CN107598762A - 大尺寸游星轮及其均匀打磨方法 - Google Patents

大尺寸游星轮及其均匀打磨方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107598762A
CN107598762A CN201710988265.0A CN201710988265A CN107598762A CN 107598762 A CN107598762 A CN 107598762A CN 201710988265 A CN201710988265 A CN 201710988265A CN 107598762 A CN107598762 A CN 107598762A
Authority
CN
China
Prior art keywords
star wheel
erratic star
arc
polishing machine
diameter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710988265.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107598762B (zh
Inventor
沈斌斌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Deqing Crystal Photoelectric Technology Co Ltd
Original Assignee
Deqing Crystal Photoelectric Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Deqing Crystal Photoelectric Technology Co Ltd filed Critical Deqing Crystal Photoelectric Technology Co Ltd
Priority to CN201710988265.0A priority Critical patent/CN107598762B/zh
Publication of CN107598762A publication Critical patent/CN107598762A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107598762B publication Critical patent/CN107598762B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

本发明涉及一种大尺寸游星轮，所述游星轮的直径大于抛光机直径的一半且小于抛光机直径，所述游星轮的中心设有传动孔，所述传动孔与抛光机的中心齿轮相配合；所述游星轮中还设有工件位，所述工件位的最大长度大于抛光机直径的一半且小于抛光机直径，所述工件位为跑道型，由两相对的弧形边和连接两弧形边的连接边组成，所述两相对的弧形边的直径等于代加工工件的最长长度。通过该游星轮和打磨方法可实现直径大于抛光机半径的工件研磨，并且能够得到均匀的打磨。

Description

大尺寸游星轮及其均匀打磨方法
技术领域
本发明涉及一种光学器件研磨设备和方法，特别是一种大尺寸游星轮及其均匀打磨方法。
背景技术
现有的9B型双面抛光机，其游星轮上的加工位数量较多，加工位的面积较小，最大加工范围为200mm，无法加工较大面积的工件，而且在加工过程中必须保证光学器件的均匀打磨，当光学器件在研磨过程中一直接触某一位置的打磨盘时，由于打磨盘本身的粗糙程度不同，会造成光学器件各处打磨程度不同的情况，因此传统的抛光机会选择与中心齿轮和外周齿轮间距相匹配的游星轮，使游星轮在中心齿轮和外周齿轮之间转动，并且游星轮在抛光机上转动的同时发生自转，从而保证光学器件的均匀打磨，但在使用9B型双面抛光机加工大面积的工件时(加工方法请见本申请人之前提交的“大基片游星轮”申请)，由于必须将游星轮的中心作为转动中心，因此仅能实现游星轮的自转，无法使光学器件得到均匀打磨。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种加工大面积工件的游星轮，通过该游星轮和打磨方法可实现直径大于抛光机半径的工件研磨，并且能够得到均匀的打磨。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案是：
一种大尺寸游星轮，所述游星轮的直径大于抛光机直径的一半且小于抛光机直径，所述游星轮的中心设有传动孔，所述传动孔与抛光机的中心齿轮相配合；所述游星轮中还设有工件位，所述工件位的最大长度大于抛光机直径的一半且小于抛光机直径，所述工件位为跑道型，由两相对的弧形边和连接两弧形边的连接边组成，所述两相对的弧形边的直径等于代加工工件的最长长度。
进一步地，所述工件位内设置有滑动件，所述滑动件一端可滑动连接在工件位的弧形边，滑动件另一端设置有弹性件，所述弹性件与代加工工件相配合。
作为优选，所述弧形边和连接边的交接处设置有反冲件，所述反冲件的位置与弹性件相配合。
一种大尺寸游星轮的均匀打磨方法，所述中心齿轮在研磨过程中作为主动轮带动游星轮转动，所述游星轮在研磨过程中不与抛光机的外周齿轮相接触；研磨过程中代加工工件在弧形边中滑动。
作为优选，所述工件位内设置有滑动件，所述滑动件一端可滑动连接在工件位的弧形边，滑动件另一端设置有弹性件，所述弹性件与代加工工件相配合；所述弧形边和连接边的交接处设置有反冲件，所述反冲件的位置与弹性件相配合；研磨过程中当弹性件接触反冲件后，滑动件向远离该反冲件的位置移动。
本发明同现有技术相比具有以下优点及效果：通过将游星轮的中心作为转动轴且游星轮外周不与抛光机的外周齿轮接触，实现游星轮能够容纳基本等于抛光机直径的光学器件，跑道型的工件位使光学器件在研磨过程中能够来回摆动，从而光学器件的不同位置能在不同圆周上的打磨盘上进行打磨，实现均匀地打磨。滑动件和弹性件的设置保护了光学器件在摆动过程中边角不被磨损，并且较小的摩擦力使光学器件能够更好地在弧形边上运动；反冲件的设置使滑动件在达到最大位移时，能通过弹性件和反冲件的配合反向运动，从而使光学器件在研磨过程中摆动更为频繁。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的结构示意图。
标号说明：
游星轮1 传动孔2 工件位3
弧形边31 连接边32 滚轮4
垫片5 挡块6 光学器件7
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明，以下实施例是对本发明的解释而本发明并不局限于以下实施例。
实施例1：
如图1所示，本实施例为一游星轮1，游星轮1的直径为640mm，游星轮1的中心设置有传动孔2，传动孔2上的齿能够与抛光机(图中未显示)的中心齿轮相齿合，游星轮1上设置有工件位3，工件位3两边为相对的半圆形弧形边31，弧形边31间通过直线的连接边32连接，当然连接边32除直线外也可以设置成其他形状，该工件位3能够容纳长为300mm，宽为150mm的光学器件7。工件位3的弧形边31开设有光滑的卡槽(图中未显示)，卡槽内嵌设有滚轮4，滚轮4可在卡槽内任意滑动，滚轮4露出卡槽的位置包设有垫片5，垫片5为弹性树脂材料，弧形边31和连接边32的交接处设置有挡块6，当垫片5接触硬性的挡块6会产生反向的力。此游星轮1在研磨过程中，抛光机的中心齿轮作为主动轮带动游星轮1转动，游星轮1在研磨过程中不与抛光机的外周齿轮相接触，光学器件7被固定的垫片5上，并随着研磨盘对光学器件7的施力在弧形边31上通过滚轮4摆动，当垫片5接触挡块6后，滚轮4带动光学器件7向远离该挡块6的位置移动。
此外，需要说明的是，本说明书中所描述的具体实施例，其零、部件的形状、所取名称等可以不同。凡依本发明专利构思所述的构造、特征及原理所做的等效或简单变化，均包括于本发明专利的保护范围内。本发明所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离本发明的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本发明的保护范围。

