JP5555835B2 - 耐摩耗性にすぐれたターニング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法 - Google Patents
耐摩耗性にすぐれたターニング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法 Download PDFInfo
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(a)化学蒸着または物理蒸着で形成されたチタンの炭化物(以下、TiCで示す)層、窒化物(以下、TiNで示す)層、炭窒化物(以下、TiCNで示す)層およびチタンとアルミニウムの複合窒化物(以下、(TiAl)Nで示す)層のうちの1層または2層以上からなり、かつ、0.3〜3μmの全体平均層厚を有するチタン化合物層からなる下部層を形成し、
(b)前記下部層表面に磁場印加状態でイットリウム安定化ジルコニア(以下、YSZで示す)からなるターゲットにレーザーを照射するいわゆるPLD法(Pulsed Laser Deposition:パルスレーザー堆積法)により形成された(001)面配向性を有し、0.02〜0.2μmの層厚のイットリウム安定化ジルコニア(以下、YSZで示す)層からなる密着層を形成し、
(c)前記密着層の上にクロム酸化物またはクロム酸化物とα−アルミナの混合体からなるターゲットを用いて、前記(b)と同様な手法で0.02〜0.2μmの層厚の(0001)面配向性を有し、かつ、アルミニウムとの合量に占めるクロムの含有割合(Cr/(Cr+Al))が0.2〜1(但し、原子比)であるクロムとアルミニウの酸化物固溶体[以下、(Cr,Al)2O3で示す]層、あるいは、クロムの酸化物層からなる中間層を形成し、
(d)前記中間層の上にα−アルミナまたはクロム酸化物とα−アルミナの混合体からなるターゲットを用いて、前記(c)と同様な手法でアルミニウムとの合量に占めるクロムの含有割合(Cr/(Cr+Al))が0.15以下(但し、原子比)である六方晶の結晶構造を有するクロムとアルミニウムの酸化物固溶体[以下、(Cr,Al)2O3で示す]層、あるいは、α−アルミナ層からなる上部層を形成することにより構成された硬質被覆層を形成してなる被覆工具が知られている(以下、特許文献1参照)。
ターゲット: イットリウム安定化ジルコニア(YSZ)
真空中の酸素分圧: 1×10−2〜10Pa
工具基体の温度: 500〜850℃
磁場強度: 2000Ga以下
の条件で密着層を形成し、
ついで、前記密着層の上に、前記と同様な装置をもちいて、
ターゲット: Cr2O3あるいはCr2O3とα−Al2O3との混合体
真空中の酸素分圧: 1×10−2〜10Pa
工具基体の温度: 500〜850℃
磁場強度: 2000Ga以下
の条件で中間層を形成し、
ついで、前記中間層の上に、前記と同様な装置をもちいて、
ターゲット: α−Al2O3あるいはCr2O3とα−Al2O3との混合体
真空中の酸素分圧: 1×10−2〜10Pa
工具基体の温度: 500〜850℃
磁場強度: 2000Ga以下
の条件で上部層を形成することにより製造されることが知られている。
(a)例えば、従来被覆工具の硬質被覆層の層構造において、化学蒸着で形成されたTiC層、TiN層、TiCN層あるいは物理蒸着で形成された(Ti,Al)N層等のTi化合物層の上面に、(Cr,Al)2O3層を形成し、さらにこの上にAl2O3層を形成することにより、Al2O3層の備えるすぐれた高温硬さと耐熱性を生かし、硬質被覆層の耐摩耗性を改善することも考えられるが、このような層構造の硬質被覆層は特に層間付着強度が不十分なために、層間剥離、欠損、チッピングの発生が避けられない。
すなわち、PLD法によれば、例えば、工具基体の温度を500〜850℃に保持し、酸素分圧を1×10−2〜10Paとした真空雰囲気中で、2000Ga以下の磁場を印加した状態で、ターゲットにレーザー、望ましくはエキシマレーザー、を照射することにより、所望の特性を備えた硬質被覆層の成膜を行うことができる。
次に、イットリウム安定化ジルコニア(以下、YSZで示す)焼結体をターゲットとし、前記(b)の温度条件、雰囲気条件、磁場条件の範囲内の条件で、前記YSZターゲットにレーザーを照射し、CVD法および/またはPVD法で形成された下部層の上に、(001)面配向性を有するYSZ層からなる密着層を形成する。
