(2)以及(3)的上部区域和下部区域。条件(1)：上述上部区域具有从上述被覆切削工具的表面侧的界面朝向上述基材且为0.5μm以上2.5μm以下的平均厚度，该平均厚度不足上述指定的层的平均厚度，上述下部区域具有从上述基材侧的界面朝向上述被覆切削工具的表面且为0.5μm以上2.5μm以下的平均厚度，该平均厚度不足上述指定的层的平均厚度。条件(2)：上述上部区域含有的Al元素的原子比比上述下部区域含有的Al元素的原子比高3原子％～10原子％。条件(3)：上述上部区域中的平均粒径大于上述下部领域中的平均粒径。

Description

被覆切削工具
技术领域
本发明涉及一种被覆切削工具。
背景技术
近年来，随着对切削加工的高效率化的要求的提高，人们寻求一种工具寿命比以往更长的切削工具。因此，作为工具材料的要求性能，提高关系到切削工具寿命的耐磨性和耐缺损性变得尤为重要。于是，为了提高这些特性，在由硬质合金、金属陶瓷、cBN等构成的基材表面含有1层或2层以上的TiN层、TiAlN层等的被覆层的被覆切削工具被广泛地使用。
人们提出了各种各样技术，用于改善这种被覆层的特性。例如，专利文献1中提出了具有如下特征的表面被覆切削工具：在由碳化钨基硬质合金构成的工具基体的表面，形成Ti占Al和Ti的总量的含有比例为0.15～0.45(其中，为原子比)的硬质被覆层，硬质被覆层表面的平均粒径为0.2μm～0.5μm，工具基体与硬质被覆层的界面中的粒状晶粒的平均粒径比硬质被覆层表面的粒状晶粒的平均粒径小0.02μm～0.1μm，粒径为0.15μm以下的晶粒所占的晶体粒径长度比例为20％以下。
专利文献
专利文献1：日本专利特开2014-166672号公报
发明内容
为了提高加工效率，切削条件变得比以往更加严格，在此趋势中，人们谋求比以往进一步延长工具寿命。然而，在镍基耐热合金或钴基耐热合金等热传导率较低的难加工材料的加工中，因切削加工时的放热，切削刃中的涂层容易发生分解及氧化。其结果为，涂层的硬度下降，从而有磨损程度加深的倾向。此外，由于涂层脆化，因此有发生工具缺损的倾向。
在这种背景下，在上述专利文献1的被覆切削工具中，由于硬质被覆层A1的含有比例均一，因此抗氧化性不足。并且，由于工具基体与硬质被覆层的界面中的硬质被覆层的平均粒径为0.1μm以上，它们之间的粘附性不足，因此耐缺损性不足。
本发明是为了解决这些问题而完成的，其提供一种特别是在热传导率较低的难加工材料的加工中，不会降低耐磨性且会提高耐缺损性，因而能够在长时间内进行加工的被覆切削工具。
本发明人对被覆切削工具的工具寿命的延长反复地进行了研究。结果为发现，如果将被覆切削工具设为以下结构，则能够不降低耐磨性而提高耐缺损性，并且能够延长被覆切削工具的工具寿命，从而完成了本发明。
即，本发明的主旨如下所述。
[1]一种被覆切削工具，其含有基材、和形成于上述基材的表面的被覆层，上述被覆层至少含有1层指定的层，上述指定的层为含有具有下述式：
(AlxTiyM1-x-y)N
[式中，M表示选自由Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W和Si组成的群组中的至少一种元素，x表示Al元素相对Al元素、Ti元素、和M所表示的元素的总量的原子比，y表示Ti元素相对Al元素、Ti元素、和M所表示的元素的总量的原子比，并满足0.60≦x≦0.85、0≦y≦0.40、0.60≦x+y≦1.00]所表示的组成的化合物的层，上述指定的层的平均厚度为1.4μm以上15μm以下，上述指定的层含有满足下述条件(1)、(2)以及(3)的上部区域和下部区域。
条件(1)：上述上部区域具有从上述被覆切削工具的表面侧的界面朝向上述基材且为0.5μm以上2.5μm以下的平均厚度，该平均厚度不足上述指定的层的平均厚度，上述下部区域具有从上述基材侧的界面朝向上述被覆切削工具的表面且为0.5μm以上2.5μm以下的平均厚度，该平均厚度不足上述指定的层的平均厚度。
条件(2)：上述上部区域含有的Al元素的原子比比上述下部区域含有的Al元素的原子比高3原子％～10原子％。
条件(3)：上述上部区域中的平均粒径大于上述下部领域中的平均粒径。
[2]如[1]所述的被覆切削工具，其中，上述上部区域中的平均粒径为100nm以上500nm以下，上述下部区域中的平均粒径为10nm以上100nm以下。
[3]如[1]或[2]所述的被覆切削工具，其中，上述指定的层在上述上部区域和上述下部区域之间具有中间区域，上述中间区域中的Al元素的原子比低于上述上部区域，且高于上述下部区域。
[4]如[1]～[3]中任一项所述的被覆切削工具，其中，上述中间区域中的平均粒径为60nm以上475nm以下，小于上述上部区域中的平均粒径，且大于上述下部区域中的平均粒径。
