CN107867070B - 致动器装置、液体喷射设备和连接结构 - Google Patents

Abstract

本发明提供致动器装置、液体喷射设备和连接结构。致动器装置包括：致动器，包括第一触点；导线部件，包括第二触点，用包括传导性粒子的传导性粘结剂将第二触点分别连接到第一触点，每个第一触点和每个第二触点中的一个是特别触点，每个第一触点和每个第二触点中的另一个是特殊触点，在特别触点上和中形成至少两个突起和至少一个凹部，突起布置在与每个特别触点的放置表面平行的第一方向上，凹部介于突起之间，在每个突起与对应一个特殊触点接触的状态下，用设置在凹部中的传导性粘结剂将特别触点分别接合到特殊触点。本发明在使用传导性粘结剂连接两个触点时在不增加传导性粒子的密度的情况下增加在触点之间的电连接的可靠性。

Description

致动器装置、液体喷射设备和连接结构

技术领域

以下公开涉及一种致动器装置、一种液体喷射设备和一种导线部件的连接结构。

背景技术

专利文献1(日本专利申请公开特开平6-23996)公开了一种用于选择性地对将由喷墨头通过它的孔口喷射的墨充电的充电板。充电板的绝缘基底设置有充电电极和与相应的充电电极对应的引线导线。触点被设置在相应的引线导线的端部上。包括导线(传导带)的导线部件被接合到绝缘基底的端部，在所述端部上设置设置于引线导线上的触点。

导线部件和充电板的绝缘基底利用例如由各向异性传导材料形成的传导性粘结剂彼此连接。传导性粘结剂是包含传导性粒子的热固性粘结剂。在尚未硬化的传导性粘结剂被介于导线部件和充电板的绝缘基底之间的状态下，导线部件和充电板的绝缘基底的将被彼此接合的部分被加热和加压。在这个过程中，设置在充电板上的触点和设置在导线部件上的导线通过传导性粒子彼此电连接。而且，通过加热，粘结剂被硬化，粘结剂将导线部件机械地接合到充电板。

在利用传导性粘结剂接合时，所述两个构件的触点通过在热固性粘结剂中包含的传导性粒子彼此电连接。然而，在这个过程中，在某些情形中在传导性粘结剂中包含的传导性粒子与粘结剂一起地流出到触点周围的区域，从而由于已经流出的传导性粒子而导致在相邻的触点之间的短路。传导性粒子的降低的密度可以减少短路的发生。然而，更小数目的传导性粒子易于引起其中无任何传导性粒子被设置在两个触点之间的情况，这可能导致不良的连接。

发明内容

相应地，本公开的一个方面涉及一项在使用传导性粘结剂连接两个触点时在不增加传导性粒子的密度的情况下增加在两个触点之间的电连接的可靠性的技术。

在本公开的一个方面，一种致动器装置包括：致动器，所述致动器包括至少一个第一触点；和导线部件，所述导线部件包括分别利用包括传导性粒子的传导性粘结剂连接到所述至少一个第一触点的至少一个第二触点。(i)所述至少一个第一触点中的每一个和(ii)所述至少一个第二触点中的每一个中的一个是至少一个特别触点(particularcontact)中的每一个，并且(i)所述至少一个第一触点中的每一个和(ii)所述至少一个第二触点中的每一个中的另一个是至少一个特殊触点(specific contact)中的每一个。至少两个突起被形成在所述至少一个特别触点上且至少一个凹部被形成在所述至少一个特别触点中。所述至少两个突起被布置在与所述至少一个特别触点的每一个的放置表面平行的第一方向上。所述至少一个凹部介于所述至少两个突起之间。在所述至少两个突起中的每一个与所述至少一个特殊触点中的对应一个接触的状态下，所述至少一个特别触点分别利用设置在所述至少一个凹部中的传导性粘结剂接合到所述至少一个特殊触点。

在本公开另一个方面，一种液体喷射设备包括：通道限定器，所述通道限定器中限定至少一个压力腔室；振动层，所述振动层覆盖所述至少一个压力腔室；至少一个压电元件，所述至少一个压电元件设置在振动层上从而分别与所述至少一个压力腔室重叠；至少一个第一触点，所述至少一个第一触点分别从所述至少一个压电元件引出；和导线部件，所述导线部件包括至少一个第二触点，所述至少一个第二触点利用包括传导性粒子的传导性粘结剂被分别连接到所述至少一个第一触点。(i)所述至少一个第一触点的中的每一个和(ii)所述至少一个第二触点中的每一个中的一个是至少一个特别触点中的每一个，并且(i)所述至少一个第一触点中的每一个和(ii)所述至少一个第二触点中的每一个中的另一个是至少一个特殊触点中的每一个。至少两个突起被形成在所述至少一个特别触点上并且至少一个凹部被形成在所述至少一个特别触点中。所述至少两个突起被布置在与所述至少一个特别触点中的每一个的放置表面平行的第一方向上，所述至少一个凹部介于所述至少两个突起之间。在所述至少两个突起每一个与所述至少一个特殊触点中的对应一个接触的状态下，所述至少一个特别触点分别利用设置在所述至少一个凹部中的传导性粘结剂接合到所述至少一个特殊触点。

本公开又一个方面涉及一种连接结构，所述连接结构用于利用传导性粘结剂分别将导线部件的至少一个第一触点和至少一个第二触点彼此连接。(i)所述至少一个第一触点中的每一个和(ii)所述至少一个第二触点中的每一个中的一个是至少一个特别触点中的每一个。(i)所述至少一个第一触点中的每一个和(ii)所述至少一个第二触点中的每一个中的另一个是至少一个特殊触点中的每一个。至少两个突起被形成在所述至少一个特别触点上并且至少一个凹部被形成在所述至少一个特别触点中。所述至少两个突起被布置在与所述至少一个特别触点中的每一个的放置表面平行的第一方向上。所述至少一个凹部介于所述至少两个突起之间。在所述至少两个突起中的每一个与所述至少一个特殊触点中的对应一个接触的状态下，所述至少一个特别触点利用设置在所述至少一个凹部中的传导性粘结剂被分别对接合到所述至少一个特殊触点。

在致动器装置中，其中n是对于单位面积A在传导性粘结剂中包含的传导性粒子的数目，并且A1是所述至少一个凹部中的每一个的面积，A1大于或等于A/n。

在致动器装置中，所述至少两个突起中的每一个与所述至少一个特殊触点中的对应一个接触。

在致动器装置中，所述至少一个特殊触点中的每一个在第一方向上的宽度大于所述至少一个特别触点中的每一个在第一方向上的宽度。

在致动器装置中，所述至少一个特殊触点中的每一个在第一方向上的宽度大于或等于所述至少一个特别触点中的每一个在第一方向上的宽度的两倍。

在致动器装置中，所述至少一个凹部中的每一个的在第一方向上的宽度大于或等于传导性粒子的直径。

在致动器装置中，所述至少一个凹部中的每一个在第一方向上的宽度大于或等于传导性粒子的直径的两倍。

在致动器装置中，所述至少一个凹部中的每一个在第一方向上的宽度小于或等于传导性粒子的直径的十倍。

在致动器装置中，所述至少一个特别触点中的每一个在第一方向上的宽度小于或等于传导性粒子的直径的十倍。

在致动器装置中，所述至少一个第一触点包括被布置第一方向上的多个第一触点。所述至少一个凹部中的每一个在与放置表面平行并且与第一方向正交的第二方向上的长度大于所述至少一个凹部中的每一个的在第一方向上的长度。

