CN108121025A - 光学模块以及电子设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种光学模块以及电子设备。光学模块包括：具有隔着反射膜间间隙对置的2个反射膜以及变更反射膜间间隙的间隙量的静电致动器的波长可变干涉滤波器；以及被来自电力供给部的多个供给电压驱动，向所述静电致动器施加驱动电压的电压控制部，在所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，所述电压控制部降低所述驱动电压。

Description

光学模块以及电子设备
技术领域
本发明涉及一种光学模块以及电子设备。
背景技术
以往，人们所知的光学模块(例如，参照专利文献1)具备：对置的一对反射膜；具有变更反射膜间的间隙尺寸(间隙量)的静电致动器部的波长可变干涉滤波器；控制静电致动器的施加电压的电压控制部。
在专利文献1中，波长可变干涉滤波器具备作为静电致动部的第1静电致动器和第2静电致动器。此外，电压控制部具备：向第1静电致动器施加偏压的偏压驱动部；检测间隙量的间隙检测器；向第2静电致动器施加反馈电压的反馈控制部；控制偏压驱动部以及反馈控制部的微电脑。这些偏压驱动部、反馈控制部以及微电脑分别得到来自外部设备等的电力供给而进行驱动。
上述电压控制部能够高精度地调整间隙量，以便波长可变干涉滤波器的透过波长变为目的波长(目标波长)。例如，偏压驱动部基于来自微电脑的指令，向第1静电致动器施加与目标波长相应的偏压。反馈控制部基于来自微电脑的指令和间隙检测器的检测值，向第2静电致动器施加与目标波长相应的反馈电压。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2013-238755号公报
发明内容
发明所要解决的问题
但是，在上述现有的构成中，当向偏压驱动部、反馈控制部以及向微电脑供给的电源电压下降时，电压控制部可能会引起误动作。例如，在向微电脑供给的电源电压急速下降或者电力供给突然停止的情况下，由于电压控制部的误动作，可能会从偏压驱动部或反馈控制部输出大电压。
本发明的目的在于提供一种可以抑制由电源电压下降时的误动作引起的影响的光学模块以及电子设备。
用于解决问题的技术手段
本发明的一个适用例所涉及的光学模块，具备：波长可变干涉滤波器，具有隔着反射膜间间隙对置的2个反射膜以及变更所述反射膜间间隙的间隙量的静电致动器；以及电压控制部，被来自电力供给部的多个供给电压驱动，向所述静电致动器施加驱动电压，在所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，所述电压控制部降低所述驱动电压。
在此，所述阈值例如为电压控制部正常工作的供给电压的范围的下限值以上的电压值。
如上所述，供给电压下降而低于上述电压范围的下限值时，可能会电压控制部进行误动作。对此，在本适用例中，电压控制部在多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，即电压错误发生的情况下，降低静电致动器的驱动电压。
在这样的构成中，可以在电压控制部的误动作发生之前，使驱动电压下降，从而能够抑制由电压控制部引起误动作时的的影响。
例如，在现有技术中，向电压控制部的供给电压下降时，有时由电压控制部引起误动作，使静电致动器的驱动电压增大。在该情况下，向静电致动器的施加电压增大而使2个反射膜接触(接通)，从而会劣化波长可变干涉滤波器。此外，由于反馈控制不能够恰当地发挥作用，可能会发生振荡，进而发生接通。
对此，在本适用例中，由于在向电压控制部的供给电压下降的时间点，向静电致动器的驱动电压下降，因此可以抑制上述问题，可以抑制波长可变干涉滤波器的劣化。
此外，例如，还可以在驱动电压进一步下降，低于上述下限值之前，在电压控制部的恰当的控制之下，将驱动电压变为0V，使波长可变干涉滤波器的驱动正常停止。
优选的是，在本适用例的光学模块中，所述电压控制部在所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，将所述驱动电压变更为预定值以下的值。
在此，预定值例如为即使在发生电压控制部的误动作而使驱动电压波动的情况下也不会发生接通的驱动电压的范围的上限值。作为该预定值，可以例示0V和0V附近的值。
在本适用例中，发生电压错误时，将驱动电压变更为预定值以下的值。由此，例如，即使在电压错误发生之后供给电压进一步下降，电压控制部执行了误动作，也不会发生波长可变干涉滤波器的接通，可以更可靠地抑制波长可变干涉滤波器的劣化。
优选的是，在本适用例的光学模块中，所述电压控制部使所述驱动电压递减。
在本适用例中，发生电压错误时，由于使驱动电压递减至预定值以下，因此可以抑制由驱动电压的急剧变化引起的间隙量的控制不良。即，在电压控制部的恰当的控制之下，可以使驱动电压下降至预定值以下。
优选的是，在本适用例的光学模块中，所述电压控制部在所述多个供给电压中的任一低于预定的第1阈值的情况下，使所述驱动电压递减，在所述多个供给电压中的任一低于比所述第1阈值小的第2阈值的情况下，将所述驱动电压变更为预定值以下的值。
在此，第1阈值以及第2阈值与上述预定的阈值同样地，例如，为比电压控制部正常工作的供给电压的范围的下限值大的电压值。
在本适用例中，在多个供给电压中的任一低于预定的第1阈值的情况下，即发生电压错误的情况下，通过使静电致动器的驱动电压递减，如上所述，在电压控制部的恰当的控制之下，可以降低驱动电压。
此外，在电压错误发生之后，供给电压进一步降低，低于第2阈值的情况下，将驱动电压变更为预定值以下。由此，如上所述，可以在发生电压控制部的误动作之前使驱动电压下降至预定值以下，从而可以抑制误动作的影响。
优选的是，在本适用例的光学模块中，所述波长可变干涉滤波器具有作为所述静电致动器的、第1静电致动器和第2静电致动器，所述电压控制部具有：间隙检测部，检测所述间隙量；第1驱动部，向所述第1静电致动器施加作为所述驱动电压的第1驱动电压；以及第2驱动部，进行反馈控制，以使得所述间隙量的检测值接近所述间隙量的目标值，所述第2驱动部向所述第2静电致动器施加作为所述驱动电压的第2驱动电压，在所述多个供给电压中的任一低于所述预定的阈值的情况下，所述电压控制部降低所述第2驱动电压之后，降低所述第1驱动电压。
在此，进行变更第1驱动电压的同时变更第2驱动电压的反馈控制时，间隙量的变更量变大，间隙量变为目标值为止的时间(稳定化时间)变长，可能会发生振荡。
对此，在本适用例中，电压控制部在电压错误发生时，降低了进行第2静电致动器的反馈控制的第2驱动部的第2驱动电压之后，降低第1驱动部的第1驱动电压。由此，与降低第1驱动电压并且降低第2驱动电压的情况相比，可以更恰当且迅速地实施反馈控制，更迅速地降低第2驱动电压。
此外，在电压错误发生之后，电压控制部的误动作发生之前，即，在第2驱动部的恰当的反馈控制之下，可以降低第2驱动电压。
优选的是，在本适用例的光学模块中，所述第2驱动部能够变更所述反馈控制中的驱动参数，在降低所述第2驱动电压时变更所述驱动参数。
在本适用例中，第2驱动部在使第2驱动电压下降时变更驱动参数。在这样的构成中，可以在降低第2驱动电压时，使用更恰当的驱动参数来实施反馈控制。
优选的是，在本适用例的光学模块中，所述电压控制部具备电压监控部，所述电压监控部输出表示所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的检测信号，所述第2驱动部具有：输出部，输出所述第2驱动电压；以及开关电路，设置于所述输出部的输出侧，并切换所述输出部与所述第2静电致动器之间被连接的连接状态和被切断的非连接状态，所述开关电路在被输入所述检测信号的情况下，从所述连接状态切换至所述非连接状态。
在本适用例中，开关电路基于来自电压监控部的检测信号，将输出部和第2静电致动器的连接从连接状态切换至非连接状态。在这样的构成中，电压错误发生时，由于使输出部和第2静电致动器的连接为非连接状态，因此即使因误动作而从输出部输出高电压，也不会施加至第2静电致动器，可以更可靠地抑制波长可变干涉滤波器的劣化。此外，通过设置开关电路，无需通过电压控制部来降低第2驱动电压，可以抑制电压下降的处理负荷的增大。
