CN107894741A - 一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备 - Google Patents
一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107894741A CN107894741A CN201711079896.7A CN201711079896A CN107894741A CN 107894741 A CN107894741 A CN 107894741A CN 201711079896 A CN201711079896 A CN 201711079896A CN 107894741 A CN107894741 A CN 107894741A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- chamber
- pressure
- controller
- low
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 title claims abstract description 21
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 45
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 23
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 14
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 15
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 5
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 abstract description 4
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 abstract description 4
- 230000007773 growth pattern Effects 0.000 abstract description 3
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 235000011194 food seasoning agent Nutrition 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 230000012010 growth Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 210000001787 dendrite Anatomy 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000005518 electrochemistry Effects 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
- G05B19/05—Programmable logic controllers, e.g. simulating logic interconnections of signals according to ladder diagrams or function charts
- G05B19/058—Safety, monitoring
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D27/00—Simultaneous control of variables covered by two or more of main groups G05D1/00 - G05D25/00
- G05D27/02—Simultaneous control of variables covered by two or more of main groups G05D1/00 - G05D25/00 characterised by the use of electric means
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/10—Plc systems
- G05B2219/16—Plc to applications
- G05B2219/163—Domotique, domestic, home control, automation, smart, intelligent house
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
本发明提供了一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，属于薄膜制备装备领域。该装备包括制备腔室、低压腔室、真空泵、稳压装置、抽气控制器、实验环境控制装置；制备腔室用于放置含有液膜的基体，通过抽气控制器与低压腔室连接；低压腔室分别与真空泵和稳压装置连接；实验环境控制装置连接制备腔室，用于控制制备腔室内的温度和湿度。其可以调节薄膜制备过程中的温度、压力、湿度等参数特征，进一步调控薄膜干燥过程中溶质结晶形核方式以及晶体的生长方式，从而制备具有特定需求的薄膜。
Description
技术领域
本发明属于薄膜制备装备领域，涉及一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备。
背景技术
薄膜技术在电子电器、机械、印刷等行业有着重要的应用，主要有光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜等具体实例，在各自的领域有着重要的作用。在薄膜的制备工艺中，成膜的方法主要可分为干式法和湿式法两种。干式法主要有物理气相沉积、化学气相沉积、热喷涂、压延轧制等等，如果想要获得较薄且结合强度好的薄膜，通常对于薄膜制备环境以及生长速度等有着较为严苛的要求，薄膜制备设备也相对较为复杂。湿式法主要有电镀、化学镀、丝网印刷、溶胶-凝胶法、自然干燥法等几种。由于在薄膜制备过程中，不可避免的存在某些材料对于环境温度、电化学、气氛条件等敏感度较强的情况，不得不采用自然干燥法的方式进行。自然干燥法在制备薄膜过程中等待溶剂的挥发与溶质的结晶成膜所花费的时间较长，且晶粒生长的均匀性无法得到保障，大大制约了薄膜的制备效果。
自然干燥法的薄膜制备方式与其他方式相比具有成本低廉，操作方便等许多明显得优点，但是由于薄膜制备时间较长、薄膜质量长等等许多问题限制了它的使用，倘若通过对自然干燥法制备薄膜过程中的某些参数如气压等，进行相应的调控，控制结晶速度及方式，将会大大提高自然干燥法的应用价值，解决敏感性薄膜制备的技术难点。
发明内容
本发明的目的在于提供一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其可以调节薄膜制备过程中的温度、压力、湿度等参数特征，进一步调控薄膜干燥过程中溶质结晶形核方式以及晶体的生长方式，从而制备具有特定需求的薄膜。
本发明是通过以下技术方案来实现：
一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，包括制备腔室、低压腔室、真空泵、稳压装置、抽气控制器、实验环境控制装置；制备腔室用于放置含有液膜的基体，通过抽气控制器与低压腔室连接；低压腔室分别与真空泵和稳压装置连接；实验环境控制装置连接制备腔室，用于控制制备腔室内的温度和湿度。
优选地，所述制备腔室包括底板和覆盖底板的盖体，底板和盖体之间可拆卸地密封连接；底板和盖体之间的腔室空间用于放置含有液膜的基体。
优选地，底板和盖体之间设置橡胶密封圈，使得制备腔室在工作时最低压力能够达到10-5Pa。
优选地，抽气控制器包括流量调节阀、控制器和压力传感器，压力传感器检测制备腔室内的压力并将信号传输给控制器，控制器根据所接收的信号控制流量调节阀的开度；流量调节阀的一端连接制备腔室，另一端连接低压腔室。
优选地，抽气控制器还包括与流量调节阀串联的净化器，净化器与流量调节阀设置在制备腔室与低压腔室之间。
优选地，抽气控制器还包括真空破除器，真空破除器的一端连接空气，另一端连接制备腔室。
优选地，真空泵为机械泵、分子泵、扩散泵、低温泵、离子泵、水环泵中的一种或多种；当真空泵为多个泵时，各个泵之间串联。
优选地，稳压装置包括控制器、压力传感器和流量调节阀，压力传感器设置在低压腔室内并将压力信号传输给控制器，控制器根据接收的压力信号控制流量调节阀的开度，流量调节阀的一端连接低压腔室，另一端连接空气。
优选地，所述控制器设置有存储器，用于存储压力传感器检测的压力和相应的流量调节阀的开度。
优选地，在真空泵与低压腔室之间设置有抽气阀门。
与现有技术相比，本发明具有以下有益的技术效果：
本发明提供的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其包括制备腔室，制备腔室用于放置含有液膜的基体。制备腔室连接的实验环境控制装置能够控制制备腔室内的温度和湿度，进而控制薄膜制备过程中的温度和湿度参数。真空泵与低压腔室连接，使得低压腔室内产生负压；稳压装置可以对低压腔室内的负压进行调节和稳定，使得作业人员可以通过低压腔室获得负压大小适宜且稳定的负压源；制备腔室通过抽气控制器与低压腔室连接，因此，在具有稳定的负压源的条件下，作业人员可以通过抽气控制器控制制备腔室内的压力变化过程和最终负压，进而控制薄膜制备过程中的压力变化和最终负压参数。本发明提供的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其能够准确、方便地控制薄膜制备过程中液膜所处的环境(温度、压力、湿度等)，并根据需要控制整个成膜过程中的压力变化特性，进而可以准确地调整薄膜干燥过程中溶质结晶形核方式以及晶体的生长方式，从而制备出具有特定需求的、高性能的薄膜。
附图说明
图1为本发明提供的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备的一种结构示意图，其中，稳压装置和抽气控制器分别连接独立的控制器。
其中，1是制备腔室，2是低压腔室，3是真空泵，4是抽气阀门，5是稳压装置，6是抽气控制器，7是实验环境控制装置。