ついで、同じく前記(b)の温度条件、雰囲気条件、磁場条件の範囲内の条件で、クロム酸化物(以下、Cr2O3で示す)からなるターゲット、あるいは、Cr2O3およびα−アルミナ(以下、α−Al2O3で示す)の混合体からなるターゲットにレーザーを照射し、結晶構造がコランダム構造からなり(0001)面配向性を有するCr2O3層あるいは(Cr,Al)2O3層からなる中間層を形成する。
なお、使用するレーザーは、波長が短くターゲットの一部分を必要なだけ正確にスパッタすることができるという点で、エキシマレーザーであることが望ましい。
(d)その後、有機金属気相成長法(Metal Organic Chemical Vapor Deposition:以下、MOCVD法と示す)を用いて前記工具基体の温度を850〜1050℃に保持するとともに、反応器内にアルゴン(Ar)および/または水素(H2)をキャリアガスとしてトリメチルアルミニウム(Al(CH3)3)および酸素(O2)および/または二酸化炭素(CO2)を供給することにより、結晶構造がコランダム構造からなり(0001)面配向性を有するα−Al2O3層からなる上部層を形成する。
前述のように、通常のCVD法、PVD法により基体上に下部層を形成した後、PLD法により、所定の面配向性を有する密着層、中間層を形成した後、MOCVD法により上部層を形成することにより、上部層の配向度が向上した硬質被覆層を形成することができる。
例えば、中間層におけるCr含有割合(Cr/(Al+Cr))が0.2〜1となるように成膜条件を調整すると、上部層としては、(0001)面配向性を有するα−Al2O3層が優先的に形成されるようになる。
なお、中間層におけるCr含有割合(Cr/(Al+Cr))=1とは、中間層がCr2O3層で構成されていることであるから、この場合は、Cr2O3ターゲットへのレーザー照射を行うということである。
また、中間層は、一つの層にて形成する必要はなく、例えば、Cr2O3層と(Cr,Al)2O3層の複層構造として形成されていても、本発明の目的を何ら損なうものではない。
「(1) 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を設けた表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
(a)下部層として、0.3〜5μmの合計層厚を有するチタンの炭化物層、チタンの窒化物層、チタンの炭窒化物層およびチタンとアルミニウムの複合窒化物層のうちの1層または2層以上からなるチタン化合物層、
(b)密着層として、0.02〜0.2μmの層厚を有するイットリウム安定化ジルコニア層、
(c)中間層として、0.02〜0.5μmの合計層厚を有し、さらに、結晶構造がコランダム構造からなり(0001)面配向性を有し、かつ、アルミニウムとの合量に占めるクロムの含有割合(Cr/(Cr+Al))が0.2〜1(但し、原子比)であるクロムとアルミニウムの酸化物固溶体層、あるいは、クロムの酸化物層、
(d)上部層として、0.3〜3.0μmの層厚を有し、さらに、結晶構造がコランダム構造からなり、TC(006)の値が5.4以上である(0001)面配向性を有し、かつ、MOCVD法で形成されたα−アルミナ層、
前記(a)〜(d)の下部層、密着層、中間層および上部層からなることを特徴とする表面被覆切削工具。
(2) 前記密着層が、(001)面配向性を有するイットリウム安定化ジルコニア層であることを特徴とする前記(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3) 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に下部層、密着層、中間層および上部層からなる硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具の製造方法において、前記硬質被覆層が、
(a)反応器内で化学蒸着又は物理蒸着により、チタンの炭化物層、チタンの窒化物層、チタンの炭窒化物層およびチタンとアルミニウムの複合窒化物層のうちの1層または2層以上からなるチタン化合物層を、0.3〜5μmの合計層厚になるまで蒸着して下部層を形成する工程と、
(b)次に、工具基体の温度を500〜850℃に保持し、雰囲気中の酸素分圧を1×10−2〜10Paとした真空雰囲気中で、イットリウム安定化ジルコニアからなるターゲットにレーザーを照射して、前記下部層表面に、0.02〜0.2μmの層厚のイットリウム安定化ジルコニア層からなる密着層を形成する工程と、