优选的是，在本适用例的光学模块中，所述电压控制部具备：驱动部，向所述静电致动器施加所述驱动电压；以及驱动控制部，控制所述驱动部，在所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，所述驱动控制部控制所述驱动部而使所述驱动电压降低。
在本适用例中，可以基于驱动控制部的控制降低驱动电压。例如，可以根据电压错误的发生状况，适当地选择驱动电压的值、驱动电压的下降时间点、下降方法等，更恰当地停止波长可变干涉滤波器。
本发明的一适用例所涉及的电子设备，其特征在于，具备：光学模块，具有波长可变干涉滤波器和电压控制部，所述波长可变干涉滤波器具有隔着反射膜间间隙对置的2个反射膜以及变更所述反射膜间间隙的间隙量的静电致动器，所述电压控制部被来自电力供给部的多个供给电压驱动，向所述静电致动器施加驱动电压；以及模块控制部，控制所述光学模块，在所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，所述电压控制部降低所述驱动电压。
在本适用例中，与上述光学模块所涉及的适用例同样地，在向电压控制部的供给电压下降的时间点，由于向静电致动器的驱动电压下降，因此可以抑制产生如上所述的接通和振荡的问题，可以抑制波长可变干涉滤波器的劣化。
此外，例如，驱动电压进一步下降，低于所述下限值之前，在电压控制部的恰当的控制之下，可以使驱动电压为0V，正常地停止波长可变干涉滤波器的驱动。
附图说明
图1为示出本发明所涉及的第1实施方式的打印机的概略构成的外观图。
图2为示出第1实施方式的打印机的概略构成的框图。
图3为示出第1实施方式的分光器的概略构成的截面图。
图4为示出第1实施方式的滤波器控制部的概略构成的图。
图5为示出第1实施方式的反馈控制部所具有的PID控制器的概略构成的图。
图6为示出第1实施方式的电源电压监控部的概略构成的图。
图7为示出相对于上述电源电压监控部的输入的输出的变化的一个例子的图。
图8为示出第1实施方式的分光测定处理的一个例子的流程图。
图9为示出第1实施方式的停止处理的一个例子的流程图。
图10为示出第1实施方式的反馈参数的一个例子的图。
图11为示出第1实施方式的相对于电源电压的偏压以及反馈电压的一个例子的图。
图12为示出第1实施方式的相对于电源电压的偏压以及反馈电压的一个例子的图。
图13为示出第1实施方式的相对于电源电压的偏压以及反馈电压的一个例子的图。
图14为示出第1实施方式的相对于电源电压的偏压以及反馈电压的一个例子的图。
图15为示出第2实施方式的相对于电源电压的偏压以及反馈电压的一个例子的图。
图16为示出第2实施方式的停止处理的一个例子的流程图。
图17为示出第2实施方式的反馈参数的一个例子的图。
图18为示出第3实施方式的相对于电源电压的偏压以及反馈电压的一个例子的图。
图19为示出变形例1的相对于电源电压的偏压以及反馈电压的一个例子的图。
图20为示出变形例2的相对于电源电压的偏压以及反馈电压的一个例子的图。
图21为示出变形例3的相对于电源电压的偏压以及反馈电压的一个例子的图。
图22为示意性地示出变形例4的控制单元和滤波器控制部的主要部件的图。
图23为示出变形例5的滤波器控制部的概略构成的图。
图24为示出变形例5的反馈控制部的概略构成的图。
附图标记说明
5：波长可变干涉滤波器；10：打印机(电子设备)；15：控制单元(模块控制部)；17：分光器(光学模块)；18、，18A：滤波器控制部(电压控制部)；19：微电脑(驱动控制部)；20：PID控制器；21：驱动电路；22：开关电路；51：固定基板；52：可动基板；54：固定反射膜；55：可动反射膜；56：静电致动器；57：偏压用静电致动器(第1驱动部)；58：控制用静电致动器(第2驱动部)；61：基体；62：玻璃基板；63：玻璃盖片；Ra：比例参数；Rb：积分参数；Rc：微分参数；V1：偏压(第1驱动电压)；V2：反馈电压(第2驱动电压)；Va：第1电源电压；Vb：第2电源电压；Vc：第3电源电压；Vda：偏压阈值；Vdb：反馈电压阈值；Vdc：微电脑电压阈值；Vdc1：第1微电脑电压阈值；Vdc2：第2微电脑电压阈值；Vta：第1检测信号；Vtb：第2检测信号；Vtc：第3检测信号。
具体实施方式
第1实施方式
下面，基于附图，对本发明的第1实施方式进行说明。在第1实施方式中，作为本发明所涉及的光学模块以及电子设备的一个例子，对打印机10(喷墨打印机)进行说明。
滤波器的概略构成
图1为示出第1实施方式的打印机10的外观的构成例的图。图2为示出本实施方式的打印机10的概略构成的框图。
如图1所示，打印机10具备：供给单元11；输送单元12；滑架13；滑架移动单元14；以及控制单元15(参照图2)。该打印机10基于从例如个人电脑等外部设备30输入的印刷数据，控制各个单元11、12、14以及滑架13，在介质A上印刷图像。此外，本实施方式的打印机10进行在介质A上被印刷的图像的分光测定，基于测定结果进行处理(例如基于颜色校正用的色标的分光测定的测定结果进行颜色校正处理)。
下面，对打印机10的各个构成进行详细说明。
供给单元11为将作为图像形成对象的介质A(在本实施方式中，例示白纸)向图像形成位置供给的单元。该供给单元11例如具备：巻装介质A的辊体111(参照图1)；辊驱动马达(在图中省略)；以及辊驱动轮系(在图中省略)等。而且，基于来自控制单元15的指令，辊驱动马达被旋转驱动，辊驱动马达的旋转力经由辊驱动轮系被传递至辊体111。由此，辊体111旋转，巻装于辊体111的纸被供给至Y方向(副扫描方向)的下游侧(+Y方向)。
另外，在本实施方式中，示出供给巻装于辊体111的纸的例子，但不限于此。可以用任何供给方法供给介质A，例如通过辊等一张一张地供给装载于托盘等的纸等介质等。
输送单元12将从供给单元11供给的介质A沿着Y方向输送。该输送单元12构成为包括：输送辊121；从动辊(在图中省略)，以与输送辊121夹着介质A的方式配置，且从动于输送辊121；以及压纸卷筒122。
如果从图中省略的输送马达传递驱动力，通过控制单元15的控制来驱动输送马达时，输送辊121被该旋转力旋转驱动，在与从动辊之间夹入介质A的状态下沿着Y方向输送。此外，在输送辊121的Y方向的下游侧(+Y侧)设置有与滑架13对置的压纸卷筒122。
滑架13具备：印刷部16，在介质A上印刷图像；以及分光器17，进行介质A上的预定的测定区域R(参照图3)的分光测定。
印刷部16例如为从形成于下表面(与介质A对置的面)侧的喷嘴喷墨而形成图像的所谓的喷墨头。该印刷部16例如具备：墨盒161，与多种颜色的墨对应；压力室，设置于各个喷嘴，且从对应颜色的墨盒161供给墨；以及压电元件，设置于压力室，墨点由通过压电元件的驱动而从喷嘴喷出的墨滴形成在介质A上。
分光器17在后文进行详细说明，其构成为包括：波长可变干涉滤波器5，使与一对反射膜间的间隙量对应的波长的光透过；以及滤波器控制部18，控制波长可变干涉滤波器的间隙量，它相当于光学模块。
滑架13设置为通过滑架移动单元14可以沿与Y方向相交的主扫描方向(本发明中的一个方向，X方向)移动。
此外，滑架13通过柔性电路131连接于控制单元15，基于来自控制单元15的指令，实施印刷部16的印刷处理(对介质A实施的图像形成处理)以及分光器17的分光测定处理。
滑架移动单元14构成本发明中的移动机构，基于来自控制单元15的指令，使滑架13沿X方向做往复运动。
该滑架移动单元例如构成为包括：滑架导向轴141；滑架马达142；同步带143。
滑架导向轴141沿X方向配置，两端部固定于打印机10的例如壳体。滑架马达142驱动同步带143。同步带143与滑架导向轴141大致平行地被支承，并固定有滑架13的一部分。而且，当基于控制端元15的指令驱动滑架马达142时，同步带143正反向行走，固定于同步带143的滑架13被滑架导向轴141引导而做往复运动。
控制单元15相当于模块控制部，如图2所示，其构成为包括：I/F151；单元控制电路152；存储器153；中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)154。
I/F151将从外部设备30输入的印刷数据输入至中央处理单元154。