具体实施方式
下面结合具体的实施例对本发明做进一步的详细说明，所述是对本发明的解释而不是限定。
实施例1
本发明提供的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，总体上主要包含制备腔室1、低压腔室2、真空泵3、稳压装置5、实验环境控制装置7。
制备腔室1结构可以与现有结构保持一致(非标定制的)，包括上盖体和底板，其中在上盖体和底板之间具有缓冲密封件。
抽气控制器6连接在制备腔室1和低压腔室2之间，包括“十”字分支管道、破真空器、压力传感器、流量调节阀和净化器。在制备腔室1上盖体上设有一个气路，气路连接“十”字分支管道，并通过一个“十”字分支管道分为三路；一路连接破真空器，另一路连接抽气控制器6的压力传感器，最后一路连接有抽气控制器6的流量调节阀，继而连接净化器，然后连接在低压腔室2上。流量调节阀采用气体质量流量控制器。破真空器采用高真空电磁挡板阀。抽气控制器6的控制器为PLC编程器。
低压腔室2连接稳压装置5，其中，稳压装置5包括设置在低压腔室2内的压力传感器和与低压腔室2相连的气体质量流量控制器，压力传感器和气体质量流量控制器与控制器连接。当低压腔室2内的压力过低时，气体质量流量控制器将打开一定开度并向低压腔室2内充入气体，升高低压腔室2内的压力。同样的，气体质量流量控制器也可以一直保持一定或变化的开度，以便与真空泵3相配合调节低压腔室2内的压力。
低压腔室2还相连高真空电磁挡板阀，高真空电磁挡板阀连接机械泵，实现对低压腔室2的抽气和降压。
实验环境控制装置7包括温度测控装置和湿度测控装置，其中，抽气腔室上盖体与抽气腔室底板上设置有热电偶温度传感器及加热电阻片，热电偶温度传感器及加热电阻片连接在控制器上。抽气腔室上设置有湿度传感器及腔室内部安装有半导体冷凝除湿器，湿度传感器和半导体冷凝除湿器连接在控制器上。低压腔室2上连接有高真空电磁挡板阀，高真空电磁挡板阀连接有机械泵。低压腔室2上连接有稳压装置5的压力传感器、气体质量流量控制器，再连接在控制器上。所有的控制器统一集成为一个微电脑，控制所有器件的使用过程。
应用实施例如下：
操作过程：
1.设备准备；使用前预先开启设备，设置系统真空状态及使用参数，包括低压腔室2压力值，制备腔室1温度、湿度。
2.样品制备；通过旋涂、喷雾等不同的方式在基体的表面制备均匀的液膜。
3.制备进行；将基体放置入制备腔室1，并盖好盖体，随即打开抽气控制器6进行液膜环境调控，制备薄膜。整个过程其他装置都在运行，稳压装置5不停监测，保持或者按一定规律改变压力值(改变方式可采用预先设定程序、在线调控或者调用记录的方式)，同时记录实验数据；抽气控制器6不停监测，保持或者按一定规律改变开度(改变方式可采用预先设定程序、在线调控或者调用记录的方式)，同时记录实验数据。
4.制备完成：根据具体液膜固化的时间长度设计整个实验的时间长度，实验完成后，制备腔室1破真空后取出样品即可。
结果与讨论：
由于控制整个过程中液膜的溶质蒸发过程，从而控制了液膜内部溶质分子的形核方式，同时该过程进而对晶体生长过程中的传质传热进行了调控，从而改变了晶体的生长方式。对于制备过程中的不同参数，能够制备出多孔结构、柱状枝晶等不同形貌的薄膜。根据不同使用场合的薄膜，从功能角度出发，设计薄膜结构，再通过实验控制即可制备出高性能的薄膜材料。
实施例2
一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，包括制备腔室1、低压腔室2、真空泵3、稳压装置5、抽气控制器6、实验环境控制装置7；制备腔室1用于放置含有液膜的基体，通过抽气控制器6与低压腔室2连接；低压腔室2分别与真空泵3和稳压装置5连接；实验环境控制装置7连接制备腔室1，用于控制制备腔室1内的温度和湿度。
其中，所述制备腔室1包括底板和覆盖底板的盖体，底板和盖体之间可拆卸地密封连接；底板和盖体之间的腔室空间用于放置含有液膜的基体。底板和盖体之间可以设置橡胶密封圈，使得制备腔室1在工作时最低压力能够达到10-5Pa，其中，所述压力为绝对压力。一般的，在应用时，制备腔室1的工作压力在10-5-0.9·105Pa之间，制备腔室1的密封程度需要能够保证制备腔室1可以达到该真空度。其中，盖体和底板之间形成的密封空间，其体积在0.001L～500L之间。在底板上，还可以设置用于固定基体的固定装置。必要时，底板上还可以设置基板支架，如此可以在自制备腔室1内放置多层或多块基板，方便薄膜的快速生产。底板和盖体之间可以通过外加压的方式预固定，当制备腔室1的体积比较大时，底板与盖体之间也可以通过卡扣连接。
其中，抽气控制器6包括流量调节阀、控制器和压力传感器，压力传感器检测制备腔室1内的压力并将信号传输给控制器，控制器根据所接收的信号控制流量调节阀的开度；流量调节阀的一端连接制备腔室1(可以是盖体，也可以是底板)，另一端连接低压腔室2。抽气控制器6还包括与流量调节阀串联的净化器，净化器与流量调节阀设置在制备腔室1与低压腔室2之间。如此，净化器可以净化从制备腔室1内抽出的气体。其中，在一种实现方式中，抽气控制器6还包括真空破除器，真空破除器的一端连接空气，另一端连接制备腔室1。当然，真空破除器可以直接连接并固定到制备腔室1上，也可以固定到流量调节阀或净化器上并通过管路连接制备腔室1。其中，抽气控制器6的控制器既可以是单独设立的控制器，如PLC板或单片机等，也可以是整个装备的中央处理器。
