CN107814200A - 一种气浮式阵列涂布机及其传送装置 - Google Patents

一种气浮式阵列涂布机及其传送装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种气浮式阵列涂布机的传送装置，包括：气浮式支撑平台，气浮式支撑平台的相对两侧分别设有能够吸附基板且可联动基板沿一定轨迹在气浮式支撑平台的顶部进行传动的传动组件；传动组件包括：按照一定轨迹移动的支撑块；设置在支撑块上的用以吸附基板的吸附体；以及装设在所述支撑块上的用以阻挡基板滑落的挡块，挡块设为与吸附体相邻。本发明还公开了一种气浮式阵列涂布机。实施本发明的气浮式阵列涂布机及其传送装置，能够避免传送装置从传送装置上脱落，提升气浮式阵列涂布机的稳定性和安全性能。

Description

一种气浮式阵列涂布机及其传送装置
技术领域
本发明涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种气浮式阵列涂布机及其传送装置。
背景技术
现有技术中，气浮式阵列涂布机在入口使用常规的滚轮传动装置将基板传送至阵列涂布机的支撑平台上，支撑平台上设置用于供应干燥空气和真空的孔洞。作业过程中，基板与支撑平台表面的间距达到100um左右，再通过位于支撑平台两侧的传送装置的运动带动基板传送，从而完成基板的传送过程。现有的气浮式阵列涂布机的传送装置因其结构设计不合理，存在如下缺陷：
1、由于基板在支撑平台上的传送依靠浮力和传送装置的带动力，而这两项均依靠气流的稳定性，若孔洞提供的气流不足，会导致基板的浮力不足未达到标准的浮上量，基板与支撑平台的接触风险会加大，当两者接触时会产生一个反向的阻力阻碍基板传送，在传送装置与基板连接不牢靠时，基板会从传送装置上脱落而下，而当传送装置与基板连接非常紧固时，将会直接造成基板破片。
2、在传送装置与基板连接不牢靠时，常见情况是基板在未传送前设备已报警停机，较少情况会导致基板从传送装置上脱落直接掉落至支撑平台上造成基板背部刮伤。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种气浮式阵列涂布机及其传送装置，能够避免基板从传送装置上脱落，提升气浮式阵列涂布机的稳定性和安全性能。
为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种气浮式阵列涂布机的传送装置，包括：气浮式支撑平台，气浮式支撑平台的相对两侧分别设有能够吸附基板且可联动基板沿一定轨迹在气浮式支撑平台的顶部进行传动的传动组件；传动组件包括：按照一定轨迹移动的支撑块；设置在支撑块上的用以吸附基板的吸附体；以及装设在所述支撑块上的用以阻挡基板滑落的挡块，所述挡块设为与所述吸附体相邻。
其中，气浮式支撑平台上设有均匀分布的用于供应干燥空气和/或真空的孔洞，其中：基板依靠孔洞提供气流的浮力和传动组件的传动力在气浮式支撑平台的顶部进行传动。
其中，挡块上设有橡胶。
其中，传送装置还包括光感探头和控制单元，光感探头设置在支撑块上，用于检测基板的悬浮量，并将检测结果发送给控制单元；控制单元，用于在检测结果为基板的悬浮量不足时，对传送装置进行停机控制。
其中，传动组件设为前后布置的两个，挡块设置在其中一个传动组件的支撑块的一侧端部的位置上。
其中，光感探头设置在支撑块的内部，支撑块的一侧表面与装设在其中的光感探头的距离为5mm。
其中，支撑块的移动轨迹为前后布置的两个传动组件中心轴线的连线方向。
其中，孔洞提供气流使基板与浮式支撑平台之间的相对悬浮的距离范围在190um-210um之间。
其中，吸附体为吸盘。
为解决上述技术问题，本发明还公开了一种气浮式阵列涂布机。
实施本发明所提供的气浮式阵列涂布机及其传送装置，具有如下有益效果：气浮式支撑平台的相对两侧设有能够吸附基板且可联动基板沿一定轨迹在气浮式支撑平台的顶部进行传动的传动组件；传动组件包括：按照一定轨迹移动的支撑块；设置在支撑块上的用以吸附基板的吸附体；以及装设在支撑块上的用以阻挡基板滑落的挡块，挡块设为与吸附体相邻，能有效防止基板在吸附体的吸附力不足的情况下从支撑块上脱落的情况，进一步降低风险。该传送装置结构精简，便于维修和维护。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例气浮式阵列涂布机的传送装置的俯视结构示意图。
图2是本发明实施例气浮式阵列涂布机的传送装置的传动组件的主视结构示意图。
图3是本发明实施例气浮式阵列涂布机的传送装置的传动组件的侧视结构示意图。
图4是本发明实施例气浮式阵列涂布机的传送装置的传动组件的俯视结构示意图。