(c)次いで、クロム酸化物またはクロム酸化物とα−アルミナの混合体からなるターゲットに、前記(b)と同様な条件でレーザーを照射し、前記密着層表面に、0.02〜0.5μmの層厚の結晶構造がコランダム構造からなり(0001)面配向性を有し、かつ、アルミニウムとの合量に占めるクロムの含有割合(Cr/(Cr+Al))が0.2〜1(但し、原子比)であるクロムとアルミニウムの酸化物固溶体層、あるいは、クロムの酸化物層からなる中間層を形成する工程と、
(d)その後、前記工具基体の温度を850〜1050℃に保持するとともに、反応器内の圧力を50〜10,000Paに保持し、アルゴン(Ar)および/または水素(H2)をキャリアガスとしてトリメチルアルミニウム(Al(CH3)3)および酸素(O2)および/または二酸化炭素(CO2)を供給することにより、前記中間層表面に、0.3〜3.0μmの層厚を有し、かつ、結晶構造がコランダム構造を有し、TC(006)の値が5.4以上である(0001)面配向性を有するα−アルミナ層からなる上部層をMOCVD法により形成する工程とから形成されることを特徴とする表面被覆切削工具の製造方法。
(4) 前記(d)の工程における工具基体の加熱が、コールドウォール方式による加熱であることを特徴とする前記(3)に記載の表面被覆切削工具の製造方法。」
に特徴を有するものである。
通常のCVD法、PVD法等により形成されるTi化合物層からなる下部層は、自身の具備するすぐれた高温強度によって硬質被覆層に高温強度を保持せしめるほか、工具基体とYSZ層のいずれにも強固に密着し、よって硬質被覆層の工具基体に対する密着性向上に寄与する作用を有するが、その合計平均層厚が2μm未満では、前記作用を十分に発揮させることができず、一方その合計層厚が10μmを越えると、特に高熱発生を伴う高速ターニングのような高速切削加工では熱疲労を起し易くなり、これが熱亀裂の原因となることから、その合計層厚を2〜10μmと定めた。
密着層を構成する(001)面配向性を有するイットリウム安定化ジルコニア(YSZ)層は、PLD法により、例えば、下部層を設けた工具基体の温度を500〜850℃に保持し、雰囲気中の酸素分圧を1×10−2〜10Paとした真空雰囲気中で、2000Ga以下の磁場を印加した状態で、ターゲットにレーザーを照射することにより形成できるが、下部層および中間層のいずれとも強固な密着性を有し硬質被覆層の高温強度を改善するため、高速切削加工において、硬質被覆層にチッピングが発生することを防止する。
また、YSZ層が(001)面配向性を有することによって、この上に蒸着形成される中間層の(0001)面配向度が高められ、また、その結果として、上部層の(0001)面配向度も高められることから、高速ターニングのような厳しい条件下での高速切削加工において、硬質被覆層の耐摩耗性が一段と向上する。
ただ、YSZ層の層厚が0.02μm未満では、層間接合強度の向上の効果は少なく、また、層厚が0.2μmを超えるとYSZ結晶が粒成長しやすくなり、その結果、YSZ層の強度が低下するため、密着層としてのYSZ層の層厚は0.02〜0.2μmと定めた。
なお、既に述べたように、YSZ層が(001)面配向性を持たない場合でも、硬質被覆層は所定の耐チッピング性、耐摩耗性を備えているので、高速ターニング加工ほどに耐チッピング性、耐摩耗性が要求されない穏やかな切削条件であれば、(001)面配向性を持たないYSZ層を密着層として設けることも可能である。
PLD法により、YSZ層の上に中間層を形成すると、成膜に用いるターゲットの種類に応じた中間層が形成されるが、アルミニウムとの合量に占めるクロムの含有割合(Cr/(Cr+Al))が0.2〜1(但し、原子比)である(Cr,Al)2O3層を中間層として形成した場合、あるいは、Cr2O3層を中間層として形成した場合、いずれの場合にも、(0001)面配向性を有する中間層が形成され、そして、中間層が(0001)面配向性を有することにより、この上に形成される上部層の(0001)面配向度がより高まり、すぐれた耐摩耗性を備えるようになる。
