CN102975114A - 游星轮 - Google Patents

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戴磊
王禄宝
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Abstract

本发明公开了一种游星轮，属于蓝宝石加工技术领域，所述游星轮由母轮与子轮组成，所述母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的孔；所述子轮内开有容纳待加工工件的孔。与现有技术相比，本发明游星轮，研磨作业时子轮在母轮内转动，从而带动加工件自转，使得研磨作业更均匀，研磨后晶片表面的TTV、Warp等指标均能达到的要求，本发明游星轮，设计巧妙合理，解决了对各类非标件研磨时制作多个载具的问题，大幅度降低研磨成本。

Description

游星轮
技术领域
本发明属于蓝宝石加工技术领域，尤其涉及一种蓝宝石切片后研磨的载具。
背景技术
蓝宝石是加工蓝光二极管的重要材料，在半导体领域具有举足轻重的地位。在制作客户需要的蓝宝石片之前，要对蓝宝石进行切片后研磨。现有技术中，对蓝宝石切片后多采用双面研磨工艺进行加工。加工时，通过研磨粉颗粒对蓝宝石片进行研磨。蓝宝石衬片的研磨是蓝宝石基板制造中非常重要的一项工艺流程，它决定了蓝宝石切片后晶片的总厚度变化，翘曲度，表面粗糙度等相关质量。传统的载具用于对各类非标件的研磨时候，造成成本高，研磨后缺陷多，且容易破片。
发明内容
针对上述技术问题，本发明提供一种良好研磨各类非标蓝宝石切片的游星轮，大大降低了生产成本，有效保证了研磨后晶片的质量。
本发明解决上述问题所采用的技术方案是：一种游星轮，所述游星轮由母轮与子轮组成，所述母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的孔；所述子轮内开有容纳待加工工件的孔。
与现有技术相比，本发明游星轮，研磨作业时子轮在母轮内转动，从而带动加工件自转，使得研磨作业更均匀，研磨后晶片表面的TTV、Warp等指标均能达到的要求，本发明游星轮，设计巧妙合理，解决了对各类非标件研磨时制作多个载具的问题，大幅度降低研磨成本。
附图说明
图1是本发明游星轮的装配示意图；
图2是本发明母轮的结构示意图；
图3是本发明子轮的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明做出进一步说明。
如图所示，本发明一种游星轮，可适用于对各类蓝宝石非标片研磨作业。该游星轮包括母轮1和子轮2两部分。所述母轮1跟同研磨设备转动，转动过程中带动子轮2进行自转及公转。作为优选，母轮1采用耐磨性好的蓝钢制作，子轮2则因为加工件种类繁多，作为优选，采用价格相对低廉的塑料纤维制作。研磨作业时候先将母轮1按要求放入到研磨设备内，然后将子轮2放入到母轮1中，最后需加工的LED加工件3放入的子轮2内。研磨过程中加工件3会随着子轮2的自转及公转进行相对应的自转及公转，与研磨设备形成相对速度，从而达到对晶片的研磨作业。加工件3的自转大大提高了研磨的质量，从根本上解决了现有技术中研磨非标片质量不过关的问题。
以上实施例的描述较为具体、详细，但并不能因此而理解为对本专利范围的限制，应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (3)

1.一种游星轮，其特征在于：所述游星轮由母轮与子轮组成，所述母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的孔；所述子轮内开有容纳待加工工件的孔。
2.根据权利要求1所述的游星轮，其特征在于：所述母轮材料为蓝钢。
3. 根据权利要求1或2所述的游星轮，其特征在于：所述子轮材料为塑料纤维。
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