Claims (5)

1.一种大尺寸游星轮，其特征在于：所述游星轮的直径大于抛光机直径的一半且小于抛光机直径，所述游星轮的中心设有传动孔，所述传动孔与抛光机的中心齿轮相配合；所述游星轮中还设有工件位，所述工件位的最大长度大于抛光机直径的一半且小于抛光机直径，所述工件位为跑道型，由两相对的弧形边和连接两弧形边的连接边组成，所述两相对的弧形边的直径等于代加工工件的最长长度。
2.根据权利要求1所述的大尺寸游星轮，其特征在于：所述工件位内设置有滑动件，所述滑动件一端可滑动连接在工件位的弧形边，滑动件另一端设置有弹性件，所述弹性件与代加工工件相配合。
3.根据权利要求2所述的大尺寸游星轮，其特征在于：所述弧形边和连接边的交接处设置有反冲件，所述反冲件的位置与弹性件相配合。
4.根据权利要求1至3任一所述的大尺寸游星轮的均匀打磨方法，其特征在于：所述中心齿轮在研磨过程中作为主动轮带动游星轮转动，所述游星轮在研磨过程中不与抛光机的外周齿轮相接触；研磨过程中代加工工件在弧形边中滑动。
5.根据权利要求4所述的大尺寸游星轮的均匀打磨方法，其特征在于：所述工件位内设置有滑动件，所述滑动件一端可滑动连接在工件位的弧形边，滑动件另一端设置有弹性件，所述弹性件与代加工工件相配合；所述弧形边和连接边的交接处设置有反冲件，所述反冲件的位置与弹性件相配合；研磨过程中当弹性件接触反冲件后，滑动件向远离该反冲件的位置移动。
CN201710988265.0A 2017-10-21 2017-10-21 大尺寸游星轮及其均匀打磨方法 Active CN107598762B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710988265.0A CN107598762B (zh) 2017-10-21 2017-10-21 大尺寸游星轮及其均匀打磨方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710988265.0A CN107598762B (zh) 2017-10-21 2017-10-21 大尺寸游星轮及其均匀打磨方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107598762A true CN107598762A (zh) 2018-01-19
CN107598762B CN107598762B (zh) 2023-10-31

