CN107613842B - 照明装置和计测装置 - Google Patents

照明装置和计测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN107613842B
CN107613842B CN201580080107.4A CN201580080107A CN107613842B CN 107613842 B CN107613842 B CN 107613842B CN 201580080107 A CN201580080107 A CN 201580080107A CN 107613842 B CN107613842 B CN 107613842B
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
wave plate
lighting device
polarization
polarization separation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201580080107.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107613842A (zh
Inventor
渡边大智
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Publication of CN107613842A publication Critical patent/CN107613842A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107613842B publication Critical patent/CN107613842B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B23/00—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
    • G02B23/24—Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
    • G02B23/2407—Optical details
    • G02B23/2461—Illumination
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B1/00—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B1/00—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor
    • A61B1/06—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor with illuminating arrangements
    • A61B1/0605—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor with illuminating arrangements for spatially modulated illumination
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B1/00—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor
    • A61B1/06—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor with illuminating arrangements
    • A61B1/0661—Endoscope light sources
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B1/00—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor
    • A61B1/06—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor with illuminating arrangements
    • A61B1/07—Instruments for performing medical examinations of the interior of cavities or tubes of the body by visual or photographical inspection, e.g. endoscopes; Illuminating arrangements therefor with illuminating arrangements using light-conductive means, e.g. optical fibres
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G02B27/286—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising for controlling or changing the state of polarisation, e.g. transforming one polarisation state into another
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B23/00—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
    • G02B23/24—Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
    • G02B23/2407—Optical details
    • G02B23/2461—Illumination
    • G02B23/2469—Illumination using optical fibres