中間層を形成するターゲットとしては、Cr2O3あるいはCr2O3とα−Al2O3との混合体を使用することができるが、例えば、Cr2O3とα−Al2O3との混合体ターゲットを用い、蒸着層を設けた工具基体の温度を500〜850℃に保持し、雰囲気中の酸素分圧を1×10−2〜10Paの真空雰囲気という条件の下で、ターゲットにレーザー照射を行い、2000Ga以下の磁場を印加した状態で成膜することによって、(0001)面配向性を有し、しかも、アルミニウムとの合量に占めるクロムの含有割合(Cr/(Cr+Al))が0.2以上(但し、原子比)である(Cr,Al)2O3層を中間層として形成することができる。
そして、この(Cr,Al)2O3層を中間層として設けた場合には、MOCVD法により上部層としてα−Al2O3層を形成した場合、(0001)面に高い配向度で配向したα−Al2O3層が形成され、そして、この上部層は、高速高送りターニングという厳しい切削条件下でも、すぐれた耐摩耗性を発揮する。
なお、中間層形成用ターゲットにおいて、クロムの含有割合(Cr/(Cr+Al))が1とは、即ち、Cr2O3ターゲットを使用することであるが、このターゲットを用いて、(0001)面配向性を有するCr2O3中間層を形成し、さらに、この上に上部層を形成した場合にも、Cr2O3中間層の上には、(0001)面に配向したα−Al2O3層からなる耐摩耗性にすぐれた上部層が形成される。
中間層の層厚は、0.02μm未満であると各層の層間強度の向上、硬質被覆層全体としての高温強度の向上が図れないばかりか、この上に形成される上部層の配向度を高めることができず、一方、層厚が0.5μmを超えると、中間層の結晶粒が粒成長しやすくなり、その結果、上部層のα−Al2O3層も粒成長を起こし、硬質被覆層にチッピングが発生しやすくなるため、中間層の層厚は0.02〜0.5μmと定めた。
中間層を設けた工具基体の温度を850〜1050℃に保持し、反応器内の圧力を50〜10,000Paを保持し、アルゴン(Ar)および/または水素(H2)をキャリアガスとしてトリメチルアルミニウム(Al(CH3)3)および酸素(O2)および/または二酸化炭素(CO2)をそれぞれ容量%で0.1〜5.0および1.0〜60という条件の下で、反応器内に導入するとともに、工具基体の加熱はコールドウォール方式により例えば工具基体を保持する金属ステージを0〜230V、13.5kHz、0〜20Aという条件の高周波電界により誘導加熱により保持されることによって、TC(006)の値が5.4以上である(0001)面に配向したα−Al2O3層が形成される。
前記α−Al2O3層の形成は、MOCVD法による形成に他ならないが、(0001)面配向性を有する中間層の上に、コールドウォール方式により基盤近傍でのみ反応ガスが加熱され高周波電界が印加された状態で成膜されることによって、上部層として、TC(006)の値が5.4以上である(0001)面配向度の高いα−Al2O3層が形成され、そして、このα−Al2O3層からなる上部層は、すぐれた高温硬さを有する。
また、MOCVD法で形成された(0001)面配向性を有するα−Al2O3層からなる上部層は、中間層との密着性・付着強度にも優れているため、硬質被覆層全体としてのすぐれた高温強度を有する。
したがって、上部層として、MOCVD法で形成された(0001)面配向性を有するα−Al2O3層を蒸着形成した本発明の被覆工具は、高熱発生を伴い、かつ、高速高送りターニングという厳しい切削条件で用いられた場合であっても、すぐれた耐チッピング性とともにすぐれた耐摩耗性を示し、工具特性が格段に改善されたものとなる。
ただ、上部層の層厚が3.5μm未満では、すぐれたターニング用としての工具特性を十分発揮することはできず、一方、層厚が10μmを超えると、切刃部に欠損・チッピングを発生しやすくなるので、上部層の層厚は3.5〜10μmと定めた。
本発明では、従来から知られているCVD法、PVD法により、まず、工具基体表面に、TiC層、TiN層、TiCN層および(Ti,Al)N層のうちの1層または2層以上からなるチタン化合物層を、0.3〜5μmの合計層厚になるまで蒸着して下部層を形成した後、PLD法により、密着層、中間層を成膜形成する。
PLD法は、永久磁石を用い磁場を発生させていた従来のPLD法に比べて、基板温度を高めることが可能であり、磁場の強弱を自由にコントロールでき、さらに、ターゲットあるいは基板に印加する磁場を調整して、成膜の結晶構造、特性を自由に制御できるという利点を有するが、本発明は、PLD法によるこれらの利点を生かしつつ、同時に、工具基体(基板)に成膜する、密着層、中間層の種類、成膜条件を特定するとともに、MOCVD法による上部層の形成と組み合わせたことにより、被覆工具の硬質被覆層に要求される耐チッピング性および耐摩耗性という特有の課題の解決を図ったものである。