[5]如[1]～[4]中任一项所述的被覆切削工具，其中，上述下部区域中的平均粒径为10nm以上80nm以下。
[6]如[1]～[5]中任一项所述的被覆切削工具，其中，上述指定的层为上述被覆层中位于最靠近上述基材侧的层。
[7]如[1]～[6]中任一项所述的被覆切削工具，其中，上述被覆层在上述指定的层的与上述基材相反的一侧具有外部层，上述外部层含有由选自由Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si和Y组成的群组中的至少一种元素、和选自由C、N、O和B组成的群组中的至少一种元素构成的化合物，上述外部层的平均厚度为0.1μm以上3.5μm以下。
[8]如[1]～[7]中任一项所述的被覆切削工具，其中，上述被覆层的平均厚度为1.5μm以上15μm以下。
[9]如[1]～[8]中任一项所述的被覆切削工具，其中，上述基材为硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或立方晶氮化硼烧结体中的任一种。
本发明的被覆切削工具能够不降低耐磨性而提高耐缺损性，从而取得能够延长被覆切削工具的工具寿命的效果。
附图说明
图1为表示本发明的被覆切削工具的一个例子的剖面模式图。
图2为表示本发明的被覆切削工具的另一个例子的剖面模式图。
具体实施方式
以下，根据需要参照附图，对用于实施本发明的方式(以下，简称为“本实施方式”)进行详细说明，但本发明不限定于下述本实施方式。本发明在不脱离其主旨的范围内可以进行各种各样的变形。本实施方式的被覆切削工具含有基材和形成于该基材的表面的被覆层。本实施方式中的基材只要为可用作被覆切削工具的基材，就没有特别的限定。作为基材的例子，可列举硬质合金、金属陶瓷、陶瓷、立方晶氮化硼烧结体、金刚石烧结体和高速钢。在它们中，如果基材为硬质合金、金属陶瓷、陶瓷和立方晶氮化硼烧结体中的任一种，则耐磨性及耐缺损性更加优异，因此进一步优选。
在本实施方式的被覆切削工具中，如果被覆层的整体的平均厚度为1.5μm以上，则显示出进一步提高耐磨性的倾向。另一方面，如果被覆层的整体的平均厚度为15.0μm以下，则显示出进一步提高耐缺损性的倾向。因此，被覆层的整体的平均厚度优选为1.5μm以上15μm以下。其中，从与上述相同的观点出发，被覆层的整体的平均厚度如果为2.0μm以上10μm以下则进一步优选。
本实施方式的被覆层可以为1层，也可以为2层以上的多层，但被覆层的至少1层含有以下说明的特定的层(以下，称为“硬质层”。)。本实施方式所涉及的硬质层含有具有下述式：
(AlxTiyM1-x-y)N
所表示的组成的化合物，因此抗氧化性优异。在本实施方式的硬质层中具有上述式所表示的组成的化合物优选为含有立方晶、或立方晶和六方晶。应予说明，在上述式中，x表示Al元素相对Al元素、Ti元素、和M所表示的元素的总量的原子比，并满足0.60≦x≦0.85。如果Al元素的原子比x为0.60以上，则Al的含量增多，由此能够进一步抑制抗氧化性的下降，如果x为0.85以下，则六方晶的存在比例被进一步控制为较低，由此能够进一步抑制耐磨性的下降。其中，如果x为0.60以上0.75以下，则由于抗氧化性和耐磨性的平衡更加优异，故优选。y表示Ti元素相对Al元素、Ti元素、和M所表示的元素的总量的原子比，并满足0≦y≦0.40。如果Ti元素的原子比y为0.40以下，则Al元素的原子比相对地增高，由此能够进一步抑制抗氧化性的下降。进而，原子比x和y满足0.60≦x+y≦1.00。如果M所表示的元素为选自由Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W和Si组成的群组中的至少一种元素，则会进一步提高耐磨性或耐缺损性，故优选。从同样的观点出发，M所表示的元素更优选为选自由Zr、Hf、V、Nb、Cr、Mo、W和Si组成的群组中的至少一种元素。
应予说明，在本实施方式中，当将硬质层的组成表示为(Al0.6Ti0.4)N时，则表示Al元素相对Al元素和Ti元素的总量的原子比为0.6，Ti元素相对Al元素和Ti元素的总量的原子比为0.4。即，Al元素相对于Al元素和Ti元素的总量的量为60原子％，Ti元素相对于Al元素和Ti元素的总量的量为40原子％。
在本实施方式中，硬质层的平均厚度如果为1.3μm以上，则能够进一步抑制耐磨性的下降，如果为15.0μm以下，则能够进一步抑制耐缺损性的下降。因此，硬质层的平均厚度为1.3μm以上15.0μm以下。其中，从与上述相同的观点出发，硬质层的平均厚度优选为2.0μm以上8.0μm以下。
本实施方式所涉及的硬质层具有满足下述条件(1)、(2)和(3)的上部区域和下部区域。
条件(1)：上部区域具有从硬质层的被覆切削工具的表面侧的界面朝向基材且为0.5μm以上2.5μm以下的平均厚度，该平均厚度不足硬质层的平均厚度，下部区域具有从硬质层的基材侧的界面朝向被覆切削工具的表面且为0.5μm以上2.5μm以下的平均厚度，该平均厚度不足硬质层的平均厚度。
条件(2)：上部区域含有的Al元素的原子比比下部区域含有的Al元素的原子比高3原子％～10原子％。由此，被覆切削工具的抗氧化性提高，因此，将提高耐缺损性。从同样的观点出发，如果上部区域含有的Al元素的原子比比下部区域含有的Al元素的原子比高3原子％～8原子％，则为优选。
条件(3)：上部区域中的平均粒径大于下部领域中的平均粒径。由此，被覆切削工具的耐磨性提高。此外，下部区域的平均粒径小于上部区域的平均粒径，因此，能够进一步减小缺损的面积。特别地，如果硬质层为被覆层中位于最靠近基材侧的层(最下层)，则由于切削加工中的剥离面积有减小的倾向，故优选。从同样的观点出发，上部区域中的平均粒径更优选比下部区域中的平均粒径大20nm以上，进一步优选大30nm以上。它们的平均粒径的差的上限没有特别的限定，也可使上部区域中的平均粒径比下部区域中的平均粒径大400nm以下。
如果满足上述条件(2)和(3)的上部区域的平均厚度为0.5μm以上，则能够提高抗氧化性。另一方面，如果满足上述条件(2)和(3)的上部区域的平均厚度为2.5μm以下，则能够抑制耐崩裂性和耐缺损性的下降。此外，如果满足上述条件(2)和(3)的下部区域的平均厚度为0.5μm以上，则能够提高硬质层相对基材的粘附性，因而将抑制耐崩裂性和耐缺损性的下降。另一方面，如果满足上述条件(2)和(3)的下部区域的平均厚度为2.5μm以下，则能够抑制耐磨性的下降。
本实施方式所涉及的硬质层进一步优选为，上部区域中的平均粒径为100nm以上500nm以下，而下部区域中的平均粒径为10nm以上100nm以下。由此，能够进一步提高被覆切削工具的耐磨性，并进一步减小缺损的面积。
本实施方式的硬质层优选在上部区域和下部区域之间具有中间区域，该中间区域中的Al元素的原子比低于上部区域，且高于下部区域。由此，显示出向被覆切削工具内部的氧化的进行被抑制的倾向。
在本实施方式的硬质层的中间区域中，其平均厚度优选为0.1μm以上2.5μm以下。由此，能够更加有效并可靠地取得因具有中间区域而产生的上述效果。
在本实施方式的硬质层的中间区域中，其平均粒径优选为60nm以上475nm以下，而且，小于上部区域中的平均粒径，并大于下部区域中的平均粒径。由此，被覆切削工具的耐磨性和耐缺损性的平衡更加优异。
在本发明的硬质层的下部区域中，如果其平均粒径为10nm以上80nm以下，则基材和硬质层的粘附性会显示出更加优异的倾向，故优选。
在本实施方式中，硬质层至少具有下部区域和上部区域。而且，上部区域中Al元素的原子比和平均粒径大于下部区域中Al元素的原子比和平均粒径。由此，本实施方式中所涉及的硬质层与Al的原子比和平均粒径简单地在该层的整体中均匀的层不同。
本实施方式所涉及的被覆层也可在硬质层的与基材相反的一侧(即，硬质层的上层)具有外部层，优选在硬质层的表面具有外部层。如果外部层含有选自由Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si和Y组成的群组中的至少一种元素和选自由C、N、O和B组成的群组中的至少一种元素构成的化合物(但是，和硬质层的组成不同。)，则会显示出耐磨性更加优异的倾向，故进一步优选。此外，从与上述相同的观点出发，外部层更优选含有选自由Ti、Nb、Cr、Al和Si组成的群组中的至少一种元素和选自由C、N、O和B组成的群组中的至少一种元素构成的化合物，进一步优选含有选自由Ti、Nb、Cr、Al和Si组成的群组中的至少一种元素和选自由C和N组成的群组中的至少一种元素构成的化合物。但是，上部层和硬质层的组成不同。此外，上部层可为单层，也可为2层以上的多层。
本发明的外层的平均层厚如果为0.1μm以上3.5μm以下，则显示出耐磨性更优异的倾向，故优选。
图1为表示本实施方式的被覆切削工具的一个例子的模式性的局部剖面图。该被覆切削工具10具有基材1、和形成于基材1的表面的被覆层4，被覆层4由硬质层2形成，硬质层2从基材1侧按顺序具有下部区域2A和上部区域2B。此外，图2为表示本实施方式的被覆切削工具的另一个例子的模式性的局部剖面图。该被覆切削工具20具有基材1、和形成于基材1的表面的被覆层4，被覆层4从基材1侧按顺序具有硬质层2、和形成于硬质层2的表面的外部层3，硬质层2从基材侧按顺序具有下部区域2A、中间区域2C、和上部区域2B。