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Astronomy & Astrophysics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)
  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Endoscopes (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Instruments For Viewing The Inside Of Hollow Bodies (AREA)

Abstract

照明装置具有：光源部，其包含射出具有相干性的光的半导体激光器(101)；偏振光分离部，其包含金红石(111)、1/2相位差膜(112)和金红石(113)，该偏振光分离部根据所入射的光的偏振方向对光路进行分离；以及投影偏振光切换机构，其包含1/2波片单元(105)、1/4波片单元(107)以及偏振光膜(114)，该投影偏振光切换机构使从偏振光分离部射出并投影的光在透过了由偏振光分离部分离出的各个光路后的光的偏振光成分与透过了任意一个光路后的光的偏振光成分之间进行切换。由此，能够提供将观察用照明和计测用照明的光源以及光学系统共用化的小型的照明装置以及使用了该照明装置的计测装置。

Description

照明装置和计测装置
技术领域
本发明涉及在三维形状计测中使用的照明装置和使用该照明装置的计测装置。
背景技术
在以非接触的方式对物体表面的三维形状进行计测的方法中，公知有图案投影法(例如，参照专利文献1和专利文献2)。该方法是：对计测对象物体投影特定的基准图案，从与投影方向不同的方向利用摄像器来捕捉根据投影的面的三维形状而变形的投影图案，对该拍摄到的图案进行分析而对计测对象面的三维形状进行计算。
例如，在专利文献1中公开了配置在内窥镜的前端的计测装置。在该装置中，为了对计测对象物的表面的三维形状进行计测而使用相位偏移法。相位偏移法是如下方法：通过对计测对象物体投影干涉条纹，使所投影的光栅图案的相位依次变化而拍摄图像，根据拍摄到的图像数据，通过运算来求出该初始相位分布。根据该相位分布，通过三角测量的原理来求出物体表面形状。
基于这样的图案投影法的计测方法具有如下等优点：由于是非接触的方式，所以不会对计测对象造成损伤，并且对柔软的物体也能够进行计测；通过瞬间捕获计测对象面的宽范围内的信息，能够进行高速的计测或动态变化的物体的计测；以及与干涉计测相比，计测的动态范围更宽。因此，能够广泛地应用于各种领域。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：美国专利第8107083号说明书
专利文献2：日本特开平5-211988号公报
发明内容
发明要解决的课题
但是，在基于以往的图案投影法的计测装置中，具有用于观察对象物的观察用照明(无图案)和用于计测三维形状的计测用照明(有图案)这两个照明系统，通过光源的开/关而对照明的切换进行控制。因此，为了进行观察用照明和计测用照明而需要两个光源和光学系统，因此存在装置大型化的问题。
因此，本发明是着眼于这些点而完成的，其目的在于，提供使光源和光学系统在观察用照明与计测用照明之间共用化的小型的照明装置和使用了该照明装置的计测装置。
用于解决课题的手段
达成上述目的的照明装置的发明的特征在于，具有：光源部，其射出具有相干性的光；偏振光分离部，其根据所入射的光的偏振方向对光路进行分离；以及投影偏振光切换机构，其使从所述偏振光分离部射出并投影的光在透过了由所述偏振光分离部分离出的各个光路后的光的偏振光成分与透过了任意一个光路后的光的偏振光成分之间进行切换。
在一个实施方式中，所述投影偏振光切换机构可以具有：偏振光调整部，其配置在所述光源部与所述偏振光分离部之间，使从所述光源部射出的光的偏振光状态以能够调整的方式发生变化；以及偏振片，其配置在所述偏振光分离部的后段，仅使特定方向的直线偏振光透过。
优选所述偏振光调整部具有：1/2波片；以及1/2波片旋转部，其构成为能够通过使该1/2波片旋转而对该1/2波片的光学轴的朝向进行调整。
并且，所述偏振光调整部可以构成为具有：1/4波片，其配置在所述1/2波片的所述偏振光分离部侧；以及1/4波片旋转部，其构成为能够通过使该1/4波片旋转而对该1/4波片的光学轴的朝向进行调整。
或者，优选所述偏振光调整部在所述1/2波片的所述光源部侧具有相位调制部，该相位调制部控制由所述偏振光分离部对光路进行分离而得到的各个偏振光的相位差。
在其他实施方式中，所述投影偏振光切换机构可以具有：偏振光调整部，其配置在所述光源部与所述偏振光分离部之间，使从所述光源部射出的光的偏振光状态发生变化；以及偏振片，其构成为配置在所述偏振光分离部的后段，能够对透过轴的朝向进行调整。
优选所述偏振光调整部具有：1/2波片；1/2波片旋转部，其构成为能够使该1/2波片旋转而调整该1/2波片的光学轴的朝向；以及1/4波片，其配置在所述1/2波片的所述偏振光分离部侧。
进而优选在所述各照明装置中具有偏振波保持波导，该偏振波保持波导配置在从所述光源部到所述偏振光分离部之间以使得偏振波保持方向与所述偏振光分离部所分离出的各个偏振方向相等。
达成上述目的的计测装置的发明的特征在于，具有：上述任意的照明装置；摄像部，其拍摄由所述照明装置投影出干涉条纹而得到的被摄体的图像；以及运算部，其根据所述照明装置与所述摄像部的位置关系以及由所述摄像部拍摄到的所述被摄体的图像的干涉条纹而导出被摄体的形状。
发明效果
根据本发明，构成为能够通过投影偏振光切换机构使从所述偏振光分离部射出并投影的光在透过了由偏振光分离部分离出的各个光路后的光的特定方向的偏振光成分与透过了任意一个光路后的光的偏振光成分之间进行切换，因此能够提供使光源和光学系统在观察用照明和计测用照明之间共用化的小型的照明装置以及使用了该照明装置的计测装置。
附图说明
图1是对第1实施方式的照明装置的概略结构进行说明的图，(a)是光学系统的概略结构图，(b)是示出观察用照明照射时的各光学元件的朝向的图，(c)是示出计测用照明照射时的各光学元件的朝向的图。
图2是使用了第1实施方式的照明装置的计测装置的概略结构图。
图3是对第2实施方式的照明装置的概略结构进行说明的图。
图4是对第3实施方式的照明装置的概略结构进行说明的图。
图5是对第4实施方式的照明装置的概略结构进行说明的图。