在致动器装置中，所述至少一个凹部中的仅一个被置放在第一方向上。

在致动器装置中，所述至少一个凹部中的每一个的深度小于传导性粒子的直径。

在致动器装置中，所述至少一个凹部中的每一个的深度小于或等于传导性粒子的直径的五分之三。

在致动器装置中，所述至少一个凹部中的每一个的深度大于或等于传导性粒子的直径的五分之一。

在致动器装置中，所述至少一个特别触点是所述至少一个第一触点。

在致动器装置中，致动器包括被构造为分别与所述至少一个第一触点传导的至少一根导线。所述至少一根导线中的每一个包括在第一方向上彼此隔开的两个电传导性部。所述至少一个第一触点中的每一个被置放成覆盖(a)所述至少一根导线中的对应一根的所述两个电传导性部和(b)在第一方向上位于所述两个电传导性部之间的区域。所述至少一个第一触点中的每一个的覆盖所述两个电传导性部的部分分别构成所述至少两个突起。所述至少一个第一触点中的每一个的位于所述两个电传导性部之间的部分构成所述至少一个凹部中的对应一个。

在致动器装置中，所述至少一根导线中的每一根的所述两个电传导性部被绝缘层覆盖。在绝缘层介于所述至少一个第一触点中的每一个和所述两个电传导性部之间的情况下，所述至少一个第一触点中的每一个与所述两个电传导性部重叠。至少一个传导部延伸通过绝缘层。所述至少一个传导部被构造为使得能够在所述至少一个第一触点中的每一个和所述两个电传导性部之间实现导通。

在致动器装置中，所述致动器包括：振动层；至少一个压电元件，所述至少一个压电元件被设置在振动层上；和所述至少一个第一触点，所述至少一个第一触点被分别从所述至少一个压电元件引出。振动层包括凹进层部。所述至少一个第一触点中的每一个被置放成覆盖凹进层部。所述至少一个第一触点中的每一个的与凹进层部重叠的部分构成所述至少一个凹部中的对应一个。

在致动器装置中，所述至少一个特别触点中的每一个的被连接到所述至少一个特殊触点中的对应一个的表面的表面粗糙度小于传导性粒子的直径的一倍。

在致动器装置中，所述至少一个特别触点中的每一个的被连接到所述至少一个特殊触点中的对应一个的表面的表面粗糙度大于或等于传导性粒子的直径的五分之一。

附图说明

当结合附图考虑时，通过阅读以下实施例的详细说明，将更好地理解本公开的目的、特征、优点以及技术和工业意义，其中：

图1是根据本实施例的打印机的概略平面视图；

图2是喷墨头的平面视图；

图3是图2中的喷墨头的后端部的放大视图；

图4是图3中的区域A的放大视图；

图5是沿着图4中的线V-V截取的截面视图；

图6是沿着图4中的线VI-VI截取的截面视图；

图7是压电致动器的驱动触点的平面视图；

图8A是压电致动器和COF的接合部分沿着图7中的线A-A截取的截面视图，并且图8B是该接合部分沿着图7中的线B-B截取的截面视图；

图9是压电致动器的接地触点的平面视图；

图10A是压电致动器和COF的接合部分沿着图9中的线A-A截取的截面视图，并且图10B是该接合部分沿着图9中的线B-B截取的截面视图；

图11A-11F是示意生产喷墨头的过程的第一部分的视图；

图11G-11I是示意生产喷墨头的过程的第二部分的视图；

图12A和12B是每一幅示意在对应变型中压电致动器和喷墨头的COF的接合部分的截面视图；

图13A-13D是每一幅示意在对应变型中压电致动器和喷墨头的COF的接合部分的截面视图；并且

图14是示意在另一个变型中压电致动器和喷墨头的COF的接合部分的截面视图。

具体实施方式

在下文中，将通过参考绘图描述实施例。首先，将参考图1接着解释喷墨打印机1的总体构造。在图1中传送记录片材100的方向被定义为打印机1的前后方向。记录片材100的宽度方向被定义为打印机1的左右方向。正交于前后方向和左右方向并且垂直于图1的纸面的方向被定义为打印机1的上下方向。

打印机的总体构造

如在图1中所示意地，喷墨打印机1包括滑架3、喷墨头4、传送机构5和控制器6。

滑架3被安装于在左右方向(在下文中还可以称作“扫描方向”)上延伸的导轨10、11上。滑架3经由无端皮带14接合到滑架驱动马达15。滑架3由马达15驱动并且于在压板2上传送的记录片材100上方在扫描方向上往复移动。

喷墨头4被安装在滑架3上。四种颜色，即，黑色、黄色、青色和品红色的墨分别从由保持器7保持的四个墨盒17经由未示意的管子被供应到喷墨头4。在随着滑架3在扫描方向上移动时，喷墨头4将墨从多个喷嘴24(见图2-6)喷射到在压板2上传送的记录片材100上。

传送机构5包括构造为在向前方向(在下文中还可以称作“传送方向”)上在压板2上传送记录片材100的两个传送辊18、19。

控制器6基于从外部装置诸如个人计算机(PC)接收的打印指令控制包括喷墨头4和滑架驱动马达15的装置，以在记录片材100上打印图像。

喷墨头的详细构造

接着将参考图2-6解释喷墨头4的构造。注意图3和4省去在图2中示意的保护器23的示意。

在本实施例中。喷墨头4喷射四种颜色(黑色、黄色、青色和品红色)的墨。如在图2-6中所示意地，喷墨头4包括喷嘴板20、通道限定器21和致动器装置25，致动器装置25包括压电致动器22。在本实施例中，致动器装置25并不仅示意压电致动器22而是不仅包括压电致动器22而且还包括保护器23和设置在压电致动器22上的膜上芯片(COF)50。每一个COF50是导线部件的一个实例。

喷嘴板

喷嘴板20例如由硅形成。喷嘴板20具有在传送方向上布置的喷嘴24。即，前后方向与布置喷嘴24的方向(在下文中还称作“喷嘴布置方向”)一致。

更具体地，如在图2和3中所示意地，喷嘴板20具有在扫描方向上布置的四个喷嘴组27。该四个喷嘴组27分别用于喷射不同的墨。每一个喷嘴组27由左喷嘴行和右喷嘴行28构成。在每一个喷嘴行28中，喷嘴24被以间隔P布置。在所述两个喷嘴行28之间喷嘴24的位置在传送方向上以P/2移位。即，在每一个喷嘴组27中，喷嘴24被以错列的构造布置成两行。

在以下解释中，后缀k、y、c和m中的一个可以被选择性地添加到喷墨头4的构件的附图标记以示意它们分别与黑色、黄色、青色和品红色墨中的一种对应。例如，措辞“喷嘴组27k”示意用于黑色墨的喷嘴组27。