すなわち、PLD法による密着層および中間層の成膜にあたり、ターゲットにレーザーを照射して密着層、中間層を形成する際に、成膜速度および結晶配向性を高めるためには、工具基体の温度を500〜850℃に保持する必要があり、また、各層、酸化物の酸素量を適正範囲に制御するためには、雰囲気条件を、O2分圧が1×10−2〜10Paの真空雰囲気とする必要があり、さらに、各層の結晶配向性や結晶構造、結晶粒の成長を制御するためには、印加磁場を2000G以下の範囲で調節することが必要である。
さらに、MOCVD法による上部層の成膜に当たり、成膜速度および結晶配向性を高めるためには、工具基体の温度を850〜1050℃に保持するとともに、反応器内の圧力を50〜10,000Paに保持し、アルゴン(Ar)および/または水素(H2)をキャリアガスとしてトリメチルアルミニウム(Al(CH3)3)および酸素(O2)および/または二酸化炭素(CO2)を容量%で0.1〜5.0および1.0〜60という条件の下で、反応器内に供給する。
そして、通常のCVD法、PVD法により工具基体に下部層を形成した後、前記温度条件、雰囲気条件および磁場条件の下で、PLD法により密着層としての(001)面配向性を有するYSZ層を成膜し、ついで、Cr2O3あるいはCr2O3とα−Al2O3の混合体からなるターゲットにレーザーを照射して、結晶構造がコランダム構造からなり(0001)面配向性を有する(Cr,Al)2O3層あるいはCr2O3層からなる中間層を形成し、その後、MOCVD法により、結晶構造がコランダム構造からなり(0001)面配向性を有するα−Al2O3層からなる上部層を形成するが、このように成膜した各層は強固な付着強度を有しており、また、ターゲットの種類、レーザーの照射条件、磁場の印加条件、MOCVD法による上部層形成時のガス組成等を調整することによって、各層の膜組成、結晶構造、結晶配向性を制御することができ、その結果として、すぐれた耐チッピング性とすぐれた耐摩耗性を備えた硬質被覆層を形成することができる。
したがって、前述のような方法で製造した被覆工具は、高い発熱を伴う高速ターニングという厳しい条件下での切削加工においても、長期に亘ってすぐれた耐チッピング性とすぐれた耐摩耗性を発揮する。
また、この発明による被覆工具の製造方法は、予め、CVD法、PVD法により所定の下部層が形成された工具基体に対して、PLD法を利用し、しかも、ターゲットの種類、組成、成膜条件等を選定し、所望の密着層、中間層を形成することができ、またこのようにして形成された(0001)面配向性を有する中間層の上に、MOCVD法により所望の結晶構造、結晶配向性を備えた上部層を形成することができるので、耐チッピング性および耐摩耗性にすぐれた被覆工具を、簡易かつ確実に製造することができる。
(a)まず、表3(表3中のl−TiCNは特開平6−8010号公報に記載される縦長成長結晶組織をもつTiCN層の形成条件を示すものであり、これ以外は通常の粒状結晶組織の形成条件を示すものである)に示される条件にて、表5、6に示される目標層厚のTi化合物層を硬質被覆層の下部層として蒸着形成した。
ついで、下部層を形成した前記工具基体をPLD装置に装入し、
(b)まず、表4に示される成膜条件で、YSZターゲットに対してエキシマレーザーを照射し、工具基体の下部層の上に、表5、6に示される目標層厚の(001)配向性を有する密着層(YSZ層)を形成し、
(c)ついで、同じく表4に示される条件で、各種のターゲットに対してエキシマレーザーを照射し、密着層の上に、表5,6に示される目標層厚の、かつ、(0001)面配向性を有する中間層((Cr,Al)2O3層、Cr2O3層)を形成し、
(d)その後、同じく表4に示される条件で、各種のガス組成に対して高周波誘導加熱で、(0001)面配向性を有する中間層の上に、表5,6に示される目標層厚の、かつ、(0001)面配向性を有する上部層(α−Al2O3層)を形成することにより、本発明被覆工具1〜16を製造した。
つまり、工具基体A〜Fおよび工具基体a〜fのそれぞれを、通常の化学蒸着装置またはアークイオンプレーティング装置に装入し、
(a)まず、表3(表3中のl−TiCNは特開平6−8010号公報に記載される縦長成長結晶組織をもつTiCN層の形成条件を示すものであり、これ以外は通常の粒状結晶組織の形成条件を示すものである)に示される条件にて、表7、8に示される目標層厚のTi化合物層を硬質被覆層の下部層として蒸着形成した。