图6是对第5实施方式的照明装置的概略结构进行说明的图，(a)是光学系统的概略结构图，(b)是示出观察用照明照射时的各光学元件的朝向的图，(c)是示出计测用照明照射时的各光学元件的朝向的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
(第1实施方式)
图1是对第1实施方式的照明装置的概略结构进行说明的图，图1的(a)是光学系统的概略结构图，图1的(b)是示出观察用照明照射时的各光学元件的朝向的图，图1的(c)是示出计测用照明照射时的各光学元件的朝向的图。
如图1的(a)所示，照明装置包含：作为照明光源的半导体激光器101、以及按照从半导体激光器101射出的光所透过的顺序排列的准直透镜102、1/2波片103、偏振板104、1/2波片单元105、1/4波片单元107、耦合透镜109、PANDA(Polarization-maintaining ANDAbsorption-reducing：偏振波保持和吸收减少)光纤110(偏振波保持波导)、金红石111、1/2相位差膜112、金红石113、偏振光膜114(偏振片)以及广角投影透镜115。
本实施方式的光源部包含半导体激光器101、准直透镜102、1/2波片103以及偏振板104，偏振光分离部构成为包含金红石111、1/2相位差膜112以及金红石113。并且，投影偏振光切换机构构成为包含1/2波片单元105、1/4波片单元107以及偏振光膜114。其中，1/2波片单元105和1/4波片单元107构成了偏振光调整部。
在图1和以下的图中，将沿着从半导体激光器101射出的光的主光线的方向设为z方向，将在与z方向垂直的平面内互相垂直的方向分别设为x方向、y方向。
从半导体激光器101射出的光经由准直透镜102而变成平行光，该平行光通过1/2波片103、偏振板104、1/2波片单元105以及1/4波片单元107，经由耦合透镜109而与PANDA光纤110耦合。与PANDA光纤110耦合的光在PANDA光纤110中传输而从与入射面不同的端面射出。在射出的光透过金红石111、1/2相位差膜112以及金红石113时，根据偏振方向对光路进行分支。分支出的各个光通过偏振光膜114而变成仅具有偏振光膜114的透过轴方向的偏振光成分的直线偏振光。通过了偏振光膜114的光由广角投影透镜115形成为照明光束。
半导体激光器101所射出的光的波长例如为650nm，优选所有的光学元件对650nm的光发挥功能。并且，供光通过的部件的边界面被施加反射防止膜。当然，半导体激光器101也可以是其他波长的激光器、波长可变激光器、或射出多波长的光的光源等。
偏振板104被设置成其透过轴为y方向，仅使y方向的直线偏振光透过偏振板104。1/2波片103被设置为将光学轴的方向调整成使透过偏振板104的光量为最大。1/2波片单元105具有1/2波片106和未图示的旋转驱动系统(1/2波片旋转部)。并且，1/4波片单元107具有1/4波片108和未图示的旋转驱动系统(1/4波片旋转部)。根据来自未图示的照明装置固有的控制部或使用后述的照明装置的计测装置的控制部的控制信号，将1/2波片106和1/4波片108调整成相对于z轴为任意的旋转角。
PANDA光纤110是利用了双折射的偏振波保持光纤。在偏振波保持光纤中，将折射率较高的方向和较低的方向分别称为慢轴(Slow轴)和快轴(Fast轴)，所传输的光相对于各个轴保持偏振波。即，在考虑了将入射到偏振波保持光纤的一端的光分为慢轴方向和快轴方向这两个直线偏振光成分的情况下，与慢轴平行的直线偏振光成分的光从偏振波保持光纤的另一端作为与慢轴平行的直线偏振光射出，与快轴平行的直线偏振光成分的光从偏振波保持光纤的另一端作为与快轴平行的直线偏振光射出。在本实施方式中，PANDA光纤110被配置成其慢轴为y方向。但是，以下的说明在将慢轴设为x方向的情况下也同样成立。
金红石111、113是单轴性的双折射晶体，例如是厚度总共为0.35mm的平板，能够将其光学轴相对于平板表面的法线所呈的角度设为48°。该角度是金红石对偏振光进行分离的分离宽度最大的条件。双折射晶体平板的分离宽度最大的条件是当将双折射晶体的常光的折射率与非常光的折射率分别设为no、ne时，平板表面的法线与光学轴所呈的角度为arctan(ne/no)时。
金红石111和金红石113的光学轴被配置成与y﹣z面平行且各自的光学轴互相不平行。即，金红石111和金红石113的光学轴仅z方向的朝向是反向的。1/2相位差膜112被配置在金红石111与金红石113之间以使其光学轴在x﹣y面上与x轴呈45°。由此，作为常光通过金红石111的光116在透过1/2相位差膜112时其偏振方向被旋转而作为非常光通过金红石113，作为非常光通过金红石111的光117在透过1/2相位差膜112时其偏振方向被旋转而作为常光通过金红石113。
此时，当从照明光的射出侧经由金红石113、1/2相位差膜112、金红石111观看PANDA光纤110的光射出点时，在x﹣y面上的与PANDA光纤110的实际的光射出点对称的位置观察到两处虚像。
偏振光膜114被配置成其透过轴在x﹣y面上与x轴呈45°。通过金红石111、1/2相位差膜112和金红石113对光路进行分支得到的各个光116、117是互相垂直的偏振光成分，由于不存在相干性，所以不会形成干涉条纹。但是，偏振光膜114仅提取出具有相干性的偏振光成分，由此能够形成干涉条纹。
广角投影透镜115是凹透镜，将从PANDA光纤110射出的光束的发散角扩大。另外，广角投影透镜115也可以是凸透镜，在该情况下，透过了广角投影透镜115的光在暂时收敛后被发散。
接着，使用图1的(b)和图1的(c)对投影偏振光切换机构的观察用照明和计测用照明的切换进行说明。在图1的(b)和图1的(c)中分别示出了在观察照明照射时和计测照明照射时偏振板104的透过轴方向、1/2波片106的光轴方向、1/4波片108的光轴方向、PANDA光纤110的入射侧端面和出射侧端面的慢轴方向、1/2相位差膜112的光学轴方向、偏振光膜114的透过轴方向。1/2波片106和1/4波片108各自的光学轴的方向在观察用照明的照射时和计测用照明的照射时不同。
首先，对观察用照明进行说明。如图1的(b)所示，1/2波片106和1/4波片108被配置成各自的光学轴与y方向平行。由此，入射到PANDA光纤110的光和从PANDA光纤110向金红石111射出的光仅是与PANDA光纤110的慢轴平行的直线偏振光。该直线偏振光相对于金红石111仅是常光成分，相对于金红石113仅是非常光成分，所以不会产生光路的分支。即，在该情况下仅通过光116的光路。因此，在所投影的照明中不会出现干涉条纹图案。另外，在使金红石111和金红石113的配置顺序相反的情况下，常光和非常光是相反的，但与上述同样不会产生光路的分支。