通道限定器

通道限定器21是由硅单晶形成的基板。如在图3-6中所示意地，通道限定器21具有与相应的喷嘴24连通的压力腔室26。每一个压力腔室26具有在平面视图中在扫描方向上伸长的矩形形状。压力腔室26被在传送方向上布置从而与喷嘴24的布置对应。压力腔室26被布置成八个压力腔室行，其中的每两个与四种墨颜色之一对应。通道限定器21的下表面被喷嘴板20覆盖。每一个压力腔室26的在扫描方向上的外端部与喷嘴24中的对应一个喷嘴重叠。

将在下面描述的压电致动器22的振动层30被设置在通道限定器21的上表面上，从而覆盖压力腔室26。振动层30不被特别地限制，只要振动层30是覆盖压力腔室26的绝缘层。在本实施例中，振动层30是通过氧化或者氮化由硅形成的基板的表面而形成的。在每一个覆盖压力腔室26中的对应一个压力腔室的在扫描方向上的端部(该端部位于压力腔室26的与喷嘴24的相反侧上)的区域处，振动层30具有墨供应孔30a。

关于每一种墨颜色，墨通过相应的墨供应孔30a被从在保护器23中形成的四个蓄存器23b中的对应一个供应到压力腔室26。当喷射能量被将在下面描述的压电致动器22的压电元件31中的对应一个施加到每一个压力腔室26中的墨时，从与压力腔室26连通的喷嘴24喷射墨滴。

致动器装置

致动器装置25被设置在通道限定器21的上表面上。致动器装置25包括：包括压电元件31的压电致动器22；保护器23；和两个COF50。

压电致动器22被设置在通道限定器21的全部上表面上。如在图3和4中所示意地，压电致动器22包括布置成与相应的压力腔室26重叠的压电元件31。压电元件31被在传送方向上布置从而与压力腔室26的布置对应并且构成八个压电元件行38。多个驱动触点46和两个接地触点47被从压电元件行38中的左侧的四行向左引出，并且如在图2和3中所示意地，触点46、47被设置在通道限定器21的左端部上。多个驱动触点46和两个接地触点47被从压电元件行38中的右侧的四行向右引出，并且触点46、47被设置在通道限定器21的右端部上。将在下面详细地描述压电致动器22的结构。

保护器23被设置在压电致动器22的上表面上从而覆盖压电元件31。具体地，保护器23包括分别覆盖该八个压电元件行38的八个凹进的保护部23a。如在图2中所示意地，保护器23并不覆盖压电致动器22的左端部和右端部，从而驱动触点46和接地触点47被从保护器23暴露。保护器23具有连接到由保持器7保持的相应的墨盒17的蓄存器23b。每一个蓄存器23b中的墨通过相应的墨供应通道23c和在振动层30中形成的相应的墨供应孔30a被供应到压力腔室26。

在图2-5中示意的每一个COF50是包括由绝缘材料诸如聚酰亚胺膜形成的基底56的柔性导线(引线)部件。驱动IC51被安装在基底56上。相应的两个COF50的一个端部连接到打印机1的控制器6(见图1)。相应的两个COF50的另一个端部分别接合到压电致动器22的左端部和右端部。如在图4中所示意地，每一个COF50包括地线53和连接到相应的驱动IC51的多根单独导线52。单独触点54被设置在相应的单独导线52的远端部上并且连接到压电致动器22的相应的驱动触点46。接地触点55被设置在相应的地线53的远端部上并且连接到压电致动器22的相应的接地触点47。每一个驱动IC51经由单独触点54中的对应一个和驱动触点46中的对应一个向压电致动器22的压电元件31中的对应一个输出驱动信号。虽然在本实施例中为每一个COF50设置两个接地触点47，但是为了简洁起见，将对于接地触点47之一给出以下解释，除非另有要求。

压电致动器的详细结构

压电致动器22包括：在通道限定器21的上表面上形成的振动层30；和设置在振动层30的上表面上的压电元件31。为了简洁起见，图3和4省去在图5和6中示意的保护层40、绝缘层41和导线保护层43的示意。

如在图3-6中所示意地，压电元件31被布置在振动层30的上表面上从而与相应的压力腔室26重叠。即，压电元件31被在传送方向上布置从而与压力腔室26的布置对应。结果，根据喷嘴24和压力腔室26的布置，压电元件31构成八个压电元件行38，其中的每两行于四种墨颜色之一对应。注意与四种墨颜色中的每一种对应的所述两个压电元件行38的一组压电元件31将被称作“压电元件组39”。如在图3中所示意地，分别与四种墨颜色对应的四个压电元件组39k、39y、39c、39m被在扫描方向上布置。

每一个压电元件31包括在振动层30上方从下侧按照这个次序设置的第一电极32、压电层33和第二电极34。

如在图5和6中所示意地，第一电极32在振动层30中形成的与压力腔室26相反的区域处形成。如在图6中所示意地，相应的压电元件31的第一电极32中的每相邻的两个被设置在压电元件31之间的电传导性部35彼此连接。换言之，第一电极32和将第一电极32彼此连接的电传导性部35构成基本上覆盖振动层30的全部上表面的公共电极36。公共电极36例如由铂(Pt)形成。公共电极36的厚度例如是0.1μm。注意在本说明书中的措辞“传导”和“传导性”主要地意味着“电传导”和“电传导性”。

压电层33例如由压电材料诸如锆钛酸铅(PZT)形成。压电层33可以由不包含铅的无铅压电材料形成。压电层33的厚度范围例如在1.0μm和2.0μm之间。

如在图3、4和6中所示意地，在本实施例中，相应的压电元件31的压电层33在传送方向上彼此连接以形成在传送方向上伸长的矩形压电部件37。即，由分别与八个压力腔室行对应的压电层33构成的八个压电部件37被设置在覆盖振动层30的公共电极36上。

第二电极34被设置在相应的压电层33的上表面上。每一个第二电极34在平面视图中具有比每一个压力腔室26小一个尺寸的矩形形状。第二电极34分别与相应的压力腔室26的中央部分重叠。不象第一电极32，相应的压电元件31的第二电极34被彼此分离和隔开。即，第二电极34是各自地为相应的压电元件31设置的单独电极。第二电极34例如由铱(Ir)或者铂(Pt)形成。每一个第二电极34的厚度例如是0.1μm。

如在图5和6中所示意地，压电致动器22包括保护层40、绝缘层41、导线42和导线保护层43。

如在图5中所示意地，保护层40被设置成覆盖压电部件37的除了相应的第二电极34的中央部分之外的表面。保护层40的主要意图之一在于防止来自空气的水侵入压电层33中。保护层40例如由具有低渗透性的材料诸如氧化物和氮化物形成。氧化物的实例包括氧化铝(Al203)、氧化硅(SiOx)和氧化钽(TaOx)。氮化物的实例包括氮化硅(SiN)。

绝缘层41在保护层40的上侧上形成。绝缘层41的材料不被特别地限制。例如，绝缘层41由二氧化硅(SiO2)形成。这个绝缘层41被设置用于增加在公共电极36和连接到相应的第二电极34的导线42之间的绝缘。

导线42在绝缘层41上形成。导线42被从压电元件31的相应的第二电极34引出。每一根导线42例如由铝(Al)形成。如在图5中所示意地，每一根导线42的一个端部被设置成与设置在压电层33中的对应一个上的第二电极34的端部重叠。利用延伸通过保护层40和绝缘层41的贯通的电传导部48，每一根导线42与对应第二电极34传导。