图5是本发明实施例气浮式阵列涂布机的传送装置的光感探头的安装位置示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参见图1-图2，为本发明气浮式阵列涂布机的传送装置的实施例一。
本实施例中的传送装置应用在气浮式阵列涂布机上，其包括： 气浮式支撑平台1，气浮式支撑平台1的相对两侧设有能够吸附基板且可联动基板T沿一定轨迹在气浮式支撑平台1的顶部进行传动的传动组件。
气浮式支撑平台1为平板状，其上设有均匀分布的用于供应干燥空气和/或真空的孔洞11。具体实施时，孔洞11提供干燥空气和/或真空，对经过其上方的基板产生一定浮力，并配合传动组件的传动力在气浮式支撑平台1的顶部进行传动。
本实施例中的传动组件分别位于气浮式支撑平台1的相对两侧，结构设为对称；传动组件在本实施例中设为前后布置的两个。例如：本实施例中如图所示的一侧的传动组件包含前后布置的两个传动组件2a、2b。 如图所示的另一侧传动组件包含前后布置的两个传动组件2c、2d。其中：传动组件2a、2b的结构与传动组件2c、2d的结构设为对称，分别位于气浮式支撑平台1的相对两侧。可以理解的是：其它实施方式中，传动组件设置的位置及个数并不限定，只要其满足能够吸附基板且可联动基板T沿一定轨迹在气浮式支撑平台1的顶部进行传动即可。
进一步的，以下以一侧的传动组件2a、2b为例说明其结构。
传动组件2a包括：按照一定轨迹移动的支撑块21；设置在支撑块21上的用以吸附基板的吸附体22；以及装设在支撑块21上的用以阻挡基板滑落的挡块23，挡块23设为与吸附体22相邻。传动组件2b的结构与传动组件2a的结构类似，也包括支撑块21和设置在支撑块21上的用以吸附基板的吸附体22。其中：支撑块21的移动轨迹是前后布置的两个传动组件2a、2b中心轴线的连线方向，相当于传动组件2a的支撑块21中心轴线O1与传动组件2b的支撑块21中心轴线O2的连线方向。
进一步的，吸附体22为吸盘结构，设为两个，吸盘的作用是对传送至支撑块上的基板进行吸附。
挡块23设置在传动组件2a支撑块21上的如图所示的左侧端部的表面，挡块23为一矩块，其作用是：防止基板T在传动组件吸附体22不足的情况下从传动组件上脱落下来，从而消除因基板脱落造成的宕机，以及基板碎片的事故。
优选的，挡块23上设有橡胶，橡胶可以采用包覆的层结构，整体包覆在挡块23的外部，或是采用连接结构，连接在挡块23与基板T相接触的位置上，橡胶的作用是：减震的功能且可以防止破片。
进一步的，传送装置还包括光感探头24和控制单元，光感探头24设置在支撑块21上，用于检测基板的悬浮量，并将检测结果发送给控制单元；控制单元，用于在检测结果为基板的悬浮量不足时，对传送装置进行停机控制。
具体实施时，光感探头24设置在支撑块21的内部，支撑块21的一侧表面与装设在其中的光感探头的距离为5mm，如此，可有效检测出基板在浮上量不足时的轻微移动。
设置光感探头24的作用是:对传动组件上基板的位置进行检测，使基板T在浮上量不足的情况下或基板有轻微滑移时能够侦测得出。控制单元的作用是：当光感探头24检测支撑块21上基板的悬浮量不足而导致滑移时，光感探头24将检测结果发送给控制单元，控制单元对传送装置进行停机作业。
通过设置光感探头和控制单元，可减小基板脱落风险，提高设备的安全性和稳定性能；能够实现及时停机并对设备进行系统检查，避免风险进一步扩大。
本实施例中的传送装置在具体实施时，气浮式支撑平台1的孔洞11提供干燥空气和/或真空，对经过其上方的基板产生浮力，并配合传动组件的传动力在气浮式支撑平台1的顶部进行传动。其中：孔洞11提供气流使基板与浮式支撑平台之间的相对悬浮的距离范围在190um-210um之间，从而完成基板在气浮式支撑平台1上的的传送过程。
本发明还公开了一种气浮式阵列涂布机，该气浮式阵列涂布机的具体实施方式与上述气浮式阵列涂布机的传送装置的实施方式相同，不再赘述。
实施本发明所提供的气浮式阵列涂布机及其传送装置，具有如下有益效果：
第一、气浮式支撑平台的相对两侧设有能够吸附基板且可联动基板沿一定轨迹在气浮式支撑平台的顶部进行传动的传动组件；传动组件包括：按照一定轨迹移动的支撑块；设置在支撑块上的用以吸附基板的吸附体；以及装设在支撑块上的用以阻挡基板滑落的挡块，挡块设为与吸附体相邻，能有效防止基板在吸附体的吸附力不足的情况下从支撑块上脱落的情况，进一步降低风险。
第二、支撑块上装设有光感探头和控制单元，其中：光感探头设置在支撑块上，用于检测基板的悬浮量，并将检测结果发送给控制单元；控制单元，用于在检测结果为基板的悬浮量不足时，对传送装置进行停机控制，能够有效检测基板在浮上量不足所导致的轻微移动，从而及时停机并对设备进行系统检查，避免风险进一步扩大，提升气浮式阵列涂布机的稳定性和安全性能。
第三、结构精简，便于维修和维护。