Family

ID=61077875

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710988265.0A Active CN107598762B (zh) 2017-10-21 2017-10-21 大尺寸游星轮及其均匀打磨方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107598762B (zh)

Citations (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3925936A (en) * 1974-01-23 1975-12-16 Petr Nikolaevich Orlov Lapping machine
CN1170655A (zh) * 1996-05-31 1998-01-21 Memc电子材料有限公司 晶片自动研磨系统
JPH11245152A (ja) * 1998-03-03 1999-09-14 Olympus Optical Co Ltd 研磨装置
CN2451289Y (zh) * 2000-09-30 2001-10-03 谭洪斌 表面加工设备研磨盘平面的修正装置
JP2003128238A (ja) * 2001-10-26 2003-05-08 F I T:Kk ワーク合流装置
CN101045282A (zh) * 2007-02-27 2007-10-03 友达光电股份有限公司 研磨装置及其自动化研磨方法
CN101077571A (zh) * 2006-05-23 2007-11-28 奥古斯特吕格贝格有限及两合公司 风扇式研磨轮
CN101143423A (zh) * 2007-10-11 2008-03-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 平面光学元件精磨装置
CN202556225U (zh) * 2012-05-25 2012-11-28 胜方精密机械（浙江）有限公司 三点定面、随形定位研磨夹具
CN102975114A (zh) * 2012-12-06 2013-03-20 江苏吉星新材料有限公司 游星轮
CN103100966A (zh) * 2011-11-11 2013-05-15 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 化学机械研磨装置及系统
CN203109787U (zh) * 2013-03-26 2013-08-07 铜陵晶品电子有限责任公司 一种用于研磨机的游星轮
CN203418415U (zh) * 2013-06-04 2014-02-05 张卫兴 一种复合式游星轮
CN103635290A (zh) * 2011-12-06 2014-03-12 怀特驱动产品有限公司 用于磨床的零件支架组件
CN203485012U (zh) * 2013-09-10 2014-03-19 浙江森永光电设备有限公司 一种用于研磨抛光机的自动升降罩及研磨抛光机
CN203665304U (zh) * 2013-10-31 2014-06-25 重庆晶宇光电科技有限公司 超薄晶片研磨盘
CN104669106A (zh) * 2015-02-10 2015-06-03 盐城工学院 大尺寸a向蓝宝石手机屏双面研磨双面抛光高效超精密加工方法
CN105798763A (zh) * 2016-04-22 2016-07-27 华侨大学 用于双面磨抛加工的上下料机构
CN105798742A (zh) * 2016-04-22 2016-07-27 华侨大学 一种片状零件双面磨抛加工自动化生产线
CN206123440U (zh) * 2016-10-27 2017-04-26 中国建筑材料科学研究总院 游星轮及其工件加紧装置、双面抛光机及双面研磨机
CN107052989A (zh) * 2017-05-11 2017-08-18 济源石晶光电频率技术有限公司 石英晶片抛光工艺
CN207344360U (zh) * 2017-10-21 2018-05-11 德清凯晶光电科技有限公司 一种大尺寸游星轮