接着，对计测用照明进行说明。如图1的(c)所示，1/4波片108被配置成其光学轴在x﹣y面上与x轴呈45°。由此，通过了1/4波片108的光的x轴方向和y轴方向的偏振光成分的振幅相等。并且，入射到PANDA光纤110的光具有在慢轴方向和快轴方向上的偏振光成分的振幅相等的两个偏振光成分，入射到金红石111的光也具有在x轴方向和y轴方向上振幅相等的两个偏振光成分。因此，两个偏振光成分在金红石111中其光路被分支为两个光116、117且在金红石111、1/2相位差膜112以及113中传送。由于分支出的光116、117的振幅相等，所以通过了偏振光膜114的光116、117成为振幅和偏振相等的双光束，在被摄体上形成对比度高的干涉条纹。
这里，对如下的情况进行说明：在计测用照明中当使1/2波片106的光学轴相对于z轴旋转时，能够对投影在被摄体上的干涉条纹进行扫描。通过了1/2波片106和1/4波片108的光与通过之前相比，x轴方向和y轴方向的偏振光成分产生相位差δrad。该相位差δrad相对于1/2波片106的光学轴的旋转角θrad是δ＝π/2﹣4θ。即，通过使1/2波片106的光学轴以z轴为旋转轴进行旋转，能够使入射到PANDA光纤110的光的慢轴方向与快轴方向的偏振光成分的相位差发生变化。由此，能够使在金红石111、1/2相位差膜112和金红石113中被分支的光116、117的相位差发生变化。由于双光束干涉条纹的明亮度在任意点上相对于双光束的相位差φ呈正弦波地变化，所以通过使1/2波片106的光学轴相对于z轴旋转，能够使被摄体的任意点的明亮度呈正弦波地变化。
像以上那样，1/4波片单元107具有如下功能：在使1/2波片106的光学轴朝向y方向的情况下，通过使光学轴的方向在y方向和与x轴呈45°的方向之间进行切换，而对通过偏振光分离部的光的光路进行切换。并且，在1/4波片108的光学轴与x轴呈45°的情况下，1/2波片单元105对分别通过光116、117的光路的偏振光的相位差进行控制。
接着，使用图2对计测装置进行说明。图2是使用了第1实施方式的照明装置的计测装置的概略结构图。计测装置具有上述的照明装置、照相机121以及控制部122。照相机121配置在沿干涉条纹图案123的扫描方向124相对于广角投影透镜115分开的位置。照相机121根据来自控制部122的控制信号进行拍摄。控制部122例如安装在具有CPU和存储器的计算机硬件上，将1/2波片单元105和1/4波片单元107电连接而对1/2波片106和1/4波片108的光学轴的朝向进行控制。计测装置的使用者能够从与控制部连接的未图示的输入装置对观察用照明和计测用照明进行切换。并且，控制部122也作为运算部而发挥功能，该运算部根据照明装置的广角投影透镜115与照相机121的位置关系以及照相机121所拍摄的被摄体图像的干涉条纹而导出被摄体的形状。另外，计测装置并不限于第1实施方式的照明装置，使用以下的第2到第5实施方式的照明装置也能够同样地构成。
像以上说明的那样，根据本实施方式，能够通过1/4波片单元107使从同一半导体激光器101射出的光的偏振光状态发生变化，在具有沿x方向和y方向大致相等的振幅的偏振光成分的偏振光状态与仅具有y方向的偏振光成分的直线偏振光之间进行切换。由此，能够使所投影的光在透过了由金红石111、1/2相位差膜112和金红石113分离出的光116、117的各个光路的偏振光成分(计测用照明)和透过了一方的光116的光路的偏振光成分(观察用照明)之间进行切换。即，根据本实施方式，由于能够在计测用照明和观察用照明中使用共用的光源和光学系统，所以能够使照明装置和计测装置小型化。
并且，通过设置1/2波片单元105，能够调整通过了在计测用照明中分支出的两个光路的光116与光117之间的相位差。由此，能够以不同的相位差对被摄体进行照射而对干涉条纹进行计测，因此优选基于相位偏移法的三维形状的计测。
此外，由于在耦合透镜109与金红石111之间配置了PANDA光纤110，所以从1/4波片108(偏振光调整部)射出的光在保持了快轴和慢轴方向的偏振光成分的状态下入射到金红石111(偏振光分离部)。由此，在应用于内窥镜等的情况下，即使在PANDA光纤110的导光距离较长的情况下，由于偏振光成分被良好地保持，所以在计测用照明时能够进行良好的计测。
(第2实施方式)
使用图3对第2实施方式的照明装置进行说明。该照明装置从第1实施方式的照明装置中去除了1/2波片单元105和1/4波片单元107，并设置了液晶延迟器201和1/2波片单元202。由于其他的结构与第1实施方式相同，所以对相同的结构要素赋予相同的参照标号并省略说明。在图3中，省略了图1的比PANDA光纤110靠后的光学系统的结构。
在本实施方式中，投影偏振光切换机构构成为包含液晶延迟器201、1/2波片单元202以及偏振光膜114。其中，液晶延迟器201和1/2波片单元202构成了偏振光调整部。并且，液晶延迟器201与相位调制部对应。
液晶延迟器201根据来自未图示的控制部的控制信号，在与x轴呈45°的方向的直线偏振光和与x轴呈﹣45°的方向的直线偏振光之间赋予相位差。并且，1/2波片单元202具有1/2波片203和未图示的旋转驱动系统(1/2波长旋转部)，该1/2波片单元202根据来自未图示的控制部的控制信号使1/2波片203的光学轴绕z轴进行旋转而调整成与y轴呈任意的旋转角。
本实施方式的照明装置在观察用照明照射时仅使与PANDA光纤110的慢轴平行的直线偏振光入射到PANDA光纤110。例如，通过将液晶延迟器201的延迟量设为0rad，使1/2波片203的光学轴与x轴呈0°，而能够获得那样的直线偏振光。
另一方面，在计测用照明中，将1/2波片203的光学轴的方向设为与x轴呈22.5°的方向。由此，由液晶延迟器201赋予了相位差的两个直线偏振光成分是x方向和y方向的偏振光成分，分别作为与PANDA光纤110的快轴和慢轴平行的直线偏振光而入射。即，所投影的双光束的振幅相等，能够通过液晶延迟器201使该相位差变化。
像以上说明的那样，根据本实施方式，能够获得与第1实施方式相同的效果。此外，在本实施方式中，由于使用无机械驱动部的液晶延迟器来作为相位调制部，所以不容易发生故障且能够高速地切换相位。因此，能够提高计测时的计测速度。另外，在不需要使从照明装置投影的干涉条纹图案发生变化的情况下，不需要设置液晶延迟器201，能够仅通过1/2波片单元202对观察用照明和计测用照明进行切换。在该情况下，偏振光调整部能够仅由1/2波片单元202构成。
(第3实施方式)
使用图4对第3实施方式的照明装置进行说明。在第3实施方式的照明装置中，取代第2实施方式的液晶延迟器201，设置了巴俾涅–索累补偿器301来作为相位调制部。但是，图4与图3不同，是使坐标轴绕z轴旋转了﹣45°后的图。换言之，图4是从相对于x轴和y轴分别倾斜了45°后的方向观察到的图。另外，在图4中也与图3同样，省略了图1的比PANDA光纤110靠后的光学系统的结构。
巴俾涅–索累补偿器301具有水晶302、303、304和未图示的直线驱动系统。水晶302、303具有将左水晶的平板分割成两个楔形的棱镜的形状。水晶304是右水晶，其厚度与将水晶302和水晶303合在一起的平板相同。水晶302被设置于未图示的直线驱动系统，根据来自未图示的控制部的控制信号将水晶302调整在与x﹣y面平行且与x轴呈45°方向的任意位置。水晶302和303的光学轴被配置在与x﹣y面平行且与x轴呈45°方向上，水晶304的光学轴被配置在与x﹣y面平行且与x轴呈﹣45°方向上。由此，通过移动水晶302的位置，对与x轴呈45°方向的直线偏振光和与x轴呈﹣45°方向的直线偏振光施加相位差。由于其他的结构和作用与第2实施方式相同，所以对相同的结构要素赋予相同的参照标号而省略说明。
根据本实施方式，能够得到与第1实施方式相同的效果，此外，通过使用巴俾涅–索累补偿器，能够在整个较宽的波长范围内改变相位差。
(第4实施方式)
使用图5对第4实施方式的照明装置进行说明。在第4实施方式的照明装置中，取代第2实施方式的液晶延迟器201，具有偏振光分束器401、1/4波片402、404、平面镜403以及反射型相位调制器405来作为相位调制部。并且，偏振板104的透过轴的朝向与第2实施方式不同。此外，1/2波片单元202的配置也与第2实施方式不同。
偏振光分束器401被配置成其分束器面与y﹣z面垂直且其法线与z轴呈45°，该偏振光分束器401对与x方向平行的直线偏振光进行反射，使与y方向平行的直线偏振光透过。平面镜403在偏振光分束器401的y方向上被设置成其法线方向是经偏振光分束器401反射后的光的主光线方向。反射型相位调制器405在偏振光分束器401的z方向上被设置成其法线方向是透过了偏振光分束器401的光的主光线方向。1/4波片402配置在偏振光分束器401与平面镜403之间，其光学轴与x-z面平行且与z轴呈45°。1/4波片404配置在偏振光分束器401与反射型相位调制器405之间，其光学轴与x﹣y面平行且与y轴呈45°。
另一方面，偏振板104被配置成其透过轴在x﹣y面内与x轴呈45°。并且，1/2波片103被配置为将光学轴的方向调整成使透过偏振板104的光量为最大。此外，1/2波片单元202配置在偏振光分束器401的与设置有1/4波片402和平面镜403侧的面相反的一侧即﹣y方向上。由于其他的结构与第2实施方式相同，所以对相同的结构要素赋予相同的参照标号并省略说明。
由于像以上那样构成，所以从半导体激光器101射出的光在透过准直透镜102、1/2波片103之后，通过偏振板104而成为偏振方向相对于x方向倾斜了45°的直线偏振光，该直线偏振光入射到偏振光分束器401。入射到偏振光分束器401的光的与x方向平行的直线偏振光成分在偏振光分束器401的分束器面上被反射并透过1/4波片402而成为圆偏振光，该圆偏振光在平面镜403上被反射。反射后的圆偏振光透过1/4波片402而成为与y方向平行的直线偏振光，该直线偏振光透过偏振光分束器401的分束器面并入射到1/2波片单元202。另一方面，与y方向平行的直线偏振光成分透过偏振光分束器401的分束器面并透过1/4波片404而成为圆偏振光，该圆偏振光在反射型相位调制器405上被反射。反射后的圆偏振光通过1/4波片404而成为与x方向平行的直线偏振光，该直线偏振光在偏振光分束器401的分束器面上被反射并入射到1/2波片单元202。
反射型相位调制器405具有平面镜406和未图示的直线驱动系统。平面镜406被设置于直线驱动系统，直线驱动系统接受来自未图示的控制部的控制信号，对z方向的位置进行调整。由此，能够经由反射型相位调制器405对入射到1/2波片单元202的光的光路长度进行调整。因此，能够对与x方向平行的直线偏振光和与y方向平行的直线偏振光的相位差进行调整。
根据本实施方式，能够获得与第1实施方式相同的效果。并且，如果使用MEMS镜来作为反射型相位调制器，则与其他方式相比还具有能够高速地调制的效果。此外，还具有与液晶延迟器相比针对温度的耐久性较高的优点。
(第5实施方式)
使用图6的(a)至(c)对第5实施方式的照明装置进行说明。图6的(a)是光学系统的概略结构图，图6的(b)示出观察用照明时的各光学元件的朝向的图，图6的(c)是示出计测用照明时的各光学元件的朝向的图。图6的(b)和图6的(c)通过与图1的(b)和图1的(c)相同的方法而示出偏振板104、1/2波片106、1/4波片501、PANDA光纤110的入射面和射出面、1/2相位差膜112以及偏振板503的朝向。
第5实施方式的照明装置从第1实施方式的照明装置中去除了1/4波片单元107和偏振光膜114，并设置了1/4波片501和偏振板单元502。在该情况下，投影偏振光切换机构由1/2波片单元105、1/4波片501和偏振板单元502构成。1/4波片501被配置成其光学轴与x﹣y面平行且与x轴呈45°。偏振板单元502具有未图示的旋转驱动系统和偏振板503。偏振板503被设置于旋转驱动系统，根据来自未图示的控制部的控制信号来调整透过轴的旋转角。由于其他的结构与第1实施方式相同，所以对相同的结构要素赋予相同的参照标号并省略说明。
根据以上的结构，在照射观察用照明的情况下，通过偏振板单元502而配置成使偏振板503的透过轴为y方向。由此，所投影的照明光仅为光116的偏振光成分，所以不会在被摄体上出现干涉条纹图案。
另一方面，在照射计测用照明的情况下，偏振板503的透过轴被配置成与x轴呈45°。由此，所投影的照明光具有光116的偏振光成分和光117的偏振光成分这双方，所以在被摄体上出现干涉条纹图案。并且，与第1实施方式同样，通过使1/2波片106旋转，能够对光116与光117的相位差进行控制，使被摄体的任意一点的明亮度呈正弦波变化。
根据本实施方式，能够获得与第1实施方式相同的效果，并且通过对配置在被摄体侧的偏振板单元进行操作，能够对观察用照明和计测用照明进行切换。