与相应的压电元件31对应的每一根导线42向右或者向左延伸。即，每一根导线42延伸的方向(在下文中可以称作“导线延伸方向”)正交于喷嘴布置方向。具体地，如在图3中所示意地，导线42从构成该四个压电元件组39中的右侧的两个压电元件组39k、39y的相应的压电元件31向右延伸，并且导线42从构成该四个压电元件组39中的左侧的两个压电元件组39c、39m的相应的压电元件31向左延伸。

每一个驱动触点46被设置在导线42的对应一根的端部上，该端部位于导线42的与它的在其上设置第二电极34的部分的相反侧上。在压电致动器22的右端部和左端部每一个处，驱动触点46被在前后方向上布置成行。即，布置驱动触点46的方向(在下文中还可以称作“触点布置方向”)与喷嘴布置方向平行。在本实施例中，形成每一种颜色的喷嘴组27的喷嘴24被以600dpi(＝42μm)的间隔布置。而且，每一根导线42从与同对应两种颜色相关联的喷嘴组27对应的压电元件31向右或者向左延伸。相应地，在压电致动器22的右端部和左端部每一个处，驱动触点被以每一个喷嘴组27的喷嘴24的那些间隔的一半的、非常短的间隔布置，即，驱动触点46被以大约21μm的间隔布置。

所述两个接地触点47被分别设置在在前后方向上布置成行的驱动触点46的前面和后面。每一个接地触点47具有比每一个驱动触点46更大的接触面积。每一个接地触点47经由延伸通过位于接地触点47正下方的保护层40和绝缘层41的传导部49(见图10A和10B)中的对应一个连接到公共电极36。

如上所述，设置在压电致动器22的右端部和左端部上的驱动触点46和接地触点47被从保护器23暴露。两个COF50分别接合到压电致动器22的右端部和左端部。每一个驱动触点46经由COF50的单独触点54中的对应一个单独触点和单独导线52中的对应一个单独导线连接到驱动IC51中的对应一个驱动IC。驱动信号被从驱动IC51供应到驱动触点46，每一个接地触点47连接到COF50的接地触点55中的对应一个。地电位被从接地触点55施加到接地触点47。压电致动器22的驱动触点46和接地触点47的详细构造与这些触点46、47和COF50的触点54、55的电连接将在以后描述。

如在图5中所示意地，导线保护层43被设置成覆盖导线42。导线保护层43增加导线42之间的绝缘。而且，导线保护层43抑制导线42的材料例如Al的氧化。导线保护层43例如由氮化硅(SiNx)，形成。

如在图5和6中所示意地，在本实施例中，除了它的周部之外，每一个第二电极34被从保护层40、绝缘层41和导线保护层43暴露。即，压电层33的变形不受保护层40、绝缘层41和导线保护层43妨碍。

压电致动器和COF的接合部分

接着将解释压电致动器22和每一个COF50的接合部分的详细构造。

如上所述，驱动触点46和两个接地触点47在压电致动器22的右端部和左端部中的每一个端部处被在前后方向上布置。相应的COF50的端部分别利用传导性粘结剂60接合到压电致动器22的右端部和左端部。

如在图8A和10A中所示意地，传导性粘结剂60例如是通过将传导性粒子62混合到由环氧树脂形成的热固性粘结剂61中而形成的。环氧树脂被用于热固性粘结剂61。每一个传导性粒子62例如是带有范围在3-5μm之间的直径D的球形粒子。传导性粘结剂60通常是以膜或者膏剂的形式使用的。膜的一个实例是各向异性传导膜(ACF)，并且膏剂的一个实例是各向异性传导膏剂(ACP)。传导性粘结剂60在越过触点46、47(触点54、55)地在前后方向上伸长的区域处被设置在压电致动器22和每一个COF50之间。在加热传导性粘结剂60时，COF50在这种状态下被朝着压电致动器22挤压。结果。热固性粘结剂61硬化，从而压电致动器22和每一个COF50机械地彼此接合，并且触点被在粘结剂60中包含的传导性粒子62在压电致动器22和每一个COF50之间电连接。

顺便提及，在某些情形中，在使用传导性粘结剂60进行接合时的加热中，传导性粒子62可以与粘结剂一起地流出到触点周围的区域，从而导致不良的连接。为了改进电连接的可靠性，本实施例采用一种用于防止在粘结剂60中包含的传导性粒子62流出的结构。

具体地，如在图7-8B中所示意地，每一个驱动触点46设置有在前后方向上布置的两个突起63和介于所述两个突起63之间的凹部64。每一个突起63在左右方向上伸长。相应地，介于所述两个突起63之间的凹部64也具有伸长的形状，使得它在左右方向上的长度比它在前后方向上的宽度更长。

在所述两个突起63与COF50的单独触点54直接接触的状态下，每一个驱动触点46利用位于凹部64中的传导性粘结剂60接合到COF50的单独触点54中的对应一个。位于传导性粘结剂60中的传导性粒子62被驱动触点46的凹部64捕获，并且触点46、47也通过位于凹部64中的传导性粒子62彼此传导。

将具体地解释驱动触点46的突起63和凹部64的构造。如在图7-8B中所示意地，从相应的第二电极34延伸的每一根导线42的远端部分叉成两个部分。即，导线42的远端部具有在前后方向上隔开并且每一个在左右方向上延伸的两个电传导性部42a。所述两个电传导性部42a被分别设置在驱动触点46的基端部和驱动触点46在它的纵向方向上的中央部分处的联接部42b、42c彼此连接。覆盖导线42的导线保护层43还覆盖所述两个电传导性部42a。

每一个驱动触点46由例如金(Au)形成，并且经由导线保护层43与对应导线42的两个电传导性部42a重叠。更具体地，每一个驱动触点46被设置成与全部的两个电传导性部42a和位于所述两个电传导性部42a之间的区域重叠。如在图8B中所示意地，驱动触点46通过延伸通过导线保护层43的传导部67与联接部42b传导。即，驱动触点46经由传导部67、联接部42b和两个电传导性部42a连接到导线42。

在上述构造中，每一个突起63由对应一个电传导性部42a、覆盖该电传导性部42a的导线保护层43的一部分和覆盖电传导性部42a的驱动触点46的一部分形成。凹部64由驱动触点46的位于所述两个电传导性部42a之间的部分形成。如根据图8A和8B清楚地，凹部64在它的与联接部42c重叠的区域处是部分地浅的。

类似驱动触点46地，如在图9-10B中所示意地，每一个接地触点47包括两个突起65和凹部66。在所述两个突起65与COF50的接地触点55接触的状态下，每一个接地触点47利用位于凹部66中的传导性粘结剂60接合到COF50的接地触点55中的对应一个。虽然接地触点47是带有在图9中的平面视图中扩展的、所谓的实心图案的触点，但是接地触点47可以被划分成以与驱动触点46的那些间隔相同的间隔布置的多个小触点。利用已经进入每一个处于相邻的两个小触点之间的区域的粘结剂60，在接地触点47和COF50的接地触点55之间的接合强度增加。

接着将解释接地触点47的突起65和凹部66的构造。用于公共电极36的引出导线58在带有导线42的绝缘层41上形成。通过延伸通过绝缘层41和保护层40的传导部49中的对应一个传导部，每一根引出导线58与位于保护层40下方的公共电极36传导。两个电传导性部58a在每一根引出导线58的远端部上形成。所述两个电传导性部58a被联接部58b、58c彼此连接。所述两个电传导性部58a还被导线保护层43覆盖，在导线保护层43上设置由例如金(Au)形成的接地触点47。通过延伸通过导线保护层43的传导部68，接地触点47与联接部58b传导。即，接地触点47经由传导部68、联接部58b、两个电传导性部58a、引出导线58和传导部49连接到公共电极36。

在上述构造中，每一个突起65由电传导性部58a中的对应一个、覆盖电传导性部58a的导线保护层43的一部分和覆盖电传导性部58a的接地触点47的一部分形成。凹部66由接地触点47的位于所述两个电传导性部58a之间的部分形成。

接地触点47的每一个突起65的面积大于驱动触点46的每一个突起63的面积。接地触点47的凹部66的面积也大于驱动触点46的凹部64的面积。具体地，接地触点47的突起65在前后方向上的宽度Wa'大于驱动触点46的突起63在前后方向上的宽度Wa。接地触点47的凹部66在前后方向上的宽度Wb'大于驱动触点46的凹部64在前后方向上的宽度Wb。

如上所述，接地触点47连接到公共电极36。当多个压电元件31被同时驱动时，大电流可以暂时地在公共电极36中流动。在此情形中，在连接到公共电极36的通道之间的长度差异增加了在压电元件31之间连接到公共电极36的通道中的电压降的差异，从而导致在压电元件31中移位量的差异的增加。为了抑制这个现象，优选地使得连接到公共电极36的通道的电阻是尽可能小的。因此，还优选地使得在接地触点47和接地触点55之间的连接电阻是小的。即，接触COF50的接地触点55的接地触点47的突起65的面积优选地是大的，并且传导性粒子62在其中被捕获的接地触点47的凹部66的面积也优选地是大的。

在如上所述的本实施例中，驱动触点46和接地触点47每一个具有突起和凹部。然而，虽然在驱动触点46和接地触点47之间接触面积等在某个程度上是不同的，但是在压电致动器22的触点和COF50的触点之间的电连接不存在任何大的差异。因此，除了特别地要求参考接地触点47的情形，将采取驱动触点46作为一个实例提供以下解释。

将主要地关注于驱动触点46的形成和COF50的接合，参考图11A-11I解释生产喷墨头4的过程。注意以下步骤A-I分别对应于图11A-11I。

在步骤A中，通过在将成为通道限定器21的硅单晶基底的表面上执行氧化处理或者氮化处理而形成振动层30。在步骤B中，通过沉积和蚀刻，在振动层30上形成第一电极32(公共电极36)、压电层33和第二电极34，以形成压电元件31。在步骤C中，形成保护层40和绝缘层41从而覆盖压电层33，并且通过蚀刻而执行图案化。

在步骤D中，由例如铝(Al)形成的导线42在绝缘层41上形成。具体地，通过在绝缘层41上形成Al层并且然后图案化并且蚀刻这个Al层而执行步骤D。在这个图案化中，两个电传导性部42a在每一根导线42的远端部上形成。在步骤E中，导线保护层43在导线42上形成并且被图案化。导线保护层43还被形成为覆盖每一根导线42的远端部的所述两个电传导性部42a。在步骤F中，通过在覆盖电传导性部42a的导线保护层43上电镀而形成由例如金(Au)形成的驱动触点46。结果，每一个驱动触点46被成形为具有两个突起63和凹部64(见图8A和8B)。

在步骤G中，保护器23接合到压电致动器22从而覆盖压电元件31。在步骤H中，通道限定器21被抛光以将它的厚度减小到适当厚度，并且然后通过蚀刻形成压力腔室26。在步骤I中，COF50利用传导性粘结剂60接合到在其上设置驱动触点46和接地触点47的、压电致动器22的端部。具体地，传导性粘结剂60(ACF或者ACP)被设置在压电致动器22和COF50之间，并且然后使用设置在COF50的上表面上的加热板58，COF50被朝着传导性粘结剂60挤压。

使用加热板58的对于COF50的这个挤压加热并且压缩在每一个驱动触点46和对应单独触点54之间的传导性粘结剂60。在这个过程中，如在图8A和8B中所示意地，热固性粘结剂61部分地熔化并且被从位于每一对触点之间的区域推向外侧，并且每一个驱动触点46的所述两个突起63和COF50的对应单独触点54形成彼此接触。热固性粘结剂61在这个状态下硬化，由此在每一个驱动触点46和对应单独触点54彼此传导的状态下，COF50机械地接合到压电致动器22。在介于两个突起63之间的凹部64中捕获了在传导性粘结剂60中包含的传导性粒子62。利用这种构造，在传导性粘结剂60中包含的传导性粒子62的数目不需要如此多地增加以在两个触点46、47之间的区域中捕获传导性粒子62。在其中驱动触点46的布置间隔如在本实施例中那样非常短的构造中，对于在防止在相邻触点之间的短路的同时增加电可靠性而言，这个构造是特别有效的。

在本实施例中，致动器装置25的每一个驱动触点46和对应单独触点54在两个构造(i)和(ii)中彼此接触。构造(i)是突起63与单独触点54直接接触。构造(ii)是在凹部64中捕获的传导性粒子62与单独触点54接触。

如果每一个驱动触点46和对应单独触点54仅在构造(i)(突起63的直接接触)中彼此传导，则当由于驱动触点46周围的粘结剂61随着时间劣化而使得粘结剂61的机械结合力降低时，由于突起63从单独触点54分离，传导故障可以发生。在这方面，在本实施例中，传导是不仅由突起63的直接接触而且还由位于凹部64中的传导性粒子62引起的。因此，即便突起63从单独触点54分离，传导状态仍然由传导性粒子62维持。即，在高度地防止随着时间的劣化的情况下，致动器装置具有长的使用寿命。

如果每一个驱动触点46和对应单独触点54如在构造(ii)中那样仅通过传导性粒子62彼此传导，则当传导性粒子62从所述两个触点46、47之间流出时传导停止。在这方面，在本实施例中，传导不仅由突起63的直接接触而且还由传导性粒子62引起，从而导致电连接的可靠性提高。而且，连接电阻减小。

在本实施例中，根据改进在触点之间的电连接的可靠性的观点采用以下构造。

在对于单位面积A在介于压电致动器22和COF50之间的传导性粘结剂60中包含的传导性粒子62的数目被定义为n，并且每一个凹部64的底面积被定义为A1的情形中，关系“A1≥A/n”成立。在凹部64的面积大于或等于值A/n的情形中，基于简单的计算，一个或者多个传导性粒子62被保持在每一个凹部64中。即，传导性粒子62更加易于被捕获在凹部64中。

具体地，在传导性粘结剂60是各向异性传导膜(ACF)的情形中，对于单位面积A在该膜中包含的传导性粒子62的数目仅需要是n。在传导性粘结剂60是各向异性传导膏剂(ACP)的情形中，在膏剂被施加到触点的表面的状态下对于单位面积A在膏剂中包含的传导性粒子62的数目仅需要是n。