Patent Citations (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3925936A (en) * 1974-01-23 1975-12-16 Petr Nikolaevich Orlov Lapping machine
CN1170655A (zh) * 1996-05-31 1998-01-21 Memc电子材料有限公司 晶片自动研磨系统
JPH11245152A (ja) * 1998-03-03 1999-09-14 Olympus Optical Co Ltd 研磨装置
CN2451289Y (zh) * 2000-09-30 2001-10-03 谭洪斌 表面加工设备研磨盘平面的修正装置
JP2003128238A (ja) * 2001-10-26 2003-05-08 F I T:Kk ワーク合流装置
CN101077571A (zh) * 2006-05-23 2007-11-28 奥古斯特吕格贝格有限及两合公司 风扇式研磨轮
CN101045282A (zh) * 2007-02-27 2007-10-03 友达光电股份有限公司 研磨装置及其自动化研磨方法
CN101143423A (zh) * 2007-10-11 2008-03-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 平面光学元件精磨装置
CN103100966A (zh) * 2011-11-11 2013-05-15 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 化学机械研磨装置及系统
CN103635290A (zh) * 2011-12-06 2014-03-12 怀特驱动产品有限公司 用于磨床的零件支架组件
CN202556225U (zh) * 2012-05-25 2012-11-28 胜方精密机械（浙江）有限公司 三点定面、随形定位研磨夹具
CN102975114A (zh) * 2012-12-06 2013-03-20 江苏吉星新材料有限公司 游星轮
CN203109787U (zh) * 2013-03-26 2013-08-07 铜陵晶品电子有限责任公司 一种用于研磨机的游星轮
CN203418415U (zh) * 2013-06-04 2014-02-05 张卫兴 一种复合式游星轮
CN203485012U (zh) * 2013-09-10 2014-03-19 浙江森永光电设备有限公司 一种用于研磨抛光机的自动升降罩及研磨抛光机
CN203665304U (zh) * 2013-10-31 2014-06-25 重庆晶宇光电科技有限公司 超薄晶片研磨盘
CN104669106A (zh) * 2015-02-10 2015-06-03 盐城工学院 大尺寸a向蓝宝石手机屏双面研磨双面抛光高效超精密加工方法
CN105798763A (zh) * 2016-04-22 2016-07-27 华侨大学 用于双面磨抛加工的上下料机构
CN105798742A (zh) * 2016-04-22 2016-07-27 华侨大学 一种片状零件双面磨抛加工自动化生产线
CN206123440U (zh) * 2016-10-27 2017-04-26 中国建筑材料科学研究总院 游星轮及其工件加紧装置、双面抛光机及双面研磨机
CN107052989A (zh) * 2017-05-11 2017-08-18 济源石晶光电频率技术有限公司 石英晶片抛光工艺
CN207344360U (zh) * 2017-10-21 2018-05-11 德清凯晶光电科技有限公司 一种大尺寸游星轮

Also Published As

Publication number Publication date
CN107598762B (zh) 2023-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5360623B2 (ja) 平坦なワークピースの両面用研削加工装置
CN101274414A (zh) 毛刺去除装置以及毛刺去除方法
MX2010001691A (es) Metodo para reafilar una heramienta en forma de gusano de barril, aparato reafilador, y maquina rectificadora de engrane interno.
CN103331694A (zh) 一种抛光区域可调式抛光装置
CN107695459A (zh) 一种齿轮的齿牙表面打磨机构
WO2009001643A1 (ja) 両頭平面研削盤
CN103753388A (zh) 带有顶出机构的管夹固定旋转台
CN207344360U (zh) 一种大尺寸游星轮
CN111055176A (zh) 一种对齿轮端面打磨的装置
CN106271945A (zh) 一种电动车皮条打磨机
CN107598762A (zh) 大尺寸游星轮及其均匀打磨方法
CN108296573A (zh) 一种汽车齿轮外周打磨装置
JP5673591B2 (ja) ラッピング加工装置
JP2008224669A (ja) 浮遊研磨粒子を含有するラッピング・システムを有するセンターレス超仕上げ装置
CN207386731U (zh) 一种齿轮的齿牙表面打磨机构
CN204339535U (zh) 一种顶尖孔的研磨机床
CN208614546U (zh) 一种非线性rrl型三轴数控抛磨加工机床的磨盘机构
CN208117536U (zh) 抛光装置
CN105163905A (zh) 用于带式精加工工件的装置
CN204997467U (zh) 一种用于长管打磨的打磨装置
CN205271694U (zh) 研磨头及研磨装置
CN107553315A (zh) 一种光学器件均匀打磨的方法
CN107685284A (zh) 一种光学器件均匀打磨的方法
CN207402615U (zh) 一种无磁圆环用可多面打磨的小型打磨装置
CN107520744A (zh) 均匀打磨的游星轮

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant