CN107603698A - 金刚线专用切割液 - Google Patents

金刚线专用切割液 Download PDF

Info

Publication number
CN107603698A
CN107603698A CN201710704857.5A CN201710704857A CN107603698A CN 107603698 A CN107603698 A CN 107603698A CN 201710704857 A CN201710704857 A CN 201710704857A CN 107603698 A CN107603698 A CN 107603698A
Authority
CN
China
Prior art keywords
kilograms
silicon wafer
cutting fluid
diamond wire
polyethers
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710704857.5A
Other languages
English (en)
Inventor
郑明�
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN201710704857.5A priority Critical patent/CN107603698A/zh
Publication of CN107603698A publication Critical patent/CN107603698A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Abstract

本发明涉及一种在硅晶体材料及非金属硬脆材料的金刚线切割中使用的切割液。主要是为解决现有的金刚线切割液在切割时易造成硅晶片崩边,弄脏硅晶片,硅晶片上的细密线痕多的问题而发明的。配方中包括非离子表面活性剂、聚醚、有机硅消泡剂;各组分的重量比为:非离子表面活性剂60—70公斤,聚醚5—15公斤,有机硅消泡剂15—25公斤。还可在上述配方中加入3—5公斤的分散剂和3—5公斤的抗静电剂。优点是在切割过程中不易造成硅晶片崩边,不会弄脏硅晶片,硅晶片上的细密线痕少,成品合格率高。

Description

金刚线专用切割液
技术领域:
本发明涉及一种在硅晶体材料及非金属硬脆材料的金刚线切割中使用的切割液。
背景技术:
在光伏太阳能行业中对硅晶体材料进行切割就必须使用到切割液。目前,硅晶片的加工方法有两种:一是砂浆式切割法,就是将金刚砂与“切割混合液”搅拌成砂浆,然后用合金钢线浸蘸,使得金刚砂附着在合金钢线上,对硅晶体材料进行磨削的一种切割方式。二是利用金刚砂线直接切割,即通过激光手段将金刚砂颗粒固结在合金钢丝的基体上,形成金刚砂锯丝,直接对硅晶体材料进行拉锯式切割。
利用金刚砂线直接切割与砂浆式切割法相比,具有切割效率高,精度好等优点。但是现有应用在金刚砂线上的切割液普遍存在如下问题:切割时易造成硅晶片崩边,易弄脏硅晶片,硅晶片上的细密线痕多。
发明内容:
本发明所要解决的技术问题是提供一种切割时不易造成硅晶片崩边,不会弄脏硅晶片,硅晶片上的细密线痕少的金刚线专用切割液。
上述目的是这样实现的:配方中包括非离子表面活性剂、聚醚、有机硅消泡剂;各组分的重量比为:非离子表面活性剂60—70公斤,聚醚5—15公斤,有机硅消泡剂15—25公斤。
还可在上述配方中加入3—5公斤的分散剂和3—5公斤的抗静电剂。
所述的非离子表面活性剂为环氧乙烷二甲基聚合物和单(或双丙烯)醚。
所述的聚醚为异构醇聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、烷基聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或任意两种、三种、四种的混合,混合比例不限。
所述的有机硅消泡剂为非离子型有机硅消泡剂。
生产方法:将各组分按照配比送入到搅拌罐中进行搅拌配制,待均匀混合后过滤,得到产品。
使用时加水稀释,可稀释50—400倍使用。
本发明的优点是:本切割液具有优异的润湿、润滑、渗透、冷却等效果。在切割过程中不易造成硅晶片崩边,不会弄脏硅晶片,硅晶片上的细密线痕少,成品合格率高。
具体实施方式:
配方中包括非离子表面活性剂、聚醚、有机硅消泡剂;各组分的重量比为:非离子表面活性剂60—70公斤,聚醚5—15公斤,有机硅消泡剂15—25公斤。
还可在上述配方中加入3—5公斤的分散剂和3—5公斤的抗静电剂。
所述的非离子表面活性剂为环氧乙烷二甲基聚合物和单(或双丙烯)醚。
所述的聚醚为异构醇聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、烷基聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或任意两种、三种、四种的混合,混合比例不限。
所述的有机硅消泡剂为非离子型有机硅消泡剂。
生产方法:将各组分按照配比送入到搅拌罐中进行搅拌配制,待均匀混合后过滤,得到产品。
使用时加水稀释,可稀释50—400倍使用。
实施例1,
将环氧乙烷二甲基聚合物和单(或双丙烯)醚60㎏、异构醇聚氧乙烯醚15㎏、非离子型有机硅消泡剂25㎏、分散剂5㎏、抗静电剂3㎏投入到搅拌罐中搅拌,混合均匀后过滤。
实施例2,
将环氧乙烷二甲基聚合物和单(或双丙烯)醚62㎏、脂肪醇聚氧乙烯醚6㎏、烷基酚聚氧乙烯醚7㎏、非离子型有机硅消泡剂25㎏、分散剂4㎏、抗静电剂3㎏投入到搅拌罐中搅拌,混合均匀后过滤。
实施例3,
将环氧乙烷二甲基聚合物和单(或双丙烯)醚70㎏、脂肪醇聚氧乙烯醚5㎏、烷基酚聚氧乙烯醚5㎏、烷基聚氧乙烯聚氧丙烯醚5㎏、非离子型有机硅消泡剂15㎏、分散剂4㎏、抗静电剂3㎏投入到搅拌罐中搅拌,混合均匀后过滤。
实施例4,
将环氧乙烷二甲基聚合物和单(或双丙烯)醚70㎏、烷基聚氧乙烯聚氧丙烯醚5㎏、非离子型有机硅消泡剂25㎏、分散剂3㎏、抗静电剂3㎏投入到搅拌罐中搅拌,混合均匀后过滤。
实施例5,
将环氧乙烷二甲基聚合物和单(或双丙烯)醚65㎏、脂肪醇聚氧乙烯醚5㎏、烷基聚氧乙烯聚氧丙烯醚3㎏、烷基酚聚氧乙烯醚5㎏、非离子型有机硅消泡22㎏、分散剂3㎏、抗静电剂5㎏投入到搅拌罐中搅拌,混合均匀后过滤。
技术参数:
密度(25℃,kg/L) PH值 粘度(25℃,CPS) 水溶性 电导率(μS/cm)
参考值 1.00—1.10 6.5—8.5 100—150 100% <25
实施例1 1.02 7.5 130 100% <8
实施例2 1.02 7.5 130 100% <8
实施例3 1.02 7.4 135 100% <10
实施例4 1.02 7.3 135 100% <10
实施例5 1.02 7.2 135 100% <10