ついで、下部層を形成した前記工具基体をPLD装置に装入し、
(b)まず、表4に示される成膜条件で、YSZターゲットに対してエキシマレーザーを照射し、工具基体の下部層の上に、表7、8に示される目標層厚の(001)配向性を有する密着層(YSZ層)を形成し、
(c)ついで、同じく表4に示される条件で、各種のターゲットに対してエキシマレーザーを照射し、密着層の上に、表7,8に示される目標層厚の、かつ、(0001)面配向性を有する中間層((Cr,Al)2O3層、Cr2O3層)を形成し、
(d)その後、同じく表4に示される条件で、各種のターゲットに対してエキシマレーザーを照射し、(0001)面配向性を有する中間層の上に、表7,8に示される目標層厚の、かつ、(0001)面配向性を有する上部層(α−Al2O3層、(Cr,Al)2O3)を形成することにより、比較被覆工具1〜16を製造した。
また、本発明被覆工具1〜16の硬質被覆層を構成する密着層、中間層、上部層および比較被覆工具1〜16の硬質被覆層の上部層について、X線回折によりその結晶構造を同定するとともに、結晶配向度を評価した。
その結果を表5〜8に示す。
また、Cr2O3、(Cr,Al)2O3、Al2O3層の配向性は、下式により算出したTC(006)の値が2以上であるときを(0001)配向であるとした。
TC(hkl)=I(hkl)/I0(hkl)×[1/n×ΣI(hkl)/I0(hkl)]
TC(hkl):texture coefficient(配向性指数,組織係数)
I(hkl)=(hkl)面の回折強度の測定値
I0(hkl)=ASTMによる(hkl)面の標準強度
n=計算に使用した回折面の数(7)
使用した回折面:(012),(104),(110),(006),(113),(024),(116)
[切削条件A]
被削材:JIS・SCM415、
切削速度:450m/min、
切り込み:2.0mm、
回転あたり送り:0.35mm/rev、
切削時間:5分、
の条件での合金鋼の乾式高速切削試験(通常の切削速度は、300m/min)。
[切削条件B]
被削材:JIS・S25C、
切削速度:400m/min、
切り込み:1.5mm、
回転あたり送り:0.45mm/rev、
切削時間:5分、
の条件での炭素鋼の乾式高速切削試験(通常の切削速度は、250m/min)。
[切削条件C]
被削材:JIS・FC250、
切削速度:500m/min、
切り込み:2.5mm、
一刃送り量:0.40mm/刃、
切削時間:10分、
の条件での普通鋳鉄の湿式高速切削試験(通常の切削速度は、300m/min)。
そして、前記各切削試験における切刃の逃げ面摩耗幅を測定し、この測定結果を表9に示した。
また、本発明被覆工具1〜16の製造方法は、通常のCVD法あるいはPVD法により硬質被覆層の下部層を形成し、ついで、所定条件下でのPLD法により、硬質被覆層の密着層および中間層を形成し、ついで、所定条件下でのMOCVD法により、硬質被覆層の上部層を形成するものであるが、ターゲットの種類、組成を選択し、所定の条件下で、ターゲットにレーザーを照射して、結晶配向性の高められた所定の結晶構造の密着層および中間層を形成した上にMOCVD法により結晶配向性の一層高められた上部層を形成することができるので、高速高送りターニングという厳しい切削条件下で要求される工具特性を備えた被覆工具を、簡易な方法でかつ確実に製造することができる。
Claims (4)
- 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に硬質被覆層を設けた表面被覆切削工具において、
前記硬質被覆層が、
(a)下部層として、2〜10μmの合計層厚を有するチタンの炭化物層、チタンの窒化物層、チタンの炭窒化物層およびチタンとアルミニウムの複合窒化物層のうちの1層または2層以上からなるチタン化合物層、
(b)密着層として、0.02〜0.2μmの層厚を有するイットリウム安定化ジルコニア層、
(c)中間層として、0.02〜0.5μmの合計層厚を有し、さらに、結晶構造がコランダム構造からなり(0001)面配向性を有し、かつ、アルミニウムとの合量に占めるクロムの含有割合(Cr/(Cr+Al))が0.2〜1(但し、原子比)であるクロムとアルミニウムの酸化物固溶体層、あるいは、クロムの酸化物層、