另外，本发明并不仅限于上述实施方式，能够进行各种变形或变更。例如，x方向和y方向的朝向、PANDA光纤110的慢轴和快轴的朝向、金红石111、113的配置顺序等仅仅是示例。例如，即使对光学系统整体的x方向和y方向的朝向、PANDA光纤110的慢轴和快轴的朝向、或者金红石111和金红石113的配置进行更换等，也能够获得相同的作用效果。并且，在偏振光分离部中使用的光学晶体并不限于金红石(TiO2)。例如，也可以使用方解石(CaCO3)或钒酸钇(YVO4)等双折射晶体。
标号说明
101：半导体激光；102：准直透镜；103：1/2波片；104：偏振板；105：1/2波片单元；106：1/2波片；107：1/4波片单元；108：1/4波片；109：耦合透镜；110：PANDA光纤；111、113：金红石；112：1/2相位差膜；114：偏振光膜；115：广角投影透镜；116、117：光；121：照相机；122：控制部；123：干涉条纹图案；124：扫描方向；201：液晶延迟器；202：1/2波片单元；203：1/2波片；301：巴俾涅–索累补偿器；302、303、304：水晶；401：偏振光分束器；402：1/4波片；403：平面镜；404：1/4波片；405：反射型相位调制器；406：平面镜；501：1/4波片；502：偏振板单元；503：偏振板。

Claims (9)

1.一种照明装置，其特征在于，该照明装置具有：
光源部，其射出具有相干性的光；
偏振光分离部，其根据所入射的光的偏振方向对光路进行分离；以及
投影偏振光切换机构，其使从所述偏振光分离部射出并投影的光在透过了由所述偏振光分离部分离出的各个光路后的光的偏振光成分与透过了任意一个光路后的光的偏振光成分之间进行切换。
2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，
所述投影偏振光切换机构具有：
偏振光调整部，其配置在所述光源部与所述偏振光分离部之间，使从所述光源部射出的光的偏振光状态以能够调整的方式发生变化；以及
偏振片，其配置在所述偏振光分离部的后段，仅使特定方向的直线偏振光透过。
3.根据权利要求2所述的照明装置，其特征在于，
所述偏振光调整部具有：
1/2波片；以及
1/2波片旋转部，其构成为能够通过使该1/2波片旋转而对该1/2波片的光学轴的朝向进行调整。
4.根据权利要求3所述的照明装置，其特征在于，
所述偏振光调整部具有：
1/4波片，其配置在所述1/2波片的所述偏振光分离部侧；以及
1/4波片旋转部，其构成为能够通过使该1/4波片旋转而对该1/4波片的光学轴的朝向进行调整。
5.根据权利要求3所述的照明装置，其特征在于，
所述偏振光调整部在所述1/2波片的所述光源部侧具有相位调制部，该相位调制部控制由所述偏振光分离部对光路进行分离而得到的各个偏振光的相位差。
6.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，
所述投影偏振光切换机构具有：
偏振光调整部，其配置在所述光源部与所述偏振光分离部之间，使从所述光源部射出的光的偏振光状态发生变化；以及
偏振板单元，其构成为配置在所述偏振光分离部的后段，能够对透过轴的朝向进行调整。
7.根据权利要求6所述的照明装置，其特征在于，
所述偏振光调整部具有：
1/2波片；
1/2波片旋转部，其构成为能够使该1/2波片旋转而调整该1/2波片的光学轴的朝向；以及
1/4波片，其配置在所述1/2波片的所述偏振光分离部侧。
8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的照明装置，其特征在于，
所述照明装置具有偏振波保持波导，该偏振波保持波导配置在从所述光源部到所述偏振光分离部之间以使得偏振波保持方向与所述偏振光分离部所分离出的各个偏振方向相等。
9.一种计测装置，其特征在于，该计测装置具有：
权利要求1至8中的任意一项所述的照明装置；
摄像部，其拍摄由所述照明装置投影出干涉条纹而得到的被摄体的图像；以及
运算部，其根据所述照明装置与所述摄像部的位置关系以及由所述摄像部拍摄到的所述被摄体的图像的干涉条纹而导出被摄体的形状。
CN201580080107.4A 2015-05-29 2015-05-29 照明装置和计测装置 Expired - Fee Related CN107613842B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2015/002736 WO2016194018A1 (ja) 2015-05-29 2015-05-29 照明装置及び計測装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107613842A CN107613842A (zh) 2018-01-19
CN107613842B true CN107613842B (zh) 2019-09-24

Family

ID=57440224

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201580080107.4A Expired - Fee Related CN107613842B (zh) 2015-05-29 2015-05-29 照明装置和计测装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10156436B2 (zh)
JP (1) JP6548727B2 (zh)
CN (1) CN107613842B (zh)
WO (1) WO2016194018A1 (zh)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20110187878A1 (en) 2010-02-02 2011-08-04 Primesense Ltd. Synchronization of projected illumination with rolling shutter of image sensor
EP3551965A4 (en) 2016-12-07 2020-08-05 Magik Eye Inc. DISTANCE SENSOR PROJECTING PARALLEL PATTERNS
EP3692501A4 (en) 2017-10-08 2021-07-07 Magik Eye Inc. CALIBRATION OF A SENSOR SYSTEM INCLUDING MULTIPLE MOBILE SENSORS