如在图8A和8B中所示意地，驱动触点46的两个突起63与单独触点54接触。在这个构造中，驱动触点46在两个位置处与单独触点54直接接触，从而导致传导可靠性提高。而且，位于所述两个突起63之间的凹部64被单独触点54关闭，从而使得传导性粒子62难以从凹部64流出。

为了驱动触点46的两个突起63与单独触点54的可靠的接触，单独触点54在前后方向上的宽度W0大于驱动触点46在前后方向上的宽度W1。更具体地，单独触点54的宽度W0优选地大于或等于驱动触点46的宽度W1的两倍。即使在单独触点54的宽度W0稍微比宽度W1短的情形中，在宽度W0大于在驱动触点46的两个突起63的外端之间的距离Wp的情形中，单独触点54仍然与两个突起63可靠接触。

在凹部64的宽度小于传导性粒子62的直径的情形中，存在更高的、在接合时传导性粒子62被从凹部64推出而不被捕获在凹部64中的可能性。为了可靠地在凹部64中捕获传导性粒子62，在本实施例中的接合之前，凹部64在前后方向上的宽度Wb大于或等于传导性粒子62的直径D。具体地，凹部64的宽度Wb优选地大于或等于传导性粒子62的直径D的两倍。凹部64的这个充分的宽度能够更加可靠地捕获传导性粒子62。而且，能够在每一个凹部64中捕获两个或更多个传导性粒子62。

在每一个突起63的面积相对于图8A和8B中的凹部64太大的情形中，传导性粒子62可以位于突起63上，从而使得传导性粒子62难以接触凹部64中的触点46、47。根据这个观点，突起63的宽度Wa优选地小于凹部64的宽度Wb。对于在图10A和10B中示意的接地触点47而言，这个讨论是成立的，突起65的宽度Wa'优选地小于凹部66的宽度Wb'。

如果使得凹部64的宽度Wb太大，则包括凹部64的驱动触点46的宽度W1也增加。在此情形中，在驱动触点46和接着驱动触点46的另一个驱动触点46之间的距离是短的，这可能导致在它们之间短路。如果使得该距离是大的从而防止短路，则在前后方向上致动器22的尺寸增加。相应地，凹部64在前后方向上的宽度Wb优选地小于或等于传导性粒子62的直径D的十倍。进而，驱动触点46在前后方向上的宽度W1也优选地小于或等于传导性粒子62的直径D的十倍。

在凹部64中捕获的传导性粒子62优选地在驱动触点46和单独触点54之间被压缩并且通过弹性回弹能与驱动触点46和单独触点54这两者接触。根据这个观点，在本实施例中，凹部64的深度d小于传导性粒子62的直径D。具体地，在凹部64的深度d小于或等于传导性粒子62的直径D的五分之三的情形中，传导性粒子62被以适当的程度压缩。在图8A中，双点划线示意在接合之前(在压缩之前)的传导性粒子62，并且实线示意在接合之后(在压缩之后)的传导性粒子62。传导性粒子62的上述直径D示意在传导性粒子62被压缩之前传导性粒子62的直径。在上述构造中，位于凹部64中的传导性粒子62在驱动触点46和单独触点54之间被可靠地压缩并且可靠地与驱动触点46和单独触点54这两者接触，从而导致电连接的可靠性增加。

然而，如果凹部64的深度d太小，则传导性粒子62易于从凹部64流出。相应地，凹部64的深度d优选地大于或等于传导性粒子62的直径D的五分之一。

虽然以上关于传导性粒子62的捕获描述了凹部64的宽度Wb和传导性粒子62的直径D之间的关系，但是存在另一个问题，其中在凹部64的宽度Wb相对于传导性粒子62的直径D不足够大的情形中，当COF50被朝着传导性粒子62挤压时，传导性粒子62不能横向地变宽并且不易于竖直压缩。即，还根据可靠地压缩传导性粒子62的观点，凹部64的宽度Wb优选地相对于传导性粒子62的直径是足够大的。具体地，凹部64的宽度Wb优选地大于或等于传导性粒子62的直径D的两倍。

在本实施例中，凹部64具有其在左右方向上的长度比它在前后方向上的宽度长的伸长形状。而且，在前后方向上为每一个驱动触点46形成仅一个凹部64。利用这些构造，在布置驱动触点46的前后方向上，凹部64的宽度Wb是短的，从而驱动触点46的宽度W1是小的。因为凹部64在左右方向上是长的，所以能够在凹部64中捕获很多传导性粒子62。而且，虽然凹部64在每一个驱动触点46中形成，但是能够使得布置驱动触点46的间隔是短的。特别地，因为驱动触点46需要被布置成行，所以本实施例采用上述构造，但是与驱动触点46对应的所述两个喷嘴组27的喷嘴24被以600dpi的高密度布置。

在本实施例中，压电致动器22的驱动触点46形成有突起63和凹部64。然而，即使在其中突起被形成在COF50的每一个单独触点54上并且凹部被形成在COF50的每一个单独触点54的构造中，仍然获得了类似于上述效果的效果。然而，在每一个触点上和每一个触点中形成突起和凹部要求以比布置触点的间隔更短的间隔进行图案化。具体地，在本实施例中，用于形成两个突起63的两个电传导性部42a在每一根导线42的远端部上形成。所述两个电传导性部42a以布置导线42的间隔的一半的相当小的距离形成。

关注于实现精细的间距，在当前技术水平下，与导线基底诸如COF50相比，在硅单晶基底上图案化通常更加易于执行。即，与在导线基底上相比，精细的图案更加易于在硅基底上形成。相应地，如果凹部和突起可以在压电致动器22的每一个触点和COF50的每一个触点中的任何触点中和任何触点上形成，则突起63更加易于在压电致动器22的每一个驱动触点46上形成并且凹部64更加易于在压电致动器22的每一个驱动触点46中形成。

如在对于生产过程的解释中描述地，在本实施例中，具有两个电传导性部42a的每一根导线42由铝(Al)形成并且通过Al层的蚀刻而被图案化。使用蚀刻的图案化使得能够以高清晰度形成导线图案。作为对照，驱动触点46由金(Au)形成并且通常通过电镀形成。通过电镀的图案化的精度小于通过蚀刻的图案化的精度。即，在本实施例中，由不适合于精细间距的材料形成的驱动触点46在以精细间距通过蚀刻形成的电传导性部42a上方形成，由此所述两个突起63和凹部64得以形成。

然而，当与金相比较时，铝经受氧化。因此，在本实施例中，所述两个电传导性部42a被导线保护层43覆盖，并且驱动触点46在其上形成。这个构造抑制电传导性部42a的氧化。

在上述实施例中，喷墨头4是液体喷射设备的一个实例。压电致动器22是致动器的一个实例。前后方向，即，喷嘴布置方向和触点布置方向每一个是第一方向的一个实例。左右方向，即，与在其上设置触点46的压电致动器22的上表面平行并且与触点布置方向正交的导线延伸方向是第二方向的一个实例。COF50是导线部件的一个实例。压电致动器22的驱动触点46和接地触点47每一个是第一触点的一个实例。COF50的单独触点54和接地触点55每一个是第二触点的一个实例。覆盖所述两个电传导性部42a的导线保护层43是绝缘层的一个实例。