(d)上部層として、3.5〜10μmの層厚を有し、さらに、結晶構造がコランダム構造からなり、TC(006)の値が5.4以上である(0001)面配向性を有し、かつ、MOCVD法で形成されたα−アルミナ層、
前記(a)〜(d)の下部層、密着層、中間層および上部層からなることを特徴とする表面被覆切削工具。 - 前記密着層が、(001)面配向性を有するイットリウム安定化ジルコニア層であることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
- 炭化タングステン基超硬合金または炭窒化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に下部層、密着層、中間層および上部層からなる硬質被覆層を形成した表面被覆切削工具の製造方法において、前記硬質被覆層が、
(a)反応器内で化学蒸着又は物理蒸着により、チタンの炭化物層、チタンの窒化物層、チタンの炭窒化物層およびチタンとアルミニウムの複合窒化物層のうちの1層または2層以上からなるチタン化合物層を、2〜10μmの合計層厚になるまで蒸着して下部層を形成する工程と、
(b)次に、工具基体の温度を500〜850℃に保持し、雰囲気中の酸素分圧を1×10−2〜10Paとした真空雰囲気中で、イットリウム安定化ジルコニアからなるターゲットにレーザーを照射して、前記下部層表面に、0.02〜0.2μmの層厚のイットリウム安定化ジルコニア層からなる密着層を形成する工程と、
(c)次いで、クロム酸化物またはクロム酸化物とα−アルミナの混合体からなるターゲットに、前記(b)と同様な条件でレーザーを照射し、前記密着層表面に、0.05〜0.5μmの層厚で結晶構造がコランダム構造からなり(0001)面配向性を有し、かつ、アルミニウムとの合量に占めるクロムの含有割合(Cr/(Cr+Al))が0.2〜1(但し、原子比)であるクロムとアルミニウムの酸化物固溶体層、あるいは、クロムの酸化物層からなる中間層を形成する工程と、
(d)その後、前記工具基体の温度を850〜1050℃に保持するとともに、反応器内の圧力を50〜10,000Paに保持し、アルゴン(Ar)および/または水素(H2)をキャリアガスとしてトリメチルアルミニウム(Al(CH3)3)および酸素(O2)および/または二酸化炭素(CO2)を供給することにより、前記中間層表面に、3.5〜10μmの層厚を有し、かつ、結晶構造がコランダム構造を有し、TC(006)の値が5.4以上である(0001)面配向性を有するα−アルミナ層からなる上部層をMOCVD法により形成する工程とから形成されることを特徴とする表面被覆切削工具の製造方法。 - 前記(d)の工程における工具基体の加熱が、コールドウォール方式による加熱であることを特徴とする請求項3に記載の表面被覆切削工具の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010064234A JP5555835B2 (ja) | 2010-03-19 | 2010-03-19 | 耐摩耗性にすぐれたターニング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010064234A JP5555835B2 (ja) | 2010-03-19 | 2010-03-19 | 耐摩耗性にすぐれたターニング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011194519A JP2011194519A (ja) | 2011-10-06 |
JP5555835B2 true JP5555835B2 (ja) | 2014-07-23 |
Family
ID=44873364
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010064234A Active JP5555835B2 (ja) | 2010-03-19 | 2010-03-19 | 耐摩耗性にすぐれたターニング加工用表面被覆切削工具およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5555835B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5872746B1 (ja) * | 2015-08-28 | 2016-03-01 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5935562B2 (ja) * | 2012-07-13 | 2016-06-15 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた初期なじみ性、耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