单元控制电路152具备：控制部152A；电力供给部152B。
控制部152A基于来自中央处理单元154的指令信号分别控制各个单元11～14(包含滤波器控制部18)。
电力供给部152B向各个单元11～14(包含滤波器控制部18)供给电力。
存储器153存储控制打印机10的动作的各种程序和各种数据。作为各种数据，例如列举有存储了对于作为印刷数据包含的颜色数据的各个墨的喷出量的印刷简档数据等。此外，还可以储存对于光源部171的各个波长的发光特性，或对于受光部173的各个波长的受光特性(受光灵敏度特性)等。
中央处理单元154通过读取并执行存储于存储器153的各种程序，从而实施：供给单元11、输送单元12以及滑架移动单元14的驱动控制；印刷部16的印刷控制；分光器17的分光测定控制；基于分光器17的测定数据的处理(颜色校正处理等)。
分光器的构成
图3为示出分光器17的概略构成的截面图。
如图3所示，分光器17包括：光源部171；包含波长可变干涉滤波器5的光学滤波器设备172；受光部173；导光部174；滤波器控制部18(参照图2)。
在该分光器17中，从光源部171向介质A上照射照明光，将介质A上反射的光成分通过导光部174入射至光学滤波器设备172。而且，光学滤波器设备172使预定波长的光从该反射光射出(透过)，使其通过受光部173受光。而且，光学滤波器设备172基于控制单元15的控制，可以选择透过波长(射出波长)，通过测定可视光中的各个波长的光的光量，从而能够进行介质A上的测定区域R的分光测定。
光源部、受光部以及导光光学系统的构成
光源部171包括：光源171A；聚光部171B。在该光源部171中，在介质A的测定区域R内，从相对于介质A的表面的法线方向照射从光源171A射出的光。
作为光源171A，优选的是可以射出可视光区域中的各种波长的光的光源。作为这样的光源171A，例如可以例示卤素灯、氙气灯、白光LED等，优选的是在滑架13内的有限空间内能够容易设置的白色LED。聚光部171B例如由聚光透镜等构成，使来自光源171A的光聚光于测定区域R。另外，在图3中，在聚光部171B只示出1个透镜(聚光透镜)，但也可以构成为组合多个透镜。
受光部173配置于波长可变干涉滤波器5的光轴上，接收透过了该波长可变干涉滤波器5的光。而且，受光部173基于控制单元15的控制，输出受光量相应的检测信号(电流值)。另外，受光部173输出的检测信号经由I-V转换器(省略图示)、放大器(省略图示)以及AD转换器(省略图示)输入至控制单元15。
导光部174具备：反射镜174A、带通滤波器174B。
该导光部174在测定区域R使相对于介质A的表面以45°反射的光通过反射镜174A反射至波长可变干涉滤波器5的光轴上。带通滤波器174B使可视光区域(例如，380nm-720nm)的光透过，切断紫外线和红外线的光。由此，可视光区域的光入射至波长可变干涉滤波器5，在受光部173接收可视光区域中的被波长可变干涉滤波器5选择的波长的光。
光学滤波器设备的构成
图4为示意性地示出分光器17所具有的波长可变干涉滤波器5和滤波器控制部18的图。
如图4所示，光学滤波器设备172具备壳体6和收纳于壳体6的内部的波长可变干涉滤波器5。
波长可变干涉滤波器的构成
波长可变干涉滤波器5为波长可变型的法布里-珀罗标准具元件，如图4所示，具备透光性的固定基板51和可动基板52，这些固定基板51和可动基板52被接合膜接合，从而构成为一体。
此外，波长可变干涉滤波器5具备：隔着间隙G(反射膜间间隙)对置的固定反射膜54和可动反射膜55；调整间隙G的尺寸(间隙量)的静电致动器56。该静电致动器56具有：可分别独立地驱动的偏压用静电致动器57(以后，称为偏压用致动器57)和控制用静电致动器58(以后，称为控制用致动器58)。另外，偏压用致动器57相当于第1静电致动器，控制用致动器58相当于第2静电致动器。
固定基板的构成
在固定基板51中，在与可动基板52对置的面上设置有固定反射膜54、构成偏压用致动器57的偏压用固定电极571、构成控制用致动器58的控制用固定电极581。该固定基板51形成为相对于可动基板52的厚度尺寸大，因此不会出现由向静电致动器56施加电压时的静电引力和后述的各个固定电极571、581的内部应力引起的固定基板51的弯曲。
固定反射膜54设置于在固定基板51设置的槽部的中心位置。作为该固定反射膜54例如可以使用Ag等的金属膜、Ag合金等导电性的合金膜。此外，还可以使用例如二氧化钛作为高折射层，二氧化硅作为低折射层的电介质多层膜，在该情况下，通过在电介质多层膜的最下层或表层形成导电性的金属合金膜，从而可以使固定反射膜54作为电极发挥功能。
而且，在固定反射膜54连接有省略图示的固定反射镜电极。该固定反射镜电极连接于滤波器控制部18的后述的间隙检测部183。
偏压用固定电极571形成为包围固定反射膜54的大致圆弧状。该偏压用固定电极571连接于滤波器控制部18的后述的偏压驱动部182。
控制用固定电极581在偏压用固定电极571的外侧形成为大致圆弧状。该控制用固定电极581连接于滤波器控制部18的后述的反馈控制部184。
另外，在本实施方式中，示出了分别独立地配置偏压用固定电极581、控制用固定电极581以及固定反射镜电极的例子，但不限于此。例如，偏压用固定电极571、控制用固定电极581以及固定反射镜电极也可以作为公共电极互相连接。在该情况下，在滤波器控制部18，将公共电极连接于地面，设置为相同的电位。
可动基板的构成
可动基板52具备：可动部521；设置于可动部521的外侧，且保持可动部521的保持部522。
可动部521形成为比保持部522的厚度尺寸大。在该可动部521设置有可动反射膜55、构成偏压用致动器57的偏压用可动电极572、构成控制用致动器58的控制用可动电极582。
可动反射膜55在可动部521的与固定基板51对置的面的中心部，隔着间隙G与固定反射膜54对置地设置。作为该可动反射膜55，使用和上述固定反射膜54相同的构成的反射膜。
而且，在可动反射膜55连接有省略图示的固定反射镜电极。该可动反射镜电极连接于滤波器控制部18的后述的间隙检测部183。
偏压用可动电极572隔着预定的间隙与偏压用固定电极571对置。该偏压用可动电极572连接于偏压驱动部182。
控制用可动电极582隔着预定的间隙与控制用固定电极581对置。该控制用可动电极582连接于反馈控制部184。
保持部522为包围可动部521的周围的隔膜，形成为比可动部521的厚度尺寸小。这样的保持部522比可动部521容易弯曲，通过一点点静电引力可以使可动部521向固定基板51一侧位移。由此，在维持固定反射膜54以及可动反射膜55的平行度的状态下，能够变更间隙G的间隙量。
另外，在本实施方式中，例示了隔膜状的保持部522，但不限于此，例如，还可以是设置有将平面中心点作为中心以等角度间隔配置的梁状的保持部的构成等。
壳体的构成
如图4所示，壳体6包括：基体61；盖62。这些基体61和盖62例如通过使用玻璃料(低熔点玻璃)的低熔点玻璃接合、使用环氧树脂等的粘结等来接合。由此，在内部形成收容空间，在该收容空间内收纳有波长可变干涉滤波器5。
基体61例如通过在薄板上层压陶瓷而构成，具有可以收纳波长可变干涉滤波器5的凹部611。波长可变干涉滤波器5通过例如固定材料固定于基体61的凹部611的底面。在基体61的凹部611的底面设置有光通过孔612。该光通过孔612设置为包含与波长可变干涉滤波器5的反射膜54、55重叠的区域。而且，在基体61接合有玻璃盖片613，使其覆盖光通过孔612。
盖62为玻璃平板，接合于与基体61的底面相反一侧的端面。
滤波器控制部的构成
滤波器控制部18相当于电压控制部，如图4所示，构成为包括：电源电压监控部181；偏压驱动部182；间隙检测部183；反馈控制部184；以及微电脑(微控制器)19。
滤波器控制部18将波长可变干涉滤波器5的间隙量G的尺寸设定为基于来自控制部152A的波长设定指令的值(对应于目标波长的值)。即，滤波器控制部18基于波长设定指令调整构成静电致动器56的偏压用致动器57和控制用致动器58的各自的驱动电压，设定间隙G的尺寸使得波长可变干涉滤波器5的透过光的波长为目标波长。