本实施方式的被覆切削工具中被覆层的制造方法没有特别的限定，但可列举例如离子镀法、电弧离子镀法、溅射法和离子混合法等物理气相沉积法。如果使用物理气相沉积法来形成被覆层，则能够形成锐边，故优选。其中，电弧离子镀法因被覆层和基材的粘附性更加优异而更为优选。
使用具体例对本实施方式的被覆切削工具的制造方法进行说明。应予说明，本实施方式的被覆切削工具的制造方法只要可实现该被覆切削工具的结构，就没有特别的限制。
首先，将加工为工具形状的基材收容于物理气相沉积装置的反应容器内，并将金属蒸发源设置于反应容器内。此时，在反应容器内设置Al元素的原子比的差为3原子％～8原子％的2种金属蒸发源。然后，对反应容器内进行抽真空直至其压力达到1.0×10-2Pa以下的真空，并通过反应容器内的加热器，将基材加热至600℃～700℃。加热后，向反应容器内导入Ar气体，使其压力为0.5Pa～5.0Pa。在压力为0.5Pa～5.0Pa的Ar气体环境下，对基材施加-350V～-500V的偏压，使40A～50A的电流通过反应容器内的钨丝，并对基材的表面实施采用Ar气体的离子轰击处理。在对基材的表面施加离子轰击处理后，对反应容器内进行抽真空直至其压力达到1.0×10-2Pa以下的真空。
接着，将基材加热至其温度达到500℃～600℃的范围，将氮气(N2)和氩气(Ar)的混合气体以2:8～3:7的分压比(N2:Ar)导入反应容器内，使反应容器内的压力调整至0.5～5.0Pa。然后，向基材施加-80V～-100V的偏压，通过100A～200A的电弧放电使2种金属蒸发源中Al元素的原子比较低的金属蒸发源蒸发，从而使硬质层的下部区域成膜于基材的表面。开始成膜后，一边将基材温度降为低温，一边形成下部区域。如果一边将基材温度降为低温一边形成下部区域，则粒子形成的速度就会变得迟缓。通过急速减缓粒子形成的速度，能够形成具有更加均匀的粒径及粒子形状的粒子的下部区域。
在形成下部区域后，将基材冷却至其温度达到400℃～500℃，将N2气体和Ar气体的混合气体以4:6～5:5的分压比(N2:Ar)导入反应容器内，并调整反应容器内的压力至0.5～5.0Pa。然后，向基材施加-60V～-80V的偏压，通过100～200A的电弧放电使2种金属蒸发源蒸发，从而成膜为中间区域。开始成膜后，一边将基材温度降为低温，一边形成中间区域。如果一边将基材温度降为低温一边形成中间区域，则粒子的成长会更加显著。如果基材的温度的冷却速度为10℃/小时以上，则粒子的成长更加充分。另一方面，如果使基材的温度的冷却速度为50℃/小时以下，则实质上成膜的时间变得更长，而能够使中间区域的厚度更大。因此，优选使基材的温度的冷却速度为10℃/小时以上50℃/小时以下。
在形成中间区域后，将基材冷却至其温度达到300℃～400℃，将N2气体和Ar气体的混合气体以6:4～7:3的分压比(N2:Ar)导入反应容器内，并将反应容器内的压力调整至0.5～5.0Pa。然后，向基材施加-40V～-60V的偏压，并通过100A～200A的电弧放电使2种金属蒸发源中Al元素的原子比较高的金属蒸发源蒸发，从而成膜为上部区域。在开始成膜后，一边将基材温度降为低温一边形成上部区域。如果一边将基材温度降为低温一边形成上部区域，则粒子的成长更加显著。如果使基材的温度的冷却速度为10℃/小时以上，则粒子的成长会更加充分。另一方面，如果使基材的温度的冷却速度为50℃/小时以下，则实质上成膜的时间变得更长，而能够使上部区域的厚度更大。因此，优选使基材的温度的冷却速度为10℃/小时以上50℃/小时以下。
为了使本实施方式的硬质层中各区域的平均粒径增大，可以降低成膜时的基材的温度。通过降低基材的温度，将抑制硬质层中各区域的核的产生。由此，核彼此之间的接触被抑制，而使粒子增大。应予说明，优选一边将基材的温度降为低温一边形成中间区域和上部区域。由此，能够进一步抑制硬质层中各区域的核的产生，因此粒子的成长变得显著。此外，如果降低向基材施加的偏压，则硬质层的各区域的粒径会有增大的倾向。通常，在被覆层中，如果增大Al元素的原子比，则粒径会减小。因此，在形成本实施方式中的硬质层时，优选控制基材的温度、偏压。
为了增大本实施方式的硬质层中的上部区域的Al元素的原子比，优选使用Al元素的原子比不同的2种金属蒸发源，对于向反应容器内导入的N2气体和Ar气体的混合气体，优选提高N2气体的分压。
构成本实施方式的被覆切削工具中的被覆层的各层以及各区域的厚度可使用光学显微镜、扫描型电子显微镜(SEM)、透射型电子显微镜(TEM)等从被覆切削工具的剖面组织进行测定。应予说明，本实施方式的被覆切削工具中的各层以及各区域的平均厚度可以通过在从与金属蒸发源相对的面的刀尖棱线部朝向该面的中心部50μm的位置附近的3处以上的剖面来测定各层以及各区域的厚度，并计算其平均值(算术平均值)而求得。