JP6303887B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2018-04-04 | 株式会社デンソー | 成膜装置、及び硬質膜被覆刃具の製造方法 |
WO2017061144A1 (ja) * | 2015-10-09 | 2017-04-13 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
JP6047268B1 (ja) * | 2015-10-09 | 2016-12-21 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
JP7315931B2 (ja) | 2017-09-15 | 2023-07-27 | エリコン サーフェス ソリューションズ アーゲー、 プフェフィコン | より高い熱安定性を有するAl-CrO系コーティングおよびその製造方法 |
CN113667933B (zh) * | 2021-07-02 | 2024-01-16 | 株洲钻石切削刀具股份有限公司 | CrAlYO涂层刀具及其制备方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATA261878A (de) * | 1978-04-14 | 1979-05-15 | Ver Edelstahlwerke Ag | Verfahren zur herstellung beschichteter hart- metallkoerper |
JPH01295702A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-29 | Nippon Steel Corp | セラミックス被覆切削工具 |
JP3382781B2 (ja) * | 1996-06-05 | 2003-03-04 | 日立ツール株式会社 | 多層被覆硬質工具 |
SE529051C2 (sv) * | 2005-09-27 | 2007-04-17 | Seco Tools Ab | Skärverktygsskär belagt med aluminiumoxid |
SE532023C2 (sv) * | 2007-02-01 | 2009-09-29 | Seco Tools Ab | Texturhärdat alfa-aluminiumoxidbelagt skär för metallbearbetning |
JP5035980B2 (ja) * | 2007-09-19 | 2012-09-26 | 国立大学法人東京工業大学 | 高速ミーリング加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具およびその製造方法 |
-
2010
- 2010-03-19 JP JP2010064234A patent/JP5555835B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5872746B1 (ja) * | 2015-08-28 | 2016-03-01 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具およびその製造方法 |
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US10058924B2 (en) | 2015-08-28 | 2018-08-28 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp. | Surface-coated cutting tool and method of manufacturing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011194519A (ja) | 2011-10-06 |
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