该滤波器控制部18从电力供给部152B供给多个电力并进行驱动。具体而言，通过电力供给部152B，向偏压驱动部182施加第1电源电压Va，向反馈控制部184施加第2电源电压Vb，向微电脑19施加第3电源电压Vc。另外，第1电源电压Va、第2电源电压Vb、第3电源电压Vc相当于多个供给电压。
此外，滤波器控制部18在各个电源电压Va、Vb、Vc中的任意一个下降时，实施使静电致动器56的驱动电压下降至预定值以下的、后述的停止处理。另外，预定值是指，即使产生滤波器控制部18的误动作而使驱动电压波动的情况下，也不会产生接通(Pull in)的驱动电压范围的上限值。另外，在本实施方式中，滤波器控制部18将驱动电压变更为0V。
偏压驱动部的构成
偏压驱动部182被第1电源电压Va驱动，基于从微电脑19输入的偏压信号，向偏压用致动器57施加偏压V1。偏压驱动部182例如具备可变增益放大器，通过基于偏压信号设定增益，从而向偏压用致动器57施加基于偏压信号的偏压V1。该偏压驱动部182相当于第1驱动部，偏压V1相当于第1驱动电压。
另外，偏压驱动部182在第1电源电压Va至少为Vda(也称为偏压阈值Vda)以上时被正常地驱动。
间隙检测部的构成
间隙检测部183从反射膜54、55之间的静电容量检测间隙G的尺寸，将检测信号输出至反馈控制部184。具体而言，间隙检测部183具有省略图示的C-V转换电路，将反射膜54、55之间的静电容量转化为电压值(检测信号)。作为这样的C-V转换电路，例如列举出开关电容电路等。
另外，间隙检测部183可以输出作为检测信号的模拟信号，也可以输出作为检测信号的数字信号。输出数字信号时，将来自C-V转换电路的检测信号(模拟信号)输入模数转换器(Analog to Digital Converter，ADC)，而转换为数字值。
反馈控制部的构成
反馈控制部184被第2电源电压Vb驱动，基于从微电脑19输入的间隙G的目标值和从间隙检测部183输入的检测值，向控制用致动器58施加反馈电压V2。该反馈控制部184相当于第2驱动部，反馈电压V2相当于第2驱动电压。在此，目标值为将间隙G的尺寸被设定为对应于目标波长的值时的由间隙检测部183检测出的检测值。反馈控制部184实施调整反馈电压V2的反馈控制使得目标值和检测值的差值为0。
图5为示出构成反馈控制部184的比例积分微分(Proportional-Integral-Differential，PID)控制器20的概略构成的图。
反馈控制部184构成为包括：输入目标值和检测值且得到基于检测值的变化的输出的比例积分微分控制器20(参照图5)；基于来自比例积分微分控制器20的输出，向控制用致动器58施加反馈电压V2的驱动电路(省略图示)。
如图5中例示的那样，反馈控制部184可以使用由模拟电路构成的比例积分微分控制器20。
具体而言，比例积分微分控制器20具有：差动放大电路201；在差动放大电路201的输出侧并联连接的比例电路202、积分电路203、微分电路204；连接于积分电路203的输出侧的第1放大电路205；连接于微分电路204的输出侧的第2放大电路206；连接于比例电路202、第1放大电路205以及第2放大电路206的输出侧的加法电路207。
差动放大电路201将来自微电脑19的目标值和间隙检测部183的检测值的差值放大而进行输出。
比例电路202将来自差动放大电路201的输出(电压)以基于可变电阻的电阻值Ra的放大率放大。以下，将电阻值Ra也称为比例参数Ra。
积分电路203输出对应于从差动放大电路201输出的时间积分的电压。第1放大电路205将积分电路203的输出(电压)按照基于可变电阻的电阻值Rb的放大率放大。以下，将电阻值Rb也称为积分参数Rb。
微分电路204输出来自差分放大电路201的输出的微分值(电压值)。第2放大电路206将微分电路204的输出(电压)按照基于可变电阻的电阻值Rc的放大率放大。以下，将电阻值Rc也称为微分参数Rc。
加法电路207将比例电路202、第1放大电路205以及第2放大电路206的各自的输出(电压值)进行相加并放大。
上述构成的反馈控制部184可以根据来自微电脑19的参数设定指令变更相当于驱动参数的各个参数Ra、Rb、Rc。即，微电脑19除了包含目标值的目标指令之外，旨在将各个参数Ra、Rb、Rc的值设定为基于目标波长的值的设定指令输出至反馈控制部184。反馈控制部184基于设定指令设定各个参数Ra、Rb、Rc。以下，将各个参数Ra、Rb、Rc也称为反馈参数。
电源电压监控部的构成
图6为示出电源电压监控部181的概略构成的图。此外，图7为示出电源电压监控部181的动作的一例的图，而且为示出对于来自电力供给部152B的各个电源电压的变化的、来自电源电压监控部181的输出值的图。
电源电压监控部181将示出来自电力供给部152B的第1电源电压Va、第2电源电压Vb以及第3电源电压Vc低于分别设定的阈值的检测信号(第1检测信号Vta、第2检测信号Vtb以及第3检测信号Vtc)输出至微电脑19(参照图4)。
如图6所示的一例，电源电压监控部181构成为包括：第1比较器181A；第2比较器181B；以及第3比较器181C。
如图7所示，从第1比较器181A输出的第1检测信号Vta在被施加至偏压驱动部182的第1电源电压Va下降为低于Vda(也称为偏压阈值Vda)时，从低电平变为高电平。该偏压阈值Vda被设定为偏压驱动部182正常驱动的电压范围的下限值以上。即，第1比较器181A在偏压驱动部182正常驱动期间，可以检测由于第1电源电压Va的下降，第1电源电压Va低于偏压阈值Vda。
从第2比较器181B输出的第2检测信号Vtb在被施加至反馈控制部184的第2电源电压Vb低于Vdb(也称为反馈电压阈值Vdb)时，从低电平变为高电平。反馈电压阈值Vdb被设定为反馈控制部184正常驱动的电压范围的下限值以上。
从第3比较器181C输出的第3检测信号Vtc在被施加至微电脑19的第3电源电压Vc的值低于Vdc(也称为微电脑电压阈值Vdc)时，从低电平变为高电平。微电脑电压阈值Vdc被设定为大于微电脑19的动作下限电平VLimc(参照图11等)的值。由此，可以在第3电源电压Vc低于微电脑19的动作下限电平VLimc之前，检测第3电源电压Vc的下降，通知微电脑19。
另外，在本实施方式中，例示了电源电压监控部181与微电脑19同样地被第3电源电压Vc驱动的构成。如图7所示，在此，第3电源电压Vc比第1电源电压Va以及第2电源电压Vb小。因此，在第1比较器181A以及第2比较器181B中，通过在运算放大器的输入侧配置电阻，从而使向运算放大器的输入电压下降。即，在本实施方式中，偏压阈值Vda以及反馈电压阈值Vdb相对于经由电阻输入至运算放大器的输入电压而被设定。
微电脑的构成
微电脑19相当于驱动控制部，具有存储部191，例如存储有间隙检测部183检测出的检测信号(电压信号)和间隙G的尺寸的关系(间隙相关数据)。此外，存储部191存储波长可变干涉滤波器5的目标波长(目标值)和反馈参数的关系。
此外，如图4所示，微电脑19作为电压下降检测部192、偏压指令部193以及反馈指令部194发挥作用。
电压下降检测部192基于来自电源电压监控部181的各个检测信号Vta、Vtb、Vtc检测从电力供给部152B供给的各个电源电压Va、Vb、Vc中的至少任意一个低于阈值。即，电压下降检测部192在电力供给部152B的各个电源电压Va、Vb、Vc中的至少任意一个下降为低于阈值时，检测电压错误(Error)的产生。
偏压指令部193算出对应于目标波长的偏压V1，向偏压驱动部182输出旨在将该偏压V1施加至偏压用致动器57的偏压指令。此外，偏压指令部193在检测到电压错误时，使偏压V1下降至预定值以下。
反馈指令部194算出对应于目标波长的间隙G的尺寸的目标值，将包含该目标值的目标指令输出至反馈控制部184。此外，反馈指令部194向反馈控制部184输出旨在设定各个参数Ra、Rb、Rc的设定指令。
此外，反馈指令部194在检测到电压错误时，将目标指令和设定指令输出至反馈控制部184使得反馈电压V2下降至预定值以下。
波长可变干涉滤波器的驱动方法