KR20200054326A (ko) 2017-10-08 2020-05-19 매직 아이 인코포레이티드 경도 그리드 패턴을 사용한 거리 측정
US10447424B2 (en) * 2018-01-18 2019-10-15 Apple Inc. Spatial multiplexing scheme
JP2021518535A (ja) 2018-03-20 2021-08-02 マジック アイ インコーポレイテッド 様々な密度の投影パターンを使用する距離測定
CN114827573A (zh) * 2018-03-20 2022-07-29 魔眼公司 调整相机曝光以用于三维深度感测和二维成像
US10877285B2 (en) 2018-03-28 2020-12-29 Apple Inc. Wavelength-based spatial multiplexing scheme
CN112513565B (zh) 2018-06-06 2023-02-10 魔眼公司 使用高密度投影图案的距离测量
WO2020033169A1 (en) 2018-08-07 2020-02-13 Magik Eye Inc. Baffles for three-dimensional sensors having spherical fields of view
US11493606B1 (en) 2018-09-12 2022-11-08 Apple Inc. Multi-beam scanning system
JP2022518023A (ja) 2019-01-20 2022-03-11 マジック アイ インコーポレイテッド 複数個の通過域を有するバンドパスフィルタを備える三次元センサ
US11474209B2 (en) 2019-03-25 2022-10-18 Magik Eye Inc. Distance measurement using high density projection patterns
US11019249B2 (en) 2019-05-12 2021-05-25 Magik Eye Inc. Mapping three-dimensional depth map data onto two-dimensional images
WO2021113135A1 (en) 2019-12-01 2021-06-10 Magik Eye Inc. Enhancing triangulation-based three-dimensional distance measurements with time of flight information
KR20220122645A (ko) 2019-12-29 2022-09-02 매직 아이 인코포레이티드 3차원 좌표를 2차원 피처 포인트와 연관
CN115151945A (zh) 2020-01-05 2022-10-04 魔眼公司 将三维相机的坐标系转成二维相机的入射点
CN111811429B (zh) * 2020-07-14 2021-04-20 北京理工大学 一种子孔径拼接干涉测量方法和装置
CN114200686B (zh) * 2021-12-23 2023-05-30 西安交通大学 一种偏振光散射光谱成像内窥装置与探测方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102124299A (zh) * 2008-08-20 2011-07-13 国立大学法人东北大学 形状、倾斜度检测和/或计测光学装置和方法及其关联装置
CN102429628A (zh) * 2011-10-24 2012-05-02 杭州首天光电技术有限公司 具有同轴偏振照明功能的电子内窥镜摄像装置
CN103329036A (zh) * 2011-01-14 2013-09-25 佳能株式会社 太赫兹波元件、太赫兹波检测装置、太赫兹时域分光系统和层析成像设备
CN103458761A (zh) * 2011-11-29 2013-12-18 奥林巴斯医疗株式会社 偏振光观察装置
CN103529650A (zh) * 2012-07-02 2014-01-22 上海微电子装备有限公司 一种高度测量装置及其测量方法
CN104799801A (zh) * 2015-03-25 2015-07-29 清华大学深圳研究生院 一种内窥镜及光信息处理方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0625656B2 (ja) * 1985-07-08 1994-04-06 株式会社リコー 縞走査シアリング干渉測定方法
JPS6333607A (ja) * 1986-07-28 1988-02-13 Ricoh Co Ltd 縞走査シアリング干渉測定方法
US5434669A (en) 1990-10-23 1995-07-18 Olympus Optical Co., Ltd. Measuring interferometric endoscope having a laser radiation source
JP3009521B2 (ja) * 1990-10-23 2000-02-14 オリンパス光学工業株式会社 計測内視鏡
JP3126065B2 (ja) 1991-12-09 2001-01-22 オリンパス光学工業株式会社 計測用内視鏡装置
JP2541479B2 (ja) * 1993-11-01 1996-10-09 オリンパス光学工業株式会社 像形成光学系
JP4723362B2 (ja) * 2005-11-29 2011-07-13 株式会社日立ハイテクノロジーズ 光学式検査装置及びその方法
US20070127036A1 (en) * 2005-12-07 2007-06-07 Chroma Ate Inc. Interference measurement system self-alignment method
JP5635773B2 (ja) * 2006-09-29 2014-12-03 リアルディー インコーポレイテッドＲｅａｌＤ Ｉｎｃ． 立体投影用の偏光変換システム、投影システムおよび立体画像投影方法
US7952685B2 (en) * 2007-03-15 2011-05-31 Carl Zeiss Smt Ag Illuminator for a lithographic apparatus and method