此外，构成本实施方式的被覆切削工具中的被覆层的各层和各区域的组成可通过使用能量分散型X射线分析装置(EDS)或波长分散型X射线分析装置(WDS)等从本实施方式的被覆切削工具的剖面组织来进行测定。
在本实施方式中，硬质层的各区域的平均粒径可通过观察硬质层的剖面组织而求得。具体而言，对被覆切削工具中相对基材的表面正交的方向的剖面(即，从如图1所示方向看到的剖面)进行镜面抛光，以所得的镜面抛光面作为剖面组织。作为对硬质层进行镜面抛光的方法，可以列举采用金刚石研磨膏(diamond paste)或胶态二氧化硅(colloidalsilica)进行抛光的方法以及离子铣削(ion milling)。使用FE-SEM或TEM，以5000倍～20000倍的倍率观察各区域的剖面组织。硬质层的各区域的粒径指与基材的表面平行的方向上的各粒子间的距离。此时，各粒子间的距离指各粒子间距离最远的位置的距离。测定范围指各区域中与基材表面平行的方向上10μm、与基材表面正交的方向上0.5μm的范围的矩形所围成的范围。求取该测定范围内存在的所有粒子的粒径。测定处指从与金属蒸发源相对的面的刀尖棱线部朝向该面的中心部的50μm的位置的附近。将在3处以上的剖面组织中测定粒径并求得的所有粒子的粒径的平均值(算术平均值)作为平均粒径。
本实施方式的被覆切削工具特别是在热传导率较低的难加工材料的加工中，能够不降低耐磨性且提高耐缺损性，其结果为，能够在长时间内进行加工。耐缺损性的提高被认为是由于其抗氧化性优异。作为本实施方式的被覆切削工具的种类，具体而言，可列举用于铣磨加工或车削加工的刀尖交换型切削刀片、钻头和立铣刀等。
(实施例)
以下，通过实施例进一步详细地对本发明进行说明，但本发明并不限定于这些实施例。
作为基材，准备加工为ISO规格CNMG120408形状的刀片、且具有93.2WC-6.5Co-0.3Cr3C2(以上为质量％)的组成的硬质合金。在电弧离子镀装置的反应容器内配置使硬质层的下部区域以及上部区域的组成为表1所示组成的金属蒸发源。此外，配置使发明品中的硬质层以及外部层的组成为表2所示组成、且比较品中的各层的组成为表3所示组成的金属蒸发源。将准备好的基材固定于反应容器内的旋转工作台的固定配件。
然后，对反应容器内进行抽真空至其压力为5.0×10-3Pa以下的真空。抽真空后，通过反应容器内的加热器，将基材加热至其温度达到600℃。加热后，向反应容器内导入Ar气体使其压力变为5.0Pa。
在压力为5.0Pa的Ar气体环境下，向基材施加-400V的偏压，并使40A的电流流过反应容器内的钨丝，对基材的表面施加30分钟的使用Ar气体的离子轰击处理。在离子轰击处理完毕后，对反应容器内进行抽真空至其压力为5.0×10-3Pa以下。
抽真空后，为了形成硬质层中的下部区域，将基材加热至其温度达到表4所示温度，以表4所示的N2气体和Ar气体的分压比向反应容器内导入混合气体，从而形成压力为3.0Pa的混合气体环境。
进而，对基材施加表4所示的电压(偏压)，通过电弧电流为120A的电弧放电而使蒸发，从而形成硬质层中的下部区域。
形成下部区域后，为了形成硬质层中的中间区域，将基材冷却至其温度达到表4所示温度，一边将反应容器内的压力维持于3.0Pa，一边按表4所示条件改变导入的N2气体和Ar气体的混合气体的分压比。
进而，对基材施加表4所示电压(偏压)，通过电弧电流为120A的电弧放电而使蒸发，从而开始形成硬质层中的中间区域。在开始形成中间区域后，一边将基材的温度以表4所示的冷却速度降为低温一边形成粒子。
在形成中间区域后，为了形成硬质层中的上部区域，将基材冷却至其温度达到表4所示温度，一边将反应容器内的压力维持于3.0Pa，一边按表4所示条件改变导入的N2气体和Ar气体的混合气体的分压比。
进而，对基材施加表4所示的电压(偏压)，通过电弧电流为120A的电弧放电而使蒸发，从而开始形成硬质层中的上部区域。在开始形成上部区域后，一边将基材的温度以表4所示的冷却速度降为低温一边形成粒子。
对于发明品5～13，在形成硬质层后，将基材加热至其温度达到600℃，向基材施加-50V的偏压，并通过电弧电流为120A的电弧放电使表1所示的金属蒸发源蒸发，从而在硬质层的表面形成外部层。
对于发明品14，在形成硬质层后，将基材加热至其温度达到600℃，将反应容器内抽真空至其压力为5.0×10-3Pa以下的真空。然后，向反应容器内导入混合为N2气体和CH4气体的分压比为N2:CH4＝1:1的混合气体，从而使反应容器内形成压力为3.0Pa的混合气体环境。接着，对基材施加-50V的偏压，通过电弧电流为120A的电弧放电，而在硬质层的表面形成由TiCN构成的外部层。