Claims (5)

1.金刚线专用切割液,其特征是:配方中包括非离子表面活性剂、聚醚、有机硅消泡剂;各组分的重量比为:非离子表面活性剂60—70公斤,聚醚5—15公斤,有机硅消泡剂15—25公斤。
2.按照权利要求1所述的金刚线专用切割液,其特征是:在上述配方中加入3—5公斤的分散剂和3—5公斤的抗静电剂。
3.按照权利要求1所述的金刚线专用切割液,其特征是:所述的非离子表面活性剂为环氧乙烷二甲基聚合物和单(或双丙烯)醚。
4.按照权利要求1所述的金刚线专用切割液,其特征是:所述的聚醚为异构醇聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、烷基聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或任意两种、三种、四种的混合,混合比例不限。
5.按照权利要求1所述的金刚线专用切割液,其特征是:所述的有机硅消泡剂为非离子型有机硅消泡剂。
CN201710704857.5A 2017-08-17 2017-08-17 金刚线专用切割液 Pending CN107603698A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710704857.5A CN107603698A (zh) 2017-08-17 2017-08-17 金刚线专用切割液

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710704857.5A CN107603698A (zh) 2017-08-17 2017-08-17 金刚线专用切割液

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN107603698A true CN107603698A (zh) 2018-01-19

Family

ID=61064128

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710704857.5A Pending CN107603698A (zh) 2017-08-17 2017-08-17 金刚线专用切割液

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107603698A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109370760A (zh) * 2018-11-09 2019-02-22 上海都昱新材料科技有限公司 高润滑高稀释倍率金刚线切割液及其制备方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103525532A (zh) * 2013-10-18 2014-01-22 山东昊达化学有限公司 一种金刚砂线切割液及其制备方法
CN105695076A (zh) * 2016-02-26 2016-06-22 常州高特新材料有限公司 一种水性金刚线硅片切割液

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103525532A (zh) * 2013-10-18 2014-01-22 山东昊达化学有限公司 一种金刚砂线切割液及其制备方法
CN105695076A (zh) * 2016-02-26 2016-06-22 常州高特新材料有限公司 一种水性金刚线硅片切割液

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李征西、徐恩文主编: "《油品储运设计手册 上册》", 31 October 1997, 石油工业出版社 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109370760A (zh) * 2018-11-09 2019-02-22 上海都昱新材料科技有限公司 高润滑高稀释倍率金刚线切割液及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102643613B (zh) 一种用于蓝宝石衬底的研磨液及其制备方法
CN101780383B (zh) 水乳液型非硅类消泡剂及其制备方法
CN111303981B (zh) 一种金刚线切割液及其制备方法
CN105647475B (zh) 一种水油两溶金刚石研磨液及其制备方法
CN108034360A (zh) 一种CMP抛光液及其在GaAs晶片抛光中的应用
CN102433191B (zh) 一种碳化硅切割液及其使用方法
CN103497588B (zh) 纺织热升华墨水及其制备方法
CN103952225B (zh) 用于切割太阳能硅片的水性游离磨料切割液及其制备方法
KR20060051695A (ko) 수용성 절단 가공용 오일제, 슬러리 및 절단 가공 방법
CN109439425A (zh) 一种金刚线冷却切割液及其制备方法
CN108381379B (zh) 氮化铝单晶片电解抛光及化学机械抛光相结合的抛光方法
CN112779079B (zh) 晶硅切割液及其制备方法和应用
JP6204029B2 (ja) 水性加工液
CN105695076B (zh) 一种水性金刚线硅片切割液
CN102352278A (zh) 金刚石线专用切割液
CN102268225B (zh) 永悬浮钻石研磨液
CN102041138B (zh) 提高硅晶线切割砂浆利用率的添加剂及其制备和使用方法
CN110890271A (zh) 一种碳化硅晶片的加工方法
CN107603698A (zh) 金刚线专用切割液
CN101475778A (zh) 一种用于砷化镓晶片的抛光组合物及其制备方法
CN108017998A (zh) 一种cmp抛光液的制备方法
CN113136255A (zh) 一种用于金刚线切割太阳能硅片的冷却液及制备方法
CN105199610B (zh) 一种蓝宝石抛光组合物及其制备方法
CN107987819B (zh) 一种固井用低毒、低泡油基泥浆冲洗剂及其制备方法
CN110041831A (zh) 一种纳米氧化铈抛光液及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20180119