接着将解释实施例的变型。注意与在上述实施例中使用的相同的附图标记被用于标注这些变型的对应元件，并且其解释省略。

在上述实施例中，压电致动器22的驱动触点46和接地触点47每一个具有突起和凹部。然而，可以每一个驱动触点46和每一个接地触点47中的仅一个具有突起和凹部。

在上述实施例中，三个绝缘层，即，保护层40、绝缘层41和导线保护层43在压电层33上形成，但是可以根据需要移除这些层。例如，在连接到第二电极34的导线由高度稳定材料诸如金(Au)形成的情形中，可以不设置绝缘层41和保护层43。

在每一个触点上和每一个触点中形成的突起和凹部的形状不限于在上述实施例中的那些。例如，可以提供以下第一到第四变型。

在第一变型中，三个或更多个突起和两个或更多个凹部可以在每一个触点上和每一个触点中形成。增加突起的数目增加了直接接触面积，从而导致电连接的可靠性更高。而且，连接电阻减小。进而，增加凹部的数目增加了将被捕获的传导性粒子62的数目，从而导致电连接的可靠性更高。

在上述实施例中，如在图8A和8B中所示意地，COF50的单独触点54的宽度大于压电致动器22的驱动触点46的宽度。在第二变型中，如在图12A中所示意地，COF50A的单独触点54A的宽度可以小于压电致动器22的驱动触点46的宽度。可替代地，如在图12B中所示意地，驱动触点46的所述两个突起63中的仅一个可以与单独触点54B接触。还在这个构造中，位于所述两个突起63之间的大多数凹部64被COF50B关闭，从而使得传导性粒子62难以从凹部64流出。

在上述实施例中，凹部64的深度小于传导性粒子62的直径。然而，在第三变型中，凹部的深度可以大于传导性粒子62的直径。还在这个构造中，能够在凹部中压缩传导性粒子62，只要两个或更个多传导性粒子62被捕获在凹部中。

在上述实施例中，如在图7中所示意地，无任何突起被形成于凹部64的右侧(即，在凹部64的相反侧中的比另一侧更加靠近触点46的远端定位的一侧上)，并且凹部64的右端是打开的。然而，在第四变型中，突起可以在凹部的相反侧中的比另一侧更加靠近触点的远端定位的一侧上形成。在这个构造中，凹部被突起包围，从而使得传导性粒子难以从凹部流出。

虽然在上述实施例中所述两个突起63由导线42的远端部的分叉形状形成，但是突起和凹部可以利用其它方法在触点上和触点中形成。

在图13A中示意的变型中，通过蚀刻振动层30C的上表面而形成凹进层部70。驱动触点46C被设置成覆盖该凹进层部70。在这个构造中，驱动触点46C的与凹进层部70重叠的一部分用作凹部64C。突起63C由(i)振动层30C的位于层部70前面和后面的部分和(ii)驱动触点46C的分别位于振动层30C的所述部分正上方的部分构成。

图13B示意又一个变型，其中通过替代振动层地蚀刻压电层而形成凹进层部。在这个变型中，位于振动层30上方的压电层33D延伸到通道限定器21的端部。压电层33D被蚀刻以形成凹进层部71。驱动触点46D被设置成覆盖凹进层部71。在这个构造中，驱动触点46D的与凹进层部71重叠的一部分用作凹部64D。突起63D由(i)压电层33D的位于层部71前面和后面的部分和(ii)驱动触点46D的分别位于压电层33D的上述部分正上方的部分构成。

图13C示意又一个变型，其中设置在振动层30上的驱动触点46E包括传导层72和两个导体73。所述两个导体73被设置在传导层72上从而在前后方向上彼此隔开。在这个变型中，突起63E由导体73和传导层72的位于相应的导体73正下方的部分构成。传导层72的介于所述两个导体73之间的部分用作凹部64E。

图13D示意又一个变型，其中可以在单独触点54连接到的驱动触点46F的表面上执行蚀刻、等离子体处理和/或其它类似的处理，使得驱动触点46F具有其表面粗糙度足以捕获传导性粒子62的粗糙表面74。例如，可以通过改变湿法蚀刻的蚀刻速率实现驱动触点的表面的理想的表面粗糙度(见日本专利申请公开特开2012-222025)。

具有各种形状的突起63F和凹部64F在粗糙表面74上和粗糙表面74中形成。粗糙表面74的表面粗糙度(算术平均粗糙度)Ra优选地小于传导性粒子62的直径D从而压缩粗糙表面74的凹部64F中的传导性粒子62。如果表面粗糙度Ra太小，则凹部64F不能捕获传导性粒子62。因此，表面粗糙度Ra优选地大于或等于传导性粒子62的直径D的五分之一。

在上述实施例中，每一个驱动触点46的所述两个突起63被在与布置驱动触点46的方向一致的前后方向上布置。然而，两个或更多个突起可以被在与布置驱动触点的方向正交的方向上布置。在这个构造中，在很多情形中，每一个触点在触点布置方向上的宽度是大的，从而导致布置触点的间隔增加。然而，每一个触点的更大的宽度导致更高的COF剥离强度。

在上述实施例中，突起63和凹部64在压电致动器22的每一个驱动触点46上和每一个驱动触点46中形成，但是突起和凹部在COF的每一个触点上和COF的每一个触点中形成。例如，在图14中示意的变型中，连接到压电致动器22G的驱动触点46G的COF50G的单独触点54G包括传导层76和两个导体77。所述两个导体77被设置在传导层76上从而在前后方向上彼此隔开。在这个构造中，突起63G由导体77和传导层76的位于相应的导体77正下方的部分构成。而且，传导层76的位于所述两个导体77之间的部分用作凹部64G。

在一个喷墨头中驱动触点和接地触点的布置不限于在上述实施例中的布置。例如，喷墨头可以被构造成使得压电元件的所有的导线被沿着一个方向引出，并且所有的驱动触点在压电致动器的一个端部处被布置成行。喷墨头可以被构造成使得压电元件的所有的导线被朝向压电致动器在扫描方向上的中央部分引出，并且所有的驱动触点在压电致动器的中央部分处被布置成行。接地触点的数目不限于两个而是可以是一个或者三个或更多个。

在上述实施例中的喷墨头4是被构造为在记录片材100的宽度方向上移动时喷射墨的串行头。然而，本公开可以应用于具有在片材的宽度方向上布置的喷嘴的行式头。

虽然在上述实施例中本公开被应用于构造为将墨喷射到记录片材上以记录图像的喷墨头，但是本公开可以应用到用于除了液体喷射之外的意图的致动器装置。而且，致动器不限于包括多个压电元件的压电致动器。例如，致动器可以是包括加热器作为驱动元件的致动器，该致动器通过利用当电流流过加热器时产生的热而引起驱动。

Claims (22)

1.一种致动器装置，包括：

致动器，所述致动器包括多个第一触点；和

导线部件，所述导线部件包括多个第二触点，用包括传导性粒子的传导性粘结剂将所述多个第二触点分别连接到所述多个第一触点，

其中(i)所述多个第一触点中的每一个和(ii)所述多个第二触点中的每一个中的一个是多个特别触点中的每一个，并且(i)所述多个第一触点中的每一个和(ii)所述多个第二触点中的每一个中的另一个是多个特殊触点中的每一个，