对于比较品1～7，在表5所示的条件下，于基材的表面形成第1层。此时，电弧电流为120A。除这些条件以外，采用与发明品中的硬质层的形成相同的操作来形成第1层。为便于描述，将第1层中的各区域从基材侧按顺序设为下部区域、中间区域和上部区域。
对于比较品1～7，在形成第1层后，加热至600℃，并向基材施加-50V的偏压，通过电弧电流为120A的电弧放电使表3所示的金属蒸发源蒸发，从而在第1层的表面形成第2层。
在基材的表面形成各层并使其达到表2以及表3所示的特定的厚度后，切断加热器的电源，待试样温度为100℃以下后，将试样从反应容器内取出。
[表1]
[表2]
*硬质层的“组成”指厚度为硬质层的平均厚度的50％的位置中的组成。
“组成”和“平均厚度”的栏中，“–”意指没有形成外部层。
[表3]
*第1层的“组成”指厚度为第1层的平均厚度的50％的位置中的组成。
“组成”和“平均厚度”的栏中，“–”意指没有形成第2层。
[表4]
[表5]
所得试样的各层的平均厚度通过使用SEM，对从被覆切削工具的相对金属蒸发源的面的刀尖棱线部朝向该面的中心部50μm的位置附近中3处的剖面进行观察，测定各层的厚度，并计算其平均值而求得。所得试样的各层的组成通过使用EDS，在从被覆切削工具的相对金属蒸发源的面的刀尖棱线部朝向该面的中心部50μm的位置附近的剖面中进行测定。它们的结果也表示于表2以及表3。应予说明，硬质层以及比较品的第1层的组成设为厚度为各平均厚度的50％的位置中的组成。表2以及表3的各层的金属元素的组成比以构成各层的金属化合物中各金属元素相对金属元素整体的原子比来表示。此外，将求取硬质层以及比较品的第1层的各区域中的Al元素的原子比的结果表示于表6以及表7。对于比较品7，将第1层的厚度3等分，从基材侧按顺序设为下部区域、中间区域、上部区域。
[表6]
[表7]
所得的试样的硬质层中各区域的平均粒径通过观察硬质层的剖面组织而求得。具体而言，对相对基材的表面正交的方向上的剖面进行镜面抛光，以所得的镜面抛光面作为剖面组织。当对硬质层进行镜面抛光时，使用胶态二氧化硅进行抛光。使用FE-SEM，以20000倍的倍率对各区域的剖面组织进行观察。硬质层的各粒子的粒径设为与基材的表面平行的方向上的各粒子间的距离。此时，各粒子间的距离设为各粒子间距离最远的位置的距离。对各区域中被与基材表面平行的方向上为10μm、与基材表面正交的方向上为0.5μm的范围的矩形所包围的范围进行测定。此外，对从相对金属蒸发源的面的刀尖棱线部朝向该面的中心部50μm的位置的附近进行测定。在3处以上的剖面组织中测定粒径，并以求得的所有粒子的粒径的平均值(算术平均值)作为平均粒径。将各试样的平均粒径的结果表示于表8以及表9。
[表8]
[表9]
使用所得的试样进行以下的切削试验并评价。
[切削试验]
被切削材料：因科镍合金(inconel)718，
被切削材料形状：的圆柱，
切削速度：60m/min，
进给量：0.2mm/rev，
进刀量：1.0mm，
冷却液：有，
评价项目：以试样发生缺损时、或试样的后刀面磨损宽度或边界磨损宽度达到0.3mm时作为工具寿命，测定到达工具寿命为止的加工时间。
将切削试验的结果表示于表10。
[表10]
在比较品1、3、和7中，在切削试验的中途，试样发生了缺损。由于在试样上确认到月牙洼磨损(crater wear)，因此认为该缺损的主要原因在于因氧化的进行而导致的刀尖强度下降。
由表10的结果可知，发明品的加工时间比所有比较品的加工时间长。因此可知，发明品的耐缺损性优异，工具寿命变长。
产业上的可利用性
本发明的被覆切削工具的耐缺损性优异，与以往相比能够延长工具寿命，因此，产业上的可利用性较高。
符号说明
1 基材
2 硬质层
2A 下部区域
2B 上部区域
2C 中间区域
3 外部层
4 被覆层
10、20 被覆切削工具

Claims (9)

1.一种被覆切削工具，其含有基材、和形成于所述基材的表面的被覆层，
所述被覆层至少含有1层指定的层，
所述指定的层为含有具有下述式：
(AlxTiyM1-x-y)N
[式中，M表示选自由Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W和Si组成的群组中的至少一种元素，x表示Al元素相对Al元素、Ti元素、和M所表示的元素的总量的原子比，y表示Ti元素相对Al元素、Ti元素、和M所表示的元素的总量的原子比，并满足0.60≦x≦0.85、0≦y≦0.40、0.60≦x+y≦1.00]
所表示的组成的化合物的层，
所述指定的层的平均厚度为1.4μm以上15μm以下，
所述指定的层含有满足下述条件(1)、(2)以及(3)的上部区域和下部区域，
条件(1)：所述上部区域具有从所述被覆切削工具的表面侧的界面朝向所述基材且为0.5μm以上2.5μm以下的平均厚度，该平均厚度不足所述指定的层的平均厚度，所述下部区域具有从所述基材侧的界面朝向所述被覆切削工具的表面且为0.5μm以上2.5μm以下的平均厚度，该平均厚度不足所述指定的层的平均厚度；
条件(2)：所述上部区域含有的Al元素的原子比比所述下部区域含有的Al元素的原子比高3原子％～10原子％；
条件(3)：所述上部区域中的平均粒径大于所述下部领域中的平均粒径。
2.如权利要求1所述的被覆切削工具，其中，
所述上部区域中的平均粒径为100nm以上500nm以下，
所述下部区域中的平均粒径为10nm以上100nm以下。
3.如权利要求1或2所述的被覆切削工具，其中，
所述指定的层在所述上部区域和所述下部区域之间具有中间区域，
所述中间区域中的Al元素的原子比低于所述上部区域，且高于所述下部区域。
4.如权利要求1～3中任一项所述的被覆切削工具，其中，
所述中间区域中的平均粒径为60nm以上475nm以下，小于所述上部区域中的平均粒径，且大于所述下部区域中的平均粒径。
5.如权利要求1～4中任一项所述的被覆切削工具，其中，
所述下部区域中的平均粒径为10nm以上80nm以下。
6.如权利要求1～5中任一项所述的被覆切削工具，其中，
所述指定的层为所述被覆层中位于最靠近所述基材侧的层。
7.如权利要求1～6中任一项所述的被覆切削工具，其中，
所述被覆层在所述指定的层的与所述基材相反的一侧具有外部层，所述外部层含有由选自由Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Al、Si和Y组成的群组中的至少一种元素、和选自由C、N、O和B组成的群组中的至少一种元素构成的化合物，
所述外部层的平均厚度为0.1μm以上3.5μm以下。
8.如权利要求1～7中任一项所述的被覆切削工具，其中，所述被覆层的平均厚度为1.5μm以上15μm以下。
9.如权利要求1～8中任一项所述的被覆切削工具，其中，所述基材为硬质合金、金属陶瓷、陶瓷或立方晶氮化硼烧结体中的任一种。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113260475A (zh) * 2018-12-27 2021-08-13 日本特殊陶业株式会社 覆表面切削工具
CN114173964A (zh) * 2019-10-10 2022-03-11 住友电工硬质合金株式会社 切削工具
CN115637408A (zh) * 2021-07-19 2023-01-24 株式会社泰珂洛 涂覆切削工具

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11313028B2 (en) * 2017-08-31 2022-04-26 Walter Ag Wear resistant PVD tool coating containing TiAlN nanolayer films
CN113366148B (zh) * 2019-02-01 2023-10-31 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 用于对涂覆和未涂覆的超高强度钢制钣金进行压制硬化的高性能工具涂层
JP2022540076A (ja) * 2019-07-11 2022-09-14 ナイト アカジシャン ベー．ヴェー． コーティングを含む鋸刃またはその他の切削工具

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1642682A (zh) * 2002-01-21 2005-07-20 三菱综合材料神户工具株式会社 在高速切削加工中硬质被覆层发挥优异的耐磨性的表面被覆切削工具部件和在切削工具表面形成该硬质被覆层的方法
CN101077645A (zh) * 2006-05-26 2007-11-28 三菱麻铁里亚尔株式会社 由表面涂覆的立方氮化硼基超高压烧结材料制成的切削工具
CN101204864A (zh) * 2006-12-15 2008-06-25 山特维克知识产权股份有限公司 涂层切削刀具
JP2012166321A (ja) * 2011-02-16 2012-09-06 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆切削工具