US8107083B2 (en) 2008-03-05 2012-01-31 General Electric Company System aspects for a probe system that utilizes structured-light
JP5885673B2 (ja) * 2011-01-18 2016-03-15 オリンパス株式会社 光走査装置および走査型検査装置
WO2012153495A1 (ja) * 2011-05-06 2012-11-15 株式会社ニコン 構造化照明顕微鏡及び構造化照明観察方法
JP2014164097A (ja) * 2013-02-25 2014-09-08 Olympus Corp ビームスプリッタ装置、走査型観察装置、レーザ走査型顕微鏡およびレーザ走査型内視鏡
US9703260B2 (en) * 2013-09-11 2017-07-11 Akonia Holographics Llc Methods and apparatus for coherent holographic data channels
FR3020684B1 (fr) * 2014-04-30 2017-05-19 Horiba Jobin Yvon Sas Systeme et procede de spectrometrie de decharge luminescente et de mesure in situ de la profondeur de gravure d'un echantillon
US9594255B2 (en) * 2015-06-25 2017-03-14 Volfoni R&D EURL Stereoscopic 3D projection system with improved level of optical light efficiency

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102124299A (zh) * 2008-08-20 2011-07-13 国立大学法人东北大学 形状、倾斜度检测和/或计测光学装置和方法及其关联装置
CN103329036A (zh) * 2011-01-14 2013-09-25 佳能株式会社 太赫兹波元件、太赫兹波检测装置、太赫兹时域分光系统和层析成像设备
CN102429628A (zh) * 2011-10-24 2012-05-02 杭州首天光电技术有限公司 具有同轴偏振照明功能的电子内窥镜摄像装置
CN103458761A (zh) * 2011-11-29 2013-12-18 奥林巴斯医疗株式会社 偏振光观察装置
CN103529650A (zh) * 2012-07-02 2014-01-22 上海微电子装备有限公司 一种高度测量装置及其测量方法
CN104799801A (zh) * 2015-03-25 2015-07-29 清华大学深圳研究生院 一种内窥镜及光信息处理方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP6548727B2 (ja) 2019-07-24
CN107613842A (zh) 2018-01-19
US20180073863A1 (en) 2018-03-15
US10156436B2 (en) 2018-12-18
WO2016194018A1 (ja) 2016-12-08
JPWO2016194018A1 (ja) 2018-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107613842B (zh) 照明装置和计测装置
US5434669A (en) Measuring interferometric endoscope having a laser radiation source
JP6524223B2 (ja) 干渉縞投影装置及び計測装置
JP4538388B2 (ja) 位相シフト干渉計
US10067328B2 (en) Structured illumination optical system and structured illumination microscope device
JP4524431B2 (ja) 光ファイバ光学系による干渉計、及びそのためのビーム結合ユニット及び操作器システム。
US7405830B2 (en) Vibration-insensitive interferometer
JP3747471B2 (ja) 偏光方位検出型２次元受光タイミング検出装置およびそれを用いた表面形状計測装置
JP4729423B2 (ja) 光学干渉計
US20030197869A1 (en) Interferometer using beam re-tracing to eliminate beam walk-off
KR20100095302A (ko) Ｏｆｆ-ａｘｉｓ 방식의 이중 파장 디지털 홀로그래피를 이용한 3Ｄ 측정장치
JP3009521B2 (ja) 計測内視鏡
EP2284479B1 (en) Grazing incidence interferometer
CN108168425A (zh) 一种具有新型延时系统的数字全息显微系统
CN109470173A (zh) 一种双通道同时相移干涉显微系统
RU2638580C1 (ru) Лазерный доплеровский измеритель скорости
JP2006349382A (ja) 位相シフト干渉計
CN107167071A (zh) 基于消偏振分光棱镜的同步相移干涉测量装置
CN208705667U (zh) 一种三波长反射式数字全息显微镜
CN105783706B (zh) 一种基于透射式闪耀光栅的双体Sagnac干涉元件
JP2011112358A (ja) 干渉計、収差測定方法及び収差測定システム
JPH05149719A (ja) 性状測定装置
JP2005233772A (ja) 干渉計
CN207502841U (zh) 立体图像显示装置
JP2002013919A (ja) 位相シフト干渉縞同時撮像装置における平面形状計測方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20190924