其中，真空泵3为机械泵、分子泵、扩散泵、低温泵、离子泵、水环泵中的一种或多种；当真空泵3为多个泵时，各个泵之间串联。
其中，稳压装置5包括控制器、压力传感器和流量调节阀，压力传感器设置在低压腔室2内并将压力信号传输给控制器，控制器根据接收的压力信号控制流量调节阀的开度，流量调节阀的一端连接低压腔室2，另一端连接空气。如此，稳压装置5可以根据低压腔室2内的压力调节流量调节阀的开度，使得低压腔室2内的压力维持在适宜的负压状态。稳压装置5的控制器既可以是单独设立的控制器，也可以是整个装备的中央控制器。该控制器可以设置存储器，用于存储压力传感器检测的压力和相应的流量调节阀的开度。如此，当低压腔室2内压力变化时，控制器可以搜索存储在存储器中的数据，以便寻找是否有适宜的方案，进而减小将低压腔室2调整回目标区域的时间，减小低压腔室2内的压力波动，使得低压腔室2成为一个稳定的负压源。
其中，低压腔室2的体积在0.001-5000L之间，其能够达到10-5-0.9·105Pa的真空条件。
其中，在真空泵3与低压腔室2之间设置有抽气阀门4，抽气阀门4可以为机械阀门、电动阀门、气动阀门、气体流量调整器中的一种或多种的组合。
其中，实验环境控制装置7包括温度检测与控制单元、湿度检测与控制单元，温度检测与控制单元包括加热器、温度检测器和控制器，加热器设置在制备腔室1内部或外部，实现对制备腔室1内的加热或供热，温度检测器设置在制备腔室1内部用于检测制备腔室1内的温度，并将检测的温度数据传输给控制器，控制器控制加热器的工作。其中，温度检测与控制单元的控制器既可以是独立设置的控制器，也可以是整个装备的中央处理器。
湿度检测与控制单元包括加湿器、湿度传感器和控制器，加湿器设置在抽取腔室上且其水汽出口与制备腔室1之间具有可开闭的通道，用于调整制备腔室1内的湿度。湿度传感器测量制备腔室1内的湿度并将数据传输给控制器，控制器控制加湿器及可开闭的通道的工作。其中，湿度检测与控制单元的控制器既可以是独立设置的控制器，也可以是整个装备的中央处理器。
其中，在一种可行的实现方式中，整个装备还设置控制装置，控制装置包括中央处理器，如此，中央处理器可以同时作为稳压装置5的控制器、抽气控制器6的控制器、温度检测与控制单元的控制器和湿度检测与控制单元的控制器，同时，中央处理器还可以连接并控制真空泵3、抽气阀门4、真空破除器。控制装置还可以包括输入装置、存储器和显示装置，输入装置、显示装置和存储器均与中央处理器连接，输入装置用于输入和设定整个设备的工作参数，显示装置用于显示输入的设定和实时工作参数，存储器用于存储整个设备的运行参数。
Claims (10)
1.一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，包括制备腔室(1)、低压腔室(2)、真空泵(3)、稳压装置(5)、抽气控制器(6)、实验环境控制装置(7)；制备腔室(1)用于放置含有液膜的基体，通过抽气控制器(6)与低压腔室(2)连接；低压腔室(2)分别与真空泵(3)和稳压装置(5)连接；实验环境控制装置(7)连接制备腔室(1)，用于控制制备腔室(1)内的温度和湿度。
2.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，所述制备腔室(1)包括底板和覆盖底板的盖体，底板和盖体之间可拆卸地密封连接；底板和盖体之间的腔室空间用于放置含有液膜的基体。
3.如权利要求2所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，底板和盖体之间设置橡胶密封圈，使得制备腔室(1)在工作时最低压力能够达到10-5Pa。
4.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，抽气控制器(6)包括流量调节阀、控制器和压力传感器，压力传感器检测制备腔室(1)内的压力并将信号传输给控制器，控制器根据所接收的信号控制流量调节阀的开度；流量调节阀的一端连接制备腔室(1)，另一端连接低压腔室(2)。
5.如权利要求4所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，抽气控制器(6)还包括与流量调节阀串联的净化器，净化器与流量调节阀设置在制备腔室(1)与低压腔室(2)之间。
6.如权利要求4所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，抽气控制器(6)还包括真空破除器，真空破除器的一端连接空气，另一端连接制备腔室(1)。
7.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，真空泵(3)为机械泵、分子泵、扩散泵、低温泵、离子泵、水环泵中的一种或多种；当真空泵(3)为多个泵时，各个泵之间串联。
8.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，稳压装置(5)包括控制器、压力传感器和流量调节阀，压力传感器设置在低压腔室(2)内并将压力信号传输给控制器，控制器根据接收的压力信号控制流量调节阀的开度，流量调节阀的一端连接低压腔室(2)，另一端连接空气。
9.如权利要求8所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，所述控制器设置有存储器，用于存储压力传感器检测的压力和相应的流量调节阀的开度。
10.如权利要求1所述的溶液环境可控的高性能薄膜制备装备，其特征在于，在真空泵(3)与低压腔室(2)之间设置有抽气阀门(4)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711079896.7A CN107894741B (zh) | 2017-11-06 | 2017-11-06 | 一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711079896.7A CN107894741B (zh) | 2017-11-06 | 2017-11-06 | 一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107894741A true CN107894741A (zh) | 2018-04-10 |
| CN107894741B CN107894741B (zh) | 2020-03-17 |
Family
ID=61804147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711079896.7A Active CN107894741B (zh) | 2017-11-06 | 2017-11-06 | 一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107894741B (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111290455A (zh) * | 2020-02-14 | 2020-06-16 | 中国地质大学（北京） | 一种原位金属二维减摩薄膜的制备装置 |
| CN112117208A (zh) * | 2019-06-20 | 2020-12-22 | 纳晶科技股份有限公司 | 薄膜干燥方法、薄膜干燥装置以及包括薄膜的器件 |
| CN112794281A (zh) * | 2021-02-03 | 2021-05-14 | 中企众鑫（天津）工业设计有限公司 | 连续离子液相制备纳米薄膜的自动沉积方法及自动化设备 |
Citations (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20070022626A1 (en) * | 2005-08-01 | 2007-02-01 | Seiko Epson Corporation | Reduced-pressure drying apparatus |
| CN1928475A (zh) * | 2005-09-08 | 2007-03-14 | 大日本网目版制造株式会社 | 减压干燥装置及基板干燥方法 |
| JP2007073827A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 減圧乾燥装置 |
| CN101109072A (zh) * | 2007-06-25 | 2008-01-23 | 北京航空航天大学 | 磁控溅射真空室h2o内外压差逐级导入装置 |
| CN101413116A (zh) * | 2008-10-09 | 2009-04-22 | 成都理工大学 | 一种直流弧光放电pcvd金刚石薄膜制备的基底恒温技术 |
| WO2009116070A3 (en) * | 2008-02-05 | 2010-01-07 | Lignoil Technologies Private Limited | Complete liquefaction of lignocellulosic agrowastes to form liquid biofuels |
| CN101660131A (zh) * | 2009-09-28 | 2010-03-03 | 西安交通大学 | 一种磁控溅射制备氢化硅薄膜的方法 |
| CN101691651A (zh) * | 2009-10-10 | 2010-04-07 | 西安交通大学 | 一种InGaZnO透明导电薄膜的L-MBE制备方法 |
| JP2011036803A (ja) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Konica Minolta Holdings Inc | バリアフィルムの製造方法 |
| CN102062525A (zh) * | 2010-12-05 | 2011-05-18 | 江南大学 | 一种负压微波均匀化喷动干燥装置及应用 |
| CN102078854A (zh) * | 2010-11-18 | 2011-06-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法 |
| CN102338986A (zh) * | 2011-08-19 | 2012-02-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 有机无机复合激光热刻蚀薄膜和微纳图形制备的方法 |