JP5093530B2 (ja) * 2010-03-31 2012-12-12 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06316756A (ja) * 1993-04-28 1994-11-15 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 耐食・耐摩耗性被膜
US20090130434A1 (en) * 2006-03-28 2009-05-21 Kyocera Corporation Surface Coated Tool
US7636649B2 (en) * 2007-09-21 2009-12-22 Tokyo Electron Limited Automated process control of a fabrication tool using a dispersion function relating process parameter to dispersion
JP5036470B2 (ja) * 2007-09-27 2012-09-26 京セラ株式会社 表面被覆工具
JP5287123B2 (ja) * 2008-10-15 2013-09-11 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具
JP5287125B2 (ja) * 2008-10-15 2013-09-11 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性、耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP5585935B2 (ja) * 2010-03-23 2014-09-10 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具
JP6024981B2 (ja) * 2012-03-09 2016-11-16 三菱マテリアル株式会社 高速断続切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP2014140928A (ja) * 2013-01-24 2014-08-07 Mitsubishi Materials Corp 高速連続切削加工においてすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具
JP6217216B2 (ja) 2013-01-31 2017-10-25 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具とその製造方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1642682A (zh) * 2002-01-21 2005-07-20 三菱综合材料神户工具株式会社 在高速切削加工中硬质被覆层发挥优异的耐磨性的表面被覆切削工具部件和在切削工具表面形成该硬质被覆层的方法
CN101077645A (zh) * 2006-05-26 2007-11-28 三菱麻铁里亚尔株式会社 由表面涂覆的立方氮化硼基超高压烧结材料制成的切削工具
CN101204864A (zh) * 2006-12-15 2008-06-25 山特维克知识产权股份有限公司 涂层切削刀具
JP5093530B2 (ja) * 2010-03-31 2012-12-12 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP2012166321A (ja) * 2011-02-16 2012-09-06 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆切削工具

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113260475A (zh) * 2018-12-27 2021-08-13 日本特殊陶业株式会社 覆表面切削工具
CN113260475B (zh) * 2018-12-27 2023-12-19 恩提开切削工具株式会社 覆表面切削工具
CN114173964A (zh) * 2019-10-10 2022-03-11 住友电工硬质合金株式会社 切削工具
CN115637408A (zh) * 2021-07-19 2023-01-24 株式会社泰珂洛 涂覆切削工具

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