Claims (10)

1.一种用于气浮式阵列涂布机的传送装置，其特征在于，包括：
气浮式支撑平台，所述气浮式支撑平台的相对两侧分别设有能够吸附基板且可联动所述基板沿一定轨迹在所述气浮式支撑平台的顶部进行传动的传动组件；所述传动组件包括：
按照一定轨迹移动的支撑块；
设置在所述支撑块上的用以吸附基板的吸附体；以及
装设在所述支撑块上的用以阻挡基板滑落的挡块，所述挡块设为与所述吸附体相邻。
2.如权利要求1所述的气浮式阵列涂布机的传送装置，其特征在于，所述气浮式支撑平台上设有均匀分布的用于供应干燥空气和/或真空的孔洞，其中：基板依靠所述孔洞提供气流的浮力和所述传动组件的传动力在所述气浮式支撑平台的顶部进行传动。
3.如权利要求1或2所述的气浮式阵列涂布机的传送装置，其特征在于，所述挡块上设有橡胶。
4.如权利要求1或2所述的气浮式阵列涂布机的传送装置，其特征在于，所述传送装置还包括光感探头和控制单元，所述光感探头设置在所述支撑块上，用于检测基板的悬浮量，并将检测结果发送给控制单元；所述控制单元，用于在所述检测结果为基板的悬浮量不足时，对传送装置进行停机控制。
5.如权利要求4所述的气浮式阵列涂布机的传送装置，其特征在于，所述传动组件设为前后布置的两个，所述挡块设置在其中一个传动组件的支撑块的一侧端部的位置上。
6.如权利要求5所述的气浮式阵列涂布机的传送装置，其特征在于，所述光感探头设置在所述支撑块的内部，所述支撑块的一侧表面与装设在其中的所述光感探头的距离为5mm。
7.如权利要求5所述的气浮式阵列涂布机的传送装置，其特征在于，所述支撑块的移动轨迹为前后布置的两个传动组件中心轴线的连线方向。
8.如权利要求2所述的气浮式阵列涂布机的传送装置，其特征在于，所述孔洞提供气流使基板与所述浮式支撑平台之间的相对悬浮的距离范围在190um-210um之间。
9.如权利要求1所述的气浮式阵列涂布机的传送装置，其特征在于，所述吸附体为吸盘。
10.一种气浮式阵列涂布机，其特征在于，所述气浮式阵列涂布机包括如权利要求1-9任一项所述的气浮式阵列涂布机。
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