图8为示出由打印机10进行的分光测定处理的一例的流程图。此外，图9为示出电压错误发生时的波长可变干涉滤波器的驱动方法的一例的流程图。此外，图10为示出反馈参数的一例的图。此外，图11-图14为示出电压错误发生时的各个电源电压Va、Vb、Vc的变化和偏压V1以及反馈电压V2的关系的图。
在打印机10中，当从外部设备30或操作输入部(省略图示)输入分光测定处理的开始指示时，控制单元15点亮分光器17的光源部171，使滤波器控制部18开始分光测定处理。滤波器控制部18使预定的测定对象波长区域(例如可视光区域)中的每个预定间隔(例如间隔20nm)的波长所对应的驱动电压依次施加至静电致动器56，获取作为分光测定结果的受光部173的受光量。
另外，在下面的说明中，目标波长(测定波长)λ与波长变量i(i＝1-16的整数)相关联。例如，波长变量i＝1、2、...、16分别与目标波长λ＝700、680、...、400nm相关联。
分光测定处理
在打印机10中，当从外部设备30或操作输入部(省略图示)输入分光测定处理的开始指示时，控制单元15点亮分光器17的光源部171，使滤波器控制部18开始分光测定处理。滤波器控制部18使对应于预定的测定对象波长区域(可视光区域)中的每个预定间隔(例如间隔20nm)的波长所对应的驱动电压依次施加至静电致动器56，获取作为分光测定结果的受光部173的受光量。
如图8所示，微电脑19接收指示来自控制单元15的分光测定开始的测定开始指令，使分光测定处理开始(步骤S1)。
首先，微电脑19将存储部191的波长变量i设为1，将波长变量i进行初始化(步骤S2)。
接着，反馈指令部194向反馈控制部184输出旨在将各个参数Ra、Rb、Rc(反馈参数)设定为对应于波长变量i的值的设定指令(步骤S3)。
相对于目标波长λ即波长变量i预先设定各个参数Ra、Rb、Rc(参照图10的一般时的值)。例如，波长变量i＝1时(在本实施方式中目标波长λ＝700nm时)，比例参数Ra＝32K(Ω)，积分参数Rb＝100K(Ω)，微分参数Rc＝95K(Ω)。存储部191存储波长变量i和反馈参数的设定值相关联的数据表，反馈指令部194参照该数据表，输出设定指令。反馈控制部184基于设定指令变更各个参数Ra、Rb、Rc。
接着，微电脑19调整静电致动器56额施加电压，将波长可变干涉滤波器5的透过光的波长(间隙G的尺寸)设定为基于目标波长λ(波长变量i)的值(步骤S4)。
具体而言，偏压指令部193算出对应于波长变量i(目标波长λ)的偏压V1，向偏压驱动部182输出旨在设定为该偏压V1的偏压指令。偏压驱动部182基于偏压指令向偏压用致动器57施加偏压V1。
此外，反馈指令部194向反馈控制部184输出对应于波长变量i(目标波长λ)的目标指令。反馈控制部184基于目标指令调整控制用致动器58的反馈电压V2。另外，目标指令包含在间隙G的尺寸被设定为对应于目标波长λ的值时的、与间隙检测部183的检测值一致的目标值。存储部191存储波长变量i和目标值相关联的数据表，反馈指令部194参照该数据表获取目标值，输出目标指令。
由此，将波长可变干涉滤波器5的间隙G的尺寸被设定为对应于目标波长λ的值。
在步骤S4中，当间隙G的尺寸被设定为对应于目标波长λ的值时，控制单元15获取作为测定结果的受光部173的受光量(步骤S5)。
接着，微电脑19在波长变量i上加1(步骤S6)，判定波长变量i是否大于最大值imax(在本实施方式中imax＝16)(步骤7)。
在没有获取对于全部目标波长λ的测定结果，步骤S7中判定为NO的情况下，微电脑19执行步骤S3之后的处理。
另一方面，在获取了对于全部目标波长λ的测定结果，步骤S7中判定为YES的情况下，判定是否接收了测定结束的指示(步骤S8)。
在步骤S8中判定为NO时，微电脑19执行步骤S2之后的处理。另一方面，在步骤S8中判定为YES时，微电脑19结束本流程图所示的分光测定处理。
检测到电压错误时的停止处理
滤波器控制部18在实施分光测定处理时，当通过电源电压监控部181检测到电压错误时，实施作为中断处理的、使偏压V1以及反馈电压V2为0V且停止波长可变干涉滤波器5的驱动的停止处理。
例如，如图11所示，在各个电源电压Va、Vb、Vc比分别设定的各个电压阈值Vda、Vdb、Vdc大即电源电压正常的情况下，实施图8所示的分光测定处理。另一方面，如图11所示，例如，在施加于微电脑19的第3电源电压Vc比微电脑电压阈值Vdc小时，从第3比较器181C输出的第3检测信号Vtc由低变高，通过电压下降检测部192检测电压错误。
如图9所示，当通过电压下降检测部192检测到电压错误时(步骤S21)，微电脑19将波长变量i设定为对应于目标波长内的最大波长的i＝1(步骤S22)。
在图11所示的例子中，波长变量i被设定为13时，由于检测到电压错误，所以不进行对应于波长变量i＝14的测定，将波长变量i设定为1。
接着，反馈指令部194向反馈控制部184输出旨在设定为对应于波长变量i＝1的各个参数Ra、Rb、Rc(参照图10)的设定指令(步骤S23)。
在本实施方式中，将向静电致动器56的施加电压为0V时的各个参数Ra、Rb、Rc设为对应于波长变量i＝1的值(参照图10的检测到错误时的粗框内的内容)。另外，不局限于本实施方式，还可以将向静电致动器56的施加电压为0V时的各个参数Ra、Rb、Rc的值设定为其他的值。
通过步骤23，将各个参数Ra、Rb、Rc的值变更为对应于波长变量i＝1的值时，微电脑19输出旨在使偏压V为0V的偏压指令以及旨在使反馈电压V2为0V的目标指令(步骤S24)。
在此，旨在使反馈电压V2为0V的目标指令为，包含作为目标值的、静电致动器56的施加电压为0V时即初始状态时的间隙检测部183的检测值的指令信号。
偏压驱动部182基于偏压指令，使偏压用致动器57的施加电压即偏压V1为0V。
此外，反馈控制部184进行反馈控制使得间隙检测值变为对应于初始状态的目标值，最终，使控制用致动器58的施加电压即反馈电压V2为0V。
另外，在波长可变干涉滤波器5的间隙G的尺寸在初始状态下稳定之后，还可以使控制单元15的电力供给停止。例如，微电脑19在检测到间隙检测值以对应于初始状态的值稳定了的情况下，将旨在停止电力供给的供给停止指令输出至控制单元15。控制单元15的电力供给部152B基于供给停止指令停止电力供给。
此外，如图11所示，在上述停止处理中，对向微电脑19施加的第3电源电压Vc下降了的情况进行了说明，但不限于此。
例如，如图12所示，向偏压驱动部182施加的第1电源电压Va低于偏压阈值Vda时，或者如图13所示，向反馈控制部184施加的第2电源电压Vb低于反馈电压阈值Vdb时，同样地，通过电压下降检测部192检测到电压下降。
此外，第1电源电压Va、第2电源电压Vb以及第3电源电压Vc中的2个或2个以上同时下降时，在通过电压下降检测部192最初检测到电压下降的时间点，实施所述停止处理。例如，如图14所示，第1电源电压Va、第2电源电压Vb以及第3电源电压Vc同时下降时，在第3电源电压Vc低于微电脑电压阈值Vdc的时间点，通过电压下降检测部192检测到电压下降。
第1实施方式的作用效果
在如上所述构成的第1实施方式中，可以得到以下的作用效果。
在各个电源电压Va、Vb、Vc的下降低于预定的阈值而发生电压错误时，可能会产生滤波器控制部18的偏压驱动部182、反馈控制部184以及微电脑19等的误动作。当产生该误动作时，例如，可能会由于向静电致动器56施加大的驱动电压，使各个反射膜54、55接触(接通)，波长可变干涉滤波器5劣化。此外，因上述误动作而可能会出现，例如，反馈控制部184的反馈控制不能够恰当地发挥作用，产生振荡。
对此，滤波器控制部18在各个电源电压Va、Vb、Vc的下降低于分别对应的预定的阈值，并检测到电压错误的时间点，使静电致动器56的驱动电压下降。由此，可以抑制由误动作引起的接通和振荡等问题，可以抑制波长可变干涉滤波器5的劣化。
此外，滤波器控制部18在电压错误发生时，将驱动电压(偏压V1以及反馈电压V2)变更为预定值(不产生由误动作引起的接通或振荡的值)以下。由此，电源电压进一步下降时，即使在滤波器控制部18产生误动作，也可以抑制接通或振荡等问题，可以抑制波长可变干涉滤波器5的劣化。
另外，通过像本实施方式那样使驱动电压为0V，从而能够进行以下处理，例如，在微电脑19的第3电源电压Vc低于微电脑19的动作下限电平VLimc之前，使控制单元15停止电力供给等。
此外，滤波器控制部18在变更反馈参数之后，使反馈电压V2下降。在这样的构成中，反馈电压V2下降时，可以基于变更后的反馈参数实施恰当的反馈控制。
此外，滤波器控制部18基于微电脑19的控制，使驱动电压下降。因此，在变更上述反馈参数之后，可以实施使驱动电压下降等的控制，可以使波长可变干涉滤波器5更恰当地停止。
第2实施方式
下面，对第2实施方式进行说明。
在第1实施方式中，检测到电压错误时，滤波器控制部18实施停止处理使得偏压V1以及反馈电压V2变为0V。对此，在第2实施方式中，滤波器控制部18使偏压V1以及反馈电压V2向0V逐步下降，这一点与第1实施方式不同。
另外，在以后的说明中，对于与第1实施方式相同的构成标注相同的符号，并省略或简化其说明。
图15为示出电压错误发生时的各个电源电压的变化和偏压V1以及反馈电压V2的关系的图。此外，图16为示出第2实施方式中的停止处理的一例的流程图。此外。图17为示出反馈参数的一例的图。
滤波器控制部18若在实施分光测定处理时检测到电压错误，则如图15以及图16所示，实施作为中断处理的、每次经过预定的时间使偏压V1以及反馈电压V2向0V逐步下降的停止处理。
在本实施方式中，微电脑19使偏压V1按照预定量在K步骤中逐步减少，从检测到错误时的电压值变更为0V。另一方面，微电脑19根据偏压V1的变更，使反馈电压V2在K-1步骤中逐步减少。另外，在图15中例示步骤数K＝4，步骤数K(步骤变量k的最大值)为固定值的情况。
例如，如图15所示，当向微电脑19施加的第3电源电压Vc比微电脑电压阈值Vdc小时，如图16所示，通过电压下降检测部192检测到电压错误(步骤S31)。
当检测到电压错误时，微电脑19将波长变量i设定为K-1，将步骤变量k设定为1(步骤S32)。在此，步骤变量k为对应于逐步降低电压时的各个步骤的变量。此外，在本实施方式中，最初将波长变量i设定为3。
接着，反馈指令部194向反馈控制部184输出旨在将各个参数Ra、Rb、Rc设定为对应于波长变量i(在图15中i＝1～3)的值(参照图17的电压错误发生时的粗框内的内容)的设定指令(步骤S33)。
反馈控制部184根据设定指令变更各个参数Ra、Rb、Rc的值。另外，在本实施方式中，将向静电致动器56的施加电压为0V时的各个参数Ra、Rb、Rc设为对应于波长变量i＝1的值，但不限于波长变量i＝1，还可以将向静电致动器56的施加电压为0V时的各个参数Ra、Rb、Rc设为其他的值。
接着，微电脑19输出偏压指令以及目标指令(步骤S34)。
偏压驱动部182向偏压用致动器57施加基于偏压指令的偏压V1。
此外，反馈控制部184基于目标值进行反馈控制，最终，将控制用致动器58的被施加的反馈电压V2调整为基于目标值的值。
在此，偏压指令部193基于步骤变量k获取偏压V1，输出基于该偏压V1的偏压指令。
例如，也可以使偏压V1在预定的步骤数K中按照预定量逐步减少。在该情况下，使错误检测时的电压值为Vo，偏压V1的1步骤中的减少量为Vo/K。此外，对应于步骤变量k(k＝1～K)的偏压V1为Vo-(Vo/K)×k。
如上所述，使偏压V1从检测到错误时的电压值Vo按照预定量逐步减少时，反馈指令部194例如输出基于偏压V1的目标指令。即，反馈指令部194获取与对应于步骤变量k的偏压V1最接近的偏压V1相关联的波长变量i。然后，反馈指令部194输出对应于获取的波长变量i的目标指令。因此，例如，可以抑制由于目标值相对于偏压V1过大或过小，因此反馈控制不能够恰当地发挥作用的这种问题。
另外，还可以为与检测到错误时的电压值Vo无关，预先算出对应于步骤变量k的偏压V1，将偏压V1与步骤变量k相关联地存储至存储部191。在该情况下，还可以预先设定对应于步骤变量k的反馈控制部184的目标值或反馈参数，使其存储至存储部191。在该情况下，不需要算出偏压V1或目标值，可以抑制微电脑19的处理负荷的增大。
接着，微电脑19在步骤S34中输出偏压指令以及目标指令后，判定是否经过了预定时间(步骤S35)。
在此，预定时间被设定为从微电脑19输出偏压指令和目标指令之后用于获取受光部173的受光量的足够的时间。即，预定时间包括：偏压V1以及反馈电压V2被变更之后，波长可变干涉滤波器5的间隙G的尺寸稳定的稳定化时间；用于获取测定值的测定时间。
微电脑19，在步骤S35中当判定为NO时重复同样的判定，当判定为YES时，从波长变量i减去1，且向步骤变量k加上1(步骤S36)。
接着，微电脑19判定是否是波长变量i＝1(步骤变量k＝K-1)(步骤S37)。
波长变量i不是1时(步骤S37:NO)，返回步骤S33，实施以后的处理。
另一方面，在步骤S37中判定为YES时，微电脑19输出对应于偏压V1＝0的偏压指令以及目标指令(步骤S38)。
在此，波长变量i＝1(步骤变量k＝K-1)时，反馈电压V2已变为0V。在本实施方式中，微电脑19不变更反馈参数的各个值，输出与向静电致动器56的施加电压为0V即间隙G的尺寸为初始值情况对应的偏压指令以及目标指令。
另外，在第2实施方式中，采用4步骤使偏压V1下降至0V，采用3步骤使反馈电压V2下降至0V。即，采用彼此不同的步骤使其下降至0V。但是，不限于此，还可以采用与偏压V1和反馈电压V2相同的步骤数将其变更为0V。
第2实施方式的作用效果
在如上所述构成的第2实施方式中，可以在第1实施方式的作用效果的基础上获得以下的作用效果。
滤波器控制部18在电压错误产生时，通过将驱动电压递减至预定值以下，从而能够使变更一次驱动电压时的驱动电压的变化量减小。由此，通过以一次变更使驱动电压急剧变化，从而能够抑制间隙量(静电致动器56的驱动电压)的控制不良的产生。例如，将反馈电压V2变更为较大时，可能会反馈控制部184的反馈控制未被恰当地实施，并产生振荡，或者稳定化时间增大。对此，在本实施方式中，可以抑制上述控制不良的产生。
第3实施方式
下面，对第3实施方式进行说明。
在第2实施方式中，检测到电压错误时，滤波器控制部18使偏压V1以及反馈电压V2逐步下降至0V。对此，在第3实施方式中，滤波器控制部18在使偏压V1以及反馈电压V2向0V逐步下降时，在各个电源电压中的任意一个低于第2阈值的时间点，将偏压V1以及反馈电压V2变更为0V，这一点与第2实施方式不同。
另外，在以后的说明中，对于和上述实施方式同样的构成，标注相同的符号，省略或简化其说明。
图18为示出电压错误发生时的各个电源电压的变化和偏压V1以及反馈电压V2的关系的图。
如图18所示，对于第3电源电压Vc设定有第1微电脑电压阈值Vdc1和比第1微电脑电压阈值Vdc1小的第2微电脑电压阈值Vdc2。各个电压阈值Vdc1、Vdc2被设定为比微电脑的动作下限电平VLimc大的值。如图18所示，滤波器控制部18在第3电源电压Vc低于第1微电脑电压阈值Vdc1且第2微电脑电压阈值Vdc2以上时，使偏压V1以及反馈电压V2逐步降低。此外，滤波器控制部18在第3电源电压Vc低于第2微电脑电压阈值Vdc2时间点，使偏压V1以及反馈电压V2为0V。
具体而言，当第3电源电压Vc降低，低于第1微电脑电压阈值Vdc1时，微电脑19实施作为对分光测定处理实施的中断处理的、图16所示的第2实施方式的停止处理(以下，也称为递减处理)。
此外，在实施递减处理时，当第3电源电压Vc进一步降低，低于第2微电脑电压阈值Vdc2时，微电脑19实施作为对递减处理实施的中断处理的、图8所示的第1实施方式的停止处理。
为了检测第3电源电压Vc低于各个电压阈值Vdc1、Vdc2，与上述各个实施方式同样地，在电源电压监控部181设置对应于各个电压阈值Vdc1、Vdc2的比较器即可。
如上所述，关于对第3电源电压Vc设定2个阈值的情况进行了说明，但是对于第1电源电压Va以及第2电源电压Vb也同样地设定有2个阈值(第1阈值和比第1阈值小的第2阈值)。
另外，也可以对全部的电源电压Va、Vb、Vc都不设定2个阈值，但是通过对第3电源电压Vc设定2个阈值，可以更可靠地抑制微电脑19的误动作。
第3实施方式的作用效果
在如上所述构成的第3实施方式中，在第1实施方式的作用效果的基础上可以获得以下的作用效果。
在本实施方式中，对各个电源电压Va、Vb、Vc分别设定有上述第1阈值以及第2阈值。各个电源电压Va、Vb、Vc低于分别设定的第1阈值时，即发生电压错误时，滤波器控制部18通过使静电致动器56的驱动电压递减，与第2实施方式同样地，可以在滤波器控制部18的恰当的控制下降低驱动电压。
此外，在电压错误发生后，当各个电源电压Va、Vb、Vc进一步降低，低于分别设定的第2阈值时，滤波器控制部18将驱动电压变更为预定值以下。由此，可以在电压控制部的故障产生之前使驱动电压下降至预定值以下，可以抑制误动作的影响，可以抑制波长可变干涉滤波器5的劣化。另外，通过像本实施方式这样使驱动电压为0V，例如，还可以在微电脑的第3电源电压Vc低于微电脑19的动作下限电平VLimc之前，使控制单元15进行停止电力的供给等的处理。
变形例
另外，本发明不限于上述各实施方式以及变形例，通过可以达成本发明的目的的范围内的变形、改进以及适当组合各个实施方式等而得到的构成包含于本发明。
变形例1
在上述各个实施方式中，使偏压V1和反馈电压V2下降的时间点设为同时，但不限于此，也可以使上述时间点不同。
图19为示出变形例1中的电压错误发生时的各个电源电压的变化和偏压V1以及反馈电压V2的关系的图。
如图19所示，电压错误发生时，在维持偏压V1的状态下，使反馈电压V2为0V，此后，也可以使偏压V1为0V。
具体而言，例如，反馈指令部194基于电压错误发生时的波长变量i，获取不变更偏压V1且使反馈电压V2为0V时的目标值(对应于间隙G的尺寸的间隙检测部183的检测值)，并将其输出至反馈控制部184。另外，还可以预先算出目标值，将其存储至存储部191。此后，反馈电压V2以0V稳定，间隙检测部183的检测值不变动时，偏压指令部193输出旨在使偏压V1为0V的偏压指令，并且，反馈控制部194输出对应于初始间隙的目标指令。
这样，电压错误发生后，通过在改变偏压V1之前变更反馈电压V2，可以在滤波器控制部18的误动作发生之前即在恰当的反馈控制之下使反馈电压V2下降。
此外，通过不变更偏压V1且变更反馈电压V2，可以更可靠且迅速地进行反馈控制部184的间隙G的变更。
此外，基于反馈电压V2即波长变量i可以容易地算出使偏压V1为0V时的目标值，可以抑制微电脑19的处理负荷的增大。
另外，在上述处理中，反馈指令部194在将反馈电压V2变更为0V之后且使偏压V1为0V之前，可以将反馈参数变更为对应于各个电压V1、V2为0V时的值(例如，对应于波长变量i＝1的值)。此外，反馈指令部194的反馈参数的变更时间点也可以在将反馈电压V2变更为0V之前。
此外，也可以使偏压V1以及反馈电压V2各自递减。
变形例2
图20为示出变形例2中的电压错误发生时的各个电源电压的变化和偏压V1以及反馈电压V2的关系的图。
如图20所示，电压错误发生时，也可以在使偏压V1为预定值以下的0V之后，使反馈电压V2逐步下降而变为0V。
具体而言，例如，偏压指令部193输出旨在使偏压V1为0V的偏压指令，并且反馈指令部194输出目标指令。在此，反馈指令部194输出与使偏压V1为0V，将反馈电压V2维持在电压错误发生时的值情况对应的目标值。该反馈指令部194，例如，每次经过稳定化时间以上的预定时间，依次变更目标值，使反馈电压V2逐步下降。
另外，反馈指令部194也可以在变更偏压V1之前变更反馈参数。作为反馈参数，例如，可以使用对应于步骤变量k或波长变量i＝1的值，或对应于静电致动器56的施加电压为0V时的值等。
变形例3
在上述第2实施方式中，逐步降低偏压V1以及反馈电压V2，但也可以将偏压V1以及反馈电压V2中的任意一个在检测到电压错误时变更为0V，并且使另一个进行递减。
图21为示出变形例3中的电压错误发生时的各个电源电压的变化和偏压V1以及反馈电压V2的关系的图。
如图21所示，电压错误发生时，使偏压V1为0V且使反馈电压V2逐步下降。即，除了用1步骤将偏压V1变更为0V的这一点之外，实施与第2实施方式的停止处理相同的处理。
例如，反馈指令部194若检测到电压错误，则变更反馈参数。此后，偏压指令部193输出旨在使偏压V1为0V的偏压指令，并且反馈指令部194输出目标指令。反馈指令部194基于步骤变量k算出对应于反馈电压V2的目标值。而且，反馈指令部194例如每此经过稳定化时间以上的预定时间，依次变更目标值，逐步降低反馈电压V2。由此，在错误发生时可以将偏压V1迅速变更为0V，保并且，可以在恰当的反馈控制之下，使反馈电压V2进行递减。此外，由于使偏压V1为0V，因此容易算出使反馈电压V2递减时的目标值。
另外，反馈指令部194还可以将反馈参数设定为对应于波长变量i(步骤变量k)的值，还可以将其设定为对应于向静电致动器56的施加电压为0V时的值。
变形例4
在上述各个实施方式中，在使偏压V1以及反馈电压V2为0V之后，控制单元15基于来自微电脑19的供给停止指令，使电力供给部152B停止，从而使向滤波器控制部18的电力供给停止，但不限于此。例如，单元控制电路152还可以构成为：具有切换电力供给部152B和滤波器控制部18的连接状态的开关，使该开关处于切断状态。
图22为示意性地示出控制单元15和滤波器控制部18的主要部件的图。
如图22所示，电力供给部152B通过电力供给用的配线与滤波器控制部18连接。电力供给用的配线包括：用于施加第1电源电压Va的第1配线；用于施加第2电源电压Vb的第2配线；用于施加第3电源电压Vc的第3配线。
单元控制电路152构成为：具有第1开关152C1、第2开关152C2、第3开关152C3，可以通过控制部152A的控制而在开启状态(连接状态)和关闭状态(非连接状态)之间进行切换。
第1开关152C1切换第1配线和电力供给部152B的连接。第1开关152C1在开启状态下可以向偏压驱动部182供给电力。
第2开关152C2切换第2配线和电力供给部152B的连接。第2开关152C2在开启状态下可以向反馈控制部184供给电力。
第3开关152C3切换第3配线和电力供给部152B的连接。第3开关152C3在开启状态下可以向微电脑19供给电力。
控制部152A基于来自微电脑19的指令，控制各个开关152C1、152C2、152C3的状态。例如，微电脑19的电压下降检测部192基于来自电源电压监控部181的检测信号(第1检测信号Vta、第2检测信号Vtb以及第3检测信号Vtc)检测电压错误时，向控制部152A输出旨在停止电力供给的供给停止指令。控制部152A基于供给停止指令将各个开关152C1、152C2、152C3从开启状态切换为关闭状态，电力供给部152B和滤波器控制部18处于非连接状态。
这样，通过基于来自微电脑19的指令将各个开关152C1、152C2、152C3切换为关闭状态，从而可以停止从电力供给部152B向滤波器控制部18的电力供给。
此外，有时各个电源电压Va、Vb、Vc的下降起因于滤波器控制部18内的电路的短路。在该情况下，可能会产生由滤波器控制部18的误动作引起的波长可变干涉滤波器5的破损或由过电流引起的滤波器控制部18的发热和破损等。对此，在变形例4中，可以使各个开关152C1、152C2、152C3为关闭状态，从而切断电力供给部152B和滤波器控制部18的连接，因此更可靠地抑制上述问题发生于波长可变干涉滤波器5和滤波器控制部18。
另外，检测到电压错误时，使各个开关152C1、152C2、152C3为关闭状态，但是，例如，还可以根据各个电源电压Va、Vb、Vc中的任意一个发生电压下降，来选择使各个开关152C1、152C2、152C3中的任意一个为关闭状态。例如，向偏压驱动部182施加的第1电源电压Va下降时，只将第1开关152C1为关闭状态而停止第1电源电压Va的供给，并且，也可以实施偏压V1＝0V时的上述停止处理。此外，向反馈控制部184施加的第2电源电压Vb下降时也是同样地，可以只将第2开关152C2为关闭状态。此外，向微电脑19施加的第3电源电压Vc以外的电压下降时，可以只将第1开关152C1以及第2开关152C2为关闭状态。进而，第3电源电压Vc下降时，可以使全部开关152C1、152C2、152C3为关闭状态。
此外，在使各个开关152C1、152C2、152C3为关闭状态之前，可以实施上述各个实施方式及变形例中记载的停止处理。由此，可以在波长可变干涉滤波器5为初始状态之后，停止电力供给。
变形例5
在上述各个实施方式中，电压错误发生时，基于微电脑19的偏压驱动部182以及反馈控制部184的控制，使偏压V1以及反馈电压V2下降，但不限于此。例如，还可以构成为：具备基于电源电压监控部181的检测信号，使偏压驱动部182和偏压用致动器57的连接或反馈控制部184和控制用致动器58的连接为关闭状态的开关电路。在这样的构成中，可以抑制由微电脑19中的停止处理引起的处理负荷的增大。
图23为示出变形例5所涉及的滤波器控制部18A的概略构成的图。此外，图24为示出滤波器控制部18A所具有的反馈控制部184A的概略构成的图。
如图23所示，在滤波器控制部18A中，向反馈控制部184A输入来自电源电压监控部181的检测信号。
如图24所示，反馈控制部184A包括：PID控制器20；驱动电路21；以及开关电路22。
驱动电路21相当于输出部，基于来自PID控制器20的输出，向波长可变干涉滤波器5的控制用致动器58(参照图23)施加反馈电压V2。
开关电路22，基于来自电源电压监控部181的检测信号切换驱动电路21和控制用致动器58之间的连接状态。即，当各个检测信号(第1检测信号Vta、第2检测信号Vtb以及第3检测信号Vtc)低时，使开关电路22为驱动电路21和控制用致动器58连接的开启状态，当各个检测信号高时，使开关电路22为驱动电路21和控制用致动器58未连接的关闭状态。
另外，也可以在偏压驱动部182设置同样的开关电路。此外，也可以将电源电压监控部181的检测信号输入微电脑19。由此，微电脑19可以检测电压错误的发生，例如，能够实施电力供给的停止或中止分光测定处理等的基于电压错误的检测的处理。
其他变形例
在上述第2实施方式中，例示了使逐步降低偏压V1以及反馈电压V2时的步骤数K为固定值的情况，但也可以变更步骤数K。
例如，也可以使偏压V1从检测到错误时的电压值Vo按照预定的减小量ΔV1逐步减小，在该情况下，得到作为将电压值Vo除以减少量ΔV1的商的步骤数K。另外，在该情况下，对应于步骤数k(k＝1～K)的偏压V1为ΔV1×(K-k)。此外，反馈电压V2也按照对应于步骤数K的次数逐步减少。在这样的构成中，虽然根据检测到错误时的电压值Vo变更步骤数K，但是可以预先算出各个步骤中的偏压V1以及反馈电压V2。
在上述各个实施方式以及变形例中，例示了电压错误产生时，使静电致动器56的驱动电压下降而将其为0V的情况，但不限于此，例如，还可以将驱动电压变更为大于0V的预定值以下的值。由此，可以抑制由误动作引起的接通和振荡等问题。
在上述各个实施方式和变形例中，例示了静电致动器56具备偏压用致动器57和控制用致动器58的构成，但不限于此。例如，还可以构成为具有偏压用致动器57和控制用致动器58中的任意一个。
在上述各个实施方式中，例示了使滑架13沿X方向移动的滑架移动单元14，但不限于此。例如，还可以是将滑架13固定，使介质A相对于滑架13移动的构成。在该情况下，可以抑制伴随着滑架13的移动的波长可变干涉滤波器5的振动，可以使波长可变干涉滤波器5的透过波长稳定化。
此外，例示了使介质A沿Y方向移动的输送单元12，但不限于此。例如，还可以是使滑架13相对于介质A沿Y方向移动的构成。
在上述各个实施方式中，作为印刷部16例示了驱动压电元件喷出从墨盒供给的墨的喷墨型的印刷部16，但不限于此。例如，作为印刷部16，还可以为通过加热器在墨内产生气泡而喷出墨的构成，还可以为通过超声波振子喷出墨的构成。
此外，不限于喷墨方式的打印机，例如还可以适用于使用热转印方式的热打印机、激光打印机、针式打印机等任何印刷方式的打印机。
在上述各个实施方式中，作为波长可变干涉滤波器5例示了从入射光中使对应于反射膜54、55间的间隙G的波长的光透过的光透过型的波长可变干涉滤波器5，但不限于此。例如，还可以使用使对应于反射膜54、55间的间隙G的波长的光反射的、光反射型的波长可变干涉滤波器。
此外，例示了在壳体6收纳有波长可变干涉滤波器5的光学滤波器设备172，但还可以为波长可变干涉滤波器5直接设置于分光器17的构成等。
在上述各个实施方式中，例示了具备作为光学模块的分光器17的打印机10，但不限于此。例如，还可以为不具备图像形成部，只实施对于介质A的分光测定处理的色相不均分光测定装置。此外，还可以将上述光学模块安装于进行例如在工厂等制造的印刷品的质量检查的质量检查装置，另外，还可以将本发明的光学模块安装于任何装置。
另外，本发明实施时的具体构造可以构成为在可达成本发明的目的范围内适当地组合上述各个实施方式以及变形例，此外也可以适当地变为其他的构造等。

Claims (9)

1.一种光学模块，其特征在于，具备：
波长可变干涉滤波器，具有隔着反射膜间间隙对置的2个反射膜以及变更所述反射膜间间隙的间隙量的静电致动器；以及
电压控制部，被来自电力供给部的多个供给电压驱动，向所述静电致动器施加驱动电压，
在所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，所述电压控制部降低所述驱动电压。
2.根据权利要求1所述的光学模块，其特征在于，
在所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，所述电压控制部将所述驱动电压变更为预定值以下的值。
3.根据权利要求2所述的光学模块，其特征在于，
所述电压控制部使所述驱动电压递减。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学模块，其特征在于，
在所述多个供给电压中的任一低于预定的第1阈值的情况下，所述电压控制部使所述驱动电压递减，并且在所述多个供给电压中的任一低于比所述第1阈值小的第2阈值的情况下，所述电压控制部将所述驱动电压变更为预定值以下的值。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学模块，其特征在于，
所述波长可变干涉滤波器具有作为所述静电致动器的、第1静电致动器和第2静电致动器，
所述电压控制部具有：
间隙检测部，检测所述间隙量；第1驱动部，向所述第1静电致动器施加作为所述驱动电压的第1驱动电压；以及第2驱动部，进行反馈控制，以使得所述间隙量的检测值接近所述间隙量的目标值，所述第2驱动部向所述第2静电致动器施加作为所述驱动电压的第2驱动电压，
在所述多个供给电压中的任一低于所述预定的阈值的情况下，所述电压控制部降低所述第2驱动电压之后，降低所述第1驱动电压。
6.根据权利要求5所述的光学模块，其特征在于，
所述第2驱动部能够变更所述反馈控制中的驱动参数，在降低所述第2驱动电压时变更所述驱动参数。
7.根据权利要求5或6所述的光学模块，其特征在于，
所述电压控制部具备电压监控部，所述电压监控部输出表示所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的检测信号，
所述第2驱动部具有：
输出部，输出所述第2驱动电压；以及
开关电路，设置于所述输出部的输出侧，并切换所述输出部与所述第2静电致动器之间被连接的连接状态和被切断的非连接状态，所述开关电路在被输入所述检测信号的情况下，从所述连接状态切换至所述非连接状态。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的光学模块，其特征在于，
所述电压控制部具备：驱动部，向所述静电致动器施加所述驱动电压；以及驱动控制部，控制所述驱动部，
在所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，所述驱动控制部控制所述驱动部而使所述驱动电压降低。
9.一种电子设备，其特征在于，具备：
光学模块，具有波长可变干涉滤波器和电压控制部，所述波长可变干涉滤波器具有隔着反射膜间间隙对置的2个反射膜以及变更所述反射膜间间隙的间隙量的静电致动器，所述电压控制部被来自电力供给部的多个供给电压驱动，向所述静电致动器施加驱动电压；以及
模块控制部，控制所述光学模块，
在所述多个供给电压中的任一低于预定的阈值的情况下，所述电压控制部降低所述驱动电压。
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