其中在所述多个特别触点上形成多个突起，并且在所述多个特别触点中形成多个凹部，所述多个突起被布置在与所述多个特别触点中的每一个的放置表面平行的第一方向上，所述多个凹部中的每一个介于所述多个突起中的对应两个之间，并且

其中在所述多个突起中的每一个与所述多个特殊触点中的对应一个接触的状态下，用设置在所述多个凹部中的所述传导性粘结剂将所述多个特别触点分别接合到所述多个特殊触点。

2.根据权利要求1所述的致动器装置，其中在n是所述传导性粘结剂中每面积A包含的所述传导性粒子的数目并且A1是所述多个凹部中的每一个的面积的情况下，A1大于或等于A/n。

3.根据权利要求1所述的致动器装置，其中所述多个突起中的每一个与所述多个特殊触点中的对应一个接触。

4.根据权利要求3所述的致动器装置，其中所述多个特殊触点中的每一个在所述第一方向上的宽度大于所述多个特别触点中的每一个在所述第一方向上的宽度。

5.根据权利要求4所述的致动器装置，其中所述多个特殊触点中的每一个在所述第一方向上的宽度大于或等于所述多个特别触点中的每一个在所述第一方向上的宽度的两倍。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的致动器装置，其中所述多个凹部中的每一个在所述第一方向上的宽度大于或等于所述传导性粒子的直径。

7.根据权利要求6所述的致动器装置，其中所述多个凹部中的每一个在所述第一方向上的宽度大于或等于所述传导性粒子的直径的两倍。

8.根据权利要求6所述的致动器装置，其中所述多个凹部中的每一个在所述第一方向上的宽度小于或等于所述传导性粒子的直径的十倍。

9.根据权利要求8所述的致动器装置，其中所述多个特别触点中的每一个在所述第一方向上的宽度小于或等于所述传导性粒子的直径的十倍。

10.根据权利要求1至5中的任一项所述的致动器装置，

其中所述多个第一触点被布置在所述第一方向上，并且

其中所述多个凹部中的每一个在与所述放置表面平行且与所述第一方向正交的第二方向上的长度大于所述多个凹部中的每一个在所述第一方向上的长度。

11.根据权利要求10所述的致动器装置，其中所述多个凹部中的仅一个被设置在所述第一方向上。

12.根据权利要求1至5中的任一项所述的致动器装置，其中所述多个凹部中的每一个的深度小于所述传导性粒子的直径。

13.根据权利要求12所述的致动器装置，其中所述多个凹部中的每一个的深度小于或等于所述传导性粒子的直径的五分之三。

14.根据权利要求12所述的致动器装置，其中所述多个凹部中的每一个的深度大于或等于所述传导性粒子的直径的五分之一。

15.根据权利要求1至5中的任一项所述的致动器装置，其中所述多个特别触点中的每一个是所述多个第一触点中的每一个。

16.根据权利要求15所述的致动器装置，

其中所述致动器包括被构造为分别与所述多个第一触点传导的多根导线，

其中所述多根导线中的每一根包括在所述第一方向上彼此隔开的两个电传导性部，

其中所述多个第一触点中的每一个被设置成覆盖(a)所述多根导线中的对应一根的所述两个电传导性部和(b)在所述第一方向上位于所述两个电传导性部之间的区域，

其中所述多个第一触点中的每一个的覆盖所述两个电传导性部的部分分别构成所述多个突起，并且

其中所述多个第一触点中的每一个的位于所述两个电传导性部之间的部分构成所述多个凹部中的对应一个。

17.根据权利要求16所述的致动器装置，

其中用绝缘层覆盖所述多根导线中的每一根的所述两个电传导性部，

其中在所述绝缘层介于所述多个第一触点中的每一个和所述两个电传导性部之间的情况下，所述多个第一触点中的每一个与所述两个电传导性部重叠，并且

其中多个传导部延伸通过所述绝缘层，并且所述多个传导部被构造为使得在所述多个第一触点中的每一个和所述两个电传导性部之间的传导成为可能。

18.根据权利要求15所述的致动器装置，

其中所述致动器包括：振动层；多个压电元件，所述多个压电元件被设置在所述振动层上；和所述多个第一触点，所述多个第一触点被分别从所述多个压电元件引出，

其中所述振动层包括凹进层部，

其中所述多个第一触点中的每一个被设置成覆盖所述凹进层部，并且

其中所述多个第一触点中的每一个的与所述凹进层部重叠的部分构成所述多个凹部中的对应一个。

19.根据权利要求1至5中的任一项所述的致动器装置，其中所述多个特别触点中的每一个的被连接到所述多个特殊触点中的对应一个的表面的表面粗糙度小于所述传导性粒子的直径的一倍。

20.根据权利要求1至5中的任一项所述的致动器装置，其中所述多个特别触点中的每一个的被连接到所述多个特殊触点中的对应一个的表面的表面粗糙度大于或等于所述传导性粒子的直径的五分之一。

21.一种液体喷射设备，包括：

通道限定器，所述通道限定器中限定多个压力腔室；

振动层，所述振动层覆盖所述多个压力腔室；

多个压电元件，所述多个压电元件被设置在所述振动层上，从而分别与所述多个压力腔室重叠；

多个第一触点，所述多个第一触点被分别从所述多个压电元件引出；和

导线部件，所述导线部件包括多个第二触点，用包括传导性粒子的传导性粘结剂将所述多个第二触点分别连接到所述多个第一触点，

其中(i)所述多个第一触点中的每一个和(ii)所述多个第二触点中的每一个中的一个是多个特别触点中的每一个，并且所述多个第一触点中的每一个和所述多个第二触点中的每一个中的另一个是多个特殊触点中的每一个，

其中在所述多个特别触点上形成多个突起，并且在所述多个特别触点中形成多个凹部，所述多个突起被布置在与所述多个特别触点中的每一个的放置表面平行的第一方向上，所述多个凹部中的每一个介于所述多个突起中的对应两个之间，并且

其中在所述多个突起中的每一个与所述多个特殊触点中的对应一个接触的状态下，用设置在所述多个凹部中的所述传导性粘结剂将所述多个特别触点分别接合到所述多个特殊触点。

22.一种用于液体喷射设备的连接结构，所述连接结构用于用传导性粘结剂分别将导线部件的多个第一触点和多个第二触点彼此连接，

其中(i)所述多个第一触点中的每一个和(ii)所述多个第二触点中的每一个中的一个是多个特别触点中的每一个，并且(i)所述多个第一触点中的每一个和(ii)所述多个第二触点中的每一个中的另一个是多个特殊触点中的每一个，

其中在所述多个特别触点上形成多个突起，并且在所述多个特别触点中形成多个凹部，所述多个突起被布置在与所述多个特别触点中的每一个的放置表面平行的第一方向上，所述多个凹部中的每一个介于所述多个突起中的对应两个之间，并且

其中在所述多个突起中的每一个与所述多个特殊触点中的对应一个接触的状态下，用设置在所述多个凹部中的所述传导性粘结剂将所述多个特别触点分别接合到所述多个特殊触点。

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