| CN102439104A (zh) * | 2009-06-05 | 2012-05-02 | 日东电工株式会社 | 粘合剂层、粘合部件、其制造方法和图像显示装置 |
| CN102500197A (zh) * | 2011-11-07 | 2012-06-20 | 上海奕材环保科技有限公司 | 一种基于膜分离技术脱除压缩空气中水分的方法 |
| CN102527541A (zh) * | 2011-03-11 | 2012-07-04 | 上海大学 | 一种双流体喷射系统 |
| CN102683579A (zh) * | 2012-05-16 | 2012-09-19 | 同济大学 | 小型压电驻极体功能薄膜制备装置 |
| CN102728514A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-17 | 天津木牛流马科技发展有限公司 | 复合纳米薄膜制备装置 |
| CN103194739A (zh) * | 2013-04-22 | 2013-07-10 | 青岛科技大学 | 一种铜锌锡硫薄膜的水热合成制备方法 |
| CN103320569A (zh) * | 2013-05-09 | 2013-09-25 | 马钢控制技术有限责任公司 | 一种电炉用氧压力调节装置及调节方法 |
| CN103469179A (zh) * | 2013-10-07 | 2013-12-25 | 复旦大学 | 一种真空环境下基于溶液的无机梯度薄膜制备方法 |
| CN105702870A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-06-22 | 西安交通大学 | 一种利用溶液抽气法制备钙钛矿太阳能电池中钙钛矿薄膜的方法 |
| CN205370927U (zh) * | 2016-01-04 | 2016-07-06 | 武汉理工大学 | 一种流量可控式多腔有阀压电薄膜微泵 |
| CN105882120A (zh) * | 2016-05-11 | 2016-08-24 | 武汉理工大学 | 一种钙钛矿太阳能电池印刷机 |
| CN106500762A (zh) * | 2016-10-14 | 2017-03-15 | 合肥工业大学 | 一种复合式智能真空干燥动力学实验平台 |
| CN206515189U (zh) * | 2016-12-20 | 2017-09-22 | 河南理工大学 | 纳米尺度气体流动规律实验系统 |
| CN107219727A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-09-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 减压干燥设备 |
-
2017
- 2017-11-06 CN CN201711079896.7A patent/CN107894741B/zh active Active
Patent Citations (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20070022626A1 (en) * | 2005-08-01 | 2007-02-01 | Seiko Epson Corporation | Reduced-pressure drying apparatus |
| CN1928475A (zh) * | 2005-09-08 | 2007-03-14 | 大日本网目版制造株式会社 | 减压干燥装置及基板干燥方法 |
| JP2007073827A (ja) * | 2005-09-08 | 2007-03-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 減圧乾燥装置 |
| CN101109072A (zh) * | 2007-06-25 | 2008-01-23 | 北京航空航天大学 | 磁控溅射真空室h2o内外压差逐级导入装置 |
| WO2009116070A3 (en) * | 2008-02-05 | 2010-01-07 | Lignoil Technologies Private Limited | Complete liquefaction of lignocellulosic agrowastes to form liquid biofuels |
| CN101413116A (zh) * | 2008-10-09 | 2009-04-22 | 成都理工大学 | 一种直流弧光放电pcvd金刚石薄膜制备的基底恒温技术 |
| CN102439104A (zh) * | 2009-06-05 | 2012-05-02 | 日东电工株式会社 | 粘合剂层、粘合部件、其制造方法和图像显示装置 |
| JP2011036803A (ja) * | 2009-08-11 | 2011-02-24 | Konica Minolta Holdings Inc | バリアフィルムの製造方法 |
| CN101660131A (zh) * | 2009-09-28 | 2010-03-03 | 西安交通大学 | 一种磁控溅射制备氢化硅薄膜的方法 |
| CN101691651A (zh) * | 2009-10-10 | 2010-04-07 | 西安交通大学 | 一种InGaZnO透明导电薄膜的L-MBE制备方法 |
| CN102078854A (zh) * | 2010-11-18 | 2011-06-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 薄膜干燥方法、配向膜干燥方法及显示面板的装造方法 |
| US20120125535A1 (en) * | 2010-11-18 | 2012-05-24 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Thin film drying method and alignment film drying method and method for manufacturing display panel |
| CN102062525A (zh) * | 2010-12-05 | 2011-05-18 | 江南大学 | 一种负压微波均匀化喷动干燥装置及应用 |
| CN102527541A (zh) * | 2011-03-11 | 2012-07-04 | 上海大学 | 一种双流体喷射系统 |
| CN102338986A (zh) * | 2011-08-19 | 2012-02-01 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 有机无机复合激光热刻蚀薄膜和微纳图形制备的方法 |
| CN102500197A (zh) * | 2011-11-07 | 2012-06-20 | 上海奕材环保科技有限公司 | 一种基于膜分离技术脱除压缩空气中水分的方法 |
| CN102683579A (zh) * | 2012-05-16 | 2012-09-19 | 同济大学 | 小型压电驻极体功能薄膜制备装置 |
| CN102728514A (zh) * | 2012-06-27 | 2012-10-17 | 天津木牛流马科技发展有限公司 | 复合纳米薄膜制备装置 |
| CN103194739A (zh) * | 2013-04-22 | 2013-07-10 | 青岛科技大学 | 一种铜锌锡硫薄膜的水热合成制备方法 |
| CN103320569A (zh) * | 2013-05-09 | 2013-09-25 | 马钢控制技术有限责任公司 | 一种电炉用氧压力调节装置及调节方法 |
| CN103469179A (zh) * | 2013-10-07 | 2013-12-25 | 复旦大学 | 一种真空环境下基于溶液的无机梯度薄膜制备方法 |
| CN205370927U (zh) * | 2016-01-04 | 2016-07-06 | 武汉理工大学 | 一种流量可控式多腔有阀压电薄膜微泵 |
| CN105702870A (zh) * | 2016-02-02 | 2016-06-22 | 西安交通大学 | 一种利用溶液抽气法制备钙钛矿太阳能电池中钙钛矿薄膜的方法 |
| CN105882120A (zh) * | 2016-05-11 | 2016-08-24 | 武汉理工大学 | 一种钙钛矿太阳能电池印刷机 |
| CN106500762A (zh) * | 2016-10-14 | 2017-03-15 | 合肥工业大学 | 一种复合式智能真空干燥动力学实验平台 |
| CN206515189U (zh) * | 2016-12-20 | 2017-09-22 | 河南理工大学 | 纳米尺度气体流动规律实验系统 |
| CN107219727A (zh) * | 2017-06-22 | 2017-09-29 | 武汉华星光电技术有限公司 | 减压干燥设备 |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| D.H.WOLF: ""Turbulence DissiPation in a Free-surface Jet of Water and its Effect on Local lmPingement Heat Transfer from a Heated Surface:Part1-Flow Structure"", 《HEAT TFANSFER》 * |
| 刘晓燕: ""气体冲击射流干燥薄膜物料的温度及湿度计算模型研究"", 《涂料工业》 * |
| 尹沛羊: ""钛酸锶钠纳米管陈列薄膜的水热合成及其性能研究"", 《人工晶体学报》 * |
| 肖美添: ""薄层介质干燥过程内部水分扩散"", 《华侨大学学报》 * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112117208A (zh) * | 2019-06-20 | 2020-12-22 | 纳晶科技股份有限公司 | 薄膜干燥方法、薄膜干燥装置以及包括薄膜的器件 |
| CN111290455A (zh) * | 2020-02-14 | 2020-06-16 | 中国地质大学（北京） | 一种原位金属二维减摩薄膜的制备装置 |
| CN111290455B (zh) * | 2020-02-14 | 2024-05-28 | 中国地质大学（北京） | 一种原位金属二维减摩薄膜的制备装置 |
| CN112794281A (zh) * | 2021-02-03 | 2021-05-14 | 中企众鑫（天津）工业设计有限公司 | 连续离子液相制备纳米薄膜的自动沉积方法及自动化设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107894741B (zh) | 2020-03-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107894741A (zh) | 一种溶液环境可控的高性能薄膜制备装备 | |
| US7806585B2 (en) | Apparatus, method, and system for measuring water activity and weight | |
| JP2018056258A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
| CN103305797B (zh) | 蒸镀装置 | |
| CN102905515A (zh) | 用于估计液体的张力、势和活度的二面体传感器 | |
| CN109856327B (zh) | 一种通过湿度测量确定被测物质含水量的装置和方法 | |
| CN111399568B (zh) | 一种用于力学测试微小腔体环境的多闭环温湿度控制系统 | |
| CN204990033U (zh) | 一种气体温湿度控制装置 | |
| CN109297782A (zh) | 一种土样增湿减湿装置 | |
| CN105403380B (zh) | 一种小型光纤器件湿度测试箱 | |
| CN104503499A (zh) | 一种湿度控制系统 | |
| CN208140531U (zh) | 一种建筑材料及其制品水蒸气透过性能测试装置 | |
| JP2009275924A (ja) | 真空乾燥方法および真空乾燥装置 | |
| CN104513951B (zh) | 掠角反应沉积设备及其运行方法 | |
| CN107907462B (zh) | 一种容器透湿率测试方法 | |
| CN208805456U (zh) | 可模拟不同湿度环境的大气腐蚀实验装置 | |
| CN207331056U (zh) | 材料微观表面共型镀膜系统 | |
| CN109490188A (zh) | 一种金属表面薄液膜生成、控制及测量方法 | |
| CN204385286U (zh) | 掠角反应沉积设备 | |
| CN107937979A (zh) | 气相法晶体生长压力系统的模糊自适应控制方法 | |
| CN103820846A (zh) | 一种基于热液法生长纳米材料的多功能装置 | |
| CN212741520U (zh) | 设备控制系统 | |
| CN109722634A (zh) | 蒸镀装置及其校正方法 | |
| CN207516123U (zh) | 一种可大规模精确制备不同含水率岩样的装置 | |
| CN113063700A (zh) | 可控湿度的气体扩散实验装置和方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20230713 Address after: 710048 Teaching collective household, No. 31 Xianning West Road, Beilin District, Xi'an City, Shaanxi Province Patentee after: Yang Guanjun Address before: Beilin District Xianning West Road 710049, Shaanxi city of Xi'an province No. 28 Patentee before: XI'AN JIAOTONG University |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20240703 Address after: Room 507, Block B, Gaoxin Ginza, No. 6 Gaoxin Road, High tech Zone, Xi'an City, Shaanxi Province, 710075 Patentee after: Kaifu Green Energy (Xi'an) Optoelectronics Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 710048 Teaching collective household, No. 31 Xianning West Road, Beilin District, Xi'an City, Shaanxi Province Patentee before: Yang Guanjun Country or region before: China |
|
| TR01 | Transfer of patent right |